JPH1126521A - 固体撮像素子の評価装置 - Google Patents
固体撮像素子の評価装置Info
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- JPH1126521A JPH1126521A JP9182004A JP18200497A JPH1126521A JP H1126521 A JPH1126521 A JP H1126521A JP 9182004 A JP9182004 A JP 9182004A JP 18200497 A JP18200497 A JP 18200497A JP H1126521 A JPH1126521 A JP H1126521A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 実際の光学系によって生成される光の成分に
対応した光を評価対象の固体撮像素子へ照射できるよう
にすること。 【解決手段】 本発明における固体撮像素子の評価装置
は、固体撮像素子の電極パッドに接触するプローブ針2
1aを備えているプローブカード21と、固体撮像素子
の受光面に対向する位置に配置される光源23と、光源
23と固体撮像素子との間に配置され、光源23から出
射される光を通過して固体撮像素子へ入射するにあた
り、固体撮像素子の受光面における中央部分から周辺部
分へ向かうに従い受光面に対する略垂直方向の光量より
斜め方向の光量を強くする光学系21bとを備えてい
る。
対応した光を評価対象の固体撮像素子へ照射できるよう
にすること。 【解決手段】 本発明における固体撮像素子の評価装置
は、固体撮像素子の電極パッドに接触するプローブ針2
1aを備えているプローブカード21と、固体撮像素子
の受光面に対向する位置に配置される光源23と、光源
23と固体撮像素子との間に配置され、光源23から出
射される光を通過して固体撮像素子へ入射するにあた
り、固体撮像素子の受光面における中央部分から周辺部
分へ向かうに従い受光面に対する略垂直方向の光量より
斜め方向の光量を強くする光学系21bとを備えてい
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子の受
光特性を評価する固体撮像素子の評価装置に関する。
光特性を評価する固体撮像素子の評価装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、固体撮像素子の光学サイズの縮小
化とともに、集光を行う光学レンズと固体撮像素子との
距離が縮まってきている。図3は従来の固体撮像素子の
評価装置を説明する模式断面図である。すなわち、この
評価装置1’は、発光源23aから出射された光を平行
光に変換するレンズ23bと、平行光を拡散させる拡散
板23cと、固体撮像素子が形成されたウエハ10の電
極パッドと接触するプローブ針21aを備えているプロ
ーブカード21と、プローブカード21から得た電気信
号に基づき所定の特性測定を行う回路を備えた測定用基
板22とを備えた構成となっている。
化とともに、集光を行う光学レンズと固体撮像素子との
距離が縮まってきている。図3は従来の固体撮像素子の
評価装置を説明する模式断面図である。すなわち、この
評価装置1’は、発光源23aから出射された光を平行
光に変換するレンズ23bと、平行光を拡散させる拡散
板23cと、固体撮像素子が形成されたウエハ10の電
極パッドと接触するプローブ針21aを備えているプロ
ーブカード21と、プローブカード21から得た電気信
号に基づき所定の特性測定を行う回路を備えた測定用基
板22とを備えた構成となっている。
【0003】この評価装置1’においては、拡散板23
cによって斜め方向に光を生成し、固体撮像素子に対し
て斜め方向の光を照射できるようになっている。
cによって斜め方向に光を生成し、固体撮像素子に対し
て斜め方向の光を照射できるようになっている。
【0004】また、特開平3−190255号公報や特
開平8−227923号公報では、光源と固体撮像素子
との光路を複数の光路に分割して、各光路に対応する固
体撮像素子の受光部各々に光を照射するようにし、光の
入射角度を狭く限定する技術が開示されている。
開平8−227923号公報では、光源と固体撮像素子
との光路を複数の光路に分割して、各光路に対応する固
体撮像素子の受光部各々に光を照射するようにし、光の
入射角度を狭く限定する技術が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固体撮
像素子の光学サイズの縮小化やこれを組み込む撮像装置
の小型化とともに光学レンズと固体撮像素子との距離が
縮まってきている。このため、実際の固体撮像素子にお
いて、その受光面の中央部分では平行光の成分が多く、
周辺部分では斜め光の成分が多くなっている。つまり、
上記のような固体撮像素子の評価装置では、実際の光学
系によって生成される光の成分に十分な対応がとれてい
ないため、正確な特性評価を行えないという問題が生じ
ている。
像素子の光学サイズの縮小化やこれを組み込む撮像装置
の小型化とともに光学レンズと固体撮像素子との距離が
縮まってきている。このため、実際の固体撮像素子にお
いて、その受光面の中央部分では平行光の成分が多く、
周辺部分では斜め光の成分が多くなっている。つまり、
上記のような固体撮像素子の評価装置では、実際の光学
系によって生成される光の成分に十分な対応がとれてい
ないため、正確な特性評価を行えないという問題が生じ
ている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成された固体撮像素子の評価装置であ
る。すなわち、本発明は、固体撮像素子の電極パッドに
接触するプローブ針を備えているプローブカードと、固
体撮像素子の受光面に対向して配置される光源と、光源
と固体撮像素子との間に配置され、光源から出射される
光を通過して固体撮像素子へ入射するにあたり、固体撮
像素子の受光面における中央部分から周辺部分へ向かう
に従い受光面に対する略垂直方向の光量より斜め方向の
光量を強くする光学手段とを備えている固体撮像素子の
評価装置である。
を解決するために成された固体撮像素子の評価装置であ
る。すなわち、本発明は、固体撮像素子の電極パッドに
接触するプローブ針を備えているプローブカードと、固
体撮像素子の受光面に対向して配置される光源と、光源
と固体撮像素子との間に配置され、光源から出射される
光を通過して固体撮像素子へ入射するにあたり、固体撮
像素子の受光面における中央部分から周辺部分へ向かう
に従い受光面に対する略垂直方向の光量より斜め方向の
光量を強くする光学手段とを備えている固体撮像素子の
評価装置である。
【0007】本発明では、光源から出射される光を光学
手段に通すことで、固体撮像素子の受光面における中央
部分から周辺部分に向かうに従い受光面に対する略垂直
方向の光量より斜め方向の光量を強くするようにしてい
る。これにより、実際の使用状態での受光面位置に対応
した光の入射角度およびその光量と、評価時における受
光面位置に対応した光の入射角度およびその光量とを合
わせることができるようになる。
手段に通すことで、固体撮像素子の受光面における中央
部分から周辺部分に向かうに従い受光面に対する略垂直
方向の光量より斜め方向の光量を強くするようにしてい
る。これにより、実際の使用状態での受光面位置に対応
した光の入射角度およびその光量と、評価時における受
光面位置に対応した光の入射角度およびその光量とを合
わせることができるようになる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下に、本発明における固体撮像
素子の評価装置の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1は本発明の固体撮像素子の評価装置における主要部
を説明する模式断面図である。図2は評価装置の全体構
成を説明する図である。
素子の評価装置の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1は本発明の固体撮像素子の評価装置における主要部
を説明する模式断面図である。図2は評価装置の全体構
成を説明する図である。
【0009】図2に示すように、評価装置1としては、
主としてプローバー2と測定器3とを組み合わせた構成
となっている。このうちプローバー2は、固体撮像素子
(図示せず)が形成されたウエハ10の上に配置するプ
ローブカード21と、プローブカード21を取り付ける
測定用基板22と、固体撮像素子へ光を照射する光源2
3とから構成され、測定器3はプローバー2、測定用基
板22および光源23を制御する制御系を備えた構成と
なっている。
主としてプローバー2と測定器3とを組み合わせた構成
となっている。このうちプローバー2は、固体撮像素子
(図示せず)が形成されたウエハ10の上に配置するプ
ローブカード21と、プローブカード21を取り付ける
測定用基板22と、固体撮像素子へ光を照射する光源2
3とから構成され、測定器3はプローバー2、測定用基
板22および光源23を制御する制御系を備えた構成と
なっている。
【0010】また、図1に示すように、光源23にはラ
ンプから成る発光源23aと、発光源23aから出射さ
れた光を平行光に変換するレンズ23bとが設けられて
いる。さらに、プローブカード21にはプローブ針21
aが取り付けられており、このプローブ針21aを測定
対象のウエハ10に形成された固体撮像素子の電極パッ
ド(図示せず)に接触させることで信号の入出力を行
う。
ンプから成る発光源23aと、発光源23aから出射さ
れた光を平行光に変換するレンズ23bとが設けられて
いる。さらに、プローブカード21にはプローブ針21
aが取り付けられており、このプローブ針21aを測定
対象のウエハ10に形成された固体撮像素子の電極パッ
ド(図示せず)に接触させることで信号の入出力を行
う。
【0011】また、本実施形態における評価装置1で
は、光源23から出射される平行光を受けて、ウエハ1
0に形成された固体撮像素子の受光面における中央部分
から周辺部分へ向かうに従い受光面に対する略垂直方向
の光量より斜め方向の光量を強くする光学系21bを備
えている。
は、光源23から出射される平行光を受けて、ウエハ1
0に形成された固体撮像素子の受光面における中央部分
から周辺部分へ向かうに従い受光面に対する略垂直方向
の光量より斜め方向の光量を強くする光学系21bを備
えている。
【0012】この光学系21bとしては、実際の固体撮
像素子を用いた撮像装置で組み込まれるレンズ系と同じ
ものまたは同様な光学特性を備えたものを使用する。ま
た、光学系21bはプローブカード21にアングル21
cを介して取り付けられており、交換可能となってい
る。
像素子を用いた撮像装置で組み込まれるレンズ系と同じ
ものまたは同様な光学特性を備えたものを使用する。ま
た、光学系21bはプローブカード21にアングル21
cを介して取り付けられており、交換可能となってい
る。
【0013】すなわち、評価を行う固体撮像素子で使用
するレンズ系と同じもしくは同様な光学特性のものを適
宜使用できるよう、アングル21cによって光学系21
bが着脱自在に取り付けられている。なお、光学系21
bの交換を行うにあたり、プローブカード21とともに
取り替えを行うものであってもよい。
するレンズ系と同じもしくは同様な光学特性のものを適
宜使用できるよう、アングル21cによって光学系21
bが着脱自在に取り付けられている。なお、光学系21
bの交換を行うにあたり、プローブカード21とともに
取り替えを行うものであってもよい。
【0014】本実施形態における評価装置1で固体撮像
素子の特性評価を行うには、先ず、評価対象となる固体
撮像素子が形成されたウエハ10を図2に示すプローバ
ー2にセットし、そのウエハ10の上方に測定用基板2
2およびプローブカード21を配置する。
素子の特性評価を行うには、先ず、評価対象となる固体
撮像素子が形成されたウエハ10を図2に示すプローバ
ー2にセットし、そのウエハ10の上方に測定用基板2
2およびプローブカード21を配置する。
【0015】なお、このプローブカード21には、先に
説明したような光学系21b(図1参照)が取り付けら
れているものとする。次に、プローブカード21とウエ
ハ10との位置合わせを行い、評価対象となる固体撮像
素子の電極パッドにプローブ針21aを接触させる。
説明したような光学系21b(図1参照)が取り付けら
れているものとする。次に、プローブカード21とウエ
ハ10との位置合わせを行い、評価対象となる固体撮像
素子の電極パッドにプローブ針21aを接触させる。
【0016】次いで、特性測定を行うため、図1に示す
光源23の発光源23aから光を出射し、レンズ23b
を介して平行光を出射する。この平行光は光学系21b
によって実際の撮像装置で使用されるものと同様な光量
分布となって評価対象の固体撮像素子へ照射される。
光源23の発光源23aから光を出射し、レンズ23b
を介して平行光を出射する。この平行光は光学系21b
によって実際の撮像装置で使用されるものと同様な光量
分布となって評価対象の固体撮像素子へ照射される。
【0017】すなわち、この光学系21bにより、固体
撮像素子の受光面における中央部分では受光面に対して
略垂直な方向の光の成分が多く、周辺部分へ向かうに従
い受光面に対して斜め方向の光の成分が多くなるよう照
射される。
撮像素子の受光面における中央部分では受光面に対して
略垂直な方向の光の成分が多く、周辺部分へ向かうに従
い受光面に対して斜め方向の光の成分が多くなるよう照
射される。
【0018】次に、このような光学系21bを介して光
を照射した状態で、固体撮像素子の電極パッドから出力
される電気信号(光電変換によって得られた信号)を予
め電極パッドに接触させておいたプローブ針21aを介
して取り込み、プローブカード21から測定用基板22
へ送る。
を照射した状態で、固体撮像素子の電極パッドから出力
される電気信号(光電変換によって得られた信号)を予
め電極パッドに接触させておいたプローブ針21aを介
して取り込み、プローブカード21から測定用基板22
へ送る。
【0019】取り込まれた電気信号は測定値として測定
用基板22から図2に示す測定器3に送られ、ここで所
定の演算によって特性評価が行われる。
用基板22から図2に示す測定器3に送られ、ここで所
定の演算によって特性評価が行われる。
【0020】また、別の固体撮像素子の特性評価を行う
場合には、図2に示すプローバー2に評価対象の固体撮
像素子が形成された別のウエハをセットする。そして、
このウエハの上方に測定用基板22およびプローブカー
ド21を配置する。この際、配置するプローブカード2
1には、評価対象となる固体撮像素子に適用される実際
のレンズ系と同じものまたは同様な光学特性を備えた光
学系21bをセットする。または、このような光学系2
1bが予めセットされたプローブカード21を配置する
ようにする。
場合には、図2に示すプローバー2に評価対象の固体撮
像素子が形成された別のウエハをセットする。そして、
このウエハの上方に測定用基板22およびプローブカー
ド21を配置する。この際、配置するプローブカード2
1には、評価対象となる固体撮像素子に適用される実際
のレンズ系と同じものまたは同様な光学特性を備えた光
学系21bをセットする。または、このような光学系2
1bが予めセットされたプローブカード21を配置する
ようにする。
【0021】その後は先に説明した手順と同様に、光源
23から光を出射し、セットした光学系21bを介して
実際の撮像装置で使用されるものと同様な光量分布の光
を固体撮像素子へ照射する。そして、固体撮像素子の電
極パッドから出力される電気信号に基づき測定器3(図
2参照)で特性評価を行う。
23から光を出射し、セットした光学系21bを介して
実際の撮像装置で使用されるものと同様な光量分布の光
を固体撮像素子へ照射する。そして、固体撮像素子の電
極パッドから出力される電気信号に基づき測定器3(図
2参照)で特性評価を行う。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような効果がある。すなわち、光学手段によって光源
から出射される光を固体撮像素子の受光面における中央
部分から周辺部分に向かうに従い受光面に対して斜め方
向の光量を強くしているため、実際の使用状態での光量
分布に合わせることができ、正確な特性評価を行うこと
が可能となる。
のような効果がある。すなわち、光学手段によって光源
から出射される光を固体撮像素子の受光面における中央
部分から周辺部分に向かうに従い受光面に対して斜め方
向の光量を強くしているため、実際の使用状態での光量
分布に合わせることができ、正確な特性評価を行うこと
が可能となる。
【図1】本実施形態における評価装置の主要部を説明す
る模式断面図である。
る模式断面図である。
【図2】評価装置の全体構成を説明する図である。
【図3】従来例を説明する模式断面図である。
1…評価装置、2…プローバー、3…測定器、21…プ
ローブカード、21b…光学系、22…測定用基板、2
3…光源
ローブカード、21b…光学系、22…測定用基板、2
3…光源
Claims (2)
- 【請求項1】 固体撮像素子の電極パッドに接触するプ
ローブ針を備えているプローブカードと、 前記固体撮像素子の受光面に対向して配置される光源
と、 前記光源と前記固体撮像素子との間に配置され、前記光
源から出射される光を通過して前記固体撮像素子へ入射
するにあたり、前記固体撮像素子の受光面における中央
部分から周辺部分へ向かうに従い前記受光面に対する略
垂直方向の光量より斜め方向の光量を強くする光学手段
とを備えていることを特徴とする固体撮像素子の評価装
置。 - 【請求項2】 前記光学手段は、前記プローブカードに
着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項
1記載の固体撮像素子の評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9182004A JPH1126521A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 固体撮像素子の評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9182004A JPH1126521A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 固体撮像素子の評価装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1126521A true JPH1126521A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16110647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9182004A Withdrawn JPH1126521A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 固体撮像素子の評価装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1126521A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004053451A1 (ja) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Inter Action Corporation | 固体撮像素子の試験装置 |
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JP2006349522A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Fujifilm Holdings Corp | 固体撮像素子の検査方法及びその装置 |
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JP2011254528A (ja) * | 2005-09-29 | 2011-12-15 | Cao Jin Science&Technology Co Ltd | ウエハーレベルの撮像モジュールの製造方法、及び組み立て設備 |
JP2014021486A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Mjc Probe Inc | 光学測定装置 |
US9201098B2 (en) | 2012-07-13 | 2015-12-01 | Mpi Corporation | High frequency probe card |
US9244018B2 (en) | 2012-07-13 | 2016-01-26 | Mpi Corporation | Probe holding structure and optical inspection device equipped with the same |
-
1997
- 1997-07-08 JP JP9182004A patent/JPH1126521A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4513059B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2010-07-28 | 横河電機株式会社 | Icテスタ |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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