KR970072466A - 피디피(pdp)의 전극 및 그 형성방법 - Google Patents

피디피(pdp)의 전극 및 그 형성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 칼라 플라즈마 디스플레이 판넬의 유리기판에 고부착력을 갖는 전극을 형성하도록 한 PDP의 전극 및 그 형성방법에 관한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 PDP의 전극은 유전체 위에 금속전극이 형성된 PDP에 있어서, 상기 유전체 또는 유리기판과 금속전극 사이에 형성된 금속 세라믹 박막을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하고, PDP의 전극 형성방법은 유전체 위의 소정영역에 금속 세라믹 박막을 형성하는 제1공정, 상기 금속세라믹 박막 위에 금속 전극을 형성하는 제2공정과, 상기 금속전극위에 상기 제1공정과 같은 금속 세라믹 박막을 형성하는 제3공정, 상기 금속 세라믹 박막 위에 유전체를 씌우는 제4공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 계면 결합력이 매우 우수하므로 방전특성이 향상되고, PDP의 수명이 향상되는 효과가 있으며, 계면 접착용으로 전극용 금속과 같은 금속을 스퍼터링시에 그대로 사용하기 때문에 금속 세라믹 박막의 형성공정이 단순화되고, PDP의 제조공정이 아주 줄어드는 효과가 있다.

Description

피디피(PDP)의 전극 및 그 형성방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 (가)는 본 발명에 따른 PDP의 배면유리기판에 형성된 전극단면을 나타낸 상세도, 제3도 (나)는 본 발명에 따른 PDP의 전면유리기판에 형성된 전극단면을 나타낸 상세도, 제4도 (가)는 본 발명에 따른 계면 결합력과 온도를 나타낸 그래프, 제4도 (나)는 본 발명에 따른 계면 결합력과 세라믹 박막의 두께를 나타낸 그래프, 제4도 (다)는 본 발명에 따른 계면 결합력과 바이어스 전압을 나타낸 그래프.

Claims (10)

  1. 유전체 위에 금속전극이 형성된 PDP에 있어서; 상기 유전체 또는 유기기판과 금속전극 사이에 형성된 금속 세라믹 박막을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극.
  2. 제1항에 있어서, 상기 금속 세라믹 박막은 금속전극과 동일한 금속의 화합물로 형성됨을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극.
  3. 제1항에 있어서, 상기 금속 세라믹 박막은 금속전극과 산화 반응에 의해 형성된 금속 산화물 세라믹 박막으로 대체됨을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극.
  4. 제1유전체 내에 제1금속전극과 제2유전체 위에 제2금속전극이 형성된 PDP에 있어서; 상기 제2유전체와 제2금속전극 사이에 형성된 제1금속 세라믹 박막; 상기 제1유전체 내의 제1금속전극 양면에 형성된 제2금속 세라믹 박막을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극.
  5. 제4항에 있어서; 상기 제1금속 세라믹 박막 및 제2금속 세라믹 박막은 각각 제1, 2금속 전극과 동일한 금속의 화합물로 형성됨을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극.
  6. 제4항에 있어서; 상기 제1금속 세라믹 박막 및 제2금속 세라믹 박막은 각각 제1,2금속전극과 산화 반응에 의해 형성된 금속 산화물 세라믹 박막으로 대체됨을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극.
  7. 제2유전체 위의 소정영역에 제2금속 세라믹 박막을 형성하는 제1공정; 상기 제2금속 세라믹 박막 위에 제2금속전극을 형성하는 제2공정; 제1유전체 위의 소정영역에 제1금속 세라믹 박막을 형성하는 제3공정; 상기 제1금속 세라믹 박막 위에 제1금속전극을 형성하는 제4공정; 상기 제1금속전극 위에 제1금속 세라믹 박막을 형성하고, 다시 제1유전체를 씌우는 제5공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극 형성방법.
  8. 제7항에 있어서; 상기 금속전극과 금속 세라믹 박막은 동일한 금속타겟으로 스퍼터링하여 형성함을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극 형성방법.
  9. 제7항에 있어서; 상기 금속 세라믹 박막은 금속전극과 동일한 금속과 일정비율로 혼합된 아르곤과 질소의 반응성 스퍼터링 기법으로 형성됨을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극 형성방법.
  10. 제7항에 있어서; 상기 금속 세라믹 박막은 금속전극과 동일한 금속과 산소의 반응성 스퍼터링 기법으로 형성된 금속 산화물 세라믹 박막으로 형성됨을 특징으로 하는 피디피(PDP)의 전극 형성방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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