JPH06235863A - 反射屈折光学系 - Google Patents
反射屈折光学系Info
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- JPH06235863A JPH06235863A JP5023974A JP2397493A JPH06235863A JP H06235863 A JPH06235863 A JP H06235863A JP 5023974 A JP5023974 A JP 5023974A JP 2397493 A JP2397493 A JP 2397493A JP H06235863 A JPH06235863 A JP H06235863A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射屈折光学系から発生するフレアーやゴー
ストを低減させて、結像性能の向上を図ること。 【構成】 物体側から順に、正の屈折力を持ち物体の１
次像Ｉ1 を形成する第１部分光学系Ｋ1 と、正の屈折力
を持ち１次像Ｉ1 からの光により２次像Ｉ2 を形成する
第２部分光学系Ｋ2 とを有する反射屈折光学系におい
て、１次像Ｉ1 が形成される位置に、所定の形状の開口
部を有する視野絞りＢを配置する。
ストを低減させて、結像性能の向上を図ること。 【構成】 物体側から順に、正の屈折力を持ち物体の１
次像Ｉ1 を形成する第１部分光学系Ｋ1 と、正の屈折力
を持ち１次像Ｉ1 からの光により２次像Ｉ2 を形成する
第２部分光学系Ｋ2 とを有する反射屈折光学系におい
て、１次像Ｉ1 が形成される位置に、所定の形状の開口
部を有する視野絞りＢを配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マスク上の回路パター
ンを感光基板上に投影転写するために好適な反射屈折光
学系に関するものである。
ンを感光基板上に投影転写するために好適な反射屈折光
学系に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、上述の如き反射屈折光学系とし
て、例えば特開昭61-29815号公報に開示されているもの
が知られている。この特開昭61-29815号公報に開示され
ている反射屈折光学系は、１次像を形成する部分光学系
と、この１次像からの光により２次像を形成する部分光
学系とを有するように構成されている。
て、例えば特開昭61-29815号公報に開示されているもの
が知られている。この特開昭61-29815号公報に開示され
ている反射屈折光学系は、１次像を形成する部分光学系
と、この１次像からの光により２次像を形成する部分光
学系とを有するように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
如き特開昭61-29815号公報に開示された反射屈折光学系
においては、フレアーやゴーストの防止について何ら考
慮されていなかった。このため、像面上（２次像面上）
でフレアーやゴーストが発生し、結像性能が低下する問
題点がある。
如き特開昭61-29815号公報に開示された反射屈折光学系
においては、フレアーやゴーストの防止について何ら考
慮されていなかった。このため、像面上（２次像面上）
でフレアーやゴーストが発生し、結像性能が低下する問
題点がある。
【０００４】そこで、本発明は、反射屈折光学系から発
生するフレアーやゴーストを低減させて、結像性能の向
上を図った反射屈折光学系を提供することを目的とす
る。
生するフレアーやゴーストを低減させて、結像性能の向
上を図った反射屈折光学系を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、例えば図１に示す如く、本発明による反射屈折光
学系は、物体側から順に、正の屈折力を持ち物体の１次
像Ｉ1 を形成する第１部分光学系Ｋ1 と、正の屈折力を
持ち１次像Ｉ1 からの光により２次像Ｉ2 を形成する第
２部分光学系Ｋ2 とを有するように構成され、１次像Ｉ
1 が形成される位置には、所定の形状の開口部を有する
視野絞りＢが配置されるように構成される。
めに、例えば図１に示す如く、本発明による反射屈折光
学系は、物体側から順に、正の屈折力を持ち物体の１次
像Ｉ1 を形成する第１部分光学系Ｋ1 と、正の屈折力を
持ち１次像Ｉ1 からの光により２次像Ｉ2 を形成する第
２部分光学系Ｋ2 とを有するように構成され、１次像Ｉ
1 が形成される位置には、所定の形状の開口部を有する
視野絞りＢが配置されるように構成される。
【０００６】
【作用】上述の如く、本発明においては、物体面と２次
像面との共役点（１次像面）に所定形状の開口部を有す
る視野絞りを配置しているため、結像に寄与しない有害
光をこの視野絞りにて遮光することができる。従って、
フレアーやゴーストの影響が低減し、反射屈折光学系の
結像性能を向上させることができる。
像面との共役点（１次像面）に所定形状の開口部を有す
る視野絞りを配置しているため、結像に寄与しない有害
光をこの視野絞りにて遮光することができる。従って、
フレアーやゴーストの影響が低減し、反射屈折光学系の
結像性能を向上させることができる。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明による実施例
を説明する。図１は、本発明による反射屈折光学系の第
１実施例の構成と光路とを示す図である。この第１実施
例は、本発明による反射屈折光学系を投影露光装置の投
影光学系に適用した例である。なお、図１において、物
体面Ｏを照明するための照明光学系は図示省略してい
る。
を説明する。図１は、本発明による反射屈折光学系の第
１実施例の構成と光路とを示す図である。この第１実施
例は、本発明による反射屈折光学系を投影露光装置の投
影光学系に適用した例である。なお、図１において、物
体面Ｏを照明するための照明光学系は図示省略してい
る。
【０００８】そして、図２(a) に示す如く、物体面Ｏと
してのマスクＭａには、所定の回路パターン領域ＰＡが
形成されており、このマスクＭａと、図示なき照明光学
系による円弧形状の照明領域ＬＡとを走査方向に沿って
相対的に移動させる。このとき、マスクＭａの回路パタ
ーン領域ＰＡは、円弧状の照明領域ＬＡにて走査されつ
つ照明される。
してのマスクＭａには、所定の回路パターン領域ＰＡが
形成されており、このマスクＭａと、図示なき照明光学
系による円弧形状の照明領域ＬＡとを走査方向に沿って
相対的に移動させる。このとき、マスクＭａの回路パタ
ーン領域ＰＡは、円弧状の照明領域ＬＡにて走査されつ
つ照明される。
【０００９】ここで、上述の円弧形状の照明領域ＬＡ
は、図２(a) に示す如く、所定の半径ｒの円弧と、上記
円弧から走査方向に距離ａ1 だけ平行移動された半径ｒ
の円弧と、間隔ｂ1 の直線とで囲まれる領域となる。こ
こで、上記距離ａ1 を円弧形状の照明領域ＬＡのスリッ
ト幅ａ1 と呼び、上記間隔ｂ1 を照明領域ＬＡのスリッ
ト長ｂ1 と呼ぶ。なお、円弧状の照明領域としては、所
定の点を中心とする同心円状の領域も考えられるが、ス
キャン露光する際の露光量が露光領域の中心と端部とで
とで異なるため望ましくない。
は、図２(a) に示す如く、所定の半径ｒの円弧と、上記
円弧から走査方向に距離ａ1 だけ平行移動された半径ｒ
の円弧と、間隔ｂ1 の直線とで囲まれる領域となる。こ
こで、上記距離ａ1 を円弧形状の照明領域ＬＡのスリッ
ト幅ａ1 と呼び、上記間隔ｂ1 を照明領域ＬＡのスリッ
ト長ｂ1 と呼ぶ。なお、円弧状の照明領域としては、所
定の点を中心とする同心円状の領域も考えられるが、ス
キャン露光する際の露光量が露光領域の中心と端部とで
とで異なるため望ましくない。
【００１０】また、図１の反射屈折光学系において、２
次像Ｉ2 が形成される位置には、表面にフォトレジスト
等が塗布された感光基板が設けられている。そして、図
２(b) に示す如く、この感光基板上には、反射屈折光学
系により、上記照明領域ＬＡにて照明された回路パター
ンＰＡが円弧形状の露光領域ＥＡとなって投影される。
ここで、露光領域ＥＡと感光基板とを走査方向に沿って
相対的に移動させれば、走査露光、いわゆるステップ・
アンド・スキャン方式の投影露光を実現できる。この走
査露光を行うことで、感光基板上には、ショット領域Ｓ
Ａが形成される。なお、上記露光領域ＥＡの形状は、照
明領域ＬＡと相似形状となる。
次像Ｉ2 が形成される位置には、表面にフォトレジスト
等が塗布された感光基板が設けられている。そして、図
２(b) に示す如く、この感光基板上には、反射屈折光学
系により、上記照明領域ＬＡにて照明された回路パター
ンＰＡが円弧形状の露光領域ＥＡとなって投影される。
ここで、露光領域ＥＡと感光基板とを走査方向に沿って
相対的に移動させれば、走査露光、いわゆるステップ・
アンド・スキャン方式の投影露光を実現できる。この走
査露光を行うことで、感光基板上には、ショット領域Ｓ
Ａが形成される。なお、上記露光領域ＥＡの形状は、照
明領域ＬＡと相似形状となる。
【００１１】図１に戻って、上述の如き照明領域にて照
明されたマスク面（物体面Ｏ）からの光は、光軸Ax1 に
沿って配置されたレンズ成分Ｌ1 〜Ｌ3 を介して、平面
反射鏡ＭＰ1 にて略４５°偏向され、光軸Ax1 と垂直な
光軸Ax2 に沿って配置され凹面を光線の入射側に向けた
第１凹面反射鏡Ｍ1 にて反射される。そして、第１凹面
反射鏡Ｍ1 の反射側に、物体面Ｏの１次像Ｉ1 を形成す
る。ここで、レンズ成分Ｌ1 〜Ｌ3 と第１凹面反射鏡Ｍ
1 とが第１部分光学系Ｋ1 を構成している。
明されたマスク面（物体面Ｏ）からの光は、光軸Ax1 に
沿って配置されたレンズ成分Ｌ1 〜Ｌ3 を介して、平面
反射鏡ＭＰ1 にて略４５°偏向され、光軸Ax1 と垂直な
光軸Ax2 に沿って配置され凹面を光線の入射側に向けた
第１凹面反射鏡Ｍ1 にて反射される。そして、第１凹面
反射鏡Ｍ1 の反射側に、物体面Ｏの１次像Ｉ1 を形成す
る。ここで、レンズ成分Ｌ1 〜Ｌ3 と第１凹面反射鏡Ｍ
1 とが第１部分光学系Ｋ1 を構成している。
【００１２】そして、１次像Ｉ1 からの光は、光軸Ax2
に沿って配置されたレンズ成分Ｌ4〜Ｌ6 を介して、平
面反射鏡ＭＰ2 にて略４５°偏向される。この平面反射
鏡ＭＰ2 の反射側（光の射出側）には、光軸Ax2 と垂直
な（光軸Ax1 と平行な）光軸Ax3 に沿って、レンズ成分
Ｌ7 と第２凹面反射鏡Ｍ2 とが配置されており、平面反
射鏡ＭＰ2 から射出した光は、レンズ成分Ｌ7 を介して
第２凹面反射鏡Ｍ2 にて反射された後、再びレンズ成分
Ｌ7 を介してレンズ成分Ｌ8 〜Ｌ14へ向かう。このレン
ズ成分Ｌ8 〜Ｌ14は、全体として正の屈折力を有してお
り、レンズ成分Ｌ7 からの光によって、１次像Ｉ1 の縮
小像である２次像Ｉ2 を基板上に形成する。ここで、レ
ンズ成分Ｌ4 〜Ｌ6 、レンズ成分Ｌ7 、第２凹面反射鏡
Ｍ2 及びレンズ成分Ｌ8 〜Ｌ14が第２部分光学系Ｋ2 を
構成している。なお、本実施例による反射屈折光学系全
体の結像倍率は、１／５倍の縮小倍率となっている。
に沿って配置されたレンズ成分Ｌ4〜Ｌ6 を介して、平
面反射鏡ＭＰ2 にて略４５°偏向される。この平面反射
鏡ＭＰ2 の反射側（光の射出側）には、光軸Ax2 と垂直
な（光軸Ax1 と平行な）光軸Ax3 に沿って、レンズ成分
Ｌ7 と第２凹面反射鏡Ｍ2 とが配置されており、平面反
射鏡ＭＰ2 から射出した光は、レンズ成分Ｌ7 を介して
第２凹面反射鏡Ｍ2 にて反射された後、再びレンズ成分
Ｌ7 を介してレンズ成分Ｌ8 〜Ｌ14へ向かう。このレン
ズ成分Ｌ8 〜Ｌ14は、全体として正の屈折力を有してお
り、レンズ成分Ｌ7 からの光によって、１次像Ｉ1 の縮
小像である２次像Ｉ2 を基板上に形成する。ここで、レ
ンズ成分Ｌ4 〜Ｌ6 、レンズ成分Ｌ7 、第２凹面反射鏡
Ｍ2 及びレンズ成分Ｌ8 〜Ｌ14が第２部分光学系Ｋ2 を
構成している。なお、本実施例による反射屈折光学系全
体の結像倍率は、１／５倍の縮小倍率となっている。
【００１３】さて、本実施例による反射屈折光学系にお
いては、１次像Ｉ1 が形成される位置に、所定形状の開
口部を有する視野絞りＢを配置している。以下、この視
野絞りＢの具体的な構成について説明する。図３は、視
野絞りＢの開口部の形状を示す平面図である。この図３
において、円弧形状の開口部ＢＡは、所定の半径Ｒの円
弧（部分円）と、この円弧から所定の距離ａ3 だけ平行
移動された円弧と、所定の間隔ｂ3 の直線とで囲まれる
領域である。なお、上記距離ａ3 をスリット幅ａ3 、上
記間隔ｂ3 をスリット長ｂ3とする。
いては、１次像Ｉ1 が形成される位置に、所定形状の開
口部を有する視野絞りＢを配置している。以下、この視
野絞りＢの具体的な構成について説明する。図３は、視
野絞りＢの開口部の形状を示す平面図である。この図３
において、円弧形状の開口部ＢＡは、所定の半径Ｒの円
弧（部分円）と、この円弧から所定の距離ａ3 だけ平行
移動された円弧と、所定の間隔ｂ3 の直線とで囲まれる
領域である。なお、上記距離ａ3 をスリット幅ａ3 、上
記間隔ｂ3 をスリット長ｂ3とする。
【００１４】ここで、反射屈折光学系の光路内を通過す
る結像に寄与しない光線（有害光）は、視野絞りＢの開
口部ＢＡを通過しないため、２次像面Ｉ2 （感光基板）
上に到達しない。これにより、回路パターンＰＡの像
（２次像）は、フレアーやゴーストの影響が低減された
もとで結像される。また、この視野絞りＢにより、感光
基板上のショット領域ＳＡ上に形成される露光領域ＥＡ
が周縁部のボケを生ずることなく、正確に規定される。
る結像に寄与しない光線（有害光）は、視野絞りＢの開
口部ＢＡを通過しないため、２次像面Ｉ2 （感光基板）
上に到達しない。これにより、回路パターンＰＡの像
（２次像）は、フレアーやゴーストの影響が低減された
もとで結像される。また、この視野絞りＢにより、感光
基板上のショット領域ＳＡ上に形成される露光領域ＥＡ
が周縁部のボケを生ずることなく、正確に規定される。
【００１５】そして、図２(b) に示す露光領域ＥＡのス
リット幅ａ2 は、図３に示す開口部ＢＡのスリット幅ａ
3 により、一義的に定まる。ここで、開口部ＢＡの幅ａ
3 を可変に構成すれば、露光領域のスリット幅ａ2 を可
変とすることができる。具体的には、図４に示す如く、
所定の半径の円弧を有する遮光部材１０と、この遮光部
材１０が有する円弧と同一半径の円弧を有する遮光部材
２０とで視野絞りＢを構成する。そして、遮光部材１０
をモータ１１と送りネジ１２とで図中矢印方向（スリッ
ト幅方向）に可動に設け、遮光部材２０をモータ２１と
送りネジ２２とで図中矢印方向（スリット幅方向）に可
動に設ければ、円弧形状の開口部のスリット幅を可変と
することができる。これにより、露光領域ＥＡのスリッ
ト幅を変化させることが可能となる。
リット幅ａ2 は、図３に示す開口部ＢＡのスリット幅ａ
3 により、一義的に定まる。ここで、開口部ＢＡの幅ａ
3 を可変に構成すれば、露光領域のスリット幅ａ2 を可
変とすることができる。具体的には、図４に示す如く、
所定の半径の円弧を有する遮光部材１０と、この遮光部
材１０が有する円弧と同一半径の円弧を有する遮光部材
２０とで視野絞りＢを構成する。そして、遮光部材１０
をモータ１１と送りネジ１２とで図中矢印方向（スリッ
ト幅方向）に可動に設け、遮光部材２０をモータ２１と
送りネジ２２とで図中矢印方向（スリット幅方向）に可
動に設ければ、円弧形状の開口部のスリット幅を可変と
することができる。これにより、露光領域ＥＡのスリッ
ト幅を変化させることが可能となる。
【００１６】そして、本実施例においては、感光基板と
露光領域とを相対的に移動させつつ走査露光を行なって
いるため、露光領域ＥＡのスリット幅を可変に構成する
と、感光基板上での露光量が調節できる。なお、視野絞
りＢの開口部の幅を可変とするために、例えば、視野絞
りＢを互いに異なる形状の複数の開口部をターレット状
に配置したもので構成し、複数の開口部のうちの１つを
１次像Ｉ1 が形成される位置に配置することも考えられ
る。このような手法によっても、視野絞りＢの開口部の
形状を可変にすることができる。
露光領域とを相対的に移動させつつ走査露光を行なって
いるため、露光領域ＥＡのスリット幅を可変に構成する
と、感光基板上での露光量が調節できる。なお、視野絞
りＢの開口部の幅を可変とするために、例えば、視野絞
りＢを互いに異なる形状の複数の開口部をターレット状
に配置したもので構成し、複数の開口部のうちの１つを
１次像Ｉ1 が形成される位置に配置することも考えられ
る。このような手法によっても、視野絞りＢの開口部の
形状を可変にすることができる。
【００１７】また、照明領域ＬＡ内の照度均一性が悪い
場合、視野絞りＢの開口部ＢＡの形状は、照明領域ＬＡ
の照度分布に合わせた形状とすることが望ましい。例え
ば図５(a) に示すように、照明領域ＬＡがスリット長の
方向（走査方向と直交する方向）で照度が低下する照度
分布である場合には、図５(b) に示すように、両端でス
リット幅が異なる形状である開口部ＢＡを有する視野絞
りＢを用いれば良い。これにより、走査露光される感光
基板上において、均一な露光量の分布を得ることができ
る。
場合、視野絞りＢの開口部ＢＡの形状は、照明領域ＬＡ
の照度分布に合わせた形状とすることが望ましい。例え
ば図５(a) に示すように、照明領域ＬＡがスリット長の
方向（走査方向と直交する方向）で照度が低下する照度
分布である場合には、図５(b) に示すように、両端でス
リット幅が異なる形状である開口部ＢＡを有する視野絞
りＢを用いれば良い。これにより、走査露光される感光
基板上において、均一な露光量の分布を得ることができ
る。
【００１８】次に、図６を参照して、本発明の第２実施
例を説明する。図６は、本実施例の構成及び光路を示す
図である。そして、本実施例は、特開昭61-29815号公報
の第１実施例に開示された反射屈折光学系に、本発明を
適用したものである。この図６において、物体面Ｏから
の光線は、第１凹面鏡Ｍ1 、第１凸面鏡Ｍ2により順次
反射され、第１凹面鏡Ｍ1 と同一曲率の第２凹面鏡に達
する。そして、第２凹面鏡にて反射された光線は、第１
レンズ群Ｇ1 を介して、レンズ群Ｇ1の射出側に１次像
Ｉ1 を形成する。ここで、第１及び第２凹面鏡Ｍ1,
Ｍ3 、第１凸面鏡Ｍ2 及びレンズ群Ｇ1 が第１部分光学
系Ｋ1 を構成している。
例を説明する。図６は、本実施例の構成及び光路を示す
図である。そして、本実施例は、特開昭61-29815号公報
の第１実施例に開示された反射屈折光学系に、本発明を
適用したものである。この図６において、物体面Ｏから
の光線は、第１凹面鏡Ｍ1 、第１凸面鏡Ｍ2により順次
反射され、第１凹面鏡Ｍ1 と同一曲率の第２凹面鏡に達
する。そして、第２凹面鏡にて反射された光線は、第１
レンズ群Ｇ1 を介して、レンズ群Ｇ1の射出側に１次像
Ｉ1 を形成する。ここで、第１及び第２凹面鏡Ｍ1,
Ｍ3 、第１凸面鏡Ｍ2 及びレンズ群Ｇ1 が第１部分光学
系Ｋ1 を構成している。
【００１９】そして、第１部分光学系Ｋ1 により形成さ
れた１次像Ｉ1 からの光線は、第３凹面鏡Ｍ4 にて反射
された後、第２レンズ群Ｇ2 を介して、この第２レンズ
群Ｇ 2 の射出側に２次像Ｉ2 を形成する。ここで、第３
凹面鏡Ｍ4 と第２レンズ群Ｇ 2 とが第２部分光学系Ｋ2
を構成する。なお、本実施例による反射屈折光学系全体
の結像倍率は、１／２．２５倍の縮小倍率となってい
る。
れた１次像Ｉ1 からの光線は、第３凹面鏡Ｍ4 にて反射
された後、第２レンズ群Ｇ2 を介して、この第２レンズ
群Ｇ 2 の射出側に２次像Ｉ2 を形成する。ここで、第３
凹面鏡Ｍ4 と第２レンズ群Ｇ 2 とが第２部分光学系Ｋ2
を構成する。なお、本実施例による反射屈折光学系全体
の結像倍率は、１／２．２５倍の縮小倍率となってい
る。
【００２０】さて、本実施例においても、第１部分光学
系Ｋ1 により形成される１次像Ｉ1の位置には、所定形
状の開口部を有する視野絞りＢが配置されている。この
視野絞りＢにより、フレアーやゴーストとなる有害光を
遮光して、反射屈折光学系の結像性能を向上させること
ができる。また、前述の第１実施例と同様に２次像Ｉ 2
と感光基板とを走査する場合には、視野絞りＢの開口部
の幅を変化させて、２次像面Ｉ2 での露光量を調節する
ことができる。さらに、物体面Ｏ上の照明領域の照度分
布に合わせて、視野絞りＢの開口部の形状を規定すれ
ば、２次像面Ｉ2での露光量を均一とすることができ
る。
系Ｋ1 により形成される１次像Ｉ1の位置には、所定形
状の開口部を有する視野絞りＢが配置されている。この
視野絞りＢにより、フレアーやゴーストとなる有害光を
遮光して、反射屈折光学系の結像性能を向上させること
ができる。また、前述の第１実施例と同様に２次像Ｉ 2
と感光基板とを走査する場合には、視野絞りＢの開口部
の幅を変化させて、２次像面Ｉ2 での露光量を調節する
ことができる。さらに、物体面Ｏ上の照明領域の照度分
布に合わせて、視野絞りＢの開口部の形状を規定すれ
ば、２次像面Ｉ2での露光量を均一とすることができ
る。
【００２１】このように、本発明は、物体の１次像を形
成する第１部分光学系と、この１次像をリレーして２次
像を形成する第２部分光学系とを持つ反射屈折光学系で
あれば、どのようなものにでも適用することができる。
また、本実施例においては、１次像が形成される位置に
１組の視野絞りＢを配置しているが、この視野絞りＢ
は、１組に限られることはなく、例えば第１及び第２部
分光学系の他に、第２部分光学系が形成する２次像をリ
レーして３次像を形成する第３部分光学系が設けられて
いる場合には、１次像が形成される位置と２次像が形成
される位置とに２組の視野絞りを配置できる。
成する第１部分光学系と、この１次像をリレーして２次
像を形成する第２部分光学系とを持つ反射屈折光学系で
あれば、どのようなものにでも適用することができる。
また、本実施例においては、１次像が形成される位置に
１組の視野絞りＢを配置しているが、この視野絞りＢ
は、１組に限られることはなく、例えば第１及び第２部
分光学系の他に、第２部分光学系が形成する２次像をリ
レーして３次像を形成する第３部分光学系が設けられて
いる場合には、１次像が形成される位置と２次像が形成
される位置とに２組の視野絞りを配置できる。
【００２２】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、反射屈折光
学系から発生するゴーストやフレアーの影響を低減でき
るので、反射屈折光学系の結像性能を向上を図ることが
できる。また、２次像面と共役な位置に視野絞りが配置
されているため、露光範囲を厳密に規定することができ
る。さらに、視野絞りの開口部の形状を変化させれば、
２次像面上の露光量の調節が可能となる。そして、視野
絞りの形状を物体面上の照度分布に対応させれば、２次
像面上での露光量を均一にできる効果もある。
学系から発生するゴーストやフレアーの影響を低減でき
るので、反射屈折光学系の結像性能を向上を図ることが
できる。また、２次像面と共役な位置に視野絞りが配置
されているため、露光範囲を厳密に規定することができ
る。さらに、視野絞りの開口部の形状を変化させれば、
２次像面上の露光量の調節が可能となる。そして、視野
絞りの形状を物体面上の照度分布に対応させれば、２次
像面上での露光量を均一にできる効果もある。
【図１】本発明による第１実施例の構成と光路とを示す
図。
図。
【図２】物体面上の照明領域と像面上の露光領域との形
状を示す平面図。
状を示す平面図。
【図３】視野絞りの構成を示す平面図。
【図４】視野絞りを可動絞りとした場合の構成を示す模
式図。
式図。
【図５】照度分布と視野絞りの開口部の形状との対応の
一例を示す図。
一例を示す図。
【図６】本発明による第２実施例の構成と光路とを示す
図。
図。
Ｋ1 ‥‥ 第１部分光学系、 Ｋ2 ‥‥ 第２部分光学系、 Ｏ ‥‥ 物体面、 Ｉ1 ‥‥ １次像、 Ｉ2 ‥‥ ２次像、 Ｂ ‥‥ 視野絞り、
Claims (3)
- 【請求項１】物体側から順に、正の屈折力を持ち前記物
体の１次像を形成する第１部分光学系と、正の屈折力を
持ち前記１次像からの光により２次像を形成する第２部
分光学系とを有する反射屈折光学系において、 前記１次像が形成される位置には、所定の形状の開口部
を有する視野絞りが配置されることを特徴とする反射屈
折光学系。 - 【請求項２】前記視野絞りは、互いに異なる形状である
複数の開口部を有し、前記１次像が形成される位置に
は、前記複数の開口部のうちの１つが配置されることを
特徴とする請求項１記載の反射屈折光学系。 - 【請求項３】前記視野絞りは、前記開口部の形状が可変
となる如く構成されることを特徴とする請求項１記載の
反射屈折光学系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5023974A JPH06235863A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 反射屈折光学系 |
| US08/187,484 US5592329A (en) | 1993-02-03 | 1994-01-28 | Catadioptric optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5023974A JPH06235863A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 反射屈折光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06235863A true JPH06235863A (ja) | 1994-08-23 |
Family
ID=12125530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5023974A Pending JPH06235863A (ja) | 1993-02-03 | 1993-02-12 | 反射屈折光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06235863A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3837566A1 (de) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Seikosha Kk | Verfahren zum einziehen von einzelblattpapier bei einem drucker |
| JP2003504687A (ja) * | 1999-07-07 | 2003-02-04 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | ブロードバンド紫外線カタディオプトリックイメージングシステム |
| JP2007502019A (ja) * | 2003-08-12 | 2007-02-01 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | ミラーｍ３の前にレンズを伴う複数のミラーを含む投影対物レンズ |
| JP2008270568A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2017201430A (ja) * | 2005-06-02 | 2017-11-09 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ |
-
1993
- 1993-02-12 JP JP5023974A patent/JPH06235863A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3837566A1 (de) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Seikosha Kk | Verfahren zum einziehen von einzelblattpapier bei einem drucker |
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| JP4761684B2 (ja) * | 1999-07-07 | 2011-08-31 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ブロードバンド紫外線カタディオプトリックイメージングシステム |
| JP2007502019A (ja) * | 2003-08-12 | 2007-02-01 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | ミラーｍ３の前にレンズを伴う複数のミラーを含む投影対物レンズ |
| JP2017201430A (ja) * | 2005-06-02 | 2017-11-09 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ |
| US10281824B2 (en) | 2005-06-02 | 2019-05-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Microlithography projection objective |
| JP2008270568A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| US8035804B2 (en) | 2007-04-20 | 2011-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
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