KR20230048405A - 기판 유지 핸드 및 기판 반송 로봇 - Google Patents

기판 유지 핸드 및 기판 반송 로봇 Download PDF

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KR20230048405A
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잇페이 시미즈
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가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
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Abstract

이 기판 유지 핸드 (1) 는, 기판 (W) 을 지지하는 지지부 (311, 312) 를 포함하는 블레이드 (31) 와, 기판을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압 부재 (32a, 33a) 를 포함하는 가동 가압 유닛 (32, 33) 과, 가압 부재의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구 (34, 35, 36, 37) 를 구비하고 있다.

Description

기판 유지 핸드 및 기판 반송 로봇
이 발명은, 기판 유지 핸드 및 기판 반송 로봇에 관한 것으로서, 가동 가압 유닛을 구비하는 기판 유지 핸드 및 기판 반송 로봇에 관한 것이다.
종래, 가동 가압 유닛을 구비하는 기판 유지 핸드가 알려져 있다. 이와 같은 핸드는, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2013-69914호에 개시되어 있다.
상기 일본 공개특허공보 2013-69914호에는, 기판을 반송하기 위한 기판 반송용 핸드 (기판 유지 핸드) 가 개시되어 있다. 이 기판 반송용 핸드는, 기판을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압부를 포함하는 가동 가압 유닛을 구비하고 있다.
또, 상기 일본 공개특허공보 2013-69914호에는 명기되어 있지 않지만, 상기 일본 공개특허공보 2013-69914호에 기재되는 바와 같은 종래의 기판 반송용 핸드에서는, 설계 위치에 배치된 기판을 가압하도록, 가압부가 형성되어 있는 것으로 생각된다.
일본 공개특허공보 2013-69914호
그러나, 상기 종래의 기판 반송용 핸드에서는, 가압부에 의해 가압하는 실제의 기판의 위치가, 원래 상정되어 있던 설계 위치에 대하여 어긋나 있는 경우, 실제의 기판의 위치에 맞춰, 가압부에 의해 기판을 가압하는 것이 곤란하다. 즉, 가압부 (가압 부재) 에 의해 실제의 기판을 적절히 가압하는 것이 곤란하다는 문제점이 있다.
이 발명의 과제 (목적) 는, 가압 부재에 의해 가압하는 실제의 기판의 위치가, 원래 상정되어 있던 설계 위치에 대하여 어긋나 있는 경우에도, 가압 부재에 의해 기판을 적절히 가압하는 것이 가능한 기판 유지 핸드 및 기판 반송 로봇을 제공하는 것이다.
이 발명의 제 1 국면에 의한 기판 유지 핸드는, 기판을 지지하는 지지부를 포함하는 블레이드와, 기판을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압 부재를 포함하는 가동 가압 유닛과, 가압 부재의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구를 구비한다.
이 발명의 제 2 국면에 의한 기판 반송 로봇은, 기판 유지 핸드와, 기판 유지 핸드를 이동시키는 아암을 구비하고, 기판 유지 핸드는, 기판을 지지하는 지지부를 포함하는 블레이드와, 기판을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압 부재를 포함하는 가동 가압 유닛과, 가압 부재의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구를 포함한다.
본 발명에 의하면, 상기와 같이, 가압 부재의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구를 형성함으로써, 가압 부재에 의해 가압하는 실제의 기판의 위치에 맞춰, 가압 부재의 기울기를 적절한 기울기로 조정할 수 있으므로, 가압 부재에 의해 가압하는 실제의 기판의 위치가, 원래 상정되어 있던 설계 위치에 대하여 어긋나 있는 경우에도, 가압 부재에 의해 기판을 적절히 가압할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 4 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 제 1 가동 가압 유닛의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 5 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 제 1 가동 가압 유닛의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 6(A), 도 6(B) 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 제 1 가동 가압 유닛의 가압 부재의 XY 평면 내에 있어서의 기울기의 조정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7(A), 도 7(B) 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 제 1 가동 가압 유닛의 가압 부재의 YZ 평면 내에 있어서의 기울기의 조정을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 제 2 가동 가압 유닛의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 9 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 제 2 가동 가압 유닛의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 10 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 가동 지지 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 11 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 가동 지지 유닛의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 12 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 유지 핸드의 가동 지지 유닛의 지지 부재의 교환을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명을 구체화한 본 발명의 일 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1 ∼ 도 12 를 참조하여, 본 실시형태에 의한 기판 반송 로봇 (100) 의 구성에 대해 설명한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 로봇 (100) 은, 기판 유지 핸드 (1) 와, 기판 유지 핸드 (1) 를 이동시키는 아암 (2) 을 구비하고 있다. 도 2 ∼ 도 12 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 핸드 (1) 는, 기판 (W) 을 지지하는 지지부 (311 및 312) 를 포함하는 블레이드 (31) 와, 기판 (반도체 웨이퍼) (W) 을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압 부재 (32a (33a)) 를 포함하는 가동 가압 유닛 (32 (33)) 과, 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구 (34 및 35 (36, 37)) 를 포함하고 있다.
본 실시형태에 의하면, 상기와 같이, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구 (34 및 35 (36, 37)) 를 형성함으로써, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 가압하는 실제의 기판 (W) 의 위치에 맞춰, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 적절한 기울기로 조정할 수 있으므로, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 가압하는 실제의 기판 (W) 의 위치가, 원래 상정되어 있던 설계 위치에 대하여 어긋나 있는 경우에도, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 적절히 가압할 수 있다.
기판 유지 핸드 (1) 는, 도 2 ∼ 도 9 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 (31) 와, 가동 가압 유닛 (32 및 33) 과, 기울기 조정 기구 (34, 35, 36 및 37) 를 구비하고 있다.
도 3 ∼ 도 9 에 나타내는 바와 같이, 기울기 조정 기구 (34 (35)) 는, 가압 부재 (32a) 를 소정의 회전 축선 (C1 (C2)) 둘레로 회전시킴으로써, 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정 가능하다. 기울기 조정 기구 (36 (37)) 는, 가압 부재 (33a) 를 소정의 회전 축선 (C3 (C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 가압 부재 (33a) 의 기울기를 조정 가능하다. 또한, 도 6 및 도 7 에서는, 이해의 용이화를 위해, 가압 부재 (32a) 의 기울기의 조정을 과장하여 도시하고 있다.
기울기 조정 기구 (34 (35)) 는, 가압 부재 (32a) 를 소정의 회전 축선 (C1 (C2)) 둘레로 회전 가능하게 지지하는 기울기 조정 핀 (34a (35a)) 을 포함하고, 기울기 조정 핀 (34a (35a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a) 를 소정의 회전 축선 (C1 (C2)) 둘레로 회전시킴으로써, 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정 가능하다. 기울기 조정 기구 (36 (37)) 는, 가압 부재 (33a) 를 소정의 회전 축선 (C3 (C4)) 둘레로 회전 가능하게 지지하는 기울기 조정 핀 (36a (37a)) 을 포함하고, 기울기 조정 핀 (36a (37a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (33a) 를 소정의 회전 축선 (C3 (C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 가압 부재 (33a) 의 기울기를 조정 가능하다. 또한, 기울기 조정 핀 (34a 및 36a) 은, 청구의 범위의「제 1 기울기 조정 핀」의 일례이다. 또, 기울기 조정 핀 (35a 및 37a) 은, 청구의 범위의「제 2 기울기 조정 핀」의 일례이다.
기울기 조정 핀 (34a (36a)) 은, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 기울기 조정 기구 (34 (36)) 는, 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되는 회전 축선 (C1 (C3)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다.
가압 부재 (32a (33a)) 는, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 를 포함하고 있다. 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 은, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 에 대응하는 1 쌍의 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 을 포함하고 있다. 기울기 조정 기구 (34 (36)) 는, 1 쌍의 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 의 각각을 회전 중심으로 하여 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 각각을 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되는 회전 축선 (C1 (C3)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 가 서로 가까워지거나 또는 서로 떨어지도록, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서의 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다.
기울기 조정 핀 (35a (37a)) 은, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행이고, 또한 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향 (Y 방향) 에 직교하는 방향 (X 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 기울기 조정 기구 (35 (37)) 는, 기울기 조정 핀 (35a (37a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행이고, 또한 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향 (Y 방향) 에 직교하는 방향 (X 방향) 으로 연장되는 회전 축선 (C2 (C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내 (YZ 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다.
블레이드 (31) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 나열된 복수 (4 개) 의 블레이드 (31) 를 포함하고 있다. 가압 부재 (32a (33a)) 는, 복수의 블레이드 (31) 에 각각 배치된 기판 (W) 을 공통으로 가압한다. 기울기 조정 기구 (35 (37)) 는, 기울기 조정 핀 (35a (37a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행이고, 또한 가동 가압 유닛의 진퇴 방향 (Y 방향) 에 직교하는 방향 (X 방향) 으로 연장되는 회전 축선 (C2 (C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 을 따른 복수 (4 개) 의 기판 (W) 의 각각의 외주 가장자리 (Wa) 에 의해 형성되는 기울기를 따르도록, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내 (YZ 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 핸드 (1) 는, 기판 (W) 을 지지하기 위한 진퇴 이동하는 지지 부재 (38a) 를 포함하는 가동 지지 유닛 (38) 을 추가로 구비하고 있다. 지지부 (311 및 312) 는, 블레이드 (31) 의 선단부 (31a) 측 (Y1 방향측) 에 형성된 전측 지지부 (311) 와, 블레이드 (31) 의 기단부 (31b) 측 (Y2 방향측) 에 형성된 후측 지지부 (312) 를 갖고 있다. 가동 지지 유닛 (38) 은, 전측 지지부 (311) 와 함께 기판 (W) 을 지지한다. 가동 가압 유닛 (32 및 33) 은, 전측 지지부 (311) 와 가동 지지 유닛 (38) 에 의해 지지된 기판 (W) 을 가압하기 위한 제 1 가동 가압 유닛 (32) 과, 전측 지지부 (311) 와 후측 지지부 (312) 에 의해 지지된 기판 (W) 을 가압하기 위한 제 2 가동 가압 유닛 (33) 을 포함하고 있다.
1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 에서 보아, 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향 (Y 방향) 으로 연장되는 중심선 (L1) 에 대하여, 대칭의 위치에 배치되어 있고, 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향 (Y 방향) 으로 연장되는 중심선 (L1) 에 대하여, 대칭의 위치에서 기판 (W) 을 가압해도 되지만, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 배치는, 이것에 한정되지 않는다. 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 는, 기판 (W) 의 원호 상의 임의의 2 점에서 기판 (W) 을 가압하면 된다. 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 가 기판 (W) 의 원호 상의 임의의 2 점에서 기판 (W) 을 가압하면, 벡터를 분산시킬 수 있으므로, 기판 (W) 이 블레이드 (31) 에 첩부되어 버린 경우에도 대응할 수 있다 (기판 (W) 을 가압하여 적절히 움직일 수 있다).
도 10 ∼ 도 12 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (38a) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 나열되도록 배치되고, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 나열된 복수 (4 개) 의 기판 (W) 을 각각 지지하는 복수 (4 개) 의 지지 부재 (38a) 를 포함하고 있다. 가동 지지 유닛 (38) 은, 복수 (4 개) 의 지지 부재 (38a) 중, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 에 있어서의 단부의 지지 부재 (1 단째 또는 4 단째의 지지 부재) (38a) 를 장착한 상태에서, 중간의 지지 부재 (2 단째 또는 3 단째의 지지 부재) (38a) 를 교환 가능하다.
가동 지지 유닛 (38) 은, 지지 부재 (38a) 가 각각 장착되는 복수의 장착 부재 (38b) 를 추가로 포함하고 있다. 중간의 지지 부재 (2 단째 또는 3 단째의 지지 부재) (38a) 의 장착 부재 (38b) 는, 체결 부재 (38c) 를 통하여 단부의 지지 부재 (1 단째 또는 4 단째의 지지 부재) (38a) 의 장착 부재 (38b) 에 고정되어 있다. 가동 지지 유닛 (38) 은, 체결 부재 (38c) 를 분리함으로써, 단부의 지지 부재 (1 단째 또는 4 단째의 지지 부재) (38a) 의 장착 부재 (38b) 로부터 중간의 지지 부재 (2 단째 또는 3 단째의 지지 부재) (38a) 의 장착 부재 (38b) 를 분리함으로써, 단부의 지지 부재 (1 단째 또는 4 단째의 지지 부재) (38a) 를 장착한 상태에서, 중간의 지지 부재 (2 단째 또는 3 단째의 지지 부재) (38a) 를 교환 가능하다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 아암 (2) 은, 수평 다관절 로봇 아암이다. 아암 (2) 은, 제 1 아암 (2a) 과 제 2 아암 (2b) 을 포함하고 있다. 제 1 아암 (2a) 은, 일방 단부를 회동 (回動) 중심으로 하여 후술하는 베이스 (5) 에 대하여 회동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 제 1 아암 (2a) 의 일방 단부는, 제 1 관절을 통하여 베이스 (5) 에 회동 가능하게 접속되어 있다. 제 2 아암 (2b) 은, 일방 단부를 회동 중심으로 하여 제 1 아암 (2a) 에 대하여 회동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 제 2 아암 (2b) 의 일방 단부는, 제 2 관절을 통하여 제 1 아암 (2a) 의 타방 단부에 회동 가능하게 접속되어 있다. 또, 제 2 아암 (2b) 의 타방 단부에는, 제 3 관절을 통하여 기판 유지 핸드 (1) 가 회동 가능하게 접속되어 있다. 제 1 관절, 제 2 관절 및 제 3 관절의 각 관절에는, 회전 구동의 구동원인 서보 모터와, 서보 모터의 출력축의 회전 위치를 검출하는 회전 위치 센서와, 서보 모터의 출력을 관절에 전달하는 동력 전달 기구를 포함하는 구동 기구가 형성되어 있다.
또, 기판 반송 로봇 (100) 은, 아암 (2) 이 장착되는 베이스 (5) 와, 베이스 (5) 가 장착되는 아암 승강 기구 (6) 를 추가로 구비하고 있다. 베이스 (5) 는, 일방 단부가 제 1 아암 (2a) 의 일방 단부에 접속됨과 함께, 타방 단부가 아암 승강 기구 (6) 에 접속되도록 구성되어 있다. 아암 승강 기구 (6) 는, 베이스 (5) 를 승강시킴으로써, 아암 (2) 을 승강시키도록 구성되어 있다. 아암 승강 기구 (6) 는, 승강 구동의 구동원인 서보 모터와, 서보 모터의 출력축의 회전 위치를 검출하는 회전 위치 센서와, 서보 모터의 출력을 베이스 (5) (아암 (2)) 에 전달하는 동력 전달 기구를 포함하고 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 핸드 (1) 에는, 복수 (4 개) 의 블레이드 (31) 가 형성되어 있다. 즉, 기판 유지 핸드 (1) 는, 복수 (4 개) 의 기판 (W) 을 반송 가능 (유지 가능) 하게 구성되어 있다.
블레이드 (31) 는, 기판 (W) 을 지지하는 박판상의 지지판이다. 블레이드 (31) 는, 선단부 (31a) 측이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 블레이드 (31) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 부분의 각각에, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 가 할당되어 형성되어 있다. 1 쌍의 전측 지지부 (311) 는, 서로 상이한 높이로 형성된 복수 (2 개) 의 지지면을 갖고 있다. 또, 1 쌍의 후측 지지부 (312) 는, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 의 하측 (Z2 방향측) 의 지지면과 대략 동일한 높이로 형성된 지지면을 갖고 있다. 또한,「높이」란, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 에 있어서의, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 으로부터의 거리를 의미하고 있다.
1 쌍의 전측 지지부 (311) 와 1 쌍의 후측 지지부 (312) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 상에 형성되어 있다. 1 쌍의 전측 지지부 (311) 와 1 쌍의 후측 지지부 (312) 의 각 지지면은, 대략 원형상의 기판 (W) 의 외주 가장자리부의 이면 (Z2 방향측의 면) 을 하측으로부터 지지하도록 구성되어 있다.
도 2 ∼ 도 12 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지 핸드 (1) 는, 제 1 가동 가압 유닛 (32) 과, 제 2 가동 가압 유닛 (33) 과, 가동 지지 유닛 (38) 을 구비하고 있다.
도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 제 1 가동 가압 유닛 (32) 은, 가압 부재 (32a) 와, 가압 부재 (32a) 를 Y 방향으로 진퇴 이동시키기 위한 액추에이터로서의 에어 실린더 (32b) 와, 가압 부재 (32a) 가 장착됨과 함께, 가압 부재 (32a) 와 에어 실린더 (32b) 를 접속시키는 장착부 (32c) 를 갖고 있다. 제 1 가동 가압 유닛 (32) 은, 에어 실린더 (32b) 에 의해, 장착부 (32c) 를 개재하여 가압 부재 (32a) 를 Y1 방향으로 전진시켜, 기판 (W) 을 가압하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 또, 제 1 가동 가압 유닛 (32) 은, 에어 실린더 (32b) 에 의해, 장착부 (32c) 를 개재하여 가압 부재 (32a) 를 Y2 방향으로 후퇴시켜, 기판 (W) 을 가압하지 않는 퇴피 위치에 배치시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다.
가압 부재 (32a) 는, X 방향으로 나열된 1 쌍의 가압 부재 (32a) 를 포함하고 있다. 1 쌍의 가압 부재 (32a) 는, 복수의 블레이드 (31) 에 지지된 복수의 기판 (W) 을 일괄하여 가압하는 것이 가능하도록, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 에어 실린더 (32b) 는, Y 방향으로 진퇴 이동하는 로드를 갖고 있다. 에어 실린더 (32b) 의 로드는, 장착부 (32c) 의 기단부에 접속되어 있다. 장착부 (32c) 는, 선단부측 (Y1 방향측) 이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 장착부 (32c) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 부분의 각각에, 1 쌍의 가압 부재 (32a) 가 할당되어 형성되어 있다.
장착부 (32c) 는, 가압 부재 (32a) 가 각각 장착되는 1 쌍의 제 1 장착 부재 (321) 와, 1 쌍의 제 1 장착 부재 (321) 가 장착되는 제 2 장착 부재 (322) 를 갖고 있다. 제 1 장착 부재 (321) 는, 가압 부재 (32a) 가 장착되는 제 1 부분 (321a) 과, 제 2 장착 부재 (322) 에 장착되는 제 2 부분 (321b) 을 갖고 있다. 제 1 부분 (321a) 은, 가압 부재 (32a) 와 대략 동일한 길이이고, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 또, 제 1 부분 (321a) 에는, 체결 부재 (35b) 에 의해, 가압 부재 (32a) 가 고정되어 있다.
기울기 조정 기구 (35) 는, 체결 부재 (35b) 를 포함하고 있다. 기울기 조정 기구 (35) 는, 체결 부재 (35b) 를 푼 상태에서, 기울기 조정 핀 (35a) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a) 를, 회전 축선 (C2) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내 (YZ 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정 가능하다 (도 7 참조). 또, 기울기 조정 기구 (35) 는, 기울기 조정 핀 (35a) 에 의해 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내 (YZ 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정한 상태에서, 체결 부재 (35b) 를 조임으로써, 가압 부재 (32a) 의 기울기를 고정시키도록 구성되어 있다. 체결 부재 (35b) 는, 기울기 조정 핀 (35a) 이 연장되는 방향과 평행한 방향 (X 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 또, 기울기 조정 핀 (35a) 은, 가압 부재 (32a) 및 제 1 장착 부재 (321) 의 제 1 부분 (321a) 에 X 방향으로 삽입되어 있다.
제 1 장착 부재 (321) 의 제 2 부분 (321b) 은, 제 1 부분 (321a) 에서 에어 실린더 (32b) 측 (Y2 방향측) 을 향하여 연장되도록 형성되어 있다. 또, 제 2 부분 (321b) 은, 제 2 장착 부재 (322) 에 장착되어 있다. 또, 제 2 장착 부재 (322) 는, 선단부측 (Y1 방향측) 이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 제 2 장착 부재 (322) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 선단 부분의 각각에, 제 1 장착 부재 (321) 가 체결 부재 (34b) 에 의해 고정되어 있다.
기울기 조정 기구 (34) 는, 체결 부재 (34b) 를 포함하고 있다. 기울기 조정 기구 (34) 는, 체결 부재 (34b) 를 푼 상태에서, 기울기 조정 핀 (34a) 을 회전 중심으로 하여 제 1 장착 부재 (321) 및 가압 부재 (32a) 를, 회전 축선 (C1) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정 가능하다 (도 6 참조). 또, 기울기 조정 기구 (34) 는, 기울기 조정 핀 (34a) 에 의해 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (32a) 의 기울기를 조정한 상태에서, 체결 부재 (34b) 를 조임으로써, 가압 부재 (32a) 의 기울기를 고정시키도록 구성되어 있다. 체결 부재 (34b) 는, 기울기 조정 핀 (34a) 이 연장되는 방향과 평행한 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 또, 기울기 조정 핀 (34a) 은, 제 1 장착 부재 (321) 의 제 2 부분 (321b) 및 제 2 장착 부재 (322) 에 Z 방향으로 삽입되어 있다.
도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 2 가동 가압 유닛 (33) 은, 가압 부재 (33a) 와, 가압 부재 (33a) 를 Y 방향으로 진퇴 이동시키기 위한 액추에이터로서의 에어 실린더 (33b) 와, 가압 부재 (33a) 가 장착됨과 함께, 가압 부재 (33a) 와 에어 실린더 (33b) 를 접속시키는 장착부 (33c) 를 갖고 있다. 제 2 가동 가압 유닛 (33) 은, 에어 실린더 (33b) 에 의해, 장착부 (33c) 를 개재하여 가압 부재 (33a) 를 Y1 방향으로 전진시켜, 기판 (W) 을 가압하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 또, 제 2 가동 가압 유닛 (33) 은, 에어 실린더 (33b) 에 의해, 장착부 (33c) 를 개재하여 가압 부재 (33a) 를 Y2 방향으로 후퇴시켜, 기판 (W) 을 가압하지 않는 퇴피 위치에 배치시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다.
가압 부재 (33a) 는, X 방향으로 나열된 1 쌍의 가압 부재 (33a) 를 포함하고 있다. 1 쌍의 가압 부재 (33a) 는, 복수의 블레이드 (31) 에 지지된 복수의 기판 (W) 을 일괄하여 가압하는 것이 가능하도록, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 에어 실린더 (33b) 는, Y 방향으로 진퇴 이동하는 로드를 갖고 있다. 에어 실린더 (33b) 의 로드는, 장착부 (33c) 의 기단부에 접속되어 있다. 장착부 (33c) 는, 선단부측 (Y1 방향측) 이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 장착부 (33c) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 부분의 각각에, 1 쌍의 가압 부재 (33a) 가 할당되어 형성되어 있다.
장착부 (33c) 는, 가압 부재 (33a) 가 각각 장착되는 1 쌍의 제 1 장착 부재 (331) 와, 1 쌍의 제 1 장착 부재 (331) 가 장착되는 제 2 장착 부재 (332) 를 갖고 있다. 제 1 장착 부재 (331) 는, 가압 부재 (33a) 가 장착되는 제 1 부분 (331a) 과, 제 2 장착 부재 (332) 에 장착되는 제 2 부분 (331b) 을 갖고 있다. 제 1 부분 (331a) 은, 가압 부재 (33a) 와 대략 동일한 길이이고, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 또, 제 1 부분 (331a) 에는, 체결 부재 (37b) 에 의해, 가압 부재 (33a) 가 고정되어 있다.
기울기 조정 기구 (37) 는, 체결 부재 (37b) 를 포함하고 있다. 기울기 조정 기구 (37) 는, 체결 부재 (37b) 를 푼 상태에서, 기울기 조정 핀 (37a) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (33a) 를, 회전 축선 (C4) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내 (YZ 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (33a) 의 기울기를 조정 가능하다 (도 7 참조). 또, 기울기 조정 기구 (37) 는, 기울기 조정 핀 (37a) 에 의해 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내 (YZ 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (33a) 의 기울기를 조정한 상태에서, 체결 부재 (37b) 를 조임으로써, 가압 부재 (33a) 의 기울기를 고정시키도록 구성되어 있다. 체결 부재 (37b) 는, 기울기 조정 핀 (37a) 이 연장되는 방향과 평행한 방향 (X 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 또, 기울기 조정 핀 (37a) 은, 가압 부재 (33a) 및 제 1 장착 부재 (331) 의 제 1 부분 (331a) 에 X 방향으로 삽입되어 있다.
제 1 장착 부재 (331) 의 제 2 부분 (331b) 은, 제 1 부분 (331a) 에서 에어 실린더 (33b) 측 (Y2 방향측) 을 향하여 연장되도록 형성되어 있다. 또, 제 2 부분 (331b) 은, 제 2 장착 부재 (332) 에 장착되어 있다. 또, 제 2 장착 부재 (332) 는, 선단부측 (Y1 방향측) 이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 제 2 장착 부재 (332) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 선단 부분의 각각에, 제 1 장착 부재 (331) 가 체결 부재 (36b) 에 의해 고정되어 있다.
기울기 조정 기구 (36) 는, 체결 부재 (36b) 를 포함하고 있다. 기울기 조정 기구 (36) 는, 체결 부재 (36b) 를 푼 상태에서, 기울기 조정 핀 (36a) 을 회전 중심으로 하여 제 1 장착 부재 (331) 및 가압 부재 (33a) 를, 회전 축선 (C3) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (33a) 의 기울기를 조정 가능하다 (도 6 참조). 또, 기울기 조정 기구 (36) 는, 기울기 조정 핀 (36a) 에 의해 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내 (XY 면 내) 에 있어서의 가압 부재 (33a) 의 기울기를 조정한 상태에서, 체결 부재 (36b) 를 조임으로써, 가압 부재 (33a) 의 기울기를 고정시키도록 구성되어 있다. 체결 부재 (36b) 는, 기울기 조정 핀 (36a) 이 연장되는 방향과 평행한 방향 (Z 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 또, 기울기 조정 핀 (36a) 은, 제 1 장착 부재 (331) 의 제 2 부분 (331b) 및 제 2 장착 부재 (332) 에 Z 방향으로 삽입되어 있다.
도 10 ∼ 도 12 에 나타내는 바와 같이, 가동 지지 유닛 (38) 은, 지지 부재 (38a) 와, 지지 부재 (38a) 를 Y 방향으로 진퇴 이동시키기 위한 액추에이터로서의 에어 실린더 (38d) 와, 지지 부재 (38a) 가 장착됨과 함께, 지지 부재 (38a) 와 에어 실린더 (38d) 를 접속시키는 장착부 (38e) 를 갖고 있다. 가동 지지 유닛 (38) 은, 에어 실린더 (38d) 에 의해, 장착부 (38e) 를 개재하여 지지 부재 (38a) 를 Y1 방향으로 전진시켜, 기판 (W) 을 지지하는 지지 위치에 배치시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 또, 가동 지지 유닛 (38) 은, 에어 실린더 (38d) 에 의해, 장착부 (38e) 를 개재하여 지지 부재 (38a) 를 Y2 방향으로 후퇴시켜, 기판 (W) 을 지지하지 않는 퇴피 위치에 배치시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다.
지지 부재 (38a) 는, X 방향으로 나열된 1 쌍의 지지 부재 (38a) 를 포함하고 있다. 1 쌍의 지지 부재 (38a) 는, 블레이드 (31) 의 수에 대응하는 수 (4 세트) 만큼, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 으로 나열되어 형성되어 있다. 또, 1 쌍의 지지 부재 (38a) 는, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 의 상측 (Z1 방향측) 의 지지면과 대략 동일한 높이로 형성된 지지면을 갖고 있다. 1 쌍의 지지 부재 (38a) 의 각 지지면은, 대략 원형상의 기판 (W) 의 외주 가장자리부의 이면 (Z2 방향측의 면) 을 하측으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 에어 실린더 (38d) 는, Y 방향으로 진퇴 이동하는 로드를 갖고 있다. 에어 실린더 (38d) 의 로드는, 장착부 (38e) 의 기단부에 접속되어 있다. 장착부 (38e) 는, 선단부측 (Y1 방향측) 이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 장착부 (38e) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 부분의 각각에, 1 쌍의 지지 부재 (38a) 가 할당되어 형성되어 있다.
장착부 (38e) 는, 장착 부재 (38b) 와, 장착 부재 (38b) 가 장착되는 장착 부재 (38f) 를 갖고 있다. 장착 부재 (38b) 는, 지지 부재 (38a) 가 상면에 장착되는 플레이트상의 대좌부를 갖고 있다. 장착 부재 (38b) 의 대좌부는, 가동 지지 유닛 (38) 의 진퇴 방향 (Y 방향) 으로 연장되도록 형성되어 있다. 장착 부재 (38f) 는, 선단부측 (Y1 방향측) 이 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있다. 장착 부재 (38f) 에서는, 두 갈래로 나뉘어진 선단 부분의 각각에, 지지 부재 (38a) 및 장착 부재 (38b) 가 형성되어 있다.
상측 (Z1 방향측) 의 단부의 지지 부재 (1 단째의 지지 부재) (38a) 는, 체결 부재 (38g) 를 통하여 장착 부재 (38f) 에 고정되어 있다. 또, 상측 (Z1 방향측) 의 중간의 지지 부재 (2 단째의 지지 부재) (38a) 는, 상측 (Z1 방향측) 의 체결 부재 (38c) 를 통하여 상측 (Z1 방향측) 의 단부의 지지 부재 (1 단째의 지지 부재) (38a) 에 고정되어 있다. 체결 부재 (38g) 와 상측 (Z1 방향측) 의 체결 부재 (38c) 는, 분리용의 공구 (육각 렌치 등) 가 걸어 맞춰지는 헤드부가 상측 (Z1 방향측) 으로 노출되어 있다.
또, 하측 (Z2 방향측) 의 단부의 지지 부재 (4 단째의 지지 부재) (38a) 는, 체결 부재 (38h) 를 통하여 스페이서부 (38i) 에 고정되어 있다. 스페이서부 (38i) 는, 체결 부재 (38h) 를 통하여, 상측 (Z1 방향측) 의 단부의 지지 부재 (1 단째의 지지 부재) (38a) 와 함께 장착 부재 (38f) 에 고정되어 있다. 또, 하측 (Z2 방향측) 의 중간의 지지 부재 (3 단째의 지지 부재) (38a) 는, 하측 (Z2 방향측) 의 체결 부재 (38c) 를 통하여 하측 (Z2 방향측) 의 단부의 지지 부재 (4 단째의 지지 부재) (38a) 에 고정되어 있다. 체결 부재 (38h) 와 하측 (Z2 방향측) 의 체결 부재 (38c) 는, 분리용의 공구 (육각 렌치 등) 가 걸어 맞춰지는 헤드부가 하측 (Z2 방향측) 으로 노출되어 있다.
가동 지지 유닛 (38) 은, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 에 있어서의 일방측 (Z1 방향측, 상측) 및 타방측 (Z2 방향측, 하측) 의 양측에 있어서, 단부의 지지 부재 (38a) 를 장착부 (38e) 의 본체에 장착한 상태에서, 중간의 지지 부재 (38a) 를 분리 가능하다. 또, 가동 지지 유닛 (38) 은, 체결 부재 (38g) 를 분리함으로써, 복수 (4 개) 의 장착 부재 (38b) 를 장착 부재 (38f) 로부터 분리함으로써, 복수 (4 개) 의 지지 부재 (38a) 를 분리 가능하다. 또, 가동 지지 유닛 (38) 은, 체결 부재 (38h) 를 분리함으로써, 하측 (Z2 방향측) 의 단부의 지지 부재 (38a) 의 장착 부재 (38b) 와 하측 (Z2 방향측) 의 중간의 지지 부재 (38a) 의 장착 부재 (38b) 를 분리함으로써, 하측 (Z2 방향측) 의 단부의 지지 부재 (38a) 와 하측 (Z2 방향측) 의 중간의 지지 부재 (38a) 를 분리 가능하다.
또, 기판 유지 핸드 (1) 에서는, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 의 상측 (Z1 방향측) 의 지지면과 가동 지지 유닛 (38) 의 1 쌍의 지지 부재 (38a) 의 지지면은, 처리 후 (세정 후) 의 기판 (W) 을 지지한다. 그리고, 제 1 가동 가압 유닛 (32) 의 1 쌍의 가압 부재 (32a) 는, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 의 상측 (Z1 방향측) 의 지지면과 가동 지지 유닛 (38) 의 1 쌍의 지지 부재 (38a) 의 지지면에 의해 지지된, 처리 후 (세정 후) 의 기판 (W) 을 가압한다.
또, 기판 유지 핸드 (1) 에서는, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 의 하측 (Z2 방향측) 의 지지면과 1 쌍의 후측 지지부 (312) 의 지지면은, 처리 전 (세정 전) 의 기판 (W) 을 지지한다. 그리고, 제 2 가동 가압 유닛 (33) 의 1 쌍의 가압 부재 (33a) 는, 1 쌍의 전측 지지부 (311) 의 하측 (Z2 방향측) 의 지지면과 1 쌍의 후측 지지부 (312) 의 지지면에 의해 지지된, 처리 전 (세정 전) 의 기판 (W) 을 가압한다. 1 쌍의 전측 지지부 (311) 와 1 쌍의 후측 지지부 (312) 와 가동 지지 유닛 (38) 과 제 1 가동 가압 유닛 (32) 과 제 2 가동 가압 유닛 (33) 은, 처리 전 (세정 전) 의 기판 (W) 과 처리 후 (세정 후) 의 기판 (W) 에서 구분하여 사용된다.
[본 실시형태의 효과]
본 실시형태에서는, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 실시형태에서는, 상기와 같이, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구 (34 및 35 (36, 37)) 를 형성함으로써, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 가압하는 실제의 기판 (W) 의 위치에 맞춰, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 적절한 기울기로 조정할 수 있으므로, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 가압하는 실제의 기판 (W) 의 위치가, 원래 상정되어 있던 설계 위치에 대하여 어긋나 있는 경우에도, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 적절히 가압할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기울기 조정 기구 (34 및 35 (36, 37)) 는, 가압 부재 (32a (33a)) 를 소정의 회전 축선 (C1 및 C2 (C3, C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다. 이로써, 가압 부재 (32a (33a)) 를 소정의 회전 축선 (C1 및 C2 (C3, C4)) 둘레로 회전시키는 것만으로, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 기판 (W) 의 위치에 맞춘 적절한 기울기로 간단하게 조정할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기울기 조정 기구 (34 및 35 (36, 37)) 는, 가압 부재 (32a (33a)) 를 소정의 회전 축선 (C1 및 C2 (C3, C4)) 둘레로 회전 가능하게 지지하는 기울기 조정 핀 (34a 및 35a (36a, 37a)) 을 포함한다. 또, 기울기 조정 핀 (34a 및 35a (36a, 37a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를 소정의 회전 축선 (C1 및 C2) 둘레로 회전시킴으로써, 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다. 이로써, 기울기 조정 핀 (34a 및 35a (36a, 37a)) 을 사용하여 가압 부재 (32a (33a)) 를 소정의 회전 축선 (C1 및 C2 (C3, C4)) 둘레로 간단하게 또한 확실하게 회전시킬 수 있으므로, 기울기 조정 핀 (34a 및 35a (36a, 37a)) 을 포함하는 기울기 조정 기구 (34 및 35 (36, 37)) 에 의해 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 기판 (W) 의 위치에 맞춘 적절한 기울기로 간단하게 또한 확실하게 조정할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기울기 조정 핀 (34a 및 35a (36a, 37a)) 은, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 연장되도록 형성된 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 을 포함한다. 또, 기울기 조정 기구 (34 (36)) 는, 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 연장되는 회전 축선 (C1 (C3)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다. 이로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를, 기판 (W) 의 외주 가장자리 (Wa) 에 적절히 대응하도록 조정할 수 있으므로, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기가, 기판 (W) 의 외주 가장자리 (Wa) 에 적절히 대응하고 있지 않은 것에서 기인하여, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 적절히 가압할 수 없는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 가압 부재 (32a (33a)) 는, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 를 포함한다. 또, 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 은, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 에 대응하는 1 쌍의 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 을 포함한다. 또, 기울기 조정 기구 (34 (36)) 는, 1 쌍의 기울기 조정 핀 (34a (36a)) 의 각각을 회전 중심으로 하여 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 각각을 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 연장되는 회전 축선 (C1 (C3)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 가 서로 가까워지거나 또는 서로 떨어지도록, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서의 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다. 이로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서의 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를, 기판 (W) 의 외주 가장자리 (Wa) 에 적절히 대응하도록 용이하게 조정할 수 있으므로, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행한 면 내에 있어서의 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기가, 기판 (W) 의 외주 가장자리 (Wa) 에 적절히 대응하고 있지 않은 것에서 기인하여, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 적절히 가압할 수 없는 것을 용이하게 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기울기 조정 핀 (34a 및 35a (36a, 37a)) 은, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행이고, 또한 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 형성된 기울기 조정 핀 (35a (37a)) 을 포함한다. 기울기 조정 기구 (35 (37)) 는, 기울기 조정 핀 (35a (37a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행이고, 또한 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 회전 축선 (C2 (C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다. 이로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 기판 (W) 의 기울기 (수평 방향에 대한 기판 (W) 의 기울기) 에 적절히 대응하도록 조정할 수 있으므로, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기가, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 기판 (W) 의 기울기에 적절히 대응하고 있지 않은 것에서 기인하여, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 적절히 가압할 수 없는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 블레이드 (31) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 나열된 복수의 블레이드 (31) 를 포함한다. 또, 가압 부재 (32a (33a)) 는, 복수의 블레이드 (31) 에 각각 배치된 기판 (W) 을 공통으로 가압하고, 기울기 조정 기구 (35 (37)) 는, 기울기 조정 핀 (35a (37a)) 을 회전 중심으로 하여 가압 부재 (32a (33a)) 를, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 평행이고, 또한 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 회전 축선 (C2 (C4)) 둘레로 회전시킴으로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향을 따른 복수의 기판 (W) 의 각각의 외주 가장자리 (Wa) 에 의해 형성되는 기울기를 따르도록, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 조정 가능하다. 이로써, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향을 따른 복수의 기판 (W) 의 각각의 외주 가장자리 (Wa) 에 의해 형성되는 기울기에 적절히 대응하도록 조정할 수 있다. 그 결과, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 복수의 기판 (W) 을 공통으로 가압하는 구성에 있어서, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기가, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향을 따른 복수의 기판 (W) 의 각각의 외주 가장자리 (Wa) 에 의해 형성되는 기울기에 적절히 대응하고 있지 않은 것에서 기인하여, 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 복수의 기판 (W) 을 적절히 가압할 수 없는 것 (일방 단부의 기판 (W) 을 가압할 수 있는 한편, 타방 단부의 기판 (W) 을 가압할 수 없는 것) 을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기판 유지 핸드 (1) 는, 기판 (W) 을 지지하기 위한 진퇴 이동하는 가동 지지 유닛 (38) 을 추가로 구비한다. 또, 지지부 (311 및 312) 는, 블레이드 (31) 의 선단부 (31a) 측에 형성된 전측 지지부 (311) 와, 블레이드 (31) 의 기단부 (31b) 측에 형성된 후측 지지부 (312) 를 갖는다. 또, 가동 지지 유닛 (38) 은, 전측 지지부 (311) 와 함께 기판 (W) 을 지지하고, 가동 가압 유닛 (32 및 33 (42, 43)) 은, 전측 지지부 (311) 와 가동 지지 유닛 (38) 에 의해 지지된 기판 (W) 을 가압하기 위한 제 1 가동 가압 유닛 (32) 과, 전측 지지부 (311) 와 후측 지지부 (312) 에 의해 지지된 기판 (W) 을 가압하기 위한 제 2 가동 가압 유닛 (33) 을 포함한다. 이로써, 1 개의 블레이드 (31) 에 의해, 2 개 (2 종류) 의 기판 (W) 을 유지할 수 있다. 또, 기판 유지 핸드 (1) 가, 제 1 가동 가압 유닛 (32) 과 제 2 가동 가압 유닛 (33) 의 2 개의 가동 가압 유닛을 포함하는 경우에도, 제 1 가동 가압 유닛 (32) 과 제 2 가동 가압 유닛 (33) 의 2 개의 가동 가압 유닛의 각각의 가압 부재 (32a (33a)) 의 기울기를 적절한 기울기로 조정할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 가압 부재 (32a (33a)) 는, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 를 포함한다. 또, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향 (Z 방향) 에서 보아, 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향으로 연장되는 중심선 (L1) 에 대하여, 대칭의 위치에 배치되어 있다. 또, 가동 가압 유닛 (32 (33)) 의 진퇴 방향으로 연장되는 중심선 (L1) 에 대하여, 대칭의 위치에서 기판 (W) 을 가압한다. 이로써, 가동 가압 유닛 (32 (33)) 이 1 개의 가압 부재 (32a (33a)) 만으로 기판 (W) 을 가압하는 경우 (1 점에서 기판 (W) 을 가압하는 경우) 와 달리, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 가압함 (2 점에서 기판 (W) 을 가압함) 으로써 벡터를 분산시킬 수 있으므로, 기판 (W) 이 블레이드 (31) 에 첩부되어 버린 경우에도, 1 쌍의 가압 부재 (32a (33a)) 에 의해 기판 (W) 을 가압하여 적절히 움직일 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기판 유지 핸드 (1) 는, 기판 (W) 을 지지하기 위한 진퇴 이동하는 지지 부재 (38a) 를 포함하는 가동 지지 유닛 (38) 을 추가로 구비한다. 또, 지지 부재 (38a) 는, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 나열되도록 배치되고, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향으로 나열된 복수의 기판 (W) 을 각각 지지하는 복수의 지지 부재 (38a) 를 포함한다. 또, 가동 지지 유닛 (38) 은, 복수의 지지 부재 (38a) 중, 블레이드 (31) 의 주면 (31c) 에 수직인 방향에 있어서의 단부의 지지 부재 (38a) 를 장착한 상태에서, 중간의 지지 부재 (38a) 를 교환 가능하다. 이로써, 단부의 지지 부재 (38a) 를 장착한 상태에서, 중간의 지지 부재 (38a) 를 교환할 수 있으므로, 복수의 지지 부재 (38a) 를 일괄하여 분리할 필요가 있는 경우에 비해, 중간의 지지 부재 (38a) 의 교환 작업을 용이하게 실시할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 가동 지지 유닛 (38) 은, 지지 부재 (38a) 가 각각 장착되는 복수의 장착 부재 (38b) 를 추가로 포함한다. 또, 중간의 지지 부재 (38a) 의 장착 부재 (38b) 는, 체결 부재 (38c) 를 통하여 단부의 지지 부재 (38a) 의 장착 부재 (38b) 에 고정되어 있다. 또, 가동 지지 유닛 (38) 은, 체결 부재 (38c) 를 분리함으로써, 단부의 지지 부재 (38a) 의 장착 부재 (38b) 로부터 중간의 지지 부재 (38a) 의 장착 부재 (38b) 를 분리함으로써, 단부의 지지 부재 (38a) 를 장착한 상태에서, 중간의 지지 부재 (38a) 를 교환 가능하다. 이로써, 체결 부재 (38c) 를 분리하는 것만으로, 중간의 지지 부재 (38a) 를 교환할 수 있으므로, 중간의 지지 부재 (38a) 의 교환 작업을 보다 용이하게 실시할 수 있다.
[변형예]
또한, 이번에 개시된 실시형태는, 모든 점에서 예시로서 제한적인 것은 아닌 것으로 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시형태의 설명이 아니라 청구의 범위에 의해 나타내며, 또한 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경 (변형예) 이 포함된다.
예를 들어, 상기 실시형태에서는, 아암이 수평 다관절 로봇 아암인 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 아암이 수직 다관절 로봇 아암 등의 수평 다관절 로봇 아암 이외의 아암이어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 기판 유지 핸드에 복수의 블레이드가 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판 유지 핸드에 1 개의 블레이드가 형성되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 기판 유지 핸드에 4 개의 블레이드가 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판 유지 핸드에 4 개 이외의 복수의 블레이드가 형성되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 블레이드가 두 갈래로 나뉘어진 형상을 갖고 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 블레이드가 두 갈래로 나뉘어진 형상 이외의 형상을 갖고 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 블레이드가 서로 상이한 높이에서 2 개의 기판을 지지 가능하게 구성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 블레이드가 1 개의 기판만을 지지 가능 (1 개의 높이에서만 기판을 지지 가능) 하게 구성되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 가동 지지 유닛이 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 가동 지지 유닛이 형성되어 있지 않아도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 가동 지지 유닛이 1 쌍의 지지 부재를 포함하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 가동 지지 유닛이 1 개의 지지 부재를 포함하고 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 제 1 가동 가압 유닛과 제 2 가동 가압 유닛의 2 개의 가압 유닛이 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 가동 가압 유닛이 1 개만 형성되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 가동 가압 유닛이 1 쌍의 가압 부재를 포함하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 가동 가압 유닛이 1 개의 가압 부재만을 포함하고 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 기울기 조정 기구가 기울기 조정 핀을 포함하고 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기울기 조정 기구가 기울기 조정 핀 이외의 기울기 조정 나사 등의 기울기 조정 구조를 포함하고 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 블레이드의 주면에 평행한 면 내에 있어서의 가압 부재의 기울기를 조정하는 기울기 조정 기구와, 블레이드의 주면에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재의 기울기를 조정하는 기울기 조정 기구의 2 개의 기울기 조정 기구가 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는, 블레이드의 주면에 평행한 면 내에 있어서의 가압 부재의 기울기를 조정하는 기울기 조정 기구와, 블레이드의 주면에 수직인 면 내에 있어서의 가압 부재의 기울기를 조정하는 기울기 조정 기구 중 어느 일방만이 형성되어 있어도 된다.
1 : 기판 유지 핸드
2 : 아암
31 : 블레이드
31a : 선단부
31b : 기단부
31c : 주면
32 : 제 1 가동 가압 유닛 (가동 가압 유닛)
32a, 33a : 가압 부재
33 : 제 2 가동 가압 유닛 (가동 가압 유닛)
34, 35, 36, 37 : 기울기 조정 기구
34a, 36a : 기울기 조정 핀 (제 1 기울기 조정 핀)
35a, 37a : 기울기 조정 핀 (제 2 기울기 조정 핀)
38 : 가동 지지 유닛
38a : 지지 부재
38b : 장착 부재
38c : 체결 부재
100 : 기판 반송 로봇
311 : 전측 지지부 (지지부)
312 : 후측 지지부 (지지부)
C1, C2, C3, C4 : 회전 축선
L1 : 중심선
W : 기판
Wa : 기판의 외주 가장자리

Claims (12)

  1. 기판을 지지하는 지지부를 포함하는 블레이드와,
    상기 기판을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압 부재를 포함하는 가동 가압 유닛과,
    상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구를 구비하는, 기판 유지 핸드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기울기 조정 기구는, 상기 가압 부재를 소정의 회전 축선 둘레로 회전시킴으로써, 상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한, 기판 유지 핸드.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기울기 조정 기구는, 상기 가압 부재를 상기 소정의 회전 축선 둘레로 회전 가능하게 지지하는 기울기 조정 핀을 포함하고, 상기 기울기 조정 핀을 회전 중심으로 하여 상기 가압 부재를 상기 소정의 회전 축선 둘레로 회전시킴으로써, 상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한, 기판 유지 핸드.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기울기 조정 핀은, 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향으로 연장되도록 형성된 제 1 기울기 조정 핀을 포함하고,
    상기 기울기 조정 기구는, 상기 제 1 기울기 조정 핀을 회전 중심으로 하여 상기 가압 부재를 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향으로 연장되는 회전 축선 둘레로 회전시킴으로써, 상기 블레이드의 주면에 평행한 면 내에 있어서의 상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한, 기판 유지 핸드.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 가압 부재는, 1 쌍의 가압 부재를 포함하고,
    상기 제 1 기울기 조정 핀은, 상기 1 쌍의 가압 부재에 대응하는 1 쌍의 제 1 기울기 조정 핀을 포함하고,
    상기 기울기 조정 기구는, 상기 1 쌍의 제 1 기울기 조정 핀의 각각을 회전 중심으로 하여 상기 1 쌍의 가압 부재의 각각을 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향으로 연장되는 회전 축선 둘레로 회전시킴으로써, 상기 블레이드의 주면에 평행한 면 내에 있어서 상기 1 쌍의 가압 부재가 서로 가까워지거나 또는 서로 떨어지도록, 상기 블레이드의 주면에 평행한 면 내에 있어서의 상기 1 쌍의 가압 부재의 기울기를 조정 가능한, 기판 유지 핸드.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 기울기 조정 핀은, 상기 블레이드의 주면에 평행이고, 또한 상기 가동 가압 유닛의 진퇴 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 형성된 제 2 기울기 조정 핀을 포함하고,
    상기 기울기 조정 기구는, 상기 제 2 기울기 조정 핀을 회전 중심으로 하여 상기 가압 부재를, 상기 블레이드의 주면에 평행이고, 또한 상기 가동 가압 유닛의 진퇴 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 회전 축선 둘레로 회전시킴으로써, 상기 블레이드의 주면에 수직인 면 내에 있어서의 상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한, 기판 유지 핸드.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 블레이드는, 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향으로 나열된 복수의 상기 블레이드를 포함하고,
    상기 가압 부재는, 상기 복수의 블레이드에 각각 배치된 상기 기판을 공통으로 가압하고,
    상기 기울기 조정 기구는, 상기 제 2 기울기 조정 핀을 회전 중심으로 하여 상기 가압 부재를, 상기 블레이드의 주면에 평행이고, 또한 상기 가동 가압 유닛의 진퇴 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 회전 축선 둘레로 회전시킴으로써, 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향을 따른 복수의 상기 기판의 각각의 외주 가장자리에 의해 형성되는 기울기를 따르도록, 상기 블레이드의 주면에 수직인 면 내에 있어서의 상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한, 기판 유지 핸드.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판을 지지하기 위한 진퇴 이동하는 가동 지지 유닛을 추가로 구비하고,
    상기 지지부는, 상기 블레이드의 선단부측에 형성된 전측 지지부와, 상기 블레이드의 기단부측에 형성된 후측 지지부를 갖고,
    상기 가동 지지 유닛은, 상기 전측 지지부와 함께 상기 기판을 지지하고,
    상기 가동 가압 유닛은, 상기 전측 지지부와 상기 가동 지지 유닛에 의해 지지된 상기 기판을 가압하기 위한 제 1 가동 가압 유닛과, 상기 전측 지지부와 상기 후측 지지부에 의해 지지된 상기 기판을 가압하기 위한 제 2 가동 가압 유닛을 포함하는, 기판 유지 핸드.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재는, 1 쌍의 가압 부재를 포함하고,
    상기 1 쌍의 가압 부재는, 블레이드의 주면에 수직인 방향에서 보아, 상기 가동 가압 유닛의 진퇴 방향으로 연장되는 중심선에 대하여, 대칭의 위치에 배치되어 있고, 상기 가동 가압 유닛의 진퇴 방향으로 연장되는 중심선에 대하여, 대칭의 위치에서 상기 기판을 가압하는, 기판 유지 핸드.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판을 지지하기 위한 진퇴 이동하는 지지 부재를 포함하는 가동 지지 유닛을 추가로 구비하고,
    상기 지지 부재는, 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향으로 나열되도록 배치되고, 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향으로 나열된 복수의 상기 기판을 각각 지지하는 복수의 상기 지지 부재를 포함하고,
    상기 가동 지지 유닛은, 상기 복수의 지지 부재 중, 상기 블레이드의 주면에 수직인 방향에 있어서의 단부의 상기 지지 부재를 장착한 상태에서, 중간의 상기 지지 부재를 교환 가능한, 기판 유지 핸드.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 가동 지지 유닛은, 상기 지지 부재가 각각 장착되는 복수의 장착 부재를 추가로 포함하고,
    상기 중간의 지지 부재의 장착 부재는, 체결 부재를 통하여 상기 단부의 지지 부재의 장착 부재에 고정되어 있고,
    상기 가동 지지 유닛은, 상기 체결 부재를 분리함으로써, 상기 단부의 지지 부재의 장착 부재로부터 상기 중간의 지지 부재의 장착 부재를 분리함으로써, 상기 단부의 지지 부재를 장착한 상태에서, 상기 중간의 지지 부재를 교환 가능한, 기판 유지 핸드.
  12. 기판 유지 핸드와,
    상기 기판 유지 핸드를 이동시키는 아암을 구비하고,
    상기 기판 유지 핸드는,
    기판을 지지하는 지지부를 포함하는 블레이드와,
    상기 기판을 가압하기 위한 진퇴 이동하는 가압 부재를 포함하는 가동 가압 유닛과,
    상기 가압 부재의 기울기를 조정 가능한 기울기 조정 기구를 포함하는, 기판 반송 로봇.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022051281A (ja) * 2020-09-18 2022-03-31 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013069914A (ja) 2011-09-22 2013-04-18 Yaskawa Electric Corp 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04113445U (ja) * 1991-03-20 1992-10-05 株式会社日立製作所 ウエハ移載装置のウエハ吸着板固定装置
JP3802119B2 (ja) * 1996-02-02 2006-07-26 株式会社安川電機 ウェハ搬送装置
WO2000005761A1 (fr) * 1998-07-24 2000-02-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Bras de saisie de tranche
JP2006150538A (ja) 2004-11-30 2006-06-15 Rorze Corp 把持型搬送装置並びにこれを用いるロボット、円盤状物加工設備及び円盤状物搬送方法。
US7290813B2 (en) * 2004-12-16 2007-11-06 Asyst Technologies, Inc. Active edge grip rest pad
JP4607756B2 (ja) 2005-12-22 2011-01-05 川崎重工業株式会社 ロボットハンドおよび基板搬送ロボット
JP5589790B2 (ja) 2010-03-31 2014-09-17 株式会社安川電機 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット
CN202678300U (zh) * 2011-06-28 2013-01-16 清华大学 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
CN103688348B (zh) 2011-08-10 2016-08-17 川崎重工业株式会社 末端作用器装置及具备该末端作用器装置的基板搬运用机械手
US10483143B2 (en) 2013-12-26 2019-11-19 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha End effector and substrate conveying robot
JP2017175072A (ja) 2016-03-25 2017-09-28 川崎重工業株式会社 基板搬送ハンド及びロボット
JP6276317B2 (ja) 2016-03-31 2018-02-07 平田機工株式会社 ハンドユニットおよび移載方法
JP2018041854A (ja) 2016-09-08 2018-03-15 株式会社荏原製作所 基板把持検出装置、基板把持装置、基板把持検出装置の調整方法
JP6889631B2 (ja) * 2017-08-04 2021-06-18 川崎重工業株式会社 状態監視システム及び状態監視方法
JP2020077699A (ja) * 2018-11-06 2020-05-21 川崎重工業株式会社 ロボットハンド及びそれを備えるロボット

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013069914A (ja) 2011-09-22 2013-04-18 Yaskawa Electric Corp 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット

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