JP2013069914A - 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板搬送用ハンドは、第1の載置部と、第2の載置部とを備える。第1の載置部は、所定の高さの載置面にて基板を支える複数の支持部を含み、第2の載置部は、第1の載置部の載置面の高さよりも上方の載置面にて基板を支える複数の支持部を含み、該支持部のうち1または複数は退避可能である。第1の載置部に基板を載置し、さらに、第2の載置部に別の基板を載置するよう基板搬送用ハンドを構成する。
【選択図】 図2
Description
まず、第1の実施形態に係る基板搬送ロボット1について、図1を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係る基板搬送ロボット1の模式斜視図である。なお、以下では同図右下に示すような座標軸を適宜用いて説明を行うこととし、また、同図では説明を容易にするために一部の形状を単純化して示す。
つぎに、第2の実施形態に係る基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボットについて図6A〜図6Cを用いて説明する。図6A〜図6Cは、第2の実施形態に係るハンド本体部111の側面図その1〜その3である。
つぎに、第3の実施形態に係る基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボットについて図7Aおよび図7Bを用いて説明する。図7Aは、第3の実施形態に係るハンド本体部の側面図であり、図7Bは、第3の実施形態に係るハンド本体部の上視図である。
2 基台
3 支柱
4、6、8 関節部
5、7 アーム
10 基板搬送用ハンド
11 ハンド本体部
12 先端側支持部
12a 下段載置面
12b 壁面
12c 上段載置面
12d 壁面
13 第1基端側支持部
13a 第1載置面
13b 壁面
14 第2基端側支持部
14a 第2載置面
14b 壁面
15 取付部
16 連結部
17 エアシリンダ
18a 押圧部
18b 押圧部
19 エアシリンダ
100a 基板
100b 基板
100c 基板
101 基板支持部材
102 クリアランス
200 制御装置
Claims (5)
- 所定の高さの載置面にて基板を支える複数の支持部を含む第1の載置部と、
前記第1の載置部の載置面の高さよりも上方の載置面にて基板を支える複数の支持部を含み、該支持部のうち1または複数は退避可能である第2の載置部と
を備え、
前記第2の載置部の前記退避可能な支持部を退避させた状態で、前記第1の載置部に第1の基板を載置し、さらに、前記退避可能な支持部の退避を解除させた状態で、前記第2の載置部に第2の基板を載置することを特徴とする基板搬送用ハンド。 - 前記第1の載置部の載置面の高さと前記第2の載置部の載置面の高さとの差は、前記基板を収納する基板収納部が備える基板支持部材の厚みと、前記第1の載置部に載置される前記基板の厚みと、所定のマージンとの和であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送用ハンド。
- 前記第1の載置部に載置された前記基板の周縁部および前記第2の載置部に載置された前記基板の周縁部を先端側へそれぞれ押圧する押圧部
をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記第1の載置部および前記第2の載置部の一方または双方は、
前記基板を吸引する吸引孔をさらに備え、前記吸引孔によって前記基板を吸引することを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送用ハンド。 - 請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板搬送用ハンド
を備えることを特徴とする基板搬送ロボット。
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