KR950034865A - 주입형 발광 다이오드 어레이 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

LED 어레이의 제조방법은 기판상에 도전층, 제1캐리어 한정층, 활성층, 제2캐리어 한정층, 및 도전캡을 에피택셜 성장하는 스텝과, 상기 도전캡을 선택적으로 에칭하여 행과 열에어리어를 한정하는 노출된 표면 에어리어에 행렬로 놓여진 다이오드의 매트릭스를 설치하는 스텝과, 열에어리어에 제1 불순물을 주입하여 제2캐리어 한정층, 활성층, 및 제1캐리어 한정층을 형성하고 표면 접촉부를 각 다이오드에 설치하는 스텝과, 제2불순물을 제2캐리어 한정층과 활성층을 통해 행과 열 에어리어에 주입하여 각 다이오드 주위에 분리 저항 체적을 형성하는 스텝과, 제3불순물을 제2캐리어 한정층, 활성층, 제1캐리어 한정층을 통해 행에어리어에 주입하여 다이오드의 각행 사이에서 분리 저항 체적을 형성하는 스텝을 포함한다.

Description

주입형 발광 다이오드 어레이 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 따른 주입형 발광 다이오드 어레이의 순차 제조 스텝을 설명하기 위한 개략 단면도, 제6도는 완성 주입형 발광 다이오드 어레이의 평면도.

Claims (5)

  1. 주입형 발광 다이오드 어레이의 제조 방법에 있어서, 비도전성 물질의 기판에 주요 표면을 설치하는 스텝과, 상기 기판의 주요 표면상에 도전성 물질층을 형성하는 스텝과, 상기 도전성 물질층상에 제1캐리어 한정층을 형성하는 스텝과, 상기 제1캐리어 한정층상에 활성층을 형성하는 스텝과, 상기 활성층상에 제2캐리어 한정층을 형성하는 스텝과, 상기 제2캐리어 한정층상에 도전성 캡층을 형성하여 노출된 행에어리어와 노출된 열에어리어를 한정하는 상기 제2캐리어 한정층의 노출된 표면 에어리어에 행과 열 사이에 위치한 상기 도전성 캡층이 도포된 다이오드 발광 에어리어의 매트릭스를 설치하는 스텝과, 상기 노출된 행에어리어의 복수 위치에 제1불순물을 주입하여 활성층, 상기 제2캐리어 한정층, 및 적어도 부분적으로 상기 제1캐리어 한정층을 통해 복수의 수직 도체를 형성하고, 행표면 접축부를 상기 매트릭스의 다이오드에 설치하는 스텝과, 상기 제2캐리어 한정층과 상기 활성층을 통해 노출된 행에어리어 및 열에어리어에 제2불순물을 주입하여 다이오드 발광 에어리어 주위에 분리 저항성 체적을 형성하는 단계에서, 다이오드 주위의 상기 분리 저항성 체적이 상기 활성층 및 상기 제1캐리어 한정층과 상기 수직 도체를 분할 하도록 추가로 놓여지며, 상기 제2캐리어 한정층, 상기 활성층, 상기 제1캐리어 한정층, 및 기판내를 통해 상기 노출된 행에어리어에 제3불순물을 주입하여 각 열의 다이오드 발광 에어리어 사이에 분리 저항성 체적을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주입형 발광 다이오드 어레이의 제조방법.
  2. 주입형 발광 다이오드 어레이의 제조 방법에 있어서, 기판에 주요 표면을 설치하는 스텝과, 다수의 물질층을 상기 기판의 주요 표면에 의해 지지되는 도전성 물질층과, 상기 도전성 물질층상에 있는 제1캐리어 한정층과, 상기 제1캐리어 한정층상에 있는 활성층과, 상기 활성층상에 있는 제2캐리어 한정층을 포함하는 상기 기판상에 형성하는 스텝과, 상기 다수의 물질층에 불순물들을 주입하여 상기 다수의 물질층을 행과 열의 매트릭스에 위치한 다수의 분리된 발광 다이오드를 분할이고, 복수의 수직 도체를 형성하여, 표면 접촉부를 상기 매트릭스의 다이오드에 설치하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 주입형 발광 다이오드 어레이의 제조방법.
  3. 주입형 발광 다이오드 어레이의 제조 방법에 있어서, 비도전성 물질의 기판에 주요 표면을 설치하는 스텝과, 상기 기판의 주요 표면상에는 도전성 물질층을, 상기 도전성 물질층상에는 제1캐리어 한정층을 상기 제1캐리어 한정층상에는 활성층을, 상기 활성층상에는 제2캐리어 한정층을 에피택셜 성장하는 스텝과, 행 에어리어 및 열에어리어를 행과 열 사이에 위치한 다이오드 발광 에어리어의 매트릭스로 한정하는 스텝과, 상기 행에어리어의 복수 위치에 제1불순물을 주입하여 활성층, 상기 제2캐리어 한정층, 및 적어도 부분적으로 상기 제1캐리어 한정층을 통해 복수의 수직 도체를 형성하고, 행표면 접촉부를 상기 매트릭스의 다이오드에 설치하는 스텝과, 상기 제2캐리어 한정층과 상기 활성층을 통해 행에어리어 및 열에리어에 제2불순물을 주입하여 다이오드 발광 에어리어 주위에 분리 저항성 체적을 형성하는 단계에서, 다이오드 주위의 상기 분리 저항성 체적이 상기 활성층 및 상기 제1캐리어 한정층과 상기 수직 도체를 분할하도록 추가로 놓여지며, 상기 제2캐리어 한정층, 상기 활성층, 상기 제1캐리어 한정층, 및 기판내를 통해 상기 노출된 행에리어에 제3불순물을 주입하여 각 열의 다이오드 발광 에어리어의 각각의 행 사이에 분리 저항성 체적을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주입형 발광 다이오드 어레이의 제조방법.
  4. 주입형 발광 다이오드 어레이에 있어서, 주요 표면을 가진 기판과, 상기 기판의 주요 표면에 의해 지지되는 도전성 물질층과, 상기 도전성 물질층상의 제1캐리어 한정층과, 상기 제1캐리어 한정층상의 활성층과, 상기 활성층상의 제2캐리어 한정층을 포함하는 기판상에 형성된 다수의 물질층과, 상기 다수의 물질을 행과 열의 매트릭스에 위치한 다수의 발광 다이오드로 분할하고, 상기 다수의 물질층의 적어도 일부분을 통해 복수의 수직 도체를 형성하여, 표면 접촉부를 상기 매트릭스의 다이오드에 제공하도록 상기 다수의 물질층에 존재하는 불순물을 포함하는 것을 특징으로 하는 주입형 발광 다이오드 어레이.
  5. 주입형 발광 다이오드 어레이에 있어서, 주요 표면을 사진 비도전성 물질의 기판과, 상기 기판의 주요 표면상의 도전성 물질층과, 상기 도전성 물질층상의 제1캐리어 한정층과, 상기 제1캐리어 한정층상의 활성층과, 상기 활성층상의 제2캐리어 한정층과, 상기 제2캐리어 한정층상에 한정된 행과 열 사이에 위치한 다이오드 발광 에어리어를 가진 행 및 열에어리어와, 상기 노출된 행에어리어의 복수 위치에 존재하며 활성층, 상기 제2캐리어 한정층 및 적어도 부분적으로 상기 제1캐리어 한정층을 통해 복수의 수직 도체를 형성케 하며, 행 표면 접촉부를 상기 매트릭스의 다이오드에 설치케하는 제1불순물과, 상기 제2캐리어 한정층과 상기 활성층을 통해 노출된 행에어리어 및 열에어리어에 존재하여 다이오드 발광 에어리어 주위에 분리 저항성 체적을 형성케 하는 제2불순물로, 상기 다이오드 주위의 상기 분리 저항성 체적이 상기 활성층 및 상기 제1캐리어 한정층과 상기 수직 수직 도체를 분할 하도록 추가로 놓여지는 상기 제2불순물과, 상기 제2캐리어 한정층, 상기 활성층, 상기 제1캐리어 한정층, 및 기판내를 통해 상기 노출된 행에어리어에 존재하여 다이오드 발광 에어리어의 각행 사이에 분리 저항성 체적을 형성하게는 제3불순물을 포함하는 것을 특징으로 하는 주입형 발광 다이오드 어레이.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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