NO321288B1 - Fremgangsmate for gjenvinning av CF4 og C2F6 fra en avgass fra fremstilling av aluminium. - Google Patents
Fremgangsmate for gjenvinning av CF4 og C2F6 fra en avgass fra fremstilling av aluminium. Download PDFInfo
- Publication number
- NO321288B1 NO321288B1 NO19992990A NO992990A NO321288B1 NO 321288 B1 NO321288 B1 NO 321288B1 NO 19992990 A NO19992990 A NO 19992990A NO 992990 A NO992990 A NO 992990A NO 321288 B1 NO321288 B1 NO 321288B1
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- accordance
- gas
- retentate
- permeate
- exhaust gas
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 23
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 title description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000012465 retentate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 229910001506 inorganic fluoride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 16
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminium flouride Chemical compound F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 14
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 13
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 claims description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 claims description 9
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 7
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 claims description 6
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 claims description 6
- 229910001610 cryolite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 claims description 6
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 6
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 claims description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000004760 aramid Substances 0.000 claims description 3
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 3
- 239000003518 caustics Substances 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 64
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 21
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 7
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UBAZGMLMVVQSCD-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;molecular oxygen Chemical compound O=O.O=C=O UBAZGMLMVVQSCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 3
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 3
- 229920006926 PFC Polymers 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 229920005597 polymer membrane Polymers 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004131 Bayer process Methods 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009626 Hall-Héroult process Methods 0.000 description 1
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910001570 bauxite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- -1 fluoride ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25C—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC PRODUCTION, RECOVERY OR REFINING OF METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25C3/00—Electrolytic production, recovery or refining of metals by electrolysis of melts
- C25C3/06—Electrolytic production, recovery or refining of metals by electrolysis of melts of aluminium
- C25C3/22—Collecting emitted gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/229—Integrated processes (Diffusion and at least one other process, e.g. adsorption, absorption)
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Description
Oppfinnelsesområdet
Foreliggende oppfinnelse vedrører en fremgangsmåte for utvinning av minst én av CF4og C2F6fra en avgass fra en aluminiumelektrolysecelle, samt en fremgangsmåte til fremstilling av aluminium.
Bakgrunn for oppfinnelsen
For tiden fremstilles aluminummetall kommersielt i to trinn. Det første trinn omfatter ekstrahering av aluminiumoksid (Al203) fra bauxitt under anvendelse av en Bayerprosess. Det andre trinn omfatter reduksjon av aluminiumsoksidet som er løst i en blanding av smeltet kryolitt (Na3AIF6) og aluminiumstrifluorid (AIF3) i en elektrolysecelle ved fra 950 til 960 °C ved Hall-Heroult-prosessen. I det andre trinn reduseres aluminiumholdige ioner elektrokjemisk til metallisk aluminium ved metallkatodeoverflaten.
Under normal elektrolyse forbrukes karbonaoder når oksygenholdige ioner reagerer med karbonanodene under dannelse av karbondioksid og aluminiummetall etter følgende ligning:
Men under visse betingelser nærmer elektrolysecellen seg en anodeeffekt. Den er kjennetegnet ved følgende hendelser: (1) Aluminiumsoksidkonsentrasjonen i hovedmassen av elektrolytten synker under 2 vekt %. (2) Høyere konsentrasjoner av fluoridioner får overhånd nær anoden når konsentrasjonen av oksygenholdige ioner avtar.
(3) Anodepolarisasjonsspenningen øker betydelig.
(4) Karbonanodens kritiske strømtetthet overskrides for utladningen av bare oksygenholdige anioner. (5) F2utlades til slutt på anodeoverflaten fra dekomponeringen av kryolitt.
Under anodeeffektene reagerer fluoret som utlades på anoden med karbonet under dannelse av CF4og C2F6etter følgende ligning:
For en mer detaljert diskusjon av anodeeffekten henvises det til Alton T. Taberaux, Anode Effects, PFCs, Global Warming, and the Aluminium Industry, JOM, nov. 1994, p. 30-34.
For en typisk elektrolysecelle er utslippsmengden av CF4og C2F6per dag 0,25 kg. Der er normalt fra 100 til 200 celler per verk. Derfor er det daglige utslipp av CF4og C2F6ca. 50 kg.
Utslippet av CF4og C2F6fra aluminiumsverk er typisk blitt sluppet direkte ut i atmosfæren. Men disse gasser, som er 10.000 ganger kraftigere enn C02, er nylig blitt klassifisert som globale oppvarmingsgasser. Således er det etter underteg-ningen av de forente nasjoners rammekonvensjon om klimaforandring, som har som mål å redusere utslippet av globale oppvarmingsgasser, et betydelig behov innen industrien for en måte å minimalisere etter eliminere utslippet av disse gasser i atmosfæren på.
Følgelig er det et formål ved den foreliggende oppfinnelse å avhjelpe dette behov hos aluminiumsindustrien.
Disse og andre formål ved oppfinnelsen vil fremgå i lys av den etterfølgende beskrivelse og de medfølgende tegninger og krav.
Oppsummering av oppfinnelsen
Den foreliggende oppfinnelse vedrører en fremgangsmåte for gjenvinning av minst én av CF4og C2F6fra en avgass fra en aluminiumelektrolysecelle.
Fremgangsmåten i følge oppfinnelsen er således kjennetegnet ved at den omfatter følgende trinn: (a) fjerning av uorganiske fluorider fra en avgass som inneholder uorganiske fluorider og minst én av CF4og C2F6 for å oppnå en renset avgass, og (b) bringing av den rensete avgass i kontakt med en membran under betingelser som effektivt oppnår et retenat som er rik på minst én av CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for minst én av CF4og C2F6.
Oppfinnelsen vedrører også en fremgangsmåte til fremstilling av aluminium.
Denne fremgangsmåten i følge oppfinnelsen er således kjennetegnet ved de følgende trinn: (a) at aluminiumoksid som er løst i en blanding av smeltet kryolitt og aluminiumtrifluorid reduseres elektrolytisk i en elektrolysecelle under dannelse av aluminium. (b) at en avgass som inneholder F2, HF og minst én av CF4og C2F6trekkes ut av elektrolysecellen. (c) at avgassen bringes i kontakt med aluminiumoksid under betingelser som effektivt bevirker at F2 og HF reagerer med aluminiumoksidet under dannelse av aluminiumtrifluorid og en gasstrøm som inneholder minst én av CF4og C2F6. (d) at det i det minste én del av aluminiumtirfluoridet fra trinn (c) resirkuleres til elektrolysecellen, samt (e) at gasstrømmen som inneholder minst én av CF4og C2F6bringes i kontakt med en membran under betingelser som effektivt bevirker at det oppnås et retenat som er rik på minst én av CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for minst én av CF4 og C2F6.
Ytterligere utførelser av oppfinnelsen er angitt i underkravene 2-12 og 14-20.
Kort beskrivelse av tegningene
Fig. 1 viser et prosessflytdiagram for gjenvinning av CF4og C2F6ifølge oppfinnelsen. Fig. 2 er en graf som viser de relative permeabiliteter for N3. CF4og C2F6gjennom en spesiell membran ved forskjellige temperaturer. Fig. 3 viser en utforming av et membransystem som kan benyttes i oppfinnelsen.
Detaljert beskrivelse av de foretrukne utførelsesformer
I den videste aspekt vedrører den foreliggende oppfinnelse en fremgangsmåte for gjenvinning av minst én av CF4og C2F6fra en gasstrøm. Fortrinnsvis vedrører oppfinnelsen en fremgangsmåte for gjenvinning av både CF4og C2F6fra en gasstrøm som inneholder den.
Før separeringen inneholder gastrømmen fortrinnsvis fra 0,01 til 20 volum% av i det minste én av CF4og C2F6.1 tillegg til å inneholde minst én av CF4og C2F6kan gasstrømmen inneholde oksygen, karbondioksid og nitrogen samt andre gassformige bestanddeler.
Fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen omfatter det trinn at gasstrømmen bringes i kontakt med en membran under betingelser som effektivt bevirker at det oppnås et retenat som er rik på i det minste én av CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for i det minste én av CF4og C2F6. Fortrinnsvis er retenatet tappet for oksygen, karbondioksid og nitrogen, mens permeatet er rik oksygen, karbondioksid og nitrogen. Dersom både CF4og C2F6er til stede i gasstrømmen dannes det i kontakttrinnet fortrinnsvis et retenat som er rikt på både CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for både CF4og C2F6.
Slik den er benyttet i beskrivelsen og kravene betyr betegnelsen "rik" at konsentrasjonen av en spesiell bestanddel i strømmen er høyere enn konsentrasjonen av samme bestanddel i matestrømmen. Likeledes betyr betegnelsen "tappet" at konsentrasjonen av en spesiell bestanddel i strømmen er lavere enn konsentrasjonen av den samme bestanddel i matestrømmen.
Retenatet inneholder fortrinnsvis fra 25 til 100 volum% av i det minste én av CF4og C2F6. Permeatet inneholder fortrinnsvis fra 0 til 0,01 volum% av i det minste én av CF4og C2F6.
I en foretrukket utførelsesform bedres permeatets og retenatats renhet ved at strømmene bringes i kontakt med ytterligere membraner som er anordnet i serie. En slik fremgangsmåte kan utføres med flertrinnsmembrans- separeringssystemet som er vist i fig. 3. Som vist i fig. 3 kan hver av permeatet og retenatet ledes til en annen membranenhet for å øke strømmens renhet. Antallet kontakttrinn "m" og "n" kan variere avhengig av den ønskede renhet. Ved å anvende en slik fremgangsmåte er det mulig å oppnå 100 % gjenvinning av i det minste én av CF4og C2F6med en renhet som nærmer seg 100 %.
Enhver membran kan anvendes i fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen så lenge membranen kan selektivt holde tilbake i det minste én av CF4og C2F6, mens de øvrige bestanddeler i gasstrømmen slippes gjennom. Membranen bør også være stort sett ikke-reaktiv med de gassformige bestanddeler som skal separeres.
Membraner som er anvendelige i oppfinnelsen er fortrinnsvis glassaktige membraner, så som polymermembraner fremstilt fortrinnsvis av polyimider; polyamiden polyamidimider; polyestere, polykarbonater; polysulfonen polyetersulfon; polyeterketon; alkylsubstituerte, aromatiske polyestere; blandinger av polyetersulfon, aromatiske polyimider, aromatiske polyamider, polyamid-imider, fluorert, aromatisk polyimid, polyamid og polyamid-imider; glassaktige polymere membraner, så som de som er beskrevet i amerikansk patentsøknad 08/247.125 av 20. mai 1994; cellulose-acetaten samt blandinger derav, kopolymerer derav, substituerte polymerer (f.eks. alkyl-aryl) derav.
Asymmetriske membraner fremstilles ved utfelling av polymeriøsninger i løsemiddelblandbare ikke-løsemidler. Slike membraner har typisk et tett skillelag båret på et anisotropisk substrat med gradert porøsitet og vanligvis fremstilt i ett trinn. Eksempler på slike membraner og fremgangsmåter til fremstilling derav er kjent fra US- patentskrifter 1.113.628; 4.460.526; 4.478.662; 4.485.056; 4.512.893; 5.085.676 samt 4.717.394.1 patentskriftene .394 og .676 beskrives fremstilling av asymmetriske separeringsmembraner fra utvalgte polyimider. Særlige foretrukne membraner er polyimidbaserte, asymmetriske gassepareringsmembraner som er beskrevet i .676 patentskriftet.
I en trykkdrevet gassmembransepareringsprosess bringes den ene side av gassepareringsmembranen i kontakt med en kompleks flerkomponentsgassblanding, og visse av gassene i blandingen slipper hurtigere gjennom membranen enn de øvrige gasser. Gassepareringsmembraner gjør det derved mulig for noen gasser å slippe gjennom dem, mens de funksjonerer som er barriere for andre gasser I en relativ betydning. Den relative gassgjennomtrengningsgrad gjennom membranen er en egenskap hos membranmaterialsammensetningen og dens morfologi. Det har vært antydet innen kjent teknikk at egenpermeabiliteten for en polymermembran er en kombinasjon av gassdiffusjon gjennom membranen, styrt delvis av pakkingen og det frie molekylvolum hos materialet, og gassløseligheten i materialet. Selektivitet er forholdet mellom permeabilitetene for to gasser som separeres ved hjelp av et materiale. Det er også meget ønskelig å fremstille skadefrie, tette separeringslag for å opprettholde høy gasselektivitet.
Kompositt-gassepareringsmembraner har typisk et tett separeringslag på et prefabrikert, mikroporøst substrat. Separeringslaget og substratet har vanligvis forskjellig sammensetning. Kompositt-gassepareringsmembraner har utviklet seg til en struktur av et ultratynt, tett separeringslag båret på et antisotropt, mikoporøst substrat. Disse kompositt-membranstrukturer kan fremstilles ved laminering av et prefabrikert, ultratynt, tett separeringslag på en prefabrikert, antisotrop bæremem-bran. Eksempler på slike membraner og fremgangsmåter til fremstilling derav er kjent fra US-patentskrifter 4.664.669; 4.689.267; 4.741.829; 2.947.687; 2.953.502; 3.616.607, 4.714.481; 4.602.922, 2.970.106; 2.960.462; 4.713.292; 4.086.310; 4.132.824; 4.192.824; 4.155.793; samt 4.156.597.
Alternativt kan kompositt-gassepareringsmembraner fremstilles ved flertrinns-prosesser hvor det først dannes et anisotropt, porøst substrat, etterfulgt av at substratet bringes i kontakt med en membrandannende løsning. Eksempler på slike fremgangsmåter er kjent fra US-patentskrifter 4.826.599; 3.648.845; samt 3.508.994.
I US-patentskrift 4.756.932 beskrives det hvordan kompositt-membraner på basis av hulfibre også kan fremstilles ved koekstruksjon av flere polymeriøsningslag etterfulgt av utfelling i et løsemiddelblandbart ikke-løsemiddel.
Ifølge en utførelsesform av den foreliggende oppfinnelse kan membranen etterbehandles med eller belegges med eller koekstruderes sammen med et fluorert eller perfluorert polymerlag for å øke dets evne til å motstå skadelige bestanddeler i gassblandingen hvorfra PFCer skal fraskilles, i lave nivåer eller temporær kontakt med slike bestanddeler.
Hulfiberspinningsprosessen avhenger av mange variable, som kan påvirke morfologien og egenskapene til hulfibermembranen. Disse variabler inkluderer sammensetningen til polymerløsningen som anvendes for å fremstille fiberen, sammensetningen til fluidet som innføres i hulfiberekstrudatet under spinning, spinnevortens temperatur, koaguleringsmediet som anvendes for å behandle hulfiberekstrudatet, koaguleringsmediets temperatur, hastigheten under koagulering av polymeren, ekstruderingshastigheten for fiberen, oppviklingshastigheten av fiberen på oppviklingsrullen o.l.
Temperaturen til gassblandingen og/ eller membranen under kontakttrinnet kan variere fra -10 °C til 100 °C. Fortrinnsvis er temperaturen mellom -10 °C til 80 °C. Mer foretrukket er temperaturen fra omgivelsestemperatur, dvs. fra 20 °C til 25 °C, til 60 °C.
Det foretrekkes ifølge oppfinnelsen å ha et trykkfall henover membranen på under 140 kg/ cm<2>(2000 psig). Mer foretrukket ligger trykkfallet på fra 0,2 til 14 kg/ cm<2>. Enda mer foretrukket ligger trykkfallet på fra 14 til 42 kg/ cm<2>.
Det nødvendige trykkfall henover membranen kan frembringes på en av to måter. For det første kan mategasstrømmen være komprimert. Foretrukne kompressorer er forseglet og oljefrie, så som kompressorene som selges under handelsnavnet "POWEREX", som er tilgjengelige fra Powerex Harrison Company i Ohio. For det andre, og mer foretrukket, kan trykkfallet henover membranen etableres ved å senke trykket på membranens permeable side. For å frembringe det lavere trykk på permeabelsiden kan det anvendes en vakuumpumpe eller en vilkårlig annen sugeinnretning.
Strømningshastigheten for gassen henover membranen kan variere fra 0 til 105 Nm<3>/ h-m<2>av membranen som er tilgjengelig for separering. Fortrinnsvis er strømnings-hastigheten fra 10"<4>til 105 Nm<3>/ h-m<2>. Mer foretrukket er strømningshastigheten fra 0,1 til 0,5 Nm<3>/h-m<2>.
I et foretrukket aspekt vedrører den foreliggende oppfinnelse en fremgangsmåte for gjenvinning av i det minste én av CF4og C2F6fra en avgass fra en aluminiumelektrolysecelle. Avgassen kan inneholde (1) gassformige bestanddeler, så som 02, CO2 og N2, (2) uorganiske fluorider, så som F2HF og NaAIF4, samt (3) minst én av CF4 og C2F&Avgassen kan også omfatte noen hydrokarboner og en stor mengde partikler.
Det første trinn i denne fremgangsmåten omfatter fjerning av de uorganiske fluorider fra avgassen under dannelse av en renset avgass. De uorganiske fluorider fjernes fortrinnsvis fra avgassen ved anvendelse av en kaustisk skrubber. Skrubberen kan være våt eller tørr. Tørre skrubber er vanligvis skrubbere av harpikstype eller soda-kalk, mens noen tørre skrubbere som inneholder katalysatorer så som Mn02, også kan anvendes.
Eksempler på våte skrubbere som kan anvendes i oppfinnelsen er beskrevet i brosjyren med tittelen "Velg en "CDO" for Your Particular Application" fra DELATECH Corporation. Når forkjellige skadelige bestanddeler skal fjernes, foretrekkes det å anvende én eller flere tørre skrubbere i serie med en eller flere våte skrubbere.
Fortrinnsvis anvendes det oppstrøms for skrubberen eller skrubberne ett eller flere filtre for fjerning av partiklene fra avgassen. Det foretrekkes å anvende et filter som har en porestørrelsesdiameter på under 20 pm, mer foretrukket under 10 um.
I det andre trinn i denne fremgangsmåte bringes den rensende avgass i kontakt med en membran under betingelser som effektivt bevirker at det oppnås et retenat som er rikt på i det minste én av CF4og C2F6, og et retenat som er tappet for i det minste én av CF4og C2F6. Dette membransepareringstrinn kan utføres slik som beskrevet ovenfor. Dersom der er igjen partikler i den rensende avgass før den ledes til membransepareringsenheten vil det ifølge oppfinnelsen bli vurdert å anvende ett eller flere ytterligere filtre for fjerning av slike partikler.
I et annet foretrukket aspekt vedrører oppfinnelsen en fremgangsmåte for fremstilling av aluminium. Fremgangsmåten kjennetegnes ved at den omfatter følgende trinn:
(a) elektrolytisk reduksjon av aluminiumoksid som er løst i en blanding av smeltet kryolitt og aluminiumtrifluorid i en elektrolysecelle under dannelse av aluminium, (b) uttrekking av en avgass som inneholder F2, HF og i det minste én av CF4og C2F6fra elektorlysecellen, (c) bringing av en avgass i kontakt med aluminiumoksid under betingelser hvor F2og HF effektivt reagerer med aluminiumoksid under dannelse av aluminiumtrifluorid og en gasstrøm som inneholder i det minste én av CF4og C2F6, (d) resirkulering av i det minste én del av aluminiumtrifluoridet fra trinn (c) til elektrolysecellen, samt (e) bringing av gasstrømmen som inneholder i det minste én av CF4og C2F6i kontakt med en membran under betingelser som effektivt bevirker at det oppnås et retenat som er rikt på i det minste én av CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for i det minste én av CF4og C2F6.
De generelle trekk ved denne fremgangsmåte er vist i fig. 1. Under henvisning til fig.1 mates en strøm 1 av aluminiumoksid, kryolitt og aluminiumtrifluorid inn i en aluminiumelektrolysecelle 2, hvor smeltet aluminium fremstilles ved elektrolytisk reduksjon av aluminiumoksidet. Driftsbetingelsene og utstyret som er nødvendig for å utføre dette trinn er velkjente for fagfolk på dette området.
Det smeltede aluminium uttas deretter fra elektrolysecellen 2 gjennom en ledning 3. En avgasstrøm 4 uttas også fra elektrolysecellen 2. Avgasstrømmen 4 inneholder O2, CO2, N2, F2, HF, NaAIF4, CF3, C2F6samt partikler. Avgasstrømmen 4 ledes eventuelt til et filter 5 for fjerning av partiklene i den.
En filtrert avgass 6 uttas eventuelt fra filteret 5 og ledes til en tørr vaskesone 7.1 vaskesonen 7 bringes den filtrerte avgass 6 i kontakt med aluminiumoksid innført gjennom en ledning 8 under betingelser som bevirker effektiv fjerning av uorganiske fluorider, så som F2 og HF. Disse betingelser for utførelse av dette vasketrinn er velkjente for fagfolk på området. Under vasketrinnet reagerer aluminiumoksidet med F2og HF i den filtrerte avgass 6 under dannelse av aluminiumtrifluorid etter følgende ligninger
En strøm 9 som inneholder aluminiumtirfluoridet uttas deretter fra den tørre vaskesone 7 og resirkuleres til strømmen 1. Den tørre vaskesone 7 frembringer også en renset avgasstrøm 10 som inneholder CF4, C2F6, O2, C02 og N2. Strømmen 10 ledes om nødvendig til et ytterligere filter 11 for fjerning av eventuelt gjenværende partikler. Den rensede avgasstrøm 10 ledes deretter til et membranseparerings-system 12, slik at det som er beskrevet ovenfor og vist i figur 3, hvor det dannes et retenat 14 og et permeat 13. Permeatet 13 inneholder det meste av O2, CO2og N2, mens retenatet 14 inneholder CF4og C2F6. Retenatet 14, som inneholder CF4og C2F6, kan renses ytterligere på stedet eller et annet sted for å frembringe en CF^ C2F6- strøm, som er egnet for anvendelse innen halvlederindustrien.
Eksempler
De etterfølgende eksempler skal belyse oppfinnelsen og må ikke oppfattes som en begrensning av denne.
Eksempel 1
En gasstrøm inneholdende CF4, C2F6og N2ble brakt i kontakt med en asymmetrisk, kompositt-hulfiberpolyimidmembran ved forskjellige temperaturer for å måle de relative permeabiliteter av CF4, C2F6og N2. Gasstrømmen hadde en konstant strømningshastighet på 170 sccm. Trykket til den tilførte gass ble holdt konstant på 3 bar. Permeabiliteten til hver av disse bestanddeler er vist grafisk i fig. 2. Som det fremgår av fig. 2 er selektiviteten for CF4IN2og C2F6av størrelsesorden 300.
Basert på de ovennevnte selektiviteter ble det utført en datamaskinsimulering av en éntrinns membransepareringsenhet. Konsentrasjonen og trykket for matestrømmen, permeatet og retenatet, samt CFV C2F6- gjenvinningen er vist i tabell 1 nedenfor.
Eksempel 2
Fremgangsmåten i eksempel 1 ble gjentatt under anvendelse av matekonsentrasjonen og trykket som er angitt i tabell 2 nedenfor. De simulerte resultater er også angitt i tabell 2.
Eksempel 3
For et typisk smelteverk med 100 smeltedigler er avgassens strømningshastighet ca.
3 Nm<3>/ h. Samme fremgangsmåte som i eksempel 1 ble fulgt under anvendelse av en slik strøm. Matekonsentrasjonen og trykket samt de simulerte resultater av en slik strøm er angitt i tabell 3 nedenfor.
Eksempel 4
I et aktuelt forsøk ble en matestrøm som inneholdt 1,14% CF4og C2F6, mens resten var N2brakt i kontakt med en asymmetrisk kompositthulfibermembran av polyimid ved romtemperatur. Strømningshastigheten, konsentrasjonen og trykket til matestrømmen, permeatet og retenatet sammen med den prosentvise gjenvinning av CF4og C2F6er angitt i tabell 4 nedenfor.
Claims (20)
1. Fremgangsmåte for gjenvinning av minst én av CF4og C2F6fra en avgass fra en aluminiumelektrolysecelle,karakterisert vedat den omfatter følgende trinn: (a) fjerning av uorganiske fluorider fra en avgass som inneholder uorganiske fluorider og minst én av CF4og C2F6for å oppnå en renset avgass, og (b) bringing av den rensete avgass i kontakt med en membran under betingelser som effektivt oppnår et retenat som er rik på minst én av CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for minst én av CF4og C2F6.
2. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat de uorganiske fluorider er F2, HF og NaAIF4.
3. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat trinn (a) utføres under anvendelse av en kaustisk skrubber.
4. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1, hvorav avgassen dessuten inneholder partikler,karakterisert vedat avgassen bringes i kontakt med et filter for fjerning av partiklene før trinn (a).
5. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat den rensede avgass dessuten inneholder partikler, og hvor den rensede avgass bringes i kontakt med et filter for fjerning av partiklene før trinn (b).
6. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1, hvor avgassen inneholder både CF4og C2F6,karakterisert vedat retenatet er rik på både CF4og C2F6, og at permeatet er tappet for både CF4og C2F6.
7. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat avgassen videre omfatter O2, C02og N2.
8. Fremgangsmåte i samsvar med krav 7,karakterisert vedat retenatet er tappet for 02, C02og N2, og at permeatet er rik på 02, C02og N2.
9. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat avgassen inneholder fra 0,01 til 20 volum% av minst én av CF4og C2F6.
10. Fremgangsmåte i samsvar med krav 9,karakterisert vedat retenatet inneholder fra 25 til 100 volum% av minst én av CF4og C2F6, og at permeatet inneholder fra 0 til 0,01 volum% av minst én av CF4og C2F6.
11. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat betingelsene omfatter en temperatur på mellom 10 og 80 °C, et trykkfall på fra mellom 0,2 og 14 kg/ cm<2>, og en strømningshastighet på mellom 10"<4>og 10 Nm<3>/ fi-rn2.
12. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1,karakterisert vedat membranen er valgt blant polyimider; polyamider; polyamidimider; polyestere, polykarbonater; polysulfoner; polyetersulfon; polyeterketon; alkylsubstituerte, aromatiske polyestere og blandinger av polyetersulfon, aromatiske polyimider, aromatiske polyamider, polyamider-imider, fluorert, aromatisk polyimid, polyamid og polyamid-imider.
13. Fremgangsmåte til fremstilling av aluminium,karakterisert vedfølgende trinn: (a) at aluminiumoksid som er løst i en blanding av smeltet kryolitt og aluminiumtrifluorid reduseres elektrolytisk i en elektrolysecelle under dannelse av aluminium. (b) at en avgass som inneholder F2, HF og minst én av CF4og C2F6trekkes ut av elektrolysecellen. (c) at avgassen bringes i kontakt med aluminiumoksid under betingelser som effektivt bevirker at F2og HF reagerer med aluminiumoksidet under dannelse av aluminiumtrifluorid og en gasstrøm som inneholder minst én av CF4og C2F6. (d) at det i det minste én del av aluminiumtrifluoridet fra trinn (c) resirkuleres til elektrolysecellen, samt (e) at gasstrømmen som inneholder minst én av CF4og C2F6bringes i kontakt med en membran under betingelser som effektivt bevirker at det oppnås et retenat som er rik på minst én av CF4og C2F6, og et permeat som er tappet for minst én av CF4og C2F6.
14. Fremgangsmåte i samsvar med krav 13, hvor gasstrømmen inneholder både CF4 og C2F6,karakterisert vedat retenatet er rik på både CF4 og C2F6, og at permeatet er tappet for både CF4og C2F6.
15. Fremgangsmåte i samsvar med krav 13,karakterisert vedat gasstrømmen dessuten inneholder 02, C02 og N2.
16. Fremgangsmåte i samsvar med krav 15,karakterisert vedat retenatet er tappet for 02, C02og N2, og at permeatet er rik på 02, C02og N2.
17. Fremgangsmåte i samsvar med krav 13,karakterisert vedat gasstrømmen inneholder fra 0,01 til 20 volum% av minst én av CF4og C2F6.
18. Fremgangsmåte i samsvar med krav 17,karakterisert vedat retenatet inneholder fra 25 til 100 volum% av minst én av CF4og C2F6og at den permeatet inneholder fra 0 til 0,01 volum% av minst én av CF4og C2F6.
19. Fremgangsmåte i samsvar med krav 13,karakterisert vedat betingelsene omfatter en temperatur på mellom 10 og 80 °C, et trykkfall på fra mellom 0,2 og 14 kg/ cm<2>, og en strømningshastighet på mellom 10"<4>og 10 Nm<3>/ h-m<2>.
20. Fremgangsmåte i samsvar med krav 13,karakterisert vedat membranen er valgt blant polyimider; polyamider; polyamidimider; polyestere, polykarbonater; polysulfoner; polyetersulfon; polyeterketon; alkylsubstituerte, aromatiske polyestere og blandinger av polyetersulfon, aromatiske polyimider, aromatiske polyamider, polyamider-imider, fluorert, aromatisk polyimid, polyamid og polyamid-imider.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/772,469 US5814127A (en) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | Process for recovering CF4 and C2 F6 from a gas |
| PCT/US1997/022306 WO1998028062A1 (en) | 1996-12-23 | 1997-12-16 | Process for recovering cf4 and c2f6 from a gas |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NO992990D0 NO992990D0 (no) | 1999-06-18 |
| NO992990L NO992990L (no) | 1999-08-20 |
| NO321288B1 true NO321288B1 (no) | 2006-04-18 |
Family
ID=25095170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NO19992990A NO321288B1 (no) | 1996-12-23 | 1999-06-18 | Fremgangsmate for gjenvinning av CF4 og C2F6 fra en avgass fra fremstilling av aluminium. |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5814127A (no) |
| EP (1) | EP0951337B1 (no) |
| JP (1) | JP3274474B2 (no) |
| CN (1) | CN1244813A (no) |
| AT (1) | ATE232132T1 (no) |
| AU (1) | AU715057B2 (no) |
| BR (1) | BR9713633A (no) |
| CA (1) | CA2275907C (no) |
| DE (1) | DE69718933T2 (no) |
| ES (1) | ES2192276T3 (no) |
| NO (1) | NO321288B1 (no) |
| PL (1) | PL334243A1 (no) |
| WO (1) | WO1998028062A1 (no) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5785741A (en) | 1995-07-17 | 1998-07-28 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges, Claude | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases |
| IE80909B1 (en) | 1996-06-14 | 1999-06-16 | Air Liquide | An improved process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases |
| US6156097A (en) * | 1997-05-02 | 2000-12-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | CO2 removable from fluorocarbons by semipermeable membrane |
| EP0980347B1 (en) * | 1997-05-02 | 2004-04-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Separation of co 2? from unsaturated fluorinated compounds by semipermeable membrane |
| US5855647A (en) * | 1997-05-15 | 1999-01-05 | American Air Liquide, Inc. | Process for recovering SF6 from a gas |
| US20010009652A1 (en) * | 1998-05-28 | 2001-07-26 | Jose I. Arno | Apparatus and method for point-of-use abatement of fluorocompounds |
| US5976222A (en) * | 1998-03-23 | 1999-11-02 | Air Products And Chemicals, Inc. | Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series |
| US6017382A (en) * | 1998-03-30 | 2000-01-25 | The Boc Group, Inc. | Method of processing semiconductor manufacturing exhaust gases |
| US6187077B1 (en) * | 1998-04-17 | 2001-02-13 | American Air Liquide Inc. | Separation of CF4 and C2F6 from a perfluorocompound mixture |
| US6395066B1 (en) * | 1999-03-05 | 2002-05-28 | Ube Industries, Ltd. | Partially carbonized asymmetric hollow fiber separation membrane, process for its production, and gas separation method |
| SG80623A1 (en) * | 1999-04-26 | 2001-05-22 | Air Prod & Chem | Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series |
| DE19923155A1 (de) * | 1999-05-20 | 2000-11-23 | Solvay Fluor & Derivate | SF¶6¶-Abtrennung aus Isoliergasen aus gasisolierten Leitungen |
| FR2798076B1 (fr) | 1999-09-06 | 2002-05-24 | Air Liquide | Procede d'elimination par permeation des composes fluores ou fluorosoufres d'un flux de xenon et/ou de krypton |
| IT1311147B1 (it) * | 1999-11-04 | 2002-03-04 | Edk Res Ag | Macchina per pulizia localizzata con cella, elettrolitica e/o adultrasuoni, di decapaggio e/o lucidatura |
| JP4018858B2 (ja) * | 1999-12-20 | 2007-12-05 | 大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社 | パーフルオロ化合物分離回収方法およびそれに用いるパーフルオロ化合物分離回収装置 |
| JP2002035528A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-05 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
| JP2002147948A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-22 | Japan Organo Co Ltd | ガス分離装置及びガス分離方法 |
| US6837982B2 (en) | 2002-01-25 | 2005-01-04 | Northwest Aluminum Technologies | Maintaining molten salt electrolyte concentration in aluminum-producing electrolytic cell |
| US6860920B2 (en) * | 2002-03-28 | 2005-03-01 | L'air Liquide-Societe Anoyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes George Claude | Block polyester-ether gas separation membranes |
| US6919015B2 (en) * | 2002-12-16 | 2005-07-19 | 3M Innovative Properties Company | Process for manufacturing fluoroolefins |
| US6669760B1 (en) * | 2003-04-08 | 2003-12-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Separation of C2F6 from CF4 by adsorption on activated carbon |
| US7018448B2 (en) * | 2003-10-28 | 2006-03-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet including integrated effluent scrubber |
| US7575687B2 (en) * | 2005-08-16 | 2009-08-18 | Ge Osmonics, Inc. | Membranes and methods useful for caustic applications |
| NO332375B1 (no) | 2008-09-19 | 2012-09-10 | Norsk Hydro As | Punktmater med integrert avgassoppsamling samt en fremgangsmate for avgassoppsamling |
| EP2458034A1 (en) * | 2010-01-21 | 2012-05-30 | Alstom Technology Ltd | A method of ventilating an aluminium production electrolytic cell |
| EP2489422B1 (en) * | 2011-02-18 | 2013-10-30 | Alstom Technology Ltd | A device and a method of cleaning an effluent gas from an aluminium production electrolytic cell |
| CN102409360A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-04-11 | 中国铝业股份有限公司 | 一种识别并抑制铝电解槽pfc排放的方法 |
| US8920540B2 (en) * | 2012-06-08 | 2014-12-30 | Alstom Technology Ltd | Compact air quality control system compartment for aluminium production plant |
| ES2583903T3 (es) | 2013-07-30 | 2016-09-22 | Haldor Topso¿E A/S | Procedimiento para producir CO de alta pureza mediante purificación con membrana de CO producido mediante SOEC |
| CN106149008A (zh) * | 2015-04-22 | 2016-11-23 | 沈阳铝镁科技有限公司 | 铝电解槽烟道自动清灰装置 |
| CN107413183B (zh) * | 2016-05-24 | 2020-10-20 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种有机废气回收处理工艺与成套装置 |
| NO20190343A1 (en) | 2019-03-14 | 2020-09-15 | Norsk Hydro As | Arrangement for collection of hot gas from an electrolysis process, and a method for such gas collection |
Family Cites Families (57)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA613352A (en) * | 1961-01-24 | Aluminum Company Of America | Electrolytic production of aluminum | |
| US2947687A (en) * | 1954-10-29 | 1960-08-02 | American Oil Co | Separation of hydrocarbons by permeation membrane |
| US2953502A (en) * | 1955-05-24 | 1960-09-20 | American Oil Co | Separation of azeotropic mixtures |
| US2997132A (en) * | 1956-03-23 | 1961-08-22 | Svenska Flaektfabriken Ab | Method for the ventilating of plants for the manufacture of aluminium or similar products |
| US2960462A (en) * | 1957-09-30 | 1960-11-15 | American Oil Co | Dual film combinations for membrane permeation |
| US2970106A (en) * | 1958-01-31 | 1961-01-31 | American Oil Co | Aromatic separation process |
| US3307330A (en) * | 1965-04-30 | 1967-03-07 | Du Pont | Diffusion process and apparatus |
| US3508994A (en) * | 1966-07-07 | 1970-04-28 | Dorr Oliver Inc | Method for producing membrane separation devices |
| US3648845A (en) * | 1969-09-02 | 1972-03-14 | Us Interior | Thin film separation membranes and processes for making same |
| US3616607A (en) * | 1970-04-06 | 1971-11-02 | Northern Natural Gas Co | Separation of nitrogen and methane containing gas mixtures |
| US3792571A (en) * | 1971-04-02 | 1974-02-19 | Showa Denko Kk | Method and apparatus for purifying waste gas |
| US3904494A (en) * | 1971-09-09 | 1975-09-09 | Aluminum Co Of America | Effluent gas recycling and recovery in electrolytic cells for production of aluminum from aluminum chloride |
| SE362901B (no) * | 1971-10-27 | 1973-12-27 | Svenska Flaektfabriken Ab | |
| US3790143A (en) * | 1972-07-31 | 1974-02-05 | Fuller Co | Removal of fluorides from gases |
| DE2248818C2 (de) * | 1972-10-05 | 1981-10-15 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Dünne porenfreie Polycarbonatfolien und -filme |
| US3823079A (en) * | 1972-12-14 | 1974-07-09 | Reynolds Int Inc | Aluminum reduction cell operating system |
| DE2403282A1 (de) * | 1974-01-24 | 1975-11-06 | Metallgesellschaft Ag | Verfahren zur abscheidung von fluorwasserstoff aus abgasen der aluminiumelektrolyse durch trockenadsorption an aluminiumoxid unter vollstaendiger abtrennung der schaedlichen begleitelemente |
| US4113628A (en) * | 1974-06-05 | 1978-09-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Asymmetric polyimide membranes |
| US4192824A (en) * | 1976-09-23 | 1980-03-11 | Coal Industry (Patents) Limited | Aromatic hydrocarbon resins |
| GB1593524A (en) * | 1976-11-19 | 1981-07-15 | Merck & Co Inc | 1-carba-2-penem-3-carboxylic acids |
| US4132824A (en) * | 1977-07-21 | 1979-01-02 | General Electric Company | Method for casting ultrathin methylpentene polymer membranes |
| US4156597A (en) * | 1977-09-23 | 1979-05-29 | General Electric Company | Ultrathin polyetherimide membrane and gas separation process |
| US4155793A (en) * | 1977-11-21 | 1979-05-22 | General Electric Company | Continuous preparation of ultrathin polymeric membrane laminates |
| DE3062739D1 (en) * | 1979-07-26 | 1983-05-19 | Ube Industries | Process for preparing aromatic polyimide semipermeable membranes |
| JPS57167414A (en) * | 1981-04-03 | 1982-10-15 | Ube Ind Ltd | Production of polyimide hollow fiber |
| JPS57170936A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-21 | Ube Ind Ltd | Preparation of porous polyimide film |
| GB2101137B (en) * | 1981-04-14 | 1984-09-26 | Ube Industries | Producing porous aromatic imide polymer membranes |
| JPS57209607A (en) * | 1981-06-22 | 1982-12-23 | Ube Ind Ltd | Preparation of polyimide separation film |
| JPS5895541A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-07 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 気体分離膜 |
| CA1197074A (en) * | 1981-12-04 | 1985-11-26 | Isaias Loukos | Method and apparatus for cleaning waste gases from aluminum production facilities |
| JPS59160506A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-11 | Kuraray Co Ltd | 複合中空糸分離膜およびその製造法 |
| US4551156A (en) * | 1984-01-16 | 1985-11-05 | Standard Oil Company | Permselective membrane compositions for gas separations and process for the separation of gases therewith |
| US4557921A (en) * | 1984-06-27 | 1985-12-10 | Ethyl Corporation | Purification of halide |
| JPS6135803A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複合中空糸 |
| US4602922A (en) * | 1984-11-09 | 1986-07-29 | Research Foundation Of State University Of New York | Method of making membranes for gas separation and the composite membranes |
| US4681602A (en) * | 1984-12-24 | 1987-07-21 | The Boeing Company | Integrated system for generating inert gas and breathing gas on aircraft |
| JPS61187918A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | ドライ・エツチング方法 |
| JPS621404A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 多層複合中空繊維状膜及びその製造法 |
| WO1987000213A1 (en) * | 1985-06-27 | 1987-01-15 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Composite hollow yarn and a process for producing the same |
| US4781907A (en) * | 1985-12-04 | 1988-11-01 | Mcneill John M | Production of membrane-derived nitrogen from combustion gases |
| IT1196487B (it) * | 1986-07-15 | 1988-11-16 | Techmo Car Spa | Procedimento per depurare i gas emessi dai forni di elettrolisi per la produzione di alluminio e relativa apparecchiatura |
| DE3629817A1 (de) * | 1986-09-02 | 1988-03-03 | Bergwerksverband Gmbh | Verfahren zur verringerung der schadstoffemisionen von kraftwerken mit kombinierten gas-/dampfturbinenprozessen mit vorgeschalteter kohlevergasung |
| US4717394A (en) * | 1986-10-27 | 1988-01-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polyimide gas separation membranes |
| US4756932A (en) * | 1987-06-11 | 1988-07-12 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process for making highly permeable coated composite hollow fiber membranes |
| US4826599A (en) * | 1987-07-10 | 1989-05-02 | Union Carbide Corporation | Composite membranes and their manufacture and use |
| US4881953A (en) * | 1988-09-15 | 1989-11-21 | Union Carbide Corporation | Prevention of membrane degradation |
| US4906256A (en) * | 1989-03-23 | 1990-03-06 | Membrane Technology & Research, Inc. | Membrane process for treatment of fluorinated hydrocarbon-laden gas streams |
| US5055116A (en) * | 1989-05-22 | 1991-10-08 | Hoechst Celanese Corp. | Gas separation membranes comprising miscible blends of polyimide polymers |
| GB8916510D0 (en) * | 1989-07-19 | 1989-09-06 | Boc Group Plc | Separation of gas mixtures |
| US5042992A (en) * | 1990-03-21 | 1991-08-27 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Gas separation material |
| US5085676A (en) * | 1990-12-04 | 1992-02-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Novel multicomponent fluid separation membranes |
| US5391219A (en) * | 1991-04-15 | 1995-02-21 | Nitto Denko Corporation | Method for the separation and concentration of gas using a composite or asymmetric fluorine-containing polyimide membrane |
| US5232472A (en) * | 1992-11-03 | 1993-08-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polyimide and polyamide-imide gas separation membranes |
| US5378263A (en) * | 1992-12-21 | 1995-01-03 | Praxair Technology, Inc. | High purity membrane nitrogen |
| US5281253A (en) * | 1993-01-06 | 1994-01-25 | Praxair Technology, Inc. | Multistage membrane control system and process |
| US5282969A (en) * | 1993-04-29 | 1994-02-01 | Permea, Inc. | High pressure feed membrane separation process |
| US5785741A (en) * | 1995-07-17 | 1998-07-28 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges, Claude | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases |
-
1996
- 1996-12-23 US US08/772,469 patent/US5814127A/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-12-16 AT AT97952294T patent/ATE232132T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-12-16 EP EP97952294A patent/EP0951337B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-16 AU AU55937/98A patent/AU715057B2/en not_active Ceased
- 1997-12-16 BR BR9713633-6A patent/BR9713633A/pt not_active Application Discontinuation
- 1997-12-16 PL PL97334243A patent/PL334243A1/xx unknown
- 1997-12-16 DE DE69718933T patent/DE69718933T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-16 WO PCT/US1997/022306 patent/WO1998028062A1/en not_active Application Discontinuation
- 1997-12-16 JP JP52878598A patent/JP3274474B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-16 ES ES97952294T patent/ES2192276T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-16 CN CN97181383A patent/CN1244813A/zh active Pending
- 1997-12-16 CA CA002275907A patent/CA2275907C/en not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-01 US US09/071,200 patent/US5968334A/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-06-18 NO NO19992990A patent/NO321288B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2275907C (en) | 2005-11-15 |
| AU5593798A (en) | 1998-07-17 |
| JP3274474B2 (ja) | 2002-04-15 |
| DE69718933D1 (de) | 2003-03-13 |
| AU715057B2 (en) | 2000-01-13 |
| ATE232132T1 (de) | 2003-02-15 |
| CA2275907A1 (en) | 1998-07-02 |
| NO992990L (no) | 1999-08-20 |
| EP0951337B1 (en) | 2003-02-05 |
| CN1244813A (zh) | 2000-02-16 |
| US5814127A (en) | 1998-09-29 |
| NO992990D0 (no) | 1999-06-18 |
| DE69718933T2 (de) | 2003-12-24 |
| PL334243A1 (en) | 2000-02-14 |
| EP0951337A1 (en) | 1999-10-27 |
| BR9713633A (pt) | 2000-04-11 |
| US5968334A (en) | 1999-10-19 |
| WO1998028062A1 (en) | 1998-07-02 |
| ES2192276T3 (es) | 2003-10-01 |
| JP2000509653A (ja) | 2000-08-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NO321288B1 (no) | Fremgangsmate for gjenvinning av CF4 og C2F6 fra en avgass fra fremstilling av aluminium. | |
| US5069686A (en) | Process for reducing emissions from industrial sterilizers | |
| EP0853970B1 (en) | An improved process for separation and recovery of perfluorocompound gases | |
| US6214089B1 (en) | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases | |
| US6605133B1 (en) | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases | |
| EP0502877B1 (en) | Process for recovering condensable components from gas streams | |
| US5861049A (en) | Chlorine separation process combining condensation, membrane separation and flash evaporation | |
| EP2318121B1 (en) | Recovery of a gaseous component from a mixture of gaseous compounds | |
| US5538535A (en) | Membrane process for treatment of chlorine-containing gas streams | |
| US6723153B2 (en) | Isolation of SF6 from insulating gases in gas-insulated lines | |
| US7332017B2 (en) | Method and apparatus for separation of moisture from fluids | |
| JP3727552B2 (ja) | パーフルオロ化合物ガスの分離回収装置 | |
| Li et al. | Process for recovering CF 4 and C 2 F 6 from a gas | |
| JP2001510395A (ja) | モレキュラーシーブ膜を用いる過フッ化化合物およびヒドロフルオロカーボンガスの回収 | |
| CZ226099A3 (cs) | Způsob izolace tetrafluormethanu hexafluorethanu z plynu | |
| WO1999036159A1 (en) | Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases | |
| JP2000334249A (ja) | 膜と吸着を連続して用いる半導体製造における排ガスからのフッ素化合物の分離方法 | |
| IL135653A (en) | Semiconductor production system and recovery of at least one perfluorocompound gas from a gas mixture flowing from such a system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Lapsed by not paying the annual fees |