KR960026535A - 처리장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 피처리체인 반도체 웨이퍼에 소정의 처리를 시행하는 반응로와, 복수의 반도체 웨이퍼를 수용하는 캐리어(웨이퍼 카세트)를 수납하는 수납선반, 반응로, 수납부에 대하여 캐리어의 반입·반출을 행하는 반송 수단을 구비한다. 여기서, 수납부와 적어도 반송수단의 일부를 구성하는 제2반송기구를 대기로부터 차단하도록 밀폐실 내에 배열설치한다. 더욱이, 연통구를 매개로 밀폐실에 연통되고, 수납부에 대하여 반입·반출하는 캐리어를 가수납하는 치환실을 대기와 차단가능하게 설치한다. 또한, 밀폐실 내 및 치환실 내에 N2가스를 공급 가능하게 형성한다. 이에 의해, 미처리 또는 처리완료의 반도체 웨이퍼를 불활성가스 분위기로 보존할 수 있으며, 반도체 웨이퍼로의 유기물 또는 중금속으로부터의 오염을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 처리장치의 제1실시예의 개략 사시도, 제2도는 제1도에 나타낸 처리장치의 개략 종단면도.
Claims (9)
- 피처리체에 소정의 처리를 시행하는 처리수단과, 복수의 상기 피처리체를 수용하는 캐리어를 수납하는 수납부, 상기 처리수단 및 수납부에 대하여 캐리어의 반입·반출을 행하는 반송수단, 상기 수납부와 적어도 상기 반송수단의 일부를 대기로부터 차단하는 밀폐실, 이 밀폐실에 연통되어 상기 수납부에 대하여 반입·반출하는 상기 캐리어를 가수납하는 대기와 차단가능한 치환실 및, 상기 밀폐실 내 및 치환실 내에 불활성 가스를 공급하는 장치를 설치하여 이루어진 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 반송수단을 상기 캐리어의 반입·반출부와 상기 치환실 및 상기 치환실과 상기 처리수단의 사이에서 상기 캐리어를 반송하는 제1반송기구와, 상기 수납부에 대하여 상기 캐리어를 반입·반출하는 제2반송기구 및, 상기 제1반송기구 또는 상기 제2반송기구의 사이에 상기 캐리어를 받아 넘기는 제3반송 기구로 구성되고, 상기 제2 및 상기 제3반송기구를 상기 밀폐실 내에 배열설치하고, 상기 제3반송기구에 상기 밀폐실 내와 상기 치환실 내를 이동가능한 캐리어 보호유지부 및, 상기 치환실 내에 상기 캐리어 보호유지부가 위치한 경우에 상기 밀폐실과 상기 치환실의 연통구를 닫아 막는 덮개체를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 밀폐실 및 상기 치환실에 각각 관로의 개폐수단을 매기로 불활성가스 공급원을 접속함으로써 적어도 상기 밀폐실에 관로의 개폐수단을 매개로 배기관을 접속하고, 상기 밀폐실 내에 소정가스분위기 농도를 검출하는 농도검출수단을 설치하여 그 농도검출수단으로부터의 신호에 기초하여 상기 개폐 수단의 열림각도를 제어하는 수단을 설치하여 이루어진 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 치환실에 있어서의 상기 밀폐실의 연통구부 및 캐리어 반입·반출용의 개구부에 각각 상기 연통구 및 상기 개구부를 개폐하는 문짝체를 설치하고, 상기 문짝체와 상기 치환실의 상기 연통구 주변 및 상기 개구부 주변의 대향면의 어느 한쪽에 밀봉부재를 장착하며, 상기 문짝체에 개폐구동기구와, 상기 문짝체의 닫아막는 경우에 상기 문짝체를 상기 치환실 측으로 끌어당기는 끌어당김 기구를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 피처리체에 소정의 처리를 시행하는 처리수단과, 복수의 상기 피처리체를 수용하는 캐리어를 수납하는 수납부, 상기 처리수단 및 상기 수납부에 대하여 캐리어의 반입·반출을 행하는 반송수단으로 이루어지고, 상기 수납부를 적어도 미처리의 피처리체를 개구부를 매개로 수용하는 캐리어를 수납하는 제1수납실과, 공캐리어, 미처리 또는 처리완료의 처리체를 수용하는 캐리어 및 그 외의 캐리어를 개구부를 매기로 수납하는 제2수납실로 구성되고, 상기 제1수납실을 밀폐가능하게 형성함과 더불어 그 제1수납실 내에 불활성가스를 공급하는 장치를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 복수의 피처리체를 수용하는 캐리어의 반입·반출부와, 적어도 미처리의 상기 피처리제를 수용하는 상기 캐리어를 개구부의 매개로 수납하여 밀폐가능하면서 불활성가스가 공급되는 제1수납실, 공캐리어 미처리 또는 처리완료의 피처리체를 개구부로 매개로 수용하는 캐리어 및 그 외의 캐리어를 수납하는 제2수납실, 상기 피처리체에 소정의 처리를 시행하는 처리수단, 상기 반입·반출부 상기 제1수납실 또는 제2수납실의 사이 또는 상기 제1수납실 또는 상기 제2수납실과 상기 처리수단의 받아넘김부의 사이에서 상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송수단 및, 상기 처리수단과 받아넘김부의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제5항에 있어서, 제1수납실의 캐리어 반입·반출용의 상기 개구부에 문짝체를 개폐가능하게 설치함과 더불어 상기 제1수납실과 상기 문짝체를 상대적으로 끌어당겨 상기 제1수납실을 밀폐가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제1수납실에 개폐수단을 매개로 불활성가스 공급원을 접속함과 더불어 개폐수단을 매개로 배기관을 접속하고, 상기 제1수납실에 소정 가스분위기를 검출하는 농도검출수단을 설치, 그 농도검출 수단으로부터의 신호에 기초하여 상기 개폐수단의 열림각도를 제어하는 제어수단을 설치하여 이루어진 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제1수납실과 상기 불활성 가스 공급원의 사이에 유량제어수단을 개설하고, 상기 제1수납실의 소정 가스분위기를 검출하는 상기 농도검출수단으로부터의 신호에 기초하여 상기 유량제어수단을 제어하여 불활성가스 공급량을 제어하도록 된 것을 특징으로 하는 처리장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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