JP2003266010A - 液滴吐出による材料の配置方法、表示装置、表示装置の製造方法、及び、電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液状材料を基材上の領域に液滴として吐出さ
せ、配置する場合に、液滴の広がり不足や隣接する領域
間の液滴の混入を低減することのできる方法を提供する
ことにある。また、表示装置において、液滴の広がり不
足や隣接する領域間における液滴の混入を低減すること
のできる構造及び製造方法を提供する。 【解決手段】 基板１２上に形成された隔壁６Ｃによっ
て実質的に方形状の領域７が形成されている。各領域７
は、この領域７を取り囲む隔壁６Ｃの内面６Ｘ，６Ｙの
うち、領域７の長辺を構成する内面６Ｘが凹凸形状に形
成されている。そして、領域７を挟んで対峙する一対の
隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺の伸びる方向に沿って
増減するように構成されている。また、領域７の長辺の
伸びる方向に沿って隔壁６Ｃの幅が増減するようにも構
成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液滴吐出による材
料の配置方法、表示装置、表示装置の製造方法、及び、
電子機器に係り、特に、カラーフィルタ或いは電気光学
装置として好適な構造及び製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、各種の表示装置においては、カ
ラー表示を可能にするためにカラーフィルタが設けられ
ている。カラーフィルタは、例えば、ガラスやプラスチ
ックなどで構成された基板上に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青）の各色のドット状のフィルタエレメントを、い
わゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列など
といった所定の配列パターンで配列させたものである。

【０００３】また、表示装置としては、液晶装置やＥＬ
（エレクトロルミネッセンス）装置などの電気光学装置
を典型例として、ガラスやプラスチックなどで構成され
た基板上に、その光学状態を独立して制御可能な表示ド
ットを配列させたものがある。この場合、各表示ドット
には液晶やＥＬ発光部が設けられる。表示ドットの配列
態様としては、例えば、縦横の格子（ドットマトリク
ス）状に配列させたのものが一般的である。

【０００４】カラー表示可能な表示装置においては、通
常、例えば上記のＲ，Ｇ，Ｂの各色に対応する表示ドッ
ト（液晶やＥＬ発光部）が形成され、全色に対応する例
えば３個の表示ドットによって一つの画素（ピクセル）
が構成される。そして、一つの画素内に含まれる複数の
表示ドットの階調をそれぞれ制御することによってカラ
ー表示を行うことが可能になる。

【０００５】上記の表示装置の製造工程においては、例
えば、感光性樹脂を基板上に塗布し、この感光性樹脂に
露光処理及び現像処理を施すことにより、格子状の隔壁
（バンク）を形成してから、この隔壁により画成された
領域に、例えばヘッドなどによって吐出された液滴を着
弾させ、乾燥させることによって表示要素（すなわち、
上記のカラーフィルタのフィルタエレメントや表示ドッ
トを構成する液晶又はＥＬ発光部など）を構成する場合
がある。この方法では、フォトリソグラフィ法などによ
って表示要素を各色毎にパターニングする必要がないの
で、携帯電話や携帯型情報端末などの携帯型電子機器に
用いられる小型の表示装置を効率的に製造することがで
き、また、プロジェクタ等に用いられる高精細な表示装
置をも容易に製造することができるという利点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
カラーフィルタ或いは表示装置（電気光学装置）の製造
方法においては、図１３に示すように、隔壁６によって
画成された領域（フィルタエレメント形成領域、液晶封
入領域、或いは、ＥＬ発光部形成領域など）７内に液滴
８を着弾させる場合、１又は複数（図示例では３つ）の
液滴８によって一つの領域７内に液状材料８Ａが導入さ
れる。しかしながら、図１３（ａ）に示すように液滴８
の量が比較的少ない場合には、領域７内における液状材
料Ａ，Ｂの広がりが不十分となって、領域７内に液状材
料Ａ，Ｂによって満たされない空隙部（色抜け部）が形
成されるときがあり、このときには、表示のコントラス
トが低下する。これとは逆に、図１３（ｂ）に示すよう
に液滴８の量が比較的多い場合には、領域７内における
液状材料Ａ，Ｂが着弾時に大きく広がりすぎて、隔壁６
を乗り越えて隣接する領域７内に侵入してしまうときが
あり、このときには、隣接する領域７に異種材料の混合
或いは混色が生ずるため、やはり表示のコントラストが
低下する。

【０００７】特に、図１３（ｃ）に示すように液滴８を
基板１２に向けて吐出させた場合には、基板１２上に液
滴８が着弾すると、図１３（ｄ）に示すように着弾時の
衝撃によって一時的に液状材料Ａが大きく広がるため、
図１３（ｅ）に示すように、最終的に基板１２上に液状
材料Ａが配置されたときに、本来液状材料Ａが存在する
べき領域よりも外側に液状材料Ａの一部が残存するとき
がある。したがって、液滴８の吐出速度が速い場合に
は、液状材料Ａの量が上記の領域７を満たす程度の量で
しかないにも拘わらず、隣接する領域７に液状材料Ａが
混入してしまう可能性が高くなる。

【０００８】したがって、上記のような原因による表示
品位の低下を抑制するためには、液滴８の量を領域７の
寸法に合わせて所定量に設定し、かつ、実際に吐出され
る量を正確に制御しなければならないが、高精細な表示
装置を製造する場合には、液滴８の量がきわめて僅かな
量になるために、液滴の量を高精度に制御することは一
般に困難であり、生産効率が低下するとともに製品の歩
留まりの低下を来たす恐れがある。

【０００９】また、上記のように液状材料の広がり不足
や隣接領域間における液滴の混入に起因する不良を防止
するためには、或る程度隣接する領域の間隔を広げる必
要があるが、これは、表示装置としての開口率の低下を
招くとともに、高精細な表示態様を実現することを困難
にするという問題を生じさせる。

【００１０】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、液状材料を基材上の領域に液滴と
して吐出させ、配置する場合に、液滴の広がり不足や隣
接する領域間の液滴の混入を低減することのできる方法
を提供することにある。また、表示装置において、液滴
の広がり不足や隣接する領域間における液滴の混入を低
減することのできる構造及び製造方法を提供することに
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料
を液滴として吐出し、基材上に配置する液滴吐出による
材料の配置方法であって、前記基材上に隔壁が形成され
る工程と、前記隔壁によって画成される実質的に方形状
若しくは帯状の領域に前記液滴が着弾される工程とを有
し、前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が
前記隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、
前記液滴は、前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応す
る位置に着弾されることを特徴とする。

【００１２】この発明によれば、隔壁によって画成され
た領域に液滴を着弾させる際に、領域内における隔壁の
間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように形成さ
れ、液滴は、隔壁の間隔が極大となる部分に対応する位
置に着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲
に広がっても、その着弾位置において隔壁の間隔が極大
となっているため、液状材料を領域内に留め易くなり、
その結果、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接
領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがって、
液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、製造
が容易になるとともに、生産効率を高めることも可能に
なり、また、液滴量を多めにすることによって領域内に
おける液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、製品
の品位（例えば表示品位）を向上させることができる。

【００１３】ここで、隔壁の延長方向としては、方形状
の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺
に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合
には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記
において、隔壁の間隔は滑らかに増減し、領域に臨む隔
壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。こ
れによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状
材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広が
り不足をも低減できる。

【００１４】本発明において、前記領域は実質的に矩形
であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前
記間隔が増減するように形成されることが好ましい。

【００１５】この発明によれば、矩形の領域において、
長辺に沿って隔壁の間隔が増減していることにより、本
来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域
に混入することを低減できるので、特に高い効果を得る
ことができる。

【００１６】本発明において、前記隔壁は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその
幅が実質的に一定であるように形成されることが好まし
い。

【００１７】この発明によれば、隔壁の幅が隔壁の延長
方向に沿って実質的に一定であることにより、液状材料
に対する隔壁による閉じ込め効果を上記延長方向に沿っ
てほぼ一定にすることが可能になり、隣接領域間の液状
材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積
に対する領域の面積割合（例えば表示装置の開口率）を
高めることができる。この場合、より具体的には、或る
隔壁において、その１側に存在する領域において隔壁の
間隔が広がっている部分では、他側に存在する領域にお
いて隔壁の間隔が狭まっているように構成することが、
領域の面積割合を大きく構成する上でより望ましい。

【００１８】本発明において、前記隔壁は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその
幅が増減するように形成されることが好ましい。

【００１９】この発明によれば、隔壁の幅がその延長方
向に沿って増減するように構成されていることにより、
隔壁の幅の増減によって隔壁の間隔が増減するように構
成することが可能になり、例えば、隔壁の幅が減少して
いる部分では隔壁の間隔が広くなり、隔壁の幅が増大し
ている部分では隔壁の間隔が狭くなるように構成できる
ため、領域の配列態様を変えずに隣接領域間の液状材料
の混入を低減できる。

【００２０】次に、本発明の別の液滴吐出による材料の
配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に配
置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記基
材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によって画成
される実質的に方形状若しくは帯状の領域に前記液滴が
着弾される工程とを有し、前記隔壁の幅は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿って増減
するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の幅が極大
となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴とす
る。

【００２１】この発明によれば、隔壁の幅が極大となる
部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、液
滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置に
おいて隔壁の幅が極大となっているため、液状材料が隔
壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材料の混入
が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡
大することが可能になり、製造が容易になるとともに、
生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多
めにすることによって領域内における液状材料の広がり
不足も低減でき、さらに、製品の品位（例えば表示品
位）を向上させることができる。

【００２２】ここで、隔壁の延長方向としては、方形状
の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺
に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合
には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記
において、隔壁の幅は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁
の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これ
によれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材
料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり
不足をも低減できる。

【００２３】本発明において、前記領域は実質的に矩形
であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってそ
の幅が増減するように形成されることが好ましい。

【００２４】この発明によれば、矩形の領域において、
長辺に沿って隔壁の幅が増減していることにより、本来
混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に
混入することを低減できるので、特に高い効果を得るこ
とができる。

【００２５】次に、本発明の異なる液滴吐出による材料
の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上に
配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前記
基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によって画
成される実質的に方形状の領域に前記液滴が着弾される
工程とを有し、前記隔壁の幅は、前記領域の一辺の略中
央部に対応する位置において大きく、前記領域の前記一
辺の両端部に対応する位置において小さくなるように形
成され、前記液滴は、前記領域の略中央位置に着弾され
ることを特徴とする。

【００２６】この発明によれば、方形状の領域の一辺の
略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、同
一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さい
ことにより、液状材料の液滴が領域の略中央位置に着弾
したとき、当該液滴の広がりを隔壁の大きな幅を有する
部分によって妨げることが可能になるので、隣接する領
域に液状材料が混入することを低減することができる。
この場合に、上記領域が矩形であり、その長辺の略中央
部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、その長辺
の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さくなる
ように形成することが望ましい。なお、液滴の着弾位置
として領域の略中央位置に液滴を着弾させるのであれ
ば、さらに、領域の別の位置にも追加的に液滴を着弾さ
せるようにしても構わない。

【００２７】また、上記と同様に、方形状の領域の一辺
の略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、
同一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さ
い場合においては、液状材料が領域内に導入された後に
静的に保持された状態においても、隣接する領域との間
の液状材料の混合（例えば混色）を低減することが可能
になる。この効果は、上記とは異なり、液滴の着弾位置
の如何に拘わらず（すなわち液滴が領域の中央に着弾し
ない場合においても）生ずる。

【００２８】次に、本発明のまた別の液滴吐出による材
料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上
に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前
記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構
成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に
前記液滴が着弾される工程とを有し、前記開口部を挟ん
で対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長
方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、前
記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に着弾
されることを特徴とする。

【００２９】この発明によれば、遮光部が構成されてい
ない開口部に液滴を着弾させる際に、開口部内における
遮光部の間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように
形成され、液滴は、遮光部の間隔が極大となる部分に対
応する位置に着弾されることにより、液滴が着弾時にお
いて周囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の
間隔が極大となっているため、遮光部に物理的な厚みや
液状材料の広がりを妨げる性質（例えば液状材量をはじ
く性質など）がある場合には遮光部によって液状材料の
隣接領域への混入が妨げられるため、隣接開口部間の液
状材料の混入が生じ難くなる。また、遮光部に物理的な
厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合で
も、液滴の着弾位置から離れた場所において液状材料の
広がり不足が生じる場所が存在しても遮光部によって隠
蔽し易くなる。したがって、液滴の量のマージンを拡大
することが可能になり、製造が容易になるとともに、生
産効率を高めることも可能になり、また、液滴量を多め
にすることによって開口部内における液状材料の広がり
不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによって液
状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を
拡大することができることなどにより、さらに、製品の
品位（例えば表示品位）を向上させることができる。

【００３０】ここで、遮光部の延長方向としては、方形
状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれ
かの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられて
いる場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。
また、上記において、遮光部の間隔は滑らかに増減し、
開口部に臨む隔壁の輪郭が曲面状に構成されていること
が望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の
輪郭によって液状材料が開口部内を満たし易くなるの
で、液状材料の広がり不足をも低減できる。

【００３１】本発明において、前記開口部は実質的に矩
形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿
って前記間隔が増減するように形成されることが好まし
い。

【００３２】この発明によれば、矩形の開口部におい
て、長辺に沿って遮光部の間隔が増減していることによ
り、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる
性質がある場合には本来混入が生じ易い短辺方向に液状
材料が溢れて隣接する開口部に混入することを低減で
き、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨
げる性質もない場合でも液滴の着弾位置から離れた場所
での液状材料の広がり不足を遮光部により隠蔽し易くす
ることができるので、特に高い効果を得ることができ
る。

【００３３】本発明において、前記遮光部は、前記開口
部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿っ
てその幅が実質的に一定であるように形成されることが
好ましい。

【００３４】この発明によれば、遮光部の幅が遮光部の
延長方向に沿って実質的に一定であることにより、遮光
部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質があ
る場合には、液状材料の隣接する開口部への混入防止効
果を上記延長方向に沿ってほぼ一定にすることが可能に
なり、隣接開口部間の液状材料の混入をより安定的に低
減でき、また、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の
広がりを妨げる性質もない場合でも、全面積に対する開
口部の面積割合（例えば表示装置の開口率）を高めるこ
とができる。この場合、より具体的には、或る遮光部に
おいて、１側に存在する開口部において遮光部の間隔が
広がっている部分では、他側に存在する開口部における
遮光部の間隔が狭まっているように構成することが、開
口部の面積割合を大きく構成する上でより望ましい。

【００３５】本発明において、前記遮光部は、前記開口
部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿っ
てその幅が増減するように形成されることが好ましい。

【００３６】この発明によれば、遮光部の幅がその延長
方向に沿って増減するように構成されていることによ
り、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減する
ように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅
が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光
部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなる
ように構成できるため、開口部の配列態様を変えなくて
も、隣接開口部間の液状材料の混入を低減でき（遮光部
に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある
場合）、或いは、液状材料の広がり不足の隠蔽（遮光部
に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質も
ない場合）が可能になる。

【００３７】次に、本発明の更に別の液滴吐出による材
料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基材上
に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、前
記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が構
成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部に
前記液滴が着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅
は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延
長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、
前記遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に着弾
されることを特徴とする。

【００３８】この発明によれば、遮光部の幅が極大とな
る部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、
液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置
において遮光部の幅が極大となっているため、遮光部に
物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場
合には液状材料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部
間の液状材料の混入が生じ難くなる。また、遮光部に物
理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない
場合でも、隣接する液状材料の混合を遮光部によって隠
蔽する効果が得られる。したがって、液滴の量のマージ
ンを拡大することが可能になり、製造が容易になるとと
もに、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴
量を多めにすることによって開口部内における液状材料
の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることに
よって液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の
調整幅を拡大することができることなどにより、さら
に、製品の品位（例えば表示品位）を向上させることが
できる。

【００３９】ここで、遮光部の延長方向としては、方形
状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれ
かの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられて
いる場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。
また、上記において、遮光部の幅は滑らかに増減し、開
口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていること
が望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の
輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるの
で、液状材料の広がり不足をも低減できる。

【００４０】本発明において、前記開口部は実質的に矩
形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿
ってその幅が増減するように形成されることが好まし
い。

【００４１】この発明によれば、矩形の開口部におい
て、長辺に沿って遮光部の幅が増減していることによ
り、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる
性質がある場合には本来混入が生じ易い短辺方向に液状
材料が溢れて隣接する開口部に混入することを低減で
き、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨
げる性質もない場合でも隣接する液状材料の混合を遮光
部により隠蔽し易くすることができるので、特に高い効
果を得ることができる。

【００４２】本発明において、前記遮光部は、前記基材
上に形成された隔壁によって構成されることが好まし
い。

【００４３】この発明によれば、隔壁によって遮光部が
構成されることにより、隔壁が液状材料の閉じ込め機能
と、遮光機能の双方を兼ねていることとなるので、製造
工程を短縮し、製造コストを低減できるとともに、構造
を簡易なものとすることができるので、開口部の配列密
度の増大を図ることが容易になる。

【００４４】次に、本発明のさらに異なる液滴吐出によ
る材料の配置方法は、液状材料を液滴として吐出し、基
材上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であっ
て、前記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光
部が形成されていない実質的に方形状の開口部に前記液
滴が着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅は、前記
開口部の一辺の略中央部に対応する位置において大き
く、前記開口部の前記一辺の両端部に対応する位置にお
いて小さくなるように形成され、前記液滴は、前記開口
部の略中央位置に着弾されることを特徴とする。

【００４５】この発明によれば、方形状の開口部の一辺
の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大き
く、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅
が小さいことにより、液状材料の液滴が開口部の略中央
位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを遮光部の大き
な幅を有する部分によって受け入れることが可能になる
ので、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げ
る性質がある場合には隣接する開口部に液状材料が混入
することを低減することができ、遮光部に物理的な厚み
がなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも隣
接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くするこ
とができる。この場合に、上記開口部が矩形であり、そ
の長辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が
大きく、その長辺の両端部に対応する位置において遮光
部の幅が小さくなるように形成することが望ましい。な
お、液滴の着弾位置として開口部の略中央位置に液滴を
着弾させるのであれば、さらに、開口部の別の位置にも
追加的に液滴を着弾させるようにしても構わない。

【００４６】また、上記と同様に、方形状の領域の一辺
の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大き
く、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅
が小さい場合においては、液状材料が領域内に導入され
た後に静的に保持された状態においても、遮光部に物理
的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合に
は隣接する領域との間の液状材料の混合（例えば混色）
を低減することが可能になる。また、遮光部に物理的な
厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合で
も中央部近傍における隣接する液状材料の混合を遮光部
により隠蔽し易くすることができる。これらの効果は、
上記とは異なり、液滴の着弾位置の如何に拘わらず（す
なわち液滴が領域の中央に着弾しない場合においても）
生ずる。

【００４７】次に、本発明の表示装置は、基材上に、隔
壁と、該隔壁によって画成された実質的に方形状若しく
は帯状の領域内に配置された表示要素とを有する表示装
置であって、前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁
の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って増減するように構
成されていることを特徴とする。

【００４８】この発明によれば、液状材料の液滴を領域
内に導入することによって表示要素を形成する場合にお
いて、隔壁によって画成された領域に液滴を着弾させる
際に、領域内における隔壁の間隔が隔壁の延長方向に沿
って増減するように形成されることにより、隔壁の間隔
が極大となる部分に対応する位置に液滴が着弾されるこ
とにより、着弾時において液滴が周囲に広がっても、そ
の着弾位置において隔壁の間隔が極大となっているた
め、液状材料を領域内に留め易くなり、その結果、液状
材料が隔壁を乗り越えにくくなり、隣接領域間の液状材
料の混入が生じ難くなる。したがって、液滴の量のマー
ジンを拡大することが可能になり、製造が容易になると
ともに、生産効率を高めることも可能になり、また、液
滴量を多めにすることによって領域内における液状材料
の広がり不足も低減できる。さらに、材料の混入や広が
り不足が低減されることにより、隔壁の幅を低減するこ
とが可能になり、表示要素の密度を向上させることも容
易になるため、高精細な表示を可能にすることができ
る。その上、材料の混入に起因する混色や材料の広がり
不足による色抜け等を低減できるため製品の品位（例え
ば表示品位）を向上させることもできる。

【００４９】ここで、隔壁の延長方向としては、方形状
の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺
に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合
には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記
において、隔壁の間隔は滑らかに増減し、領域に臨む隔
壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。こ
れによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状
材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広が
り不足をも低減できる。

【００５０】本発明において、前記領域は実質的に矩形
であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前
記間隔が増減するように構成されていることが好まし
い。

【００５１】この発明によれば、矩形の領域において、
長辺に沿って隔壁の間隔が増減していることにより、本
来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域
に混入することを低減できるので、特に高い効果を得る
ことができる。

【００５２】本発明において、前記隔壁は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその
幅が実質的に一定であるように構成されていることが好
ましい。

【００５３】この発明によれば、隔壁の幅が隔壁の延長
方向に沿って実質的に一定であることにより、液状材料
に対する隔壁による閉じ込め効果を上記延長方向に沿っ
てほぼ一定にすることが可能になり、隣接領域間の液状
材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積
に対する領域の面積割合である表示装置の開口率を高め
ることができる。この場合、より具体的には、或る隔壁
において、その１側に存在する領域において隔壁の間隔
が広がっている部分では、他側に存在する領域において
隔壁の間隔が狭まっているように構成することが、開口
率を大きく構成する上でより望ましい。

【００５４】本発明において、前記隔壁は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその
幅が増減するように構成されていることが好ましい。

【００５５】この発明によれば、隔壁の幅がその延長方
向に沿って増減するように構成されていることにより、
隔壁の幅の増減によって隔壁の間隔が増減するように構
成することが可能になり、例えば、隔壁の幅が減少して
いる部分では隔壁の間隔が広くなり、隔壁の幅が増大し
ている部分では隔壁の間隔が狭くなるように構成できる
ため、領域の配列態様を変えずに隣接領域間の液状材料
の混入を低減できる。

【００５６】次に、本発明の別の表示装置は、基材上
に、隔壁と、該隔壁によって画成された領域内に配置さ
れた表示要素とを有する表示装置であって、前記隔壁
は、前記領域に対応する範囲においてその幅が前記隔壁
の延長方向に沿って増減するように構成されていること
を特徴とする。

【００５７】この発明によれば、液状材料の液滴を領域
内に導入することによって表示要素を形成する場合にお
いて、隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴
が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に
広がっても、その着弾位置において隔壁の幅が極大とな
っているため、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、
隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがっ
て、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、
製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可
能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域
内における液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、
製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができ
る。

【００５８】ここで、隔壁の延長方向としては、方形状
の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺
に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合
には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記
において、隔壁の幅は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁
の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これ
によれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材
料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり
不足をも低減できる。

【００５９】本発明において、前記領域は実質的に矩形
であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってそ
の幅が増減するように構成されていることが好ましい。

【００６０】この発明によれば、矩形の領域において、
長辺に沿って隔壁の幅が増減していることにより、本来
混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に
混入することを低減できるので、特に高い効果を得るこ
とができる。

【００６１】次に、本発明の異なる表示装置は、基材上
に、隔壁と、該隔壁によって画成される実質的に方形状
若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有する
表示装置であって、前記隔壁の幅は、前記領域の一辺の
略中央部に対応する位置において大きく、前記領域の前
記一辺の両端部に対応する位置において小さくなるよう
に構成されていることを特徴とする。

【００６２】この発明によれば、吐出された液状材料の
液滴を上記領域へ着弾させて表示要素を形成する場合に
は、方形状の領域の一辺の略中央部に対応する位置にお
いて隔壁の幅が大きく、同一辺の両端部に対応する位置
において隔壁の幅が小さいことにより、液状材料の液滴
が領域の略中央位置に着弾したとき、当該液滴の広がり
を隔壁の大きな幅を有する部分によって妨げることが可
能になるので、隣接する領域に液状材料が混入すること
を低減することができる。この場合に、上記領域が矩形
であり、その長辺の略中央部に対応する位置において隔
壁の幅が大きく、その長辺の両端部に対応する位置にお
いて隔壁の幅が小さくなるように形成することが望まし
い。

【００６３】次に、本発明のまた別の表示装置は、基材
上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に
方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素と
を有する表示装置であって、前記開口部を挟んで対峙す
る一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の延長方向に沿
って増減するように構成されていることを特徴とする。

【００６４】この発明によれば、液状材料の液滴を開口
部内に導入することによって表示要素を形成する場合に
おいて、遮光部が形成されていない開口部に液滴を着弾
させる際に、開口部内における遮光部の間隔が遮光部の
延長方向に沿って増減するように形成されていることに
より、遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置に
液滴が着弾されることにより、着弾時において液滴が周
囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の間隔が
極大となっているため、液状材料が遮光部を越えにくく
なり、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなると
共に、液滴の着弾位置から離れた場所では液状材料の広
がり不足を間隔の狭くなった遮光部によって隠蔽し易く
なる。したがって、液滴の量のマージンを拡大すること
が可能になり、製造が容易になるとともに、生産効率を
高めることも可能になり、また、液滴量を多めにするこ
とによって開口部内における液状材料の広がり不足も低
減でき液滴量の少なめにすることによって液状材料間の
混合を低減できるなど、材料の量の調整幅を拡大するこ
とができる。さらに、材料の混入や広がり不足が低減さ
れることにより、遮光部の幅を低減することが可能にな
り、表示要素の密度を向上させることも容易になるた
め、高精細な表示を可能にすることができる。その上、
材料の混入に起因する混色や材料の広がり不足による色
抜け等を低減できるため製品の品位（例えば表示品位）
を向上させることもできる。

【００６５】ここで、遮光部の延長方向としては、方形
状の開口部が設けられている場合には、領域のいずれか
の辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられてい
る場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。ま
た、上記において、遮光部の間隔は滑らかに増減し、開
口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていること
が望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の
輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるの
で、液状材料の広がり不足をも低減できる。

【００６６】本発明において、前記開口部は実質的に矩
形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿
って前記間隔が増減するように構成されていることが好
ましい。

【００６７】この発明によれば、矩形の開口部におい
て、長辺に沿って遮光部の間隔が増減していることによ
り、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣
接開口部に混入することを低減でき、或いは、液滴の着
弾位置から離れた場所で液状材料の広がり不足を隠蔽し
易くなるので、特に高い効果を得ることができる。

【００６８】本発明において、前記遮光部は、前記開口
部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿っ
てその幅が実質的に一定であるように構成されているこ
とが好ましい。

【００６９】この発明によれば、遮光部の幅が遮光部の
延長方向に沿って実質的に一定であることにより、隣接
開口部間の液状材料の混入をより安定的に低減できると
ともに、全面積に対する開口部の面積割合である表示装
置の開口率を高めることができる。この場合、より具体
的には、或る遮光部において、その１側に存在する開口
部において遮光部の間隔が広がっている部分では、他側
に存在する開口部において遮光部の間隔が狭まっている
ように構成することが、開口率を大きく構成する上でよ
り望ましい。

【００７０】本発明において、前記遮光部は、前記開口
部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿っ
てその幅が増減するように構成されていることが好まし
い。

【００７１】この発明によれば、遮光部の幅がその延長
方向に沿って増減するように構成されていることによ
り、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減する
ように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅
が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光
部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなる
ように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣
接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、液状
材料の広がり不足の隠蔽が可能になる。

【００７２】次に、本発明の更に別の表示装置は、基材
上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的に
方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素と
を有する表示装置であって、前記遮光部は、前記開口部
に対応する範囲においてその幅が前記遮光部の延長方向
に沿って増減するように構成されていることを特徴とす
る。

【００７３】この発明によれば、液状材料の液滴を開口
部内に導入することによって表示要素を形成する場合に
おいて、遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に
液滴が着弾されることにより、液滴が着弾時において周
囲に広がっても、その着弾位置において遮光部の幅が極
大となっているため、液状材料が遮光部を越えにくくな
り、隣接開口部間の液状材料の混入が生じ難くなり、或
いは、隣接する液状材料の混合を遮光部によって隠蔽す
る効果が得られる。したがって、液滴の量のマージンを
拡大することが可能になり、製造が容易になるととも
に、生産効率を高めることも可能になり、また、液滴量
を多めにすることによって領域内における液状材料の広
がり不足も低減でき、液滴量の少なめにすることによっ
て液状材料間の混合を低減できるなど、材料の量の調整
幅を拡大することができることなどにより、さらに、製
品の品位（例えば表示品位）を向上させることができ
る。

【００７４】ここで、遮光部の延長方向としては、方形
状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれ
かの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられて
いる場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。
また、上記において、遮光部の幅は滑らかに増減し、開
口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていること
が望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の
輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるの
で、液状材料の広がり不足をも低減できる。

【００７５】本発明において、前記開口部は実質的に矩
形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿
ってその幅が増減するように構成されていることが好ま
しい。

【００７６】この発明によれば、遮光部の幅がその延長
方向に沿って増減するように構成されていることによ
り、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減する
ように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅
が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光
部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなる
ように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣
接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、隣接
する液状材料の混合の隠蔽が可能になる。

【００７７】次に、本発明のさらに異なる表示装置は、
基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質
的に方形状の開口部内に配置された表示要素とを有する
表示装置であって、前記遮光部の幅は、前記開口部の一
辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記開口
部の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくな
るように構成されていることを特徴とする。

【００７８】この発明によれば、吐出された液状材料の
液滴を上記開口部へ着弾させて表示要素を形成する場合
には、方形状の開口部の一辺の略中央部に対応する位置
において遮光部の幅が大きく、同一辺の両端部に対応す
る位置において遮光部の幅が小さいことにより、液状材
料の液滴が開口部の略中央位置に着弾したとき、当該液
滴の広がりを遮光部の大きな幅を有する部分によって受
け入れることが可能になるので、遮光部に物理的な厚み
や液状材料の広がりを妨げる性質がある場合には隣接す
る開口部に液状材料が混入することを低減することがで
き、遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨
げる性質もない場合でも隣接する液状材料の混合を遮光
部により隠蔽し易くすることができる。この場合に、上
記開口部が矩形であり、その長辺の略中央部に対応する
位置において遮光部の幅が大きく、その長辺の両端部に
対応する位置において遮光部の幅が小さくなるように形
成することが望ましい。

【００７９】本発明において、前記遮光部は、前記基材
上に形成された隔壁によって構成されることが好まし
い。

【００８０】この発明によれば、隔壁によって遮光部が
構成されることにより、隔壁が液状材料の閉じ込め機能
と、遮光機能の双方を兼ねていることとなるので、製造
工程を短縮し、製造コストを低減できるとともに、構造
を簡易なものとすることができるので、開口部の配列密
度の増大を図ることが容易になる。

【００８１】本発明において、前記表示要素は、カラー
フィルタの構成要素であるフィルタエレメントである場
合がある。ここで、フィルタエレメントは、例えば、複
数の色のものが所定のパターン、例えば、ストライプ配
列、デルタ配列、モザイク配列等で配列される。したが
って、隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域
若しくは開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマー
ジンの確保や遮光部の幅を低減させることが可能にな
る。

【００８２】本発明において、前記表示要素は、表示ド
ットを構成するＥＬ発光部である場合もある。ここで、
ＥＬ発光部として、複数の色の光を発光するものが所定
のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モ
ザイク配列等で配列されることが好ましい。この場合、
隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域若しく
は開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマージンの
確保や遮光部の幅を低減させることが可能になる。

【００８３】次に、本発明の電子機器は、上記いずれか
に記載の表示装置を有することを特徴とする。電子機器
としては、特に、携帯電話や携帯型情報端末などの携帯
型電子機器であることが好ましく、また、プロジェクタ
等のような高精細な表示態様の表示装置が要求される電
子機器であることが好ましい。

【００８４】次に、本発明の表示装置の製造方法は、基
材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方
形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有
する表示装置の製造方法であって、前記基材上に隔壁が
形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領
域に着弾される工程とを有し、前記領域を挟んで対峙す
る一対の前記隔壁の間隔が前記隔壁の延長方向に沿って
増減するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の間隔
が極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特
徴とする。

【００８５】この発明によれば、隔壁によって画成され
た領域に液滴を着弾させる際に、領域内における隔壁の
間隔が隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され
ることにより、隔壁の間隔が極大となる部分に対応する
位置に液滴が着弾されることにより、着弾時において液
滴が周囲に広がっても、その着弾位置において隔壁の間
隔が極大となっているため、液状材料を領域内に留め易
くなり、その結果、液状材料が隔壁を乗り越えにくくな
り、隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。した
がって、液滴の量のマージンを拡大することが可能にな
り、製造が容易になるとともに、生産効率を高めること
も可能になり、また、液滴量を多めにすることによって
領域内における液状材料の広がり不足も低減できる。さ
らに、材料の混入や広がり不足が低減されることによ
り、隔壁の幅を低減することが可能になり、表示要素の
密度を向上させることも容易になるため、高精細な表示
を可能にすることができる。その上、材料の混入に起因
する混色や材料の広がり不足による色抜け等を低減でき
るため製品の品位（例えば表示品位）を向上させること
もできる。

【００８６】ここで、隔壁の延長方向としては、方形状
の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺
に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合
には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記
において、隔壁の間隔は滑らかに増減し、領域に臨む隔
壁の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。こ
れによれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状
材料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広が
り不足をも低減できる。

【００８７】本発明において、前記領域は実質的に矩形
であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前
記間隔が増減するように形成されることが好ましい。

【００８８】この発明によれば、矩形の領域において、
長辺に沿って隔壁の間隔が増減していることにより、本
来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域
に混入することを低減できるので、特に高い効果を得る
ことができる。

【００８９】本発明において、前記隔壁は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその
幅が実質的に一定であるように形成されることが好まし
い。

【００９０】この発明によれば、隔壁の幅が隔壁の延長
方向に沿って実質的に一定であることにより、液状材料
に対する隔壁による閉じ込め効果を上記延長方向に沿っ
てほぼ一定にすることが可能になり、隣接領域間の液状
材料の混入をより安定的に低減できるとともに、全面積
に対する領域の面積割合である表示装置の開口率を高め
ることができる。この場合、より具体的には、或る隔壁
において、その１側に存在する領域において隔壁の間隔
が広がっている部分では、他側に存在する領域において
隔壁の間隔が狭まっているように構成することが、開口
率を大きく構成する上でより望ましい。

【００９１】本発明において、前記隔壁は、前記領域に
対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿ってその
幅が増減するように形成されることが好ましい。

【００９２】この発明によれば、隔壁の幅がその延長方
向に沿って増減するように構成されていることにより、
隔壁の幅の増減によって隔壁の間隔が増減するように構
成することが可能になり、例えば、隔壁の幅が減少して
いる部分では隔壁の間隔が広くなり、隔壁の幅が増大し
ている部分では隔壁の間隔が狭くなるように構成できる
ため、領域の配列態様を変えずに隣接領域間の液状材料
の混入を低減できる。

【００９３】次に、本発明の表示装置の製造方法は、基
材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質的に方
形状若しくは帯状の領域内に配置された表示要素とを有
する表示装置の製造方法であって、前記基材上に隔壁が
形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領
域に着弾される工程とを有し、前記隔壁の幅は、前記領
域に対応する範囲において前記隔壁の延長方向に沿って
増減するように形成され、前記液滴は、前記隔壁の幅が
極大となる部分に対応する位置に着弾されることを特徴
とする。

【００９４】この発明によれば、液状材料の液滴を領域
内に導入することによって表示要素を形成する場合にお
いて、隔壁の幅が極大となる部分に対応する位置に液滴
が着弾されることにより、液滴が着弾時において周囲に
広がっても、その着弾位置において隔壁の幅が極大とな
っているため、液状材料が隔壁を乗り越えにくくなり、
隣接領域間の液状材料の混入が生じ難くなる。したがっ
て、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、
製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可
能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域
内における液状材料の広がり不足も低減でき、さらに、
製品の品位（例えば表示品位）を向上させることができ
る。

【００９５】ここで、隔壁の延長方向としては、方形状
の領域が設けられている場合には、領域のいずれかの辺
に沿った方向であり、帯状の領域が設けられている場合
には、領域自体が伸びる方向が挙げられる。また、上記
において、隔壁の幅は滑らかに増減し、領域に臨む隔壁
の内面が曲面状に構成されていることが望ましい。これ
によれば、滑らかな曲面状の隔壁の内面によって液状材
料が領域内で広がりやすくなるので、液状材料の広がり
不足をも低減できる。

【００９６】本発明において、前記領域は実質的に矩形
であり、前記隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってそ
の幅が増減するように形成されることが好ましい。

【００９７】この発明によれば、矩形の領域において、
長辺に沿って隔壁の幅が増減していることにより、本来
混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣接領域に
混入することを低減できるので、特に高い効果を得るこ
とができる。

【００９８】次に、本発明の異なる表示装置の製造方法
は、基材上に、隔壁と、該隔壁によって画成された実質
的に方形状の領域内に配置された表示要素とを有する表
示装置の製造方法であって、前記基材上に隔壁が形成さ
れる工程と、吐出された液状材料の液滴が前記領域に着
弾される工程とを有し、前記隔壁の幅が、前記領域の一
辺の略中央部に対応する位置において大きく、前記領域
の前記一辺の両端部に対応する位置において小さくなる
ように形成され、前記液滴は、前記領域の略中央位置に
着弾されることを特徴とする。

【００９９】この発明によれば、方形状の領域の一辺の
略中央部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、同
一辺の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さい
ことにより、液状材料の液滴が領域の略中央位置に着弾
したとき、当該液滴の広がりを隔壁の大きな幅を有する
部分によって妨げることが可能になるので、隣接する領
域に液状材料が混入することを低減することができる。
この場合に、上記領域が矩形であり、その長辺の略中央
部に対応する位置において隔壁の幅が大きく、その長辺
の両端部に対応する位置において隔壁の幅が小さくなる
ように形成することが望ましい。なお、液滴の着弾位置
として領域の略中央位置に液滴を着弾させるのであれ
ば、さらに、領域の別の位置にも追加的に液滴を着弾さ
せるようにしても構わない。

【０１００】次に、本発明の表示装置の製造方法は、基
材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的
に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素
とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に
遮光部が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴
が前記開口部に着弾される工程とを有し、前記開口部を
挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が前記遮光部の
延長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴
は、前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応する位置
に着弾されることを特徴とする。

【０１０１】この発明によれば、遮光部が形成されてい
ない開口部に液滴を着弾させる際に、開口部内における
遮光部の間隔が遮光部の延長方向に沿って増減するよう
に形成されていることにより、遮光部の間隔が極大とな
る部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、
着弾時において液滴が周囲に広がっても、その着弾位置
において遮光部の間隔が極大となっているため、液状材
料が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料
の混入が生じ難くなると共に、液滴の着弾位置から離れ
た場所では液状材料の広がり不足を間隔の狭くなった遮
光部によって隠蔽し易くなる。したがって、液滴の量の
マージンを拡大することが可能になり、製造が容易にな
るとともに、生産効率を高めることも可能になり、ま
た、液滴量を多めにすることによって開口部内における
液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の少なめにす
ることによって液状材料間の混合を低減できるなど、材
料の量の調整幅を拡大することができる。さらに、材料
の混入や広がり不足が低減されることにより、遮光部の
幅を低減することが可能になり、表示要素の密度を向上
させることも容易になるため、高精細な表示を可能にす
ることができる。その上、材料の混入に起因する混色や
材料の広がり不足による色抜け等を低減できるため製品
の品位（例えば表示品位）を向上させることもできる。

【０１０２】ここで、遮光部の延長方向としては、方形
状の開口部が設けられている場合には、領域のいずれか
の辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられてい
る場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。ま
た、上記において、遮光部の間隔は滑らかに増減し、開
口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていること
が望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の
輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるの
で、液状材料の広がり不足をも低減できる。

【０１０３】本発明において、前記開口部は実質的に矩
形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿
って前記間隔が増減するように形成されることが好まし
い。

【０１０４】この発明によれば、矩形の開口部におい
て、長辺に沿って遮光部の間隔が増減していることによ
り、本来混入が生じ易い短辺方向に液状材料が溢れて隣
接開口部に混入することを低減でき、或いは、液滴の着
弾位置から離れた場所で液状材料の広がり不足を隠蔽し
易くなるので、特に高い効果を得ることができる。

【０１０５】本発明において、前記遮光部は、前記開口
部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿っ
てその幅が実質的に一定であるように形成されることが
好ましい。

【０１０６】この発明によれば、遮光部の幅が遮光部の
延長方向に沿って実質的に一定であることにより、隣接
開口部間の液状材料の混入をより安定的に低減できると
ともに、全面積に対する開口部の面積割合である表示装
置の開口率を高めることができる。この場合、より具体
的には、或る遮光部において、その１側に存在する開口
部において遮光部の間隔が広がっている部分では、他側
に存在する開口部において遮光部の間隔が狭まっている
ように構成することが、開口率を大きく構成する上でよ
り望ましい。

【０１０７】本発明において、前記遮光部は、前記開口
部に対応する範囲において前記遮光部の延長方向に沿っ
てその幅が増減するように形成されることが好ましい。

【０１０８】この発明によれば、遮光部の幅がその延長
方向に沿って増減するように構成されていることによ
り、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減する
ように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅
が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光
部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなる
ように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣
接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、液状
材料の広がり不足の隠蔽が可能になる。

【０１０９】次に、本発明の表示装置の製造方法は、基
材上に、遮光部と、該遮光部が形成されていない実質的
に方形状若しくは帯状の開口部内に配置された表示要素
とを有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に
遮光部が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴
が前記領域に着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅
は、前記開口部に対応する範囲において前記遮光部の延
長方向に沿って増減するように形成され、前記液滴は、
前記遮光部の幅が極大となる部分に対応する位置に着弾
されることを特徴とする。

【０１１０】この発明によれば、遮光部の幅が極大とな
る部分に対応する位置に液滴が着弾されることにより、
液滴が着弾時において周囲に広がっても、その着弾位置
において遮光部の幅が極大となっているため、液状材料
が遮光部を越えにくくなり、隣接開口部間の液状材料の
混入が生じ難くなり、或いは、隣接する液状材料の混合
を遮光部によって隠蔽する効果が得られる。したがっ
て、液滴の量のマージンを拡大することが可能になり、
製造が容易になるとともに、生産効率を高めることも可
能になり、また、液滴量を多めにすることによって領域
内における液状材料の広がり不足も低減でき、液滴量の
少なめにすることによって液状材料間の混合を低減でき
るなど、材料の量の調整幅を拡大することができること
などにより、さらに、製品の品位（例えば表示品位）を
向上させることができる。

【０１１１】ここで、遮光部の延長方向としては、方形
状の開口部が設けられている場合には、開口部のいずれ
かの辺に沿った方向であり、帯状の開口部が設けられて
いる場合には、開口部自体が伸びる方向が挙げられる。
また、上記において、遮光部の幅は滑らかに増減し、開
口部に臨む遮光部の輪郭が曲面状に構成されていること
が望ましい。これによれば、滑らかな曲面状の遮光部の
輪郭によって液状材料が開口部内で広がりやすくなるの
で、液状材料の広がり不足をも低減できる。

【０１１２】本発明において、前記開口部は実質的に矩
形であり、前記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿
ってその幅が増減するように形成されることが好まし
い。

【０１１３】この発明によれば、遮光部の幅がその延長
方向に沿って増減するように構成されていることによ
り、遮光部の幅の増減によって遮光部の間隔が増減する
ように構成することが可能になり、例えば、遮光部の幅
が減少している部分では遮光部の間隔が広くなり、遮光
部の幅が増大している部分では遮光部の間隔が狭くなる
ように構成できるため、開口部の配列態様を変えずに隣
接開口部間の液状材料の混入を低減でき、或いは、隣接
する液状材料の混合の隠蔽が可能になる。

【０１１４】次に、本発明のさらに異なる表示装置の製
造方法は、基材上に、遮光部と、該遮光部が形成されて
いない実質的に方形状の領域内に配置された表示要素と
を有する表示装置の製造方法であって、前記基材上に遮
光部が形成される工程と、吐出された液状材料の液滴が
前記遮光部に着弾される工程とを有し、前記遮光部の幅
が、前記開口部の一辺の略中央部に対応する位置におい
て大きく、前記開口部の前記一辺の両端部に対応する位
置において小さくなるように形成され、前記液滴は、前
記開口部の略中央位置に着弾されることを特徴とする。

【０１１５】この発明によれば、方形状の開口部の一辺
の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大き
く、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅
が小さいことにより、液状材料の液滴が開口部の略中央
位置に着弾したとき、当該液滴の広がりを遮光部の大き
な幅を有する部分によって受け入れることが可能になる
ので、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げ
る性質がある場合には隣接する開口部に液状材料が混入
することを低減することができ、遮光部に物理的な厚み
がなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合でも隣
接する液状材料の混合を遮光部により隠蔽し易くするこ
とができる。この場合に、上記開口部が矩形であり、そ
の長辺の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が
大きく、その長辺の両端部に対応する位置において遮光
部の幅が小さくなるように形成することが望ましい。な
お、液滴の着弾位置として開口部の略中央位置に液滴を
着弾させるのであれば、さらに、開口部の別の位置にも
追加的に液滴を着弾させるようにしても構わない。

【０１１６】また、上記と同様に、方形状の領域の一辺
の略中央部に対応する位置において遮光部の幅が大き
く、同一辺の両端部に対応する位置において遮光部の幅
が小さい場合においては、液状材料が領域内に導入され
た後に静的に保持された状態においても、遮光部に物理
的な厚みや液状材料の広がりを妨げる性質がある場合に
は隣接する領域との間の液状材料の混合（例えば混色）
を低減することが可能になる。また、遮光部に物理的な
厚みがなく液状材料の広がりを妨げる性質もない場合で
も中央部近傍における隣接する液状材料の混合を遮光部
により隠蔽し易くすることができる。これらの効果は、
上記とは異なり、液滴の着弾位置の如何に拘わらず（す
なわち液滴が領域の中央に着弾しない場合においても）
生ずる。

【０１１７】本発明において、前記遮光部は、前記基材
上に形成された隔壁によって構成されることが好まし
い。

【０１１８】この発明によれば、隔壁によって遮光部が
構成されることにより、隔壁が液状材料の閉じ込め機能
と、遮光機能の双方を兼ねていることとなるので、製造
工程を短縮し、製造コストを低減できるとともに、構造
を簡易なものとすることができるので、開口部の配列密
度の増大を図ることが容易になる。

【０１１９】本発明において、前記表示要素は、カラー
フィルタの構成要素であるフィルタエレメントである場
合がある。ここで、フィルタエレメントは、例えば、複
数の色のものが所定のパターン、例えば、ストライプ配
列、デルタ配列、モザイク配列等で配列される。したが
って、隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域
若しくは開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマー
ジンの確保や遮光部の幅を低減させることが可能にな
る。

【０１２０】本発明において、前記表示要素は、表示ド
ットを構成するＥＬ発光部である場合もある。ここで、
ＥＬ発光部として、複数の色の光を発光するものが所定
のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モ
ザイク配列等で配列されることが好ましい。この場合、
隣接領域間若しくは隣接開口部間の混色や各領域若しく
は開口部の色抜け等を防止しつつ、液滴量のマージンの
確保や遮光部の幅を低減させることが可能になる。

【０１２１】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る液滴吐出による材料の配置方法、表示装置、表示
装置の製造方法、及び、電子機器の実施形態について詳
細に説明する。本発明の特徴的な構成及び方法について
説明する前に、まず、カラーフィルタ基板の構造及び製
造方法と、ＥＬ発光パネルの構造及び製造方法について
順次説明する。

【０１２２】［カラーフィルタ基板及びその製造方法］
図５は、カラーフィルタ基板の製造工程を示す工程断面
図（ａ）〜（ｇ）であり、図６は、カラーフィルタ基板
の製造工程の手順を示す概略フローチャートである。

【０１２３】最初に、図５（ａ）に示すように、透光性
を有するガラスやプラスチック等で構成された基板１２
の表面上に、スピンコーティング（回転塗布）、流延塗
布、ロール塗布などの種々の方法によって放射線感応性
素材６Ａを塗布する（図６に示すステップＳ３１）。放
射線感応性素材６Ａとしては、樹脂組成物であることが
好ましい。塗布後における上記素材６Ａの厚さは、通常
０．１〜１０μｍ、好ましくは０．５〜３．０μｍであ
る。

【０１２４】上記の樹脂組成物は、例えば、（ｉ）バイ
ンダー樹脂、多官能性単量体、光重合開始剤等を含有す
る、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成
物や、（ｉｉ）バインダー樹脂、放射線の照射により酸
を発生する化合物、放射線の照射により発生した酸の作
用により架橋し得る架橋性化合物等を含有する、放射線
の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物などを用
いることができる。これらの樹脂組成物は、通常、その
使用に際して溶媒を混合して液状組成物として調製され
るが、この溶媒は、高沸点溶媒でも低沸点溶媒でもよ
い。本発明の素材６Ａとしては、特開平１０−８６４５
６号公報に記載されているような、（ａ）ヘキサフルオ
ロプロピレンと不飽和カルボン酸（無水物）と他の共重
合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体、（ｂ）
放射線の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）放射線
の照射により発生した酸の作用により架橋しうる架橋性
化合物、（ｄ）前記（ａ）成分以外の含フッ素有機化合
物、並びに、（ｅ）前記（ａ）〜（ｄ）成分を溶解しう
る溶媒、を含有する組成物であることが好ましい。

【０１２５】次に、上記素材６Ａに所定のパターンマス
クを介して放射線を照射（露光）する（図６のステップ
Ｓ３２）。本明細書において放射線というときは、可視
光、紫外線、Ｘ線、電子線などが含まれるが、波長が１
９０〜４５０ｎｍの範囲にある放射線（光）が好まし
い。

【０１２６】その後、上記素材６Ａを現像する（図６の
ステップＳ３３）ことによって、図５（ｂ）に示す隔壁
（バンク）６Ｂを形成する。この隔壁６Ｂは、上記パタ
ーンマスクに対応した形状（ネガパターン又はポジパタ
ーン）に構成される。隔壁６Ｂの形状としては、例え
ば、方形状のフィルタエレメント形成領域７を平面上に
おいて縦横に配列させることのできるように画成する格
子状であることが好ましい。素材６Ａを現像するのに用
いられる現像液としては、アルカリ現像液が用いられ
る。このアルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリ
ウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、硅素ナトリ
ウム、メタ硅素ナトリウム、アンモニア水、エチルアミ
ン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プ
ロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミ
ン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミ
ン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、
ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５，
４，０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ
［４，３，０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。こ
のアルカリ現像液には、例えば、メタノール、エタノー
ル等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加するこ
ともできる。なお、アルカリ現像液による現像後は、通
常、水洗が行われる。

【０１２７】その後、図５（ｃ）に示すように、上記隔
壁６Ｂは、例えば２００℃程度にてベーク（焼成）され
て隔壁６Ｃとなる（図６のステップＳ３４）。焼成温度
は、上記の素材６Ａに応じて適宜調整される。また、素
材６Ａによってはベーク処理を要しない場合もあり得
る。なお、本実施形態では、隔壁６Ｃは遮光性の素材で
構成されているために、各領域７を画成する（区画す
る）文字通りの隔壁としての機能と、領域７以外の部分
を遮光する遮光層としての機能とを併せ持つものとなっ
ている。もっとも、隔壁としての機能のみを有するよう
に構成しても構わない。この場合、隔壁とは別に、金属
等で構成される遮光層を別途形成してもよい。

【０１２８】次に、上記のようにして形成された隔壁６
Ｃによって画成される各領域７に、アクリル樹脂等の基
材に着色剤（顔料、染料など）を混入したフィルタエレ
メント材料１３（図示例では１３Ｒ（赤の着色材），１
３Ｇ（緑の着色材），１３Ｂ（青の着色材））を導入す
る。フィルタエレメント材料１３を各領域７に導入する
方法としては、フィルタエレメント材料１３を、溶媒な
どを混合することによって液状材料として形成し、この
液状材料を上記領域７に導入する。より具体的には、本
実施形態では、後述する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐
出によって液状材料を液滴８の形態で領域７内に着弾さ
せることによって材料の導入を行っている。

【０１２９】上記のフィルタエレメント材料１３は、液
状材料として導入され、その後に、乾燥若しくは低温
（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）
を行うことによって、仮固化若しくは仮硬化される。例
えば、フィルタエレメント材料１３Ｒの導入を行い（図
５（ｄ）及び図６のステップＳ３５））、その後に、フ
ィルタエレメント材料１３Ｒのプレベークを行ってフィ
ルタエレメント３Ｒを形成し（図６のステップＳ３
６）、次に、フィルタエレメント材料１３Ｇの導入を行
い（図５（ｅ）及び図６のステップＳ３７）、フィルタ
エレメント材料１３Ｇのプレベークを行ってフィルタエ
レメント３Ｇを形成し（図６のステップＳ３８）、さら
に、フィルタエレメント１３Ｂの導入を行い（図５
（ｆ）及び図６のステップＳ３９）、しかる後に、フィ
ルタエレメント１３Ｂのプレベークを行ってフィルタエ
レメント３Ｂを形成する（図６のステップＳ４０）。こ
のようにして、全ての色のフィルタエレメント材料が各
領域７に導入され、仮固化若しくは仮硬化された表示要
素であるフィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）が
形成されることにより、表示素材（カラーフィルタ基
板）が形成される。

【０１３０】次に、上記のようにして構成された表示素
材であるカラーフィルタ基板を検査する（図６のステッ
プＳ４１）。この検査は、例えば、肉眼若しくは顕微鏡
等で、上記隔壁６Ｃ及び表示要素であるフィルタエレメ
ント３を観察する。この場合、カラーフィルタ基板を撮
影し、その撮影画像に基づいて自動的に検査を行っても
構わない。この検査によって、表示要素であるフィルタ
エレメント３に欠陥が見つかった場合には、そのカラー
フィルタ基板を以下に説明する基体再生工程に移行させ
る。

【０１３１】ここで、フィルタエレメント３の欠陥と
は、フィルタエレメント３が欠如している場合（いわゆ
るドット抜け）、フィルタエレメント３が形成されてい
るが、領域７内に配置された材料の量（体積）が多すぎ
たり少なすぎたりして不適切である場合、フィルタエレ
メント３が形成されているが、塵埃等の異物が混入して
いたり付着していたりする場合などである。

【０１３２】上記検査において表示素材に欠陥が発見さ
れなかった場合には、例えば２００℃程度の温度でベー
ク（焼成）処理を行い、表示素材であるフィルタエレメ
ント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）を完全に固化若しくは硬化
させる（図６のステップＳ４２）。このベーク処理の温
度はフィルタエレメント材料１３の組成等によって適宜
に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単
に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）
などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。最
後に、図５（ｇ）に示すように、上記フィルタエレメン
ト３の上に透明な保護層１４が形成される。

【０１３３】［ＥＬ発光パネル及びその製造方法］次
に、図７及び図８を参照して、ＥＬ発光パネル及びその
製造方法について説明する。ここで、図７は、ＥＬ発光
パネルの製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｇ）であ
り、図８は、ＥＬ発光パネルの製造工程の手順を示す概
略フローチャートである。

【０１３４】このＥＬ発光パネルを製造する場合には、
透光性のガラスやプラスチック等で構成された基板１２
上に、例えば、図７（ａ）に示す第１電極２０１を形成
する。ＥＬ発光パネルがパッシブマトリクス型である場
合には第１電極２０１は帯状に形成され、また、基板１
２上に図示しないＴＦＤ素子やＴＦＴ素子といった能動
素子を形成してなるアクティブマトリクス型である場合
には第１電極２０１は表示ドット毎に独立して形成され
る。これらの構造の形成方法としては、例えばフォトリ
ソグラフィ法、真空状着法、スパッタリング法、パイロ
ゾル法などを用いることができる。第１電極２０１の材
料としてはＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）、酸化スズ、酸
化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いるこ
とができる。

【０１３５】次に、上記第１電極２０１上に、上記カラ
ーフィルタ基板の場合と同様に放射線感応性素材６Ａを
同様の方法で塗布する（図８に示すステップＳ６１）。
そして、上記と同様の方法で、放射線照射（露光）処理
（図８のステップＳ６２）及び現像処理（図８のステッ
プＳ６３）を行い、図７（ｂ）に示すように、隔壁（バ
ンク）６Ｂを形成する。

【０１３６】このバンク６Ｂは、格子状に形成され、各
表示ドットに形成された第１電極２０１の間を隔てるよ
うに、すなわち、表示ドットに対応するＥＬ発光部形成
領域７が構成されるように、形成される。また、上記カ
ラーフィルタ基板の場合と同様に、遮光機能をも有する
ことが好ましい。この場合には、コントラストの向上、
発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れ
などを防止することができる。隔壁６Ｂの材料として
は、基本的に上記カラーフィルタ基板の隔壁に採用され
た各種の素材を用いることができる。ただし、この場合
には特に、後述するＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性
を有するものであることが望ましく、さらに、フロロカ
ーボンガスプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン
化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、
感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。

【０１３７】次に、機能性液状体としての正孔注入層用
材料を塗布する直前に、基板１２に酸素ガスとフロロカ
ーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う。これに
より、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水
化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の
濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置として
は、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプ
ラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
また、このプロセスとは別に、或いは、このプロセスの
代りに、上記隔壁６Ｂに２００℃程度にてベーク（焼
成）処理を施す（図８のステップＳ６４）。これによっ
て、隔壁６Ｃが形成される。

【０１３８】次に、図７（ｃ）に示すように、正孔注入
層用材料２０２Ａを液滴８の形で吐出し、領域７に着弾
させる（図８のステップＳ６５）。この正孔注入層用材
料２０２Ａは、正孔注入層としての素材を溶媒などによ
って液状化したものである。その後、プレベーク処理と
して真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で
溶媒を除去し、さらにその後、図５（ｄ）に示すよう
に、大気中、２０℃（ホットプレート上）、１０分の熱
処理により、発光層用材料と相溶しない正孔注入層２０
２を形成する（図８のステップＳ６６）。上記条件で
は、正孔注入層２０２の膜厚は４０ｎｍであった。

【０１３９】次に、図７（ｄ）に示すように、各領域７
内の正孔注入層２０２の上に、機能性液状体であるＥＬ
発光材料としてのＲ発光層用材料及びＧ発光層用材料を
上記と同様に液滴として導入する（図８のステップＳ６
７）。そして、これら発光層用材料の塗布後、プレベー
ク処理として、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分な
どという条件で溶媒を除去した（図８のステップＳ６
８）。その後、窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処
理により共役化させてＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発
光層２０３Ｇを形成した（図８のステップＳ６９）。熱
処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。上記
条件により形成されたＲ発光層２０３Ｒ及びＧ発光層２
０３Ｇの膜厚は５０ｎｍであった。

【０１４０】なお、発光層を形成する前に正孔注入層２
２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プ
ラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層２
２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャ
ルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率
の高い有機ＥＬ装置を提供できる。

【０１４１】次に、図５（ｅ）に示すように、機能性液
状体であるＥＬ発光材料としてのＢ色発光層２０３Ｂを
上記と同様に液滴８の状態で上記Ｒ発光層２０３ＲとＧ
発光層２０３Ｇの形成されていない領域７に導入すると
ともに、上記Ｒ発光層２０３Ｒ及びＧ発光層２０３Ｇ上
にも重ねて導入する（図８のステップＳ７０）。この
後、プレベーク処理として、真空（１ｔｏｒｒ）中、室
温、２０分などという条件で溶媒を除去し（図８のステ
ップＳ７１）、これにより、図７（ｆ）に示すようにＢ
発光層２０３Ｂを形成した。このようにＢ発光層２０３
Ｂを重ねて配置することにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を
形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発
光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化す
ることができる。これにより、上下電極間のショートを
確実に防ぐことができる。一方、Ｂ色発光層２０３Ｂの
膜厚を調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光
層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造にお
いて、電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しな
い。以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法として
は、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用
することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３Ｒお
よびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様の方法を採用す
ることもできる。

【０１４２】上記のＲ色発光層２０３Ｒ，Ｇ色発光層２
０３Ｇ及びＢ色発光層２０３Ｂの配列態様としては、必
要とされる表示性能に応じて、ストライプ配列、デルタ
配列、モザイク配列などの公知のパターンを適宜用いる
ことができる。

【０１４３】次に、上記のように各表示ドットに正孔注
入層２０２、及び、Ｒ色発光層２０３Ｒ，Ｇ色発光層２
０３Ｇ又はＢ色発光層２０３Ｂが形成されたＥＬ発光パ
ネルについて、目視或いは顕微鏡等による観察、或い
は、画像処理などによる検査を行う（図８のステップＳ
７２）。そして、この検査によって各表示ドット内のＥ
Ｌ発光部（正孔注入層２０２と、Ｒ色発光層２０３Ｒ，
Ｇ色発光層２０３Ｇ又はＢ色発光層２０３Ｂとの積層体
によって構成される。）に不良（ドット抜け、積層構造
の不良、発光部の材料の過多、塵埃等の異物の混入な
ど）が発見された場合には、プロセスから排除される。
また、この検査で不良が発見されない場合には、図７
（ｇ）に示すように、対向電極２１３を形成する（図８
のステップＳ７３）。対向電極２１３はそれが面電極で
ある場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉなどを
材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を
用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ
状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソ
グラフィ法などといったパターニング手法を用いて形成
できる。最後に、図７（ｇ）に示すように、対向電極２
１３の上に保護層２１４が適宜の材料（樹脂モールド
材、無機絶縁膜など）によって形成される（図８のステ
ップＳ７４）ことにより、目標とするＥＬ発光パネルが
製造される。

【０１４４】［第１実施形態］次に、以上説明したカラ
ーフィルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適
用可能な本発明の第１実施形態の要部について詳細に説
明する。図１は、第１実施形態の基板１２上の構造を示
す平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面
構造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面
構造を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１４５】この実施形態においては、基板１２上に形
成された隔壁６Ｃによって実質的に方形状（図示例では
矩形状）の領域７が形成されている。この領域７は、図
示例では、縦横にマトリクス状に配列されている。図１
には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成
する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２
０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するため
の材料を導入する前の状態を示してある。

【０１４６】各領域７は、この領域７を取り囲む隔壁６
Ｃの内面６Ｘ，６Ｙのうち、領域７の長辺を構成する内
面６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、領域７を
挟んで対峙する一対の隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺
の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構
成されている。また、領域７の長辺の伸びる方向（図示
Ｘ方向）に沿って隔壁６Ｃの幅が増減するようにも構成
されている。

【０１４７】上記領域７内には、表示要素、すなわちカ
ラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パ
ネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成
される。このために、各種材料が液滴８の形で各領域７
に導入される。本実施形態では、領域７の内部におい
て、図１（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾
するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のよう
に、上記Ｘ方向に増減する隔壁６Ｃの幅が極大となる部
分（図示Ｂ−Ｂ断面部分）に対応する位置に設定されて
いる。なお、図示例では、一つの領域７内に３箇所の着
弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの表
示要素が構成されるようになっている。

【０１４８】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐの側
方（図示左右）にある隔壁６Ｃの部分は幅が広くなって
いるので、隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する両側の領域７
に液状材料が混入する危険性を低減できる。したがっ
て、液滴量のマージンを大きく確保することが可能にな
るので、液滴量の制御が容易になり、液滴量を増やすこ
とにより表示要素の広がり不足（例えば色抜け部分の発
生）を防止することができる。そして、これらの結果、
製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能
になる。

【０１４９】［第２実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第２実施形態の要部について詳細に説明す
る。図２は、第２実施形態の基板１２上の構造を示す平
面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１５０】この実施形態においても、基板１２上に形
成された隔壁６Ｃによって実質的に方形状（図示例では
矩形状）の領域７が形成されている。この領域７は、図
示例では、縦横にマトリクス状に配列されている。図２
には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成
する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２
０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するため
の材料を導入する前の状態を示してある。

【０１５１】各領域７は、この領域７を取り囲む隔壁６
Ｃの内面６Ｘ，６Ｙのうち、領域７の長辺を構成する内
面６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、領域７を
挟んで対峙する一対の隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺
の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構
成されている。また、領域７の長辺の伸びる方向（図示
Ｘ方向）に沿って隔壁６Ｃの幅が増減するようにも構成
されている。

【０１５２】上記領域７内には、表示要素、すなわちカ
ラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パ
ネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成
される。このために、各種材料が液滴８の形で各領域７
に導入される。本実施形態では、領域７の内部におい
て、図２（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾
するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のよう
に、上記Ｘ方向に増減する隔壁６Ｃの間隔が極大となる
部分、すなわち、領域７の幅が極大となる部分（図示Ｂ
−Ｂ断面部分）、に対応する位置に設定されている。な
お、図示例では、一つの領域７内に３箇所の着弾設定位
置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの表示要素が
構成されるようになっている。

【０１５３】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにお
ける隔壁６Ｃの間隔が大きくなっているので、液滴８の
一時的拡大を大きな領域７の幅によって受け入れること
が可能になるため、隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する両側
の領域７に液状材料が混入する危険性を低減できる。し
たがって、液滴量のマージンを大きく確保することが可
能になるので、液滴量の制御が容易になり、また、液滴
量を増やすことにより表示要素の広がり不足（例えば色
抜け部分の発生）を防止することができる。そして、こ
れらの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図
ることが可能になる。

【０１５４】［第３実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第３実施形態の要部について詳細に説明す
る。図３は、第３実施形態の基板１２上の構造を示す平
面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１５５】この実施形態においても、基板１２上に形
成された隔壁６Ｃによって実質的に方形状（図示例では
矩形状）の領域７が形成されている。この領域７は、図
示例では、一列毎に互い違い、或いは、千鳥状に、配列
されている。図３には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ
発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレメント
３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要
素を形成するための材料を導入する前の状態を示してあ
る。

【０１５６】各領域７は、この領域７を取り囲む隔壁６
Ｃの内面６Ｘ，６Ｙのうち、領域７の長辺を構成する内
面６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、領域７を
挟んで対峙する一対の隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺
の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構
成されている。また、領域７の長辺の伸びる方向（図示
Ｘ方向）に沿って隔壁６Ｃの幅が実質的に一定になるよ
うに構成されている。すなわち、本実施形態の場合、隣
接する領域７間を隔てるように配置された隔壁６Ｃ（図
示例ではＸ方向に伸びる部分）は、全体としてＹ方向に
蛇行しながらＸ方向に伸びるように構成されている。

【０１５７】上記領域７内には、表示要素、すなわちカ
ラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パ
ネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成
される。このために、各種材料が液滴８の形で各領域７
に導入される。本実施形態では、領域７の内部におい
て、図３（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾
するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のよう
に、上記Ｘ方向に増減する隔壁６Ｃの間隔が極大となる
部分、すなわち領域７の幅が極大となる部分、に対応す
る位置に設定されている。なお、図示例では、一つの領
域７内に３箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液
滴によって一つの表示要素が構成されるようになってい
る。

【０１５８】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにお
ける隔壁６Ｃの間隔が大きくなっているので、液滴８の
一時的拡大を大きな領域７の幅によって受け入れること
が可能になるため、隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する両側
の領域７に液状材料が混入する危険性を低減できる。し
たがって、液滴量のマージンを大きく確保することが可
能になるので、液滴量の制御が容易になり、また、液滴
量を増やすことにより表示要素の広がり不足（例えば色
抜け部分の発生）を防止することができる。そして、こ
れらの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図
ることが可能になる。

【０１５９】また、本実施形態では、隣接する領域７に
挟まれた隔壁６Ｃの部分がＸ方向に実質的に一定の幅を
有するように構成されているので、Ｘ方向に見て、隔壁
６Ｃによる液状材料の閉じ込め効果をほぼ一定にするこ
とができ、その結果、隣接領域間における材料の混入を
より低減することができ、より安定した製品歩留まりを
得ることが可能になる。

【０１６０】［第４実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第４実施形態の要部について詳細に説明す
る。図４は、第４実施形態の基板１２上の構造を示す平
面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１６１】この実施形態においては、基板１２上に形
成された隔壁６Ｃによって実質的に方形状（図示例では
矩形状）の領域７が形成されている。この領域７は、図
示例では、縦横にマトリクス状に配列されている。図４
には、上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成
する場合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２
０２又はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するため
の材料を導入する前の状態を示してある。

【０１６２】各領域７は、この領域７を取り囲む隔壁６
Ｃの内面６Ｘ，６Ｙのうち、領域７の長辺を構成する内
面６Ｘが凹凸形状に形成されている。そして、領域７を
挟んで対峙する一対の隔壁６Ｃの間隔が、領域７の長辺
の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って増減するように構
成されている。また、領域７の長辺の伸びる方向（図示
Ｘ方向）に沿って隔壁６Ｃの幅が増減するようにも構成
されている。

【０１６３】本実施形態では、特に、一対の領域７に挟
まれた隔壁６Ｃの幅が、領域７のＸ方向の略中央部に対
応する位置において大きく、領域７のＸ方向の両端部に
おいて小さくなるように構成されている。

【０１６４】上記領域７内には、表示要素、すなわちカ
ラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光パ
ネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形成
される。このために、各種材料が液滴８の形で各領域７
に導入される。本実施形態では、領域７の内部におい
て、図４（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着弾
するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のよう
に、上記Ｘ方向に増減する隔壁６Ｃの幅が極大となる部
分（図示Ｂ−Ｂ断面部分）に対応する、領域７内の略中
央位置に設定されている。また、この略中央位置の両側
（図示上下両側）に、さらに一つずつの着弾設定位置Ｐ
が設定されている。なお、図示例では、一つの領域７内
に３箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によ
って一つの表示要素が構成されるようになっている。

【０１６５】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐの側
方（図示左右）にある隔壁６Ｃの部分は幅が広くなって
いるので、領域７の略中央位置において液滴８が着弾し
た場合には、隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する両側の領域
７に液状材料が混入する危険性を低減できる。したがっ
て、液滴量のマージンを大きく確保することが可能にな
るので、液滴量の制御が容易になり、液滴量を増やすこ
とにより表示要素の広がり不足（例えば色抜け部分の発
生）を防止することができる。そして、これらの結果、
製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能
になる。

【０１６６】また、上記のように領域の中央部分におい
て、隔壁の幅が広がり、或いは、隔壁の間隔が狭まって
いることにより、液滴の着弾時ではなく着弾後に領域内
に液状材料が静的に保持されている状態においても、隣
接する領域との間の液状材料の混合（例えば混色）を低
減することが可能になる。この効果は、上記とは異な
り、液滴の着弾位置の如何に拘わらず（すなわち液滴が
領域の中央に着弾しない場合においても）生ずる。

【０１６７】なお、上記の第１乃至第４実施形態におい
ては、隔壁６Ｃは全て実質的に透光性を有しない素材に
よって形成されていること、すなわち遮光層にもなって
いること、が好ましい。この場合、隔壁６Ｃの形成され
ている領域は遮光部となる。ただし、本発明において
は、隔壁が遮光機能を有するものである場合に限定され
るものではなく、多少とも透光性を有する素材で構成さ
れていても構わない。

【０１６８】［第５実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第５実施形態の要部について詳細に説明す
る。図９は、第５実施形態の基板１２上の構造を示す平
面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造
を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１６９】この実施形態においては、基板１２上に
は、上記第１乃至第４実施形態とは異なり、遮光層６Ｄ
が形成される。本明細書では、この遮光層のような遮光
手段で光学的に遮光された領域のことを遮光部という。
以下も同様である。遮光層などの遮光手段は、基板１２
上に形成されている必要は必ずしもなく、例えば、２枚
の基板が対向配置される表示装置（電気光学装置）にお
いて、表示要素が配置される基板とは異なる他の基板上
に形成されていても構わない。この点は、以下に示す全
ての実施形態においても同様である。この遮光層６Ｄ
は、例えば、Ｃｒ，Ａｌ，Ａｇ、その他の合金などの金
属薄膜で構成されていてもよく、或いは、黒色樹脂等の
ブラックマトリクスで構成されていてもよい。遮光層６
Ｄは、公知のフォトリソグラフィ法や選択的な成膜法な
どによって形成される。また、上記遮光層６Ｄ上には隔
壁６Ｅが形成される。この隔壁６Ｅは上記第１乃至第４
実施形態と同様の素材によって形成されていてもよい
が、本実施形態では遮光層６Ｄが設けられているため、
透光性の素材で構成されていても構わない。

【０１７０】本実施形態では、上記遮光層６Ｄが形成さ
れていない実質的に方形状（図示例では矩形状）の開口
部６Ｆが形成されている。この開口部６Ｆは、図示例で
は、縦横にマトリクス状に配列されている。図９には、
上記カラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成する場
合におけるフィルタエレメント３、正孔注入層２０２又
はＥＬ発光層２０３等の表示要素を形成するための材料
を導入する前の状態を示してある。

【０１７１】各開口部６Ｆは、この開口部６Ｆを取り囲
む遮光層６Ｄの内縁６Ｘ，６Ｙのうち、開口部６Ｆの長
辺を構成する内縁６Ｘが凹凸形状に形成されている。そ
して、開口部６Ｆを挟んで対峙する一対の遮光層６Ｄの
間隔が、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）
に沿って増減するように構成されている。また、開口部
６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って遮光層
６Ｄの幅が増減するようにも構成されている。

【０１７２】上記開口部６Ｆには、表示要素、すなわち
カラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光
パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形
成される。このために、各種材料が液滴８の形で各開口
部６Ｆに導入される。本実施形態では、開口部６Ｆ上に
おける図９（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴が着
弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示のよ
うに、上記Ｘ方向に増減する遮光層６Ｄの幅が極大とな
る部分（図示Ｂ−Ｂ断面部分）に対応する位置に設定さ
れている。なお、図示例では、一つの開口部６Ｆ内に３
箇所の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって
一つの表示要素が構成されるようになっている。

【０１７３】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐの側
方（図示左右）にある遮光層６Ｄの部分は幅が広くなっ
ているので、図示例のように基板１２上において物理的
な厚みのある遮光層６Ｄが形成されている場合や、この
遮光層６Ｄに液状材料の広がりを阻止する性質がある場
合（例えば、遮光層６Ｄが液状材料をはじく性質（濡れ
性が低い性質）がある場合など）においては、遮光層６
Ｄ及び隔壁６Ｅを越えて隣接する両側の開口部６Ｄ上に
液状材料が混入する危険性を低減できる。また、基板１
２上に遮光層が形成されていてもその厚みが極めて薄い
場合や、他の基板上に遮光層が形成されている場合のよ
うに、基板上の遮光層に物理的な厚みが実質的になく、
しかも、液状材料の広がりを阻止する性質もないときに
は、上記のように液状材料の混入が遮光層によって妨げ
られるといった効果は生じないが、例えば隣接する液状
材料同士が相互に混合されてしまっても、当該混合され
た部分が遮光層によって隠蔽されるため、混色などの、
材料の混合に起因する不具合を生じさせないようにする
ことが可能になる。したがって、液滴量のマージンを大
きく確保することが可能になるので、液滴量の制御が容
易になり、例えば、液滴量を増やすことにより表示要素
の広がり不足（例えば色抜け部分の発生）を防止するこ
とができる。そして、これらの結果、製造効率の向上や
製品歩留まりの向上を図ることが可能になる。

【０１７４】［第６実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第６実施形態の要部について詳細に説明す
る。図１０は、第６実施形態の基板１２上の構造を示す
平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構
造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構
造を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１７５】この実施形態においても、基板１２上には
遮光層６Ｄが形成される。この遮光層６Ｄは、例えば、
Ｃｒ，Ａｌ，Ａｇ、その他の合金などの金属薄膜で構成
されていてもよく、或いは、黒色樹脂等のブラックマト
リクスで構成されていてもよい。遮光層６Ｄは、公知の
フォトリソグラフィ法や選択的な成膜法などによって形
成される。また、上記遮光層６Ｄ上には隔壁６Ｅが形成
される。この隔壁６Ｅは上記第１乃至第４実施形態と同
様の素材によって形成されていてもよいが、本実施形態
では遮光層６Ｄが設けられているため、透光性の素材で
構成されていても構わない。

【０１７６】この実施形態において、基板１２上に形成
された遮光層６Ｄが形成されていない実質的に方形状
（図示例では矩形状）の開口部６Ｆが形成されている。
この開口部６Ｆは、図示例では、縦横にマトリクス状に
配列されている。図１０には、上記カラーフィルタ基板
やＥＬ発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレ
メント３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の
表示要素を形成するための材料を導入する前の状態を示
してある。

【０１７７】各開口部６Ｆは、この開口部６Ｆを取り囲
む遮光層６Ｄの内縁６Ｘ，６Ｙのうち、開口部６Ｆの長
辺を構成する内縁６Ｘが凹凸形状に形成されている。そ
して、開口部６Ｆを挟んで対峙する一対の遮光層６Ｄの
間隔が、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）
に沿って増減するように構成されている。また、開口部
６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って遮光層
６Ｄの幅が増減するようにも構成されている。

【０１７８】上記開口部６Ｆには、表示要素、すなわち
カラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光
パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形
成される。このために、各種材料が液滴８の形で各開口
部６Ｆ上に導入される。本実施形態では、開口部６Ｆに
おいて、図１０（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴
が着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示
のように、上記Ｘ方向に増減する遮光層６Ｄの間隔が極
大となる部分、すなわち、開口部６Ｆの幅が極大となる
部分（図示Ｂ−Ｂ断面部分）、に対応する位置に設定さ
れている。なお、図示例では、一つの領域７内に３箇所
の着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つ
の表示要素が構成されるようになっている。

【０１７９】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにお
ける遮光層６Ｄの間隔が大きくなっているので、液滴８
の一時的拡大を大きな開口部６Ｆの幅によって受け入れ
ることが可能になるため、図示例のように基板１２上に
おいて物理的な厚みのある遮光層６Ｄが形成されている
場合や、この遮光層６Ｄに液状材料の広がりを阻止する
性質がある場合（例えば、遮光層６Ｄが液状材料をはじ
く性質（濡れ性が低い性質）がある場合など）において
は、遮光層６Ｄ及び隔壁６Ｅを越えて隣接する両側の開
口部６Ｆに液状材料が混入する危険性を低減できる。ま
た、基板１２上に遮光層が形成されていてもその厚みが
極めて薄い場合や、他の基板上に遮光層が形成されてい
る場合のように、基板上の遮光層に物理的な厚みが実質
的になく、しかも、液状材料の広がりを阻止する性質も
ないときには、上記のように液状材料の混入が遮光層に
よって妨げられるといった効果は生じないが、着弾位置
から離れた場所では遮光層の間隔が狭くなっているの
で、液滴の着弾位置から離れた場所において液状材料の
広がり不足が生じても、この液状材料の広がり不足によ
り液状材料の存在しない部分が遮光層によって隠蔽され
るため、色抜けなどの、材料の広がり不足に起因する不
具合を生じさせないようにすることが可能になる。した
がって、液滴量のマージンを大きく確保することが可能
になるので、液滴量の制御が容易になり、例えば、液滴
量を減らすことにより表示要素の混合（例えば混色の発
生）を防止することができる。そして、これらの結果、
製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能
になる。

【０１８０】［第７実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第７実施形態の要部について詳細に説明す
る。図１１は、第７実施形態の基板１２上の構造を示す
平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構
造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構
造を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１８１】この実施形態においても、基板１２上には
遮光層６Ｄが形成される。この遮光層６Ｄは、例えば、
Ｃｒ，Ａｌ，Ａｇ、その他の合金などの金属薄膜で構成
されていてもよく、或いは、黒色樹脂等のブラックマト
リクスで構成されていてもよい。遮光層６Ｄは、公知の
フォトリソグラフィ法や選択的な成膜法などによって形
成される。また、上記遮光層６Ｄ上には隔壁６Ｅが形成
される。この隔壁６Ｅは上記第１乃至第４実施形態と同
様の素材によって形成されていてもよいが、本実施形態
では遮光層６Ｄが設けられているため、透光性の素材で
構成されていても構わない。

【０１８２】この実施形態において、基板１２上に形成
された遮光層６Ｄが形成されていない実質的に方形状
（図示例では矩形状）の開口部６Ｆが形成されている。
この開口部６Ｆは、図示例では、一列毎に互い違い、或
いは、千鳥状に、配列されている。図１１には、上記カ
ラーフィルタ基板やＥＬ発光パネルを形成する場合にお
けるフィルタエレメント３、正孔注入層２０２又はＥＬ
発光層２０３等の表示要素を形成するための材料を導入
する前の状態を示してある。

【０１８３】各開口部６Ｆは、この開口部６Ｆを取り囲
む遮光層６Ｄの内縁６Ｘ，６Ｙのうち、開口部６Ｆの長
辺を構成する内縁６Ｘが凹凸形状に形成されている。そ
して、開口部６Ｆを挟んで対峙する一対の遮光層６Ｄの
間隔が、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）
に沿って増減するように構成されている。また、開口部
６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って遮光層
６Ｄの幅が実質的に一定になるように構成されている。
すなわち、本実施形態の場合、隣接する開口部６Ｆ間を
隔てるように配置された遮光層６Ｄ（図示例ではＸ方向
に伸びる部分）は、全体としてＹ方向に蛇行しながらＸ
方向に伸びるように構成されている。

【０１８４】上記開口部６Ｆには、表示要素、すなわち
カラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光
パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形
成される。このために、各種材料が液滴８の形で各開口
部６Ｆ上に導入される。本実施形態では、開口部６Ｆに
おいて、図１１（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴
が着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示
のように、上記Ｘ方向に増減する遮光層６Ｄの間隔が極
大となる部分、すなわち開口部６Ｆの幅が極大となる部
分、に対応する位置に設定されている。なお、図示例で
は、一つの開口部６Ｆ内に３箇所の着弾設定位置Ｐが設
けられ、３つの液滴によって一つの表示要素が構成され
るようになっている。

【０１８５】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐにお
ける遮光層６Ｄの間隔が大きくなっているので、液滴８
の一時的拡大を大きな開口部６Ｆの幅によって受け入れ
ることが可能になるため、図示例のように基板１２上に
おいて物理的な厚みのある遮光層６Ｄが形成されている
場合や、この遮光層６Ｄに液状材料の広がりを阻止する
性質がある場合（例えば、遮光層６Ｄが液状材料をはじ
く性質（濡れ性が低い性質）がある場合など）において
は、遮光層６Ｄ及び隔壁６Ｅを乗り越えて隣接する両側
の開口部６Ｆに液状材料が混入する危険性を低減でき
る。また、基板１２上に遮光層が形成されていてもその
厚みが極めて薄い場合や、他の基板上に遮光層が形成さ
れている場合のように、基板上の遮光層に物理的な厚み
が実質的になく、しかも、液状材料の広がりを阻止する
性質もないときには、上記のように液状材料の混入が遮
光層によって妨げられるといった効果は生じないが、着
弾位置から離れた場所では遮光層の間隔が狭くなってい
るので、液滴の着弾位置から離れた場所において液状材
料の広がり不足が生じても、この液状材料の広がり不足
により液状材料の存在しない部分が遮光層によって隠蔽
されるため、色抜けなどの、材料の広がり不足に起因す
る不具合を生じさせないようにすることが可能になる。
したがって、液滴量のマージンを大きく確保することが
可能になるので、液滴量の制御が容易になり、また、例
えば、液滴量を減らすことにより表示要素の混入（例え
ば混色の発生）を防止することができる。そして、これ
らの結果、製造効率の向上や製品歩留まりの向上を図る
ことが可能になる。

【０１８６】［第８実施形態］次に、上記のカラーフィ
ルタ基板やＥＬ発光パネルの製造工程において適用可能
な本発明の第８実施形態の要部について詳細に説明す
る。図１２は、第８実施形態の基板１２上の構造を示す
平面図（ａ）、この（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面構
造を示す概略断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構
造を示す概略断面図（ｃ）である。

【０１８７】この実施形態においても、基板１２上には
遮光層６Ｄが形成される。この遮光層６Ｄは、例えば、
Ｃｒ，Ａｌ，Ａｇ、その他の合金などの金属薄膜で構成
されていてもよく、或いは、黒色樹脂等のブラックマト
リクスで構成されていてもよい。遮光層６Ｄは、公知の
フォトリソグラフィ法や選択的な成膜法などによって形
成される。また、上記遮光層６Ｄ上には隔壁６Ｅが形成
される。この隔壁６Ｅは上記第１乃至第４実施形態と同
様の素材によって形成されていてもよいが、本実施形態
では遮光層６Ｄが設けられているため、透光性の素材で
構成されていても構わない。

【０１８８】この実施形態において、基板１２上に形成
された遮光層６Ｄが形成されていない実質的に方形状
（図示例では矩形状）の開口部６Ｆが形成されている。
この開口部６Ｆは、図示例では、縦横にマトリクス状に
配列されている。図１２には、上記カラーフィルタ基板
やＥＬ発光パネルを形成する場合におけるフィルタエレ
メント３、正孔注入層２０２又はＥＬ発光層２０３等の
表示要素を形成するための材料を導入する前の状態を示
してある。

【０１８９】各開口部６Ｆは、この開口部６Ｆを取り囲
む遮光層６Ｄの内縁６Ｘ，６Ｙのうち、開口部６Ｆの長
辺を構成する内縁６Ｘが凹凸形状に形成されている。そ
して、開口部６Ｆを挟んで対峙する一対の遮光層６Ｄの
間隔が、開口部６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）
に沿って増減するように構成されている。また、開口部
６Ｆの長辺の伸びる方向（図示Ｘ方向）に沿って遮光層
６Ｄの幅が増減するようにも構成されている。

【０１９０】本実施形態では、特に、一対の開口部６Ｆ
に挟まれた遮光層６Ｄの幅が、開口部６ＦのＸ方向の略
中央部に対応する位置において大きく、開口部６ＦのＸ
方向の両端部において小さくなるように構成されてい
る。

【０１９１】上記開口部６Ｆには、表示要素、すなわち
カラーフィルタ基板のフィルタエレメント３やＥＬ発光
パネルの正孔注入層２０２及びＥＬ発光層２０３、が形
成される。このために、各種材料が液滴の形で各開口部
６Ｆに導入される。本実施形態では、開口部６Ｆにおい
て、図１２（ａ）に示す着弾設定位置Ｐに上記液滴８が
着弾するように設定される。着弾設定位置Ｐは、図示の
ように、上記Ｘ方向に増減する遮光層６Ｄの幅が極大と
なる部分に対応する、開口部６Ｆの略中央位置に設定さ
れている。また、この略中央位置の両側（図示上下両
側）に、さらに一つずつの着弾設定位置Ｐが設定されて
いる。なお、図示例では、一つの開口部６Ｆに３箇所の
着弾設定位置Ｐが設けられ、３つの液滴によって一つの
表示要素が構成されるようになっている。

【０１９２】この実施形態によれば、液滴８が上記の着
弾設定位置Ｐに着弾したとき、図１３（ｄ）に示すよう
に一時的に大きく広がっても、その着弾設定位置Ｐの側
方（図示左右）にある遮光層６Ｄの部分は幅が広くなっ
ているので、開口部６Ｆの略中央位置において液滴８が
着弾した場合には、図示例のように基板１２上において
物理的な厚みのある遮光層６Ｄが形成されている場合
や、この遮光層６Ｄに液状材料の広がりを阻止する性質
がある場合（例えば、遮光層６Ｄが液状材料をはじく性
質（濡れ性が低い性質）がある場合など）においては、
遮光層６Ｄ及び隔壁６Ｅを越えて隣接する両側の開口部
６Ｆに液状材料が混入する危険性を低減できる。また、
基板１２上に遮光層が形成されていてもその厚みが極め
て薄い場合や、他の基板上に遮光層が形成されている場
合のように、基板上の遮光層に物理的な厚みが実質的に
なく、しかも、液状材料の広がりを阻止する性質もない
ときには、上記のように液状材料の混入が遮光層によっ
て妨げられるといった効果は生じないが、例えば隣接す
る液状材料同士が相互に混合されてしまっても、当該混
合された部分が遮光層によって隠蔽されるため、混色な
どの、材料の混合に起因する不具合を生じさせないよう
にすることが可能になる。したがって、液滴量のマージ
ンを大きく確保することが可能になるので、液滴量の制
御が容易になり、例えば、液滴量を増やすことにより表
示要素の広がり不足（例えば色抜け部分の発生）を防止
することができる。そして、これらの結果、製造効率の
向上や製品歩留まりの向上を図ることが可能になる。

【０１９３】また、上記のように領域の中央部分におい
て、遮光部の幅が広がり、或いは、遮光部の間隔が狭ま
っていることにより、液滴の着弾時ではなく着弾後に領
域内に液状材料が静的に保持されている状態において
も、遮光部に物理的な厚みや液状材料の広がりを妨げる
性質がある場合には隣接する領域との間の液状材料の混
合（例えば混色）を低減することが可能になる。また、
遮光部に物理的な厚みがなく液状材料の広がりを妨げる
性質もない場合でも中央部近傍における隣接する液状材
料の混合を遮光部により隠蔽し易くすることができる。
これらの効果は、上記とは異なり、液滴の着弾位置の如
何に拘わらず（すなわち液滴が領域の中央に着弾しない
場合においても）生ずる。

【０１９４】以上説明した第５乃至第８実施形態におい
ては、いずれも、基板１２上に遮光層６Ｄを形成し、そ
の上に隔壁６Ｅを形成しているが、これとは逆に、隔壁
６Ｅ上に遮光層６Ｄを形成してもよい。また、遮光層は
別途、異なる部材（例えば基板１２に対向する基板な
ど）に形成してもよい。さらに、隔壁６Ｅを形成せず、
遮光層６Ｄのみを複数の開口部６Ｆを画成するように形
成してもよい。

【０１９５】［液滴吐出装置の構成例］次に、上記の各
実施形態に用いることのできる液滴吐出装置の構成につ
いて説明する。図１４は、液滴吐出装置の全体構成を示
す概略斜視図、図１５は、液滴吐出装置の主要部を部分
的に示す部分斜視図である。

【０１９６】液滴吐出装置１６は、図１４に示すよう
に、液滴吐出ヘッドの一例としてプリンタなどで用いら
れるヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、ヘッド
２２の位置を制御するヘッド位置を制御するヘッド位置
制御装置１７と、基板１２の位置を制御する基板位置制
御装置１８と、ヘッド２２を基板１２に対して走査方向
Ｘに走査移動させる走査駆動手段としての走査駆動装置
１９と、ヘッド２２を基板１２に対して走査方向と交差
（直交）する送り方向Ｙに送る送り駆動装置２１と、基
板１２を液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給す
る基板供給装置２３と、この液滴吐出装置１６の全般の
制御を司るコントロール装置２４とを有する。

【０１９７】上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置
制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の
各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの
各装置は、必要に応じてカバー１４によって覆われる。

【０１９８】ヘッド２２は、例えば、図１６に示すよう
に、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を
有する。ノズル２７の数は例えば１８０であり、ノズル
２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７のピッ
チｔは例えば１４１μｍである。図１６に示す基準方向
Ｓはヘッド２２の標準の走査方向を示し、配列方向Ｔは
ノズル列２８におけるノズル２７の配列方向を示す。

【０１９９】ヘッド２２は、例えば、図１７（ａ）及び
（ｂ）に示すように、ステンレス等で構成されるノズル
プレート２９と、これに対向する振動板３１と、これら
を互いに接合する複数の仕切り部材２３とを有する。ノ
ズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切り部材
３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成さ
れる。これらの材料室３３と液溜り３４とは通路３８を
介して互いに連通している。

【０２００】振動板３１の適所には材料供給孔３６が形
成されている。この材料供給孔３６には材料３７が接続
される。材料３７は、Ｒ，Ｇ，Ｂのうちの一色、例えば
Ｒ色のフィルタエレメント材料などで構成される材料Ｍ
を材料供給孔３６へ供給する。このように供給された材
料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って
材料室３３に充満する。

【０２０１】ノズルプレート２９には、材料室３３から
材料Ｍをジェット状に噴出するためのノズル２７が設け
られている。また、振動板３１の材料室３３に臨む面の
裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９
が取り付けられている。この材料加圧体３９は、図１７
（ｂ）に示すように、圧電素子４１並びにこれを挟持す
る一対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１
は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示
す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室
３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当
する材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３
３へ流入する。

【０２０２】その後、圧電素子４１への通電を解除する
と、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状に
戻り、これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、
材料室３３の内部にある材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル
２７から材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズ
ル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲りやノズル２７の
孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラ
フルオロエチレン共析メッキ層からなる撥材料層４３が
設けられる。

【０２０３】次に、図１５を参照して、上記のヘッド２
２の周囲に配置された、ヘッド位置制御装置１７、基板
位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２
１、及び、その他の手段について説明する。ヘッド位置
制御装置１７は、ヘッドユニット２６に取り付けられた
ヘッド２２を平面（水平面）内にて回転させるαモータ
４４と、ヘッド２２を送り方向Ｙと平行な軸線周りに揺
動回転させるβモータ４６と、ヘッド２２を走査方向Ｘ
と平行な軸線周りに揺動回転させるγモータ４７と、ヘ
ッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを
有する。

【０２０４】また、基板位置制御装置１８は、基板１２
を載せるテーブル４９と、このテーブル４９を平面（水
平面）内にて回転させるθモータ５１とを有する。ま
た、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ伸びるＸガイド
レール５２と、例えばパルス駆動されるリニアモータを
内蔵したＸスライダ５３とを有する。このＸスライダ５
３は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｘガ
イドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。

【０２０５】さらに、送り駆動装置１９は、送り方向Ｙ
へ伸びるＹガイドレール５４と、例えばパルス駆動され
るリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。
Ｙスライダ５６は、例えば内蔵するリニアモータの稼動
により、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行
移動する。

【０２０６】Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内におい
てパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給す
るパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行
うことができる。したがって、Ｘスライダ５３に支持さ
れたヘッド２２の走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の
送り方向Ｙ上の位置などを高精度に制御できる。なお、
ヘッド２２やテーブル４９の位置制御はパルスモータを
用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィ
ードバック制御やその他任意の方法によって実現するこ
とができる。

【０２０７】上記テーブル４９には、基板１２の平面位
置を規制する位置決めピン５０ａ，５０ｂが設けられて
いる。基板１２は、後述する基板供給装置２３によって
位置決めピン５０ａ，５０ｂに走査方向Ｘ側及び送り方
向Ｙ側の端面を当接させた状態で、位置決め保持され
る。テーブル４９には、このような位置決め状態で保持
された基板１２を固定するための、例えば空気吸引（真
空吸着）などの、公知の固定手段を設けることが望まし
い。

【０２０８】本実施形態の液滴吐出装置１６において
は、図１５に示すように、テーブル４９の上方に複数組
（図示例では２組）の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２
Ｒ，９２Ｌが配置されている。ここで、撮像装置９１
Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌは、図１５において鏡筒
のみを示し、他の部分及びその支持構造は省略してあ
る。これらの観察手段である撮像装置としては、ＣＣＤ
カメラ等を用いることができる。なお、図１４には、こ
れらの撮像装置について図示を省略してある。

【０２０９】図１４に示す基板供給装置２３は、基板１
２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロ
ボットなどの基板移載機構５８とを有する。基板移載機
構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する
昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１ア
ーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アー
ム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着
パッド６４とを有する。この吸着パッド６４は空気吸引
（真空吸着）などによって基板１２を吸着保持すること
ができるように構成されている。

【０２１０】また、図１４に示すように、上記ヘッド２
２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇
位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７
７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方
の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、
キャッピング装置７６はヘッド２２が待機状態にあると
きにノズル２７（図１６参照）の乾燥を防止するための
装置である。クリーニング装置７７は、ヘッド２２を洗
浄するための装置である。電子天秤７８は、ヘッド２２
内の個々のノズル２７から吐出される材料の液滴８の重
量をノズル毎に測定する装置である。さらに、ヘッド２
２の近傍には、ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カ
メラ８１が取り付けられている。

【０２１１】図１４に示すコントロール装置２４は、プ
ロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボ
ード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを
有する。コンピュータ本体部６６には、図１３に示すＣ
ＰＵ（中央処理ユニット）６９と、各種情報を記憶する
メモリである情報記録媒体７１とを備えている。

【０２１２】上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置
制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、
及び、ヘッド２２内の圧電素子４１（図１７（ｂ）参
照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、図１８
に示すように、入出力インターフェイス７３及びバス７
４を介してＣＰＵ６９に接続されている。また、基板供
給装置２３、入力装置６７、表示装置６８、キャッピン
グ装置７６、クリーニング装置７７及び電子天秤７８
も、上記と同様に入出力インターフェイス７３及びバス
７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。

【０２１３】情報記録媒体７１としてのメモリは、ＲＡ
Ｍ（ランダムアクセスメモリ）、ＲＯＭ（リードオンリ
メモリ）などといった半導体メモリや、ハードディス
ク、ＣＤ−ＲＯＭ読み取り装置、ディスク型記録媒体な
どといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的
には、液滴吐出装置１６の動作の制御手順が記述された
プログラムソフトを記憶する記憶領域や、ヘッド２２に
よる材料の基板１２内における吐出位置を座標データと
して記憶するための記憶領域や、図１５に示す送り方向
Ｙへの基板１２の送り移動量を記憶するための記憶領域
や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファ
イルなどとして機能する領域や、その他各種の記憶領域
が設定される。

【０２１４】ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメ
モリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、基板１
２の表面の所定位置に、材料を吐出するための制御を行
うものである。具体的な機能実現部としては、図１８に
示すように、クリーニング処理を実現するための演算を
行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現する
ためのキャッピング演算部、電子天秤７８を用いた重量
測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、及
び、液滴吐出によって材料を基板１２の表面上に着弾さ
せ、所定のパターンにて描画するための描画演算部を有
する。

【０２１５】上記描画演算部には、ヘッド２２を描画の
ための初期位置へ設置するための描画開始位置演算部、
ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させる
ための制御を演算する走査制御演算部、基板１２を送り
方向Ｙへ所定の送り移動量だけずらすための制御を演算
する送り制御演算部、ヘッド２２内の複数のノズル２７
のうちのいずれを作動させて材料を吐出するかを制御す
るための演算を行うノズル吐出制御演算部などといった
各種の機能演算部を有する。

【０２１６】なお、上記実施形態では、上述の各機能
を、ＣＰＵ６９を用いるプログラムソフトによって実現
しているが、上述の各機能を、ＣＰＵを用いない電子回
路によって実現できる場合には、そのような電子回路を
用いても構わない。

【０２１７】次に、上記構成からなる液滴吐出装置１６
の動作を、図１９に示すフローチャートに基づいて説明
する。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置
１６が作動すると、最初にステップＳ１において初期設
定が実現される。具体的には、ヘッドユニット２６や基
板供給装置２３やコントロール装置２４などが予め決め
られた初期状態にセットされる。

【０２１８】次に、重量測定タイミングが到来（ステッ
プＳ２）すると、図１５に示すヘッドユニット２６を走
査駆動装置１９によって図１４に示す電子天秤７８の所
まで移動させる（ステップＳ３）。そして、ノズル２７
から吐出される材料の量を、電子天秤７８を用いて測定
する（ステップＳ４）。さらに、このように測定された
ノズル２７の材料吐出特性に合わせて、各ノズル２７の
圧電素子４１に印加する電圧を調節する（ステップＳ
５）。

【０２１９】この後、クリーニングタイミングが到来
（ステップＳ６）すれば、ヘッドユニット２６を走査駆
動装置１９によってクリーニング装置７７の所まで移動
させ（ステップＳ７）、そのクリーニング装置７７によ
ってヘッド２２をクリーニングする（ステップＳ８）。

【０２２０】重量測定タイミングやクリーニングタイミ
ングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニン
グが終了した場合には、ステップ９において図１４に示
す基板供給装置２３を作動させて基板１２をテーブル４
９へ供給する。具体的には、基板収容部５７内の基板１
２を吸着パッド６４によって吸着保持し、昇降軸６１、
第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させて基板１
２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適
所に予め設けてある位置決めピン５０ａ，５０ｂ（図１
５参照）に押し付ける。なお、テーブル４９上における
基板１２の位置ずれを防止するため、空気吸引（真空吸
着）などの手段によって基板１２をテーブル４９に固定
することが望ましい。

【０２２１】次に、図１５に示す撮像装置９１Ｒ，９１
Ｌによって基板１２を観察しながら、θモータ５１の出
力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル
４９を平面（水平面）内にて回転させ、基板１２を位置
決めする（ステップＳ１０）。より具体的には、基板１
２の左右両端にそれぞれ形成されたアライメントマーク
を、図１５に示す上記一対の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ又
は９２Ｒ，９２Ｌによってそれぞれ撮影し、これらのア
ライメントマークの撮像位置によって基板１２の平面姿
勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテーブル４９
を回転させて角度θを調整する。

【０２２２】この後、図１４に示すヘッド用カメラ８１
によって基板１２を観察しながら、ヘッド２２によって
描画を開始する位置を演算によって決定する（ステップ
Ｓ１１）。そして、走査駆動装置１９及び送り駆動装置
２１を適宜に作動させて、ヘッド２２を描画開始位置へ
移動させる（ステップＳ１２）。

【０２２３】このとき、ヘッド２２は、図１６に示す基
準方向Ｓが走査方向Ｘに合致した姿勢となるようにして
もよく、或いは、基準方向Ｓが所定角度で走査方向に対
して傾斜する姿勢となるように構成してもよい。この所
定角度は、ノズル２７のピッチと、基板１２の表面上に
おいて材料を着弾させるべき位置のピッチとが異なる場
合が多く、ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させるとき
に、配列方向Ｔに配列されたノズル２７のピッチの送り
方向Ｙの寸法成分が基板１２の送り方向Ｙの着弾位置の
ピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置で
ある。

【０２２４】図１９に示すステップＳ１２でヘッド２２
が描画開始位置に置かれると、ステップＳ１３において
ヘッド２２は走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移
動される。この走査中において、ヘッド２２のノズル２
７からインクの液滴が基板１２の表面上へ連続的に吐出
される。

【０２２５】なお、このときのインクの液滴の吐出量
は、一度の走査によってヘッド２２がカバーすることの
できる吐出範囲において全量が吐出されるように設定さ
れていてもよいが、例えば、一度の走査によって本来吐
出されるべき量の数分の一（例えば４分の一）の材料を
吐出するように構成し、ヘッド２２を複数回走査する場
合に、その走査範囲が送り方向Ｙに相互に部分的に重な
るように設定し、全ての領域において数回（例えば４
回）材料の吐出が行われるように構成してもよい。

【０２２６】ヘッド２２は、基板１２に対する１ライン
分の走査が終了（ステップＳ１４）すると、反転移動し
て初期位置へと復帰し（ステップＳ１５）、送り方向Ｙ
に所定量（設定された送り移動量だけ）移動する（ステ
ップＳ１６）。その度、ステップＳ１３で再び走査さ
れ、材料が吐出され、これ以降、上記の動作を繰り返し
行って、複数ラインに亘って走査が行われる。ここで、
１ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Ｙに
所定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというよ
うに、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよ
い。

【０２２７】ここで、後述するように、基板１２内に複
数のカラーフィルタが形成される場合について説明する
と、基板１２内のカラーフィルタ領域一列分について全
て材料の吐出が完了する（ステップＳ１７）と、ヘッド
２２は所定量送り方向Ｙに移動し、再び上記と同様にス
テップＳ１３乃至Ｓ１６の動作を繰り返す。そして、最
終的に基板１２上の全列のカラーフィルタ領域に対して
材料の吐出が終了する（ステップＳ１８）と、ステップ
Ｓ２０において基板供給装置２３又は別の搬出機構によ
って、処理後の基板１２が外部へ排出される。その後、
オペレータから作業終了の指示がない限り、上記のよう
に基板１２の供給と、材料吐出作業を繰り返し行う。

【０２２８】オペレータから作業終了の指示がある（ス
テップＳ２１）と、ＣＰＵ６９は図１４においてヘッド
２２をキャッピング装置７６の所まで搬送し、そのキャ
ッピング装置７６によってヘッド２２に対してキャッピ
ング処理を施す（ステップＳ２２）。

【０２２９】以上説明した液滴吐出装置は、本発明に係
る配置方法や製造方法において用いることができるもの
であるが、本発明はこれに限られることはなく、液滴を
吐出し、所定の着弾予定位置に着弾させることができる
ものであれば、如何なる装置を用いることも可能であ
る。

【０２３０】なお、本発明においては、上記液滴吐出装
置のヘッドなどの液滴吐出ヘッドを、上記領域若しくは
上記開口部の長手方向（例えば、実質的に矩形状の領域
若しくは開口部であればその長辺が伸びる方向、実質的
に帯状の領域若しくは開口部であればその伸びる方向）
に走査して複数の液滴を順次吐出させていくことが好ま
しい。より具体的には、上記第１乃至第８実施形態にお
いては、図１乃至図４並びに図９乃至図１２に図示する
Ｘ方向を液滴吐出ヘッドの走査方向とすることが、効率
的に材料を配置していく上で望ましい。

【０２３１】［表示装置（電気光学装置）及びその製造
方法］次に、本発明に係る表示装置（電気光学装置）及
びその製造方法の実施形態について説明する。図２０
は、本発明に係る表示装置（電気光学装置）の製造方法
の一例としての、液晶装置の製造方法の実施形態を示し
ている。また、図２１は、当該製造方法によって製造さ
れる表示装置（電気光学装置）の一例としての液晶装置
の実施形態を示している。さらに、図２２は、図２１の
IX−IX線に沿った液晶装置の断面構造を示している。最
初に、液晶装置の一例の構造について図２１及び図２２
を参照して説明する。なお、この液晶装置の一例は、単
純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射型
の液晶装置である。

【０２３２】図２１に示すように、液晶装置１０１は、
液晶パネル１０２に半導体チップ等として構成された液
晶駆動用ＩＣ１０３ａ及び液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実
装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（フレキシブル印刷
回路）１０４を液晶パネル１０２に接続したものであ
る。液晶装置１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照
明装置１０６をバックライトとして設けることによって
構成されている。

【０２３３】液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと
第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わ
せることによって形成される。シール材１０８は、例え
ば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１
基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面に環状
（周回状）に付着することによって形成される。また、
シール材１０８の内部には図２２に示すように導電性材
料によって球状又は円筒状に形成された導通材１０９が
分散状態で含まれる。

【０２３４】図２２に示すように、第１基板１０７ａは
透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成さ
れた板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの
内側表面（図１７の上側表面）には反射膜１１２が形成
されている。また、その上に絶縁膜１１３が積層され、
その上に第１電極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストラ
イプ状（図２１参照）に形成されている。さらにその上
には配向膜１１６ａが形成される。また、基材１１１ａ
の外側表面（図２２の下側表面）には偏光板１１７ａが
貼着などによって装着される。

【０２３５】図２１においては、第１電極１１４ａの配
列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大
幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれてい
る第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電
極１１４ａが基材１１１上に形成されている。

【０２３６】図２２に示すように、第２基板１０７ｂは
透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成さ
れた板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの
内側表面（図２２の下側表面）にはカラーフィルタ１１
８が形成され、その上に第２電極１１４が上記第１電極
１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄから見てストライプ状
（図２１参照）に形成されている。さらにその上には配
向膜１１６ｂが形成されている。また、基材１１１ｂの
外側表面（図２２の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼
着などによって装着されている。

【０２３７】図２１においては、第２電極１１４ｂの配
列を判り易くするために、第１電極の場合と同様に、そ
れらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したが
って、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よ
りも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１上に
形成されている。

【０２３８】図２２に示すように、第１基板１０７ａ、
第２基板１０７ｂ及びシール材１０８によって囲まれる
間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶Ｌ、例えばＳＴ
Ｎ（スーパー捩れネマチック）液晶、が封入されてい
る。第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面
には微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これ
らのスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することに
より、そのセルギャップが均一に維持されるようになっ
ている。

【０２３９】第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは
互いに直交する方向に伸びるように配設されている。そ
れらが平面的に交差する部分は、図２２の矢印Ｄ方向か
ら見てドットマトリクス状に配列されている。そして、
そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドット
を構成する。カラーフィルタ１１８は、Ｒ（赤）・Ｇ
（緑）・Ｂ（青）の各色要素（フィルタエレメント）を
矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライ
プ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配
列させることによって構成されている。上記の一つの表
示ドットはＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれ一つずつに対応してい
る。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の表示ドットにより一つ
の画素（ピクセル）が構成されるようになっている。

【０２４０】マトリクス状に配列される表示ドットを選
択的にオン状態にすることにより、液晶パネル１０２の
第２基板１０７ｂの外側に文字、数字などといった像が
表示される。このようにして像が表示される領域が有効
表示領域であり、図２１及び図２２において矢印Ｖによ
って示される。

【０２４１】図２２に示すように、反射膜１１２はＡＰ
Ｃ合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によっ
て形成される。また、この反射膜１１２には、第１電極
１１４ａと第２電極１１４ｂの交点である各表示ドット
に対応する位置に開口１２１が形成されている。したが
って、開口１２１は図２２の矢印Ｄから見て表示ドット
と同様にマトリクス状に配列されている。

【０２４２】第１電極１１４ａおよび第２電極１１４ｂ
は、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（インジウムスズ
酸化物）によって形成される。また、配向膜１１６ａ，
１１６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付
着させることによって形成される。これらの配向膜１１
６ａ，１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第
１基板１０７ａ及び第２基板１０７ｂの表面上における
液晶分子の初期配向が決定される。

【０２４３】図２１に示すように、第１基板１０７ａは
第２基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、こ
れらの基板をシール材１０８によって貼り合わせたと
き、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り
出す基板張出部１０７ｃを有する。そして、この基板張
出部１０７ｃには、第１電極１１４ａから伸び出る引出
し配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通
材１０９（図２２参照）を介して第２基板１０７ｂ上の
第２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶
駆動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端
子に接続される金属配線１１４ｅ、及び、液晶駆動用Ｉ
Ｃ１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４
ｆなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成さ
れている。

【０２４４】このとき、第１電極１１４ａから伸びる引
出し配線１１４ｃ及び第２電極１１４ｂに通電する引出
し配線１１４ｄは、それらの電極と同じ材料であるＩＴ
Ｏによって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ１０３
ａ，１０３ｂの入力側の配線である金属配線１１４ｅ，
１１４ｆは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ
合金によって形成される。このＡＰＣ合金は、主として
Ａｇを含み、これにＰｄ及びＣｕを添加した合金、例え
ば、Ａｇ；９８ｗｔ％、Ｐｄ；１ｗｔ％、Ｃｕ；１ｗｔ
％の組成を有する合金である。

【０２４５】液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂは、Ａ
ＣＦ（異方性導電膜）１２２によって基板張出部１０７
ｃの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形
態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構
造、いわゆるＣＯＧ（チップオングラス）方式の液晶パ
ネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造
においては、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子に
よって、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側バ
ンプと金属配線１１４ｅ，１１４ｆとが導電接続され、
液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの出力側バンプと引
出し配線１１４ｃ，１１４ｄとが導電接続される。

【０２４６】図２１において、ＦＰＣ１０４は、可撓性
の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構
成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有す
る。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付け
その他の導電接続手法によって直接に搭載される。ま
た、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ，Ｃｕその
他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち
金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０
７ａのうち金属配線１１４ｅ，１１４ｆが形成された部
分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ
１２２の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属
配線１１４ｅ，１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子１２
７とが導通する。

【０２４７】ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接
続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図
示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路
から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３
ａ，１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａ及び第２電
極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ
信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配
列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、
液晶Ｌの配向が個々に制御される。

【０２４８】図２１に示す照明装置１０６は、図２２に
示すように、アクリル樹脂などによって構成された導光
体１３２と、この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設
けられた拡散シート１３３と、導光体１３２の光出射面
１３２ｂの反対側に設けられた反射シート１３４と、発
光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）１３６とを有す
る。

【０２４９】ＬＥＤ１３６はＬＥＤ基板１３７に支持さ
れ、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一
体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥ
Ｄ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることによ
り、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取
込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、符号
１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するため
の緩衝部材を示している。

【０２５０】ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取
込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ
導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射
しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート
１３３を通して外部へ平面光として出射される。

【０２５１】以上説明した液晶装置１０１は、太陽光、
室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図２２
において第２基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１
０２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後
に反射膜１１２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液
晶Ｌは、これを挟持する電極１１４ａ，１１４ｂによっ
てＲ，Ｇ，Ｂの表示ドット毎に配向制御される。したが
って、液晶Ｌへ供給された光は表示ドット毎に変調さ
れ、その変調によって偏光板１１７ｂを通過する光と通
過できない光とによって液晶パネル１０２の外部に文
字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行
われる。

【０２５２】他方、外部光の光量が充分に得られない場
合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射
面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１
２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給され
る。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光
が、配向制御される液晶Ｌによって表示ドット毎に変調
される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表
示が行われる。

【０２５３】上記構成の液晶装置１０１は、例えば、図
２０に示す製造方法によって製造される。この製造方法
においては、工程Ｐ１〜Ｐ６の一連の工程が第１基板１
０７ａを形成する工程であり、工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４
の一連の工程が第２基板１０７ｂを形成する工程であ
る。第１基板形成工程と第２基板形成工程は、通常、そ
れぞれが独自に行われる。

【０２５４】まず、第１基板形成工程では、透光性ガラ
ス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積
のマザー原基板の表面に液晶パネル１０２の複数個分の
反射膜１１２をフォトリソグラフィ法などを用いて形成
する。さらに、その上に絶縁膜１１３を周知の成膜法を
用いて成形する（工程Ｐ１）。次に、フォトリソグラフ
ィ法などを用いて第１電極１１４ａ、引出し配線１１４
ｃ，１１４ｄおよび金属配線１１４ｅ，１１４ｆを形成
する（工程Ｐ２）。

【０２５５】この後、第１電極１１４ａの上に塗布、印
刷などによって配向膜１１６ａを形成し（工程Ｐ３）、
さらにその配向膜１１６ａに対してラビング処理を施す
ことにより液晶の初期配向を決定する（工程Ｐ４）。次
に、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８
を環状に形成し（工程Ｐ５）、さらにその上に球状のス
ペーサ１１９を分散する（工程Ｐ６）以上により、液晶
パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。

【０２５６】以上の第１基板形成工程とは別に、第２基
板形成工程（図２０の工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４）を実施
する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどに
よって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その
表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ１
１８を形成する（工程Ｐ１１）。このカラーフィルタ１
１８の形成工程は図５及び図６に示した製造方法を用い
て行われ、隔壁若しくは遮光層のその製造方法中のＲ、
Ｇ、Ｂの各色フィルタエレメントの形成は、図１４に示
す液滴吐出装置１６を用いてヘッド２２のノズル２７か
らフィルタエレメント材料の材料としての液滴を吐出す
ることにより実行される。

【０２５７】マザー基板１２すなわちマザー原料基材の
上にカラーフィルタ１１８が形成されると、次に、フォ
トリソグラフィ法によって第２電極１１４ｂが形成され
る（工程Ｐ１２）。さらに、塗布、印刷などによって配
向膜１１６ｂが形成される（工程Ｐ１３）。次に、その
配向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の
初期配向が決められる（工程Ｐ１４）。以上により、液
晶パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターン
を複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成され
る。

【０２５８】以上により、大面積のマザー第１基板およ
びマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板
をシール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち
位置合わせした上で互いに貼り合わせる（工程Ｐ２
１）。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を
含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネ
ル構造体が形成される。

【０２５９】次に、完成した空のパネル構造体の所定の
位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さら
にそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又
は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板を
ブレイク（破断）させることによって分断する（工程Ｐ
２２）。これにより、各液晶パネル部分のシール材１０
８の液晶注入用開口１１０（図２１参照）が外部へ露出
する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成
される。

【０２６０】その後、露出した液晶注入用開口１１０を
通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さら
に各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する
（工程Ｐ２３）。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部
分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入する
ことによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を
貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パ
ネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空
状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に
短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気
圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大
気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通して
パネルの内部へ導入される。その後、液晶注入後の液晶
パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注
入処理後の短冊状パネルは工程Ｐ２４において洗浄処理
を受ける。

【０２６１】その後、液晶注入および洗浄が終わった後
の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝
を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短
冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶
パネル１０２が個々に切り出される（工程Ｐ２５）。こ
うして作製された個々の液晶パネル１０２に対して、図
２１に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂ
を実装し、照明装置１０６をバックライトとして装着
し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、目標と
する液晶装置１０１が完成する（工程Ｐ２６）。

【０２６２】なお、個々のフィルタエレメント３は、ヘ
ッド２２の１回の走査によって形成されるのではなく
て、複数回の走査によってＮ回（例えば、上記第１乃至
第８実施形態における図示例では３回、或いは、４
回）、重ねて材料吐出を受けることにより所定の膜厚に
形成されてもよい。この場合には、仮に複数のノズル２
７間において材料吐出量にバラツキが存在する場合で
も、複数のフィルタエレメント３間で膜厚にバラツキが
生じることを防止でき、上記の縞状の色ムラもさらに低
減され、それ故、カラーフィルタの光透過特性を平面的
に均一にすることができる。

【０２６３】また、本実施形態の液晶装置及びその製造
方法では、図１４に示す液滴吐出装置１６を用いること
によりヘッド２２を用いた材料吐出によってフィルタエ
レメント３を形成するようにしているので、フォトリソ
グラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要
がなく、また材料を浪費することもない。

【０２６４】なお、上記実施形態では、表示装置として
液晶パネルを備えた液晶装置について説明したが、上記
と同様のカラーフィルタを備えた表示装置として、液晶
装置以外の他の電気光学装置、例えば、ＥＬ装置、プラ
ズマディスプレイパネルなどにカラーフィルタを設けた
ものに適用することも可能である。すなわち、例えばＥ
Ｌ装置の場合、ＥＬ発光機能を有する複数の表示ドット
に対応するフィルタエレメントを備えたカラーフィルタ
を平面的に重ねることによって、上記実施形態と同様の
効果を得ることができる。

【０２６５】［その他の実施の形態］

【０２６６】以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明
を説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定される
ものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明
の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造
および形状に設定できる。

【０２６７】すなわち、例えば、図１４および図１５に
示したカラーフィルタの製造装置（液滴吐出装置）で
は、ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させてマザー基板１
２を走査し、マザー基板１２を送り駆動装置２１によっ
て移動させることにより、ヘッド２２のマザー基板１２
に対する送り動作を実現しているが、これとは逆に、マ
ザー基板１２の移動によって走査を実行し、ヘッド２２
の移動によって送り動作を実行することもできる。さら
には、ヘッド２２を移動させずにマザー基板１２を移動
させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするな
ど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、ヘッ
ド２２がマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動す
るいずれの構成とすることができる。

【０２６８】また、上記実施の形態では、圧電素子の撓
み変形を利用して材料を吐出する構造のヘッドを用いた
が、他の任意の構造のヘッド、例えば加熱により発生す
るバブルにより材料を吐出する方式のヘッドなどを用い
ることもできる。

【０２６９】そして、液滴吐出装置１６が製造に使用さ
れるのは、上述のカラーフィルタや液晶装置、ＥＬ装置
に限定されるものではなく、ＦＥＤ（Field Emission D
isplay:フィールドエミッションディスプレイ）などの
電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel:プラズ
マディスプレイパネル）、電気泳動装置すなわち荷電粒
子を含有する機能性液状体である材料を各画素の隔壁間
の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設さ
れる電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に
寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、
ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube:陰極線管）ディスプレイな
ど、基板（基材）を有し、その上方の領域に所定の層を
形成する工程を有する様々な表示装置（電気光学装置）
に用いることができる。

【０２７０】本発明の装置や方法は、カラーフィルタや
表示装置（電気光学装置）を含む、基板（基材）を有す
るデバイスであって、その基板（基材）に液滴８を吐出
する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程
において用いることができる。例えば、プリント回路基
板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材
料、金属含有塗料などを吐出して金属配線などをする構
成、基材上に形成される微細なマイクロレンズを吐出に
て光学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジスト
を必要な部分だけに塗布するように吐出する構成、プラ
スチックなどの透光性基板などに光を散乱させる凸部や
微小白パターンなどを吐出形成して光散乱板を形成する
構成、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核
酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットに
ＲＮＡ（ribonucleic acid:リボ核酸）を吐出させて蛍
光標識プローブを作製してＤＮＡチップ上でハイブリタ
ゼーションさせるなど、基材に区画されたドット状の位
置に、試料や抗体、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デ
オキシリボ核酸）などを吐出させてバイオチップを形成
する構成などにも利用できる。

【０２７１】また、上記の液晶装置としても、ＴＦＴな
どのトランジスタやＴＦＤのアクティブ素子を画素に備
えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を
取り囲む隔壁６を形成し、この隔壁６にて形成される凹
部に材料を吐出してカラーフィルタ１を形成するような
構成のもの、画素電極上に材料として色材および導電材
を混合したものを吐出して、画素電極上に形成するカラ
ーフィルタ１を導電性カラーフィルタとして形成する構
成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒を
吐出形成する構成など、液晶装置の電気光学系を構成す
るいずれの部分にも適用可能である。

【０２７２】さらに、カラーフィルタ１に限られず、Ｅ
Ｌ装置など、他のいずれの電気光学装置に適用でき、Ｅ
Ｌ装置としても、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に対応するＥＬが帯
状に形成されるストライプ型や、上述したように、各画
素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備え
たアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパッ
シブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構成
でもできる。

【０２７３】そして、上記各実施形態の電気光学装置が
組み込まれる電子機器としては、例えば図２３に示すよ
うなパーソナルコンピュータ４９０に限らず、図２４に
示すような携帯電話４９１やＰＨＳ（Personal Handy p
hone System）などの携帯型電話機、電子手帳、ページ
ャ、ＰＯＳ（Point Of Sales）端末、ＩＣカード、ミニ
ディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリン
グ・ワークステーション（Engineering Work Station:
ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファイン
ダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子
卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを
備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に
適用できる。

【０２７４】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
材料の混入や広がり不良の発生を低減できる。また、表
示装置においては、混色や色抜けを防止することができ
る。そして、これらにより、高品位の製品を製造するこ
とが可能になり、また、高密度の構造を実現することが
可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る第１実施形態の構造を示すため
の部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す
断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面
図（ｃ）である。

【図２】 本発明に係る第２実施形態の構造を示すため
の部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す
断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面
図（ｃ）である。

【図３】 本発明に係る第３実施形態の構造を示すため
の部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す
断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面
図（ｃ）である。

【図４】 本発明に係る第４実施形態の構造を示すため
の部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す
断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面
図（ｃ）である。

【図５】 本発明に係る表示装置の製造方法の実施形態
として、カラーフィルタ基板の製造工程を示す概略工程
断面図（ａ）〜（ｇ）である。

【図６】 同実施形態におけるカラーフィルタ基板の製
造工程の手順を示す概略フローチャートである。

【図７】 本発明に係る表示装置の製造方法の実施形態
として、ＥＬ発光パネルの製造工程を示す概略工程断面
図（ａ）〜（ｇ）である。

【図８】 同実施形態におけるＥＬ発光パネルの製造工
程の手順を示す概略フローチャートである。

【図９】 本発明に係る第５実施形態の構造を示すため
の部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示す
断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断面
図（ｃ）である。

【図１０】 本発明に係る第６実施形態の構造を示すた
めの部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示
す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断
面図（ｃ）である。

【図１１】 本発明に係る第７実施形態の構造を示すた
めの部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示
す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断
面図（ｃ）である。

【図１２】 本発明に係る第８実施形態の構造を示すた
めの部分平面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面構造を示
す断面図（ｂ）及びＣ−Ｃ線に沿った断面構造を示す断
面図（ｃ）である。

【図１３】 従来構造の液滴導入前後の細部を拡大して
示す部分拡大平面図（ａ）及び（ｂ）、並びに、液滴の
着弾時の経時変化を示す説明図（ｃ）〜（ｅ）である。

【図１４】 本発明に係る液滴吐出装置、或いは、表示
装置の製造装置（カラーフィルタの製造装置、液晶装置
の製造装置およびＥＬ装置の製造装置といった各製造装
置）の主要部分である液滴吐出装置の一実施の形態を示
す斜視図である。

【図１５】 図１４の装置の主要部を拡大して示す斜視
図である。

【図１６】 図１５の装置の主要部であるヘッドを拡大
して示す斜視図である。

【図１７】 ヘッドの内部構造を示す図であって、
（ａ）は一部破断斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＪ−
Ｊ線に従った断面構造を示す。

【図１８】 液滴吐出装置に用いられる電気制御系を示
すブロック図である。

【図１９】 図１８の制御系によって実行される制御の
流れを示すフローチャートである。

【図２０】 本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施
の形態を示す工程図である。

【図２１】 本発明に係る液晶装置の製造方法によって
製造される液晶装置の一例を分解状態で示す斜視図であ
る。

【図２２】 図２１におけるIX−IX線に従って液晶装置
の断面構造を示す断面図である。

【図２３】 表示装置（電気光学装置）を備えた電子機
器であるパーソナルコンピュータを示す斜視図である。

【図２４】 表示装置（電気光学装置）を備えた電子機
器である携帯電話を示す斜視図である。

【符号の説明】

３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）・・・フィルタエレメント ６（６Ｂ，６Ｃ，６Ｅ）・・・隔壁 ７・・・領域（フィルタエレメント形成領域或いはＥＬ
発光部形成領域） ６Ｄ・・・遮光層 ６Ｆ・・・開口部 ８・・・液滴 １２・・・基板（或いはマザー基板） １６・・・液滴吐出装置 ２２・・・ヘッド ２７・・・ノズル ２０２・・・正孔注入層 ２０３（２０３Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂ）・・・ＥＬ発
光層 Ｐ・・・着弾予定位置

フロントページの続き (72)発明者 川瀬 智己 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 FA09 HA01 HA12 HA14 2H091 FA02 FA34 FC12 GA01 4D075 AC07 AC93 CA47 CB07 CB08 DA07 DB13 DB39 DB42 DC24 EA07 EB22 EB33 EB39 EC11 EC17 5G435 AA17 BB05 BB12 GG12 KK10

Claims (50)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液状材料を液滴として吐出し、基材上に
   配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、 前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によっ
   て画成される実質的に方形状若しくは帯状の領域に前記
   液滴が着弾される工程とを有し、 前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記
   隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、 前記液滴は、前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応す
   る位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による材
   料の配置方法。
2. 【請求項２】 前記領域は実質的に矩形であり、前記隔
   壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減す
   るように形成されることを特徴とする請求項１に記載の
   液滴吐出による材料の配置方法。
3. 【請求項３】 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲に
   おいて前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に一
   定であるように形成されることを特徴とする請求項１又
   は請求項２に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
4. 【請求項４】 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲に
   おいて前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減するよ
   うに形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２
   に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
5. 【請求項５】 液状材料を液滴として吐出し、基材上に
   配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、 前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によっ
   て画成される実質的に方形状若しくは帯状の領域に前記
   液滴が着弾される工程とを有し、 前記隔壁の幅は、前記領域に対応する範囲において前記
   隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、 前記液滴は、前記隔壁の幅が極大となる部分に対応する
   位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による材料
   の配置方法。
6. 【請求項６】 前記領域は実質的に矩形であり、前記隔
   壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってその幅が増減する
   ように形成されることを特徴とする請求項４又は請求項
   ５に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
7. 【請求項７】 液状材料を液滴として吐出し、基材上に
   配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、 前記基材上に隔壁が形成される工程と、前記隔壁によっ
   て画成される実質的に方形状の領域に前記液滴が着弾さ
   れる工程とを有し、 前記隔壁の幅は、前記領域の一辺の略中央部に対応する
   位置において大きく、 前記領域の前記一辺の両端部に対応する位置において小
   さくなるように形成され、 前記液滴は、前記領域の略中央位置に着弾されることを
   特徴とする液滴吐出による材料の配置方法。
8. 【請求項８】 液状材料を液滴として吐出し、基材上に
   配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、 前記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が
   構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部
   に前記液滴が着弾される工程とを有し、 前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が
   前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成さ
   れ、 前記液滴は、前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応
   する位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による
   材料の配置方法。
9. 【請求項９】 前記開口部は実質的に矩形であり、前記
   遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔が
   増減するように形成されることを特徴とする請求項８に
   記載の液滴吐出による材料の配置方法。
10. 【請求項１０】 前記遮光部は、前記開口部に対応する
    範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実
    質的に一定であるように形成されることを特徴とする請
    求項８又は請求項９に記載の液滴吐出による材料の配置
    方法。
11. 【請求項１１】 前記遮光部は、前記開口部に対応する
    範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増
    減するように形成されることを特徴とする請求項８又は
    請求項９に記載の液滴吐出による材料の配置方法。
12. 【請求項１２】 液状材料を液滴として吐出し、基材上
    に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、 前記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が
    構成されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部
    に前記液滴が着弾される工程とを有し、 前記遮光部の幅は、前記開口部に対応する範囲において
    前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成さ
    れ、 前記液滴は、前記遮光部の幅が極大となる部分に対応す
    る位置に着弾されることを特徴とする液滴吐出による材
    料の配置方法。
13. 【請求項１３】 前記開口部は実質的に矩形であり、前
    記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿ってその幅が
    増減するように形成されることを特徴とする請求項１１
    又は請求項１２に記載の液滴吐出による材料の配置方
    法。
14. 【請求項１４】 前記遮光部は、前記基材上に形成され
    た隔壁によって構成されることを特徴とする請求項８乃
    至請求項１３のいずれか１項に記載の液滴吐出による材
    料の配置方法。
15. 【請求項１５】 液状材料を液滴として吐出し、基材上
    に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、 前記基材上に遮光部が形成される工程と、前記遮光部が
    形成されていない実質的に方形状の開口部に前記液滴が
    着弾される工程とを有し、 前記遮光部の幅は、前記開口部の一辺の略中央部に対応
    する位置において大きく、前記開口部の前記一辺の両端
    部に対応する位置において小さくなるように形成され、 前記液滴は、前記開口部の略中央位置に着弾されること
    を特徴とする液滴吐出による材料の配置方法。
16. 【請求項１６】 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画
    成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置さ
    れた表示要素とを有する表示装置であって、 前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記
    隔壁の延長方向に沿って増減するように構成されている
    ことを特徴とする表示装置。
17. 【請求項１７】 前記領域は実質的に矩形であり、前記
    隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減
    するように構成されていることを特徴とする請求項１６
    に記載の表示装置。
18. 【請求項１８】 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲
    において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に
    一定であるように構成されていることを特徴とする請求
    項１６又は請求項１７に記載の表示装置。
19. 【請求項１９】 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲
    において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減する
    ように構成されていることを特徴とする請求項１６又は
    請求項１７に記載の表示装置。
20. 【請求項２０】 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画
    成された領域内に配置された表示要素とを有する表示装
    置であって、 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲においてその幅が
    前記隔壁の延長方向に沿って増減するように構成されて
    いることを特徴とする表示装置。
21. 【請求項２１】 前記領域は実質的に矩形であり、前記
    隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってその幅が増減す
    るように構成されていることを特徴とする請求項１９又
    は請求項２０に記載の表示装置。
22. 【請求項２２】 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画
    成される実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置さ
    れた表示要素とを有する表示装置であって、 前記隔壁の幅は、前記領域の一辺の略中央部に対応する
    位置において大きく、前記領域の前記一辺の両端部に対
    応する位置において小さくなるように構成されているこ
    とを特徴とする表示装置。
23. 【請求項２３】 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成
    されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に
    配置された表示要素とを有する表示装置であって、 前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が
    前記遮光部の延長方向に沿って増減するように構成され
    ていることを特徴とする表示装置。
24. 【請求項２４】 前記開口部は実質的に矩形であり、前
    記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔
    が増減するように構成されていることを特徴とする請求
    項２３に記載の表示装置。
25. 【請求項２５】 前記遮光部は、前記開口部に対応する
    範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実
    質的に一定であるように構成されていることを特徴とす
    る請求項２３又は請求項２４に記載の表示装置。
26. 【請求項２６】 前記遮光部は、前記開口部に対応する
    範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増
    減するように構成されていることを特徴とする請求項２
    ３又は請求項２４に記載の表示装置。
27. 【請求項２７】 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成
    されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に
    配置された表示要素とを有する表示装置であって、 前記遮光部は、前記開口部に対応する範囲においてその
    幅が前記遮光部の延長方向に沿って増減するように構成
    されていることを特徴とする表示装置。
28. 【請求項２８】 前記開口部は実質的に矩形であり、前
    記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿ってその幅が
    増減するように構成されていることを特徴とする請求項
    ２６又は請求項２７に記載の表示装置。
29. 【請求項２９】 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成
    されていない実質的に方形状の開口部内に配置された表
    示要素とを有する表示装置であって、前記遮光部の幅
    は、前記開口部の一辺の略中央部に対応する位置におい
    て大きく、前記開口部の前記一辺の両端部に対応する位
    置において小さくなるように構成されていることを特徴
    とする表示装置。
30. 【請求項３０】 前記遮光部は、前記基材上に形成され
    た隔壁によって構成されることを特徴とする請求項２３
    乃至請求項２９のいずれか１項に記載の表示装置。
31. 【請求項３１】 前記表示要素は、カラーフィルタの構
    成要素であるフィルタエレメントであることを特徴とす
    る請求項１６乃至請求項３０のいずれか１項に記載の表
    示装置。
32. 【請求項３２】 前記表示要素は、表示ドットを構成す
    るＥＬ発光部であることを特徴とする請求項１６乃至請
    求項３０のいずれか１項に記載の表示装置。
33. 【請求項３３】 請求項１６乃至請求項３２のいずれか
    １項に記載の表示装置を有することを特徴とする電子機
    器。
34. 【請求項３４】 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画
    成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置さ
    れた表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、 前記基材上に隔壁が形成される工程と、 吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程
    とを有し、 前記領域を挟んで対峙する一対の前記隔壁の間隔が前記
    隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、 前記液滴は、前記隔壁の間隔が極大となる部分に対応す
    る位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造方
    法。
35. 【請求項３５】 前記領域は実質的に矩形であり、前記
    隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿って前記間隔が増減
    するように形成されることを特徴とする請求項３４に記
    載の表示装置の製造方法。
36. 【請求項３６】 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲
    において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が実質的に
    一定であるように形成されることを特徴とする請求項３
    ４又は請求項３５に記載の表示装置の製造方法。
37. 【請求項３７】 前記隔壁は、前記領域に対応する範囲
    において前記隔壁の延長方向に沿ってその幅が増減する
    ように形成されることを特徴とする請求項３４又は請求
    項３５に記載の表示装置の製造方法。
38. 【請求項３８】 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画
    成された実質的に方形状若しくは帯状の領域内に配置さ
    れた表示要素とを有する表示装置の製造方法であって、 前記基材上に隔壁が形成される工程と、 吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程
    とを有し、 前記隔壁の幅は、前記領域に対応する範囲において前記
    隔壁の延長方向に沿って増減するように形成され、 前記液滴は、前記隔壁の幅が極大となる部分に対応する
    位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造方
    法。
39. 【請求項３９】 前記領域は実質的に矩形であり、前記
    隔壁は、前記領域の矩形の長辺に沿ってその幅が増減す
    るように形成されることを特徴とする請求項３７又は請
    求項３８に記載の表示装置の製造方法。
40. 【請求項４０】 基材上に、隔壁と、該隔壁によって画
    成された実質的に方形状の領域内に配置された表示要素
    とを有する表示装置の製造方法であって、 前記基材上に隔壁が形成される工程と、 吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程
    とを有し、 前記隔壁の幅が、前記領域の一辺の略中央部に対応する
    位置において大きく、前記領域の前記一辺の両端部に対
    応する位置において小さくなるように形成され、 前記液滴は、前記領域の略中央位置に着弾されることを
    特徴とする表示装置の製造方法。
41. 【請求項４１】 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成
    されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に
    配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であ
    って、 前記基材上に遮光部が形成される工程と、 吐出された液状材料の液滴が前記開口部に着弾される工
    程とを有し、 前記開口部を挟んで対峙する一対の前記遮光部の間隔が
    前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成さ
    れ、 前記液滴は、前記遮光部の間隔が極大となる部分に対応
    する位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造
    方法。
42. 【請求項４２】 前記開口部は実質的に矩形であり、前
    記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿って前記間隔
    が増減するように形成されることを特徴とする請求項４
    １に記載の表示装置の製造方法。
43. 【請求項４３】 前記遮光部は、前記開口部に対応する
    範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が実
    質的に一定であるように形成されることを特徴とする請
    求項４１又は請求項４２に記載の表示装置の製造方法。
44. 【請求項４４】 前記遮光部は、前記開口部に対応する
    範囲において前記遮光部の延長方向に沿ってその幅が増
    減するように形成されることを特徴とする請求項４１又
    は請求項４２に記載の表示装置の製造方法。
45. 【請求項４５】 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成
    されていない実質的に方形状若しくは帯状の開口部内に
    配置された表示要素とを有する表示装置の製造方法であ
    って、 前記基材上に遮光部が形成される工程と、 吐出された液状材料の液滴が前記領域に着弾される工程
    とを有し、 前記遮光部の幅は、前記開口部に対応する範囲において
    前記遮光部の延長方向に沿って増減するように形成さ
    れ、 前記液滴は、前記遮光部の幅が極大となる部分に対応す
    る位置に着弾されることを特徴とする表示装置の製造方
    法。
46. 【請求項４６】 前記開口部は実質的に矩形であり、前
    記遮光部は、前記開口部の矩形の長辺に沿ってその幅が
    増減するように形成されることを特徴とする請求項４４
    又は請求項４５に記載の表示装置の製造方法。
47. 【請求項４７】 基材上に、遮光部と、該遮光部が形成
    されていない実質的に方形状の領域内に配置された表示
    要素とを有する表示装置の製造方法であって、 前記基材上に遮光部が形成される工程と、 吐出された液状材料の液滴が前記遮光部に着弾される工
    程とを有し、 前記遮光部の幅が、前記開口部の一辺の略中央部に対応
    する位置において大きく、前記開口部の前記一辺の両端
    部に対応する位置において小さくなるように形成され、 前記液滴は、前記開口部の略中央位置に着弾されること
    を特徴とする表示装置の製造方法。
48. 【請求項４８】 前記遮光部は、前記基材上に形成され
    た隔壁によって構成されることを特徴とする請求項４１
    乃至請求項４７のいずれか１項に記載の表示装置の製造
    方法。
49. 【請求項４９】 前記表示要素は、カラーフィルタの構
    成要素であるフィルタエレメントであることを特徴とす
    る請求項３４乃至請求項４８のいずれか１項に記載の表
    示装置の製造方法。
50. 【請求項５０】 前記表示要素は、表示ドットを構成す
    るＥＬ発光部であることを特徴とする請求項３４乃至請
    求項４８のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。