JPH0290645A - 撮像素子の検査方法及びそれに使用する検査装置 - Google Patents
撮像素子の検査方法及びそれに使用する検査装置Info
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- JPH0290645A JPH0290645A JP24114188A JP24114188A JPH0290645A JP H0290645 A JPH0290645 A JP H0290645A JP 24114188 A JP24114188 A JP 24114188A JP 24114188 A JP24114188 A JP 24114188A JP H0290645 A JPH0290645 A JP H0290645A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
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Landscapes
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体によって製造される撮像素子、例えばイ
メージセンサ等の検査に適用して有効な技術に関するも
のである。
メージセンサ等の検査に適用して有効な技術に関するも
のである。
撮像素子、例えば半導体により製造されるイメージセン
サ等の検査を行なう場合、大きく分けて２回の検査工程
がある。まず、第１には、ウェハ上に形成された撮像素
子をその状態で検査する工程であり、第２は該ウェハよ
り撮像素子を個々に分離し、しかるべく封止した後行な
う検査である。
サ等の検査を行なう場合、大きく分けて２回の検査工程
がある。まず、第１には、ウェハ上に形成された撮像素
子をその状態で検査する工程であり、第２は該ウェハよ
り撮像素子を個々に分離し、しかるべく封止した後行な
う検査である。
従来、第１の検査工程においては、他の半導体素子と同
様に、ウェハ上に形成された撮像素子の電極にプローブ
針を当接させ電流を流し、撮像素子の検査を行うもので
ある。
様に、ウェハ上に形成された撮像素子の電極にプローブ
針を当接させ電流を流し、撮像素子の検査を行うもので
ある。
第２の検査工程においては、しかるべく撮像素子を封止
した後、より実装後に近い状態において、光を照射し検
査を行うのが通常である。
した後、より実装後に近い状態において、光を照射し検
査を行うのが通常である。
尚、撮像素子についての検査ではないが、プローブ針を
ウェハ上に形成した半導体素子に接触させ検査を行うも
のを示したものとして特開昭５８−１００４３９号があ
る。
ウェハ上に形成した半導体素子に接触させ検査を行うも
のを示したものとして特開昭５８−１００４３９号があ
る。
上記に示したような従来の技術においては、第１の検査
工程であるウェハ状態の検査ではプローブ針を接触させ
、電流を流し検査な行なう。しかし、この方法では実際
に撮像素子が使用される状態に近い光を照射した検査結
果とは、条件が異なるため必らずしも良い検査結果が得
られないという課題があった。また、第２の検査工程に
おいては、しかるべく封止した後、光を照射し検査を行
なうので精度の高い検査結果を得ることができるが、不
良が出た場合、それまでの製造工程が無駄なものとなっ
てしまい、損失が多（なってしまうという課題があった
。
工程であるウェハ状態の検査ではプローブ針を接触させ
、電流を流し検査な行なう。しかし、この方法では実際
に撮像素子が使用される状態に近い光を照射した検査結
果とは、条件が異なるため必らずしも良い検査結果が得
られないという課題があった。また、第２の検査工程に
おいては、しかるべく封止した後、光を照射し検査を行
なうので精度の高い検査結果を得ることができるが、不
良が出た場合、それまでの製造工程が無駄なものとなっ
てしまい、損失が多（なってしまうという課題があった
。
不発明の目的は、ウェハ上に形成された撮像素子をより
実装時の状態に近い状態で検査する方法及び装置を提供
することにある。
実装時の状態に近い状態で検査する方法及び装置を提供
することにある。
また、本発明の他の目的は、ウェハ上に形成された撮像
素子の検査を行なうにあたって精度の高い検査方法及び
検査装置を提供することにある。
素子の検査を行なうにあたって精度の高い検査方法及び
検査装置を提供することにある。
本願発明における代表的なものの概要について説明すれ
ば下記の通りである。
ば下記の通りである。
すなわち、ウェハ上に形成された撮像素子の検査を行う
において、ウェハ上に形成された撮像素子に光を照射す
るための光源と、前記光源から出た光を散乱させ、均一
光に近い光とする手段とにより、均一光に近い光にして
、前記撮像素子を照射し、検査しようとするものである
。
において、ウェハ上に形成された撮像素子に光を照射す
るための光源と、前記光源から出た光を散乱させ、均一
光に近い光とする手段とにより、均一光に近い光にして
、前記撮像素子を照射し、検査しようとするものである
。
前記手段によれば、ウェハ上に形成された撮像素子に、
光を照射し、かつその光を均一光とすることができるの
で、撮像素子を封止した後の状態に近く、しかもバラツ
キの少ない撮像素子の検査を行うことができる。
光を照射し、かつその光を均一光とすることができるの
で、撮像素子を封止した後の状態に近く、しかもバラツ
キの少ない撮像素子の検査を行うことができる。
以下、本願発明を実施例に基づいて、詳細に説明する。
第１図、第２図は本発明の一実施例の要部の断面を示す
正面図及び側面図である。第３図、第４図は上記第１図
、第２図に示した本願発明の正面図と側面図である。第
５図は本発明に使用されるセルフォックレンズを示す図
である。
正面図及び側面図である。第３図、第４図は上記第１図
、第２図に示した本願発明の正面図と側面図である。第
５図は本発明に使用されるセルフォックレンズを示す図
である。
本発明に使用される装置は大きく分けて、発光部とプロ
ーブカード部により構成されている。
ーブカード部により構成されている。
発光部は鉄系材料からなる発光部本体６とその内部に取
り付けられる磨りガラスと光源により構成されている。
り付けられる磨りガラスと光源により構成されている。
発光部本体６は箱状の形をなしており、その内側には放
電加工が施されている。この放電加工は、発光部本体６
の上部に光源として取り付けられた発光ダイオード（以
下ＬＥＤという）から、照射された光が前記発光部内で
不要な乱反射を起こし、検査に悪影響を与えるのを防ぐ
ためのものである。発光部本体６の下方には前記ＬＥＤ
より照射された光をほぼ均一に散乱させるための磨りガ
ラス１０が取り付けられている。この磨りガラス１０は
発光部本体６の内部に突き出た部分と、押え１１により
、はさみ込まれるように固定されている。この押え１１
０表面にも発光部本体６内部と同じ理由で放電加工が施
されている。
電加工が施されている。この放電加工は、発光部本体６
の上部に光源として取り付けられた発光ダイオード（以
下ＬＥＤという）から、照射された光が前記発光部内で
不要な乱反射を起こし、検査に悪影響を与えるのを防ぐ
ためのものである。発光部本体６の下方には前記ＬＥＤ
より照射された光をほぼ均一に散乱させるための磨りガ
ラス１０が取り付けられている。この磨りガラス１０は
発光部本体６の内部に突き出た部分と、押え１１により
、はさみ込まれるように固定されている。この押え１１
０表面にも発光部本体６内部と同じ理由で放電加工が施
されている。
この磨りガラス１０のさらに下方には、この発行部本体
６から外部へ光を放出する部分として、セルフォックレ
ンズ４が取り付けられている。セルフォックレンズ４は
第５図に示した様に構成されており、細長いレンズを多
数個並べ集合させたものであり、光を均一に放出する効
果がある。以上のように発光部は構成されている。
６から外部へ光を放出する部分として、セルフォックレ
ンズ４が取り付けられている。セルフォックレンズ４は
第５図に示した様に構成されており、細長いレンズを多
数個並べ集合させたものであり、光を均一に放出する効
果がある。以上のように発光部は構成されている。
プローブカード部はプローブカード３と発光部取付枠５
かもなっている。プローブカード３所定の位置から下部
に載置される撮像素子１ａが形成された半導体ウェハ１
に接触するように構成されるプローブ針２を有している
。このプローブカード３は発光部取り付は枠５を、上面
の所定位置に取り付けた以外は、半導体素子の検査に使
用するプローブカードと同様である。また取り付は枠５
のグローブカード３に接している部分の厚みを変えるこ
とによって、プローブ針２とセルフォックレンズとの距
離を調整することができる。
かもなっている。プローブカード３所定の位置から下部
に載置される撮像素子１ａが形成された半導体ウェハ１
に接触するように構成されるプローブ針２を有している
。このプローブカード３は発光部取り付は枠５を、上面
の所定位置に取り付けた以外は、半導体素子の検査に使
用するプローブカードと同様である。また取り付は枠５
のグローブカード３に接している部分の厚みを変えるこ
とによって、プローブ針２とセルフォックレンズとの距
離を調整することができる。
本願発明の装置は上記発光部をグローブカード部に取り
付けることにより完成する。
付けることにより完成する。
上記装置による検査方法について説明する。
ＬＥＤ７から照射された光は磨りガラス１０に到達する
。この時ＬＥＤ７から出た光は発光部本体６の内部にも
あたるが、内部表面は放電加工が施されて（・るので乱
反射は起さない。磨りガラス１０を通過した光は、磨り
ガラス１０により充分に散乱されているのでほぼ均−元
となり、セルフォックレンズ４に到る。ここでも内部に
光があたっても、放電加工が施された面により光は吸収
される。セルフォックレンズを通過した光は約２０゜の
角度で広がり放出される。この光はほぼ均一光となるの
で本願発明の対象である撮像素子の検査には最適な光と
なる。この光をウェハＩＫ形成された撮像素子１ａに照
射し、その結果前記撮像素子に流れる電流をプローブ針
２により検出することにより、前記撮像素子の検査が行
われる。
。この時ＬＥＤ７から出た光は発光部本体６の内部にも
あたるが、内部表面は放電加工が施されて（・るので乱
反射は起さない。磨りガラス１０を通過した光は、磨り
ガラス１０により充分に散乱されているのでほぼ均−元
となり、セルフォックレンズ４に到る。ここでも内部に
光があたっても、放電加工が施された面により光は吸収
される。セルフォックレンズを通過した光は約２０゜の
角度で広がり放出される。この光はほぼ均一光となるの
で本願発明の対象である撮像素子の検査には最適な光と
なる。この光をウェハＩＫ形成された撮像素子１ａに照
射し、その結果前記撮像素子に流れる電流をプローブ針
２により検出することにより、前記撮像素子の検査が行
われる。
本実施例によれば次の様な効果が得られる。
（１１発光部本体６の内部表面に放電加工が施しである
ので、不要な反射光が悪影響を与えることがないという
効果が得られる。
ので、不要な反射光が悪影響を与えることがないという
効果が得られる。
（２） プローブカードは通常のものを加工して使用
できるので新たなプローブカードを用意する必要はない
という効果が得られる。
できるので新たなプローブカードを用意する必要はない
という効果が得られる。
（３１磨りガラスを使用し、ＬＥＩ）から照射された光
を散乱させ、ほぼ均一光とすることができるので精度の
高い検量結果を得ることができるという効果が得られる
。
を散乱させ、ほぼ均一光とすることができるので精度の
高い検量結果を得ることができるという効果が得られる
。
以上本願発明者によってなされた発明ｙ−一実施例基づ
き具体的に説明したか、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることは言うまでもない。例えば、本実施例で
は均一光な得るための散乱手段として、磨りガラスを用
いたが、他の物を使用してもよい。本願発明者は、薄い
紙（トレース紙）を透明ガラスではさみ込んだものを使
用してみたが、充分な散乱効果が得られた。またこの実
施例では、磨りガラスで散乱させ、均一光としたものを
更にセルフォックレンズを使用し、均一化を行っている
が、特にセルフォックレンズを用いる必要はない。セル
フォックレンズなしでも検査には十分な均一光を得るこ
とができ、光な照射した撮像装置の検査には十分な効果
が得れる。
き具体的に説明したか、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることは言うまでもない。例えば、本実施例で
は均一光な得るための散乱手段として、磨りガラスを用
いたが、他の物を使用してもよい。本願発明者は、薄い
紙（トレース紙）を透明ガラスではさみ込んだものを使
用してみたが、充分な散乱効果が得られた。またこの実
施例では、磨りガラスで散乱させ、均一光としたものを
更にセルフォックレンズを使用し、均一化を行っている
が、特にセルフォックレンズを用いる必要はない。セル
フォックレンズなしでも検査には十分な均一光を得るこ
とができ、光な照射した撮像装置の検査には十分な効果
が得れる。
以上の説明では主として本願発明者によってなされた発
明をその背景となった利用分野である牛尋体により製造
される撮像素子の検査技術について説明したが、そｎに
限定されるものではなく、少なくとも光を受光する装置
の検査に使用できることは言うまでもない。
明をその背景となった利用分野である牛尋体により製造
される撮像素子の検査技術について説明したが、そｎに
限定されるものではなく、少なくとも光を受光する装置
の検査に使用できることは言うまでもない。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば下記の通りである。
て得られる効果を簡単に説明すれば下記の通りである。
ウェハ上に形成された撮像素子に光を照射して、検査を
行うことができるので、封止する前に、より笑装状態に
近い検査結果を得ることかできる。
行うことができるので、封止する前に、より笑装状態に
近い検査結果を得ることかできる。
また前記撮像素子に対して均−元を照射できるので、精
度の高い検査結果を得ることができる。
度の高い検査結果を得ることができる。
更にウェハ状態で撮像素子の良否を判定できるので後工
程に不良品の流れる率が減少し、製品の原価低減にも大
いに役立てることができる。
程に不良品の流れる率が減少し、製品の原価低減にも大
いに役立てることができる。
第１図は本発明による検査装置の一実施例の要部断面の
正面図、 第２図は本発明による検査装置の一実施例の要部断面の
側面図、 第３図は不発明による検査装置の一実施例の外形を示す
正面図、 第４図は不発明による検査装置の一実施例の外形を示す
側面図、 第５図は不発明の一実施例に使用するセルフォックレン
ズの構造Ａ−ＡＩｒｒ面及びそれを示す図である。 】・・・ウェハ、１ａ・・・ウェハ上に形成された撮像
素子、２・・・プローブ針、３・・・プローブカード、
４・・・セルフォックレンズ、５・・・取り付は枠、６
・・・発行部本体、７・・・発光ダイオード（ＬＥＤ）
、８・・・ＬＥＤ基板、９・・蓋、１０・・・磨りガラ
ス、】１・・固定板、１２・・・レンズ。 代理人 弁理士 小 川 勝 男 −第 図 第 図 ワ 第 図 デ グ 第。 図 ゾ
正面図、 第２図は本発明による検査装置の一実施例の要部断面の
側面図、 第３図は不発明による検査装置の一実施例の外形を示す
正面図、 第４図は不発明による検査装置の一実施例の外形を示す
側面図、 第５図は不発明の一実施例に使用するセルフォックレン
ズの構造Ａ−ＡＩｒｒ面及びそれを示す図である。 】・・・ウェハ、１ａ・・・ウェハ上に形成された撮像
素子、２・・・プローブ針、３・・・プローブカード、
４・・・セルフォックレンズ、５・・・取り付は枠、６
・・・発行部本体、７・・・発光ダイオード（ＬＥＤ）
、８・・・ＬＥＤ基板、９・・蓋、１０・・・磨りガラ
ス、】１・・固定板、１２・・・レンズ。 代理人 弁理士 小 川 勝 男 −第 図 第 図 ワ 第 図 デ グ 第。 図 ゾ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェハ上に形成された撮像素子に均一光を照射し、
その結果前記撮像素子に流れる電流を測定することによ
り、撮像素子の検査を行なうことを特徴とする撮像素子
の検査方法。 ２、所定位置にウェハを載置し、前記ウェハ上に形成さ
れた撮像素子に光を照射し、前記撮像素子の検査を行う
検査装置において、前記撮像素子に光を照射するための
光源と、前記光源から出た光を散乱させ、ほぼ均一な光
とするための手段とを有することを特徴とする撮像素子
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24114188A JPH0290645A (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 撮像素子の検査方法及びそれに使用する検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24114188A JPH0290645A (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 撮像素子の検査方法及びそれに使用する検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290645A true JPH0290645A (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=17069882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24114188A Pending JPH0290645A (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 撮像素子の検査方法及びそれに使用する検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0290645A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004053451A1 (ja) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Inter Action Corporation | 固体撮像素子の試験装置 |
| JP2006064441A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Yokogawa Electric Corp | 検査用光源装置及びｉｃテスタ |
| JP2006147171A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Yokogawa Electric Corp | 光源装置 |
| KR100691087B1 (ko) * | 2003-05-16 | 2007-03-09 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Ｌｃｄ 검사 장치 및 촬상 소자의 검사 장치 |
| JP2007150033A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Japan Electronic Materials Corp | 光デバイス検査装置 |
| KR100737366B1 (ko) * | 2004-07-13 | 2007-07-09 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | 검사용 광원 장치 |
| WO2008059767A1 (fr) * | 2006-11-15 | 2008-05-22 | Japan Electronic Materials Corp. | Appareil d'inspection de dispositif optique |
| US7589541B2 (en) | 2005-06-16 | 2009-09-15 | Fujifilm Corporation | Method and apparatus for inspecting solid-state image pick-up device |
| TWI421502B (zh) * | 2010-06-25 | 2014-01-01 | Omnivision Tech Inc | 探針卡 |
| WO2024128175A1 (ja) * | 2022-12-13 | 2024-06-20 | 株式会社インターアクション | 光学モジュール、検査装置および光学モジュールの設計方法 |
-
1988
- 1988-09-28 JP JP24114188A patent/JPH0290645A/ja active Pending
Cited By (13)
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