CN103543298B - 探针固持结构及其光学检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种探针固持结构，其包括有一基板以及复数个固持模块。该基板具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体。该复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有一固定件以及复数个探针，其中，该固定件与对应的槽体相连接。该复数个探针连接于该固定件上，且通过对应的槽体。在另一实施例中，本发明更利用该探针固持结构以及具有镜头的镜头调整机构相组合以形成可以检测芯片电性的光学检测装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种探针固持以及镜头位置调整的技术，尤其是指一种利用组合式的探针固持结构及具有该探针固持结构与镜头位置调整机制的光学检测装置。
背景技术
半导体芯片完成之前，必须通过多道检测程序以确保品质。其中的一检测项目即是为了验证半导体芯片内部的各精密电子元件间的电性连接是否确实以及功能是否符合验收规格。
一般而言，半导体芯片进行测试时，测试机必须通过一探针卡(probecard)接触待测物(deviceundertest,DUT)，例如：芯片，并凭借信号传输以及电性信号分析，以获得待测物的测试结果。探针卡通常包含若干个尺寸精密的探针相互排列而成，每一个探针通常会对应芯片上特定的电性接点，当探针接触待测物上的对应电性接点时，可以确实传递来自测试机的测试信号；同时，配合探针卡及测试机的控制与分析程序，达到测量待测物的电性特征的目的。
请参阅图1A与图1B所示，该图是现有技术的探针卡结构底视以及剖面示意图。该探针卡1具有一导引板10，其上具有一通孔11，通孔周围具有复数排探针12,13以及14。由于在导引板10上有复数排的探针12,13以及14，再加上导引板10的面积很小，因此在制作探针卡1时，在进行第一排探针12的插针动作时，第二排与第三排探针13与14的插针动作就无法同步进行，因而会降低探针卡1的制作效率。此外，由于在现有技术中，探针是直接插置在导引板10上，因此当制作品质有问题时或者是在使用上探针接触有异常时，并无法针对有问题的探针，个别进行更换，而必须将探针连同导引板一起报废，如此必然增加探针卡的成本。
此外，如图1C所示，该图是现有的晶圆测试机构示意图，在现有技术中，该晶圆测试机构具有一座体6，其上具有复数个通孔61。每一个通孔61分别容置有一镜头容置座71。每一镜头容置座71内具有凹槽，以提供一镜头72以螺牙721与该凹槽内部相螺接。在现有技术中，存在几个待解决的问题，首先为调整镜头不易，由于镜头具有焦距，因此在检测过程中需要调整镜头的焦距才可以产生清晰的影像，不过现有技术要对镜头焦距进行微调时需要凭借镜头72表面与容置座71间的螺牙721的协助来改变镜头72在垂直方向的位置，这使得调整的手续变得相当不方便，进而会影响检测的效率。其次由于镜头容置座71凹槽的壁面的螺牙与镜头72本身的螺牙间具有背隙的故，因此往往会造成镜头位置调整上的误差，而影响光学成像的效果。
综合上述，因此亟需一种利用组合式的探针固持结构及具有该探针固持结构与镜头位置调整机制的光学检测装置来解决现有技术所产生的问题。
发明内容
本发明的一目的在提供一种探针固持结构，其将探针模块化而与导引板相接，增加探针与导引板组合的弹性以提升制作探针卡的效率，而且也可以容易对有问题的探针进行更换，使得维护更方便，进而降低探针卡的成本。
本发明的一目的在提供一种光学检测装置，其更具有一镜头调整机构，凭借一位置调整机构所具有的螺牙以及镜头容置座顶部至少一个调整槽的设置，再通过调整治具来调整镜头容置座的位置，以简化调整镜头容置座位置的方式。
为了达到上述的目的，本发明提供一种探针固持结构，其特征在于，包括：
一基板，其具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体；以及
复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有：
一固定件，其与对应的槽体相连接；以及
复数个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。
所述的探针固持结构，其中该复数个槽体是贯通该基板的槽体，且每一个固持模块容置于每一个槽体内。
所述的探针固持结构，其中每一探针具有：
一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；
一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及
一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。
所述的探针固持结构，其中该复数个槽体相互连通。
所述的探针固持结构，其中该复数个固定件相互连接形成一体的固定件结构。
所述的探针固持结构，其中该复数个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的复数个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。
所述的探针固持结构，其中该一体的结构是口字型或“门”字型结构。
为了达到上述的目的，本发明更提供一种光学检测装置，其特征在于，包括：
一镜头调整机构，包括有：
一座体，其具有至少一第一通孔；
至少一镜头容置座，其分别容置于该至少一第一通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头；以及
至少一探针固持结构，其设置于该座体的表面上，每一探针固持结构其包括有：
一基板，其具有一第二通孔以及复数个设置在该第二通孔的周围的槽体；以及
复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有：
一固定件，其与对应的槽体相连接；以及
复数个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。
所述的光学检测装置，其中该复数个槽体是贯通该基板的槽体，且每一个固持模块容置于每一个槽体内。
所述的光学检测装置，其中每一探针具有：
一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；
一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及
一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。
所述的光学检测装置，其中该复数个槽体相互连通。
所述的光学检测装置，其中该复数个固定件相互连接形成一体的结构。
所述的光学检测装置，其中该复数个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的复数个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。
所述的光学检测装置，其中该一体的结构是口字型或“门”字型结构。
所述的光学检测装置，其中该座体的表面更具有至少一第二容置槽，以分别提供容置该至少一探针固持结构，该第一通孔贯通该容置槽而与对应的探针固持结构所具有的该第二通孔相对应。
所述的光学检测装置，其更包括有至少一位置调整部，其分别对应每一第一通孔以及每一镜头容置座且与该座体以及对应的镜头容置座相耦接，每一位置调整部使对应的该镜头容置座于对应的第一通孔内进行一位置调整运动，其中每一镜头容置座于该容置槽的槽口***的顶面上更具有至少一调整槽设置于该容置槽的槽口外侧，该位置调整部更具有：
一第一螺牙，其形成于该每一第一通孔的内壁；
一第二螺牙，其形成于该每一镜头容置座的表面以与该第一螺牙相螺接；以及
一挠性环，其套设于该每一镜头容置座上，而对应该每一镜头容置座的第一通孔形成于一凹槽内，该挠性环外径大于等于对应凹槽内壁的口径，使该座体与该每一镜头容置座螺接时该挠性环被该凹槽内壁压缩而密接。
与现有技术相比较，本发明具有的有益效果是：
本发明的提供一种探针固持结构，其将探针模块化而与导引板相接，增加探针与导引板组合的弹性以提升制作探针卡的效率，而且也可以容易对有问题的探针进行更换，使得维护更方便，进而降低探针卡的成本。
本发明提供一种光学检测装置，其更具有一镜头调整机构，凭借一位置调整机构所具有的螺牙以及镜头容置座顶部至少一个调整槽的设置，再通过调整治具来调整镜头容置座的位置，以简化调整镜头容置座位置的方式。
附图说明
图1A与图1B是现有技术的探针卡结构底视以及剖面示意图；
图1C是现有的晶圆测试机构示意图；
图2是本发明探针固持结构的实施例立体示意图；
图3A与图3B是本发明的基板不同的实施例结构示意图；
图4是本发明图2所示的探针固持结构剖面示意图；
图5A至图5B是本发明的探针固持结构的实施例立体与剖面以及固持模块分解示意图；
图6A至图6B是本发明的一体结构的固定件不同实施例示意图；
图7是本发明的光学检测装置立体分解示意图；
图8A至图8C是本发明的镜头调整机构不同实施例立体示意图；
图9A与图9B为本发明的探针固持结构阵列示意图；
图10是本发明的探针摆针方式示意图。
附图标记说明：1-探针卡；10-导引板；11-通孔；12、13、14-探针；2-探针固持结构；20,20a-基板；200-通孔、第二通孔；201、202-槽体；203-底面；204-第一贯穿孔；205-沉孔；21、21a-固持模块；210、210a～210c-固定件；2102-贯穿孔；211-探针；2110-延伸部；2111-悬臂部；2112-侦测部；22、22a、22b-胶材；3-光学检测装置；303-螺孔；304-槽口；305-穿孔；32-固锁元件；4、4d、4e-镜头调整机构；40、40d、40e、40g-座体；400-凹槽；401-第一通孔；402-法兰结构；406-第二容置槽；407-第一侧面；408-第二侧面；41、41d、41e-镜头容置座；410-容置槽；416-第一区；417-第二区；418-螺牙咬合调整部；42、42d、42e-位置调整部；420-第一螺牙；421-第二螺牙；424c、424d-调整槽；428-开槽；427-挠性环；6-座体；61-通孔；71-镜头容置座；72-镜头；721-螺牙。
具体实施方式
请参阅图2所示，该图是本发明探针固持结构的实施例立体示意图。在本实施例中，该探针固持结构2包括有一基板20以及复数个固持模块21。请参阅图3A所示，该图是本发明的基板第一实施例结构示意图。在本实施例中，该基板20具有一通孔200以及复数个设置在该通孔200的周围的槽体201。在本实施例中，该复数个槽体201是贯通该基板20。该复数个槽体201可以呈现类似门字形或者是口字形的排列，本实施例为类似门字形的排列，也即在该通孔200的三侧上形成有槽体201。另外，在另一实施例中，如图3B所示，该基板20上所具有的槽体并非如图3A为贯穿基板20的结构，而是分别具有一底面203，然后在该底面203上形成复数个贯穿基板20的第一贯穿孔204。该基板20的材质可以为工程塑胶、电木等或者是陶瓷材料所构成。在本实施例中，该基板20是陶瓷板。此外，在图3A与图3B中，基板20上具有沉孔205。沉孔205的数量与开设位置根据基板20的尺寸与构形而定，并不以图中基板20的四个角落为限制。沉孔205的目的在于利用锁固元件，例如:螺丝，将基板20固锁在基座上时，可以让固锁元件沉入孔内，而不会凸出基板20表面，进而可以避免伤到待测芯片。虽然前述的第一贯穿孔204为各自独立的通孔，要说明的是，该复数个第一贯穿孔204的另一种变化为将其整合成相互连通的单一贯穿槽，以提供探针通过。
请同时参阅图2与图3B所示，本实施例的基板20是图3B所示的基板实施例，该复数个固持模块21分别容置于该复数个槽体202内，且分别与该复数个槽体202相连接，每一个固持模块21更具有一固定件210以及复数个探针211。在本实施例中，每一个固定件210是一长条柱体。该固定件210的材质可以为工程塑胶、电木等或者是陶瓷材料所构成。在本实施例中，该固定件210为陶瓷材料所构成。请参阅图4所示，该图是本发明图2所示的探针固持结构剖面示意图。首先说明本发明的固持模块21与对应槽体202连接的方式，在本实施例中，每一个探针211凭借胶材22，例如:黑胶(epoxy)，先粘着于固定件210上，形成单一的固持模块21。每一个探针211被弯折成具有一延伸部2110、一悬臂部2111以及一侦测部2112的N型针结构。该延伸部2110，其抵靠于该固定件210的一侧面上。本实施例中，该延伸部2110大致与基板20的表面相垂直。该悬臂部2111，其与该延伸部2110相连接，与该延伸部2110间具有一第一夹角θ1。为了让探针211粘固于该固定件210上，该悬臂部2111与该固定件210间通过胶材22来进行连接。该侦测部2112，其与该悬臂部2111相连接，且与该悬臂部2111间具有一第二夹角θ2。第一夹角θ1与第二夹角θ2的大小并无特定的限制，可以根据需要弯折至所需的角度。以上复数个探针211的悬臂部2111的排列方式为悬臂式探针卡(cantileverprobecard,CPC)的摆针方式，在摆放一排探针211到固定件210后，可以再摆放下一排探针211，形成悬臂部2111针层迭排列到固定件210的结构。
该固定件210与该探针211接触的表面除了为平面之外，为了让每一探针211可以容易的放置在该固定件210上，在该固定件210上的至少一侧面上也可以设置有凹槽，以有利于弯折探针211之用。再回到图4所示，每一固持模块21再被嵌入到该基板20上对应的槽体202上，由于本实施例的基板20为图3B的实施例，因此每一个探针211的延伸部2110会通过对应的第一贯穿孔204而穿出该基板20。由于该第一贯穿孔204的设计，可以让穿出基板20的延伸部2110得到更好的定位效果，以利后续电信号的导引。为了让固持模块21可以固定在基板20上，当该固持模块21容置于对应的槽体202内时，可以在利用胶材22充填于该固持模块21与该槽体202的缝隙，以强化固持模块21与该槽体202间的连接效果。另外，在另一实施例中，更可以在该探针211悬臂部2111与该基板20间以胶材22a来强化连接关系。此外，要说明的是，在另一实施例中，固定件210也可以不用被容置于槽体202内，而是直接连接在对应槽体202的基板20表面上。此时，槽体202为开口宽度小于固定件210宽度的贯穿槽，仅提供对应的探针通过。至于该固定件210连接于基板20的方式可以利用黑胶来粘着固定。
请参阅图5A至图5B所示，该图是本发明的探针固持结构的实施例立体与剖面以及固持模块分解示意图。在本实施例中，基本上的结构与图2类似，差异的是本实施例的固持模块21a中，固定件210a的结构与图2的固定件210不同。在本实施例中，该固定件210a上具有复数个贯穿孔2102，其分别对应有一探针211。每一个探针211的延伸部2110穿过该贯穿孔2102。如图5B所示，探针211固定在固定件210a上之后，可以凭借胶材22与22a将探针211固着于固定件210a上。要说明的是，胶材的涂布位置可以根据需要而定，并不以图示的位置为限制。接着再将整个固持模块21a嵌入对应的基板20的凹槽。基板20的凹槽同样可以选择如图3A或图3B所示的槽体201或202的态样，在本实施例中使用图3B所示的槽体202的结构。当整个固持模块21a嵌入到对应槽体202之后，为了加强固持模块21a与基板20间的连接效果，在一实施例中，更可以在固持模块21a与基板20的交界处涂上胶材22b。要说明的是，将该固持模块21a通过胶材连接到基板20上的胶材涂布位置，并不以本实施例所示的位置为限制，使用者可以根据需求选择适当的交界面以胶材来强化连接关系。当然地，前述的复数个贯穿孔2102可以为各自独立的通孔，也或可以变化为将其整合成相互连通的单一贯穿槽，以提供探针通过，可视实际需求而定。根据前述本发明的探针固持结构的实施例，本发明的探针固持结构由于具有与基板分离的固持模块，使得排设探针形成探针的固持模块以及将固持模块装设在基板上的动作变成可以独立分开进行，因此可以增加组装的效率，而且在探针维护上也可以独立分拆装，避免整个探针固持结构报废而增加成本的问题。此外，前述的图2与图5A所示的实施例的固持模块21与21a中，各个固持模块21或21a所具有的固定件210或210a为长条柱体的独立结构。但在另一实施例中，如图6A至图6B所示，多个固定件210可以相互连接而成为环状的一体成形结构，例如：口字型或者是门字型的一体结构。其中，图6A为门字型的固定件210b，而图6B为口字型的固定件210c，图6A与图6B其可以被用于图2的固持模块中的固定件。另外，要说明的是，在另一实施例中，更可以在在图6A所示的门字型的固定件210b与图6B所示的口字型的固定件210c上形成贯穿孔，其可以被用于图5A的固持模块中的固定件。
请参阅图7与图8A所示，其中图7是本发明的光学检测装置立体分解示意图；图8A是本发明对应图7的镜头调整机构与座体间的一实施例立体示意图。该光学检测装置3包括有一镜头调整机构4以及一探针固持结构2。该镜头调整机构4，包括有一座体40、一镜头容置座41以及一位置调整部42。该座体40具有一第一通孔401，该座体40的一第一侧面407上开设有一第二容置槽406以提供容置该探针固持结构2。该第一通孔401贯通该第二容置槽406，使该第一通孔401与对应的探针固持结构2所具有的第二通孔200相对应。该第二容置槽406的底面上开设复数个螺孔303，在本实施例中，该复数个螺孔303分别设置在该第二容置槽406的四个角落，分别与探针固持结构2中的四个沉孔205相对应。此外，该第二容置槽406的底面上更形成有复数个槽口304，其分别与复数个固持模块21相对应，每一个槽口304内具有复数个分别与固持模块21所具有的复数个探针211相对应的穿孔305。该穿孔305贯穿该座体40，使得每一个探针211的延伸部2110可以经由对应的穿孔305而与探针卡的电路板表面上的焊垫电性连接。
该座体40在与该第一侧面407相对应的一第二侧面408上更具有一凹槽400，凹槽400内具有该第一通孔401贯通整个座体40。要说明的是，凹槽400仅为本实施例所示的结构，但非以一定要具有凹槽400为限制，例如，在另一实施例中，该座体40上并没有凹槽400，仅在座体40上形成该第一通孔401贯穿该座体40。本实施例中，该第一通孔401的***具有法兰(flange)结构402。该镜头容置座41，其容置于该第一通孔401内，该镜头容置座41是柱体结构，具有一容置槽410，其内部提供容置一镜头。本实施例中，该容置槽410内形成有螺牙以与该镜头相螺接。
该位置调整部42，其分别与该镜头容置座41以及该第一通孔401相耦接，使该镜头容置座41于与该第一通孔401内进行一位置调整运动，在本实施例中，该位置调整运动为Z轴向位移运动。该位置调整部42在本实施例中，包括有一第一螺牙420、一第二螺牙421以及两对调整槽424c与424d。该两对调整槽424c与424d，其形成于该镜头容置座41的上表面，且分别对称设置于该容置槽410的槽口外侧。该第一螺牙420，其形成于该第一通孔401的内壁表面。该第二螺牙421，其形成于该镜头容置座41的表面以与该第一螺牙420相螺接。本实施例中，是通过增加第一螺牙420与第二螺牙421之间的咬合率或者是在第一螺牙420与第二螺牙421之间涂布胶材，例如：耐落螺丝胶，以降低螺牙之间的背隙，进而提升位置调整移动的精确度。在另一实施例中，也可以通过镜头容置座41以及座体40以不同材质制作，例如工程塑胶或其他金属，来达到提升螺牙咬合率的效果。在本实施例中，可以使镜头容置座41与座体40两个材质的硬度不同，例如：该座体的硬度大于该镜头容置座的硬度或者是该座体的硬度小于该镜头容置座的硬度，以增加螺牙的咬合率，其中以该座体的硬度大于该镜头容置座的硬度为较佳。每一容置槽所具有的内壁面与其所在的镜头容置座的外壁间的厚度范围为0.5mm≦D≦1.5mm。
接下来说明图7与图8A实施例的运作方式，由于在本实施例中具有两对调整槽424c与424d，因此可以通过十字型调整治具与该两对调整槽424c与424d相耦接，施以顺时针或逆时针方向的转动，使用者可以容易地控制该镜头容置座41在Z轴向上或向下移动。要说明的是在本实施例中，虽然有两对调整槽424c与424d，但不以该两对为限制，例如本领域的人可以根据本实施例的精神以一个或一对调整槽来实施。如果在一个或一对调整槽的情况下，使用者可以用一字型调整治具来与该一个或该一对调整槽耦接，进而转动该镜头容置座41。此外，在另一实施例中也可以去除法兰结构402的设计。
请参阅图8B所示，该图是本发明的镜头调整机构另一实施例立体示意图。在本实施例中，该镜头调整机构4d具有座体40d、一镜头容置座41d以及一位置调整部42d。在本实施例中，该座体40d、镜头容置座41d以及位置调整部42d的结构基本上与图8A的实施例类似，差异在于本实施例的镜头容置座41d的表面更分为第一区416以及一第二区417，其中该位置调整部42d具有复数个开槽428，其分别形成于镜头容置座41d在该第一区416的本体上，使该第一区416的镜头容置座41d形成复数个向外侧撑开的螺牙咬合调整部418。因此，第一区416的第二螺牙421的外径是由上方向下方逐渐缩小，而第二区417的第二螺牙421的外径则是维持不变。
接下来说明图8B实施例的运作方式，在本实施例中具有两对调整槽424c与424d，其运作原理如前述图8A的实施例所述，在此不作赘述。由于本实施例的镜头容置座41d上的第二螺牙421分成第一区416以及第二区417，以及第一区416的第二螺牙421外径大于第二区417的第二螺牙421，因此当镜头容置座41d在一开始通过第二区417的第二螺牙421与第一螺牙420螺接锁固时，随着镜头容置座41d的下向移动，使得螺牙咬合调整部418(第一区416)的第二螺牙421与该第一螺牙420螺接时，由于螺牙咬合调整部418原先是向外侧撑开，因此随着镜头容置座41d的向下移动，螺牙咬合调整部418会被第一通孔401所拘束而向镜头容置座41d的容置410的槽口内被推挤，此时开槽428提供被推挤所需的缓冲空间，凭借推挤的作用使得每一个螺牙咬合调整部418也产生向外的推力作用于第一通孔401上，进而使得第二螺牙421可以与第一螺牙420紧密咬合，使得镜头容置座41d在上下移动时，可以避免螺牙之间的背隙误差的影响，进而提升位置调整移动的精确度。
请参阅图8C所示，该图是本发明的镜头调整机构另一实施例立体示意图。在本实施例中，该镜头调整机构4e具有座体40e、一镜头容置座41e以及一位置调整部42e。在本实施例中，该座体40e、镜头容置座41e以及位置调整部42e的结构基本上与图8A的实施例类似，差异在于本实施例的该位置调整部42e更具有一挠性环427，例如：O形环，但不以此为限，其套设于该镜头容置座41e上，位于该第二螺牙421的最上方。该挠性环427的外径D1可以大于或等于对应凹槽400的内壁口径D2，因此当该镜头容置座41e螺接于座体40e上时，该挠性环可以427可以卡在凹槽400内壁而使该镜头容置座41e与该凹槽400相密接，而提升镜头容置座41e固定于该座体40e的效果。此外，要说明的是虽然图8C显示凹槽400的内壁的口径D2大于第一通孔401的口径，但在另一实施例中，凹槽400的内壁的口径D2也可等于第一通孔401的口径，本发明不以此为限，可视实际需求而定。
接下来说明图8C实施例的运作方式，在本实施例中具有两对调整槽424c与424d，其运作原理如前述图8A的实施例所述，在此不作赘述。当第二螺牙421与第一通孔401的第一螺牙420螺接，而将该镜头容置座41e凭借顺时针转动，使得镜头容置座41e在Z轴方向向下移动时，该挠性环427随着镜头容置座41e向下移动而与该凹槽400的壁面相接触。随着镜头容置座41e继续向下移动，挠性环427被该凹槽400压缩变形而与凹槽400密接，被压缩的挠性环427产生反向的弹力推挤凹槽400，使得镜头容置座41e与座体40e比未加装挠性环427之前更为紧密接合。因此当在挠性环427与该凹槽400密接的状态下，镜头容置座41e在上下移动时，通过挠性环427的作用，可以降低第一螺牙420与第二螺牙421背隙，减少镜头容置座41e的滑动，进而使得该镜头容置座41e在上下移动时的位置可以得到准确的控制。
另外要说明的是，虽然图8A至图8C所示的实施例中，该座体上仅具有单一个镜头调整机构，但是实际上并不以图示的态样为限制，在其他的实施例中，可以根据需要以及本发明的精神在同一座体上设置复数个镜头调整机构，(例如：图9A、图9B)。
再回到图7所示，该探针固持结构2可以选择为图2或者是图5A的实施态样。该探针固持结构2凭借复数个固锁元件32，例如螺丝，通过对应沉孔205而与对应的螺孔303相螺接，进而将该探针固持结构2锁固在座体40的第二容置槽406内。在进行芯片测试时，可以凭借外部光源将光投射到待测芯片上，使得待测芯片产生电信号。与该待测芯片电性连接的复数个探针211接收电信号后，经由延伸部2110将信号传递至电路板上的焊垫。电路板接收该电信号，并将该电信号传递至测试机进行电信号检测。又镜头容置座41螺接在该第一通孔401内，而第一通孔401又与探针固持结构2的第二通孔200相对应，因此该镜头容置座41内的镜头可以凭借该第二通孔200接收到光进而可以对待侧物进行光学检测。
前述图7所示的座体40虽然为提供容置单一个探针固持结构2，在另一实施例中，如图9A与图9B所示，该图为本发明的探针固持结构阵列示意图。在图9A与第9B的实施例中，探针固持结构2以二维阵列的排列方式容置于座体40g内。每一个探针固持结构2可对应耦接有一镜头容置座。其中，在图9A的实施例中，每一基板20上具有复数个排列成单一个门字形的固持模块21；但是在图9B中，单一基板20a上具有复数个排列成复数个门字形的固持模块21，都是根据本发明的精神可以予以变化的实施态样。
请参阅图10所示，该图是本发明的探针摆针方式示意图。在图9A与图9B的固持模块21与其所具有的复数个探针211的结构下，探针的摆针方式属于N型针的排列方式，每一探针211具有一延伸部2110与基板20垂直的方式来摆针。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。
Claims (24)
1.一种探针固持结构，其特征在于，包括：
一基板，其具有一通孔以及多个设置在该通孔的周围的槽体，该通孔可供一外部光源的光通过；以及
多个固持模块，其分别与该多个槽体相连接，每一个固持模块更具有：
一固定件，其与对应的槽体相连接；以及
多个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。
2.根据权利要求1所述的探针固持结构，其特征在于，其中该多个槽体是贯通该基板的槽体，且每一个固持模块容置于每一个槽体内。
3.根据权利要求1所述的探针固持结构，其特征在于，其中每一探针具有：
一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；
一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及
一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。
4.根据权利要求2所述的探针固持结构，其特征在于，其中每一探针具有：
一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；
一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及
一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。
5.根据权利要求1所述的探针固持结构，其特征在于，其中该多个槽体相互连通。
6.根据权利要求1所述的探针固持结构，其特征在于，其中该多个固定件相互连接形成一体的固定件结构。
7.根据权利要求5所述的探针固持结构，其特征在于，其中该多个固定件相互连接形成一体的固定件结构。
8.根据权利要求6所述的探针固持结构，其特征在于，其中该多个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的多个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。
9.根据权利要求7所述的探针固持结构，其特征在于，其中该多个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的多个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。
10.根据权利要求6所述的探针固持结构，其特征在于，其中该一体的固定件结构是口字型或“门”字型结构。
11.根据权利要求7所述的探针固持结构，其特征在于，其中该一体的固定件结构是口字型或“门”字型结构。
12.一种光学检测装置，其特征在于，包括：
一镜头调整机构，包括有：
一座体，其具有至少一第一通孔；
至少一镜头容置座，其分别容置于该至少一第一通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头；以及
至少一探针固持结构，其设置于该座体的表面上，每一探针固持结构其包括有：
一基板，其具有一第二通孔以及多个设置在该第二通孔的周围的槽体，该第二通孔与该第一通孔相对应，且可供一外部光源的光通过；以及
多个固持模块，其分别与该多个槽体相连接，每一个固持模块更具有：
一固定件，其与对应的槽体相连接；以及
多个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。
13.根据权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，其中该多个槽体是贯通该基板的槽体，且每一个固持模块容置于每一个槽体内。
14.根据权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，其中每一探针具有：
一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；
一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及
一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。
15.根据权利要求13所述的光学检测装置，其特征在于，其中每一探针具有：
一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；
一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及
一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。
16.根据权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，其中该多个槽体相互连通。
17.根据权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，其中该多个固定件相互连接形成一体的固定件结构。
18.根据权利要求16所述的光学检测装置，其特征在于，其中该多个固定件相互连接形成一体的固定件结构。
19.根据权利要求17所述的光学检测装置，其特征在于，其中该多个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的多个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。
20.根据权利要求18所述的光学检测装置，其特征在于，其中该多个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的多个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。
21.根据权利要求17所述的光学检测装置，其特征在于，其中该一体的固定件结构是口字型或“门”字型结构。
22.根据权利要求18所述的光学检测装置，其特征在于，其中该一体的固定件结构是口字型或“门”字型结构。
23.根据权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，其中该座体的表面更具有至少一第二容置槽，以分别提供容置该至少一探针固持结构，该第一通孔贯通该第二容置槽。
24.根据权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，其更包括有至少一位置调整部，其分别对应每一第一通孔以及每一镜头容置座且与该座体以及对应的镜头容置座相耦接，每一位置调整部使对应的该镜头容置座于对应的第一通孔内进行一位置调整运动，其中每一镜头容置座于该容置槽的槽口***的顶面上更具有至少一调整槽设置于该容置槽的槽口外侧，该位置调整部更具有：
一第一螺牙，其形成于该每一第一通孔的内壁；
一第二螺牙，其形成于该每一镜头容置座的表面以与该第一螺牙相螺接；以及
一挠性环，其套设于该每一镜头容置座上，而对应该每一镜头容置座的第一通孔形成于一凹槽内，该挠性环外径大于等于对应凹槽内壁的口径，使该座体与该每一镜头容置座螺接时该挠性环被该凹槽内壁压缩而密接。
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