JP4656634B2 - フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 - Google Patents
フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 Download PDFInfo
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Description
被着体にフイルムを貼り付けるフイルム貼付装置であって、帯状の剥離シートに帯状のフイルムが仮着された原反をロール状に巻回した状態で支持する原反支持手段と、上記剥離シートとフイルムとを一旦剥離し、再接合する迂回手段と、上記再接合した剥離シートとフイルムとを同時に巻き取る巻取手段と、上記迂回手段で剥離した上記フイルムを上記被着体に貼り付ける貼付手段と、上記貼付手段で貼り付けた上記フイルムを所定形状に切り抜く切断手段と、を有し、上記迂回手段は、上記切断手段で所定形状に切り抜かれた切り抜き穴を上記剥離シートで塞ぐように上記剥離シートとフイルムとを再接合可能に設けられていることを特徴とする。
2 原反支持軸(原反支持手段)
5 剥離ローラ
6 プレスローラ
7 受ローラ
8 第1の迂回ローラ
9 第2の迂回ローラ
13 巻取ローラ
24 切断手段
25 カッタ刃
A 原反
A1 剥離シート
A2 フイルム
B 被着体
B1 半導体ウエハ
C 切り抜き穴
S1 フイルム貼付ステージ
Claims (4)
- 被着体にフイルムを貼り付けるフイルム貼付装置であって、
帯状の剥離シートに帯状のフイルムが仮着された原反をロール状に巻回した状態で支持する原反支持手段と、
上記剥離シートとフイルムとを一旦剥離し、再接合する迂回手段と、
上記再接合した剥離シートとフイルムとを同時に巻き取る巻取手段と、
上記迂回手段で剥離した上記フイルムを上記被着体に貼り付ける貼付手段と、
上記貼付手段で貼り付けた上記フイルムを所定形状に切り抜く切断手段と、を有し、
上記迂回手段は、上記切断手段で所定形状に切り抜かれた切り抜き穴を上記剥離シートで塞ぐように上記剥離シートとフイルムとを再接合可能に設けられていること
を特徴とするフイルム貼付装置。 - 上記迂回手段は、プレスローラと受けローラとを含み、上記剥離シートとフイルムとを再接合可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフイルム貼付装置。
- 上記プレスローラは、上記被着体に上記フイルムを押圧して貼付する貼付ローラとして機能することを特徴とする請求項2に記載のフイルム貼付装置。
- 被着体にフイルムを貼り付けるフイルム貼付方法であって、
仮着の状態で接合している帯状の剥離シートと帯状のフイルムとを一旦剥離し、
上記剥離したフイルムを被着体に貼り付け、
上記貼り付けたフイルムを所定形状に切り抜き、
上記切り抜きにより切り抜かれた切り抜き穴を上記剥離シートで塞ぐように上記剥離シートとフイルムとを再接合し、
上記再接合したフイルムと剥離シートとを同時に巻き取ること
を特徴とするフイルム貼付方法。
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Family
ID=37023602
Family Applications (1)
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---|---|---|---|---|
JPS6251561A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-06 | Nec Corp | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
JPH0714807A (ja) * | 1993-06-24 | 1995-01-17 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保護テープ自動貼付け装置 |
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- 2005-03-24 JP JP2005085458A patent/JP4656634B2/ja active Active
-
2006
- 2006-03-10 WO PCT/JP2006/304691 patent/WO2006100931A1/ja active Application Filing
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6251561A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-06 | Nec Corp | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
JPH0714807A (ja) * | 1993-06-24 | 1995-01-17 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保護テープ自動貼付け装置 |
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JP2006269723A (ja) | 2006-10-05 |
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