JP3802119B2 - ウェハ搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハをウェハカセットから取り出し、収納するウエハ搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のウェハ搬送装置は、図5に示すように構成されている。
図において、21はウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板22にウェハ搬送ロボット23を取付けてある。前記ウェハ搬送ロボツト23はモータ軸に一端を取付けられた第1のアーム24が設けられ、この第1のアーム24の先端に第2のアーム25を旋回可能に取付けてある。前記第2のアーム25の先端には第3のアーム26が旋回可能に取付けられ、第3のアーム26の先端には搬送フォーク27を固定してある。前記モータの回転により搬送フォーク27が前進、後退し、ウェハカセット28内のウェハ29を搬送フォーク上に載置して、ウェハカセット28からウェハ29を搬出入する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のウェハ搬送装置は、ウェハ搬送ロボット23の第3アーム26の先端に搬送フォーク27を固定しており、搬送フォーク27がウェハ29に対して傾いていると、ウェハカセット28に搬送フォーク27が入るときウェハカセット28内のウェハ29に搬送フォーク27が当たりウェハ29を損傷していた。このためウェハ搬送ロボット23とウェハ搬送室21の底板22との間にライナを入れてウェハ搬送ロボット23の傾きを調整していた。このため、ウェハ搬送室の狭い場所での作業となり、調整作業が煩雑となる欠点があった。
本発明は、ウエハ搬送ロボットのアーム先端の搬送フォークの調整作業を簡単にすることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点を解決するために、ウェハカセットに収納されたウェハを、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボットのアームの先端に、両側に脚部を設けた凹部を設け、前記搬送フォークの根元に、前記搬送フォークの長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するθ方向に回動可能に支持具を設けるとともに、前記支持具に、前記凹部に嵌め込む凸部を設け、前記搬送フォークに設けた支持具の凸部を、前記アームの凹部に嵌め込んで、前記搬送フォークの幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するα方向に回動可能に取付け、前記アームの先端の上部に、端部が前記支持具の上に突出する調整板を固定し、前記調整板に、前記搬送フォークのθ方向の傾きを調整する調整ボルトと、前記搬送フォークのα方向の傾きを調整する調整ボルトとを設けるようにしている。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の第1の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図、図2は図1におけるウェハ搬送フォークの要部を断面した平面図、図3は搬送フォークの要部を断面した側面図である。
1はウェハ室で、このウェハ室の底板2にウエハ搬送ロボット3が取付けてある。このウェハ搬送ロボット3は、ロボット内のモータの軸に一端を取付けた第1のアーム4を有し、この第1のアーム4の先端に第2のアーム5を旋回可能に取付け、かつ、この第2のアーム5の先端に第3のアーム6を旋回可能に設けて、この第3のアーム6の先端が直線方向に前進、後退できるように構成してある。7は第3のアーム6の先端の凹部両側に設けた脚部、8は後端部に凸部を有する支持具で、この凸部を前記第3のアーム6の凹部に嵌め込んである。9はピンで、第3のアーム6の脚部7と支持具8の凸部とに設け、このピン9を中心に支持具8が脚部7に対しα方向に回動しうるように構成してある。ここで、前記α方向とは、図2に示すように、前記搬送フォーク11の長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転する方向を示している。10は固定ボルトで、前記第3のアーム6の脚部7の側面に設けた図示しない長穴に通して支持具8を前記脚部7に固定するようにしてある。11は搬送フォークで、先端を二股したウェハの載置面12が設けられ、根元を支持具に植設したピン13に嵌め込み、搬送フォーク11がピン13を中心にθ方向に回動しうるようにしてある。ここで、前記θ方向とは、図2に示すように、前記搬送フォーク11の幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転する方向を示している。14は固定ボルトで、前記支持具8の側面に設けた図示しない長穴に通して搬送フォークを前記支持具8に固定するようにしてある。15は第3のアーム6の先端に固定した調整板で、その端部を支持具8の上に突出させ、その突出した板面に調整ボルト16が設けられている。固定ボルト10を緩めて、前記調整ボルト16を進退させることにより支持具8をα方向に回動させるようにしてある。17は調整板の板面に設けた調整ボルトで、固定ボルト14を緩めて、前記調整ボルト17を進退させることにより前記搬送フォーク11をピン13を中心にθ方向に回動させるようにしてある。18、19は搬送フォークの載置面に対向させて設けた検出器で、ウェハ搬送室に取り付けてある。
このように構成した搬送フォークの調整は、ウェハ搬送ロボットを駆動して第1、第2、第3のアームを屈伸して搬送フォークが検出器18の下の位置に移動する。搬送フォークの二股のウェハ載置面のそれぞれに対向する検出器18により搬送フォークのθ方向の傾きを検出し、調整ボルト17を進退させて搬送フォークのθ方向の傾きを調整して、固定ボルト14を締めて搬送フォーク11を支持具8に固定する。つぎに、搬送フォークの二股のウェハ載置面12に対向する検出器19と検出器18により搬送フォークのウェハ搬送フォークのα方向の傾きを検出し、調整ボルト16を進退させて搬送フォーク11のα方向の傾きを調整して、固定ボルト10を締めて支持具8を第3のアーム6に固定する。
図4は、本発明の第2の実施例を示す搬送フォークの要部を断面した側面図で、調整板15に圧電素子20を取り付け、この圧電素子20を動作させて支持具8あるいは搬送フォーク11を回動させて調整するようにしてある。
【0006】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、フォークを支持具に対してθ方向に回動可能に取付けるとともに、支持具をアームに対してα方向に回動可能に取付け、かつ、前記フォークのθ方向およびα方向の傾き調整を、前記アームの先端上部に固定した調整板上の調整ボルトで行う構成にしているので、ウェハ室のウェハ搬送ロボットに取り付けた搬送フォーク自体の傾きを簡単に調整でき、ウェハカセット内に搬送フォークが挿入しても搬送フォークがウェハを損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【図2】 本発明の搬送フォークの要部を断面した平面図である。
【図3】 本発明の搬送フォークの要部を断面した側面図である。
【図4】 本発明の第2の実施例を示す搬送フォークの要部を断面した側面図である。
【図5】 従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【符号の説明】
1 ウェハ室、 2 床板、 3ウェハ搬送ロボット、
4 第1のアーム、5 第2のアーム、 6 第3のアーム、
7 脚部、 8 支持具、 9 ピン、 10 固定ボルト、
11 搬送フォーク、 12 ウェハ載置面、 13 ピン、
14 固定ボルト、 15 調整板、 16 調整ボルト、
17 調整ボルト、 18 検出器、 19 検出器、
20 検出器
Claims (1)
- ウェハカセットに収納されたウェハを、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装置において、
前記ウェハ搬送ロボットのアームの先端に、両側に脚部を設けた凹部を設け、
前記搬送フォークの根元に、前記搬送フォークの長手方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するθ方向に回動可能に支持具を設けるとともに、前記支持具に、前記凹部に嵌め込む凸部を設け、
前記搬送フォークに設けた支持具の凸部を、前記アームの凹部に嵌め込んで、前記搬送フォークの幅方向に垂直に交わる軸を中心にして回転するα方向に回動可能に取付け、
前記アームの先端の上部に、端部が前記支持具の上に突出する調整板を固定し、
前記調整板に、前記搬送フォークのθ方向の傾きを調整する調整ボルトと、前記搬送フォークのα方向の傾きを調整する調整ボルトとを設けたことを特徴とするウェハ搬送装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6326755B1 (en) * | 2000-04-12 | 2001-12-04 | Asyst Technologies, Inc. | System for parallel processing of workpieces |
JP5525339B2 (ja) * | 2010-06-10 | 2014-06-18 | ナブテスコ株式会社 | ロボットアーム |
US20140007731A1 (en) | 2012-07-06 | 2014-01-09 | Persimmon Technologies Corporation | High capacity robot arm |
US10090188B2 (en) * | 2016-05-05 | 2018-10-02 | Applied Materials, Inc. | Robot subassemblies, end effector assemblies, and methods with reduced cracking |
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KR20210116240A (ko) * | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
US20230311334A1 (en) * | 2020-09-03 | 2023-10-05 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate holding hand and substrate conveying robot |
DE102021115853B3 (de) * | 2021-06-18 | 2022-06-23 | Uwe Beier | Roboter zur Handhabung flacher Substrate sowie Ausrichtungseinrichtung |
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1996
- 1996-02-02 JP JP4071496A patent/JP3802119B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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