JP4940854B2 - 液状材料の配置方法、及びカラーフィルタ基板の製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 157
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title claims description 135
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 71
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 84
- 239000000463 material Substances 0.000 description 63
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 22
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 19
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 239000002585 base Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 6
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000038 blue colorant Substances 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 239000001060 yellow colorant Substances 0.000 description 2
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical compound CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCCZVLHHCNQSNM-UHFFFAOYSA-N [Na][Si] Chemical compound [Na][Si] JCCZVLHHCNQSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 229960002887 deanol Drugs 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012972 dimethylethanolamine Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N dipropylamine Chemical compound CCCNCCC WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000000040 green colorant Substances 0.000 description 1
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical group FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- GNVRJGIVDSQCOP-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-methylethanamine Chemical compound CCN(C)CC GNVRJGIVDSQCOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000001062 red colorant Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
また、本発明の液状材料の配置方法は、吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、前記領域部毎に前記液状材料を配置する際、少なくとも隣接する前記領域部をあけて前記液状材料を配置することを特徴とする。
この発明によれば、隣接する領域部には連続して液状材料が配置されず、時間差をもって液状材料が配置されるため、先に配置された液状材料に含まれる溶媒成分が蒸発することで、隣接する領域部に後から配置された液状材料と混ざることが低減される。
さらに、本発明の液状材料の配置方法は、複数のノズル列より吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、各領域部は、各領域部に隣接する領域部に対して前記液状材料を吐出するノズル列とは異なるノズル列から前記液状材料を吐出することを特徴とする。
この発明によれば、異なるノズル列から液状材料を吐出することにより、吐出のタイミングに時間差が生じ、隣接する領域部どうしでは液状材料を配置する時に時間差ができるため、先に配置された液状材料に含まれる溶媒成分が蒸発することで、隣接する領域部に後から配置された液状材料と混ざることが低減される。
<基板について>
<液滴吐出法について>
<カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板>
図1は、カラーフィルタ基板の製造工程を示す図(a)〜(l)である。(a)、(c)、(e)、(g)、(i)、(k)は、平面図であり、(b)、(d)、(f)、(h)、(j)、(l)は、各平面図のA−A線に沿って切断した断面図である。図2は、カラーフィルタ基板の製造工程の手順を示す概略フローチャートである。図3は、カラーフィルタ基板の模式図である。
次に、上記の実施形態に用いることのできる液滴吐出ヘッドの構成について説明する。
次に、上記の実施形態に用いることのできる液滴吐出装置の構成について説明する。
(2)液状材料Mを配置するときに、先に選択した第1の領域部と、この第1の領域部の後に選択した第2の領域部とが、離間するように選択するから、液滴8が隔壁6Cを乗り越えて隣接する領域部7に、よりはみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
(3)液状材料Mを配置するときに、第1の領域部と、第2の領域部とで、時間をずらして液滴8を配置するから、第1の領域部と、第2の領域部とでは、液状材料Mに含まれる溶媒成分の蒸発時間に差が生じるので、第1の領域部と、第2の領域部との混色を低減することができる。
(4)第1の着色領域群及び第2の着色領域群に液状材料Mを液滴8として略同時に配置するから、1回の走査で6色の液状材料Mを配置することができるので、効率的である。
(5)第1の領域部と第2の領域部とを交互に選択して液状材料Mを液滴8として配置すると、第1の領域部と、第2の領域部との混色を低減することができ、使用する液状材料Mが6色であっても高品質で、高精度なカラーフィルタ基板CFを提供できる。
(6)液滴8が吐出される順番に対応してノズル27(27Y、27R、27M、27B、27C、27G)が液滴吐出ヘッド22に配置されているから、6色の液状材料Mを一つの方向に1回の走査で配置することができるので、生産効率の高い液滴吐出ヘッド22を提供できる。しかも、混色を低減することが可能になるから、描画品質が向上することを期待できる。
(7)液状材料Mを効率的に配置できる液滴吐出ヘッド22を搭載しているので、描画品質の向上と、生産性の向上とを実現することが可能な液滴吐出装置IJを提供できる。
次に、表示装置(電気光学装置)及び本実施形態に係る液滴吐出装置を用いた表示装置の製造方法について説明する。
次に、電子機器の具体例について説明する。
図13は、電子機器としてのパーソナルコンピュータの斜視図である。
前述の実施形態では、6種類のノズル27Y、ノズル27R、ノズル27M、ノズル27B、ノズル27C、ノズル27G(図4参照)が液滴吐出ヘッド22に配置される構成としたが、これに限らない。例えば6種類のノズル27Y、ノズル27R、ノズル27M、ノズル27B、ノズル27C、ノズル27Gが6種類の液滴吐出ヘッド22に別々に存在する構成にしてもよい。このようにしても、各ノズル27から液状材料Mを液滴8として吐出する順番が決められているので、本実施形態と同様の効果が得られる。
前述の実施形態では、ノズル27Y、ノズル27R、ノズル27M、ノズル27B、ノズル27C、ノズル27Gを液滴吐出ヘッド22に一列ずつ配置される構成としたが、これに限らない。例えば複数列ずつ(二列以上)配置する構成にしてもよい。このようにすれば、ノズル27Y、ノズル27R、ノズル27M、ノズル27B、ノズル27C、ノズル27Gの数が増えるので、効率的に描画をすることができる。
前述の実施形態では、第1の領域部7aからスタートして、第1の領域部7aと、第2の領域部7bとを交互に液滴8を配置するようにして、フィルタエレメント3を3Y→3R→3M→3B→3C→3Gの順序で形成するようにしたが、これに限らない。例えばこれとは逆に、第2の領域部7bからスタートして、第2の領域部7bと、第1の領域部7aとを交互に液滴8を配置するようにして、フィルタエレメント3を3R→3M→3B→3C→3G→3Yの順序で形成してもよい。このようにしても、本実施形態と同様の効果が得られる。
前述の実施形態で、例えば、液滴吐出装置IJ(図6及び図7参照)では、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ移動させてマザー基板を走査し、マザー基板を送り駆動装置21によって移動させることにより、液滴吐出ヘッド22のマザー基板に対する送り動作を実現しているが、これに限らない。例えばこれとは逆に、マザー基板の移動によって走査を実行し、液滴吐出ヘッド22の移動によって送り動作を実行することもできる。さらには、液滴吐出ヘッド22を移動させずにマザー基板を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、液滴吐出ヘッド22がマザー基板の表面に沿って相対的に移動するいずれの構成とすることができる。このようにしても実施形態と同様の効果がある。
前述の実施形態で、液滴吐出装置IJ(図6及び図7参照)が製造に使用されるのは、上述のカラーフィルタや液晶装置としたが、これに限らない。例えばEL装置、FED(Field・Emission・Display:フィールドエミッションディスプレイ)などの電子放出装置、PDP(Plasma・Disply・Panel:プラズマディスプレイパネル)、電気泳動装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体である液状材料を各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、CRT(Cathode―Ray・Tube:陰極線管)ディスプレイなど、基板(基材)を有し、その上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表示装置(電気光学装置)に用いることができる。
Claims (4)
- 液状材料を吐出し、基板上に配置する液状材料の配置方法であって、
前記基板は、第1の領域部と、前記第1の領域部とは異なる面積の第2の領域部とを備えているとともに、前記第1の領域部を複数備えた第1の着色領域群と、前記第2の領域部を複数備えた第2の着色領域群と、を有しており、
前記第1の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第1の領域部に前記液状材料を配置する工程と、
前記第2の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第2の領域部に前記液状材料を配置する工程とを、備え、
前記第1の領域部及び前記第2の領域部に交互に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。 - 請求項1に記載の液状材料の配置方法において、
前記第2の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記第1の領域部の位置に対して離間する位置に配置された前記第2の領域部に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。 - 請求項1または請求項2に記載の液状材料の配置方法において、
前記第2の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記第1の領域部に前記液状材料を配置した後に、時間を経過させてから、前記第2の領域部に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。 - 液状材料を吐出し、基板上に配置し、前記液状材料を乾燥することにより膜パターンを有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、
前記基板は、第1の領域部と、前記第1の領域部とは異なる面積の第2の領域部とを備えているとともに、前記第1の領域部を複数備えた第1の着色領域群と、前記第2の領域部を複数備えた第2の着色領域群と、を有しており、
前記第1の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第1の領域部と、前記第2の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第2の領域部に対して交互に前記液状材料を配置することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256865A JP4940854B2 (ja) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | 液状材料の配置方法、及びカラーフィルタ基板の製造方法 |
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JP2008073629A JP2008073629A (ja) | 2008-04-03 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006256865A Active JP4940854B2 (ja) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | 液状材料の配置方法、及びカラーフィルタ基板の製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4940854B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010104861A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Seiko Epson Corp | 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機el装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4226867B2 (ja) * | 2002-09-25 | 2009-02-18 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 表示装置 |
JP2004335351A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | 電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電気光学装置の製造方法及び電子機器の製造方法 |
JP2004361428A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ基板及びその製造方法、エレクトロルミネッセンス基板及びその製造方法、電気光学装置及びその製造方法、電子機器及びその製造方法、並びに成膜方法 |
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JP2008073629A (ja) | 2008-04-03 |
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