KR950012135A - 투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스제조방법 - Google Patents

투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 투영노광장치는, 광입사면과 광출사면을 지니고, 상기 광입사면에서 광원으로부터의 광을 수광하여 상기 광출사면쪽에 2차광원을 형성하는 2차광원형성수단과, 상기 2차광원으로부터의 광을 물체평면에 투사하는 광투사수단과, 광이 조사된 상기 물체평면상의 패턴을 상평면상에 투영하는 패턴투영수단과, 상기 2차광원의 광강도분포를 변경시키는 2차광원조정수단과, 상기 광강도분포의 변경에 따라 상기 상편면상에 형성된 또는 형성될, 광축에 대해 미대칭인 조도불균일을 실질적으로 보정하는 조도보정 수단을 구비하고 있다.

Description

투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 제 1실시예에 의한 투영노광장치의 주요부의 개략도,
제 2 도(A)~제 2 도(D)는 각각 제 1도의 장치의 가변개구조리개를 설명하기 위한 개략도,
제 3 도는 본 발명의 제 1실시예에 있어서의 조도 조정의 순서를 도시한 순서도,
제 4 도는 제1도의 실시예의 광원(1)의 Z축 방향위치와 조도와의 관세를 설명하는 그래프,
제 5 도는 상기 제 1실시예에 있어서의 조도불균일을 보정하기 위하여 상평면상의 조도 측정점을 설명하는 그래프,
제 6 도는 상기 제 l 실시예에 있어서의 조도불균일의 조정순서의 순서도,
제 7 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 투영노광장치의 주요부의 개략도.

Claims (47)

  1. 광입사면과 광출사면을 지니고, 상기 광입사면에서 광원으로부터의 광을 수광하여 상기 광출사면쪽에 2차공원을 형성하는 2차광원형성수단과, 상기 2차공원으로부터의 광을 물체평면에 투사하는 광투사수단과, 광이 조사된 상기 물체평면상의 패턴을 상평면상에 투영하는 패턴투영수단과, 상기 2차광원의 광강도분포를 변경시키는 2차광원조정수단과, 상기 광강도분포의 변경에 따라 상기 상편면상에 형성된 또는 형성될, 광축에 대해 비대칭인 조도불균일을 실질적으로 보정하는 조도보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 조도보정수단이 상기 2차광원형성수단의 광입사면에서의 상기 광원으로부터의 광의 강도분포를 조정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 광원의 상을 상기 2차광원형성수단의 광입사면상에 투영하는 광원상투영수단을 또 구비하고, 상기 조도보정수단이 상기 광입사면상에서의 상기 광원상의 위치를 변화시키는 광원상이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 광원상이동수단이 광축과 직교하는 평면상에서의 상기 광원의 위치를 변화시키는 광원위치조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 광원상이동수단이 광축과 직교하는 방향으로 상기 광원으로부터의 광을 편향시키는 광편향수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 광편향수단은, 상기 광원으로부터의 광을 반사하는 타원형 미러, 각각 상기 광원으로부터의 광을 굴절시키는 가동 렌즈 및 투명판중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 투명판은 복수개의 쐐기형상의 판부재를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 광원이 램프 및 레이저중 어느 하나를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 2차광원형성수단이 파리의 눈렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 가변가능한 개구형상을 지닌 개구조리개를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  11. 제 3항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 상기 광원상의 크기를 변화시키는 변배광학계를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  12. 제 l 항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 상기 광원으로부터의 광의 상기 2차광원변형수단이 광입사면상에서의 입사위치를 변화시키는 광편향부재를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 패턴투영수단이 투영렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  14. 제 1 항에 있어서, 상기 패턴투영수단이 투영미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  15. 제 1항에 있어서, 상기 조도보정수단이 상기 광강도분포의 변경의 결과로서 저하하는 상기 물체평면에 투사되는 광량을 실질적으로 증가시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  16. 제 1항에 있어서, 상기 조도보정수단이 상기 상평면 및 물체평면중 적어도 한쪽에 있어서의 조도분포를 검출하는 조도검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  17. 제 1항에 있어서, 상기 조도보정수단이 상기 광강도분포의 변경에 따라 상기 상평면에 생기는, 광축에 대해서 대칭인 조도불균일을 실질적으로 보정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  18. 광입사면과 광출사면을 지내고, 상기 광입사면에 광원으로부터의 광을 수광하여 상기 광출사면쪽에 2차광원을 형성하는 2차광원형성수단과, 상기 2차광원으로부터의 광을 물체평면에 투사하는 광투사수단과, 광이 조사된 상기 물체평면상의 패턴을 상평면상에 투영하는 패턴투영수단과, 상기 2차광원의 광강도분포를 변경시키는 2차광원조정수단과, 상기 광강도분포의 변경에 따라 저하된 또는 저하될, 상기 물체평면에 투사된 또는 투사될 광량을 실질적으로 증가시키는 조도조정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 조도조정수단이 상기 2차광원형성수단의 광입사면에서의 상기 광원으부터의 광의 강도분포를 조정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투여노광장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 광원의 상을 상기 2차광원형성수단의 광입사면상에 투영하는 광원상투영수단을 또 구비하고, 상기 조도조정수단이 상기 광입사면상에서의 상기 광원상의 위치를 변화시키는 광원상이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  21. 제2O항에 있어서, 상기 광원상이동수단이 광축과 직교하는 평면상에서의 상기 광원의 위치를 변화시키는 광원위치조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  22. 제2O항에 있어서, 상기 광원상이동수단이 광축방향으로 상기 광원상을 이동시키는 광편향수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  23. 제22항에 있어서, 상기 광편향수단은, 상기 광원으로부터의 광을 반사하는 타원형 미러, 각각 상기 광원으로부터의 광을 굴절시키는 가동렌즈 및 투명판중 어느 하냐를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 투명판은 복수개의 쐐기형상의 판부재를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  25. 제18항에 있어서, 상기 광원의 램프 및 레이저중 어느 하나를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  26. 제18항에 있어서, 상기 2차광윈형성수단이 파리의 눈렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  27. 제18항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 가변가능한 개구형상을 지닌 개구조리개를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  28. 제2O항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 상기 광원상의 크기를 변화시키는 변배광학계를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  29. 제18항에 있어서, 상기 패턴투영수단이 투영렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  30. 제18항에 있어서, 상기 패턴투영수단이 투영미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  31. 제18항에 있어서, 상기 조도조정수단이 상기 상평면 및 물체평면중 적어도 한쪽에 있어서의 조도분포를 검출하는 조도검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  32. 제18항에 있어서, 상기 조도조정수단이, 상기 광강도분포의 변경에 따라 상기 상평면에 생기는, 광축에 대해서 대칭인 조도불균일을 실질적으로 보정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  33. 광입사면과 광출사연을 지니고, 상기 광입사면에서 광원으로부터의 광을 수광하여 상기 광출사면에 2차광원을 형성하는 2차광원형성수단과, 상기 2차광원으로부터의 광을 물체평면에 투사하는 광투사수단과, 광이 조사된 상기 물체평면상의 패턴을 상평면상에 투영하는 패턴투영수단과, 상기 2차광원의 광강도분포를 변경시키는 2차광원조정수단과, 상기 광강도분포의 변경에 따라 상기 상평면상에 형성된 또는 형성될, 광축에 대해 비대칭인 조도불균일을 실질적으로 보정하고, 또 상기 광강도분포의 변경에 따라 저하된 또는 저하될, 상기 물체평면에 투사된 또는 투사될 광량을 실질적으로 증가시키는 조도조정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 광원의 상을 상기 2차광원형성수단의 광입사면상에 광원상투영수단을 또 구비하고, 상기 조도조정수단이 상기 광원상의 위치를 광축을 따른 방향 및 광축과 직교하는 방향으로 변화시키는 광원상이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  35. 제34항에 있어서, 상기 광원상이동수단이 상기 광원을 광축을 따른 방향 및 광축과 직교하는 방향으로 이동시키는 광편향수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  36. 제34항에 있어서, 상기 광원상이동수단이 상기 광원상을 광축을 따른 방향 및 광축과 직교하는 방향으로 이동시키는 광편향수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  37. 제36향에 있어서, 상기 광편향수단은, 상기 광원으로부터의 광을 반사하는 타원형 미러, 각각 상기 광원으로부터의 광을 굴절시키는 가동렌즈 및 투명판중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  38. 제37항에 있어서, 상기 투명판은 복수개의 쐐기형상의 판부재를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  39. 제33항에 있어서, 상기 광원이 램프 및 레이저중 어느 하나를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  40. 제33항에 있어서, 상기 2차광원형성수단이 파리의 눈렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  41. 제33항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 가변가능한 개구형상을 지닌 개구조리개를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  42. 제33항에 있어서, 상기 2차광원조정수단이 상기 광원상의 크기를 변화시키는 변배광학계를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  43. 제33항에 있어서, 상기 패턴투영수단이 투영렌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  44. 제33항에 있어서, 상기 패턴투영수단이 투영미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  45. 제33항에 있어서, 상기 조도조정수단이 상기 상평면 및 물체평면중 적어도 한쪽에 있어서의 조도분포를 검출하는 조도검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  46. 제33항에 있어서, 상기 조도조정수단이, 상기 광강도분포의 변경에 따라 상기 상편면에 생기는, 광축에 대해서 대칭인 조도불균일을 실질적으로 보정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  47. 상기 청구항 제 1항 내지 제46항중 어느 한함에 기체된 투영노광장치를 이용하여 레티클의 디바이스 패턴을 기판상에 투영해서 전사하는 단계를 포함하는 디바이스제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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