JP3802119B2 - ウェハ搬送装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハをウェハカセットから取り出し、収納するウエハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハ搬送装置は、図５に示すように構成されている。
図において、２１はウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板２２にウェハ搬送ロボット２３を取付けてある。前記ウェハ搬送ロボツト２３はモータ軸に一端を取付けられた第１のアーム２４が設けられ、この第１のアーム２４の先端に第２のアーム２５を旋回可能に取付けてある。前記第２のアーム２５の先端には第３のアーム２６が旋回可能に取付けられ、第３のアーム２６の先端には搬送フォーク２７を固定してある。前記モータの回転により搬送フォーク２７が前進、後退し、ウェハカセット２８内のウェハ２９を搬送フォーク上に載置して、ウェハカセット２８からウェハ２９を搬出入する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のウェハ搬送装置は、ウェハ搬送ロボット２３の第３アーム２６の先端に搬送フォーク２７を固定しており、搬送フォーク２７がウェハ２９に対して傾いていると、ウェハカセット２８に搬送フォーク２７が入るときウェハカセット２８内のウェハ２９に搬送フォーク２７が当たりウェハ２９を損傷していた。このためウェハ搬送ロボット２３とウェハ搬送室２１の底板２２との間にライナを入れてウェハ搬送ロボット２３の傾きを調整していた。このため、ウェハ搬送室の狭い場所での作業となり、調整作業が煩雑となる欠点があった。
本発明は、ウエハ搬送ロボットのアーム先端の搬送フォークの調整作業を簡単にすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点を解決するために、ウェハカセットに収納されたウェハを、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボットのアームの先端に、両側に脚部を設けた凹部を設け、前記搬送フォークの根元に、前記搬送フォークの長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するθ方向に回動可能に支持具を設けるとともに、前記支持具に、前記凹部に嵌め込む凸部を設け、前記搬送フォークに設けた支持具の凸部を、前記アームの凹部に嵌め込んで、前記搬送フォークの幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するα方向に回動可能に取付け、前記アームの先端の上部に、端部が前記支持具の上に突出する調整板を固定し、前記調整板に、前記搬送フォークのθ方向の傾きを調整する調整ボルトと、前記搬送フォークのα方向の傾きを調整する調整ボルトとを設けるようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図、図２は図１におけるウェハ搬送フォークの要部を断面した平面図、図３は搬送フォークの要部を断面した側面図である。
１はウェハ室で、このウェハ室の底板２にウエハ搬送ロボット３が取付けてある。このウェハ搬送ロボット３は、ロボット内のモータの軸に一端を取付けた第１のアーム４を有し、この第１のアーム４の先端に第２のアーム５を旋回可能に取付け、かつ、この第２のアーム５の先端に第３のアーム６を旋回可能に設けて、この第３のアーム６の先端が直線方向に前進、後退できるように構成してある。７は第３のアーム６の先端の凹部両側に設けた脚部、８は後端部に凸部を有する支持具で、この凸部を前記第３のアーム６の凹部に嵌め込んである。９はピンで、第３のアーム６の脚部７と支持具８の凸部とに設け、このピン９を中心に支持具８が脚部７に対しα方向に回動しうるように構成してある。ここで、前記α方向とは、図２に示すように、前記搬送フォーク１１の長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転する方向を示している。１０は固定ボルトで、前記第３のアーム６の脚部７の側面に設けた図示しない長穴に通して支持具８を前記脚部７に固定するようにしてある。１１は搬送フォークで、先端を二股したウェハの載置面１２が設けられ、根元を支持具に植設したピン１３に嵌め込み、搬送フォーク１１がピン１３を中心にθ方向に回動しうるようにしてある。ここで、前記θ方向とは、図２に示すように、前記搬送フォーク１１の幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転する方向を示している。１４は固定ボルトで、前記支持具８の側面に設けた図示しない長穴に通して搬送フォークを前記支持具８に固定するようにしてある。１５は第３のアーム６の先端に固定した調整板で、その端部を支持具８の上に突出させ、その突出した板面に調整ボルト１６が設けられている。固定ボルト１０を緩めて、前記調整ボルト１６を進退させることにより支持具８をα方向に回動させるようにしてある。１７は調整板の板面に設けた調整ボルトで、固定ボルト１４を緩めて、前記調整ボルト１７を進退させることにより前記搬送フォーク１１をピン１３を中心にθ方向に回動させるようにしてある。１８、１９は搬送フォークの載置面に対向させて設けた検出器で、ウェハ搬送室に取り付けてある。
このように構成した搬送フォークの調整は、ウェハ搬送ロボットを駆動して第１、第２、第３のアームを屈伸して搬送フォークが検出器１８の下の位置に移動する。搬送フォークの二股のウェハ載置面のそれぞれに対向する検出器１８により搬送フォークのθ方向の傾きを検出し、調整ボルト１７を進退させて搬送フォークのθ方向の傾きを調整して、固定ボルト１４を締めて搬送フォーク１１を支持具８に固定する。つぎに、搬送フォークの二股のウェハ載置面１２に対向する検出器１９と検出器１８により搬送フォークのウェハ搬送フォークのα方向の傾きを検出し、調整ボルト１６を進退させて搬送フォーク１１のα方向の傾きを調整して、固定ボルト１０を締めて支持具８を第３のアーム６に固定する。
図４は、本発明の第２の実施例を示す搬送フォークの要部を断面した側面図で、調整板１５に圧電素子２０を取り付け、この圧電素子２０を動作させて支持具８あるいは搬送フォーク１１を回動させて調整するようにしてある。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、フォークを支持具に対してθ方向に回動可能に取付けるとともに、支持具をアームに対してα方向に回動可能に取付け、かつ、前記フォークのθ方向およびα方向の傾き調整を、前記アームの先端上部に固定した調整板上の調整ボルトで行う構成にしているので、ウェハ室のウェハ搬送ロボットに取り付けた搬送フォーク自体の傾きを簡単に調整でき、ウェハカセット内に搬送フォークが挿入しても搬送フォークがウェハを損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【図２】 本発明の搬送フォークの要部を断面した平面図である。
【図３】 本発明の搬送フォークの要部を断面した側面図である。
【図４】 本発明の第２の実施例を示す搬送フォークの要部を断面した側面図である。
【図５】 従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【符号の説明】
１ ウェハ室、 ２ 床板、 ３ウェハ搬送ロボット、
４ 第１のアーム、５ 第２のアーム、 ６ 第３のアーム、
７ 脚部、 ８ 支持具、 ９ ピン、 １０ 固定ボルト、
１１ 搬送フォーク、 １２ ウェハ載置面、 １３ ピン、
１４ 固定ボルト、 １５ 調整板、 １６ 調整ボルト、
１７ 調整ボルト、 １８ 検出器、 １９ 検出器、
２０ 検出器
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハをウェハカセットから取り出し、収納するウエハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハ搬送装置は、図５に示すように構成されている。
図において、２１はウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板２２にウェハ搬送ロボット２３を取付けてある。前記ウェハ搬送ロボツト２３はモータ軸に一端を取付けられた第１のアーム２４が設けられ、この第１のアーム２４の先端に第２のアーム２５を旋回可能に取付けてある。前記第２のアーム２５の先端には第３のアーム２６が旋回可能に取付けられ、第３のアーム２６の先端には搬送フォーク２７を固定してある。前記モータの回転により搬送フォーク２７が前進、後退し、ウェハカセット２８内のウェハ２９を搬送フォーク上に載置して、ウェハカセット２８からウェハ２９を搬出入する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のウェハ搬送装置は、ウェハ搬送ロボット２３の第３アーム２６の先端に搬送フォーク２７を固定しており、搬送フォーク２７がウェハ２９に対して傾いていると、ウェハカセット２８に搬送フォーク２７が入るときウェハカセット２８内のウェハ２９に搬送フォーク２７が当たりウェハ２９を損傷していた。このためウェハ搬送ロボット２３とウェハ搬送室２１の底板２２との間にライナを入れてウェハ搬送ロボット２３の傾きを調整していた。このため、ウェハ搬送室の狭い場所での作業となり、調整作業が煩雑となる欠点があった。
本発明は、ウエハ搬送ロボットのアーム先端の搬送フォークの調整作業を簡単にすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点を解決するために、ウェハカセットに収納されたウェハを、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボットのアームの先端に、両側に脚部を設けた凹部を設け、前記搬送フォークの根元に、前記搬送フォークの長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するθ方向に回動可能に支持具を設けるとともに、前記支持具に、前記凹部に嵌め込む凸部を設け、前記搬送フォークに設けた支持具の凸部を、前記アームの凹部に嵌め込んで、前記搬送フォークの幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するα方向に回動可能に取付け、前記アームの先端の上部に、端部が前記支持具の上に突出する調整板を固定し、前記調整板に、前記搬送フォークのθ方向の傾きを調整する調整ボルトと、前記搬送フォークのα方向の傾きを調整する調整ボルトとを設けるようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図、図２は図１におけるウェハ搬送フォークの要部を断面した平面図、図３は搬送フォークの要部を断面した側面図である。
１はウェハ室で、このウェハ室の底板２にウエハ搬送ロボット３が取付けてある。このウェハ搬送ロボット３は、ロボット内のモータの軸に一端を取付けた第１のアーム４を有し、この第１のアーム４の先端に第２のアーム５を旋回可能に取付け、かつ、この第２のアーム５の先端に第３のアーム６を旋回可能に設けて、この第３のアーム６の先端が直線方向に前進、後退できるように構成してある。７は第３のアーム６の先端の凹部両側に設けた脚部、８は後端部に凸部を有する支持具で、この凸部を前記第３のアーム６の凹部に嵌め込んである。９はピンで、第３のアーム６の脚部７と支持具８の凸部とに設け、このピン９を中心に支持具８が脚部７に対しα方向に回動しうるように構成してある。ここで、前記α方向とは、図２に示すように、前記搬送フォーク１１の長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転する方向を示している。１０は固定ボルトで、前記第３のアーム６の脚部７の側面に設けた図示しない長穴に通して支持具８を前記脚部７に固定するようにしてある。１１は搬送フォークで、先端を二股したウェハの載置面１２が設けられ、根元を支持具に植設したピン１３に嵌め込み、搬送フォーク１１がピン１３を中心にθ方向に回動しうるようにしてある。ここで、前記θ方向とは、図２に示すように、前記搬送フォーク１１の幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転する方向を示している。１４は固定ボルトで、前記支持具８の側面に設けた図示しない長穴に通して搬送フォークを前記支持具８に固定するようにしてある。１５は第３のアーム６の先端に固定した調整板で、その端部を支持具８の上に突出させ、その突出した板面に調整ボルト１６が設けられている。固定ボルト１０を緩めて、前記調整ボルト１６を進退させることにより支持具８をα方向に回動させるようにしてある。１７は調整板の板面に設けた調整ボルトで、固定ボルト１４を緩めて、前記調整ボルト１７を進退させることにより前記搬送フォーク１１をピン１３を中心にθ方向に回動させるようにしてある。１８、１９は搬送フォークの載置面に対向させて設けた検出器で、ウェハ搬送室に取り付けてある。
このように構成した搬送フォークの調整は、ウェハ搬送ロボットを駆動して第１、第２、第３のアームを屈伸して搬送フォークが検出器１８の下の位置に移動する。搬送フォークの二股のウェハ載置面のそれぞれに対向する検出器１８により搬送フォークのθ方向の傾きを検出し、調整ボルト１７を進退させて搬送フォークのθ方向の傾きを調整して、固定ボルト１４を締めて搬送フォーク１１を支持具８に固定する。つぎに、搬送フォークの二股のウェハ載置面１２に対向する検出器１９と検出器１８により搬送フォークのウェハ搬送フォークのα方向の傾きを検出し、調整ボルト１６を進退させて搬送フォーク１１のα方向の傾きを調整して、固定ボルト１０を締めて支持具８を第３のアーム６に固定する。
図４は、本発明の第２の実施例を示す搬送フォークの要部を断面した側面図で、調整板１５に圧電素子２０を取り付け、この圧電素子２０を動作させて支持具８あるいは搬送フォーク１１を回動させて調整するようにしてある。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、フォークを支持具に対してθ方向に回動可能に取付けるとともに、支持具をアームに対してα方向に回動可能に取付け、かつ、前記フォークのθ方向およびα方向の傾き調整を、前記アームの先端上部に固定した調整板上の調整ボルトで行う構成にしているので、ウェハ室のウェハ搬送ロボットに取り付けた搬送フォーク自体の傾きを簡単に調整でき、ウェハカセット内に搬送フォークが挿入しても搬送フォークがウェハを損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【図２】 本発明の搬送フォークの要部を断面した平面図である。
【図３】 本発明の搬送フォークの要部を断面した側面図である。
【図４】 本発明の第２の実施例を示す搬送フォークの要部を断面した側面図である。
【図５】 従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【符号の説明】
１ ウェハ室、 ２ 床板、 ３ウェハ搬送ロボット、
４ 第１のアーム、５ 第２のアーム、 ６ 第３のアーム、
７ 脚部、 ８ 支持具、 ９ ピン、 １０ 固定ボルト、
１１ 搬送フォーク、 １２ ウェハ載置面、 １３ ピン、
１４ 固定ボルト、 １５ 調整板、 １６ 調整ボルト、
１７ 調整ボルト、 １８ 検出器、 １９ 検出器、
２０ 検出器
Claims (1)
- ウェハカセットに収納されたウェハを、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装置において、
前記ウェハ搬送ロボットのアームの先端に、両側に脚部を設けた凹部を設け、
前記搬送フォークの根元に、前記搬送フォークの長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するθ方向に回動可能に支持具を設けるとともに、前記支持具に、前記凹部に嵌め込む凸部を設け、
前記搬送フォークに設けた支持具の凸部を、前記アームの凹部に嵌め込んで、前記搬送フォークの幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するα方向に回動可能に取付け、
前記アームの先端の上部に、端部が前記支持具の上に突出する調整板を固定し、
前記調整板に、前記搬送フォークのθ方向の傾きを調整する調整ボルトと、前記搬送フォークのα方向の傾きを調整する調整ボルトとを設けたことを特徴とするウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4071496A JP3802119B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4071496A JP3802119B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | ウェハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09213768A JPH09213768A (ja) | 1997-08-15 |
| JP3802119B2 true JP3802119B2 (ja) | 2006-07-26 |
Family
ID=12588259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4071496A Expired - Fee Related JP3802119B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3802119B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011148575A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Ihi Corp | 移載装置 |
Families Citing this family (9)
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|---|---|---|---|---|
| US6326755B1 (en) * | 2000-04-12 | 2001-12-04 | Asyst Technologies, Inc. | System for parallel processing of workpieces |
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| US20140007731A1 (en) | 2012-07-06 | 2014-01-09 | Persimmon Technologies Corporation | High capacity robot arm |
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| JP7412208B2 (ja) | 2020-02-17 | 2024-01-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
| KR20210116240A (ko) * | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
| US20230311334A1 (en) * | 2020-09-03 | 2023-10-05 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate holding hand and substrate conveying robot |
| DE102021115853B3 (de) * | 2021-06-18 | 2022-06-23 | Uwe Beier | Roboter zur Handhabung flacher Substrate sowie Ausrichtungseinrichtung |
-
1996
- 1996-02-02 JP JP4071496A patent/JP3802119B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011148575A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Ihi Corp | 移載装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09213768A (ja) | 1997-08-15 |
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