JP4607756B2 - ロボットハンドおよび基板搬送ロボット - Google Patents
ロボットハンドおよび基板搬送ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP4607756B2 JP4607756B2 JP2005370689A JP2005370689A JP4607756B2 JP 4607756 B2 JP4607756 B2 JP 4607756B2 JP 2005370689 A JP2005370689 A JP 2005370689A JP 2005370689 A JP2005370689 A JP 2005370689A JP 4607756 B2 JP4607756 B2 JP 4607756B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- hand
- substrate
- substrate support
- support portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
基板を支持可能に形成され、基板を支持した状態で、ハンド基端部に対して直線的に変位自在に設けられる基板支持部と、
基板支持部をハンド基端部に対して変位駆動するハンド駆動手段と、
基板支持部に支持される基板を基板支持部に対して固定する固定手段とを含み、
固定手段は、最大伸張位置近傍に設定される設定位置へ基板支持部が移動するに連動して、基板支持部に支持される基板の基板支持部に対する固定を解除し、
基板支持部が前記設定位置からハンド基端部に近接するに連動して、基板支持部に支持される基板を基板支持部に対して固定するロボットハンドであって、
基板支持部は、基板を乗載するための乗載部を有し、
固定手段は、
乗載部に乗載された基板の周面に当接し、基板を伸縮方向に変位させる当接部と、
その軸線が伸縮方向に延びる圧縮コイルバネと、
当接部を支持し、圧縮コイルバネによって案内部に接続される支持部と、
基板支持部に固定されて支持部を案内する案内部と、
ハンド基端部に固定される突起部とを含み、
支持部には、突起部と当接するための接触部分が形成され、
基板支持部が設定位置に達した場合に、接触部分と突起部とが当接することを特徴とするロボットハンドである。
水平多関節型ロボットであって、ロボットアームの先端部にロボットハンドが着脱可能に装着されるロボット本体と、
ロボットハンドとロボット本体とを制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板搬送ロボットである。
また、ハンド駆動手段が基板支持部を設定位置に移動させると、基板支持部の移動に連動して固定手段は開放状態となる。固定手段が開放状態となると、搬送元位置にある基板を、基板支持部が支持可能な状態となる。また基板支持部が基板を支持した状態で、ハンド駆動手段が基板支持部を設定位置からハンド基端部に向けて移動させると、固定手段が固定状態となり、基板支持部に基板が固定される。また基板支持部が基板を支持した状態で、固定手段が開放状態となると、基板の固定が解除されて、支持した基板の搬送先位置への移載が可能な状態となる。
このように本発明によれば、固定手段は、基板支持部の移動に連動して、基板の固定および固定解除を行う。したがってハンド駆動手段が、基板支持部を変位移動させるだけで、基板の固定および固定解除を行うことができ、固定手段を駆動する駆動手段を別途必要とすることがない。これによってロボットハンドの小形化および軽量化を図ることができ、簡単な構成によって実現することができる。
また基板の固定および固定解除と、基板支持部の移動とを同時に行うことができ、サイクルタイムを短縮することができる。また基板支持部に支持される基板が固定手段によって固定された状態で、基板支持部を移動することで、基板支持部から基板がずれることが防がれ、基板支持部を高速で移動させることができる。
また、設定位置が最大伸張位置近傍に設定されることによって、基板支持部が最大伸張位置に位置したときには、必ず固定手段を開放状態にすることができるので、確実に基板の固定解除を行うことができる。また固定手段が開放状態となる基板支持部の領域を小さくすることができ、基板の変位が許容された状態で、基板が移動する移動量を小さくすることができる。
変位軸線L3に沿って直線変位自在に支持する。
21 半導体ウェハ
22 ロボット本体
27 固定手段
30 ハンド基端部
31 基板支持部
32 ハンド駆動手段
Claims (5)
- 多関節ロボットのロボットアームの先端部に装着されるハンド基端部と、
基板を支持可能に形成され、基板を支持した状態で、ハンド基端部に対して直線的に変位自在に設けられる基板支持部と、
基板支持部をハンド基端部に対して変位駆動するハンド駆動手段と、
基板支持部に支持される基板を基板支持部に対して固定する固定手段とを含み、
固定手段は、最大伸張位置近傍に設定される設定位置へ基板支持部が移動するに連動して、基板支持部に支持される基板の基板支持部に対する固定を解除し、
基板支持部が前記設定位置からハンド基端部に近接するに連動して、基板支持部に支持される基板を基板支持部に対して固定するロボットハンドであって、
基板支持部は、基板を乗載するための乗載部を有し、
固定手段は、
乗載部に乗載された基板の周面に当接し、基板を伸縮方向に変位させる当接部と、
その軸線が伸縮方向に延びる圧縮コイルバネと、
当接部を支持し、圧縮コイルバネによって案内部に接続される支持部と、
基板支持部に固定されて支持部を案内する案内部と、
ハンド基端部に固定される突起部とを含み、
支持部には、突起部と当接するための接触部分が形成され、
基板支持部が設定位置に達した場合に、接触部分と突起部とが当接することを特徴とするロボットハンド。 - ハンド駆動手段は、空気圧アクチュエータによって実現されることを特徴とする請求項1記載のロボットハンド。
- ハンド駆動手段は、サーボモータによって実現されることを特徴とする請求項1記載のロボットハンド。
- 請求項1〜3のいずれか1つに記載のロボットハンドと、
水平多関節型ロボットであって、ロボットアームの先端部にロボットハンドが着脱可能に装着されるロボット本体と、
ロボットハンドとロボット本体とを制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板搬送ロボット。 - 基板支持部がハンド基端部に向けて変位移動することで、ロボットの可動回転半径が最小となることを特徴とする請求項4記載の基板搬送ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005370689A JP4607756B2 (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | ロボットハンドおよび基板搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005370689A JP4607756B2 (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | ロボットハンドおよび基板搬送ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007169007A JP2007169007A (ja) | 2007-07-05 |
JP4607756B2 true JP4607756B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=38296087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005370689A Active JP4607756B2 (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | ロボットハンドおよび基板搬送ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4607756B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102714170A (zh) * | 2010-10-14 | 2012-10-03 | 东京毅力科创株式会社 | 处理*** |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4766274B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2011-09-07 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 |
JP5548163B2 (ja) * | 2010-09-14 | 2014-07-16 | 株式会社日立国際電気 | 基板搬送機構、基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
KR101605716B1 (ko) | 2013-08-30 | 2016-03-23 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
US9929034B2 (en) | 2015-09-03 | 2018-03-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transfer device |
US20230311334A1 (en) * | 2020-09-03 | 2023-10-05 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate holding hand and substrate conveying robot |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0624883U (ja) * | 1992-04-10 | 1994-04-05 | 株式会社ユニシアジェックス | グリッパー装置 |
JPH08118282A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-14 | Fanuc Ltd | アーム延長型産業用ロボット |
JPH09290384A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Aiphone Co Ltd | 産業用ロボット |
JPH106267A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-13 | Tokico Ltd | 工業用ロボット |
JPH10151592A (ja) * | 1996-11-25 | 1998-06-09 | Mecs:Kk | 搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置 |
JP2000343475A (ja) * | 1999-04-01 | 2000-12-12 | Applied Materials Inc | ウェーハハンドリングロボット用の空気圧作動式撓みグリッパ |
JP2004196438A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送用ロボット |
-
2005
- 2005-12-22 JP JP2005370689A patent/JP4607756B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0624883U (ja) * | 1992-04-10 | 1994-04-05 | 株式会社ユニシアジェックス | グリッパー装置 |
JPH08118282A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-14 | Fanuc Ltd | アーム延長型産業用ロボット |
JPH09290384A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Aiphone Co Ltd | 産業用ロボット |
JPH106267A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-13 | Tokico Ltd | 工業用ロボット |
JPH10151592A (ja) * | 1996-11-25 | 1998-06-09 | Mecs:Kk | 搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置 |
JP2000343475A (ja) * | 1999-04-01 | 2000-12-12 | Applied Materials Inc | ウェーハハンドリングロボット用の空気圧作動式撓みグリッパ |
JP2004196438A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送用ロボット |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102714170A (zh) * | 2010-10-14 | 2012-10-03 | 东京毅力科创株式会社 | 处理*** |
CN102714170B (zh) * | 2010-10-14 | 2015-06-10 | 东京毅力科创株式会社 | 处理*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007169007A (ja) | 2007-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4607756B2 (ja) | ロボットハンドおよび基板搬送ロボット | |
US5944476A (en) | Unitary specimen prealigner and continuously rotatable multiple link robot arm mechanism | |
US6126381A (en) | Unitary specimen prealigner and continuously rotatable four link robot arm mechanism | |
JP6040530B2 (ja) | ハンドラーおよび検査装置 | |
KR20210049072A (ko) | 통합된 얼라이너를 갖는 로봇 | |
US20080121064A1 (en) | Robot with belt-drive system | |
JP4883017B2 (ja) | 基板把持装置およびそれを備えた基板搬送ロボット、半導体製造装置 | |
KR102430044B1 (ko) | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 | |
KR101790863B1 (ko) | 중력보상 매커니즘을 가진 로봇 암 | |
KR20090094056A (ko) | 워크 반송 시스템 | |
TW200849450A (en) | Substrate conveying robot | |
JP2018098508A (ja) | 装着装置の装着ヘッドのキネマティック保持システム | |
JP4231552B2 (ja) | 幅広リスト・屈曲アームを有する物体移送装置 | |
CN112914725A (zh) | 被动关节装置、线缆引导件以及动力传递机构 | |
US7712808B2 (en) | End effector with centering grip | |
CN113056815A (zh) | 机械手和具备机械手的机器人 | |
JP2006120861A (ja) | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット | |
JP2001156150A (ja) | 基板搬送ロボット及び基板搬送方法 | |
JP2018182157A (ja) | ウエハの加工装置 | |
JP2013148395A (ja) | ハンドラーおよび検査装置 | |
JP6870092B2 (ja) | エンドエフェクタ | |
JPWO2019058824A1 (ja) | ロボットハンド、ロボット装置及び電子機器の製造方法 | |
EP4340194A1 (en) | Rotatable linear actuator | |
TWI750741B (zh) | 產業用機器人 | |
JP7304226B2 (ja) | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100913 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101005 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101007 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4607756 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141015 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |