200426430 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於薄膜形成方法、薄膜形成裝置、彩色濾光 片基板之製造方法及製造裝置、電激發光裝置用基板之製 造方法及製造裝置、顯示裝置之製造方法、顯示裝置、以 及電子機器,特別關於以液滴狀態供給液狀材料而形成薄 膜的製造技術。 【先前技術】 一般以液晶顯示裝置或E L裝置(電激發光顯示裝置 )等光電裝置作爲顯示手段的各種顯示裝置或具備彼等顯 示裝置之行動電話或攜帶型資訊終端機等電子機器爲人所 熟知者。近年來彼等顯示裝置成爲彩色顯示,因此,使用 於玻璃或塑膠等構成之基板表面、將R (紅)、G (綠) 、B (藍)之點狀濾光片單元以直條狀配列、三角形配列 、鑲嵌型配列等特定配列圖型予以配列而成之彩色濾光片 c 又,可以顯示彩色之E L裝置之構成中,於玻璃或塑 膠等構成之基板表面、將R (紅)' G (綠)、B (藍_) 之點狀E L發光層以直條狀配列、三角形配列、鑲嵌型配 列等特定配列圖型予以配列,使彼等之E L發光層以一對 電極挾持而形成顯示點。依每一顯示點控制施加於彼等電 極之電壓則可使每一顯示點以特定色及灰階發光。 製造上述各種顯示裝置時,一般使用微影成像技術對 -5- (2) (2)200426430 上述彩色濾光片之各色濾光片單元或E L裝置之各色發光 層施予圖型化之方法。但是,使用該微影成像技術之圖型 化Sc 中’需要材料塗敷、曝光、顯影等複雜、費時之處 理之同時’消耗多量之各色材料及阻劑,會有成本增加之 問題存在。 爲解決該問題,有人提案藉由噴液法(ink^et)將濾光 片單兀材料或E L發光材料作爲添加有溶媒等之液狀材料 予以噴出,使附著於基板表面而形成點狀配列之濾光片單 元或發光層。如圖2 9 (a)所示,該噴液法,係於玻璃或塑 膠等構成之大面積基板、亦即所謂母基板301表面設定之 多數個單位區域3 02內部,形成圖29(b)所示以點狀配類之 濾光片單元3 0 3,以.下說明之。 此情況下,例如圖29(c)所示,使具備多數個噴嘴304 配列而成之噴嘴列3 0 5的液滴噴頭3 〇 6,如圖2 9 (b)之箭頭 A 1及A 2所示,針對1個單位區域3〇2以直線狀掃描多數次 (圖2 9 (b )爲2次),於各掃描期間由多數個噴嘴3 〇 4選擇性噴 出液滴、亦即濾光片材料而於所要位置形成濾光片單元. 3 0 3。 如上述說明,該濾光片單元3 0 3,係將R、G、B等 各色以所謂直條狀配列、三角形配列、鑲嵌型配列等特定 配列圖型予以配列而成。因此,一般依每一色準備R、G 、B各色之液滴噴頭3 0 6,藉由依序使用各色之液滴噴頭 3 06,可於1片母基板30]上形成以特定色配列之彩色濾光 片。 -6- (3) (3)200426430 但是,液滴噴頭3 0 6 —般在構成噴嘴列3 〇 5之多數個噴 嘴3 0 4間之液滴噴出量會有誤差,因此,如圖2 9 (b)所示’ 藉由液滴噴頭3 06形成濾光片單元3 0 3時,於各濾光片單元 3 0 3之液滴量存在誤差,而形成條紋狀色斑駁(色不均勻) 現象,導致彩色濾光片之平面透光特性呈現不均勻現象之 問題。因此有藉由多數個液滴之噴出而形成各濾光片單元 ,使上述液滴噴頭3 06之位置朝前進方向(圖29之左右方向 )稍稍偏移而依序進行掃描之方法(參照專利文獻1 ) 0 但是,如上述說明進行掃描時將大幅增加掃描次數、 增加製造時間,存在生產效率降低之問題。爲解決該問題 有人提案將可調整姿勢之多數個噴頭搭載於共用之載置匣 ,以1次掃描擴大進行處理之範圍而能有效製造之裝置(參 照專利文獻2) 〇 專利文獻1 :特開2 0 0 2 - 2 2 1 6 1 6號公報。 專利文獻2 :特開2 0 0 2 — 2 7 3 8 6 8號公報。 【發明內容】 (發明所欲解決之課題) 但是,本發明人發現,使用上述習知裝置製造彩色濾 光片等時,即使如上述說明地盡量減少各濾光片單元間之 液滴量誤差之情況下,乃會發生無法消除條紋狀色斑駁之 情況。經由進行實驗結果發現,此情況下之條紋狀色斑駁 ’並非由液滴量誤差引起者,而是因爲各濾光片單元內之 液滴塡充狀態引起者。亦即,因爲各濾光片單元內之液滴 -Ί - (4) (4)200426430 偏移狀態不同,因爲位置不同而產生透光狀態之誤差’其 被辨識爲條紋狀色斑駁。 圖3 4表示上述習知方法製造之彩色濾光片之光學特性 。圖3 4 ( A )爲,縱軸取彩色濾光片之透過光之Y値(C I E 1 9 3 1 X Y Z顯示色系、或Y U V彩色基材之亮度Y ) ’ 橫軸取圖29(b)所示掃描方向之畫素配列時,由掃描方向 觀察之亮度Y之週期變動特性。和上述同樣地,圖3 4 ( B ) 表示亮度Y之由圖29(b)所示前進方向(圖中左右方向)觀察 之週期變動特性。此種亮度Y之變動,並非噴頭之噴出特 性引起之液滴量誤差所造成者,即使使用單一噴嘴形成彩 色濾光片之情況亦出現。 本發明係爲解決上述問題,目的在於提供一種使用液 滴噴頭等之液滴供給手段使液狀材料被著於對象物而實施 薄膜形成之方法持,可以降低藉由液狀材料供給量之均一 化乃然無法解決之薄膜形成不均勻現象之技術。 (用以解決課題的手段) 經由本發明人進行各種檢討發現’因爲液滴供給位置 誤差,即使液滴內含之液狀材料之量均勻之情況下,也會 因爲液狀材料應配置區域內之液狀材料之偏移而發生條紋 狀薄膜不均勻現象。 例如,於特定區域P內供給多數個液滴Q而被覆液狀 材料u時,如圖3 〇所示’比較最初之液滴Q 1被供至區域 P之大略中心部,於區域p之大略中心部配置液狀材料u (5) (5)200426430 1之^況(A - 1 ),與最初之液滴Q 1 ’被供至區域p之周緣 邰’於區域P之周緣部配置液狀材料U丨,之情況(B 一 ]) 〇 上述(A — 1 )之情況下,最初之液狀材料口 1被配置於 區域P之中心部,因此即使次一液滴Q 2被供至偏移中位 置時’該液滴Q 2和已配置於中心部之液狀材料^ I成爲一 體化’因此如(A - 2)所示2個液滴Q 1、Q 2相當之液狀材 料U 2被配置於區域p之大略中心部。此情況下,之後, 如(A - 3)及(A — 4)所示,液滴Q 3、q 4分別被供給時, 液狀材料U 3、U 4容易被均等配置於區域p。液狀材料被 均等配置於區域p內時,最後乾燥液狀材料U 4而獲得如( A 一 4)之一點虛線所示大略均等之薄膜形成狀態。 相封於此’上述(B 一丨)之情況下,最初之液狀材料 ϋ 1·被配置於區域p之周緣部,因此即使次一液滴q 2,被 供L日寸’該液滴q 2,和已配置於周緣部之液狀材料^ 1成 爲一體化,因此如(Β 一 2)所示2個液滴q厂、^ 2,相當之 液爿八材料U 2 ’被配置於區域p之周緣部。此情況下,之後 ’如(Β — 3 )及(Β - 4)所示,液滴Q 3,、Q 4,分別被供給 Β寺’ '液狀材料· U 3 ’、υ 4,成爲偏移周緣部之狀態,極端情 況Τ —部分液狀材料會溢出區域ρ,而產生被配置於鄰接 之另一區域之液狀材料U 3,、U 4,之情況。將如此配置之 液狀材料U 4 ’乾燥時,產生如(β 一 4)之一點虛線所示偏 移之薄膜形成狀態。 衣口 i:述說明’因爲最初液滴被供給之位置而使最終之 冬 (6) (6)200426430 薄膜形成狀ffe大爲不同,此乃條紋狀薄膜不均勻現象之原 因此丨^況不限於圖3 0所不對1個區域p供給多數個液滴 ’對1個區域P僅供給1個液滴時亦相同,以和圖3 〇所示相 同量之液狀材料作爲1個液滴供給時,因該液滴之供給位 置而產生和圖30之(A 一 4)及(b — 4)所示狀態同樣之薄膜 形成狀態之差異。在任一情況下,因液滴之供給位置會使 最終之薄0吴形成狀態大爲改變,因而即使液滴內含之液狀 材料之量均一時,亦無法消除條紋狀薄膜不均勻現象(顯 示裝置時爲色不均勻或亮度不均勻)。又,如圖3〇之(^ _ 3)及(B — 4)所示,溢出區域p之液狀材料^ 3,、^ 4,,例 如谷人形成必色灑71[:片以E L裝置時將成爲混色之原因,增 大色不均勻。 又,有如圖3 1所示以隔間壁、河堤、、河.堤、擋塊( 以下簡稱隔間壁)B區隔區域p,於該隔間壁b包圍之區 域P內供給液滴。該隔間壁B可由例如於基板上使用微影 成像技術等施予圖型化之合成樹脂等構成。 此情況下,因爲隔間壁B之存在液狀材料u不受液滴 Q之供給位置影響而改變外觀。例如,圖3 1 (a .)或(b)所示 ,液滴Q a、Q b被供至區域p之中心部或偏移中心之位 置、或者與隔間壁B呈現某種程度分離之位置時,配置於 區域P內之液狀材料U a、U b之形狀不受隔間壁b存在 之影響。但是’如圖3 1 (c)所示,液滴Q c被供至接近區 域P之周緣部之隔間壁B的位置時,液狀材料u c於著地 變大時將接觸隔間壁B,因而被隔間壁B吸引移動,會成 -10- (7) (7)200426430 爲如圖示沿著隔間壁B之壁面之形狀。如此則即使其後再 度供給液滴時,區域P內之液狀材料之偏移亦難以被消除 〇 以下,本發明人針對習知液滴供給狀態加以檢討。液 滴噴頭等之液滴供給手段一般被以特定之驅動週期T d( 驅動信號之驅動頻率F d= 1 / T d)驅動。減小該驅動週 期T d,以掃描速度V X掃描時,液滴之供給位置之分解 能力R T dx V X變小,液滴之供給位置能更正確設 定。例如,輿圖32表示,針對多數個區域p被週期性配列 之對象物,以特定掃描速度V X針對液滴供給手段之對象 物掃描之同時,以特定驅動週期T d供給液滴之情況。於 (a)〜(c)表示以分解能力R 1<R2<R3之3個分解能力分別供 :給液滴時之對比。如(c)所示上述驅動週期τ d較大時, 無法精確控制各區域P內之液滴之供給位置,因此掃描方 向上配列之多數個區域P間之液滴之供給位置誤差變大:。 反之,如(a)所示縮小驅動週期T d時,能正確設定各區 域P內之液滴之供給位置之同時,各區域p間之液滴之供 給位置誤差亦可以減少,如上述說明可將液滴供至區域p 內之適當位置,可抑制條紋狀薄膜不均勻現象之發生。 但是實際上如上述說明般縮小液滴供給手段之驅動週 期T d時,對液滴供給手段之液狀材料供給將會來不及, 結果,一次液滴內含之液狀材料量變少之同時,導入液滴 供給手段之液狀材料變爲不穩定,將容易發生繞行曲線或 碟形狀等液滴噴出狀態不良現象。因此,提升液滴供給手 -11 - (8) (8)200426430 段之驅動頻率有其限制。 因此,縮小驅動週期T d可以減少區域p間液滴之供 給位置誤差,可抑制薄膜形成不均勻,但是生產性降低之 同時,薄膜形成不良之情況亦隨之增加。亦即,如圖3 3所 示,於掃描方向X進行掃描時’於掃描方向X觀察之區域 P之構造週期設爲D X,上述驅動週期T d和掃描速度V X之積之分解能力設爲R X時’增大分解能力R X時掃描 方向X上配列之各區域P間之液滴之供給位置誤差變大, 產生薄膜形成不均勻。反之,縮小分解能力R X時,掃描 方向X上配列之各區域P間之液滴之供給位置誤差變小, 但是液滴之液狀材料之供給量變少,製造效率降低,不良 亦容易發生。 本發明人依據上述狀況經由各種檢討而達成以下之本 發明。亦即,本發明之薄膜形成方法,係藉由在對象物上 被覆液狀材料而形成具備特定週期性之平面週期構造的薄 膜形成方法;其特徵爲: 使用依據特定之驅動週期供給液滴而使上述液狀材米斗 可被覆於上述對象物的液滴供給手段,依據欲形成於上@ 對象物之上述平面週期構造之週期性,於上述驅動週期2 每一週期控制上述液滴供給手段之上述液滴之供給有無, 使上述液滴供給手段相對於上述對象物依特定掃描方向、 以特定掃描速度進行相對掃描之同時,藉由上述液滴供糸合 手段之控制而供給上述液滴;上述驅動週期與上述掃插速 度之積之正整數倍,係設定成爲欲形成於上述對象物之上 ^ 12- (9) (9)200426430 述平面週期構造之於上述掃描方向之構造週期。 依該發明,薄膜形成時’液滴供給手段之驅動週期T d,與液滴供給手段和對象物之掃描速度V X之積、亦即 液滴供給之分解能力R X之正整數倍’係被設爲對象物上 應形成之平面週期構造之於掃描方向之構造週期D X,依 此則可於上述平面週期構造之構造週期D X內特定相位點 供給液滴,可以減少耩造週期D X內之液滴供給位置誤差 引起之薄膜形成不均勻之發生。又’如上述,可於上述平 面週期構造之構造週期D X內特定相位點供給液滴,因此 ,具有以下優點,亦即可以迴避圖3 1 (c)所示於隔間壁附 近供給液滴導致引起液狀材料偏移之情況’可降低薄膜形 成不均勻現象。另外,於該方法中不必無謂地縮小液滴供 給手段之驅動週期丁 d,可抑制1個液滴內含之液狀材料 之量之降低,可提升生產性之同時’可降低繞行曲線或碟 形狀等液滴供給不良所引起之薄膜形成不良。 本發明中較好是,在上述液滴供給手段相對於上述對 象物依掃描方向進行相對掃描之掃描步驟之間’使上述液 滴供給手段相對於上述對象物依和上述掃描方向交叉之前 進方向前進之前進動作被進行多數次。依此則於掃描步驟 間可重複進行多數次前進動作,因此可於具有水平面較廣 範圍內進行薄膜形成。 本發明中較好是,於上述液滴供給手段設置包含有供 給上述液滴用之多數個噴嘴的噴嘴列;在和上述掃描方向 正交之方向所看到上述噴嘴列之噴嘴之配列週期’被設定 -13- (10) (10)200426430 爲在和欲形成之上述平面週期構造之上述掃描方向正交之 方向所看到之構造週期對應之狀態下,使上述液滴供給手 段相對於上述對象物依上述掃描方向進行相對掃描。依此 則於液滴供給手段設置包含多數個噴嘴之噴嘴列,可於一 次掃描步驟中.涵蓋平面週期構造之多數個列進行液滴供給 ’可提升生產性。又,於具有既定噴嘴間隔之噴嘴列的液 滴供給手段中,在進行欲形成之平面週期構造中和掃描方 向正交之方向看到之構造週期與噴嘴間隔之調整時,只需 調整噴嘴列之配列方向,與掃描方向之正交方向間之傾斜 角度θ即可。 本發明中較好是,將在和上述掃描方向正交之方向所 看到特定位置之上述平面週期構造之上述掃描方向之週期 性,與在和上述掃描方向正交之方向所看到和上述特定位 置不同之另一位置之上述平面週期構造之上述掃描方向之 週期性,之間之相位差,與相當於上述特定位置之特定噴 嘴,與對應於上述另一位置之另一噴嘴間在上述掃描方向 所看到位置偏移量,之間之差設定爲0、或上述驅動週期 與上述掃描速度之積之正整數倍而進行者。一般而言,當 整噴嘴列之配列方向,與掃描方向之正交方向間之傾斜角 度Θ不爲0時,多數個噴嘴列之間於掃描方向看到之噴嘴 位置呈現互異,因此,掃描方向看到之噴嘴位置偏移量( 誤差量),將導致掃描方向之正交方向上看到之2個不同位 置產生液滴供給位置之偏移(誤差)。另外,不受上述傾斜 角度Θ値之影響,欲形成之平面週期構造中於掃描方向之 -14- (11) (11)200426430 正交方向上看到之2個不同位置,其之掃描方向之週期性 會存在相位差。因此,一般而言,會依據欲形成之平面週 期構造中於掃描方向之正交方向上看到之2個不同位置之 掃描方向之週期性相位差,與液滴供給手段之噴嘴位置之 偏移之間之差,而產生液滴供給位置相對於欲形成之平面 週期構造之偏移。因此,藉由將上述差設爲0,或者將上 述差設爲驅動週期與掃描速度之積之正整數倍,即可消除 掃描方向之正交方向上看到之2點之液滴供給位置之誤差( 偏移)。 本發明中較好是,在和上述掃描方向正交之方向所看 到特定位置之某一特定噴嘴之上述液滴之供給時序,與在 和上述掃描方向正交之方向所看到和上述特定位置不同之 另一位置之另一噴嘴之上述液滴之供給時序,之間設置時 間差,將上述特定位置之上述平面週期構造之上述掃描方 向之週期性以及上述另一位置之上述平面週期構造之上述 掃描方向之週期性之間之相位差,和上述時間差以及上述 掃描速度之積,之間之差設定爲0、或上述驅動週期與上 述掃描速度之積之正整數倍而進行者。一般而言,當整噴 嘴列之配列方向,與掃描方向之正交方向間之傾斜角度0 不爲0時,多數個噴嘴列之間於掃描方向看到之噴嘴位置 呈現互異,因此,掃描方向看到之噴嘴位置偏移量(誤差 量),將導致掃描方向之正交方向上看到之2個不同位置產 生液滴供給位置之偏移(誤差)。另外,和上述同樣地,欲 形成之平面週期構造中於掃描方向之正交方向上看到之2 -15- (12) (12)200426430 個不同位置,其之掃描方向之週期性會存在相位差。因此 ,會依據該相位差,與液滴供給手段之噴嘴位置之偏移之 間之差,而產生液滴供給位置相對於欲形成之平面週期構 造之偏移。掃描方向之正交方向上看到之2個不同點對應 之噴嘴間之液滴供給時序上設置時間差,藉由該時間差之 調整,將上述相位差、與該時間差和掃描速度之積之間之 差設爲〇,或者將該差設爲驅動週期與掃描速度之積.之正 整數倍,即可消除掃描方向之正交方向上看到之2個不同 點之液滴供給位置之偏移。 本發明之薄膜形成裝置,係藉由在對象物上被覆液狀 材料而形成具備特定週期性之平面週期構造的薄膜形成裝 置;其特徵爲具有:液滴供給手段,其依據特定之驅動週 期供給液滴而使上述液狀材料可被覆於上述對象物;控制 手段’其可於上述驅動週期之每一週期控制上述液滴供給 手段之上述液滴之供給有無;掃描手段,其可使上述液滴 供給手段相對於上述對象物依特定掃描方向進行相對掃描 ;及驅動週期設定手段,其可調整、設定上述驅動週期。 依該發明’構成爲可藉由驅動週期設定手段適當設定 液滴供給手段之驅動週期,因而在不降低掃描手段之掃描 速度下可以縮小驅動週期,可以提升液滴供給位置之分解 能力。因此,在不降低生產效率下可以提升液滴供給位置 之分解能力,可以提升液滴供給位置之精確度。另外,將 上述分解能力之正整數倍設爲欲形成之平面週期構造中於 掃描方向之搆造週期,則經常可以將液滴供至構造週期中 -16- (13) (13)200426430 一定之相位位置,可以降低液滴供給位置之誤差,可以減 少薄膜形成不均勻。 本發明中較好是,上述掃描手段,係在上述液滴供給 手段相對於上述對象物依掃描方向進行相對掃描之掃描步 驟中’進行多數次使上述液滴供給手段相對於上述對象物 依和上述掃描方向交叉之前進方向前進之前進動作。 本發明中較好是,上述液滴供給手段構成爲具備包含 有供給上述液滴用之多數個噴嘴的噴嘴列,而且上述噴嘴 列之噴嘴之配列方向與上述掃描方向之交叉角度可以被調 整。 本發明中較好是,上述液滴供給手段構成爲可於,和 上述掃描方向正交之方向上所看到特定位置對應之特定噴 嘴之上述液滴之供給時序,與在和上述掃描方向正交之方 向上所看到和上述特定位置不同之另1位置對應之另一噴 嘴之上述液滴之供給時序,之間設置時間差。 本發明之彩色濾光片基板之製造方法,其具備:薄膜 形成製程,可於基板上供給液狀材料而以具備特定週期性 之平面週期圖型形成多數個濾光片單元者;其特徵爲:於 上述薄膜形成製程,係使用依據特定之驅動週期供給液滴 而使上述液狀材料可被覆於上述對象物的液滴供給手段; 依據欲形成於上述對象物之上述平面週期圖型之週期性, 於上述驅動週期之每一週期控制上述液滴供給手段之上述 攸滴之供給有無;使上述液滴供給手段相對於上述對象物 依特定掃描方向、以特定掃描速度進行相對掃描之同時, (14) (14)200426430 藉由上述液滴供給手段之控制而供給上述液滴;上述驅動 週期與上述掃描速度之積之正整數倍,係設定成爲欲形成 之上述平面週期圖型之於上述掃描方向之構造週期而進行 薄膜形成。 本發明中較好是,在上述液滴供給手段相對於上述對 象物依掃描方向進行相對掃描之掃描步驟中,進行多數次 使上述液滴供給手段相對於上述對象物依和上述掃描方向 交叉之前進方向前進之前進動作。 本發明中較好是,於上述液滴供給手段設置包含有供 給上述液滴用之多數個噴嘴的噴嘴列;在和上述掃描方向 正交之方向所看到上述噴嘴列之噴嘴之配列週期,被設定 爲在和欲形成之上述平面週期圖型之上述掃描方向正交之 方向所看到之構造週期對應之狀態下,使上述液滴供給手 段相對於上述對象物依上述掃描方向進行相對掃描。 本發明中較好是,將在和上述掃描方向正交之方向所 看到特定位置之上述平面週期圖型之上述掃描方向之週期 性,與在和上述掃描方向正交之方向所看到和上述特定位 置不同之另一位置之上述平面週期圖型之上述掃描方向之 週期性,之間之相位差,與相當於上述特定位置之特定噴 嘴,與對應於上述另一位置之另一噴嘴間在上述掃描方向 所看到位置偏移量,之間之差設定爲〇、或上述驅動週期 與上述掃描速度之積之正整數倍而進行薄膜形成者。 本發明中較好是,在和上述掃描方向正交之方向所看 到特定位置之某一特定噴嘴之上述液滴之供給時序,與在 -18- (15) (15)200426430 和上述掃描方向正交之方向所看到和上述特定位置不同之 另一位置之另一噴嘴之上述液滴之供給時序,之間設置時 間差,將上述特定位置之上述平面週期圖型之上述掃描方 向之週期性以及上述另一位置之上述平面週期圖型之上述 掃描方向之週期性之間之相位差,和上述時間差以及上述 掃描速度之積’之間之差設定爲0、或上述驅動週期與上 述掃描速度之積之正整數倍而進行薄膜形成者。 本發明中較好是,上述平面週期圖型係將多色之上述 濾光片單元以上述平面週期圖型施予配列而成,針對上述 濾光片單元之多數個色種之中至少i色種實施上述薄膜形 成製程者。在平面週期圖型內配置多數色之濾光片單元時 ’針對其中主少一種色適周本發明之薄g莫形成方法則可獲 得極大效果。 本發明中較好是’針對上述濾光片單元之中之聲色之 上述濾光片單元實施上述薄膜形成製程。特別是藍色爐光 片單元中’濾光片單元之濃淡(光學濃度)最顯著,因而藍 色濾光片單元之薄膜形成時使用本發明則可以最有效減少 色不均勻。 本發明之電激發光裝置用基板之製造方法,其具備: 薄膜形成製程,可於基板上供給液狀材料而以具備特定週 期性之平面週期圖型形成多數個畫素區域者;其特徵爲: 於上述溥膜形成製程’係使用依據特定之驅動週期供給液 滴而使上述液狀材料可被覆於上述對象物的液滴供給手段 ;依據欲形成於上述對象物之上述平面週期圖型之週期性 ~ 19 ~ (16) (16)200426430 ,於上述驅動週期之每一週期控制上述液滴供給手段之上 述液滴之供給有無;使上述液滴供給手段相對於上述對象 物依特定掃描方向、以特定掃描速度進行相對掃描之同時 ,藉由上述液滴供給手段之控制而供給上述液滴;上述驅 動週期與上述掃描速度之積之正整數倍,係設定成爲欲形 成於上述對象物之上述平面週期圖型之於上述掃描方向之 構造週期而進行薄膜形成。 本發明中較好是,在上述液滴供給手段相對於上述對 象物依掃描方向進行相對掃描之掃描步驟中,進行多數次 使上述液滴供給手段相對於上述對象物依和上述掃描方向 交叉之前進方向前進之前進動作。 本發明中較好是,於上述液滴供給手段設置包含有供 給上述液滴用之多數個噴嘴的噴嘴列;在和上述掃描方向 正交之方向所看到上述噴嘴列之噴嘴之配列週期,被設定 爲在和欲形成之上述平面週期圖型之上述掃描方向正交之 方向所看到之構造週期對應之狀態下,使上述液滴供給手 段相對於上述對象物依上述掃描方向進行相對掃描。 本發明中較好是,將於和欲形成於上述對象物之上述 平面週期圖型之上述掃描方向正交之方向所看到特定位置 之上述掃描方向之週期性,與在和上述掃描方向正交之方 向所看到和上述特定位置不同之另一位置之上述掃描方向 之週期性,之間之相位差,與相當於上述特定位置之特定 噴嘴,與對應於上述另一位置之另一噴嘴間在上述掃描方 向所看到位置偏移量,之間之差設定爲〇、或上述驅動週 -20- (17) (17)200426430 期與上述掃描速度之積之正整數倍而進行薄膜形成者。 本發明中較好是,在和上述掃描方向正交之方向所看 到特定位置之某一特定噴嘴之上述液滴之供給時序,與在 和上述掃描方向正交之方向所看到和上述特定位置不同之 另一位置之另一噴嘴之上述液滴之供給時序,之間設置時 間差’將上述特定位置之上述掃描方向所看到上述平面週 期圖型之週期性以及上述另一位置之上述掃描方向所看到 上述平面週期圖型之週期性之間之相位差,和上述時間差 以及上述掃描速度之積,之間之差設定爲〇、或上述驅動 週期與上述掃描速度之積之正整數倍而進行薄膜形成者。 本發明中較好是,上述平面週期圖型係將多色之上述 晝素區域以特定之配列圖型施予,配列而成,針對上述畫素 區域之多數個色種之中至少1色種實施上述薄膜形成製程 。於平面週期圖型內配列多數色之畫素區域時對其中至少 1色實施本發明之薄膜形成方法則可以獲得極大效果。 本發明中較好是,針對上述畫素區域之中之藍色之上 述畫素區域實施上述薄膜形成製程。特別是藍色畫素區域 之亮度強弱最顯著,因而於藍色衋素區液之薄膜形成時使 用本發明則可以最有效減少色不均勻。 本發明之顯示裝置之製造方法,其特徵爲:使用上述 任一薄膜形成方法形成以上述平面週期構造施予配列之多 數個畫素者。 本發明之顯示裝置之製造方法,其特徵爲:使用上述 任一製造方法形成彩色濾光片基板。 -21 - (18) (18)200426430 本發明另一顯示裝置之製造方法,其特徵爲:使用上 述任一製造方法形成電激發光裝置用基板。 本發明之顯示裝置,其特徵爲:使用上述顯示裝置之 製造方法形成者。依此則,可以減少薄膜形成製程所引起 之薄膜形成不均勻,可以構成高品位之顯示裝置。特別是 於上述掃描方向被配類之畫素列中,和習知技術比較,畫 素間之薄膜構造之誤差可以大幅減少,因此可以減少色不 均勻或亮度不均勻,和習知技術比較可以獲得光學均一特 性大幅提升之顯示裝置。 本發明之電子機器,其特徵爲:具備:上述顯示裝置 ,及控制該顯示裝置之控制手段。本發明之電子機器並未 有特別限制,可爲例如行動電話等之攜帶型資訊終端機、 攜帶型個人電腦、電子手錶等之攜帶型電子機器〜 【實施方式】 以下參照圖面說明本發明薄膜形成方法、薄膜形成裝 置、彩色濾光片基板之製造方法及製造裝置、電激發光裝 置用基板之製造方法及製造裝置、顯示裝置之製造方法、 顯示裝置、以及電子機器之實施形態。 (薄膜形成方法及薄膜形成裝置之基本構成) 首先,說明本發明之薄膜形成方法及薄膜形成裝置之 實施形態之基本構成。如圖1 5所示,該實施形態之薄膜形 成裝置(液滴噴出裝置)1 6具有:噴頭單元26,其具有印表 -22- (19) (19)200426430 機等使用之液滴噴頭(液滴供給頭)22 ;噴頭位置控制裝置 1 7,用於控制液滴噴頭2 2之位置、亦即液滴位置;基板位 置控制裝置1 8,用於控制對象物(例如母基板1 2)之位置; 作爲掃描驅動手段的掃描驅動裝置1 9,用於使液滴噴頭2 2 相對於對象物(例如母基板1 2)依掃描方向X進行掃描移動 ;前進驅動裝置2 1,用於使液滴噴頭2 2相對於對象物(例 如母基板1 2)依和掃描方向正交之前進方向γ前進;基板 供給裝置2 3,用於將對象物(例如母基板1 2)供至薄膜形成 裝置1 6內之特定作業位置;及控制裝置24,用於控制薄膜 形成裝置16之全體。 噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置18、掃描驅 動裝置19及前進驅動裝置21·之各裝置被設置於基台9上, 又,必要時可用覆蓋1 4蓋住彼等各裝置。 如圖1 7所示,液滴噴頭2 2具有由多數個噴嘴2 7配列而 成之噴嘴列2 8。噴嘴2 7之數目例如爲1 8 〇,噴嘴2 7之孔徑 例如爲28 // m,噴嘴27之間距t例如爲141 μ m。圖17之基 準方向S表示液滴噴頭22之標準掃描方向,配列方向丁表 示噴嘴列2 8中噴嘴2 7之配列方向。 如圖1 9(a)、(b)7所示,液滴噴頭22具有:不銹鋼等構 成之噴嘴板2 9 ;與其呈對向配置之振動板3 1;及將彼等互 相接合的多數個隔間構件3 2。噴嘴板2 9與振動板3 1之間藉 由隔間構件3 2形成多數個材料室33及溶液貯存槽34。彼等 之材料室3 3與溶液貯存槽3 4介由通路3 8互相連通。 於振動板3 1之適當位置形成材料供給孔3 6。該材料供 -23- (20) (20)200426430 給孔3 6連接材料供給裝置3 7。材料供給裝置3 7,例如形成 彩色爐光片時’係將R (紅)、G (綠)、b (藍)之中 1色、例如R色濾光片單兀材料構成之液狀材料m供至材 料供給孔3 6。如此被供給之液狀材料M被塡充於溶液貯存 槽3 4之後’經由通路3 8天2衝於材料室3 3。 於噴嘴板29設置暖嘴27可由材料室33以噴射狀噴出液 狀材料Μ。又’於面對振動板3〗之材料室3 3之面之背面, 和該材料室3 3對應地安裝材料加壓體3 9。 如圖1 9 (b)所示,材料加壓體3 9具有壓電元件4 i及挾 持其之一對電極42a及42b。藉由電極42a及42b之通電使 壓電元件4 1朝箭頭C所示外側突出而彎曲變形,依此則材 料室3 3之容積增大。如此則,和增大之容積部分相當之液 狀材料Μ將由溶液貯存槽3 4經由通路3 8流入材料室3 3。 之後,解除對壓電元件4 1之通電時,該壓電元件4 1與 振動板3 1同時回復原來形狀,如此則,材料室3 3亦回復原 來容積,材料室3 3內部之液狀材料Μ之壓力上升,液狀材 料Μ成爲液滴82由噴嘴27噴出。又,於噴嘴27周邊部設置 例如N i -四氟乙烯共析電鍍層構成之撥液層43,用於防 止液滴8之飛行彎曲或噴嘴2 7之噴孔堵塞等。 以下參照圖1 6說明上述液滴噴頭2 2周圍配置之噴頭位 置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、掃描驅動裝置I 9、 前進驅動裝置2 1及其他手段。噴頭位置控制裝置1 7具有: α馬達4 4,可使噴頭單元2 6上安裝之液滴噴頭2 2於水平面 內旋轉;/S馬達4 6,可使液滴噴頭2 2於和前進方向Υ平行 -24- (21) (21)200426430 之軸線周圍搖動旋轉;7馬達,可使液滴噴頭22於和掃描 方向X平行之軸線周圍搖動旋轉;及Z馬達4 8,可使液滴 噴頭2 2於上下方向平行移動。 基板位置控制裝置1 8具有:載置對象物(例如母基板 12)的載置台49 ;及使該載置台49於水平面內旋轉的0馬 達5 1。掃描驅動裝置1 9具有:朝掃描方向X延伸之.X導軌 52,及內藏有例如脈衝驅動之線性馬達的X滑動器53。 該X滑動器5 3,藉由例如內藏之線性馬達之動作可沿 X導軌5 2平彳了移動於掃描方向X。 前進驅動裝置1 9具有:朝前進方向Y延伸之Y導軌5 4 ’及內藏有例如脈衝驅動之線性馬達的Y滑動器5 6。 該Y滑動器5 6,藉由例如內藏之線性馬達之動作可沿 Y導軌5 4平行移動於前進方向γ。 於X滑動器5 3或Y滑動器5 6內,脈衝驅動之線性馬達 藉由供至該馬達之脈衝信號可精確地進行輸出軸之旋轉角 度控制。因此,X滑動器53支持之液滴噴頭22之於掃描方 向X上之位置或載置台49之於前進方向Y上之位置可以高 精確地進行控制。又,液滴噴頭22或載置台49之位置控制 不限於使用脈衝馬達之位置控制,亦可以使用伺服馬達之 回授控制或其他任意方法予以實現。 於載置台49設有以銷等構成之定位手段50用於界定對 象物(母基板1 2 )之平面位置。對象物(母基板1 2),係藉由 後述基板供給裝置2 3以掃描方向X測及前進方向Y端面觸 接於定位手段50之狀態被定位、保持。於載置台49較好是 -25- (22) (22)200426430 設置例如真空吸附等習知固定手段用於固定被保持於上述 定位狀態下之對象物(母基板1 2)。 再度說明圖1 5,圖1 5之基板供給裝置2 3具有··收納對 象物(母基板I 2 )的基板收納部5 7,及搬送對象物(母基板 1 2 )之機器人等之基板移載機構5 8。基板移載機構5 8具有 :基台5 9,對基台5 9昇降移動的昇降軸6 1,以昇降軸6 1爲 中心旋轉的第1臂部6 2,對第1臂部6 2進行旋轉/的第2臂部 6 3,及設於第2臂部6 3之前端下面的吸附墊6 4。該吸附墊 64可使用真空吸附將對象物(母基板12)予以吸附、保持。 如圖1 5所示,於液滴噴頭2 2之掃描軌跡下,於前進驅 動裝置2 1之一側端位置配設帽蓋裝置7 6及淸洗裝置7 7。於 前進驅動裝置2 1之另一側端位置配設; 電子天秤78。帽蓋裝置76爲,當液滴噴頭22處於待機 狀態時可以防止噴嘴2 7 (參照圖1 7 )之乾燥之裝置。淸洗裝 置7 7爲淸洗液滴噴頭2 2之裝置。電子天秤7 8爲依據每一噴 嘴測定由液滴噴頭2 2內之各個噴嘴2 7噴出之液滴8之重量 的裝置。於液滴噴頭2 2附近安裝有和液滴噴頭2 2 —體移動 之噴頭用攝影機8】。 圖1 5之控制裝置24具有:收納處理器的電腦本體部66 ,鍵盤等之輸入裝置6 7,及C R 丁等顯示裝置6 8。於電腦 本體部66具備_ 2〇所示C p u (中央處理單元)69,及記憶 各種資訊的記憶體之資訊記錄媒體7 }。 用於驅動上述噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝 置]8、掃描驅動裝置]9、前進驅動裝置2〗及液滴噴頭22內 -26 (23) (23)200426430 之壓電元件41(參照圖19(b))的噴頭驅動電路72之各機器’ 如圖20所示,係介由輸出入介面73及74連接於C P U69。 另外,基板供給裝置2 3、輸入裝置6 7、顯示裝置6 8 .、帽蓋 裝置7 6、淸洗裝置7 7及電子天秤7 8亦同樣介由輸出入介面 73及74連接於c P U 69。 作爲資訊記錄媒體7 1之記憶體爲包含R A Μ (隨機存 取記憶體)、R 〇 Μ (唯讀記憶體)等半導體記憶體或硬碟 、C D 一 R〇Μ讀取裝置、碟片型記錄媒體等外部記憶裝 置之槪念,功能上設有:記憶區域,用於記憶薄膜形成裝 置1 6之動作控制程式軟體;記憶區域用於記憶液滴噴頭2 2 對於對象物(母基板1 2)之液滴之供給位置作爲座標資料; 記憶區域,闱於記憶圖1 6所示在前進方向Υ之.對象物(母 基板1 2)之前進移動量;記憶區域’用於記憶C P U 6 9之 工作區域或作爲暫時檔案等之功能區域;及其他各種記憶 區域。 C Ρ u 69,係依資訊記錄媒體7 1之記憶體內記憶之程 式,逕行將液滴供給至(噴出)對象物(母基板12)表面特定 位置之控制。具體之功能實現部有如圖20所示,具有:進 行運算以實現淸洗處理的淸洗運算部;逕行帽蓋處理的帽 蓋運算部;使用電子天秤7 8實現重量測定之運算的重量測 定運算部;及藉由液滴噴出使液狀材料被覆於對象物(母 基板1 2)表面上,以特定圖型施予描繪的描繪運算部6 9 0。 於描繪運算部690設有以下各種功能運算部:描繪開 始位置運算部,用於設置液滴噴頭2 2之描繪之初期位置; -27- (24) (24)200426430 掃描控制運算部,進行使液滴噴頭2 2以特定速度朝掃描方 向X掃描移動之控制運算;前進控制運算部,進行對象物 (母基板12)朝前進方向Y僅移動特定前進移動量之控制運 算;及噴嘴噴出控制運算部,進行運算以控制液滴噴頭22 中之多數個噴嘴2 7之中任一之動作使噴出液滴。 又,上述實施形態中,上述各功能係使用C P U 69之 程式軟體予以實現,但是上述各功能可藉由不使用C P U 之電子電路實現時,亦可以使用此種電子電路。 以下依圖2 1之流程圖說明上述構成之薄膜形成裝置1 6 之動作。藉由作業員之電源投入使薄膜形成裝置1 6動作, 最初於步驟S 1實現初期設定。具體言之爲,噴頭單元26 '基板供給裝置23或控制裝置2.4臂設爲預定之初期狀態。 之後,當重量測定時序到來(步騾S 2)時’藉由掃描 驅動裝置1 9將圖1 6之噴頭單元2 6移至圖I 5所示電子天秤7 8 之處(步驟S 3 )。之後,使用電子天秤7 8測定噴嘴.2 7噴出 之液滴量(步驟S 4)。依據如此測定之噴嘴27之材料噴出 特性來調節各噴嘴27之壓電元件4 1上施加之電壓(步驟S 5)。 之後,淸洗處理時序到來(步驟S 6)時’藉由掃描驅 動裝置1 9使噴頭單元2 6移至淸洗裝置7 7之處(步驟S 7), 藉由淸洗裝置7 7進行液滴噴頭2 2之淸洗處理(步驟S 8 )。 當重量測定時序或淸洗處理時序未到來時,或者重量 測定或淸洗處理終了時,於步驟S 9使圖1 5之基板供給裝 置2 3動作將對象物(母基板1 2)供至載置台4 9。具體言之爲 -28- (25) (25)200426430 ,藉由吸附墊6 4吸附、保持封裝樹脂5 7內之對象物(母基 板1 2 ),移動昇降軸6 1、第1臂部6 2及第2臂部6 3將對象物( 母基板12)搬送至載置台49,再將其壓接於載置台49之適 當惡意上預設之定位手段5 0 (爹照圖1 6)。爲防止載置台4 9 上之對象物(母基板1 2)之位置偏移,較好是藉由真空吸附 等手段將對象物(母基板12)固定於載置台49。 之後,以微小角度單位旋轉Θ馬達5 1之輸出軸,使載 置台4 9於水平面內旋轉,Η巧對象物(母基板1 2 )定位(步 驟S 1 〇)。之後,藉由圖1 5之噴頭用攝影機8 1觀察對象物( 母基板]2 ),藉由運算決定液滴噴頭22之描繪開始位置(步 驟S ] 1 )。適當地動作掃描驅動裝置} 9及前進驅動裝置2 ] ’使液滴噴頭22移至描繪開始位置(步驟S 12)。 此時,液滴噴頭2 2成爲圖1 7之基準方向s與掃描方向 X —致之姿勢亦可,或者如圖29(b)所示,基準方向s對 於掃描方向X傾斜特定傾斜角度之姿勢亦可。該傾斜角度 ’係因爲大多情況下噴嘴2 7之間距,與對象物(母基板1 2) 衣面上液滴應被覆之位置之間距不同,當液滴噴頭2 2往掃 油刀向X移動時,爲使配列方向T上配列之噴嘴2 7之間距 之於前進方向Y之尺寸成份,和對象物(母基板」2)之於前 進方向Y之被覆位置之間距呈現幾何學上相等而採取之措 施。 於圖2 ]所示步驟S 1 2,當液滴噴頭2 2被載置於描繪開 始位置時,於步驟S ] 3,液滴噴頭22於掃描方向χ以一定 速度直線進行掃描移動。於該掃描中,液滴由液滴噴頭22 -29- 200426430 之噴嘴2 7連續被噴出至對象物(母基板1 2 )表面上。 又’此時之液滴噴出量,可設爲一次掃描時液滴噴頭 2 2能涵蓋之噴出範圍內全量噴出,但是例如後述般,構成 爲一次掃描而噴出本來應噴出量之數分之一(例如4分之一 )之液狀材料,以多數次掃描液滴噴頭2 2之情況下,將該 掃描範圍設爲與前進方向γ —部分重疊,於全部區域進行 數次(例如4次)液狀材料之噴出亦可。 當對象物(母基板1 2)之一行分掃描終了時(步驟s i 4) ’液滴噴頭22反轉移動而回至初期位置(步驟s 15).,於前 進方向Y移動特定量(設定之前進移動量)(步驟s 16)。此 時,於步驟S 1 3再度進行掃描,液狀材料被噴出,之後重 複進行上述動作,對多數行進行掃描。當1行分之掃描終 了後,於前進方向Y移動特定量、反轉,進行逆向掃描, 亦即交互反轉方向進行掃描亦可。 於此’如後述說明般,於母基板〗2內形成多數個彩色 一列分之全
當作業貝指示作業終了(步驟s 1 (步驟S 2 1)時,c P U 6 9將液 濾光片時,針對母基板〗2內之彩色濾光片區域 部濾光片單元材料噴出完了(步驟S 17)時’液 則進方向\移動特定量,再度和上述同樣地重 或另一搬出機構將處理後之母基 於作業員沒有指示作業終了時, 板12之供給及液滴之噴出作業。 -30- (27) (27)200426430 滴噴頭2 2搬送至圖1 5之帽蓋裝置7 6之處,藉由該帽蓋裝置 7 6對液滴噴頭22施予帽蓋處理(步驟s 22)。 上述構成之薄膜形成裝置16中,可使液滴噴頭22於掃 描方向X掃描之同時,連續噴出液狀材料液滴,藉由朝前 進方向Y之移動(前進動作)重複進行該掃描,於對象物( 母基板12)表面之特定區域上以平面被覆液狀材料而形成 薄膜。 但是,一般而言構成液滴噴頭22之噴嘴列2 8的多數個 噴嘴2 7之噴出量相互間不一定相同,特別是位於噴嘴列2 8 雨端部之數個(例如各10個)噴嘴27zh噴出量有便多之傾 向。使用噴出量和其他噴嘴2 7比較爲較多之噴嘴2 7,藉由 液狀材料噴出而形成之膜厚較難形成均勻。因此,例如較 好是將形成噴嘴列28之多數個噴嘴27之中位於噴嘴列28兩 端部E之數個、例如大約1 0個預設爲不噴出液狀材料者, 僅使用位於其餘部分之噴嘴27。 另外,不以液滴噴頭2 2噴出之液滴之一滴於特定區域 進行薄膜形成,而是使用多數個液滴進行薄膜形成,依此 則可以減少形成之膜厚之誤差。亦即’依多數區域之各個 進行薄膜形成時,即使各個液滴之量存在某一程度誤差時 ,藉由多數個液滴進行1個區域之薄膜形成,因此可以減 少各區域形成之膜厚誤差。 液滴噴頭2 2之構造不限於上述,可以爲各種構造。例 如,圖1 8之液滴噴頭2 2 A具備配置於基準方向S之2列噴 嘴列2 8、2 8。彼等之任一噴嘴列2 8亦和上述同樣具有多數 -31 - (28) (28)200426430 個噴嘴2 7。又’圖2 2之液滴噴頭2 2 B具備配置於基準方向 s之3列噴嘴列2 8 R、2 8 G、2 8 B。彼等之任一噴嘴列2 8 亦和上述同樣具有多數個噴嘴2 7。於彼等之任一液滴噴頭 ? 2 A、2 2 B中由各噴嘴列2 8之噴嘴2 7溫出之液滴材料可爲 相同、或互異。例如圖1 8之液滴噴頭2 2 A構成爲可由2個 噴嘴列2 8之任〜列噴嘴2 7噴出同一液狀材料,圖2 2之液滴 噴頭22 B構成爲可由各噴嘴列28 R、28 G、28 B之噴嘴27 噴出不同液狀材料、例如後述之濾光片單元材料1 3 R、] 3 G 、1 3 B 。 (薄膜形成方法及薄膜形成裝置之詳細構成) 以下說明使用上述構成之薄膜形成裝置進行之薄膜形 成方法中;本發明之薄膜形成方法及薄膜形成裝置之特徵 點。又,以下說明中,不直接對應上述薄膜形成方法及萍 膜形成裝置之更具體構成,而僅以對應一般構成之表現予 以記述。因此,本實施形態之構成可作爲一般構成予以理 解,也可以作爲適用上述圖1 5〜22所示具體之薄膜形成方 法及薄膜形成裝置予以理解。 圖1爲本實施形態之薄膜形成方法及薄膜形成裝置之 原理說明圖。首先,基板等之對象物〗被配置,對該對免 物1表面供給液滴4a之液滴供給手段2(對應上述液滴噴頭 22)被呈對向配置。液滴供給手段2相對於對象物1可朝掃 描方向X進行相對掃描。圖中表示對象物]以掃描速度v X朝掃描方向X移動,但是反之移動液滴供給手段2亦可 -32- (29) (29)200426430 ,或者移動對象物1與液滴供給手段2燒方亦可。又’圖中 以掃描方向X之正方向設爲對象物1之移動方向’但亦可 設爲液滴供給手段2之相對移動方向。不論哪一種情況下 ,只需將下述各種參數(δ X、5 d)之符號全部統一於任一 方向即可。 又,液滴供給手段2係由驅動手段3輸出之驅動信號驅 動。驅動手段3可由例如輸出驅動信號3 a之適當之驅動電 路構成,驅動手段3輸出之驅動信號3 a爲具備驅動週期T d(驅動頻率F d之倒數)之週期信號。但是,該驅動信號 3 a,係使用1個驅動週期T d之驅動波形由液滴供給手段2 之噴嘴2a噴出1個液滴4a,將液狀材料2b供至對象物1表 面上,因此連續噴出液滴4a時於驅J力週期T d重複出現 特定之驅動波形,但於某一期間不必噴出液滴4a.時,在 和該期間相當之驅動信號3 a之特定驅動週期T d不出現 驅動波形。亦即,驅動手段3構成爲可以控制是否於驅動 信號之每一驅動週期T d形成驅動波形用於驅動液滴供給 手段2 〇 藉由驅動信號3 a可使液滴供給手段2於上述每一驅動 週期T d噴出液滴4a。因此,對象物1與液滴供給手段2以 相對之掃描速度V X掃描時,對象物1表面上之液滴供給 位置之分解能力R X,成爲驅動週期T d與掃描速度V X 之積。亦即,R X = T d X V X。該分解能力R X爲液滴供 給手段2於掃描方向X連續噴出液滴4a時之液滴供給位置 之最小間隔。 -33- (30) (30)200426430 圖2爲對象物1表面上配列之平面週期構造1 P ,和配 合該平面週期構造1 P被供給之液狀材料4b間之關係平面 圖。平面週期構造1 P爲,液滴供給手段2供給之液滴4a 被被覆、配置之液狀材料4b所應形成之構造,例如圖2之 例中爲,在對象物1表面上具有縱橫各隔開間隔而配置之 區域P的週期構造。於該構造中表示,區域P於圖示縱向 之掃描方向X以及圖示橫向之前進方向Y之任一以大略均 等間隔配類之例。以下假設該平面週期構造1 p於掃描方 向X之構造週期爲D X,於前進方向Y之構造週期爲D y 。又,圖示例中,掃描方向X與前進方向Y爲正交,但掃 描方向X與前進方向Y不一定正交,相互交叉之方向亦可 。又,該平面週期構造1 P爲,在和掃描方向X正交之方 向之前進方向Y看到之不同之2個位置上之2個區域P之列 γ 1〜Y 5之間,在相互之掃描方向X之週期性不存在相位 差之圖型。 欲構成上述平面週期構造1 P時,朝對象物1表面上虛 設之區域P分別噴出液滴4 a,於該區域p內配置液狀材料 4 b。此時,本實施形態中,分解能力R x (= T d X V X)之 正整數倍設定爲應形成之平面週期構造1 P之於掃描方向 X之構造週期D X。亦即,D n X R x(n爲正整數)。依 此則如圖1所示,使液滴供給手段2相對對象物1沿著掃描 方向X掃描而噴出液滴4 a時,如圖2所示,區域P內之液 狀材料4 b之配置,可以設爲在掃描方向X配類之多數個 區域P間相互對應之位置。例如,圖式例般’於某一區域 -34- (31) (31)200426430 p I液狀材料4b被配置於區域p之大略中心部時,於其 他區域P ,液狀材料4 b亦可被配置於其之大略中心部。 因此,在掃描方向X配列之多數個區域p間之液狀材料# Z配置占差可以減少’薄膜形成不均勻現象可以減少。 此時如Η中一點虛線所不假設液滴供給手段2僅具 有單一噴嘴2a,例如使圖2所示區域Ρ之列Υ 2朝掃描方向 X掃描噴出液滴4a而配置液狀材料#之後,於圖示前進 方向Y使液滴供給手段2僅進行該携造週期D y部分之前 進動作,之後,於不同區域P之列γ 3,進行和上述同樣 之掃描而噴出液滴4 a,配置液狀材料4 b。之後,重複同樣 動作針對掃描方向X配列之列Y 4、Y 5依序配置液滴。依 此則可形成縱橫具有週期性之平面週期構造1 P 1 但是,液滴供給手段2不必具有單一噴嘴2a之構成, 亦可以具有多數個噴嘴2a之構成。例如,圖示之液滴供 給手段2’,其之多數個噴嘴2a沿配列方向2b被配類。此 情況下,只要噴嘴2a之配列週期與由掃描方向X之交叉 方向看到之平面週期構造1 P之構造週期一致,則可藉由 多數個噴嘴2a對多數列Y1〜Y 5進行一次之液狀材料配置 。圖示例之構成爲,在和掃描方向X正交之前進方向Y, 與液滴供給手段2 5之噴嘴2a之配列方向2b——致之狀態下 ’使前進方向Y看到之平面週期構造1P之構造週期D y 與噴嘴2 a之配列週期一致之構成。此情況下,液滴供給 手段2 5之噴嘴2 a之噴出,不僅在掃描方向X上配列之區域 P間,就連前進方向Y配列之區域P間之液狀材料4b之 -35- (32) (32)200426430 配置誤差均可以消除。如上述即使使用具有多數個噴嘴之 液滴供給手段2 ’時,和上述液滴供給手段2同樣地,可將 前進方向Y之前進動作夾於其間而實施多數次掃描步驟。 另外’於各區域P內供給多數個液滴而形成平面週期構造 1 P時’使具有多數個噴嘴之液滴供給手段2,於前進方向 僅前進較噴嘴數少之列(例如i列)之前進動作挾持於其間 而依序重複掃描步驟。依此則可以減少多數個噴嘴間液狀 材料噴出量誤差引起之薄膜形成不均勻。 圖3表示,使用和上述不同之液滴供給手段2 ”時,與 對象物1應形成之平面週期構造1 P之關係平面圖。.於液滴 供給手段2”,多數個噴嘴2a被配列於配列方向2b。於此 ,假設彼等噴嘴2 a之間隔爲N p。又,假設平面週期構造 1 P於掃描方向X之構造週期爲D X,於前進方向.γ之構 造週期爲D y。此例中,與掃描方向X正交之前進方向Y 上看到之構造週期D y,與液滴供給手段2 ”之噴嘴間隔N p爲不同。因此,藉由使液滴供給手段2 ”之噴嘴2 a之配列 方向2b相對於前進方向Y傾斜傾斜角度Θ,依此則噴嘴 2a於前進方向Y看到之將額(N P · cos Θ )可以和構造週期 D y —致· 於上述姿勢使液滴供給手段2 ”沿掃描方向x掃描而噴 出液滴時,液滴供給位置’於前進方向Y成爲和平面週期 構造1 ρ之週期性一致·但是’使噴嘴2 a之配列方向2 b對 前進方向Y傾斜時,鄰接噴嘴2 a間產生掃描方向X之位 置偏移量(5 X, -36- (33) (33)200426430 5χ= Np.sin(9 = Dy.tan<9〇 該位置偏移量6 x受到欲使液滴供給手段2 n之噴嘴將 額與前進方向Y之構造週期D y —致而設定之上述傾斜角 度0之影響,因此一般不限於和上述分解能力R X (參照 圖1 )之正整數倍一致。因此,於液滴供給手段2 "之多數個 噴嘴2a可以同時噴出液滴之構成時(例如以共通驅動信號 使全部噴嘴動作之構成)’例如於圖示掃描方向X配列之 區域P之列Y 3使液滴噴出而使液狀材料4b配置於中心部 ,則該列Y 3以外之列Y 1、Y 2、Y 4、Y 5如圖中一點虛 線所示,液狀材料被配置於自區域P之中心部偏移之位置 。更具體言之爲,於和列Y 3鄰接之列Y 2及Y 4,液滴位 置將自區域P之中心部朝掃描方向X偏移(5 X,於彼等列 之更相反側之列Y 1、Y 5,液滴位置將自區域P之中心部 朝掃描方向X偏移2 δ X。亦即,噴嘴2 a以等間隔配列時 ,各噴嘴間於掃描方向X之位置偏移量成爲i 5 x(i爲正整 數)。 例如,圖示例之情況下,本來於符號2a(4),之位置存 在噴嘴時不會有問題,但實際上噴嘴2a(4))相對於噴嘴 2a(3)於掃描方向χ偏移δ χ。因此,噴嘴23(3)與2a(4)同 時噴出液滴時,液滴供給位置亦於掃描方向X偏移(5 X。 實際上使用圖1之驅動手段3,使類Y 3對應之噴嘴 2 a (3)進行液滴供給之驅動週期,與其他類對應之噴嘴2a 進行液滴供給之驅動週期,依據其之位置偏移量6 X、2 (5 X變化,則液狀材料於掃描方向X之位置偏移量可以設爲 -37- (34) (34)200426430 小於(5 x。但是如上述說明,只要δ x非分解能力R x之 正整數倍,則前進方向Y配列之區域P間之液狀材料4b 之配置之於掃描方向X之位置偏移無法完全消除。因此, 此情況下,於前進方向Y產生週期性之液狀材料偏移,因 此於前進方向Y產生條紋狀薄膜不均勻現象(彩色濾光片 或發光體時爲色不均勻或亮度不均勻等)。 爲補償上述位置偏移量5 X、2 3 X可使噴嘴2 a之位置 朝掃描方向X偏移。例如,圖4所示,考慮列Y 1對應之之 噴嘴2a(l)、列γ 2對應之之噴嘴2a(2),列Y 3對應之之噴 嘴2a(3時),噴嘴2a(l)與噴嘴2a(2)間於掃描方向X存在位 置偏移量ό X,噴嘴2a(l)與噴嘴2a(3)間於掃描方向X存在 位置偏移量2 5 X。此時,使噴嘴2a(2)及噴嘴2a(3)之位置 ’於掃描方向X (圖示上下方向)相反地修正和上述位置偏 移相當之量,依此則可以消除噴嘴之位置偏移引起之液滴 供給位置偏移。 但是,上述液滴供給手段2之噴嘴位置修正量爲傾斜 角度Θ對應之距離(5 X = N P . s i η (9,設置多數個噴嘴時 ,互相隔離之位置上之噴嘴修正量將變爲很大,能夠無障 礙地接受如此大幅修正量之上述材料室之構成一般而言很 困難。因此,爲降低該修正量可考慮以下方法,亦即,噴 嘴2 a之位置修正量,並非上述d χ,而是該θ %以分解能 力R χ除後之正整數商ηι被抽出後之餘數、或者由分解 能力R X減去該餘數而得之値(以下稱「餘數値」)S (5 x—m· R x(m爲正整數),或者2 5x—m· r x之方法。 -38- (35) (35)200426430 此情況下,正整數m爲(m — 1 ) · R χ < 6 χ < m . R χ ,或 m· R x< (5x<(m+l)· R x(或者(m— 1)· R x<2(5x< R x,或 ni· R x<2(5x<(m+l). R x)成立之正整 數。依此則可以大幅減少噴嘴2 a之位置修正量。上述構 成時液滴供給手段2 ”之多數個噴嘴2 a需互爲獨立控制。 例如圖5所示,可考慮於液滴供給手段2 "設置分別具有各 噴嘴2 a之獨立之多數個液滴供給構造2 A。該獨立之液滴 供給構造2 A,可以分別接受驅動手段3之驅動信號3 a,藉 由互爲獨立之驅動波形噴出液滴。多數個液滴供給構造2 A對應之之多數個驅動信號3 a爲,以互相同步之共通驅 動週期被傳送之驅動波形者,但是彼等驅動波形亦可依多 數個驅動信號3 a之每一個而設爲不同。因此,多數個噴 嘴2 a之每一個可獨立地選擇於任一驅動週期噴出液滴, 於任一驅動週期不噴出液滴。 又,噴嘴2a之位置修正態樣可以考慮,如圖6(a)所示 液滴供給手段2 P,或者對噴嘴2 a (0 ),使其兩側之噴嘴2a ( + 1 )及2a( — 1 )相對於本來之噴嘴位置朝和噴嘴配列方向2b 正交方向偏移之位置’修正,最後陳爲上述最適當位置。或 者如圖6 ( b )所示,液滴供給手段2 Q,針對本來之噴嘴位 置預先算出平面週期構造1 P對應之之傾斜角度0 ,使與 配列方向2 b間之交叉角成爲傾斜角度0地進行噴嘴之位 置修正。 又,亦可以取代上述噴嘴2 a之位置修正,而考慮針 對圖4所示噴嘴2 a (1 )之液滴供給時序,使噴嘴2 a ( 2 )或噴嘴 -39· (36) (36)200426430 2 a ( 3 )之液滴供給時序延遲6 t = $ x / V x,2 (5 t = 2 ά x / V x °此情況下,對各噴嘴需獨立進行液滴噴出之控制。 此時之液滴供給手段2 ”之構成可用圖5之構成。此時,使 用上述餘數値S X,將噴嘴2 a間之液滴供給時序之差,不 設爲上述(5t、23t,而是設爲5ts= S x/V (5x— m
• R x)/ V x(或者=(26t — nl · r x)/ v x 亦可。此情況 下,正整數 ill 爲(m — 1 ) · R x < 5 x < m . R x,或 m · R x< 5x<(m+l). R x(或者(m — 1).R x<25x<m.R x,或 m · R x < 2 δ x < (m + ! ) · R x)成立之正整數。依 此則可以減少多數個噴嘴2a間之液滴供給時序之時間差 〇 圖8爲變化上述描繪運算部69〇之構成而表示‘之構成方. 塊圖。該描繪運算部690之功能實現手段具有:用於空液 滴之噴出控制全體的液滴供給控制手段691 ;被該液滴供 給控制手段69 1控制而產生具有特定驅動頻率F d(驅動週 期T d)之驅動信號的驅動信號產生手段692 ;設定該驅動 信號產生手段692之驅動頻率F d或驅動週期T d用的驅 動頻率設定手段693 ;及選擇驅動信號產生手段692所輸出 驅動信號之驅動波形的驅動波形選擇手段694。由驅動波 形選擇手段694輸出圖9(a)之特定驅動信號3a。 驅動頻率設定手段693可以設定驅動信號產生手段692 之驅動頻率F d(或驅動週期T d)。藉由該驅動頻率F d 之設定,分解能力R T dx V x可以調整爲適當値。 因此,不變更掃描速度V X之情況下亦可變更、調整分解 -40- (37) (37)200426430 能力R χ ’在不犧牲製造效率之情況下可使掃描方向χ之 液滴供給位置均一化,可提升薄膜形成之品質。 又’具有上述液滴供給控制手段6 9 1所控制之位置控 制手段69 6,該位置控制手段6 9 6用於控制使液滴供給手段 2 (相當於上述液滴噴頭2 2 )或對象物1動作之驅動機構5 (相 當於上述噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置〗8、掃 描驅動裝置1 9、前進驅動裝置2 1、噴頭驅動電路72)。 本實施形態中,爲能依圖5所示多數個噴嘴之各個供 給不同之驅動信號3 a而設驅動信號調整手段695。該驅動 信號調整手段695,係依據驅動波形選擇手段69.4輸出之驅 動波形(圖9(a)),形成僅於多數個噴嘴之每一個必要之驅 動週期具有驅動波形之各個驅動信號。彼等各個驅動信號 ’例如圖9(b)所示,爲可依每一噴嘴調整於其之任一驅動 週期T d形成驅動波形,而於任一驅動週期T d不形成驅 動波形者。又,僅需要單一驅動信號時,可以不設上述驅 動信號調整手段695 〇 如圖9(c)或(d)所示,上述驅動信號,可以設爲相對於 成爲基準之噴嘴所對應之驅動信號(a)或(b),具有上述供 給時序之時間差δ ts之相位差。可依該時間差<5 ts偏移噴 嘴間之液滴供給時序,因此於驅動週期將具有上述時間差 之多數個驅動信號施加於多數個噴嘴2a上分別設置之液 滴供給構造2 A即可依據上述原理抑制前進方向Y之區域 P間之液滴供給位置之誤差。 (38) (38)200426430 (實施形態) 以下說明上述說明對應之更具體實施形態。圖7爲所 謂△形配列之平面週期圖型(彩色圖型)1 P ’。該平面週期 圖型1 P ’之具體例有例如後述彩色濾光片之濾光片單元 之配列圖型或E L裝置等之發光區域之配列圖型。於該平 面週期圖型1 P ’內配列之多數個區域P形成多數種類之 色要素R、G、B之任一。平面週期圖型1 P ’之於掃描 方向X看到之構造週期存在有:全部色要素R、G、B .之 區域P以同一構造單位看時之構造小週期dx,及色要素 R、G、B之各個以個別之構造單位看時之構造大週期d X。另外,同樣地平面週期圖型1 P ’之於前進方向Y看到 之構造週期存在有:全部色要素R、G、B之區域P以同 一構造單位看時之構造小週期dy,及色要素R、G、B 之各個區域P以個別之構造單位看時之構造大週期D y。 本實施形態中,係於具有上述△形配列之平面週期圖 型1 P ’ ,依色要素R、G、B之每一個使用個別之液滴 供給手段2 R、2 G、2 B形成。因此,僅著眼於色要素R 、G、B之其中之任一(例如R )時,可將平面週期圖型1 P ’視爲僅具備構造週期D X、D y之一種色要素(例如 R )之區域P被配類之平面週期構造,實施和上述同樣之 薄膜形成方法。 又,該△形配列之平面週期圖型1 P ’中,掃描方向 X上配列之區域P之列Y 1〜Y 6之相互關係係和圖1〜3所 示平面週期構造不同。亦即,於該平面週期圖型1 P ’ , -42- (39) (39)200426430 與掃描方向X正交之方向' 亦即前進方向Y看到之不同2 個位置上之例如鄰接之列Υ 1與列Υ 2間,於掃描方向X之 週期性存在半週期、亦即構造週期D X之一半(7Γ 〔 rad〕 (1 8 0度))之相位差。僅著眼於色要素R之區域P時亦完全 相同。因此,如圖1〜3所示,列間液滴供給位置之關係, 相對於全部之列Y 1〜Y 5於掃描方向X之週期性成爲同一 相位,藉由使噴嘴位置在掃描方向X偏移半週期、或使液 滴噴出之驅動週期變化相當於構造週期D X之相位差(半 週期)、或者使液滴供給時序便號上述相位差,依此則可 以和上述說明同樣地進行薄膜形成。 亦即,上述說明之平面週期構造1 P中,鄰接之列間 之掃描方向之週期性不存在相位差,因此僅需考慮噴嘴位 置偏移量(5 X即可,但是於平面週期圖型1 P ’中,鄰接 之列間之掃描方向之週期性存在相位差5 d (= 0.5 D X), 因此,算出上述噴嘴位置偏移量δ X,與該相位差5 d間 之差5 p(= 5 d — 5 X)。因此,和上述同樣地修正噴嘴位 置使該δ p成爲〇或者成爲分解能力R X之正整數倍,或 者偏移噴嘴間之液滴供給時序,依此即可消除列間之液滴 供給位置之變動。 以下針對上述圖7之平面週期圖型1Ρ’使用上述薄膜 形成裝置1 6實際進行薄膜形成。對於色要素R、G、Β分 別可以適用上述薄膜形成方法。但是,上述薄膜形成方法 亦適用針對上述色要素之任一或2個。上述薄膜形成方法 僅適用色要素之任一時,較好是上述薄膜形成方法適用色 -43- (40) (40)200426430 要素B (藍)。其理由爲,和其他色要素r或g (綠)比較, 色要素B (藍)之薄膜形成不均勻引起之色不均勻或亮度不 均勻最爲顯著。 將上述△形配列之平面週期圖型1 P ’之於掃描方向 X之構造小週期d X設爲1 1 4 μ m,前進方向Y之構造小週 期d y設爲1 1 6 // m,鄰接區域P間之於掃描方向X看到之 間隙設爲1 6 // m,前進方向Y看到之間隙設.爲27 μ m。噴 嘴列之噴嘴數爲1 8 0,噴嘴間距爲1 4 1 · 1 1 // m,傾斜角度$ 爲34 ·7度,於各區域P內,如圖10所示,1次掃描注入4點 液滴,進行4次掃描合計注入1 6點之液滴。但是,一般而 言1次掃描著物之液滴數爲j,掃描次數(脈衝次數)爲k., 則合計j xk·個液滴。 液滴含有之液狀材料之量爲8〜1 0〔 〕,掃描速度 V X爲80〔 mm/秒〕。本實施形態之液海供給手段2之驅 動頻率F d設爲1 3 · 3〔 k Η z〕(亦即驅動週.期T d爲 7 5 · 1 8 8〔 //秒〕,依此則,分解能力R x設爲6〔 # m〕。 此時,掃描方向X之構造週期D X爲3 4 2〔 // m〕 ’其被 以分解能力6〔// m〕除算時’商可以被正整數5 7完全除 盡。以此條件進行之薄膜形成方法設爲實施形態。 又,分解能力R x設爲4〔 # m〕 ’其他條件和上述 同樣時,和上述同樣地掃描方向X之構造週期D X以分解 能力R X除算時,商成爲爲非正整數’無法被完全除盡, 以此條件下進行之薄膜形成方法設爲比較例1 ° 又,分解能力R X設爲8〔 // rn」’其他條件和上述 -44 - (41) (41)200426430 同樣時,掃描方向X之構造週期D χ以分解能力R x除算 時無法被完全除盡,以此條件下進行之薄膜形成方法設爲 比較例2。 又,上述實施形態、比較例1及比較例2均爲在前進方 向γ配列之區域間之液滴供給位置偏移不加以補償之方法 所進行者。 圖1 1爲針對比較例2及實施形態之色要素β (藍)之區 域Ρ實施上述薄膜形成方法時該色要素Β (藍)之區域Ρ ( Β )之內部亮度分布之測定結果。圖1 1 (a)擺飾區域Ρ ( Β ) 2內部以大略2 0 // m間隔設定之測定點1 4處。圖1 1 (b)表 示上述測定點之比較例2之區域p ( B )之亮度Y之分布’ 圖]1 (c)表示上述測定點之實施形態之區域P ( B )之亮度Y 之分布。編號1〜5分別表不掃描方向看到之5個測定位置 ,相對於彼等掃描方向看到之測定位置1〜5,分別存在左 (L )、中心(C )、右(R )之3個或2個測定點。 如上述圖示,和比較例2比較,於實施形態之區域P ,各測定點之亮度Y誤差大幅減少。依此則,相較於比較 例2,實施形態可以獲得更爲均勻、平坦之薄膜形成狀態 〇 圖1 2表示上述比較例1之液滴供給位置誤差(偏移)量 試算結果,圖1 3表示上述實施形態之液滴供給位置誤差( 偏移)量試算結果’圖】4表示上述比較例2之液滴供給位置 誤差(偏移)量試算結果。彼等資料係表示,於最初]次掃 ί詰時,圖1 0所示4個液_供給位置 〜 之中,朝掃描方 -45 - (42) (42)200426430 向X側之供給位置 噴出之液滴於掃描方向X之位置。各 圖(A)表示上述位置偏移量之平面圖型,以圖示上下方向 爲上述掃描方向X,圖示左右方向爲前進方向Y,位置偏 移量大者(1 0〜2 0 // m)以黑色表示,位置偏移量小者(小於 ]0 // m)以白色表示。右,各圖(B )爲針對掃描方向上配列 之區域P描繪上述位置變動而得之圖型者,各圖(C )爲針 對前進方向上配列之區域P描繪上述位置變動而得之圖型 者。 由彼等圖型可知,任一薄膜形成方法均未對前進方向 Y之液滴位置偏移施予補償,因此任一前進方向γ均產生 週期性(薄膜形成不均勻),但是,實施形態中掃描方向之 '液滴供給位置誤差則完全未產生。另外,於比較例.〗,掃 描方向之液滴供給位置之變動幅以較小週期變動,於比較 Μ 2 ’掃描方向之液滴供給位置之變動幅爲1 4 V m,大幅 變動。由上述可知,於實施形態中掃描方向之薄膜形成不 均句幾乎未發生,相對於此,於比較例1及比較例2則於掃 #方向產生較大之薄膜形成不均勻。 使用本實施形態之薄膜形成方法及薄膜形成裝置形成 之年_週期構造(平面週期圖型)1 P、1 p,,至少於特定 方向(掃描方向X )看到之各區域P間之薄膜形成狀態(膜 摩分;、 一 力或濃度分布等)成爲均勻,習知週期性薄膜形成狀 態;> 之%鸷勤則消失不見。因此,即使大約數:# m〜數十# m ^微钿區域被配列而成之平面週期構造時,擴大視野予以 .察阶·, 1 4能谷易辨識可以達成筒品質之薄膜形成狀態。 - 46- (43) (43)200426430 (彩色濾光片及其製造方法) 以下說明本發明之彩色濾光片基板之製造方法之實施 形態。於該實施形態矽說明使用上述薄膜形成裝置】6製造 彩色濾光片基板之例,但本發明之彩色濾光片基板之製造 方法不受限於製造上使用之裝置構造。圖27(a)〜(d)爲彩 色濾光片基板2之製程斷面圖。該彩色濾光片基板,係於 基板1 2上形成有彩色濾光片者。又,基板1:2較好是和圖 2 9 ( a)所示母基板3 〇 1同樣將多數個彩色濾光片1以縱橫狀 態配列而成之包含大面積之母基板。 如圖27(d)所示,本實施形態之彩色濾光片基板1〇, 係於玻璃或塑膠形成之例如四方形基板(基材)1 2表面,以 點圖型狀(點矩陣狀)配置多數個濾光片單元9者。又.,於 彩色濾光片基板1 〇,於上述濾光片單元9表面上積層有保 護膜]1 〇 彩色濾光片基板1 〇,係於基板1 2表面上,藉由無透光 性樹脂材料形成格子狀圖型之隔間壁6,藉由該隔間壁6區 隔例如方形狀區域7,於該區域7以色材埋入而形成濾光片 單元9。彼等濾光片單元9分別由R (紅)、G (綠)、B (藍)中之1色之色材形成,彼等各色之濾光片單元9 R、 9 G、9 B被並列爲特定配列。該配列除例如圖7所示△形 配列(濾光片單元之配置構成段差,任意鄰接之3個濾光片 單元成爲R、G、B之配列)以外,可以爲圖37(a)所示直 條狀配列(矩陣狀之縱向並列之濾光片單元全爲同一色之 配列),及圖3 7(b)所示鑲嵌狀配列(縱橫直線狀並列之任意 -47- (44) (44)200426430 3個濾光片單元爲R、G、B 3色之配列)。又,本發明之 「隔間壁」係包含「區塊(bank)」之意義,不限於和基板 成大略垂直之角度之側面,亦包含具有某一程度傾斜角之 側面,係指由基板看成爲凸出之部分。 於彩色濾光片基板I 〇,1個濾光片單元9之尺寸爲例如 3 0 // m X 1 0 0 # m。鄰接之濾光片單元9之間隔、亦即濾光 片單元間之間距爲例如7 5 // m。 本實施形態之彩色濾光片基板10作爲彩色顯示用光學 要素使用時’以R、G、B 3個濾光片單元9爲1個單元構 成畫素,藉由1畫素內之R、G、B之任一或彼等之組合 使光選擇性透過而進行彩色顯示。此時,無透光性樹脂材 料形成之隔間壁6作爲黑矩陣之功能。 上述彩色濾光片於上述大面積母基板被形成多數個時 ,將該母基板切斷相互分離而形成各個彩色濾光片基板10 。具體言之爲,首先,於母基板內設定之多數個彩色濾光 片形成區域(單位區域)之各個轰面形成彩色濾光片1個分 之圖型。之後,於彼等彩色濾光片形成區域周圍形成切斷 用溝,沿彼等溝施加應力等而將母基板切斷(破斷)形成各 個彩色濾光片基板10。 以下更具體說明上述彩色濾光片基板]0之製造方法。 首先,如圖2 7 (a)所示,於基板1 2表面藉由無透光性樹脂 材料形成由箭頭B方向看時成爲格子狀圖型之隔間壁6。 格子狀圖型之格子孔部分爲濾光片單元9之形成區域7、亦 即,濾光片單元形成區域。該隔間壁6區隔之各個區域7之 - 48 - (45) (45)200426430 由箭頭B方向看時之平面尺寸’形成爲例如約3 0 # m χ 1 〇 〇 # m。 隔間壁6兼具有阻止供至區域7之液狀材料之濾光片單 元材料1 3之流動之功能,以及遮斷區域7間之光的黑矩陣 功能。隔間壁6可以任意圖型話方法、例如微影成像技術 形成,必要時藉由加熱器加熱予以燒成。 如圖27(b)所示,隔間壁6形成後,將濾光片單元材料 1 3之液滴8供至各區域7,使各區域7被濾光片單元材料;i 3 埋著。此可藉由例如由上述薄膜形成裝置1 6之液滴噴頭2 2 噴出濾光片單元材料1 3之液滴8使被覆於區域7內而進行。 於圖27(b),13 R表示具有R (紅)色之濾光片單元材料,13 G表示具有G (綠)色之濾光片單元材料,1 3 B表示具有]3 . (藍)色之濾、光片單元材料。 於各區域7被填充特定量之濾光片單兀材料1 3後,藉 由加熱器加熱至例如約7 (TC,使濾光片單元材料1 3之溶媒 蒸發,如圖2 7 (c)所示,藉由該蒸發減少濾光片單元材料 1 3之體積’使平坦化。體積減少顯著時,在獲得足夠膜厚 之彩色濾光片之前,重複進行濾光片單元材料13之液滴8 供給及該液滴8之加熱。經由以上處理最後僅殘留濾光片 單元材料】3之固形分而成薄膜化,依此則可以完全形成所 要各色之濾光片單元9之薄膜。 上述濾光片單元9形成後,實施特定溫度、特定時間 之加熱處理,以使各濾光片單元9完全乾燥,之後使用例 如自旋塗敷法、旋轉塗敷法、浸漬法或噴液法等適當方法 -49- (46) (46)200426430 形成保護膜1 1。該保護膜1 1之形成係爲保護濾光片單元9 以及使彩色濾光片棊板1 0表面平坦者。又,本實施形態中 ,隔間壁6之樹脂爲非透光性、且具有遮光性能(黑矩陣) 者,但是亦可改用透光性樹脂構成隔間壁6,於該樹脂下 層形成較該樹脂大一圈尺寸之C r等金屬構成之遮光層。 如圖27(b)所示,本實施形態中濾光片單元材料13設 爲油墨(ink),使用上述薄膜形成裝置16於各區域7被覆該 油墨之液滴8,而形成濾光片單元3。此情況下,.係使3色 濾光片單元9 (9 R、9 B、9 G )形成用之3種濾光片單元材 料1 3 R、1 3 G、1 3 B全部,相對於基板1 2 (母基板)以同一 掃描方向X進行液滴噴頭2 2之相對掃描而噴出。依序重複 進行該掃描步驟,及朝前進方向y之前進動作之方法,係 如上述薄膜形成裝置16之說明’其時使用之液滴供給位置 相關之控制方法係如上述薄膜形成方法之說明。 (具備彩色濾光片之顯示裝置(光電裝置)及其製造方 法) 圖23爲本發明之顯不裝置(先電裝置)之製造方法之一 例之液晶顯示裝置之製造方法之實施形態。圖24爲該製造 方法製造之顯示裝置(光電裝置)之一例之液晶顯示裝置 1 0 I之實施形態。圖2 5爲沿圖2 4之I X 一 I X線之液晶顯 示裝置1 0 1之斷面構造。首先,參照圖2 4、2 5說明液晶顯 示裝置1 0 1之構造。又,液晶顯示裝置1 〇 1爲單純矩陣式可 以進行全彩顯示之半透過反射型液晶顯示裝置。 如圖2 4所示,液晶顯示裝置]〇 I,係於液晶面板1 〇 2安 -50- (47) (47)200426430 裝有作爲半導體晶片之液晶驅動用〗c】〇3 a及液晶驅動 用I C ] 〇 3 b,將作爲配線連接要素之F p c (可撓性印刷 電路)1〇4連接於液晶面板102者。液晶顯示裝置]〇1,係於 液晶面板1 〇 2背面側設置照明裝置i 〇 6作爲背照光源。 液晶面板1 〇 2,係將第1基板1 〇 7 a與第2基板〗〇 7 b藉由 对衣構件1 0 8貼α而成。封裝構件〗〇 8,係藉由例如網版印 刷將環氧樹脂以環狀被覆於第1基板】〇 7 a及第2基板丨〇 7 b 心內側表面而成。於封裝構件〗〇 8內部如圖2 5所示藉由導 嗅材料以分散形態包含球狀或圓筒狀形成之導電構件】〇9 〇 如圖25所示,第1基板i〇7a爲具有由透明之玻璃,塑 膠寺形成之板狀基材1 1 1 a。於該基材1 1 1 a內側表面(圖2 5 <上側表面)形成反射膜1 1 2。於其上積層絕緣膜1 1 3,第1 每極U4a於其上由箭頭D方向看形成爲直條狀(參照圖24) 再於其上形成配向膜1 1 6 a。於基材Π 1 a之外側表面(圖 2 5 $下側表面)安裝偏光板1 1 7 a。 於圖24,爲容易判別第1電極1 1 4a之配列將彼等間隔 繪成遠較實際爲大。因此,實際上較圖上描繪.之第1電 _ 1 ] 4 a之數目更多之第1電極1 1 4 a背形成於基材1 1 1 a上 〇 如圖25所示,第2基板l〇7b爲具有由透明之玻璃,塑 等形成之板狀基材1 Π b。於該基材1 1 1 b內側表面(圖2 5 之下偏J表面)形成彩色濾光片1 ] 8。第2電極1 1 4b於其上由 __ D方向看形成爲朝和上述第1電極11 4 a正交之方向的 -51 - (48) (48)200426430 直條狀(參照圖24)。再於其上形成配向膜〗1 6b。於基材 1 Ub之外側表面(圖25之上側表面)安裝偏光板〗17b。 於圖2 4,和第1電極同樣地,爲容易判別第2電極1 1 4 b 之配列將彼等間隔描繪成遠較實際爲大。因此,實際上較 圖上描繪之第2電極1 1 4 b之數目更多之第2電極11413被形 成於基材Π 1 b上。 如圖2 5所不’於第1基板1 〇 7 a、第2基板]〇 7 b及封裝 構件1 08包圍之液晶封裝區域之基板間隙、亦即格間.隙內 部被封入液晶L、例如S T N (超扭轉向列).液晶。於第1 基板1 0 7 a或第2基板1 0 7 b之內側表面被分散微小、且多數 之球形間隔物1 1 9,彼等間隔物1 1 9存在於格間隙內使該格 間隙維持均勻。 第1電極1 1 4 a及第2電極1 1 4 b係於互相正交方向延伸 設置。彼等於平面交叉之部分由圖25之箭頭D方向看時被 配列成點矩陣狀。該點矩陣狀之各交叉點構成1個顯示點 。彩色濾光片U 8之R、G、B各色要素(濾光片單元)由 箭頭D方向看時配列成特定圖型、例如直條狀配列、△形 配列' 鑲嵌狀配列等之圖型。上述1個顯示點對應R、G 、B之各1個。藉由R、G、B之3色顯示點構成1個畫素( 像素)。 使矩陣狀配列之顯示點選擇性設爲.〇N狀態則可於液 晶面板102之第2基板l〇7b外側顯示文字、數字等影像, 如此被顯示之區域爲有效顯示區域,該有效顯示區域於圖 2 4及2 5以符號V顯示。 -52- (49) (49)200426430 如圖25所示,反射膜Π2由A P C合金、鋁等之光反 射性材料構成。於反射膜1 1 2,於第1電極1 1 4 a與第2電極 1 1 4b之交叉點之各顯示點對應之位置形成開口 ! 2丨。因此 ’由圖2 5之箭頭D方向看時開口 1 2 1係和顯示點配列成同 樣之矩陣狀。 第1電極1 14a及第2電極1 14b由例如透明導電材料之 I T〇形成。又,配向膜1 1 6 a、1 1 6b係將聚醯亞胺樹脂 貼著成同樣厚度而形成,彼等配向膜116a、116b藉由摩 擦處理而決定第1基板1 0 7 a及第2基板1 0 7 b表面上之液晶 分子之初期配向。 如圖24所示,第1基板l〇7a較第2基板107b形成爲面 積較大,將彼等基板以封裝構件1 08貼合時,第1基板1 〇7a 具有朝第2基板l〇7b外側突出之基板突出部107〇。於該基 板突出部1 07c以特定圖型形成以下各種配線、亦即由第1 電極1 14a延伸之引出配線1 14c,及介由存在於封裝構件 108內部之導電構件1〇9(參照突25)而和第2基板107b上之 第2電極1 14b呈導通之引出配線1 14d,液晶驅動用I C 1 〇 3 a之輸入用凸塊、亦即輸入端子所連接之金屬配線 1 1 4 e,及液晶驅動用I C 10 3 b之輸入用凸塊所連接之金 屬配線1 I 4 f。
又,由第1電極1 14a延伸之引出配線1 14c及導通於第 2電極1 1 4 b之引出配線1 1 4 d,係由和彼等電極相同材料之 I T〇形成。液晶驅動用I C ] 0 3 a、] 〇 3 b之輸入側配線 之金屬配線1 ] 、1 ] 4f,係由低電阻値金屬材料、例如A -53- (50) (50)200426430 PC合金形成。該A Pc合金爲主要包含A g,並添加P d及C II之合金’例如具有a g : 98wt%,P d : 1 wt%, C u : 1 wt%之組成之合金。 液晶驅動用I C 1 〇 3 a、1 〇 3 b係藉由A C F (各向異性 導電fe ) 1 2 2接著、女裝於基板突出部丨〇 7 c表面。亦即,本 實施形態中形成爲在基板上直接安裝半導體晶片之構造、 亦即所謂C〇G(chiP-on·glass)方式之液晶面板。於該c 〇G方式安裝構造中,藉由a C F ]22內含之導電粒子, 使液晶驅動用I C 1 0 3 a、1 〇 3 b之輸入側凸塊與金屬配線 1 1 4 e、1 I 4 f被導電連接,液晶驅動用I c 1 0 3 a、1 0 3 b之 輸出側凸塊與引出配線1 1 4 c、1 1 4 d被導電連接。 . 於圖24,F P C 1 04具有··可撓性樹脂薄膜123,.包含 晶片元件1 2 4構成之電路1 2 6,及金屬配線端子.1 2 7。電路 1 2 6藉由焊接等其他導電連接方法直接搭載於可撓性樹脂 薄膜1 2 3表面。金屬配線端子1 2 7由A P C合金、C Γ、C ^等其他導電材料形成。F P C 1 04之中形成金屬配線端 子127之部分,係藉由A C F 122連接於第1基板10 7a之中 形成金屬配線1 14e、1 14f之部分。因此,藉由a C F 122 內含之導電粒子使基板側金屬配線1 1 4 e、1 1 4 f與F P C側 金屬配線端子1 2 7呈導通。 於F P C 1 〇4之相反側邊端部形成外部連接端子1 3 1, 該外部連接端子]3 1連接於外部電路(未圖示)。依由該外 部電路傳送之信號驅動液晶驅動用I C 103a、l〇3b ,於第 ]電極]]4 a及第2電極1 ] 4 b之一方被供給掃描信號,另一 - 54- (51) (51)200426430 方 被供給資料信號。依此則,配列於有效顯示區域V內之各 個顯示點被施予電壓控制,結果各個液晶L之配向被控制 〇 .如圖25所示,圖24之照明裝置106具有:丙烯基樹脂 等構成之導光體1 3 2,設於該導光體1 3 2之光射出面1 3 2 b 的擴散板133,設於導光體132之光射出面132b之相反側 的反射板1 34,及作爲發光源的L E D (發光二極體)1 36。 L E D 1 3 6被L E D基板1 3 7支撐,該L E D基板1 3 7, 被安裝於例如和導光體132—體形成之支撐部(未圖示)。 藉由L E D基板137被安裝於支撐部之特定位置使L E D ]3 6被置放於和導光體132之側邊端靣之光取入面132a呈 對向之位置。符號1 3 8表示緩衝構件用來緩和施加於液晶 面板1 02之衝擊。 L E D 136發光時,該光由光取入面132a取入,被 導入導光體132內部,於反射板134或導光體132之壁面反 射而傳送之間由光射出面1 3 2b經由擴散板1 3 3射出外部作 爲平面光。 上述說明之液晶顯示裝置1 〇 1,當太陽光、室內光等 外部光足夠亮時,於圖25中外部光由第2基板1 07b側被取 入液晶面板1 02內部,該光通過液晶L之後於反射膜Π 2反 射再度供至液晶L。液晶L係藉由挾持其之電極1〗4 a、 1 1 4 b對R、G ' B之每一顯示點施予配向控制。因此, 供至液晶L之光依每一顯示點被調變,藉由該調變產生通 -55 - (52) (52)200426430 過偏光板1 1 7 b之光及無法通過之光而於液晶面板1 0 2外部 顯示文字、數字等影像,可以進行反射型顯示。 另外,無法獲得組夠之外部光時,L E D 1 3 6發光而 由導光體132之光射出面132b射出平面光’該光通過反射 膜1 1 2上形成之開口 1 2 ].供至液晶L。此時’和反射型顯示 同樣地,供給之光經由配向控制之液晶L依每一顯示點被 施予調變,依此則可於外部顯示影像’可進行透過型顯示 〇 上述構成之液晶顯示裝置1 0 I可使用例如圖23之製造 方法製造。於該製造方法中,製程p 1〜p 6之一連串製程 爲形成第1基板107a之製程,製程P 1 1〜P 14之一連串製 程爲形成第2基板107b之製程,第1基’板形成製程與第2基 板形成製程通常分別獨立進行。 首先,於第1基板形成製程,於透光性玻璃、透光性 塑膠等形成之大面稹母基板表面,使用微影成像技術法等 形成液晶面板102之多數個分之反射膜1 12。之後,於其上 使用習知薄膜形成方法形成絕緣膜1 1 3 (製程P 1)。之後, 使用微影成像技術法等形成第1電極1 14a、引出配線1 14c 、1 14d及金屬配線1 14e、1 14f(製程P 2)。 之後,於第1電極Π 4 a上藉由塗敷、印刷等形成配向 膜1 16a(製程P 3),對配向膜1 1 6a施予摩擦處理以決定液 晶之初期配向(製程P 4)。之後,藉由網版印刷等形成環 狀封裝構件1〇8(製程P 5),再於其上分散球狀間隔物Π9( 製程Ρ 6)。經由上述製程可以形成大面積之第1母基板, -56- (53) (53)200426430 其具有多數個液晶面板102之第1基板107a上之面板圖型 〇 和該第1基板形成製程獨立地實施第2基板形成製程( 圖2 3之製程P 1 1〜p 2 4)。首先,準備透光性玻璃、透光 性塑膠等形成之大面積母基板,於其表面形成液晶面板 1 02之多數個分之彩色濾光片1 1 8(製程p 1 1)。該彩色濾光 片U 8之形成製程係使用圖2 7之製造方法進行,該製造方 法之R、G、Β各色濾光片單元之形成係使用圖1 5之薄膜 形成裝置1 6進行。彼等彩色濾光片之製造方法及液滴噴頭 22之控制方法係和上述說明之內容相同,故省略彼等之說 明。 如圖27(d)所示,於母基板12、亦即原料母基材上形 成彩色濾光片1、亦即彩色濾光片1 1 8之後,使用微影成像 技術法形成第2電極1 14b(製程Ρ 12)。之後,藉由印刷等 形成配向膜1 16b (製程P 13)。對配向膜1 16b施予摩擦處理 以決定液晶之初期配向(製程P 1 4)。經由上述製程可以形 成大面積之第2母基板,其具有多數個液晶面板102之第2 基板1 0 7 b上之面板圖型。 如上述形成大面積之第1母基板及第2母基板後,使封 裝構件]0 8挾持於彼等母基板間施予定位、互枏貼合(製程 P 2 ])。依此則可以形成包含多數個液晶面板之面板部分 但乃未封入液晶之空面板構造體。 之後,於完成之空面板構造體特定位置形成畫線溝、 亦即切斷用溝,再以該畫線溝爲基準對面板構造體施加應 -57- (54) 200426430 力或熱,或藉由光照射等方法切斷基板(製程P 2 2 ) 則可以形成各液晶面板部分之封裝構件1 0 8之液晶 開口 1 1 0(參照圖24)露出外部狀態之所謂短冊狀之 構造體。 之後,經由露出之液晶注入用開口 1 1 0,於各 板部分內部注入液晶L,再以樹脂等密封各液晶注 口 1 1 〇(:製程P 23)。通常之液晶注入處理,係對液 部分內部施予減壓,藉由內外壓力差注入液晶。例 儲存容器內儲存液晶,將儲存有該液晶之儲存容器 狀空面板移入腔室內,將該腔室設爲真空狀態之後 室內部將短冊狀空面板浸漬於液晶中。之後,開放 爲大氣壓時,因爲空面板內部爲真空狀態,被大氣 之液晶經由液晶注入用開口被導入面板內部。之後 液晶注入後之液晶面板構造體周圍附著有液晶,因 注入處理後之短冊狀面板於製程P 24接受洗淨處理 之後’液晶注入及洗淨完成後之短冊狀面板於 置被形成畫線溝,之後以該畫線溝爲基準切斷短冊 。依此則可以切成多數個液晶面板1 0 2 (製程P 2 5 ) 24所示,對上述作成之各個液晶面板1〇2安裝液晶 I C 103a、l〇3b,安裝照明裝置]06作爲背照光源 接F P C 1〇4而完成目標之液晶顯示裝置101(製程p 上述說明之液晶顯示裝置及其製造方法中,特 造彩色濾光片之階段中係實施上述薄膜形成方法之 因此,濾光片單元材料液滴之沿掃描方向配列之多 。依此 注入用 空面板 液晶面 入用開 晶面板 如,於 及短冊 於該腔 腔室成 壓加壓 ’因爲 而液晶 〇 特定位 狀面板 。如圖 驅動用 ,再連 26) 〇 別是製 任一。 數個區 -58- (55) (55)200426430 域間之液滴供給位置誤萎可以被消除’另外’錯由附加之 構成則沿前進方向配列之多數個區域間之液滴供給位置誤 差亦可以被減少,因此,和上述同樣地可以減低掃描方向 引起之條紋狀色斑駿,可以提升液晶顯示裝置之顯示品質 〇 又’本實施形態中,掃描方向X之液滴供給位置之分 解能力R X之正整數倍成爲構造週期D X,因此不必降低 掃描速度V X,也不必提升驅動頻率F d之情況下即可減 少薄膜形成不均勻現象,製造效率降低之可能性變小。 又,上述實施形態中,顯示裝置係以具備液晶面板之 液晶顯示裝置作爲說明,但是具備和上述周樣之彩色濾光 片(基板)之顯示裝置可以適用液晶顯示裝置以外之其他光 電裝置、例如亦適用E L元件或電漿顯示面板等是有彩色 濾光片者。亦即,例如E L元件之情況下,將具備濾光片 單元之彩色濾光片於平面重疊,即可獲得和上述實施形態 同樣之效果,而該濾光片單元爲具有E L發光功能之多數 個顯示點所對應之濾光片單元。 (使用E L元件之顯示裝置(光電裝置)及其製造方法) 圖26爲本發明顯示裝置(光電裝置)及其製造方法之一 例之E L裝置(E L裝置用基板)及其製造方法之實施形態 。圖28爲其製造方法之主要製程及最終獲得之e l裝置之 主要斷面構造。如圖2 8 (d)所示,e L裝置2 0 1,係於透明 基扳2 0 4上形成畫素電極2 0 2,於各畫素電極2 〇 2間形成由 箭頭G方向看時成爲格子狀之凹部2〇5。於彼等格子狀凹 -59- (56) (56)200426430 部20 5之中形成電洞注入層22 0,於各格子狀凹部之中形成 R色發光層203 R、G色發光層203G、及B色發光層203 B ,使其由箭頭G方向看時成爲直條狀配列等特定配列。 再於其上形成對向電極2 1 3。 上述畫素電極202以T F D (薄膜二極體)元件等2端子 型主動元件驅動時,上述對向電極2 I 3由箭頭G方向看時 形成爲直條狀。畫素電極2 0 2以T F T (薄膜電晶體)元件 等3端子型主動元件驅動時,上述對向電極2 1 3以單一之平 面電極形成。 各畫素電極202與各對向電極213挾持之區域成·爲1個 顯示點,R、G、B 3色之顯示點爲1個單元形成1個畫素 。對流入各顯示點之電流施予控制即可由多數個顯示點之 中選擇希望者使其發光,依此則可使光由箭頭Η方向射出 ’可以顯示希望之全彩影像。 E L裝置2 (Π例如藉由圖2 6所示製造方法製造,亦即 如製程Ρ 5 1及圖2 8 ( a)所示,於透明基板2 0 4表面形成丁 F D元件或T F T元件等主動元件,再形成畫素電極202 幵夕成方法可用例如微影成像技術法、真空蒸鍍法、濺射 尚t溶膠法等。畫素電極2 0 2之材料可用1 τ 〇、氧 ^ ^ 氧化銦與氧化鋅之複合氧化物。 之後,如製程P 52及圖28(a)所示,使用習知圖型化 方& '例如微影成像技術法形成隔間壁(亦即格子狀凹部 )9 0 5 , 一 错由該隔間壁2 0 5埋入各透明畫素電極2 0 2之間。依 比匕目丨丨百^ 〜ϋ以提升對比,可以防止發光材料之混色,可以防止 -60- (57) 200426430 畫素與畫素間之漏光。隔間壁2 〇 5之材料,只要相對於 L發光材料之溶媒具有耐久性者即可,沒有特殊限制, 是較好是藉由氟化碳氣體電漿處理可以四氟乙烯化者, 如丙烯基樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等有機材料 在塗敷作爲功能性液狀材料之電洞注入層用液狀材 之正前,對透明基板204進行氧氣與氟化碳氣體電漿之 續電漿處理(製程P 5 3 )。依此則,聚醯亞胺表面成爲撥 性、I T〇表面成爲親水性,液滴可以微細地進行欲施 圖型化時之基板側之潤溼性控制。 電漿產生裝置可用例如於真空中產生電漿之裝置, 於大氣中產生電漿之裝置。 之後如製程P 5 4及圖2 8 (a)所示,由圖1 5之薄膜形 裝置16之液滴噴頭22噴出電洞注入層用液狀材料,於各 素電極2 0 2上進行圖型化塗敷。具體之液滴噴頭2 2之控 方法可用上述任一方法。塗敷後於真空(ltorr)中、室溫 20分之條件下除去溶媒(製程p 55)。之後,大氣中進行 °C (加熱板上)、10分鐘之熱處理,據以形成和發光層用 狀材料不相溶之電洞注入層220(製程p 56)。上述條件 ’月旲厚爲4 〇 n m。 之後如製程ρ 57及圖28(b)所示,使用液滴噴出手 於各電涧注入層220之上塗敷功能性液狀體之作爲E l 光材料的R發光層用液狀材料及功能性液狀材料之作爲 L發光材料的G發光層用液狀材料。各發光層用液狀材 係由圖1 5之薄膜形成裝置]6之液滴噴頭2 2噴出。液滴噴 E 但 例 〇 料 連 水 予 或 成 畫 制 2 0 液 下 法 發 E 料 頭 -61 - (58) (58)200426430 2 2之控制方法’可使用上述任一方法之中,將上述彩色濾 光片之各色相替換爲E L發光材料之發光色予以適用。依 此則,此種噴液(液滴供給)方式,可以簡單、且於短時間 進行微細之圖型化。另外,藉由變化液狀材料之固形分濃 度及噴出量即可變化膜厚。 發光層用液狀材料塗敷後,於真空中(1 t 〇 r r)進行室溫 、2 0分鐘之溶媒除去(製程P 5 8)。接著,於氮環境中、藉 由150 °C 4小時之熱處理使共軛化而形成R色發光層2 03 R 及G色發光層203 G (製程P 59)。上述條件形成之膜厚爲 5 Onm。藉由熱處理達成共餓共軛化之發光層不會溶於溶 媒。 又,亦可於形成發光層之前,於電洞注入層220進行 氧氣與氟化碳氣體電漿之連續電漿處理。依此則可於電洞 注入層220上形成氟化物層,離子化電位變高而可以增加 電洞注入效率,可提供高發光效率之有機E L裝置。 之後如製程P 60及圖28(c)所示,將功能性液狀材料 之作爲E L發光材料的B色發光層203 B重疊形成於各顯 示點內之R色發光層203R、G色發光層203G、及電洞注 入層220之上。依此則不僅可以形成R、G、B之3原色, 亦可以使R色發光層203 R及G色發光層203 G與隔間璧 2 〇 5間之段差平坦化。依此則能確實防止上下電極間之短 路。
又,藉由B色發光層2 0 3 B之膜厚調整,可使R色發 光層203R或G色發光層203G上積層之B色發光層203B -62- (59) (59)200426430 發揮電子注入輸送層之作用,而使B色不發光。 上述B色發光層2 03 B之形成方法,溼式法可使用一 之自旋塗敷法’或者採用和r色發光層2〇3r及〇色發 光層2 0 3 G之形成方法相同之噴液法。 之後如製程P 6 1及圖2 8 ( d )所示,形成對向電極2〗3, 製成目標之E L裝置201。對向電極21 3爲平面電極時,例 如可以M g、A g、A 1、L· 1等爲材料使用蒸鍍法、濺射 法等薄膜形成方法予以形成。另外,對向電極2 i 3爲直條 狀電極時,可使用微影成像技術法等圖型化手法形成電極 層。 依上述說明之E L裝置20 ]及其製造方法,液滴噴頭 之控制方法可採用上述任一方法,因此和上述同樣地可以 減少掃描方向引起之條紋狀色斑駁,另外,可使E L裝置 2 〇1之發光面之發光分布特性於水平面呈均勻。: 又,本實施形態之E L裝置及其製造方法中,係使用 圖1 5之薄膜形成裝置1 6,藉由液滴噴頭2 2進行液狀材料之 噴出而形成R、G、B之各顯示點,因此不必使用微影成 像技術法等之複雜之製程,亦不會浪費材料。 (電子機器) 以下參照圖3 5及3 6說明本發明電子機器之實施形態。 於該實施形態中說明具備光電裝置之液晶顯示裝置1 〇 1作 爲顯示手段之電子機器。圖3 5爲本實施形態之電子機器中 對液晶顯示裝置1 0 1之控制系(顯示控制系)之全體構成之 -63- (60) (60)200426430 槪略構成圖。此處所示電子機器具有顯示控制電路2 9 〇, 其包含:顯示資訊輸出源2 9 1,顯示資訊處理電路2 9 2,電 源電路2 9 3,及時序產生器2 94。又,於和上述同樣之液晶 顯示裝置1 0 ]設置驅動電路1 〇 1 G用於驅動上述顯示區域。 該驅動電路1 0 1 G,係由上述液晶驅動用I C 1 0 3 a、1 0 3 b 或電路1 2 6構成。該驅S力電路1 〇 1 G可由形成於面板表面上 之半導體I C或電路圖型,導電連接於液晶面板之電路基 板上所安裝之半導體I C晶片或電路圖型,或者電子機器 內部構成之各種電路等構成。 , 顯示資訊輸出源291具備:R〇M ( Read Only Memory)或 RAM (Random Access Memory)等構成之 記憶體,磁碟或光碟等構成之儲存單元.,及調諧輸出數位 影像信號的諷諧電路,係依時序產生器294產生之各種時 脈信號以特定格式之影像信號等形式將顯示資訊供至顯示 資訊處理電路292。 顯示資訊處理電路292具備:序列-並列轉換電路、 放大·反轉電路 '旋轉電路、r補正電路、箝位電路等習 知各種電路,用於執行輸入之顯示資訊之處理,將該影像 信號以及時脈信號C L K同時供至驅動電路1 0 1 G。驅動 電路1 0 1 G包含掃描線驅動電路、信號線驅動電路及檢測 電路等。又,電源電路2 93用於對各構成要素供給特定電 壓。 圖3 6爲本發明電子機器之一實施形態之行動電話。該 行動電話1 0 0 0具有操作部1 0 01,及顯示部1 0 0 2。於操作部 -64- (61) (61)200426430 1 0 0 1前面配列多數個操作按鈕,於送話部內部內藏麥克風 。於顯示部1 002之受話部內部配置揚聲器。 於上述顯示部1 002中,於殻體內部配置電路基板;[丨00 ,將上述液晶顯示裝置1 0 1安裝於該電路基板1 1 〇 〇。 設於殼體2 0 1 〇內之液晶顯示裝置〗0 !,可經由顯示窗 101 A辨識顯示畫面。 (其他實施形態) 以上係以較佳實施形態說明本發明,但本發明不限於 上述各實施形態,包含以下所示變形例,在可達成本發明 目的之範圍內可設爲其他任意具體構造及形狀。 例如’圖]5及1 6所示薄膜形成裝置(彩色濾光片基板 之製造裝置、E L裝置用基板之製造裝置)中,.係使液滴 噴頭22朝掃描方向X移動以掃描基板〗2,藉由前進驅動裝 置21移動基板12而實現液滴噴頭22相對於基板12之前進動 作,但是,相反地藉由基板1 2之移動執行掃描,藉由液滴 噴頭22之移動執行前進動作亦可。另外,不移動液滴噴頭 22,移動母基板1 2,使雙方相對朝相反方向移動等,使至 少一方相對移動,使液滴噴頭22沿母基板1 2表面相對移動 等之任一構成亦可。 又,上述實施形態中使用之液滴噴頭42 1爲利用壓電 元件之彎曲變形而噴出液狀材料之構造,但亦可使用其他 任意構造之液滴噴頭,例如可用藉由加熱產生之氣泡噴出 液狀材料的液滴噴頭。 -65- (62) (62)200426430 又’薄膜形成裝置1 6之使用不限於彩色濾光片基板或 液晶顯示裝置1 0 1、E L裝置2 0 1等之製造,亦可用於例如 F E D (Field Emission Display,場放射顯示裝置)等之電 子放出裝置、P D P (電漿顯示面板)、電泳裝置、亦即將 含有帶電粒子之功能性液狀材料噴出於各畫素之隔間壁間 之凹部,對上下挾持各畫素而配設之電極間施加電壓使帶 電粒子偏向一方電極側而進行各畫素顯示之裝置,以及薄 型影像管、C R T (陰極射線管)顯示器等具有基板、而具 備於其上方區域形成特定層之製程的各種顯示裝置(光電 裝置)。 本發明之薄膜形成方法或薄膜形成裝置可使用於各種 元件之製程,該元件爲具備包含彩色濾光片或顯:示裝置( 光電裝置)之基板者,於該基板(基材)使用液滴8之噴出製 程。例如,形成印刷電路板之電器配線時,以噴液式噴出 液狀金屬或導電性材料、含金屬之塗料等而構成金屬配線 之構成,以噴液式噴出而於基材上形成微細微透鏡而形成 光學構件之構成,以噴液式噴出而於基板上必要部分形成 塗敷阻劑之構成,以噴液式噴出而於塑膠等透光性基板形 成使光散射之凸部或微小白圖型而形成光散射板之構成, 以噴液式噴出R N A ( r i b ο n u c 1 e i c a c i d :核糖核酸)而於 D N A ( deoxyribonucleic acid,去氧核糖核酸)晶片上 於矩陣狀配列之脈衝點作成螢光標誌探針使於D N A晶片 上產生雜合反應等等、於基材上被區隔之點狀位置以噴液 式噴出gx(料、ί几體、D N A等而形成生物晶片之構成寺寺 -66 - (63) (63)200426430 亦可予以利用。 另外’可以適用之液晶裝置1 0 1有例如具備了 F T等 電晶體或T F D主動元件而形成衋素的主動矩陣型液晶面 板等’形成包圍畫素電極之隔間壁6,於該隔間壁6所形成 凹部以噴液式噴出液滴而形成彩色濾光片〗之構成,或者 於晝素電極上以噴液式噴出混合有色材及導電材之液滴而 以畫素電極上形成/<1彩色攄光片1作爲導電性彩色濾光片 之構成’或者以噴液式噴出而形成間隔物之粒子用於保持 基板間間隙的構成等等,構成液晶裝置1 〇 1之光電系之任 一部分均可適用。 另外’不限於彩色濾光片1、亦適用E L裝置2 0 1等其 他任一光電裝置。E L裝置2 01有例如R (紅)、g (綠 )、B (藍)3色對應之E L被形成帶狀之直條狀,或如 上述於各畫素具備電晶體用於控制流入發光層之電流的主 動矩陣型顯示裝置、或者被動型亦可適用。 又,上述各實施形態被組裝之電子機器不限於圖3 6說 明之行動電§舌1 〇 〇 〇 ’亦可適用P H S (P e r s ο n a 1 H a n d y p h ο n e S y s i; e m )等之行動電話、液晶電視、觀.景型、監控 直視型攝錄放映機、汽車導航裝置、呼叫器、電子記事本 、計算機、文字處理機、工程工作站(E W S )、視訊電話 、P〇S (P 〇 i n t 〇 f S a 1 e s)終端機、I C卡、迷你碟片播放 機、液晶投影機、個人電腦、具觸控面板之裝置、手錶、 遊戲機等各種電子機器。 -67 _ (64) (64)200426430 【圖式簡單說明】 圖1 :本發明之薄膜形成方法之實施形態說明圖。 圖2 :該薄膜形成方法之平面圖。 圖3 :該薄膜形成方法之變形例之平面圖。 圖4 :圖3之薄膜形成方法之槪念說明圖。 圖5 :實施圖4之薄膜形成方法用之液滴供給手段之構 成圖。 圖6(a)〜(b):實施薄膜形成方法用之噴嘴配置之說明 圖。 圖7 : △形配列之平面週期圖型之平面圖。 圖8 :描繪控制部之構成方塊圖。 圖9 ( a)〜(d )·液滴供給手段之驅動丨g號之·時序流程圖 〇 圖1 0 :對區域之液滴供給位置之說明圖。 圖1 1 (a):區域之測定點,(b)〜(C):測定點之亮度。 圖12(a):比較例1之液滴供給位置之偏移圖型,(b): 掃描方向之位置偏移圖,(c):前進方向之位置偏移圖。 圖13(a):實施形態之液滴供給位置之偏移圖型,(b) :掃描方向之位置偏移圖,(c):前進方向之位置偏移圖 0 圖14(a):比較例1之液滴供給位置之偏移圖型,(b): 掃描方向之位置偏移圖,(c):前進方向之位置偏移圖。 圖I 5 :薄膜形成裝置之全體構成之槪略斜視圖。 圖1 6 :薄膜形成裝置之主要部分之一部分之斜視圖。 -68- (65) (65)200426430 圖I 7 :液滴噴頭之構造說明圖。 圖]8 :不同之液滴噴頭之構造說明圖。 圖19(a):液滴噴頭之內部構造斜視圖,(b): —部分 之縱向斷面圖。 圖2 0 :薄膜形成裝置之控制系全體構成之方塊圖。 圖2 1 :薄膜形成裝置之動作之槪略流程圖。 圖2 2 :另一液滴噴頭之構造說明圖。 圖2 3 :液晶顯示裝置之製程之流程圖。 圖24 :液晶顯示裝置之分解斜視圖。 圖2 5 :圖24之I X — I X線切斷照態之液晶顯示裝置 之縱向斷面圖。 圖2 6 : E L裝置(E L裝置用基板)之製程流程圖。 圖27(a)〜(d):彩色濾光片基板之製程斷面涵。 圖2 8(a)〜(d) : E L裝置之製程斷面圖。 圖2 9 (a):母基板上之彩色濾光片配列之一部分之平 面圖,(b):對母基板施予薄膜形成方法之說明圖,(c.): 液滴供給手段之噴嘴配列之說明圖。 圖30(A — 1)〜(A — 4)及(B - 1)〜(B — 4):對區域施 予液滴配置時之狀態表示之製程斷面圖。 圖3 1 (a)〜(c):施予液滴供給時之區域內之液狀材料 配置之平面圖。 圖3 2(a)〜(c):施予液滴供給時之分解能力R 1〜R 3 之差異產生之液狀材料配置態樣之說明圖。 圖3 3 :液滴供給之分解能力與區域中之液狀材料配® -69- (66) (66)200426430 之關係說明圖。 圖3 4(a):掃描方向之亮度Y變動圖,(b):前進方向 之亮度Y之變動圖。 圖3 5 :具備液晶顯示裝置1 0 1之電子機器中之顯示控 制系之構成方塊圖 圖3 6 :電子機器之一例之行動電話之外觀圖。 圖3 7(a)〜(b):彩色濾光片之配列圖型之例之平面圖 (符號說明) 1 :對象物 1 P : 1 P 5 :平面週期構造(平面週期圖型) 2 :液滴供給手段 2 a :噴嘴 2b :配列方向 3 :驅動手段 4a :液滴 4 b :液狀材料 5 :驅動機構 X : 掃描方向 Y :前進方向 P :區域 D X : D y :構造週期 T d :驅動週期 -70- (67) (67)200426430 F d :驅動頻率 R χ :分解能力 V X :掃描速度 6 :隔間壁(凹部) 7 :區域 8 :液滴 9 :濾光片單元 1 〇 :彩色濾光片基板 12 :基板(母基板) 1 3 :濾光片單元材料 ]6 :薄膜形成裝置(製造裝置 22 :液滴噴頭 2 7 :噴嘴 2 8 :噴嘴列 I 〇 1 :液晶顯示裝置 201 : E L裝置