TW200829926A - Optical device inspecting apparatus - Google Patents

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200829926 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 光嶋卿之 » 【先前技術 =如果為 元件1之單晶圓13面積為小於10mm以下，而且在曰圓 ί m央部 十萬至數百叙光感·的感=曰圍 圖）在感應辄圍2的四周邊形成有電極墊片（pad)3(兹參考扪 ,(J474^ 5 卜、销f概之探針卡搭崎鮮元触置來作為進行 iittii^T^r。11·26521内的發明就是類似這 來，平H·26521巾揭示有將檢查裝置18和光學裝置17-體成 “：二15置18^一？中央部分設置有用來照射光線而設有 尬^針卡並使用懸臂樑狀探針15 (兹參考第6圖）。 於定鳍用絲置巾㈣知㈣樑狀探針的探針卡上，因無法 置支撐胃在著賴在基板上各獨立設 應每些問題點，因此發明提出直立式探針的探針卡。’、、' 200829926 果固另 旦構造係由微透鏡以及光感測器所組成’其中如 ;到==得入射到塊感測器的光，而設置有對 所ί^+此山類丄光裝置的攝影照相機中，具有被光圈（AP咖e) (Pupil) ’且因為隨著從光學系統中心至周邊 感測器的入射光傾斜，因此隨著由中心至周邊 器i外側^偏^+角度’光感測器相對微透鏡而言可以讓光感測 (專利文獻）特開平U—26521號公報 【發明内容】 声fl 士上貝 1器-要檢查對微透鏡為偏離之光裝置之感測輸出感 ϋ祕订光線$打檢查時，會讓裝置的周邊感應器、尤 IWfe 又的感測器會出現降低輸出感度的情況，因此會發 生即使疋良品亦會誤判成不良品的情況。 的裝置上’如果製作出複數個絲置的話就會在 中產錄針影子而制果將會縣有所影響的問題， 5出=第7圖所示於感應範圍2為正方形而照射範圍21卻為一 員題’因此為了解決照射光會影響到相鄰間之晶圓問題， ，在複數個絲置雜取頂部段差斜切的麵來加讀理且對照 射光則設置遮光板來加以處理。 但疋，在傳統的裝置上，採用複數個裝置時最多只能有8個之 限制，如果採用複數個時會加大開口度，則出 、 位置偏離等問題。 τ 上本發明之目的在於提供一種光裝置檢查用裝置，其比習知者而 έ ’可隨意地設定複數個光裝置，且即使是光感測器對微透鏡有 偏離之光裝置，也可以進行正確之檢查。 【解決問題之手段】 一 200829926 、〃本發明之絲制檢錄置，係域絲目_光源照射具 複數個光感勤之絲置崎行實驗，其特徵係於光神上 應範圍之間設置有-可隨著從光學系統中心向周邊來讓^射妇頃 斜之光瞳透鏡。 、 本發明之光裝置用檢查裝置，係具備有探針卡單元與透鏡單 元，其特徵係上述探針卡單元具備有主基板、導引板及探針，而 於上述主基板及上述導引板巾設置有—開口部，上述導引板係 定於相對上述主基板之既定位置上，且設置有複數個探針插孔， 上述探針係***至上述導引板之探針插孔來加以固定，且從上 插孔突出的針頭部為一懸臂樑狀；上述透鏡單元係使用光瞳透鏡 • ^透鏡單元，且設置於上述主基板的開口部，從光學2中里= 者距_漸返來讓照射到檢查對象物的光線傾斜。 另外，上述導引板設置有一溝槽部，且於上述溝槽底部配置有 一上述探針插孔，最好能於上述溝槽部藉由樹脂來固定上述探針。 且，最好具有一可遮斷從上述透鏡單元照射到上述探針 的光線遮斷構件。 $ T心崎 再者’上述光線遮斷構件最好係一上述導引板。 [發明效果] 本5明之光裝置用檢查裝置，係於感應範圍内由光源之光照射 着 /、有4數個光感測為之光裝置而進行實驗，其中於光源盘上述感 應範圍之間藉由設置隨著從光學系統中心向周邊方向來^昭;^ 傾斜之光曈透鏡，進而可以以實際使用光裝置相同之4來^^ 一本發明之光裝置用檢查裝置，係具備有探針卡單元與透鏡單 π，其中上述探針卡單元具備有主基板、導引板及探針，而於上 述主基板及上述導引板中設置有一開口部，上述導引板係固定於 相對上述主基板之既定位置上且設置有複數個探針插孔，上述探 針係***至上述導引板之探針插孔來加以固定，且從上述插孔突 巧的針頭部為一懸臂樑狀；上述透鏡單元係使用光瞳透鏡之透鏡 單元，且设置於上述主基板的開口部，藉由從光學系統中心隨著 200829926 進 距離漸遠絲照_檢鱗綠的紐傾斜 之使用狀態_之狀絲檢查而達成正確的檢查。-先衣置 另外，上述導引板設置有-溝槽部，且於上 -上述探針插孔，能於上述溝槽㈣由樹縣_^探=置有 而提高固定探針時之作業性。 、妹針 且’藉由具有一可遮斷從上述透鏡單元照射到上述 的光線遮斷構件，即可不影響相鄰接之晶圓。 、’先、、泉 遮 光板 再者，藉由上述光線遮斷構件作為上述導引板以省去多餘之 【實施方式】 之r/置m面番來詳i田說明本發明。其中第2圖為表示本發明 =跳，_絲權置嶋袋纖 本發明之光裝置用檢錄置4係具備有探針卡單元 S :°4而第加針 =擎曲且往上述導引板9的開口部二來匕二稍：：部 型探 ==探發明中的探針：立 度。===^^增_的長 面。 200829926

二=上十述導引板9的探針插孔ί〇猶微突出有***部 为，悲下猎由树脂來固定。尤其***部22的突出部分最好利 树脂來固定至針頭部23_折部分，藉此就可獲的較高的針壓用 "順便一提，所謂懸臂樑狀探針係指從向著基板的安裝部至 形成為一單，固定之樑的探針，係利用焊錫等等的手段固定在基 才，上且利用單邊固定懸臂樑狀所產生的外力可以在縱方向變形的 採針。另外，所謂直立型探針，其整體探針係指具有一略為直線 ，形狀係且彻導引板科可垂直目定職板、再藉*設置彈性 、交形部以外力能在縱方向來變形的探針，在本發明當中的上述探 針7其特徵就是組合有這兩種形狀。 另外’上述探針7係***到上述主基板8所設置的通孔内。另 外，在上述通孔的上端部可以藉由焊錫來固定黏著上述探針7，甚 至在上述通孔内之上述探針7係與上述主基板8的配線電氣性連 接0 上述主基板的通孔間距為了大於上述導引板9探針插孔1〇的間 距，就讓探針7的***部22形成如圖所示之稍微彎曲的形狀。可使 用直徑為80μπι且間距為Ι20μηι的銖鎢材質來作為上述探針7的具 體例子。 上述導引板9係透過間隔物24來固定在上述主基板8的既定 _ 位置上。其中上述間隔物24係一單位固定器，其材質為使用不鏽 鋼或者鐵類的金屬。另外，上述導引板9係使用陶瓷來作為材質。 在本實施形態上係使用補強板12來作為上述主基板8的補強。 其中補強板的材質係使用不鏽鋼或鐵類的金屬。 在上述透鏡單元6中使用有光曈透鏡11。另外，使用LED等平 行光線且不太發熱光線來做為光源。而且，如果藉由上述光瞳透 鏡11來檢查發生在習知光裝置檢查裝置之光感測器偏離微透鏡的 光裝置之感應輸出感度問題的話，就可使用平行光線來檢查來呈 現偏移量較大的感應輸出感度，且也可以解決將良品誤判為不良 品的問題。 200829926 的二’=4===^^^^ ϊί:隨離遠近的入射光，且也可以實際使用的= ί可ίϊί 3ίϊ二猎此’利雜光感測器來照射適當的光線 =針對使用有本發明之光裝置用檢查裝置4的光裝置^ 在置本實：二 攝影 時元 如此一來，於感應範圍2來照射光的狀態下，藉由 來啦從電議3所取_繼且進行檢查 裝置=一要來的避本置置4就可以取代傳統的檢查 斷構件即可遮斷光線且能二二^引板9來作為光線遮 線狀如第2 另 本發明之光裝置檢查裝置4, J：槿拌筏并杻、m + 圖所個單元，且係_峡器將這個單焱裝 外，如果要構成類似上述單元之際 土扳上 對主基巧整單元的平二 用光瞳魏魏單元中使 更正確的檢查。尤衣置使用的相冋狀態來進行檢查以進行 另外，本發明之光裝置用檢查I置係利用組合有直立型和懸臂 200829926 樑狀的探針轉決f知技術的各種 達成可自由設定要測定的範圍。、 用互相的優點來 本發明之光裝置驗查I置不同與習知 合單一的探針卡單元和透鏡單元而；置且业非組 =2 ί型來組合，且降低在設計f知_ 限制的規疋，進而可獲得更高精密度馳查裳置。

11 200829926 — 【圖式簡單說明】 弟圖=上示繼中的固體攝影元件整體平面圖以及部分 面圖’（b)為表示取出單_體攝影元件狀態的平 Ϊ2圖為表示親賴檢絲置的概略剖面圖。 圖為表示光裝置用檢查裝置的整體剖面圖。 f4圖為表示第2圖U)的放大圖。 圖為表示探針整體圖。 Ϊ6圖為表示習知實施形態之光裝置用檢查裝置的概略剖面圖。 弟7圖為表示使用習知的光裝置用檢查裝置情況的照射範圍平面 圖。 【主要元件符號說明】 i固在攝影元件 2感應範圍 3 電極墊片 4光裝置用檢查裝置 5探針卡單元 6透鏡單元 7探針 8主基板 9導引板 1〇探針插孔 11光瞳透鏡 12補強板 13晶圓 Μ光源裝置 15懸臂樑狀探針 12 200829926 16探針卡 17光學裝置 18檢查裝置 20溝槽部 21樹脂 22***部 23針頭部 24間隔物

Claims (1)

1. 200829926 十、申請專利範園： 置用檢4裝置’係於感應細㈣光源之絲射具有複 ，，光感·、之光裝置來進行實驗，其特徵在於：在光源盥感 間設置隨著從光學系統中心向周邊方向來讓照射二頃 斜之光瞳透鏡者。 2·種光衣置用檢查裝置’具備有探針卡單元與透鏡元， 徵在於： / 上述捺針卡^元具有主基板、導引板及探針，而於上述主基板 ⑩ 及上述導引板上設置有一開口部，上述導引板係固定於相 對上述主基板之既定位置上且設置有複數個探針插孔， 上述探針係***至上述導引板之探針插孔來加以固定且 攸上述插孔突出的針頭部為一懸臂標狀； 上述透鏡單元係使用光瞳透鏡之透鏡單元且設置於上述主基 板上的開口部，從光學系統中心可隨著距離遠近來讓照射^檢 查對象物的光線傾斜者。 3·如申明專利範圍第2項之光裝置用檢查裝置，其中上述導引板設 置有=溝槽部，而於該溝槽部底部配置有一上述探針插孔，而 於上述溝槽部藉由樹脂來固定上述探針者。 4·如申請專利範圍第2或3項之光裝置用檢查裝置，其中該裝置具有 可從上述透鏡單元來遮斷照射到上述探針之光線的光線遮斷、 件者。 5.如申請專利範圍第4項之光裝置用檢查裝置，其中上 構件係為上述導引板者。 14