KR20230162530A - 시트재 회수 방법 및 시트재 회수 장치 - Google Patents

Abstract

권취축에 부담을 주는 것을 회피하면서 시트재를 용이하게 권취하여 회수할 수 있는 시트재 회수 방법 및 시트재 회수 장치를 제공한다.
박리 라이너 S를 권취하는 권취부(57)와, 권취부(57)에 배치되어 있고 박리 라이너 S를 보유 지지하는 흡착 구멍(69)과, 박리 라이너 S가 흡착 구멍(69)으로 보유 지지된 상태에서 권취부(57)를 회전시켜 박리 라이너 S를 권취부(57)에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 기구(51)와, 권취부(57)의 직경 D2를, 박리 라이너 S를 권취부(57)에 권취시키는 상태에서의 권취부의 직경 D1보다 작게 함으로써 롤상으로 권취된 박리 라이너 S와 권취부(57) 사이에 간극부 Vb를 형성시키는 최대 직경 조절 기구(61)와, 박리 라이너 S의 선단부 St가 흡착 구멍(69)으로 보유 지지되는 상태를 해제시키는 제어부(40)를 구비한다.

Description

시트재 회수 방법 및 시트재 회수 장치{SHEET MATERIAL RECOVERY METHOD AND SHEET MATERIAL RECOVERY APPARATUS}

본 발명은 반도체 웨이퍼(이하, 적절히 「웨이퍼」라고 함) 또는 기판을 예로 하는 워크에 대하여 공급된, 점착 테이프를 예로 하는 시트재를 롤상으로 권취하여 회수하기 위한 시트재 회수 방법 및 시트재 회수 장치에 관한 것이다.

반도체 제품을 제조하는 공정에 있어서, 웨이퍼나 기판을 예로 하는 워크에 대하여, 시트재를 사용하여 각종 처리가 행해진다. 일례로서, 웨이퍼의 표면에 회로 패턴 형성 처리를 행한 후, 회로 패턴을 보호하기 위해 웨이퍼의 표면에 보호용의 점착 테이프(보호 테이프)를 첩부하는 처리를 행한다. 즉 시트상으로 되어 있는 보호 테이프를 공급용 보빈으로부터 웨이퍼로 조출하여 공급하고, 웨이퍼의 표면에 보호 테이프를 첩부 롤러로 첩부한다. 웨이퍼의 표면에 보호 테이프가 첩부된 후에, 웨이퍼의 외형을 따라 보호 테이프를 절단함으로써, 보호 테이프가 웨이퍼의 형상으로 오려 내어진다(예를 들어, 특허문헌 1을 참조). 웨이퍼에 보호 테이프를 첩부한 후, 웨이퍼의 이면 전체를 균일하게 연삭하여 박형화하는 백그라인드 처리 등이 실시된다.

또한 시트재를 사용하는 처리의 다른 예로서, 웨이퍼에 첩부된 보호 테이프를 웨이퍼로부터 박리하는 경우, 시트상으로 되어 있는 박리용의 점착 테이프(박리 테이프)를 공급용 보빈으로부터 웨이퍼로 조출하여 공급하고, 보호 테이프의 표면에 박리 테이프를 첩부 롤러로 첩부한다. 그리고, 첨예한 에지 부재로 보호 테이프에 첩부된 박리 테이프를 되접어 꺾으면서 박리함으로써, 박리 테이프와 보호 테이프를 일체로서 웨이퍼로부터 박리한다(예를 들어, 특허문헌 2를 참조).

종래의 구성에 있어서, 웨이퍼로 조출되어 공급된 시트재는 각종 처리가 행해진 후, 웨이퍼로부터 또한 시트재 회수 장치로 송출되어 회수된다. 일례로서 웨이퍼에 보호 테이프를 첩부하는 테이프 첩부 장치에서는, 웨이퍼의 외형을 따라 오려 내어진 후의 불필요한 보호 테이프가 웨이퍼로부터 시트재 회수 장치로 송출된다. 시트재 회수 장치에는 회전 가능한 권취축이 배치되어 있고, 시트재의 선단이 권취축에 고정된 상태에서 권취축을 회전시킴으로써, 시트재는 권취축에 의해 롤상으로 권취되어 간다. 권취축에 권취된 보호 테이프가 일정량 이상이 되면, 시트재 회수 장치에 있어서 보호 테이프가 절단되어, 권취축에 권취되어 있는 선단측의 보호 테이프와 웨이퍼에 공급되어 있는 후단측의 보호 테이프가 분리된다. 그리고 롤상으로 되어 있는 선단측의 보호 테이프는, 권취축으로부터 수동으로 발취되어 회수된다.

웨이퍼로부터 보호 테이프를 박리하는 테이프 박리 장치에서는, 보호 테이프와 일체로 되어 있는 시트상의 박리 테이프가 웨이퍼로부터 시트재 회수 장치로 송출되어, 시트재 회수 장치가 구비하는 권취축에 롤상으로 권취된다. 권취축에 권취된 박리 테이프가 일정량 이상이 되면, 시트재 회수 장치에 있어서 박리 테이프가 절단된다, 그리고 롤상으로 되어 있는 선단측의 박리 테이프는, 권취축으로부터 수동으로 발취되어 회수된다.

또한, 보호 테이프 또는 박리 테이프를 예로 하는 점착 테이프의 점착면에, 비점착성의 박리 라이너가 첨설되어 있는 경우가 있다. 이 경우, 점착 테이프를 사용하기 직전에 박리 라이너를 점착 테이프로부터 박리한다. 점착 테이프로부터 박리된 박리 라이너도 또한, 박리 라이너용의 시트재 회수 장치로 송출되어, 시트재 회수 장치가 구비하는 권취축에 롤상으로 권취되어 수동으로 회수된다.

일본 특허 공개 제2013-232583호 공보 일본 특허 공개 제2002-124494호 공보

그러나, 상기 종래의 구성에서는 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 시트재를 권취축에 권회시켜 회수하는 경우, 시트재에 대하여 조출 방향으로 텐션이 부여되면서, 시트재는 권취축의 외주에 밀착하도록 권취되어 간다. 그 때문에, 롤상으로 권취된 시트재와 권취축 사이에 작용하는 마찰력이 커지므로, 권취축으로부터 롤상의 시트재를 발취하여 회수하는 것이 곤란해진다.

특히, 당해 마찰력에 저항하기 위해 롤상의 시트재를 무리하게 잡아당겨 발취하여 회수하면, 시트재를 수동으로 잡아당길 때 권취축에 대하여 축 방향 이외로 큰 힘이 작용하므로, 권취축의 축 방향이 초기 상태의 방향으로부터 비뚤어지는 사태가 우려된다. 권취축이 비뚤어지면 시트재를 권취하는 방향이 비뚤어지게 되므로, 시트재의 회수 정밀도 및 회수 효율이 저하된다.

본 발명은 이러한 사정에 비추어 이루어진 것이며, 권취축에 부담을 주는 것을 회피하면서 용이하게 시트재를 권취하여 회수할 수 있는 시트재 회수 방법 및 시트재 회수 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.

본 발명은 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다.

즉, 본 발명은, 워크에 대하여 조출되어 공급되는 시트재를 권취하여 회수하는 시트재 회수 방법이며,

권취부에 배치되어 있는 고정 부재에 상기 시트재의 선단을 고정시키는 시트 고정 과정과,

상기 시트재의 선단이 상기 권취부에 고정된 상태에서 상기 권취부를 회전시켜 상기 시트재를 상기 권취부에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 과정과,

상기 권취부의 직경을, 상기 권취 과정에서의 상기 권취부의 직경보다 작게 함으로써 상기 권취부와 상기 시트재 사이에 간극부를 형성시키는 간극 형성 과정과,

상기 시트재의 선단이 상기 권취부에 고정되어 있는 상태를 해제시키는 고정 해제 과정과,

롤상으로 권취된 상기 시트재를 상기 권취부로부터 발취하여 회수하는 회수 과정을

구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 시트재를 권취부에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 과정을 행한 후, 간극 형성 과정을 행한다. 간극 형성 과정을 행함으로써 권취부의 직경이 작아지므로, 권취부와 시트재 사이에 간극부가 형성된다. 간극부가 형성됨으로써, 롤상으로 권취되어 있는 시트재와 권취부의 외주 사이에 발생하는 마찰력이 크게 저감된다. 따라서, 시트재를 권취부로부터 발취하여 회수하는 회수 과정에 있어서, 롤상으로 되어 있는 시트재를 용이하게 권취부로부터 발취할 수 있다. 또한 마찰력에 저항하여 시트재를 발취하기 위해, 조작자가 권취부에 대하여 축 방향과 다른 방향으로 쓸데없는 힘을 부여시키는 사태를 방지할 수 있으므로, 권취축이 비뚤어져 시트재의 회수 효율이 저하되는 것을 회피할 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 권취부에 배치된 돌출 부재를, 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출시킴으로써 상기 권취부의 직경을 증대시키는 돌출 형성 과정과,

상기 돌출 형성 과정에 의해 상기 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태를 해제하는 돌출 해제 과정을

구비하고,

상기 권취 과정은,

상기 돌출 형성 과정에 의해 상기 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태에서, 상기 시트재를 상기 권취부에 롤상으로 권취시켜 가고,

상기 간극 형성 과정은,

상기 돌출 해제 과정에 의해 상기 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태를 해제함으로써, 상기 권취부의 직경을 상기 권취 과정에서의 상기 권취부의 직경보다 작게 하는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 권취부는 돌출 부재를 구비하고 있고, 당해 돌출 부재를 권취부의 직경 방향으로 돌출시키는 돌출 형성 과정을 행함으로써 권취부의 직경이 증대한다. 그리고 돌출 형성 과정에 의해 권취부의 직경이 증대한 상태에서, 시트재를 권취부에 롤상으로 권취시키는 권취 과정을 행한다.

권취 과정이 완료된 후, 돌출 해제 과정을 행한다. 돌출 해제 과정에서는, 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태를 해제한다. 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태를 해제함으로써, 권취부의 직경은 권취 과정에서의 권취부의 직경보다 작아지므로, 시트재와 권취부 사이에 간극부가 형성된다. 돌출 부재를 권취부의 직경 방향으로 진퇴 이동시킴으로써 간극부를 형성할 수 있으므로, 간극부를 형성시키는 기구를 용이하게 자동화할 수 있다. 그 때문에, 시트재와 권취부 사이에 발생하는 마찰력을 저감시키면서 시트재를 회수할 때 수동으로 행하는 조작을 저감시킬 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 고정 부재는, 상기 돌출 부재에 마련되어 있는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 고정 부재는 돌출 부재에 마련되어 있기 때문에, 단일의 부재로 돌출 형성 과정과 시트 고정 과정을 실행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 관한 시트재 회수 장치의 단순화 및 소형화를 용이하게 실현할 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 고정 과정은, 에어 흡인 방식 또는 정전기 흡인 방식에 의해 상기 고정 부재가 상기 시트재의 선단을 흡착함으로써, 상기 시트재의 선단을 상기 고정 부재에 고정시키는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 고정 부재는 에어 흡인 방식 또는 정전기 흡인 방식에 의해 시트재의 선단을 흡착하도록 구성되어 있다. 시트재의 선단을 흡착함으로써, 고정 부재는 시트재의 선단을 보다 확실하게 고정할 수 있다. 또한 흡착을 해제함으로써, 고정 부재에 시트재의 선단이 고정되어 있는 상태는 신속하면서도 확실하게 해제된다. 따라서, 흡인의 온 및 오프를 제어한다는 단순한 구성에 의해, 시트 고정 과정 및 고정 해제 과정을 신속하면서도 고정밀도로 실행할 수 있다.

본 발명은 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취해도 된다.

즉, 본 발명은 워크에 대하여 조출되어 공급되는 시트재를 권취하여 회수하는 시트재 회수 장치이며,

상기 시트재를 권취하는 권취부와,

상기 권취부에 배치되어 있고 상기 시트재의 선단을 고정시키는 시트 고정 부재와,

상기 시트재의 선단이 상기 시트 고정 부재에 고정된 상태에서 상기 권취부를 회전시켜 상기 시트재를 상기 권취부에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 기구와,

상기 권취부의 직경을, 상기 권취 기구로 상기 시트재를 상기 권취부에 권취시키는 상태에서의 상기 권취부의 직경보다 작게 함으로써 롤상으로 권취된 상기 시트재와 상기 권취부 사이에 간극부를 형성시키는 간극 형성 기구와,

상기 시트재의 선단이 상기 시트 고정 부재에 고정되어 있는 상태를 해제시키는 고정 해제 기구를

구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 시트재를 권취부에 롤상으로 권취시킨 후, 간극 형성 기구에 의해 권취부의 직경을 작게 한다. 권취부의 직경을 작게 함으로써, 권취부와 시트재 사이에 간극부가 형성된다. 간극부가 형성됨으로써, 롤상으로 권취되어 있는 시트재와 권취부의 외주 사이에 발생하는 마찰력이 크게 저감된다. 따라서, 시트재를 권취부로부터 발취하여 회수할 때, 롤상으로 되어 있는 시트재를 용이하게 권취부로부터 발취할 수 있다. 또한 마찰력에 저항하여 시트재를 발취하기 위해, 조작자가 권취부에 대하여 축 방향과 다른 방향으로 쓸데없는 힘을 부여시키는 사태를 방지할 수 있으므로, 권취축이 비뚤어져 시트재의 회수 효율이 저하되는 것을 회피할 수 있다.

본 발명에 관한 시트재 회수 방법 및 시트재 회수 장치에 의하면, 시트재를 권취부에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 과정을 행한 후, 간극 형성 과정을 행한다. 간극 형성 과정을 행함으로써 권취부의 직경이 작아지므로, 권취부와 시트재 사이에 간극부가 형성된다. 간극부가 형성됨으로써, 롤상으로 권취되어 있는 시트재와 권취부의 외주 사이에 발생하는 마찰력이 크게 저감된다. 따라서, 시트재를 권취부로부터 발취하여 회수하는 회수 과정에 있어서, 롤상으로 되어 있는 시트재를 용이하게 권취부로부터 발취할 수 있다.

또한 마찰력에 저항하여 시트재를 발취하기 위해, 조작자가 권취부에 대하여 축 방향과 다른 방향으로 쓸데없는 힘을 부여시키는 사태를 방지할 수 있으므로, 권취축이 비뚤어져 시트재의 회수 효율이 저하되는 것을 회피할 수 있다. 즉, 권취축에 부담을 주는 것을 회피하면서 시트재를 권취하여 회수할 수 있다.

도 1은 실시예 1에 관한 시트재 회수 장치를 구비하는, 점착 테이프 첩부 장치의 기본 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2는 실시예 1에 관한 시트재 회수 장치의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
(a)는 돌출 상태로 되어 있는 시트재 회수 장치의 사시도이며, (b)는 매몰 상태로 되어 있는 시트재 회수 장치의 사시도이다.
도 3은 실시예 1에 관한 최대 직경 조절 기구의 사시도이다.
도 4는 실시예 1에서의, 박리 라이너가 첨설된 보호 테이프의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 5는 실시예 1에 관한 권취부의 구성을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
(a)는 돌출 상태에서의 종단면도이며, (b)는 매몰 상태에서의 종단면도이다.
도 6은 실시예 1에 관한 장치의 동작을 나타내는 흐름도이다.
(a)는 보호 테이프를 웨이퍼에 첩부하는 동작의 개요를 나타내는 흐름도이며, (b)는 박리 라이너를 권취하여 회수하는 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 7은 실시예 1에 관한 스텝 S1을 설명하는 도면이다.
도 8은 실시예 1에 관한 스텝 S2를 설명하는 도면이다.
도 9는 실시예 1에 관한 스텝 S3을 설명하는 도면이다.
도 10은 실시예 1에 관한 스텝 S4를 설명하는 도면이다.
도 11은 실시예 1에 관한 스텝 T2를 설명하는 사시도이다.
도 12는 실시예 1에 관한 스텝 T2를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 13은 실시예 1에 관한 스텝 T2를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 14는 실시예 1에 관한 스텝 T3을 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 15는 실시예 1에 관한 스텝 T3을 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 16은 실시예 1에 관한 스텝 T4를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 17은 실시예 1에 관한 스텝 T4를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 18은 실시예 1에 관한 스텝 T5를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 19는 실시예 1에 관한 스텝 T5를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 20은 실시예 1에 관한 스텝 T6을 설명하는 사시도이다.
도 21은 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 22는 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 구성을 나타내는, 좌측면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 23은 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 조작을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 24는 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 조작을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 25는 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 조작을 나타내는 사시도이다.
도 26은 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 조작을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 27은 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 조작을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 28은 비교예에 관한 시트재 회수 장치의 조작을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 29는 실시예 2에 관한 시트재 회수 장치의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 30은 실시예 2에 있어서, 수축 상태로 되어 있는 시트재 회수 장치의 구성을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 31은 실시예 2에 있어서, 팽창 상태로 되어 있는 시트재 회수 장치의 구성을 나타내는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 32는 실시예 2에 관한 스텝 T2를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 33은 실시예 2에 관한 스텝 T2를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 34는 실시예 2에 관한 스텝 T3을 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 35는 실시예 2에 관한 스텝 T4를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.
도 36은 변형예에 관한 시트재 회수 장치를 설명하는, 정면으로 보았을 때의 종단면도이다.

[실시예 1]

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1을 설명한다. 도 1은 실시예 1에 관한 시트재 회수 장치를 구비하는, 점착 테이프 첩부 장치(1)의 기본 구성을 나타내는 정면도이다. 또한 점착 테이프 첩부 장치(1)를 나타내는 도면에 있어서, 각종 구성을 지지하는 지지 수단 및 각종 구성을 구동시키는 구동 수단 등에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

점착 테이프 첩부 장치(1)는 반도체 웨이퍼 W(이하, 단순히 「웨이퍼 W」라고 약칭함)의 표면 측에 보호 테이프 PT를 첩부하는 것을 목적으로 한다. 보호 테이프 PT는, 웨이퍼 W의 표면에 형성된 회로 패턴을 보호하는, 회로 보호용의 점착 테이프이다. 실시예 1에 있어서, 웨이퍼 W는 본 발명에서의 워크에 상당한다.

또한, 본 실시예에 있어서 「상류」 및 「하류」란 보호 테이프 PT의 조출 방향 L을 따르는 것으로서 정의된다. 즉 「상류」란 보호 테이프 PT의 조출 방향 L에 있어서, 후술하는 테이프 공급부(3)에 가까운 측을 의미하는 것으로 한다.

<전체 구성의 설명>

본 실시예에 관한 점착 테이프 첩부 장치(1)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 테이프 공급부(3), 텐션 기구(4), 보유 지지 테이블(5), 테이프 첩부 유닛(7), 테이프 절단 유닛(9), 테이프 박리 유닛(11), 테이프 회수부(13) 및 라이너 회수부(15)를 구비하고 있다.

테이프 공급부(3)는 공급 보빈(19) 및 박리 롤러(21) 등을 구비하고 있다. 공급 보빈(19)에는 원단 롤(20)이 장전되어 있다. 원단 롤(20)에는 보호 테이프 PT가, 박리 라이너(세퍼레이터) S가 첨설된 상태로 권회되어 있다. 보호 테이프 PT는 도 4에 나타내는 바와 같이, 비점착성의 기재 B와, 점착성을 갖는 점착층 C가 적층된 구성을 구비하고 있다. 그리고 박리 라이너 S는 보호 테이프 PT 중 점착층 C의 측에 첨설되어 있다. 테이프 공급부(3)는 박리 라이너 S가 첨설되어 있는 보호 테이프 PT를 웨이퍼 W에 대하여(웨이퍼 W를 향해) 조출하여 공급한다. 실시예 1에 있어서, 보호 테이프 PT 및 박리 라이너 S 각각은 본 발명에서의 시트재에 상당한다.

공급 보빈(19)은 전자 브레이크(23)에 연동 연결되어 적당한 정도의 회전 저항이 걸려 있다. 전자 브레이크(23)는 박리 라이너 S가 첨설되어 있는 보호 테이프 PT가 공급 보빈(19)으로부터 과잉으로 조출되어 공급되는 것을 방지한다.

박리 롤러(21)는 보호 테이프 PT로부터 박리 라이너 S를 박리함과 함께, 박리된 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15)로 안내한다.

텐션 기구(4)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 요동 암(25)을 진동시키는 실린더(27)를 구비하고 있다. 요동 암(25)은 고정축의 지지축에 유점 롤러(28)가 축지지되어 있고, 자유 단부 측에 댄서 롤러(29)를 구비하고 있다. 텐션 기구(4)는 실린더(27)의 작동에 연동하여 요동하는 요동 암(25)의 자유 단부 측의 댄서 롤러(29)가 하강하여, 보호 테이프 PT를 하방으로 밀어 내림으로써, 보호 테이프 PT의 조출 방향 L로 텐션을 부여하도록 구성된다.

보유 지지 테이블(5)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 기부(17)와 웨이퍼 보유 지지부(31)를 구비하고 있다. 기부(17)는 웨이퍼 보유 지지부(31)의 하부에 접속되어 있고, 승강 이동을 가능하게 하도록 구성되어 있다. 웨이퍼 보유 지지부(31)는 표면 측에 회로 패턴이 형성되어 있는 웨이퍼 W를, 회로 형성면을 상향으로 한 상태로 적재하여 보유 지지한다.

웨이퍼 보유 지지부(31)의 상면에는, 후술하는 커터 날(9c)을 웨이퍼 W의 외형을 따라 선회 이동시켜 보호 테이프 PT를 절단하기 위해, 커터 주행 홈(33)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는 웨이퍼 보유 지지부(31)로서, 웨이퍼 W를 흡착 보유 지지하는 척 테이블을 사용하지만, 웨이퍼 보유 지지부(31)의 구성으로서는 이에 한정되지는 않는다.

테이프 첩부 유닛(7)은 보유 지지 테이블(5)에 적재되어 흡착 보유 지지된 웨이퍼 W의 회로면에 보호 테이프 PT를 첩부한다. 테이프 첩부 유닛(7)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 도시하지 않은 레일을 따라 좌우 수평으로 왕복 이동하는 가동대(34)와, 가동대(34)에 접속된 브래킷에 축지지된 첩부 롤러(35)를 구비하고 있다.

테이프 절단 유닛(9)은 구동 승강 가능한 가동대(9a)의 하부에, 보유 지지 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종축심 P 주위로 구동 선회 가능하게 지지 암(9b)이 장비된다. 또한, 이 지지 암(9b)의 자유 단부 측에, 날끝을 하향으로 한 커터(9c)가 장착되어 있다. 테이프 절단 유닛(9)은 보유 지지 테이블(5)의 상방에 배치되어 있고, 테이프 절단 유닛(9)이 초기 위치로부터 하강하여 절단 위치로 이동함으로써, 보유 지지 테이블(5)에 마련되어 있는 커터 주행 홈(33)에 커터(9c)의 날끝이 들어가도록 각각의 위치가 조정되어 있다. 즉, 지지 암(9b)이 종축심 P를 선회 중심으로 하여 선회함으로써, 커터(9c)가 웨이퍼 W의 외주를 따라 이동하여 점착 테이프 T를 오려 내도록 구성되어 있다.

테이프 박리 유닛(11)은 커터(9c)에 의해 오려 내어져 웨이퍼 W의 표면에 첩부된 보호 테이프 PT(보호 테이프 PTw)와, 보호 테이프 PTw가 오려 내어져 불필요하게 된 보호 테이프 PT인, 불필요 테이프 PTn을 분리시킨다. 테이프 박리 유닛(11)은 제1 텐션 기구(4)와 협동하여 점착 테이프 DT의 텐션을 유지하는 가이드 롤러(46)와, 닙 롤러(47)를 구비하고 있다.

닙 롤러(47)는 승강 이동을 가능하게 하는 핀치 롤러(47a)와, 모터에 의해 구동하는 이송 롤러(47b)로 구성된다. 테이프 박리 유닛(11)은 도시하지 않은 레일을 따라 좌우 수평으로 왕복 이동이 가능하게 되도록 구성되어 있다.

테이프 회수부(13)는 테이프 박리 유닛(11)의 하류에 배치되어 있고, 불필요 테이프 DTn을 권취하는 권취 기구(49)가 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다. 권취 기구(49)는 도시하지 않은 모터에 의해 정역으로 회전 구동 제어되도록 구성되어 있다.

또한, 점착 테이프 첩부 장치(1)는 추가로 제어부(40)와 입력부(50)를 구비하고 있다. 제어부(40)는 CPU(중앙 연산 처리 장치) 등을 구비하고 있고, 점착 테이프 첩부 장치(1)의 각종 동작을 통괄 제어한다. 입력부(50)의 예로서는 콘솔 패널이나 키보드 등을 들 수 있고, 오퍼레이터는 입력부(50)를 사용하여 각종 지시를 입력할 수 있다. 입력부(50)에 입력된 지시 내용은 제어부(40)에 송신되고, 제어부(40)는 당해 지시에 따라 각종 통괄 제어를 행할 수 있다.

<시트재 회수 장치의 구성>

여기서, 실시예 1에서의 시트재 회수 장치에 상당하는, 라이너 회수부(15)의 구성에 대하여 설명한다. 라이너 회수부(15)는 도 2의 (a) 등에 나타내는 바와 같이, 권취 기구(51)와, 절단 기구(53)를 구비하고 있다. 권취 기구(51)는 박리 라이너 S를 권취하여 회수하는 것이며, 회전 플레이트(55)와, 권취부(57)를 구비하고 있다. 회전 플레이트(55)는 도시하지 않은 모터에 의해 정역으로 회전 구동 제어되도록 구성되어 있다. 권취부(57)는 전체적으로 z 방향으로 연장되는 원통 형상의 부재이며, 회전 플레이트(55)의 중앙부에 기립 설치되어 있다. 권취부(57)가 회전 플레이트(55)와 함께 z 방향의 축 주위로 회전함으로써, 박리 라이너 S를 권취부(57)의 측면에 권취시킬 수 있다.

권취부(57)의 외곽을 구성하는 통 형상 부재(58)는 중공으로 되어 있고, 곡면상으로 되어 있는 통 형상 부재(58)의 측면에는 관통 구멍(59)이 형성되어 있다. 실시예 1에서는 도 2 등에 나타내는 바와 같이, 통 형상 부재(58)의 측면 중 상측에 상당하는 위치에 관통 구멍(59)이 형성되어 있다. 또한, 권취부(57)의 내부에는 최대 직경 조절 기구(61)가 배치되어 있다. 최대 직경 조절 기구(61)는 관통 구멍(59)을 통해 권취부(57)의 직경 방향으로 진퇴 이동 가능하게 구성되어 있다. 본 실시예에서는 관통 구멍(59)이 상향으로 형성되어 있으므로, 최대 직경 조절 기구(61)는 도 2 등에서의 상하 방향(부호 G로 나타내는 방향)으로 왕복 이동하도록 구성되어 있다. 실시예 1에 관한 권취 기구(51)에서는, 최대 직경 조절 기구(61)가 관통 구멍(59)을 통해 권취부(57)의 직경 방향으로 진퇴 이동함으로써, 권취부(57)의 최대 직경의 길이가 가변이 되도록 구성되어 있다.

최대 직경 조절 기구(61)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 돌출 부재(63)와, 실린더(65)와, 모터(67)를 구비하고 있다. 실린더(65)는 돌출 부재(63) 및 모터(67)에 접속되어 있다, 실린더(65)는 모터(67)의 정역 회전에 연동하여, 권취부(57)의 직경 방향 G로 신축 동작하도록 구성되어 있다. 즉, 돌출 부재(63)는 실린더(65)의 신축 동작에 따라, 권취부(57)의 직경 방향 G로 진퇴 이동 가능(승강 이동 가능)하게 된다. 모터(67)는 도 5의 (a) 등에 나타내는 바와 같이, 통 형상 부재(58)의 내부에 고정 배치되어 있다.

돌출 부재(63)는 대략 직육면체의 형상을 갖고 있고, 그 상면은 곡면으로 되어 있다. 돌출 부재(63)는 상면에 있어서 박리 라이너 S와 맞닿아, 박리 라이너 S를 권취부(57)에 권회시켜 간다. 돌출 부재(63)의 상면의 곡률과, 통 형상 부재(58)의 측면의 곡률은 동일한 것이 바람직하다. 각각의 면의 곡률이 동일하게 함으로써, 최대 직경 조절 기구(61)를 진퇴 이동시켜 돌출 부재(63)의 위치를 조절함으로써, 돌출 부재(63)의 상면과 통 형상 부재(58)의 측면을 고정밀도로 동일 평면 상에 위치하게 할 수 있다.

실린더(65)가 신장함으로써, 돌출 부재(63)는 관통 구멍(59)을 통해 통 형상 부재(58)의 외측으로 돌출되어, 초기 위치로부터 돌출 위치로 이동한다. 돌출 부재(63)가 돌출 위치로 이동하여 통 형상 부재(58)의 측면보다 외측으로 돌출된 상태는 도 2의 (a) 또는 도 5의 (a)에 도시되어 있다. 돌출 부재(63)가 돌출 위치로 이동한 상태를 이하, 「돌출 상태」라 한다.

실린더(65)가 수축함으로써, 돌출 부재(63)는 관통 구멍(59)을 통해 통 형상 부재(58)의 내부로 매몰되어, 돌출 위치로부터 초기 위치로 이동한다. 돌출 부재(63)가 초기 위치로 이동함으로써, 돌출 상태가 해제된다. 또한 돌출 부재(63)가 초기 위치로 이동함으로써, 통 형상 부재(58)의 외주면(측면)과 돌출 부재(63)의 외면(도 3에서는 상면)이 동일 평면 상에 위치하게 되도록, 초기 위치의 높이가 조정된다. 돌출 부재(63)가 초기 위치로 이동하여 통 형상 부재(58)의 내부로 매몰된 상태는, 도 2의 (b) 또는 도 5의 (b)에 도시되어 있다. 돌출 부재(63)가 초기 위치로 이동한 상태를 이하, 「매몰 상태」라 한다.

돌출 부재(63)가 돌출 상태로 된 경우, 권취부(57)의 최대 직경은 도 5의 (a)에 있어서 부호 D1로 표시되는 길이가 된다. 실시예 1에서는, z 방향으로 연장되는 통 형상 부재(58)의 중심축 Q로부터 돌출 부재(63)의 상면까지의 거리가, 권취부(57)의 최대 직경에 상당한다. 그 때문에, 돌출 부재(63)가 돌출 상태로 된 경우, 권취부(57)의 최대 직경의 길이 D1은, 중심축 Q로부터 통 형상 부재(58)의 외주면까지의 거리 E보다 길어진다.

돌출 부재(63)가 매몰 상태로 된 경우, 권취부(57)의 최대 직경은 도 5의 (b)에 있어서 부호 D2로 표시되는 길이가 된다. 실시예 1에서는 돌출 부재(63)가 매몰 상태로 된 경우, 통 형상 부재(58)의 측면(외주면)과 돌출 부재(63)의 상면이 동일 평면 상에 위치하게 된다. 그 때문에, 돌출 부재(63)가 매몰 상태로 된 경우, 권취부(57)의 최대 직경의 길이 D2는, 중심축 Q로부터 통 형상 부재(58)의 외주면까지의 거리 E와 동등해진다. 따라서, 돌출 상태에서의 권취부(57)의 최대 직경(길이 D1)은 매몰 상태에서의 권취부(57)의 최대 직경(길이 D2)보다 길어진다. 이와 같이, 실시예 1에서는 돌출 부재(63)를 진퇴 이동시킴으로써, 권취부(57)의 최대 직경의 길이를 조절할 수 있도록 구성되어 있다. 부호 D1 또는 부호 D2로 표시되어 있는 권취부(57)의 최대 직경은, 본 실시예에서의 「권취부의 직경」에 상당한다.

돌출 부재(63)의 상면에는, 복수의 흡착 구멍(69)이 형성되어 있다. 흡착 구멍(69) 각각은 돌출 부재(63)를 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이며, 유로(70)를 통해 흡인 장치(71)에 접속되어 있다. 즉 흡인 장치(71)가 작동함으로써, 돌출 부재(63)는 흡착 구멍(69)을 통해 박리 라이너 S를 흡착 보유 지지하도록 구성되어 있다. 도 3에서는 설명의 편의상, 돌출 부재(63)에 배치되어 있는 12개의 흡착 구멍(69) 중 1개만이, 관통 구멍이라는 취지가 점선으로 표시되어 있음과 함께, 흡인 장치(71)와 접속되어 있다. 그러나, 실제로는 모든 흡착 구멍(69)이 돌출 부재(63)의 저면까지 관통되어 있고, 흡인 장치(71)와 접속되어 있다. 흡인 장치(71)는 통 형상 부재(58)의 내부에 배치되어 있다. 단 도 12 등에서는 설명의 편의상, 흡인 장치(71)는 권취부(57)의 외측에 기재되어 있다.

절단 기구(53)는 권취 기구(51)로 안내되고 있는 박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단하는 것이며, 커터 홀더(72)와 커터(73)를 구비하고 있다. 커터 홀더(72)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 권취 기구(51)로 안내되고 있는 박리 라이너 S에 접근하는 방향과 당해 박리 라이너 S의 폭 방향의 각각으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 커터(73)는 커터 홀더(72)의 선단에 배치되어 있고, 커터 홀더(72)와 함께 각 방향으로 왕복 이동한다.

실시예 1에서는, 라이너 회수부(15)의 근방에 있어서, 박리 라이너 S는 폭 방향이 z 방향이 되도록 반송되고 있다. 또한 라이너 회수부(15)의 근방에 있어서, 박리 라이너 S의 조출 방향 M은 y 방향에 평행하므로, 박리 라이너 S의 면에 수직인 방향은 x 방향이 된다. 즉, 박리 라이너 S에 근접 또는 이격되는 방향은 x 방향에 상당한다. 따라서, 실시예 1에 있어서, 커터 홀더(72)는 커터(73)와 함께 x 방향 및 z 방향으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다.

커터 홀더(72)가 x 방향으로 이동함으로써, 절단 기구(53)는 퇴피 위치와 절단 위치 사이를 x 방향으로 왕복 이동한다. 퇴피 위치는, 커터(73)가 박리 라이너 S에 대하여 이격되어 있는 위치이다. 또한 도 1은 절단 기구(53)가 퇴피 위치로 이동되어 있는 상태를 나타내고 있다. 절단 위치는, 커터(73)가 박리 라이너 S를 절단할 수 있을 정도로, 박리 라이너 S에 대하여 근접해 있는 위치이다. 절단 기구(53)가 절단 위치로 이동되어 있는 상태에서 커터 홀더(72)를 z 방향으로 이동시킴으로써, 커터(73)는 박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단한다.

<첩부 동작의 개요>

여기서, 점착 테이프 첩부 장치(1)를 사용하여 웨이퍼 W에 보호 테이프 PT를 첩부하기 위한 일련의 기본 동작을 설명한다. 도 6의 (a)는 보호 테이프 PT를 웨이퍼 W에 첩부하는 공정을 설명하는 흐름도이다.

첩부 지령이 내려지면, 우선은 워크를 보유 지지 테이블(5)에 적재시킨다. 즉, 소정의 수납부에 수납되어 있는 웨이퍼 W는, 얼라인먼트 스테이지에서 위치 정렬된 후에, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 기구에 의해 보유 지지 테이블(5)에 적재된다. 보유 지지 테이블(5)이 구비하는 웨이퍼 보유 지지부(31)에 적재된 웨이퍼 W는 선회되어, 웨이퍼 W의 중심이 보유 지지 테이블(5)의 중심 위에 있도록 위치 정렬된 상태에서 흡착 보유 지지된다(스텝 S1).

이때, 테이프 첩부 유닛(7), 테이프 절단 유닛(9) 및 테이프 박리 유닛(11) 각각은 도 7에 나타내는 초기 위치로 이동되어 있다. 즉, 테이프 첩부 유닛(7)은 보유 지지 테이블(5)의 우측으로 이동되어 있고, 테이프 박리 유닛(11)은 보유 지지 테이블(5)의 좌측으로 이동되어 있다. 또한, 테이프 절단 유닛(9)은 보유 지지 테이블(5)의 상방에서 대기하고 있다.

또한 테이프 공급부(3)에 있어서, 공급 보빈(19)에 장전되어 있는 원단 롤(20)로부터, 박리 라이너 S가 첨설되어 있는 보호 테이프 PT가 하류로 조출되어 공급된다. 그리고, 박리 롤러(21)에 의해 보호 테이프 PT로부터 박리 라이너 S가 박리된다. 박리 라이너 S가 박리된 보호 테이프 PT는, 테이프 첩부 유닛(7) 및 테이프 박리 유닛(11)으로 안내된다. 보호 테이프 PT로부터 박리된 박리 라이너 S는, 라이너 회수부(15)로 안내된다.

워크를 보유 지지 테이블(5)에 적재시킨 후, 도 8에 나타내는 바와 같이, 테이프 첩부 유닛(7)의 첩부 롤러(35)는 점착 테이프 T를 하방으로 압박하면서 웨이퍼 W 상을 전방(도 8에서는 좌측 방향)으로 구름 이동하여, 점선으로 표시하는 초기 위치로부터 실선으로 표시하는 종단부 위치로 이동한다. 이에 의해, 보호 테이프 PT가 웨이퍼 W의 표면 전체에 첩부된다(스텝 S2).

보호 테이프 PT가 웨이퍼 W에 첩부된 후에, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상방에 대기하고 있던 테이프 절단 유닛(9)이 하강되어, 점선으로 표시하는 초기 위치로부터 실선으로 표시하는 절단 위치로 이동한다. 그리고 테이프 절단 유닛(9)이 절단 위치로 하강함으로써, 보유 지지 테이블(5)의 커터 주행 홈(33)에 있어서 커터(9c)가 보호 테이프 PT에 찔린다.

커터(9c)가 보호 테이프 PT에 찔리면, 지지 암(9b)이 종축심 P를 선회 중심으로 하여 선회한다. 이에 수반하여 커터(9c)가 웨이퍼 W의 외주연에 미끄럼 접촉하면서 선회 이동하여, 보호 테이프 PT가 웨이퍼의 외형을 따라 절단된다(스텝 S3).

웨이퍼 W의 외형을 따른 보호 테이프 PT의 절단이 종료되면, 테이프 절단 유닛(9)은 원래의 대기 위치까지 상승된다. 그리고, 테이프 첩부 유닛(7)은 종단 위치로부터 초기 위치로 복귀한다. 테이프 첩부 유닛(7)이 초기 위치로 복귀함과 함께, 도 10에 나타내는 바와 같이, 테이프 박리 유닛(11)이 후방(도 10에서는 우측 방향)으로 이동한다. 즉 테이프 박리 유닛(11)은 도 10에 있어서 점선으로 표시하는 초기 위치로부터 실선으로 표시하는 종단 위치로 우측 방향으로 이동한다.

테이프 박리 유닛(11)은 종단 위치로 이동하면서, 보호 테이프 PT 중, 웨이퍼 W 상에서 오려 내기 절단되고 남은 불필요 테이프 PTn을 감아 올려 박리한다(스텝 S4). 또한, 보호 테이프 PT 중, 웨이퍼 W의 표면에 첩부되어 있는 부분에 대해서는 부호 PTw를 부여하여 불필요 테이프 PTn과 구별한다.

테이프 박리 유닛(11)이 종단 위치에 도달하여 박리 작업이 종료되면, 테이프 박리 유닛(11)은 종단 위치로부터 초기 위치로 복귀한다. 이때, 불필요 테이프 Tn이 하류로 조출되어 테이프 회수부(13)로 안내되어, 권취 기구(49)에 의해 롤상으로 권취되어 회수된다.

그리고 불필요 테이프 Tn이 하류로 조출됨과 함께, 테이프 공급부(3)에 배치되어 있는 원단 롤(20)로부터 일정량의 보호 테이프 PT가 조출된다. 그리고, 박리 롤러(21)에 의해 보호 테이프 PT로부터 박리 라이너 S가 박리되어, 일정량의 보호 테이프 PT가 테이프 첩부 유닛(7) 및 테이프 박리 유닛(11)으로 안내된다. 보호 테이프 PT로부터 박리된 일정량의 박리 라이너 S는, 라이너 회수부(15)로 안내되어 회수된다.

스텝 S4까지의 각 처리가 종료되면, 보유 지지 테이블(5)에서의 흡착이 해제된다. 흡착 해제 후, 보호 테이프 PTw가 첩부된 웨이퍼 W는 웨이퍼 반송 기구에 의해 반송되어 도시하지 않은 웨이퍼 회수부로 회수된다(스텝 S5). 이상으로 1회의 점착 테이프 첩부 처리가 완료된다. 이하, 소정 매수의 웨이퍼 W에 대하여 보호 테이프 PT가 첩부될 때까지, 스텝 S1 내지 스텝 S5의 공정을 반복한다.

<시트재의 회수 공정의 설명>

여기서, 보호 테이프 PT로부터 박리된 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15)로 회수시키기 위한 일련의 공정에 대하여 설명한다. 도 6의 (b)는 박리 라이너 S를 회수하는 공정을 설명하는 흐름도이다.

스텝 T1(권취부의 직경을 증대)

보호 테이프 PT를 첩부하는 동작을 개시하기 전에, 라이너 회수부(15)가 박리 라이너 S를 권취할 수 있도록, 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15)로 안내시켜 고정하는 조작을 행할 필요가 있다. 그리고 실시예 1에서는, 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15)에 고정시키기 전에, 권취부(57)의 직경을 증대시키는 조작을 행한다. 실시예 1에서는, 돌출 부재(63)를 상승시킴으로써 권취부(57)의 직경을 증대시킨다. 즉 제어부(40)는 최대 직경 조절 기구(61)가 구비하는 모터(67)를 회전시킨다. 모터(67)가 회전함으로써, 실린더(65)가 신장하여 돌출 부재(63)는 매몰 위치로부터 돌출 위치로 상승 이동한다.

돌출 부재(63)가 돌출 위치로 이동함으로써, 라이너 회수부(15)의 상태는 도 2의 (b)에 도시되는 매몰 상태로부터 도 2의 (a)에 도시되는 돌출 상태로 변화한다. 즉, 돌출 부재(63)가 상승함으로써, 흡착 구멍(69)이 형성되어 있는 돌출 부재(63)의 상면이 통 형상 부재(58)의 외측으로 돌출된 상태로 된다. 돌출 부재(63)가 매몰 상태로부터 돌출 상태로 변화함으로써, 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 권취부(57)의 최대 직경은 D2로부터 D1로 증대한다.

스텝 T2(시트재의 선단을 고정)

돌출 부재(63)를 돌출 위치로 상승시켜 권취부(57)의 직경을 증대시킨 후, 박리 라이너 S의 선단을 권취부(57)에 고정시키는 조작을 행한다. 즉 도 11에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러(21)에 의해 보호 테이프 PT로부터 박리된 박리 라이너 S를 인출하여, 박리 라이너 S의 선단부 St를 라이너 회수부(15)로 안내시킨다. 박리 라이너 S가 반송되는 방향은 부호 M으로 표시되어 있다. 그리고 더욱 박리 라이너 S를 인출하여, 도 12에 나타내는 바와 같이, 흡착 구멍(69)이 형성되어 있는 돌출 부재(63)의 상면에 박리 라이너 S의 선단부 St를 근접시킨다.

돌출 부재(63)의 상면에 박리 라이너 S의 선단부 St를 근접시킨 상태에서, 도 13에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는 흡인 장치(71)를 작동시킨다. 흡인 장치(71)는 흡착 구멍(69)을 통해 에어 Ar을 흡인함으로써, 박리 라이너 S의 선단부 St와 흡착 구멍(69) 사이의 공간을 감압시킨다. 그 때문에, 흡인 장치(71)가 작동함으로써, 박리 라이너 S의 선단부 St는 돌출 부재(63)의 상면에 흡착 보유 지지된다. 이와 같이, 실시예 1에서는 에어 흡인 방식에 의해, 박리 라이너 S의 선단부 St는 권취부(57)에 고정된다. 박리 라이너 S가 권취부(57)에 고정됨으로써, 테이프 공급부(3)로부터 라이너 회수부(15)로 자동으로 박리 라이너 S를 반송하는 경로가 형성된다.

스텝 T3(시트재의 권취)

박리 라이너 S의 선단 St를 라이너 회수부(15)에 고정시킨 후, 보호 테이프 PT를 웨이퍼 W에 첩부하는 조작을 개시시킴과 함께, 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15)로 권취하는 조작을 개시한다. 즉 제어부(40)는 흡인 장치(71)를 온의 상태로 제어하면서, 회전 플레이트(55)를 z 방향의 축 주위로 회전시킨다. 도 14에 나타내는 바와 같이, 권취부(57)의 통 형상 부재(58)는 회전 플레이트(55)와 함께 z 방향의 축 주위로 회전하므로, 권취부(57)에 고정되어 있는 박리 라이너 S는, 통 형상 부재(58)의 측면을 따라 권회되어 권취되어 간다. 또한 도 14는 도 13에 나타내는 상태로부터, 권취부(57)를 반시계 방향으로 270° 회전시킨 상태를 나타내고 있다.

실시예 1에 관한 라이너 회수부(15)는 스텝 T3을 개시하기 전에 돌출 부재(63)를 돌출 위치로 상승시키고 있고, 통 형상 부재(58)보다 외측으로 돌출 부재(63)를 돌출시키고 있다. 즉, 스텝 T3의 개시 전에 있어서, 권취부(57)의 최대 직경은 D1로 증대되어 있고, 통 형상 부재(58)의 외경의 길이 E보다 길게 되어 있다.

그 때문에, 최대 직경이 D1로 증대되어 있는 권취부(57)를 회전시켜 박리 라이너 S를 권취시켜 가면, 적어도 돌출 부재(63)에 맞닿는 박리 라이너 S는, 통 형상 부재(58)의 측면으로부터 이격되어 돌출 부재(63)의 상면(외주면)에 권회되어 간다. 즉, 적어도 일부의 박리 라이너 S는 통 형상 부재(58)의 측면에 밀착하지 않고, 통 형상 부재(58)의 측면으로부터 이격된 상태로 된다. 따라서, 돌출 부재(63)를 통 형상 부재(58)의 외측으로 돌출시켜 권취부(57)의 최대 직경을 통 형상 부재(58)의 외경의 길이 E보다 길게 한 상태에서 박리 라이너 S를 권취시켜 감으로써, 박리 라이너 S가 권취되는 둘레의 길이는, 통 형상 부재(58)의 외주의 길이와 비교하여, 돌출 부재(63)가 통 형상 부재(58)의 외측으로 돌출되어 있는 부분의 길이에 따라 길어진다.

보호 테이프 PT를 웨이퍼 W에 첩부하는 공정을 진행시킴에 따라, 보호 테이프 PT가 테이프 공급부(3)로부터 축차 조출되어 간다. 보호 테이프 PT가 조출되는 양에 따라, 박리 롤(21)에 의해 보호 테이프 PT로부터 박리 라이너 S가 박리되어, 박리 라이너가 조출 방향 M을 따라 축차 반송된다. 권취부(57)는 박리 라이너 S가 반송되는 속도에 따라 적절히 회전하여, 라이너 회수부(15)로 송출되는 박리 라이너 S를 권취해 간다.

박리 라이너 S를 권취하는 동작을 속행해 감에 따라, 권취부(57)에 권취되는 박리 라이너 S의 양이 늘어나, 도 15에 나타내는 바와 같이, 롤상의 박리 라이너 S가 권취부(57)에 권회되어 있는 상태로 된다. 롤상으로 되어 있는 박리 라이너 S에 대해서는, 도 15 등에 있어서 부호 SR을 부여하여 나타내고 있다.

스텝 T3의 동작은, 권취부(57)에 권회되는 박리 라이너 S의 양이 미리 정해진 역치를 초과할 때까지 속행된다. 당해 역치는, 권취부(57)가 박리 라이너 S를 권취할 수 있는 최대 용량에 따라 적절히 정해진다. 권취부(57)에 권회되는 박리 라이너 S의 양이 역치를 초과한 경우, 스텝 T3으로부터 스텝 T4로 진행한다. 권취부(57)에 권회되는 박리 라이너 S의 양은, 일례로서 권취부(57)의 회전수를 검지하는 회전 센서나, 권회되어 있는 박리 라이너 S의 롤 SR의 두께를 검지하는 센서 등에 의해 측정할 수 있다.

스텝 T4(시트재의 절단)

권취부(57)에 권회되는 박리 라이너 S의 양이 역치를 초과한 경우, 권취부(57)에 축적된 박리 라이너 S의 롤 SR을 라이너 회수부(15)로부터 제거할 필요가 있다. 롤 SR을 라이너 회수부(15)로부터 제거하기 위해 스텝 T4 내지 스텝 T6의 공정을 행한다.

스텝 T4의 공정에서는, 시트재인 박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단한다. 먼저, 제어부(40)는 도시하지 않은 구동 기구를 제어하여 절단 기구(53)를 박리 라이너 S에 접근시키는 방향으로 이동시킨다. 즉 도 16에 나타내는 바와 같이, 절단 기구(53)는 점선으로 표시되는 초기 위치로부터 실선으로 표시되는 절단 위치로 x 방향으로 이동한다. 절단 위치로 이동함으로써, 커터(73)의 커터 날은 정면으로 보아 박리 라이너 S와 교차한다.

절단 기구(53)가 절단 위치로 이동한 후, 제어부(40)는 구동 기구를 제어하여 절단 기구(53)를 박리 라이너 S의 폭 방향(실시예 1에서는 z 방향)으로 이동시킨다. 즉 절단 기구(53)는 z 방향으로 수평 이동함으로써, 커터(73)는 박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단해 간다. 그 결과, 도 17에 나타내는 바와 같이, 권취부(57)에 권취되어 있는 박리 라이너의 롤 SR은, 테이프 공급부(3)와 연결되어 있는 후속의 박리 라이너 S(이하, 「후속 라이너 Sd」라 함)와 분리된다. 박리 라이너 S를 절단하여 롤 SR과 후속 라이너 Sd를 분리시킴으로써, 스텝 T4의 공정은 완료된다.

스텝 T5(권취부의 직경을 감소)

박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단시킨 후, 권취부(57)의 직경을 감소시키는 조작을 행한다. 실시예 1에서는, 최대 직경 조절 기구(61)가 구비하는 돌출 부재(63)를 하강시킴으로써 권취부(57)의 직경을 감소시킨다. 먼저, 제어부(40)는 흡인 장치(71)를 정지시켜, 흡착 구멍(69)을 통한 박리 라이너 S의 선단부 St의 흡착 보유 지지를 해제시킨다. 다음으로, 제어부(40)는 모터(67)의 회전을 제어하여 실린더(65)를 수축시킨다. 실린더(65)가 수축함으로써, 돌출 부재(63)는 도 18에 도시되는 바와 같이 돌출 위치로부터 매몰 위치로 하강한다. 흡착 구멍(69)을 통한 선단부 St의 흡착 보유 지지가 해제되어 있으므로, 흡착 구멍(69)이 형성되어 있는 돌출 부재(63)는 선단부 St로부터 이격되어 통 형상 부재(58)의 내부로 매몰된다.

스텝 T3에서는, 권취부(57)의 최대 직경이 통 형상 부재(58)의 외경 E보다 길게 되어 있는 상태에서, 박리 라이너 S를 권취부(57)로 권취해 간다. 그 때문에, 스텝 T3에 있어서 형성되는 롤 SR의 내주의 길이는, 통 형상 부재(58)의 외주의 길이보다 길게 되어 있다. 돌출 부재(63)가 돌출 위치로 상승해 있는 경우, 롤 SR의 내주는 돌출 부재(63)에 의해 외측을 향하는 힘 F를 받고 있다. 그 때문에, 박리 라이너 S의 롤 SR은, 돌출 부재(63)에 가까운 측(도 18에서는 상측)으로 치우친 형상으로 된다. 바꾸어 말하면 스텝 T3에 있어서, 돌출 부재(63)로부터 먼 측(도 18에서는 하측)에서는 롤 SR과 통 형상 부재(58)의 외주면이 밀착하는 경향이 있다.

여기서 돌출 부재(63)를 매몰 위치로 하강시키면, 도 18에 나타내는 바와 같이, 돌출 상태였던 돌출 부재(63)가 존재하고 있던 공간이 간극부 Vb가 된다. 또한, 돌출 부재(63)를 매몰 위치로 하강시키면, 돌출 부재(63)에 의해 롤 SR을 외측으로 압박하는 힘 F가 작용하지 않게 된다. 그 때문에, 힘 F에 기인하는 박리 라이너 S의 치우침이 해소되어, 간극부 Vb는 롤 SR과 권취부(57) 사이의 공간 전체로 확대되어 간다. 그 결과, 도 19에 나타내는 바와 같이, 돌출 부재(63)를 매몰 위치로 하강시킴으로써 통 형상 부재(58)의 외주 전체와 롤 SR의 내주 전체 사이에 간극부 Vb가 형성된다. 즉 돌출 부재(63)를 매몰 위치로 하강시킴으로써 권취부(57)와 박리 라이너 S가 접촉하는 부분의 전체에 간극부 Vb가 형성되므로, 박리 라이너 S가 접촉하는 통 형상 부재(58)의 외주 전체에 있어서, 권취부(57)와 박리 라이너 S의 롤 SR 사이에 발생하는 마찰력이 소멸 또는 크게 저감된다. 권취부(57)의 직경을 저감시켜 권취부(57)와 박리 라이너 S 사이의 공간 전체에 간극부 Vb를 형성시킴으로써, 스텝 T5의 공정은 완료된다.

스텝 T6(시트재의 회수)

권취부(57)의 직경을 저감시켜 권취부(57)와 박리 라이너 S 사이에 간극부 Vb를 형성시킨 후, 권취부(57)에 권취되어 있는 박리 라이너 S를 회수한다. 즉 도 20에 나타내는 바와 같이, 권취부(57)에 권취되어 축적되어 있는 박리 라이너 S의 롤 SR을, 권취부(57)의 축 방향(실시예 1에서는 z 방향)으로 인출함으로써 롤 SR을 권취부(57)로부터 회수한다. 롤 SR을 인출하는 방향은, 도 20에 있어서 부호 H를 부여하여 나타내고 있다.

권취부(57)로부터 회수된 박리 라이너 S의 롤 SR은, 개폐 도어(75) 등을 통해 점착 테이프 첩부 장치(1)의 외부로 취출할 수 있다. 롤 SR을 권취부(57)로부터 인출하여 권취부(57)와 롤 SR을 분리시키는 조작은 수동으로 행해도 되고, 작업 로봇 등을 사용하여 자동으로 행해도 된다.

스텝 T6의 조작을 행하는 시점에 있어서, 돌출 부재(63)는 매몰 위치로 하강되어 있고, 권취부(57)와 박리 라이너 S의 롤 SR 사이의 거의 전역에 걸쳐 간극부 Vb가 확대되어 있다. 그 때문에, 롤 SR을 권취부(57)로부터 인출할 때, 롤 SR과 권취부(57)(통 형상 부재(58)의 측면) 사이에 발생하는 마찰력은 소멸 또는 크게 저감되어 있다. 따라서, 롤 SR과 권취부(57) 사이에 작용하는 마찰력에 의한 방해를 받지 않고, 조작자는 작은 힘을 z 방향으로 가함으로써 용이하게 롤 SR을 권취부(57)로부터 인출할 수 있다. 따라서, 인출하는 조작을 행할 때 과잉의 힘을 가하는 것에 기인하여 권취부(57)의 축 또는 형상 등이 비뚤어지는 것을 회피할 수 있다.

또한, 스텝 T6의 조작을 행하는 시점에 있어서 돌출 부재(63)는 매몰 위치로 하강되어 있으므로, 돌출 부재(63)의 상면과 통 형상 부재(58)의 외주면은 동일 평면 상에 위치하게 되어 있다. 즉, 롤 SR을 권취부(57)로부터 인출하는 조작에 있어서, 통 형상 부재(58)의 외주면으로부터 외측으로 돌출 부재(63)가 돌출되는 부분이 롤 SR에 간섭하는 사태를 회피할 수 있다. 그 때문에, 롤 SR을 권취부(57)로부터 인출하는 조작에 필요한 힘을 보다 저감시킬 수 있다.

스텝 T1부터 T6까지의 일련의 공정에 의해, 박리 라이너 S를 권취부(57)로 권취하고, 롤상으로 권취된 박리 라이너 S를 회수하는 조작이 완료된다. 보호 테이프 PT를 소정 매수의 웨이퍼 W에 첩부하는 조작을 속행하는 경우, 스텝 T6으로부터 스텝 T1로 되돌아가서 스텝 T1 내지 스텝 T6의 조작을 되풀이한다. 즉, 돌출 부재(63)를 다시 돌출 위치로 상승시킨다(스텝 T1). 그리고 도 20 등에 도시되어 있는 후속 라이너 Sd를 조출 방향 M으로 인출하여, 후속 라이너 Sd의 선단부를 돌출 부재(63)의 상면으로 안내시키고, 흡인 장치(71)를 작동시켜 당해 선단부를 돌출 부재(63)의 상면에 고정시킨다(스텝 T2). 이하, 스텝 T3 내지 스텝 T6의 조작을 실행하여 박리 라이너 S를 다시 회수한다.

<실시예 1의 구성에 의한 효과>

종래의 시트재 회수 장치에 있어서 시트재를 권취축에 권회시켜 회수하는 경우, 시트재에 대하여 조출 방향으로 텐션이 부여되면서, 시트재는 권취축의 외주에 밀착하도록 권취되어 간다. 즉, 시트재를 권취할 때 시트재와 권취축 사이에 간극이 형성되지 않고, 간극이 형성되지 않은 상태에서 시트재를 권취축으로부터 발취하는 작업을 행한다. 그 결과, 롤상으로 권취된 시트재와 권취축 사이에 작용하는 마찰력이 커지므로, 권취축으로부터 롤상의 시트재를 발취하여 회수하는 것이 곤란해진다. 또한, 시트재에 부여되는 텐션의 크기에 따라, 시트재의 롤에 있어서 내측을 향하여 수축하는 힘이 작용한다. 그 때문에, 시트재의 롤과 권취축 사이에 작용하는 마찰력은 더욱 증대하게 된다.

특히, 당해 마찰력에 저항하기 위해 롤상의 시트재를 무리하게 잡아당겨 발취하여 회수하면, 시트재를 수동으로 잡아당길 때 권취축에 대하여 축 방향 이외로 큰 힘이 작용하므로, 권취축의 축 방향이 초기 상태의 방향으로부터 비뚤어지는 사태가 우려된다. 권취축이 비뚤어지면 시트재를 권취하는 방향이 비뚤어지게 되므로, 시트재의 회수 정밀도 및 회수 효율이 저하된다.

발명자의 예의 검토에 의해, 시트재의 롤과 권취축 사이에 작용하는 마찰력에 기인하는 문제를 해결하기 위한 구성으로서, 우선은 이하와 같은 비교예의 구성을 생각할 수 있다. 즉 비교예에 관한 시트재 회수 장치(100)는 도 21에 나타내는 바와 같이, 중공 원통 형상의 권취축 RF와 고정 핀 Jp를 구비하고 있다.

권취축 RF의 외주면에는 안내 홈 Dc가 권취축 RF의 축 방향(여기서는 z 방향)을 따라 형성되어 있다. 고정 핀 Jp는 일례로서 금속으로 구성되어 있고, 외측 고정부 J1과, 내측 고정부 J2와, 파지부 J3을 구비하고 있다. 외측 고정부 J1은, 하측의 일부가 안내 홈 Dc에 끼워 맞추어지도록 구성되어 있는 막대 형상 부재이다. 내측 고정부 J2는, z 방향을 따라 권취축 RF의 내주면에 맞닿도록 구성되어 있는 막대 형상 부재이다. 파지부 J3은, 전체적으로 원호상으로 만곡되어 있는 부재이며, 외측 고정부 J1과 내측 고정부 J2를 연결하고 있다. 조작자는 파지부 J3을 파지하여 고정 핀 Jp의 조작을 행한다.

외측 고정부 J1의 직경 N1은, 도 22에 나타내는 바와 같이 안내 홈 Dc의 깊이 K1보다 길어지도록 구성되어 있다. 또한 고정 핀 Jp에 있어서, 외측 고정부 J1과 내측 고정부 J2 사이의 거리 N2는, 안내 홈 Dc가 형성되어 있는 부분에서의 권취축 RF의 두께 K2보다 약간 짧아지도록 구성되어 있다. 그 때문에, 고정 핀 Jp를 안내 홈 Dc를 따라 권취축 RF에 삽입한 경우, 외측 고정부 J1 및 내측 고정부 J2는, 안내 홈 Dc가 형성되어 있는 부분의 권취축 RF를, 상하 방향으로부터 파지하도록 고정한다.

비교예에 관한 시트재 회수 장치(100)를 사용하여 박리 라이너 S를 권취하여 회수하는 조작은 이하와 같다. 우선은 도 23에 나타내는 바와 같이, 박리 라이너 S의 선단부 St를 권취축 RF의 외주면 중 안내 홈 Dc가 형성되어 있는 부분으로 안내시킨다. 그 후, 도 24에 나타내는 바와 같이, 외측 고정부 J1 중 내측 고정부 J2보다 z 방향으로 돌출되어 있는 부분을, 상방으로부터 안내 홈 Dc에 끼워 맞춘다. 당해 끼워 맞춤 조작에 의해, 박리 라이너 S의 선단부 St는 외측 고정부 J1에 의해 안내 홈 Dc에 밀어 붙여진다. 또한, 외측 고정부 J1의 직경 N1은 안내 홈 Dc의 깊이 K1보다 길므로, 안내 홈 Dc에 외측 고정부 J1을 끼워 맞춘 경우, 외측 고정부 J1의 일부가 권취축 RF의 외주면으로부터 외측으로 돌출되는 상태로 된다. 바꾸어 말하면, y 방향에 대하여 외측 고정부 J1의 일부가 권취축 RF의 외주면으로부터 돌출되어 있다.

외측 고정부 J1의 일부를 안내 홈 Dc에 끼워 맞춘 후, 안내 홈 Dc를 따라 외측 고정부 J1이 z 방향으로 미끄럼 이동하도록, 권취축 RF에 대하여 고정 핀 Jp를 z 방향으로 삽입시킨다. z 방향에 대하여 외측 고정부 J1의 전체가 안내 홈 Dc에 끼워 맞추어져 있는 상태는 도 25에 나타내는 바와 같다. 도 26에 나타내는 바와 같이, 고정 핀 Jp를 z 방향으로 삽입함으로써, 내측 고정부 J2는 권취축 RF의 내주면에 맞닿도록 삽입된다.

외측 고정부 J1과 내측 고정부 J2 사이의 거리 N2는, 안내 홈 Dc가 형성되어 있는 부분에서의 권취축 RF의 두께 K2보다 약간 짧으므로, 외측 고정부 J1은 박리 라이너 S의 선단부 St를 통해 권취축 RF를 외측으로부터 압박함과 함께, 내측 고정부 J2는 권취축 RF를 내측으로부터 압박한다. 그 때문에, 박리 라이너 S의 선단부 St는 고정 핀 Jp에 의해 권취축 RF에 고정된다.

박리 라이너 S의 선단부 St를 권취축 RF에 고정시킨 후, 권취축 RF를 회전시켜 박리 라이너 S를 권취축 RF에 권취시킨다. 박리 라이너 S는 도 27에 나타내는 바와 같이, 권취축 RF의 외주면과 외측 고정부 J1의 외주면에 걸쳐 권회되어 가서, 롤 SR이 형성된다.

고정 핀 Jp를 권취축 RF에 삽입하여 외측 고정부 J1이 권취축 RF의 외주면으로부터 외측으로 돌출된 상태에서 박리 라이너 S를 권취한다. 즉, 권취되는 박리 라이너 S 둘레의 길이는 권취축 RF의 통 형상 부재의 둘레보다 길게 되어 있다. 따라서 도 27에 나타내는 바와 같이, 외측 고정부 J1의 주위에 있어서, 박리 라이너 S의 롤 SR과 권취축 RF의 통 형상 부재의 외주면 사이에 간극부 Vb가 형성된다.

일정량의 박리 라이너 S를 권취한 후, 고정 핀 Jp를 z 방향으로 인출하여 발취한다. 고정 핀 Jp가 발취됨으로써, 도 28에 나타내는 바와 같이, 외측 고정부 J1이 존재하고 있던 부분에 있어서 간극부 Vb가 새롭게 형성된다. 그리고 고정 핀 Jp가 발취됨으로써, 박리 라이너 S가 권취축 RF에 고정되어 있는 상태는 해제되므로, 간극부 Vb는 권취축 RF와 롤 SR 사이의 공간 전체로 확대되어 간다.

고정 핀 Jp를 발취하여 박리 라이너 S의 고정을 해제시킨 후, 박리 라이너 S의 롤 SR을 권취축 RF로부터 z 방향으로 발취하여 회수한다. 권취축 RF와 롤 SR 사이의 공간 전체에 간극부 Vb가 형성되어 있으므로, 권취축 RF와 롤 SR 사이에 발생하는 마찰력을 저감시킬 수 있다.

이와 같이, 비교예에 관한 시트재 회수 장치(100)에 있어서도, 권취축과 롤 SR 사이에 발생하는 마찰력을 저감시킬 수 있으므로, 박리 라이너 S의 롤 SR을 권취축 RF로부터 발취하기 쉬워진다. 그러나, 고정 핀 Jp를 사용하는 비교예의 구성에서는, 박리 라이너 S를 권취축 RF에 고정시키는 공정을 행할 때마다, 고정 핀 Jp를 수동으로 권취축 RF에 삽입하는 조작이 필요하게 된다. 또한, 박리 라이너 S가 권취축 RF에 고정되어 있는 상태를 해제할 때마다, 고정 핀 Jp를 수동으로 발취하는 조작이 필요하게 된다. 이와 같이 비교예에서는 수동으로 행하는 조작이 많아지므로, 시트재를 회수하는 조작이 장기화 및 복잡화된다.

또한, 고정 핀 Jp를 수동으로 삽입 발취하는 조작을 반복하면, 고정 핀 Jp 및 권취축 RF가 열화되기 쉬워진다는 문제도 우려된다. 일례로서, 고정 핀 Jp와 권취축 RF의 마찰에 의해 각각이 변형되는 문제가 발생한다. 또한, 고정 핀 Jp의 삽입 조작 또는 발취 조작 시에, 권취축 RF에 대하여 축 방향과는 다른 방향으로 수동에 의한 힘이 가해진다. 그 때문에, 권취축 RF의 축이 비뚤어져 박리 라이너 S의 권취 정밀도가 저하된다는 문제가 발생한다. 특히, 외측 고정부 J1과 내측 고정부 J2 사이의 거리 N2는 권취축 RF의 두께 K2와 동일하거나 또는 약간 짧으므로, 고정 핀 Jp를 권취축 RF에 삽입시킬 때, 권취축 RF에 대하여 축 방향과는 다른 방향으로 큰 힘이 가해지기 쉽다.

또한, 비교예에서는 고정 핀 Jp의 외측 고정부 J1로 박리 라이너 S의 선단부 St를 외측으로부터 압박하여 고정한 후, 외측 고정부 J1의 외측 및 권취축 RF의 외측에 걸쳐 박리 라이너 S를 권회한다. 즉 도 27에 나타내는 바와 같이, 고정 핀 Jp의 외측 고정부 J1은, 박리 라이너 S에 의해 상하 양측으로부터 끼워져 있는 상태로 된다.

박리 라이너 S가 늘어나기 쉬운 재료로 구성되어 있는 경우, 박리 라이너 S의 조출 방향 M에 대하여 부여되는 텐션에 기인하여 박리 라이너 S는 조출 방향 M으로 늘어나면서 권회된다. 그 때문에, 외측 고정부 J1의 양측을 끼우고 있는 박리 라이너 S의 각각에 대하여, 늘어나 있는 상태로부터 되돌아가려고 하는 힘인 복원력이 작용한다.

그 결과, 고정 핀 Jp를 발취하는 방향(z 방향)과는 수직인 방향(권취축 RF의 직경 방향)으로, 외측 고정부 J1에 힘이 작용하기 때문에, 고정 핀 Jp를 z 방향으로 발취하는 것이 곤란해진다. 박리 라이너 S의 복원력이 외측 고정부 J1에 작용하는 경우, 당해 복원력에 저항하기 위해 조작자는 권취축 RF를 강한 힘으로 억누르면서 고정 핀 Jp를 발취하게 된다. 그 결과, 권취축 RF에 축 방향과는 다른 힘이 작용하여 축 등이 비뚤어지는 사태가 발생하기 쉬워진다.

한편, 실시예 1에서는 최대 직경 조절 기구(61)를 사용함으로써, 권취부(57)의 직경을 자동으로 조절한다. 즉 돌출 부재(63)를 권취부(57)의 내부에 배치하고, 돌출 부재(63)를 권취부(57)의 직경 방향으로 진퇴 이동시킴으로써, 권취부(57)의 직경이 조절된다. 구체적으로는 돌출 부재(63)를 권취부(57)의 통 형상 부재(58)보다 외측으로 돌출시켜, 권취부(57)의 직경을 증대시킨 상태에서 박리 라이너 S를 권취하는 조작을 행한다. 권취부(57)의 직경을 증대시킴으로써 박리 라이너 S를 권회시키는 둘레의 길이는 길어진다.

그리고, 박리 라이너 S를 권취부(57)로 권취한 후, 박리 라이너 S가 권취부(57)에 고정되어 있는 상태를 해제함과 함께, 돌출 부재(63)를 통 형상 부재(58)에 매몰시킴으로써 권취부(57)의 직경을 저감시킨다. 권취부(57)의 직경을 저감시킴으로써 권취부(57)의 둘레의 길이도 저감된다. 즉, 돌출 부재(63)를 매몰시킨 후에 있어서의 권취부(57)의 둘레의 길이는, 권취 조작에 의해 형성된 박리 라이너 S의 롤 SR의 내주의 길이보다 짧아진다. 또한, 박리 라이너 S가 권취부(57)에 고정되어 있는 상태가 해제되어 있다. 그 결과, 권취부(57)와 롤 SR 사이의 공간 전체에 걸쳐 간극부 Vb가 확대되어 가므로, 권취부(57)와 롤 SR 사이에 발생하는 마찰력을 소멸 또는 크게 저감시킬 수 있다.

돌출 부재(63)는 권취부(57)의 내부로부터 외부로 돌출되고, 돌출 상태로 되어 있는 돌출 부재(63)의 상면에 박리 라이너 S가 권회된다. 즉 비교예와 달리, 실시예 1에서는 돌출 부재(63) 중 한쪽 면에만 박리 라이너 S가 접촉한다. 또한, 박리 라이너 S의 텐션에 기인하는 복원력은, 돌출 부재(63)에 대하여 권취부(57)의 직경 방향(외측으로부터 내측으로 향하는 방향)으로 작용한다. 즉 실시예 1에 있어서, 돌출 부재(63)는 박리 라이너 S에 끼워지는 상태로 될 일은 없고, 또한 복원력이 작용하는 방향은 돌출 부재(63)가 이동하는 방향과 동일하다. 따라서, 박리 라이너 S의 텐션에 의해 돌출 부재(63)의 진퇴 이동이 저해될 일은 없다. 따라서, 박리 라이너 S가 늘어나기 쉬운 재료로 구성되어 있던 경우에도, 권취부(57)의 직경을 조절하는 조작을 고정밀도로 실행할 수 있다.

또한, 돌출 부재(63)의 진퇴 이동을 자동 제어할 수 있으므로, 실시예 1의 구성에서는 권취부(57)의 직경을 자동으로 조절할 수 있다. 따라서, 박리 라이너 S를 용이하게 회수할 수 있는 회수 조작을 실현할 수 있음과 함께, 당해 회수 조작의 각 공정을 보다 고도로 자동화할 수 있다. 또한, 권취부(57)의 직경을 조절하는 조작을 자동화함으로써, 권취부(57)에 대하여 조작자가 힘을 가하는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 권취부(57)의 축이 비뚤어지는 사태나 권취부(57)가 변형되는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

돌출 부재(63)에는 흡착 구멍(69)이 형성되어 있고, 흡착 구멍(69)을 통해 박리 라이너 S의 선단부 St를 흡착 보유 지지한다. 즉, 돌출 부재(63)는 박리 라이너 S를 권취부(57)에 고정시키는 고정 부재로서도 기능하므로, 라이너 회수부(15)의 구성을 보다 단순화할 수 있다.

[실시예 2]

다음으로, 본 발명의 실시예 2를 설명한다. 실시예 1에서는 돌출 부재(63)를 권취부(57)의 직경 방향으로 진퇴 이동시켜 돌출 상태와 매몰 상태를 전환함으로써, 최대 직경 조절 기구(61)가 권취부(57)의 직경을 조절하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 실시예 2에서는, 권취부(57A)가 구비하는 통 형상 부재(58A)가 팽창 가능하고, 팽창 상태와 수축 상태를 전환함으로써 최대 직경 조절 기구(61)가 권취부(57)의 직경을 조절하는 구성을 예로 들어 설명한다. 또한, 실시예 2에 관한 점착 테이프 첩부 장치는 실시예 1에 관한 장치와 기본적으로 구성은 공통된다. 그 때문에, 실시예 1에서 설명한 점착 테이프 첩부 장치(1)와 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 부여하는 데 그치고, 다른 구성 부분에 대하여 상세하게 설명한다. 실시예 1과 실시예 2는, 본 발명에서의 시트재 회수 장치에 상당하는, 라이너 회수부(15)의 구성이 상이하다.

실시예 2에서의 라이너 회수부(15A)는 도 29에 나타내는 바와 같이, 권취 기구(51A)와 절단 기구(53)를 구비하고 있다. 권취 기구(51A)는 회전 플레이트(55)와 권취부(57A)를 구비하고 있다.

권취부(57A)는 통 형상 부재(58A)와 최대 직경 조절 기구(61A)를 구비하고 있다. 통 형상 부재(58A)는 권취부(57A)의 외곽을 구성하고 있고, 내부가 중공으로 되어 있는 원통 형상의 부재이다. 통 형상 부재(58A)는 내부 공간이 밀폐되어 있고, 내부 공간의 기압에 따라 팽창 및 수축이 가능한 재료로 구성되어 있다. 통 형상 부재(58A)를 구성하는 재료의 일례로서, 고무 등을 들 수 있다. 도 29 및 도 30에 나타내는 바와 같이, 통 형상 부재(58A)의 측면에는 흡착 구멍(69)이 형성되어 있고, 흡착 구멍(69)은 유로(70)를 통해 흡인 장치(71)와 접속되어 있다. 실시예 2에 있어서, 흡인 장치(71)는 통 형상 부재(58A)의 내부에 배치되어 있다.

최대 직경 조절 기구(61A)는 기체 공급 구멍(79)과 기체 공급 장치(80)를 구비하고 있다. 실시예 2에 있어서, 기체 공급 구멍(79)은 도 29에 나타내는 바와 같이 통 형상 부재(58A)의 정면 측(정상부)에 형성되어 있지만, 기체 공급 구멍(79)을 배치하는 위치는 적절히 변경해도 된다. 기체 공급 구멍(79)은 통 형상 부재(58A)의 내부에 기체를 공급하는 기체 공급 장치(80)와 연통 접속되어 있다. 기체 공급 장치(80)가 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 공급하는 기체의 양을 조절함으로써, 통 형상 부재(58A)의 내부 공간의 기압을 적절히 제어할 수 있다. 또한 도 30 등의 정면으로 보았을 때의 종단면도에서는 설명의 편의상, 기체 공급 구멍(79)은 통 형상 부재(58A)의 하측(측면)에 기재되어 있다.

통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 대한 기체의 공급량이 상승하면, 통 형상 부재(58A)의 내부 공간의 기압이 상승한다. 통 형상 부재의 내압이 상승하면 통 형상 부재(58A)가 팽창하여, 권취부(57A)의 직경이 증대한다. 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 대한 기체의 공급량이 저하되면, 통 형상 부재(58A)의 내부 공간의 기압이 저하된다. 통 형상 부재의 내압이 저하되면 통 형상 부재(58A)가 수축하여, 권취부(57A)의 직경이 저감된다.

이와 같이 최대 직경 조절 기구(61A)는 기체 공급 장치(80)가 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 대한 기체의 공급량을 조절함으로써, 권취부(57A)의 직경이 가변이 되도록 구성되어 있다. 또한 도 30은 기체 공급 장치(80)가 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 기체를 공급하고 있지 않고, 통 형상 부재(58A)가 수축되어 있는 상태(수축 상태)에서의 권취부(57A)의 종단면도를 나타내고 있다. 권취부(57A)가 수축 상태인 경우에서의, 권취부(57)의 직경(통 형상 부재(58A)의 직경)을 J1이라 한다. 도 31은 기체 공급 장치(80)가 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 기체를 공급함으로써, 통 형상 부재(58A)가 팽창되어 있는 상태(팽창 상태)에서의 권취부(57A)의 종단면도를 나타내고 있다. 권취부(57A)가 팽창 상태인 경우에서의, 권취부(57)의 직경(통 형상 부재(58A)의 직경)을 J2라 한다. J2는 J1보다 큰 값이다.

<실시예 2에 관한 회수 공정의 설명>

여기서 실시예 2에 있어서, 보호 테이프 PT로부터 박리된 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15A)로 회수시키기 위한 일련의 공정에 대하여 설명한다. 실시예 2에 있어서 박리 라이너 S를 회수하는 공정의 개요는, 도 6의 (b)에 도시되는 흐름도와 마찬가지이다. 단, 권취부(57)의 직경을 조절하는 과정 등의 상세에 대하여 실시예 1과 실시예 2는 상이하다. 그 때문에, 실시예 2에서의 박리 라이너 S의 회수 공정에 대해서는 실시예 1과 공통되는 부분은 설명을 간략화하고, 다른 구성 부분에 대하여 상세하게 설명한다.

스텝 T1(권취부의 직경을 증대)

보호 테이프 PT를 첩부하는 동작을 개시하기 전에, 실시예 1과 마찬가지로 권취부(57A)의 직경을 증대시키는 조작을 행한다. 단 실시예 2에서는, 권취부(57A)를 수축 상태로부터 팽창 상태로 전환함으로써, 권취부(57A)의 직경을 증대시킨다. 즉 제어부(40)는 최대 직경 조절 기구(61)가 구비하는 기체 공급 장치(80)를 작동시킨다. 기체 공급 장치(80)가 작동함으로써, 기체 공급 구멍(79)을 통해 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 기체 As가 공급된다.

통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 기체 As가 공급됨으로써, 권취부(57A)의 상태는 도 30에 도시되는 수축 상태로부터 도 31에 도시되는 팽창 상태로 변화한다. 즉, 통 형상 부재(58A)의 내부 공간에 기체가 공급됨으로써, 통 형상 부재(58A)의 내압이 상승해 간다. 그리고 통 형상 부재(58A)의 내압이 상승함으로써, 통 형상 부재(58A)의 외벽부는 팽창해 간다. 권취부(57A)가 수축 상태로부터 팽창 상태로 전환됨으로써, 도 30 및 도 31에 나타내는 바와 같이, 권취부(57)의 최대 직경은 J1로부터 J2로 증대한다. 권취부(57A)가 팽창 상태로 되면, 제어부(40)는 기체 공급 장치(80)에 의한 기체 As의 공급을 정지시키고, 기체 공급 구멍(79)과 기체 공급 장치(80)를 접속하는 유로에 배치되어 있는, 도시하지 않은 밸브를 닫는다.

스텝 T2(시트재의 선단을 고정)

기체 공급 장치(80)에 의해 권취부(57A)를 팽창 상태로 변화시켜, 권취부(57A)의 직경을 증대시킨 후, 박리 라이너 S의 선단을 권취부(57A)에 고정시키는 조작을 행한다. 실시예 2에 있어서도 실시예 1과 마찬가지로, 에어 흡인 방식에 의해 박리 라이너 S의 선단부 St를 권취부(57A)에 고정시킨다. 즉, 박리 롤러(21)에 의해 보호 테이프 PT로부터 박리된 박리 라이너 S를 인출하여, 박리 라이너 S의 선단부 St를 라이너 회수부(15A)로 안내시킨다. 그리고 도 32에 나타내는 바와 같이, 통 형상 부재(58A)에 형성되어 있는 흡착 구멍(69)에 박리 라이너 S의 선단부 St를 근접시킨다.

흡착 구멍(69)에 박리 라이너 S의 선단부 St를 근접시킨 상태에서, 도 33에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는 흡인 장치(71)를 작동시킨다. 흡인 장치(71)는 흡착 구멍(69)을 통해 에어 Ar을 흡인함으로써, 박리 라이너 S의 선단부 St와 흡착 구멍(69) 사이의 공간을 감압시킨다. 그 때문에, 흡인 장치(71)가 작동함으로써, 박리 라이너 S의 선단부 St는 통 형상 부재(58A)의 측면에 흡착 보유 지지된다.

스텝 T3(시트재의 권취)

박리 라이너 S의 선단 St를 권취부(57A)에 고정시킨 후, 보호 테이프 PT를 웨이퍼 W에 첩부하는 조작을 개시시킴과 함께, 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15)로 권취하는 조작을 개시한다. 즉 제어부(40)는 흡인 장치(71)를 온의 상태로 제어하면서, 회전 플레이트(55)를 z 방향의 축 주위로 회전시킨다. 도 34에 나타내는 바와 같이, 권취부(57A)는 회전 플레이트(55)와 함께 z 방향의 축 주위로 회전하므로, 박리 라이너 S는, 통 형상 부재(58A)의 측면을 따라 권회되어 권취되어 간다.

실시예 2에 관한 라이너 회수부(15A)는 스텝 T3을 개시하기 전에 권취부(57A)를 수축 상태로부터 팽창 상태로 변화시키고 있고, 권취부(57A)의 최대 직경을 J1로부터 J2로 증대시키고 있다. 권취부(57A)를 수축 상태로 하여 박리 라이너 S를 권취하는 경우, 박리 라이너 S가 권취되는 둘레의 길이는 최대 직경 J1을 반경으로 하는 원주의 길이이다.

한편, 권취부(57A)를 팽창 상태로 하여 박리 라이너 S를 권취하는 경우, 박리 라이너 S가 권취되는 둘레의 길이는 최대 직경 J2를 반경으로 하는 원주의 길이가 된다. 즉, 권취부(57A)의 최대 직경을 증대시킨 상태에서 권취부(57A)를 회전시켜 박리 라이너 S를 권취시켜 감으로써, 박리 라이너 S가 권취되는 둘레의 길이도 증대한다. 바꾸어 말하면, 스텝 T3의 개시 전에 권취부(57A)의 최대 직경을 증대시킴으로써, 스텝 T3에 있어서 박리 라이너 S가 권취되는 둘레의 길이는, 수축 상태에서의 통 형상 부재(58A)의 외주의 길이보다 길어진다.

박리 라이너 S를 권취하는 동작을 속행해 감에 따라, 권취부(57)에 권취되는 박리 라이너 S의 양이 늘어나, 실시예 1과 마찬가지로, 박리 라이너 S의 롤 SR이 권취부(57A)의 주위에 형성된다.

스텝 T4(시트재의 절단)

권취부(57)에 권회되는 박리 라이너 S의 양이 역치를 초과한 경우, 박리 라이너 S의 롤 SR을 라이너 회수부(15)로부터 제거하기 위해 스텝 T4 내지 스텝 T6의 공정을 행한다.

스텝 T4가 개시되면, 실시예 1과 마찬가지로 박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단한다. 제어부(40)는 절단 기구(53)를 초기 위치로부터 절단 위치로 이동시키고, 또한 절단 기구(53)를 박리 라이너 S의 폭 방향으로 이동시킨다. 절단 기구(53)를 폭 방향(z 방향)으로 수평 이동시킴으로써, 커터(73)는 박리 라이너 S를 폭 방향으로 절단해 간다. 그 결과, 권취부(57)에 권취되어 있는 박리 라이너의 롤 SR은, 후속 라이너 Sd와 분리된다(도 17을 참조). 박리 라이너 S를 절단하여 롤 SR과 후속 라이너 Sd를 분리시킴으로써, 스텝 T4의 공정은 완료된다.

스텝 T5(권취부의 직경을 감소)

박리 라이너 S의 절단에 의해 롤 SR과 후속 라이너 Sd가 분리되면, 권취부(57A)의 직경을 감소시키는 조작을 행한다. 실시예 2에서는, 권취부(57A)를 팽창 상태로부터 수축 상태로 전환함으로써 권취부(57A)의 직경을 감소시킨다. 먼저, 제어부(40)는 흡인 장치(71)를 정지시켜, 흡착 구멍(69)을 통한 박리 라이너 S의 선단부 St의 흡착 보유 지지를 해제시킨다. 다음으로, 제어부(40)는 기체 공급 장치(80)와 기체 공급 구멍(79)을 접속하는 유로에 배치된 밸브를 개방하여 통 형상 부재(58A)의 내부 공간을 탈기시킨다. 통 형상 부재(58A)의 내부 공간이 탈기됨으로써, 통 형상 부재(58A)의 내압은 저하되어 통 형상 부재(58A)의 외벽부가 수축하여, 권취부(57A)는 수축 상태로 된다.

권취부(57A)가 팽창 상태로부터 수축 상태로 전환됨으로써, 도 35에 나타내는 바와 같이, 권취부(57A)의 최대 직경은 J2로부터 J1로 감소한다. 스텝 T3에 있어서 형성되는 롤 SR의 내주의 길이는, 스텝 T3에서의 권취부(57A)의 최대 직경 J2를 반경으로 하는 원주의 길이이며, 팽창 상태에서의 권취부(57A)의 외주의 길이에 상당한다.

한편, 권취부(57A)가 수축 상태로 됨으로써, 권취부(57A)의 외주의 길이는 J1을 반경으로 하는 원주의 길이가 된다. 즉, 권취부(57A)를 수축 상태로 전환하여 최대 직경을 감소시킴으로써, 박리 라이너 S의 롤 SR의 내주의 길이와, 권취부(57A)의 외주의 길이에 차가 발생한다. 그 때문에, 도 35에 나타내는 바와 같이, J2를 반경으로 하는 원주와 J1을 반경으로 하는 원주의 길이의 차에 따라, 박리 라이너 S의 롤 SR과 권취부(57A) 사이에 간극부 Vb가 발생한다.

권취부(57A)를 팽창 상태로부터 수축 상태로 전환하면, 권취부(57A)는 중심 Q를 향하여 균일하게 수축한다. 그 때문에, 간극부 Vb는 권취부(57A)의 외주 전체에 걸쳐 균일하게 확대되도록 형성된다. 권취부(57A)와 박리 라이너 S가 접촉하는 부분의 전체에 간극부 Vb가 형성되므로, 박리 라이너 S가 접촉하는 통 형상 부재(58A)의 외주 전체에 있어서, 권취부(57A)와 박리 라이너 S의 롤 SR 사이에 발생하는 마찰력이 소멸 또는 크게 저감된다.

스텝 T6(시트재의 회수)

권취부(57A)의 직경을 저감시켜 권취부(57A)와 박리 라이너 S 사이에 간극부 Vb를 형성시킨 후, 실시예 1과 마찬가지로, 권취부(57A)에 권취되어 있는 박리 라이너 S를 회수한다. 즉 권취부(57A)에 권취되어 축적되어 있는 박리 라이너 S의 롤 SR을, 권취부(57A)의 축 방향(실시예 2에서는 z 방향)으로 인출함으로써 롤 SR을 권취부(57A)로부터 회수한다(도 20을 참조).

스텝 T1부터 T6까지의 일련의 공정에 의해, 박리 라이너 S를 라이너 회수부(15A)의 권취부(57A)로 권취하고, 롤상으로 권취된 박리 라이너 S를 회수하는 조작이 완료된다. 보호 테이프 PT를 소정 매수의 웨이퍼 W에 첩부하는 조작을 속행하는 경우, 스텝 T6으로부터 스텝 T1로 되돌아가서 스텝 T1 내지 스텝 T6의 조작을 되풀이한다.

이와 같이, 실시예 2에 관한 라이너 회수부(15A)는 통 형상 부재(58A)의 내부에 공급하는 기체의 양을 제어하는 최대 직경 조절 기구(61A)를 구비함으로써, 실시예 1에 관한 라이너 회수부(15)와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 즉 기체 공급 장치(80)가 통 형상 부재(58A)의 내부에 공급하는 기체의 양을 제어하여 권취부(57A)를 팽창 상태와 수축 상태 사이에서 적절히 전환함으로써, 권취부(57A)의 최대 직경의 길이를 기계적 제어 하에서 조절할 수 있다.

그리고, 권취부(57A)의 최대 직경이 비교적 긴 상태에서 박리 라이너 S를 권취부(57A)로 권취함으로써, 비교적 내주의 길이가 긴 박리 라이너 S의 롤 SR을 형성시킨다. 롤 SR을 형성시킨 후, 권취부(57A)의 최대 직경을 롤 SR의 형성 전과 비교하여 짧은 길이로 조절함으로써, 박리 라이너 S의 롤 SR과 권취부(57A) 사이의 공간 전체에 걸쳐 간극부 Vb가 형성된다. 그 결과, 권취부(57)와 롤 SR 사이에 발생하는 마찰력을 소멸 또는 크게 저감시킬 수 있으므로 롤 SR을 인출하여 권취부(57A)로부터 분리시키는 조작이 당해 마찰력에 의해 저해되는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

실시예 1에 있어서 돌출 부재(63)를 진퇴 이동시키는 조작과 마찬가지로, 실시예 2에 있어서 통 형상 부재(58A)의 내부에 대한 기체 공급량을 조절하는 조작은, 기계적 제어 하에서 자동적으로 행할 수 있다. 즉 권취부(57A)의 직경을 조절하는 조작을 수동으로 행할 필요가 없으므로, 박리 라이너 S를 용이하게 회수할 수 있는 회수 조작을 실현할 수 있음과 함께, 당해 회수 조작의 각 공정을 보다 고도로 자동화할 수 있다. 또한, 권취부(57)의 직경을 조절하는 조작을 자동화함으로써, 권취부(57)에 대하여 조작자가 힘을 가하는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 권취부(57)의 축이 비뚤어지는 사태나 권취부(57)가 변형되는 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 박리 라이너 S의 텐션에 기인하는 복원력은, 박리 라이너 S로부터 통 형상 부재(58A)에 대하여 권취부(57A)의 직경 방향(외측으로부터 내측으로 향하는 방향)으로 작용한다. 그리고 통 형상 부재(58A)가 팽창 또는 수축하는 방향도 마찬가지로, 권취부(57A)의 직경 방향이다. 따라서, 통 형상 부재(58A)가 팽창 또는 수축하는 동작은, 박리 라이너 S의 텐션에 의해 저해될 일은 없다. 따라서, 박리 라이너 S가 늘어나기 쉬운 재료로 구성되어 있던 경우에도, 권취부(57)의 직경을 조절하는 조작을 고정밀도로 실행할 수 있다.

실시예 1에서는 권취부(57)의 전체 둘레 중, 돌출 부재(63)가 형성되어 있는 부분에 있어서 최대 직경이 D2로부터 D1로 증대한다. 한편, 실시예 2에서는 통 형상 부재(58A)의 전체를 팽창시키므로, 권취부(57A)의 전체 둘레에 걸쳐 권취부(57A)의 최대 직경이 J1로부터 J2로 증대된다. 따라서, 권취부(57A)에 권취되어 형성되는 박리 라이너 S의 롤 SR의 형상은, 직경의 길이에 대하여 치우침이 적은 중공 원통 형상이 된다. 그 때문에, 박리 라이너 S를 권취할 때 박리 라이너 S에 작용하는 텐션의 치우침을 저감시킬 수 있으므로, 라이너 회수부(15A)에 의한 박리 라이너 S의 권취 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.

<다른 실시 형태>

또한, 금회 개시된 실시 형태는, 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시 형태의 설명이 아니고 특허 청구 범위에 의해 나타내어지고, 또한 특허 청구 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경(변형예)이 포함된다. 예로서, 본 발명은 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 각 실시예에서는 시트재 회수 장치로서 라이너 회수부(15)를 예시했지만, 본 발명에 관한 시트재 회수 장치의 구성은 테이프 회수부(13)에도 적용할 수 있다. 즉 테이프 회수부(13)가 구비하는 권취 기구(49)가, 라이너 회수부(15)가 구비하는 권취 기구(51)와 마찬가지의 구성을 구비한다. 이 경우, 테이프 회수부(13)에 있어서 권취 기구(49)가 구비하는 권취부의 직경이 증대한 상태에서 불필요 테이프 PTn을 권취한 후, 권취 기구(49)가 구비하는 권취부의 직경을 저감시켜 권취부와 불필요 테이프 PTn의 롤 사이에 간극부를 형성시킨다. 당해 간극부를 형성시킴으로써, 불필요 테이프 PTn의 롤을 권취 기구(49)로부터 인출하여 회수하는 공정에 있어서, 불필요 테이프 PTn의 롤과 권취 기구(49) 사이에 마찰력이 발생하는 것을 회피할 수 있다. 또한, 불필요 테이프 PTn을 회수하는 공정을 보다 고도로 자동화할 수 있다.

(2) 실시예 1에서는 돌출 부재(63)에 흡착 구멍(69)을 형성시켜, 돌출 부재(63)가 흡착 부재를 겸하는 구성으로 했지만 이에 한정되지는 않는다. 즉 도 36에 나타내는 바와 같이, 통 형상 부재(58)에 있어서 관통 구멍(59)이 형성되어 있는 위치와는 다른 위치에 흡착 구멍(69)을 형성시켜도 된다. 도 36에 나타내는 예에서는, 통 형상 부재(58)의 측면 중 상측에 상당하는 위치에 관통 구멍(59) 및 돌출 부재(63)를 배치시키는 한편, 통 형상 부재(58)의 측면 중 하측에 상당하는 위치에 흡착 구멍(69)이 형성되어 있다.

이러한 구성이어도, 흡착 구멍(69)을 통해 박리 라이너 S의 선단부 St를 권취부(57)에 고정시키면서, 돌출 위치로 이동한 돌출 부재(63)의 외면(상면)과 통 형상 부재(58)의 외주면에 걸쳐 박리 라이너 S를 권회시킴으로써, 박리 라이너 S가 권취되는 둘레의 길이를 증대시키면서 권취부(57)에 박리 라이너 S를 권취시킬 수 있다.

(3) 실시예 1에 있어서, 돌출 부재(63)의 수는 1개로 한정하는 것은 아니고 복수 배치해도 된다. 또한 복수의 돌출 부재(63)를 권취부(57)의 축 방향(z 방향)으로 병렬 배치시켜도 되고, 권취부(57)의 주위 방향에 걸쳐 복수 배치시켜도 된다. 일례로서, 통 형상 부재(58)의 측면 중 상측에 상당하는 위치와 하측에 상당하는 위치에 관통 구멍(59) 및 돌출 부재(63)를 배치시켜도 된다.

(4) 각 실시예에 있어서, 흡착 구멍(69)은 에어 흡인 방식에 의해 박리 라이너 S를 권취부(57)에 흡착 보유 지지하는 구성에 한정되지는 않는다. 일례로서, 정전기를 이용하여 흡착 보유 지지를 행하는, 정전기 흡인 방식에 의해 박리 라이너 S를 권취부(57)에 흡착 보유 지지해도 된다. 정전기 흡인 방식을 채용하는 경우, 흡인 장치(71)는 일례로서 흡착 구멍(69)에 정전기를 대전시키는 장치를 사용할 수 있다.

(5) 각 실시예에 있어서, 스텝 T1을 행하는 타이밍은 스텝 T2 전에 한정하는 것은 아니다. 스텝 T3을 행하기 전에 권취부(57)의 직경을 증대시키면 되고, 스텝 T1의 조작은 스텝 T2와 동시에 행해도 되고, 스텝 T2와 스텝 T3 사이에 행해도 된다.

1: 점착 테이프 첩부 장치
3: 테이프 공급부
4: 텐션 기구
5: 보유 지지 테이블
7: 테이프 첩부 유닛
9: 테이프 절단 유닛
11: 테이프 박리 유닛
13: 테이프 회수부
15: 라이너 회수부
20: 원단 롤
21: 박리 롤러
27: 실린더
28: 유점 롤러
29: 댄서 롤러
31: 웨이퍼 보유 지지부
33: 커터 주행 홈
35: 첩부 롤러
49: 권취 기구
51: 권취 기구
53: 절단 기구
55: 회전 플레이트
57: 권취부
58: 통 형상 부재
59: 관통 구멍
61: 최대 직경 조절 기구
63: 돌출 부재
65: 실린더
67: 모터
69: 흡착 구멍
70: 유로
71: 흡인 장치
72: 커터 홀더
73: 커터
75: 개폐 도어
79: 기체 공급 구멍
80: 기체 공급 장치
W: 웨이퍼(워크)
S: 박리 라이너
PT: 보호 테이프
Vb: 간극부
SR: 롤

Claims (5)

1. 워크에 대하여 조출되어 공급되는 시트재를 권취하여 회수하는 시트재 회수 방법이며,
   권취부에 배치되어 있는 고정 부재에 상기 시트재의 선단을 고정시키는 시트 고정 과정과,
   상기 시트재의 선단이 상기 권취부에 고정된 상태에서 상기 권취부를 회전시켜 상기 시트재를 상기 권취부에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 과정과,
   상기 권취부의 직경을, 상기 권취 과정에서의 상기 권취부의 직경보다 작게 함으로써 상기 권취부와 상기 시트재 사이에 간극부를 형성시키는 간극 형성 과정과,
   상기 시트재의 선단이 상기 권취부에 고정되어 있는 상태를 해제시키는 고정 해제 과정과,
   롤상으로 권취된 상기 시트재를 상기 권취부로부터 발취하여 회수하는 회수 과정을
   구비하는 것을 특징으로 하는 시트재 회수 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 권취부에 배치된 돌출 부재를, 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출시킴으로써 상기 권취부의 직경을 증대시키는 돌출 형성 과정과,
   상기 돌출 형성 과정에 의해 상기 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태를 해제하는 돌출 해제 과정을
   구비하고,
   상기 권취 과정은,
   상기 돌출 형성 과정에 의해 상기 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태에서, 상기 시트재를 상기 권취부에 롤상으로 권취시켜 가고,
   상기 간극 형성 과정은,
   상기 돌출 해제 과정에 의해 상기 돌출 부재가 상기 권취부의 직경 방향으로 돌출된 상태를 해제함으로써, 상기 권취부의 직경을 상기 권취 과정에서의 상기 권취부의 직경보다 작게 하는
   것을 특징으로 하는 시트재 회수 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 고정 부재는, 상기 돌출 부재에 마련되어 있는
   것을 특징으로 하는 시트재 회수 방법.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 시트 고정 과정은,
   에어 흡인 방식 또는 정전기 흡인 방식에 의해 상기 고정 부재가 상기 시트재의 선단을 흡착함으로써, 상기 시트재의 선단을 상기 고정 부재에 고정시키는
   것을 특징으로 하는 시트재 회수 방법.
5. 워크에 대하여 조출되어 공급되는 시트재를 권취하여 회수하는 시트재 회수 장치이며,
   상기 시트재를 권취하는 권취부와,
   상기 권취부에 배치되어 있고 상기 시트재의 선단을 고정시키는 시트 고정 부재와,
   상기 시트재의 선단이 상기 시트 고정 부재에 고정된 상태에서 상기 권취부를 회전시켜 상기 시트재를 상기 권취부에 롤상으로 권취시켜 가는 권취 기구와,
   상기 권취부의 직경을, 상기 권취 기구로 상기 시트재를 상기 권취부에 권취시키는 상태에서의 상기 권취부의 직경보다 작게 함으로써 롤상으로 권취된 상기 시트재와 상기 권취부 사이에 간극부를 형성시키는 간극 형성 기구와,
   상기 시트재의 선단이 상기 시트 고정 부재에 고정되어 있는 상태를 해제시키는 고정 해제 기구를
   구비하는 것을 특징으로 하는 시트재 회수 장치.

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