KR950034866A - 전자 광학 집적 회로 및 그 제조방법 - Google Patents

전자 광학 집적 회로 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

전자 광학 집적 회로는 발광 소자의 어드레스 가능 어레이, 열 디코더 및 기판상에 형성된 다수의 어드레스 라인을 포함한다. 어드레스 라인은 실질적으로 발광 소자의 열 보다 적다. 열 디코더는 열을 활성화하도록 각 열에 접속된 스위칭 회로와 어드레스 라인 및 스위칭 회로에 접속된 다수의 다이오드 세트를 포함하여, 각각의 다이오드 세트는 상기 세트의 다이오드가 접속되는 어드레스 라인 및 상기 세트의 다이오드의 조합에 의해 발생된 유일한 코드를 갖게 된다.

Description

전자 광학 집적 회로 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제5도는 발광 다이오드 어레이의 제조 과정에 대한 여러 단계를 설명하는 간략화된 단면도.

Claims (5)

  1. 집적 회로에 있어서, 기판과; 기판상에 형성되어, 각각 두 단자를 가지며, 모든 소자가 행렬로 접속되어 있는 어드레스 기능한 반도체 소자 어레이와; 기판상에 형성된 열 디코더로서, 어레이의 열의 수와 동일한 수인 다수의 스위칭 회로를 포함하며, 각 열은 스위칭 회로의 활성시에 열을 활성하기 위해 그에 접속된 다수의 스위칭 회로중 서로 다른 회로를 갖게 되는, 상기 열 디코더와, 기판상에 형성되어, 각각 외부 접속 패드를 포함하는 다수의 어드레스 라인; 및 기판상에 형성되고 어드레스 라인 및 스위칭 회로에 접속되어, 각각의 다이오드 세트가 상기 세트의 다이오드가 접속되는 어드레스 라인 및 상기 세트의 다이오드의 조합에 의해 발생된 유일한 코드를 갖게 되는 다수의 다이오드 세트를 구비하는 직접 회로.
  2. 전자 광학 집적 회로에 있어서, 기판과; 기판상에 형성되고 행렬로 배치된 발광 소자 어레이로서, 각 소자는 제1 및 제2 제어 전극을 포함하며, 각각의 열에 있는 각 소자의 제1전극은 동일 열에 있는 모든 다른 소자의 제1전극에 접속되고, 각각의 행에 있는 각 소자의 제2전극은 동일행에 있는 모든 다른 소자의 제2전극에 접속되는, 상기 발광 소자 어레이; 및 기판상에 형성된 열 디코더로서, 어레이에서의 열의 수와 동일한 수를 가지며, 각각의 열은 다수 스위칭 회로 중 서로 다른 한 회로에 접속된 열에서의 제1전극 모두를 갖게 되는 다수의 스위칭 회로와, 기판상에 형성되어, 각각 외부 접속 패드를 포함하는 다수의 어드레스 라인, 및 기판상에 형성된 다수의 다이오드 세트로서, 세트의 수는 어레이의 열의 수와 동일하고, 각 세트의 다이오드 수는 어드레스 라인의 수와 동일하며, 각각의 다이오드는 제1 및 제2단자를 가지고, 각 세트내의 각 다이오드의 제1단자는 다수의 스위칭 회로 중 다른 한 회로에 그리고 함께 접속되며, 각 세트내의 각 다이오드의 제2단자는 다른 어드레스 라인에 접속되어 각 세트의 다이오드 조합이 각 스위칭 회로에 대한 유일한 코드를 발생하게 되는, 상기 다수의 다이오드 세트를 포함하는 상기 열 디코더를 구비하는 전자 광학 집적 회로.
  3. 전자 광학 집적 회로를 제조하는 방법에 있어서, 주 표면과 기판의 주 표면상에 발광 소자를 형성하도록 결합된 다수의 물질 층을 갖는 기판을 제공하는 단계와; 다수의 물질 층 부분을 행열로 배치된 다수의 발광소자로 분할하는 단계와; 다수의 발광 소자에 인접한 기판의 전자 소자 영역을 제공하는 단계; 및 다수의 스위칭 트랜지스터와 전자 소자 영역의 스위칭 다이오드와 전자 소자 영역 및 발광 소자의 열 사이의 어드레스 라인을 형성하는 단계로서, 다수의 발광 소자를 행렬로 전기적으로 접속하는 제1 및 제2금속피복 층을 증착하는 단계와, 발광 소자의 열 보다 적은 어드레스 라인을 갖는 열 디코더를 형성하도록 스위칭 트랜지스터, 스위칭 다이오드 및 어드레스 라인을 발광 소자의 열에 접속하는 단계를 포함하는, 상기 형성단계를 구비하는 전자 광학 집적 회로 제조 방법.
  4. 전자 광학 집적 회로를 제조하는 방법에 있어서, 주 표면, 기판의 주 표면상의 전도성 물질 층, 전도층상의 제1캐리어 제한층, 제1 캐리어 제한층 상의 활성층 및 활성층 상의 제2캐리어 제한층을 제공하는 단계와; 제2캐리어 제한층, 활성층 및 제1캐리어 제한층의 부분을 행렬로 배치된 다수의 발광 소자로 분리하는 단계와, 다수의 발광 소자에 인접한 기판의 전자 소자 영역을 제공하는 단계, 및 다수의 스위칭 트랜지스터와 전자 소자 영역의 스위칭 다이오드와 전자 소자 영역 및 발광 소자의 열 사이의 어드레스 라인을 형성하는 단계로서, 다수의 발광 소자를 행렬로 전기적으로 접속하는 제1 및 제2금속피복 층을 증착하는 단계와, 발광 소자의 열 보다 적은 어드레스 라인을 갖는 열 디코더를 형성하도록 스위칭 트랜지스터, 스위칭 다이오드 및 어드레스 라인을 발광 소자의 열에 접속하는 단계를 포함하는, 상기 형성 단계를 구비하는 전자 광학 집적 회로 제조 방법.
  5. 전자 광학 집적 회로를 제조하는 방법에 있어서, 주 표면을 갖는 비전도성 물질의 기판을 제공하는 단계와, 기판의 주 표면상에 전도성 물질 층을 형성하는 단계와, 전도층 상에 제1캐리어 제한층을 형성하는 단계와, 제1캐리어 제한층 상에 활성층을 형성하는 단계와, 활성층 상에 제2캐리어 제한층을 형성하는 단계와, 다수의 발광 소자를 규정하는 행열로 배치된 다수의 메사를 형성하도록, 제2캐리어 제한층, 활성층, 제1캐리어 제한층을 통하여 전도층으로까지 선택적으로 에칭하는 단계와, 메사의 행을 전기적으로 분리하고, 기판의 주 표면상에 전자 소자 영역을 형성하도록 전도층을 통해 기판까지 선택적으로 에칭하는 단계와, 메사 상에 전기적으로 전도성 물질의 캡을 형성하는 단계와, 다수의 전도성 채널을 규정하도록 전자 소자 부분을 주입하는 단계와, 각각의 발광 다이오드에 대한 제1전극을 형성하고 발광 다이오드의 제1전극을 행으로 접속하도록 메사 사이의 전도층 상에, 선택된 채널의 제1그룹의 각 채널에 스위칭 트랜지스터를 규정하는 소스 및 드레인 전극을 형성하도록 다수 채널의 선택된 제1그룹상에, 및 선택된 채널의 제2그룹의 각 채널에 스위칭 다이오드를 규정하는 제1전극을 형성하도록 다수 채널의 선택된 제2그룹상에 제1금속피복 층을 선택적으로 증착하는 단계, 및 발광 다이오드 각각에 대한 제2전극을 형성하고 발광 다이오드의 제2전극을 열로 접속하도록 메사 각각의 부분 상에, 스위칭 트랜지스터 각각에 대한 게이트 전극을 형성하도록 채널의 선택된 제1그룹 상에, 및 스위칭 다이오드 각각에 대한 제2전극을 형성하도록 채널의 선택된 제2그룹상에 제2금속피복 층을 선택적으로 증착하는 단계를 구비하는 전자 광학 집적 회로 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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