KR20150125938A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치는, 복수종의 약액 중 적어도 하나를 기판에 공급하는 처리 유닛과, 배기에 세정액을 접촉시킴으로써 배기를 정화하는 스크러버를 포함한다. 스크러버는, 처리 유닛에서 발생한 약액을 포함하는 배기를 기판 처리 장치의 밖에 배치된 배기 설비쪽으로 유도하는 배기 통로와, 배기를 정화하는 복수종의 세정액을 배기 통로 내에서 개별적으로 토출할 수 있는 토출기를 포함한다. 제어 장치는, 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 복수종의 세정액 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 세정액을 토출기로부터 토출시킨다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING DEVICE}
본 발명은, 약액 등의 처리액을 기판에 공급하는 처리 유닛과, 처리 유닛으로부터 배출된 배기를 세정하는 스크러버 (scrubber/기체 세정 장치) 를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
처리 대상이 되는 기판에는, 예를 들어 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, FED (Field Emission Display) 용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양전지용 기판 등이 포함된다.
반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 제조 공정에서는, 산성 또는 알칼리성의 약액이나 유기 약액 (액상의 유기 용제) 이 기판의 처리에 사용되므로, 약액 성분 등의 오염 물질을 포함하는 배기가 발생한다. 이와 같은 배기는, 스크러버 등의 배기를 세정하는 장치에 의해 오염 물질이 제거된 후, 무해한 상태에서 대기로 방출된다.
예를 들어 특허문헌 1 에는, 기판을 세정하는 세정 장치와, 세정된 기판을 유기 용제를 이용하여 건조시키는 건조기를 구비하고, 건조기에 의한 건조 처리에서 사용된 유기 용제를 제거하는 용제 제거 장치를 내장하는 반도체 제조 장치가 개시되어 있다. 건조 처리에서 발생한 배기에 포함되는 유기 용제는, 용제 제거 장치의 증기 미스트 분사기로부터 분사된 물의 미스트에 의해 제거된다. 이로써, 오염 물질을 포함하는 배기가 정화된다.
일본 공개특허공보 2009-206303호
세정액 (scrubbing liquid) 을 이용하여 배기를 정화하는 웨트 스크러버는, 배기와 세정액의 접촉에 의해 오염 물질을 제거 또는 중화함으로써 배기를 정화한다. 배기로부터 오염 물질을 효율적으로 제거하려면, 배기에 포함되는 오염 물질에 특화된 세정액을 배기에 접촉시킬 필요가 있다. 예를 들어, 알칼리성의 오염 물질이 배기에 포함되는 경우에는, 중화 반응을 일으키기 위해서, 산성 세정액을 배기에 접촉시키는 것이 바람직하다.
반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 제조 공정에서는, 산성 약액, 알칼리성 약액, 및 유기 약액 등의 복수종의 약액이 동일한 기판에 공급되는 경우가 있다. 또, 1 종류의 약액이 기판에 공급되는 경우라도, 약액의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우도 있다. 그 때문에, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 기판의 처리 중에 변경되는 경우가 있고, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우도 있다.
특허문헌 1 에서는, 배기에 포함되는 오염 물질이 1 종류 (IPA (이소프로필알코올)) 로 한정되어 있으므로, 증기 미스트 분사기가 1 종류의 세정액 (물) 밖에 분사할 수 없어도 문제 없을지도 모른다. 그러나, 복수종의 약액이 기판에 공급되는 경우나, 기판에 공급되는 약액의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우에는, 기판의 처리에 수반하여 발생한 배기를 효율적으로 정화할 수 없을 우려가 있다.
그래서, 본 발명의 목적은, 기판의 처리에 수반하여 발생한 배기를 내부에서 정화할 수 있고, 배기를 세정하는 세정액의 종류를 배기에 포함되는 오염 물질의 종류에 따라 변경할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시형태는, 복수종의 약액 중 적어도 하나를 기판에 공급하는 처리 유닛과, 상기 처리 유닛에서 발생한 약액을 포함하는 배기를 기판 처리 장치의 밖에 배치된 배기 설비쪽으로 유도하는 배기 통로와, 상기 배기를 정화하는 복수종의 세정액을 상기 배기 통로 내에서 개별적으로 토출할 수 있는 토출기를 포함하고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 상기 배기에 세정액을 접촉시킴으로써, 상기 배기를 정화하는 스크러버와, 상기 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 상기 복수종의 세정액 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 세정액을 상기 토출기로부터 토출시키는 제어 장치를 포함하는, 기판 처리 장치를 제공한다. 토출기는, 세정액을 분무함으로써 세정액을 안개상으로 하는 분무기여도 되고, 복수의 구멍으로부터 세정액을 연속적으로 토출하는 샤워 헤드여도 된다.
이 구성에 의하면, 복수종의 약액 중 적어도 하나가 기판에 공급된다. 구체적으로는, 처리 유닛은, 2 종류 이상의 약액을 각각 상이한 기간에 기판에 공급하거나, 복수종의 약액에서 선택된 1 종류의 약액을 기판에 공급하거나 한다. 따라서, 배기에 포함되는 오염 물질 (약액 성분 등) 의 종류가 기판의 처리 중에 변경되는 경우가 있고, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우도 있다.
처리 유닛에서 발생한 약액을 포함하는 배기는, 스크러버의 배기 통로에 의해, 기판 처리 장치의 밖을 향하여 안내된다. 스크러버의 토출기는, 복수종의 세정액을 배기 통로 내에서 개별적으로 토출할 수 있다. 스크러버는, 세정액을 토출기에 의해 배기 통로 내에서 토출시킴으로써, 배기 통로 내를 흐르는 배기에 세정액을 접촉시킨다. 이로써, 오염 물질이 배기로부터 제거되어, 정화된 배기가 기판 처리 장치 밖에 배치된 배기 설비로 배출된다.
배기에 포함되는 약액의 종류는, 처리 유닛에 의해 기판에 공급되는 약액의 종류에 따라 변화한다. 제어 장치는, 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 토출기가 토출하는 세정액의 종류를 선택한다. 예를 들어 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 기판의 처리 중에 변경되는 경우에는, 제어 장치는, 복수종의 세정액을 각각 상이한 기간에 토출기로부터 토출시킨다. 또, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우에는, 제어 장치는, 세정액의 종류를 처리의 내용마다 변경한다.
이와 같이, 제어 장치는, 기판에 공급되는 약액의 종류에 기초하여 복수종의 세정액 중 어느 하나를 선택하므로, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 기판의 처리 중에 변경되는 경우나, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우라도, 배기에 포함되는 오염 물질에 특화된 세정액을 배기에 접촉시킬 수 있다. 이로써, 처리 유닛에서 발생한 배기를 기판 처리 장치 내에서 정화할 수 있어, 배기에 포함되는 오염 물질의 잔류량을 저감할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 기체를 통과시키는 스크러브 필터가, 배기 통로에 배치되어 있다. 토출기가 세정액을 토출하면, 세정액을 포함하는 분위기가 스크러브 필터에 부착된다. 그 때문에, 스크러브 필터의 외표면이나 스크러브 필터의 내표면에 세정액이 유지된다. 기판 처리 장치의 밖을 향해 배기 통로 내를 유통 방향으로 흐르는 배기는, 스크러브 필터 내부의 공극을 통과한다.
오염 물질을 포함하는 배기는, 스크러브 필터의 내부를 통과할 때에, 스크러브 필터에 유지되어 있는 세정액에 접촉한다. 세정액을 스크러브 필터에 유지시킴으로써, 배기 통로 내에 존재하는 세정액의 표면적이 증가하므로, 배기와 세정액의 접촉 면적도 증가한다. 이로써, 오염 물질이 배기로부터 효율적으로 제거된다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 토출기는, 상기 스크러브 필터를 향하여 세정액을 토출해도 된다.
이 구성에 의하면, 스크러브 필터는, 토출기로부터의 세정액이 분무된다. 따라서, 토출기로부터 토출된 세정액이 스크러브 필터에 직접 부딪쳐, 세정액이 스크러브 필터에 확실하게 공급된다. 그 때문에, 스크러브 필터에 유지되는 세정액의 양이 증가하고, 스크러브 필터에 유지되어 있는 세정액에 배기가 확실하게 접촉한다. 이로써, 배기에 포함되는 오염 물질의 잔류량이 더 저감되어, 배기의 청정도가 높아진다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 토출기 및 스크러브 필터보다 하류측에서 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 상기 기체로부터 액체 성분을 제거하는 미스트 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 기체를 통과시킴과 함께, 기체로부터 액체 성분을 제거하는 미스트 필터가, 배기의 유통 방향에 있어서의 토출기 및 스크러브 필터보다 하류측에서 배기 통로에 배치되어 있다. 따라서, 세정액과의 접촉에 의해 오염 물질의 잔류량이 저감된 배기가, 미스트 필터를 통과한다. 미스트 필터를 통과하는 배기는, 세정액 등의 액체 성분을 포함하고 있는 경우가 있다. 이와 같은 액체 성분은, 미스트 필터에 의해 포획되어, 배기로부터 제거된다. 따라서, 오염 물질뿐만 아니라, 액체 성분의 잔류량도 기판 처리 장치의 내부에서 저감된다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 배기 통로 내에서 개구되는 배액구에 액체를 흡인시킴으로써, 상기 배기 통로 내의 액체를 배출하는 배액 장치를 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 배액 장치의 흡인력이, 배기 통로 내에서 개구되는 배액구로 전달되어, 배기 통로 내의 액체가 배액구에 흡인된다. 이로써, 배기 통로 내의 액체가 배출된다. 약액을 포함하는 배기가 배기 통로에 유입되거나, 토출기가 배기 통로 내에서 세정액을 토출하거나 하므로, 액적이 배기 통로의 내면에 부착되거나, 액고임이 배기 통로의 저면 (내면의 저부) 에 형성되거나 하는 경우가 있다. 따라서, 배액 장치가 배기 통로 내의 액체를 배출함으로써, 액체 성분이 배기에 혼입되거나, 종류가 상이한 세정액끼리가 배기 통로 내에서 접촉하거나 하는 것을 억제 또는 방지할 수 있다. 그 때문에, 배기 통로 내의 청정도를 높일 수 있고, 이로써 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 배액구보다 상류측에서 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 상기 배액 장치는, 상기 배기 통로 내의 액체가 상기 배액구를 향해 흐르도록, 상기 스크러브 필터보다 상류측에서부터 상기 스크러브 필터의 하방을 지나 상기 배액구까지 연장되는 배액로를 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 스크러브 필터가, 배액구보다 상류측에 배치되어 있다. 배액 장치는, 스크러브 필터와 배기 통로의 저면 사이의 공간을 지나고, 스크러브 필터보다 상류측에서부터 배액구까지 연장되는 배액로를 갖고 있다. 스크러브 필터보다 상류측에 존재하는 액체는, 이 배액로에 의해 배액구쪽으로 유도된다. 따라서, 배액 장치는, 배기 통로 내의 보다 넓은 범위로부터 액체를 모을 수 있고, 이로써 배기 통로 내의 액체의 잔류량을 저감할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 상기 토출기는, 세정액을 항상 토출해도 된다.
이 구성에 의하면, 세정액이 토출기로부터 항상 토출된다. 즉, 기판 처리 장치가 가동되고 있는 동안, 토출기가 세정액을 계속 토출한다. 따라서, 세정액이 스크러브 필터에 유지되고 있는 상태가 확실하게 유지된다. 그 때문에, 배기 통로 내를 흐르는 배기가, 스크러브 필터에 유지되고 있는 세정액에 확실하게 접촉한다. 이로써, 배기에 포함되는 오염 물질의 잔류량을 저감할 수 있다. 또한, 스크러브 필터가 마르면, 스크러브 필터가 기류에 주는 저항이 작아지므로, 스크러브 필터를 젖은 상태로 유지함으로써, 배기압의 변동을 저감할 수 있다. 이로써, 스크러버를 개재하여 배기 설비로부터 처리 유닛으로 전달되는 배기압을 안정시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 상기 토출기는, 세정액을 간헐적으로 토출해도 된다.
이 구성에 의하면, 세정액이 토출기로부터 간헐적으로 토출된다. 그 때문에, 세정액의 소비량을 저감할 수 있다. 또, 세정액이 단속적으로 스크러브 필터에 공급되므로, 스크러브 필터가 완전히 마르는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 세정액의 소비량을 저감하면서, 배기를 정화할 수 있어, 처리 유닛에 전달되는 배기압을 안정시킬 수 있다.
상기 토출기가 세정액을 간헐적으로 토출하는 경우, 상기 토출기가 세정액을 토출하는 간격 (토출이 정지되고 나서 재개되기까지의 시간) 은, 미리 정해진 일정한 간격이어도 되고, 배기 통로 내의 기압에 기초하여 설정되는 임의의 간격이어도 된다. 예를 들어, 상기 스크러버는, 상기 배기 통로 내의 기압을 검출하는 배기압 센서를 추가로 포함하고, 상기 제어 장치는, 상기 배기압 센서의 검출값에 기초하여 상기 토출기에 세정액을 간헐적으로 토출시켜도 된다.
전술한 바와 같이, 스크러브 필터가 마르면, 스크러브 필터의 배기 저항이 작아지므로, 배기 통로 내의 기압이 변화한다. 구체적으로는, 스크러브 필터보다 상류측의 기압이 내려가고, 스크러브 필터보다 하류측의 기압이 올라간다. 바꾸어 말하면, 스크러브 필터보다 상류측의 배기압이 강해지고 (부압의 절대값이 커지고), 스크러브 필터보다 하류측의 배기압이 약해진다 (부압의 절대값이 작아진다). 따라서, 제어 장치는, 배기압 센서의 검출값에 기초하여 토출기에 세정액을 간헐적으로 토출시킴으로써, 세정액의 소비량을 저감하면서, 스크러브 필터가 충분히 젖어 있는 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 복수의 스크러브 필터와, 상기 복수의 스크러브 필터의 상태를 개별적으로 전환하는 필터 전환 장치를 추가로 포함하고 있어도 된다. 상기 필터 전환 장치는, 상기 배기 통로 내의 기체가 상기 스크러브 필터를 통과하는 제거 상태와, 상기 스크러브 필터에 대한 기체의 통과가 정지되는 제거 정지 상태 사이에서, 상기 복수의 스크러브 필터의 상태를 개별적으로 전환해도 된다. 상기 제어 장치는, 상기 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 상기 복수의 스크러브 필터 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 상기 스크러브 필터를 상기 배기가 통과하도록, 상기 복수의 스크러브 필터의 상태를 상기 필터 전환 장치에 의해 전환시켜도 된다.
이 구성에 의하면, 처리 유닛에 의해 기판에 공급되는 약액의 종류에 기초하여 복수의 스크러브 필터 중 어느 하나가 선택된다. 그리고, 처리 유닛에서 발생한 약액을 포함하는 배기가, 선택된 스크러브 필터를 통과하도록, 필터 전환 장치가, 복수의 스크러브 필터의 상태를 전환한다. 예를 들어, 동일한 약액이 기판에 공급되는 경우에는, 배기가 동일한 스크러브 필터를 통과하도록 개개의 스크러브 필터의 상태가 설정된다. 또, 기판에 공급되는 약액의 종류가 변경되면, 배기가 통과하는 스크러브 필터도 변경된다. 따라서, 처리 유닛에서 발생한 약액을 포함하는 배기는, 약액의 종류마다 설치된 전용 스크러브 필터를 통과한다. 그 때문에, 복수의 약액이 혼합되는 것에 의한 예기치 않은 반응을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 처리 유닛은, 상기 스크러버보다 상류측에 배치되어 있고, 상기 처리 유닛에서 발생한 배기로부터 액체를 제거하는 기액 분리기를 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 스크러버보다 상류측에 배치된 기액 분리기가, 처리 유닛에서 발생한 배기로부터 액체를 분리하고, 배기로부터 액체 성분을 제거한다. 그리고, 기액 분리기에 의해 액체의 함유량이 저감된 배기가, 스크러버로 보내진다. 따라서, 처리 유닛에서 발생한 배기에 약액 성분이 포함되어 있다고 해도, 약액의 함유량이 기액 분리기에 의해 저감된 상태에서, 배기가 스크러버로 보내진다. 요컨대, 기액 분리기와 스크러버에 의해 오염 물질의 잔류량이 저감된다. 그 때문에, 기판 처리 장치로부터 배출되는 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 처리 유닛은, 각각이 복수종의 약액 중 적어도 하나를 기판에 공급하는 복수의 처리 유닛을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 상기 배기 통로는, 상기 복수의 처리 유닛에 각각 접속된 복수의 개별로와, 상기 복수의 개별로의 각각으로부터 하류측으로 연장되는 집합로를 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 배기 통로의 복수의 개별로가, 복수의 처리 유닛에 각각 접속되어 있고, 배기 통로의 집합로가, 복수의 개별로의 각각에 접속되어 있다. 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기는, 복수의 처리 유닛으로부터 각각 복수의 개별로로 배출된다. 그리고, 복수의 개별로로 유입된 배기는, 집합로를 거쳐, 기판 처리 장치의 밖에 배치된 배기 설비쪽으로 유도된다. 각 처리 유닛에서 발생한 배기는, 배기 통로 내를 흐르는 과정에서, 세정액과의 접촉에 의해 정화된다. 따라서, 스크러버는, 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기를 기판 처리 장치 내에서 정화할 수 있다. 그 때문에, 개개의 처리 유닛에 대응하는 복수의 스크러버를 기판 처리 장치 내에 설치할 필요가 없다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 토출기는, 상기 복수의 개별로에 각각 배치된 복수의 토출기를 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 복수의 토출기가, 각각, 복수의 개별로에 배치되어 있다. 따라서, 스크러버는, 어느 개별로에서 토출되는 세정액과는 상이한 종류의 세정액을 다른 개별로에서 토출시킬 수 있다. 그 때문에, 스크러버는, 배기에 포함되는 오염 물질에 특화된 세정액을 개개의 개별로에서 배기에 접촉시킬 수 있다. 이로써, 스크러버는, 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기로부터 오염 물질을 효율적으로 제거할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 복수의 개별로에 각각 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 복수의 스크러브 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 복수의 스크러브 필터가, 각각, 복수의 개별로에 배치되어 있다. 따라서, 스크러버는, 배기와 세정액을 개개의 개별로 내에서 확실하게 접촉시킬 수 있음과 함께, 개별로 내에서의 배기와 세정액의 접촉 시간을 증가시킬 수 있다. 그 때문에, 스크러버는, 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기로부터 오염 물질을 효율적으로 제거할 수 있어, 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 복수의 토출기 및 복수의 스크러브 필터보다 하류측에서 상기 복수의 개별로에 각각 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 상기 기체로부터 액체 성분을 제거하는 복수의 미스트 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 복수의 미스트 필터가, 각각, 복수의 개별로에 배치되어 있다. 요컨대, 전용의 미스트 필터가, 개별로마다 설치되어 있다. 따라서, 스크러버는, 개개의 개별로에서 배기로부터 액체 성분을 제거할 수 있다. 그 때문에, 스크러버는, 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기로부터 액체 성분을 확실하게 제거할 수 있어, 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 토출기는, 상기 집합로에 배치되어 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 토출기가 집합로에 배치되어 있다. 복수의 처리 유닛으로부터 배출된 배기는, 대응하는 개별로를 지나 집합로로 유입되고, 토출기로부터 토출된 세정액에 집합로에서 접촉한다. 이로써, 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기가 정화된다. 이와 같이, 토출기가 집합로에 배치되어 있으므로, 개개의 개별로에 토출기를 설치하지 않아도 된다. 따라서, 기판 처리 장치의 부품 점수를 감소시킬 수 있어, 기판 처리 장치의 구조를 간소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 집합로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 스크러브 필터가 집합로에 배치되어 있다. 복수의 처리 유닛으로부터 배출된 배기는, 대응하는 개별로를 지나 집합로로 유입되고, 집합로에서 스크러브 필터를 통과한다. 이로써, 복수의 처리 유닛에서 발생한 배기가 세정액에 확실하게 접촉한다. 이와 같이, 스크러브 필터가 집합로에 배치되어 있으므로, 개개의 개별로에 스크러브 필터를 설치하지 않아도 된다. 따라서, 기판 처리 장치의 부품 점수를 감소시킬 수 있어, 기판 처리 장치의 구조를 간소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 토출기 및 스크러브 필터보다 하류측에서 상기 집합로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 상기 기체로부터 액체 성분을 제거하는 미스트 필터를 추가로 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 미스트 필터가 집합로에 배치되어 있다. 복수의 처리 유닛으로부터 배출된 배기는, 대응하는 개별로를 지나 집합로로 유입되고, 집합로에서 미스트 필터를 통과한다. 이로써, 액체 성분이 배기로부터 제거된다. 이와 같이, 미스트 필터가 집합로에 배치되어 있으므로, 개개의 개별로에 미스트 필터를 설치하지 않아도 된다. 따라서, 기판 처리 장치의 부품 점수를 감소시킬 수 있어, 기판 처리 장치의 구조를 간소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스크러버는, 상기 집합로 내에서 개구되는 배액구에 액체를 흡인시킴으로써, 상기 배기 통로 내의 액체를 배출하는 배액 장치를 추가로 포함하고 있어도 된다. 상기 배액 장치는, 상기 복수의 개별로의 각각으로부터 상기 집합로까지 연장되어 있고, 상기 배기 통로 내의 액체가 상기 복수의 개별로로부터 상기 집합로로 흐르도록 수평면에 대해 경사진 복수의 배액로를 포함하고 있어도 된다.
이 구성에 의하면, 배액 장치의 복수의 배액로가, 각각 복수의 개별로에 대응하고 있고, 각 배액로가, 대응하는 개별로로부터 집합로까지 연장되어 있다. 각 배액로가 수평면에 대해 경사져 있고, 배액로의 하류단이, 배액로의 상류단보다 하방에 배치되어 있으므로, 복수의 개별로 내의 액체는, 자중에 의해 복수의 배액로를 집합로를 향해 흐른다. 따라서, 복수의 개별로 내의 액체는, 집합로에 모인다. 배액 장치는, 집합로에서 개구되는 배액구로부터 집합로 내의 액체를 흡인한다. 그 때문에, 배액 장치는, 배기 통로 내의 보다 넓은 범위로부터 액체를 모을 수 있고, 이로써 배기 통로 내의 액체의 잔류량을 저감할 수 있다.
본 발명에 있어서의 전술한, 또는 또 다른 목적, 특징 및 효과는, 첨부 도면을 참조해 다음에 서술하는 실시형태의 설명에 의해 명확하게 된다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2 는, 처리 유닛의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 3 은, 처리 유닛에 의해 실시되는 기판 처리의 일례를 나타내는 공정도이다.
도 4 는, 스크러버의 내부를 상방으로부터 본 모식도이다.
도 5 는, 스크러버의 내부를 측방으로부터 본 모식도이다.
도 6 은, 처리 유닛에서 기판이 처리되고 있을 때의 스크러버 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7 은, 스크러버의 변형예를 나타내는 모식도이다.
도 8 은, 스크러브 필터의 변형예를 나타내는 모식도이다.
도 9 는, 스크러브 필터의 다른 변형예를 나타내는 모식도이다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성을 나타내는 모식도이다. 도 2 는, 처리 유닛 (2) 의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치 (1) 는, 반도체 웨이퍼 등의 원판상의 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽식 장치이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (W) 에 처리액을 공급하는 복수의 처리 유닛 (2) 과, 각 처리 유닛 (2) 으로부터 배출된 배기를 세정하는 스크러버 (3) 와, 복수의 처리 유닛 (2) 및 스크러버 (3) 를 수용하는 상자형의 외벽 (4) 과, 기판 처리 장치 (1) 에 구비된 장치의 동작이나 밸브의 개폐를 제어하는 제어 장치 (5) 를 포함한다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 각 처리 유닛 (2) 은, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽식 유닛이다. 각 처리 유닛 (2) 은, 다른 처리 유닛 (2) 과 공통된 구성을 갖고 있다. 각 처리 유닛 (2) 은, 내부 공간을 갖는 상자형의 챔버 (6) 와, 챔버 (6) 내에서 1 장의 기판 (W) 을 수평인 자세로 유지해, 기판 (W) 의 중심을 통과하는 연직인 회전축선 (A1) 둘레로 기판 (W) 을 회전시키는 스핀 척 (7) 과, 스핀 척 (7) 에 유지되어 있는 기판 (W) 을 향하여 처리액을 토출하는 처리액 공급 장치 (8 ∼ 11) 와, 스핀 척 (7) 을 둘러싸는 통상의 컵 (12) 을 포함한다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 챔버 (6) 는, 스핀 척 (7) 등을 수용하는 상자형의 격벽 (13) 과, 격벽 (13) 의 상부로부터 격벽 (13) 내에 클린 에어 (필터에 의해 여과된 공기) 를 보내는 송풍 유닛으로서의 FFU (14) (팬 필터 유닛) 와, 격벽 (13) 의 하부로부터 챔버 (6) 내의 기체를 배출하는 실내 배기 덕트 (15) 를 포함한다. FFU (14) 는, 격벽 (13) 의 상방에 배치되어 있다. FFU (14) 는, 격벽 (13) 의 천장으로부터 챔버 (6) 내에 하향으로 클린 에어를 보낸다. 실내 배기 덕트 (15) 는, 컵 (12) 의 저부에 접속되어 있고, 기판 처리 장치 (1) 가 설치되는 공장에 설치된 배기 설비를 향하여 챔버 (6) 내의 기체를 안내한다. 따라서, 챔버 (6) 내를 하방으로 흐르는 다운 플로우 (하강류) 가, FFU (14) 및 실내 배기 덕트 (15) 에 의해 형성된다. 다운 플로우는, 기판 (W) 이 챔버 (6) 내에 존재하는 기간 중뿐만 아니라 그 외의 기간에도 형성된다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 스핀 척 (7) 은, 기판 (W) 을 수평으로 유지하는 원반상의 스핀 베이스 (16) 와, 기판 (W) 및 스핀 베이스 (16) 를 회전축선 (A1) 둘레로 회전시키는 스핀 모터 (17) 를 포함한다. 스핀 척 (7) 은, 기판 (W) 을 수평 방향으로 끼움으로써 기판 (W) 을 수평으로 유지하는 협지식 척이어도 되고, 비디바이스 형성면인 기판 (W) 의 이면 (하면) 을 흡착시킴으로써 기판 (W) 을 수평으로 유지하는 배큐엄식 척이어도 된다. 도 2 는, 스핀 척 (7) 이 복수의 척 핀에 의해 기판 (W) 을 협지하는 협지식 척인 경우를 나타내고 있다. 컵 (12) 은, 스핀 베이스 (16) 를 둘러싸고 있다. 상향으로 개방된 컵 (12) 의 상단부는, 스핀 베이스 (16) 보다 상방에 배치되어 있다. 따라서, 기판 (W) 주위로 배출된 약액이나 린스액 등의 처리액은, 컵 (12) 에 의해 수용되어, 컵 (12) 의 내부에서 개구되는 배액구 (12a) 로부터 배출된다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 처리액 공급 장치 (8 ∼ 11) 는, 기판 (W) 을 향하여 산성의 약액을 토출하는 산성 약액 노즐 (8) 과, 기판 (W) 을 향하여 알칼리성의 약액을 토출하는 알칼리성 약액 노즐 (9) 과, 기판 (W) 을 향하여 유기 약액을 토출하는 유기 약액 노즐 (10) 과, 기판 (W) 을 향하여 린스액을 토출하는 린스액 노즐 (11) 을 포함한다. 산성 약액 노즐 (8) 은, 토출구가 정지한 상태에서 기판 (W) 의 상면 중앙부를 향하여 처리액을 토출하는 고정 노즐이어도 되고, 기판 (W) 의 상면에 대한 처리액의 착액 위치가 중앙부와 주연부 사이에서 이동하도록 이동하면서 처리액을 토출하는 스캔 노즐이어도 된다. 알칼리성 약액 노즐 (9), 유기 약액 노즐 (10), 및 린스액 노즐 (11) 에 대해서도 동일하다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 처리 유닛 (2) 은, 산성 약액 노즐 (8) 에 접속된 산성 약액 배관 (18) 과, 산성 약액 배관 (18) 에 개재된 산성 약액 밸브 (19) 를 포함한다. 마찬가지로, 처리 유닛 (2) 은, 알칼리성 약액 노즐 (9) 에 접속된 알칼리성 약액 배관 (20) 과, 알칼리성 약액 배관 (20) 에 개재된 알칼리성 약액 밸브 (21) 와, 유기 약액 노즐 (10) 에 접속된 유기 약액 배관 (22) 과, 유기 약액 배관 (22) 에 개재된 유기 약액 밸브 (23) 와, 린스액 노즐 (11) 에 접속된 린스액 배관 (24) 과, 린스액 배관 (24) 에 개재된 린스액 밸브 (25) 를 포함한다.
산성 약액 밸브 (19) 가 열리면, 산성 약액 공급원으로부터의 산성 약액이, 기판 (W) 의 상면을 향하여 산성 약액 노즐 (8) 로부터 토출된다. 마찬가지로, 알칼리성 약액 밸브 (21), 유기 약액 밸브 (23), 및 린스액 밸브 (25) 중 어느 것이 열리면, 알칼리성 약액, 유기 약액, 및 린스액 중 어느 것이, 알칼리성 약액 노즐 (9), 유기 약액 노즐 (10), 및 린스액 노즐 (11) 중 어느 것에서부터 기판 (W) 의 상면을 향하여 토출된다.
산성 약액의 일례는, 불산 (불화수소산) 이고, 알칼리성 약액의 일례는, SC-1 (암모니아과산화수소수) 이다. 유기 약액의 일례는, IPA (이소프로필알코올) 이고, 린스액의 일례는, 순수 (탈이온수 : Deionzied Water) 이다. 산성 약액은, 황산이나 염산을 포함하는 산성 약액이어도 된다. 알칼리성 약액은, TMAH (트리메틸페닐암모늄하이드록사이드) 등을 포함하는 알칼리성 약액이어도 된다. 유기 약액은, IPA 에 한정하지 않고, HFE (하이드로플루오로에테르) 등의 다른 유기 약액이어도 된다. 린스액은, 순수에 한정하지 않고, 탄산수, 전해 이온수, 수소수, 오존수, 및 희석 농도 (예를 들어, 10 ∼ 100 ppm 정도) 의 염산수 중 어느 것이어도 된다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 처리 유닛 (2) 은, 처리 유닛 (2) 내에서 발생한 혼합 유체에 포함되는 기체 및 액체를 분리시키는 기액 분리기 (26) 를 포함한다. 기액 분리기 (26) 는, 챔버 (6) 의 밖에 배치되어 있다. 기액 분리기 (26) 는, 실내 배기 덕트 (15) 에 접속된 기액 분리 박스 (27) 와, 기액 분리 박스 (27) 의 내부로부터 기액 분리 박스 (27) 의 외부로 연장되는 액체 배관 (28) 과, 기액 분리 박스 (27) 의 내부로부터 기액 분리 박스 (27) 의 외부로 연장되는 기체 배관 (29) 을 포함한다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 기체 배관 (29) 은, 기액 분리 박스 (27) 의 저면으로부터 상방으로 돌출되어 있다. 액체 배관 (28) 의 단부는, 기액 분리 박스 (27) 저면에 있어서 개구되는 액체 배출구 (30) 를 형성하고 있고, 기체 배관 (29) 의 단부는, 기액 분리 박스 (27) 내에서 개구되는 기체 배출구 (31) 를 액체 배출구 (30) 보다 상방의 높이로 형성하고 있다. 기체 배관 (29) 은, 스크러버 (3) (구체적으로는, 후술하는 상류 배기 덕트 (32)) 에 접속되어 있다. 따라서, 챔버 (6) 내에서 발생한 배기는, 기액 분리 박스 (27) 및 기체 배관 (29) 을 개재하여 스크러버 (3) 로 배출된다.
처리액이 기판 (W) 에 공급되면, 증기나 미스트를 포함하는 배기가 챔버 (6) 내에 발생한다. 이 배기 (기체 및 액체의 혼합 유체) 는, 실내 배기 덕트 (15) 를 지나 기액 분리 박스 (27) 의 내부로 유입된다. 배기에 포함된 액체 성분은, 기액 분리 박스 (27) 내에서 액적으로 변화하고, 액체 배출구 (30) 로부터 배액된다. 기체 배출구 (31) 는, 액체 배출구 (30) 보다 상방에 배치되어 있으므로, 기액 분리 박스 (27) 내의 액체가 기체 배출구 (31) 에 침입하기 어렵다. 따라서, 액체의 잔류량이 저감된 배기가, 기체 배출구 (31) 에 흡인되고, 스크러버 (3) 로 배출된다.
도 3 은, 처리 유닛 (2) 에 의해 실시되는 기판 (W) 처리의 일례를 나타내는 공정도이다. 이하에서는, 도 2 및 도 3 을 참조한다.
FFU (14) 가 클린 에어를 챔버 (6) 내에 공급하고 있고, 실내 배기 덕트 (15) 가 챔버 (6) 내의 기체를 배출하고 있는 상태, 요컨대 다운 플로우가 챔버 (6) 내에 형성되어 있는 상태에서, 제어 장치 (5) 는, 산성 약액 노즐 (8), 알칼리성 약액 노즐 (9), 유기 약액 노즐 (10), 및 린스액 노즐 (11) 중 어느 것으로부터 토출된 처리액을 회전 상태의 기판 (W) 에 공급시킨다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 반송 로봇 (도시 생략) 을 제어함으로써, 기판 (W) 을 스핀 척 (7) 상으로 반송시킨다. 그 후, 제어 장치 (5) 는, 스핀 척 (7) 에 기판 (W) 의 회전을 개시시킨다.
다음으로, 산성 약액의 일례인 불산을 기판 (W) 에 공급하는 산성 약액 공급 공정 (스텝 S1) 이 실시된다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 산성 약액 밸브 (19) 를 열고, 스핀 척 (7) 에 의해 기판 (W) 을 회전시키면서, 산성 약액 노즐 (8) 로부터 기판 (W) 의 상면 중앙부를 향하여 불산을 토출시킨다. 이로써, 불산이 기판 (W) 의 상면에 공급된다. 그리고, 산성 약액 밸브 (19) 가 열리고 나서 소정 시간이 경과하면, 제어 장치 (5) 는, 산성 약액 밸브 (19) 를 닫아 불산의 토출을 정지시킨다.
산성 약액 노즐 (8) 로부터 토출된 불산은, 기판 (W) 의 상면 중앙부에 공급되고, 기판 (W) 의 회전에 의한 원심력을 받아 기판 (W) 의 상면을 따라 외방으로 퍼진다. 이로써, 기판 (W) 의 상면 전역을 덮는 불산의 액막이 기판 (W) 상에 형성되고, 기판 (W) 의 상면 전역에 불산이 공급된다. 또, 기판 (W) 에의 불산의 공급이나, 컵 (12) 의 내면에 대한 불산의 충돌에 수반하여 발생한 불산을 포함하는 분위기는, 컵 (12) 의 저부로부터 실내 배기 덕트 (15) 로 배출된다. 이로써, 산성 배기 (산성 약액을 포함하는 기체) 가 컵 (12) 의 내부로부터 배출된다.
다음으로, 린스액의 일례인 순수를 기판 (W) 에 공급하는 제 1 중간 린스액 공급 공정 (스텝 S2) 이 실시된다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 린스액 밸브 (25) 를 열고, 기판 (W) 을 회전시키면서, 린스액 노즐 (11) 로부터 기판 (W) 의 상면 중앙부를 향하여 순수를 토출시킨다. 이로써, 기판 (W) 의 상면 전역을 덮는 불산의 액막이 순수로 치환되어, 기판 (W) 상의 불산이 순수에 의해 씻겨 내진다. 또, 기판 (W) 에의 순수의 공급 등에 수반하여 발생한 순수를 포함하는 분위기는, 컵 (12) 의 저부로부터 실내 배기 덕트 (15) 로 배출된다. 그리고, 린스액 밸브 (25) 가 열리고 나서 소정 시간이 경과하면, 제어 장치 (5) 는, 린스액 밸브 (25) 를 닫아 순수의 토출을 정지시킨다.
다음으로, 알칼리성 약액의 일례인 SC-1 을 기판 (W) 에 공급하는 알칼리성 약액 공급 공정 (스텝 S3) 이 실시된다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 알칼리성 약액 밸브 (21) 를 열고, 기판 (W) 을 회전시키면서, 알칼리성 약액 노즐 (9) 로부터 기판 (W) 의 상면 중앙부를 향하여 SC-1 을 토출시킨다. 이로써, 기판 (W) 의 상면 전역을 덮는 순수의 액막이 SC-1 로 치환되고, 기판 (W) 의 상면 전역에 SC-1 이 공급된다. 또, 기판 (W) 에의 SC-1 의 공급 등에 수반하여 발생한 SC-1 을 포함하는 분위기는, 컵 (12) 의 저부로부터 실내 배기 덕트 (15) 로 배출된다. 이로써, 알칼리성 배기 (알칼리성 약액을 포함하는 기체) 가 컵 (12) 의 내부로부터 배출된다. 그리고, 알칼리성 약액 밸브 (21) 가 열리고 나서 소정 시간이 경과하면, 제어 장치 (5) 는, 알칼리성 약액 밸브 (21) 를 닫아 SC-1 의 토출을 정지시킨다.
다음으로, 린스액의 일례인 순수를 기판 (W) 에 공급하는 제 2 중간 린스액 공급 공정 (스텝 S4) 이 실시된다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 린스액 밸브 (25) 를 열고, 기판 (W) 을 회전시키면서, 린스액 노즐 (11) 로부터 기판 (W) 의 상면 중앙부를 향하여 순수를 토출시킨다. 이로써, 기판 (W) 의 상면 전역을 덮는 SC-1 의 액막이 순수로 치환되어, 기판 (W) 상의 SC-1 이 순수에 의해 씻겨 내진다. 또, 기판 (W) 에의 순수의 공급 등에 수반하여 발생한 순수를 포함하는 분위기는, 컵 (12) 의 저부로부터 실내 배기 덕트 (15) 로 배출된다. 그리고, 린스액 밸브 (25) 가 열리고 나서 소정 시간이 경과하면, 제어 장치 (5) 는, 린스액 밸브 (25) 를 닫아 순수의 토출을 정지시킨다.
다음으로, 유기 약액의 일례인 IPA 를 기판 (W) 에 공급하는 유기 약액 공급 공정 (스텝 S5) 이 실시된다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 유기 약액 밸브 (23) 를 열고, 기판 (W) 을 회전시키면서, 유기 약액 노즐 (10) 로부터 기판 (W) 의 상면 중앙부를 향하여 IPA 를 토출시킨다. 이로써, 기판 (W) 의 상면 전역을 덮는 순수의 액막이 IPA 로 치환되어, 기판 (W) 상의 순수가 IPA 에 의해 씻겨 내진다. 또, 기판 (W) 에의 IPA 의 공급 등에 수반하여 발생한 IPA 를 포함하는 분위기는, 컵 (12) 의 저부로부터 실내 배기 덕트 (15) 로 배출된다. 이로써, 유기 배기 (유기 약액을 포함하는 기체) 가 컵 (12) 의 내부로부터 배출된다. 그리고, 유기 약액 밸브 (23) 가 열리고 나서 소정 시간이 경과하면, 제어 장치 (5) 는, 유기 약액 밸브 (23) 를 닫아 IPA 의 토출을 정지시킨다.
다음으로, 기판 (W) 을 건조시키는 건조 공정 (스텝 S6) 이 실시된다. 구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 기판 (W) 의 회전을 가속시켜, 산성 약액 공급 공정에서부터 유기 약액 공급 공정까지의 회전 속도보다 빠른 고회전 속도 (예를 들어 수천 rpm) 로 기판 (W) 을 회전시킨다. 이로써, 큰 원심력이 기판 (W) 상의 액체에 가해져, 기판 (W) 에 부착되어 있는 액체가 기판 (W) 주위로 떨쳐진다. 이와 같이 하여, 기판 (W) 으로부터 액체가 제거되고, 기판 (W) 이 건조된다. 그리고, 기판 (W) 의 고속 회전이 개시되고 나서 소정 시간이 경과하면, 제어 장치 (5) 는, 스핀 척 (7) 에 의한 기판 (W) 의 회전을 정지시킨다. 그 후, 처리가 완료된 기판 (W) 이 반송 로봇에 의해 스핀 척 (7) 으로부터 반출된다.
도 4 는, 스크러버 (3) 의 내부를 상방으로부터 본 모식도이다. 도 5 는, 스크러버 (3) 의 내부를 측방으로부터 본 모식도이다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에 각각 접속된 복수의 상류 배기 덕트 (32) 와, 복수의 상류 배기 덕트 (32) 에 각각 접속된 복수의 배기 유입실 (33) 과, 복수의 배기 유입실 (33) 의 각각에 접속된 배기 집합실 (34) 과, 배기 집합실 (34) 에 접속된 하류 배기 덕트 (35) 를 포함한다. 스크러버 (3) 는, 또한 배기 유입실 (33) 및 배기 집합실 (34) 을 지나 상류 배기 덕트 (32) 로부터 하류 배기 덕트 (35) 를 향하는 배기로부터 오염 물질을 제거하는 복수의 약액 분리기 (36) 와, 복수의 약액 분리기 (36) 로부터 하류 배기 덕트 (35) 를 향하는 배기로부터 액체 성분을 제거하는 복수의 미스트 분리기 (37) (mist separator) 를 포함한다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 는, 복수의 상류 배기 덕트 (32) 에 접속된 배기 세정 박스 (38) 를 포함한다. 배기 세정 박스 (38) 는, 내부 공간을 갖는 상자형의 하우징 (39) 과, 하우징 (39) 의 내부를 구획하는 칸막이벽 (40) 을 포함한다. 배기 유입실 (33) 및 배기 집합실 (34) 은, 하우징 (39) 의 내부에 설치되어 있고, 하우징 (39) 및 칸막이벽 (40) 에 의해 형성되어 있다. 따라서, 배기 유입실 (33) 및 배기 집합실 (34) 은, 공통의 부재 (배기 세정 박스 (38)) 에 의해 형성되어 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기를 기판 처리 장치 (1) 의 밖에 배치된 배기 설비를 향하여 안내하는 배기 통로 (41) 를 포함한다. 배기 통로 (41) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에 각각 접속된 복수의 개별로 (42) 와, 복수의 개별로 (42) 의 각각에 접속된 집합로 (43) 를 포함한다. 각 개별로 (42) 는, 대응하는 처리 유닛 (2) 으로부터 집합로 (43) 까지 연장되어 있다. 개별로 (42) 는, 상류 배기 덕트 (32), 하우징 (39), 및 칸막이벽 (40) 에 의해 형성되어 있고, 집합로 (43) 는, 하우징 (39) 및 하류 배기 덕트 (35) 에 의해 형성되어 있다. 복수의 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기는, 복수의 개별로 (42) 로부터 집합로 (43) 로 흐르고, 집합로 (43) 에 의해 하류측 (배기 설비측) 으로 안내된다.
개별로 (42) 는, 후술하는 미스트 필터 (48) 에 의해 여과되기 전의 배기가 흐르는 통로이고, 집합로 (43) 는, 미스트 필터 (48) 에 의해 여과된 배기가 통과하는 통로이다. 요컨대, 개별로 (42) 및 집합로 (43) 는, 통로 내를 흐르는 배기가 미스트 필터 (48) 에 의해 여과되어 있는지 아닌지라는 점에서 기능적으로 구분되어 있다. 이에 대하여, 배기 유입실 (33) 및 배기 집합실 (34) 은, 칸막이벽 (40) 에 의해 구획되어 있는지 아닌지라는 점에서 구조적으로 구분되어 있다. 즉, 배기 유입실 (33) 은, 배기 세정 박스 (38) 에 있어서 칸막이벽 (40) 으로 구획된 부분이고, 배기 집합실 (34) 은, 배기 세정 박스 (38) 에 있어서 칸막이벽 (40) 으로 구획되어 있지 않은 부분이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 복수의 상류 배기 덕트 (32) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에 각각 설치된 복수의 기체 배관 (29) 에 각각 접속되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 상류 배기 덕트 (32) 는, 대응하는 처리 유닛 (2) 으로부터 대응하는 배기 집합실 (34) 까지 연장되어 있다. 상류 배기 덕트 (32) 의 상류단은, 기체 배관 (29) 에 접속되어 있고, 상류 배기 덕트 (32) 의 하류 단부는, 배기 집합실 (34) 의 내면에서 개구되는 흡기구 (44) 에 접속되어 있다. 따라서, 복수의 배기 유입실 (33) 은, 복수의 상류 배기 덕트 (32) 를 개재하여, 복수의 처리 유닛 (2) 에 각각 접속되어 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 각 배기 유입실 (33) 은, 처리 유닛 (2) 으로부터 배기 설비를 향하는 배기의 유통 방향 D1 로 연장되어 있다. 복수의 배기 유입실 (33) 은 서로 평행하다. 배기 유입실 (33) 로 유입된 배기는, 배기 유입실 (33) 에 의해 유통 방향 D1 로 안내된다. 배기 유입실 (33) 의 유로 면적 (유통 방향 D1 에 직교하는 단면적) 은, 상류 배기 덕트 (32) 의 유로 면적보다 크다. 각 배기 유입실 (33) 의 상류 단부는, 대응하는 상류 배기 덕트 (32) 에 접속되어 있고, 각 배기 유입실 (33) 의 하류 단부는, 배기 집합실 (34) 에 접속되어 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 배기 집합실 (34) 은, 모든 배기 유입실 (33) 보다 하류측에 배치되어 있다. 배기 집합실 (34) 의 유로 면적은, 배기 유입실 (33) 의 유로 면적보다 크고, 하류 배기 덕트 (35) 의 유로 면적보다 크다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 하류 배기 덕트 (35) 의 상류 단부는, 배기 집합실 (34) 의 저면 (내면의 저부) 에서 개구되는 개구부에 접속되어 있다. 하류 배기 덕트 (35) 의 상류 단부는, 배기 집합실 (34) 의 저면으로부터 상방으로 돌출되어 있고, 배기 집합실 (34) 의 저면보다 상방의 높이에서 개구되는 배기구 (45) 를 형성하고 있다. 배기 집합실 (34) 은, 하류 배기 덕트 (35) 를 개재하여, 배기 설비에 접속되어 있다. 따라서, 배기 설비의 흡인력은, 하류 배기 덕트 (35) 를 개재하여 배기 집합실 (34) 에 전달된다. 이로써, 배기 설비의 흡인력이, 스크러버 (3) 를 개재하여 모든 처리 유닛 (2) 에 전달된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 각 배기 유입실 (33) 은, 약액 분리기 (36) 및 미스트 분리기 (37) 를 수용하고 있다. 또한, 각 배기 유입실 (33) 은, 후술하는 2 개의 분무기 (54) 를 수용하고 있다. 약액 분리기 (36) 는, 미스트 분리기 (37) 보다 배기의 유통 방향 D1 에 있어서의 상류측에 배치되어 있다. 2 개의 분무기 (54) 는, 약액 분리기 (36) 의 상류 및 하류에 각각 배치되어 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 약액 분리기 (36) 는, 배기 유입실 (33) 의 내부 공간을 배기의 유통 방향 D1 로 배열한 2 개의 공간으로 구획되어 있다. 흡기구 (44) 와 약액 분리기 (36) 사이의 배기 유입실 (33) 내의 공간은, 상류 세정 공간이고, 약액 분리기 (36) 와 미스트 분리기 (37) 사이의 배기 유입실 (33) 내의 공간은, 하류 세정 공간이다. 2 개의 분무기 (54) 는, 각각, 상류 세정 공간 및 하류 세정 공간에 배치되어 있다. 미스트 분리기 (37) 는, 배기 유입실 (33) 의 하류 단부 내에 배치되어 있고, 배기 유입실 (33) 과 배기 집합실 (34) 을 구획하고 있다. 즉, 미스트 분리기 (37) 보다 하류의 공간은, 배기 집합실 (34) 의 내부 (배기 집합 공간) 이다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 약액 분리기 (36) 는, 배기의 유통 방향 D1 로 기체 및 액체를 통과시키는 메시상의 스크러브 필터 (46) 와, 스크러브 필터 (46) 를 유지하는 필터 케이스 (47) 를 포함한다. 미스트 분리기 (37) 는, 배기의 유통 방향 D1 로 기체를 통과시키는 메시상의 미스트 필터 (48) 와, 미스트 필터 (48) 를 유지하는 미스트 필터 케이스 (49) 를 포함한다. 스크러브 필터 (46) 는, 필터 케이스 (47) 내에 수용되어 있고, 미스트 필터 (48) 는, 미스트 필터 케이스 (49) 내에 수용되어 있다. 필터 케이스 (47) 및 미스트 필터 케이스 (49) 는, 배기 세정 박스 (38) 에 장착되어 있다. 따라서, 약액 분리기 (36) 및 미스트 분리기 (37) 는, 배기 세정 박스 (38) 에 유지되고 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 필터 케이스 (47) 는, 필터 케이스 (47) 의 내부와 필터 케이스 (47) 의 외부를 연결하는 복수의 개구를 포함한다. 필터 케이스 (47) 에 형성된 복수의 개구는, 스크러브 필터 (46) 보다 상류측에 배치된 상류 개구 (50) 와, 스크러브 필터 (46) 보다 하류측에 배치된 하류 개구 (51) 와, 스크러브 필터 (46) 의 하방에 배치된 하방 개구 (52) (도 5 참조) 를 포함한다. 스크러브 필터 (46) 는, 필터 케이스 (47) 에 형성된 복수의 개구로부터 노출되어 있다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 필터 케이스 (47) 의 하면은, 상하 방향으로 간격을 두고 배기 세정 박스 (38) 의 저면 (내면의 저부) 에 대향하고 있다. 필터 케이스 (47) 의 하면과 배기 세정 박스 (38) 의 저면 사이의 상하 방향의 간격은, 약액 분리기 (36) 의 높이보다 충분히 작다.
필터 케이스 (47) 와 마찬가지로, 미스트 필터 케이스 (49) 는, 미스트 필터 케이스 (49) 의 내부와 미스트 필터 케이스 (49) 의 외부를 연결하는 복수의 개구를 포함한다. 미스트 필터 케이스 (49) 에 형성된 복수의 개구는, 미스트 필터 (48) 보다 상류측에 배치된 상류 개구 (50) 와, 미스트 필터 (48) 보다 하류측에 배치된 하류 개구 (51) 와, 미스트 필터 (48) 의 하방에 배치된 하방 개구 (52) 를 포함한다. 미스트 필터 (48) 는, 미스트 필터 케이스 (49) 에 형성된 복수의 개구로부터 노출되어 있다. 미스트 필터 케이스 (49) 의 하면은, 상하 방향으로 간격을 두고 배기 세정 박스 (38) 의 저면에 대향하고 있다. 미스트 필터 케이스 (49) 의 하면과 배기 세정 박스 (38) 의 저면 사이의 상하 방향의 간격은, 미스트 분리기 (37) 의 높이보다 충분히 작다.
스크러브 필터 (46) 는, 미스트 필터 (48) 와 동일한 높이를 갖고 있고, 미스트 필터 (48) 와 동일한 폭을 갖고 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 스크러브 필터 (46) 는, 미스트 필터 (48) 보다 배기의 유통 방향 D1 로 길다. 스크러브 필터 (46) 는, 미스트 필터 (48) 보다 성긴 필터이다. 따라서, 스크러브 필터 (46) 는, 기체 및 액체를 통과시킬 수 있다. 또, 미스트 필터 (48) 는, 스크러브 필터 (46) 보다 촘촘한 필터이고, 기체만을 통과시킬 수 있어, 액체만을 선택적으로 제거할 수 있다.
배기 설비의 흡인력에 의해 처리 유닛 (2) 으로부터 배기 유입실 (33) 로 흡인된 배기는, 필터 케이스 (47) 의 상류 개구 (50) 를 통해서 필터 케이스 (47) 내의 스크러브 필터 (46) 로 공급된다. 그리고, 스크러브 필터 (46) 를 통과한 배기는, 스크러브 필터 (46) 의 하류 개구 (51) 를 통해서 필터 케이스 (47) 의 내부로부터 필터 케이스 (47) 의 외부로 이동한다. 그 후, 약액 분리기 (36) 를 통과한 배기는, 미스트 필터 케이스 (49) 의 상류 개구 (50) 를 통해서 미스트 필터 케이스 (49) 내의 미스트 필터 (48) 로 공급된다. 그리고, 미스트 필터 (48) 를 통과한 배기는, 미스트 필터 (48) 의 하류 개구 (51) 를 통해서 미스트 필터 케이스 (49) 의 내부로부터 미스트 필터 케이스 (49) 의 외부로 이동한다. 그 후, 미스트 분리기 (37) 를 통과한 배기는, 하류 배기 덕트 (35) 를 개재하여 배기 설비로 유도된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 는, 배기를 세정하는 세정액을 스크러버 (3) 내에서 분무하는 분무 장치 (53) 를 포함한다. 분무 장치 (53) 는, 처리 유닛 (2) 에서 기판 (W) 에 공급되는 약액의 종류에 따라, 산성, 알칼리성, 또는 중성의 세정액을 스크러버 (3) 내에서 분무한다. 도 4 는, 산성 세정액과 중성 세정액을 스크러버 (3) 내에서 개별적으로 분무하는 구성예를 나타내고 있다. 산성 세정액의 일례는 희황산이고, 중성 세정액의 일례는 물 (공업용수) 이다. 산성 세정액은, 희황산 이외의 산성 액체여도 되고, 중성 세정액은, 물을 주성분으로 하는 중성 액체여도 된다. 알칼리성 세정액은 묽은 암모니아 수용액 등을 사용할 수 있다.
분무 장치 (53) 는, 처리 유닛 (2) 으로부터 배출된 배기와 세정액의 미스트를 접촉시킴으로써, 배기에 포함되는 오염 물질을 세정액의 미스트에 포획시키는 장치이다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 분무 장치 (53) 는, 스크러버 (3) 내에서 세정액을 분무하는 복수의 분무기 (54) 와, 각 분무기 (54) 에 세정액을 공급하는 세정액 공급 장치 (55) 를 포함한다. 복수의 분무기 (54) 는, 배기 세정 박스 (38) 의 내부에 배치되어 있다. 복수의 분무기 (54) 는, 복수의 배기 유입실 (33) 에 각각 배치된 복수쌍의 분무기 (54) 를 포함한다. 쌍의 분무기 (54) 는, 약액 분리기 (36) 의 상류 및 하류에 각각 배치되어 있다.
도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 분무기 (54) 는, 배기 유입실 (33) 내에 배치된 원기둥상의 분무탑 (56) 과, 분무탑 (56) 의 외주면으로부터 외방으로 돌출되는 복수의 스프레이 노즐 (57) 을 포함한다. 분무탑 (56) 은, 상하 방향으로 연장되어 있다. 복수의 스프레이 노즐 (57) 은, 각각 상이한 높이로 배치되어 있고, 평면에서 볼 때에 있어서 분무탑 (56) 의 둘레 방향으로 떨어진 2 개의 위치에 배치되어 있다. 각 스프레이 노즐 (57) 의 분무구는, 약액 분리기 (36) 에 대향하고 있다.
각 스프레이 노즐 (57) 은, 분무탑 (56) 의 내부에 형성된 세정액의 유로에 접속되어 있다. 각 스프레이 노즐 (57) 은, 분무탑 (56) 을 통해서 세정액 공급 장치 (55) 로부터 공급된 세정액을 원추상으로 분무한다. 이로써, 세정액의 미스트가, 배기 유입실 (33) 의 내부 (상류 세정 공간 및 하류 세정 공간) 를 표류하고, 처리 유닛 (2) 으로부터 배출된 배기가, 세정액의 미스트에 접촉한다. 또한, 각 스프레이 노즐 (57) 은, 세정액을 약액 분리기 (36) 를 향하여 분무하므로, 세정액의 액적이, 스크러브 필터 (46) 의 외표면 및 내표면에 공급되어, 스크러브 필터 (46) 의 내부에 유지된다. 그 때문에, 스크러브 필터 (46) 를 통과하는 배기는, 스크러브 필터 (46) 에 유지되어 있는 세정액에도 접촉한다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 세정액 공급 장치 (55) 는, 복수쌍의 분무기 (54) 에 각각 접속된 복수의 세정액 공급 유닛 (58) 을 포함한다. 복수의 세정액 공급 유닛 (58) 은, 각각, 복수의 배기 유입실 (33) 에 대응하고 있다. 각 세정액 공급 유닛 (58) 은, 대응하는 쌍의 분무기 (54) 에 세정액을 공급한다. 각 세정액 공급 유닛 (58) 은, 다른 세정액 공급 유닛 (58) 의 가동 상황에 의하지 않고, 대응하는 쌍의 분무기 (54) 에 세정액을 공급할 수 있다. 따라서, 각 세정액 공급 유닛 (58) 은, 다른 세정액 공급 유닛 (58) 으로부터 독립되어 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 각 세정액 공급 유닛 (58) 은, 상류측의 분무기 (54) 에 접속된 상류 세정액 배관 (59) 과, 하류측의 분무기 (54) 에 접속된 하류 세정액 배관 (60) 과, 상류 세정액 배관 (59) 및 하류 세정액 배관 (60) 에 접속된 집합 배관 (61) 과, 집합 배관 (61) 에 개재된 배관 내 혼합기 (62) 를 포함한다. 도시는 하지 않지만, 배관 내 혼합기 (62) 는, 집합 배관 (61) 에 개재된 배관과, 배관 내에 배치되어 있고, 배관의 축 방향으로 연장되는 축선 둘레로 꼬인 교반 핀을 포함한다. 배관 내 혼합기 (62) 내 (배관 내) 에 공급된 혼합 유체는, 교반 핀을 따라 나선상으로 흐르는 동안에 균일하게 혼합된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 각 세정액 공급 유닛 (58) 은, 집합 배관 (61) 에 접속된 산성 액체 배관 (63) 과, 산성 액체 배관 (63) 에 개재된 산성 액체 밸브 (64) 와, 산성 액체 배관 (63) 에 개재된 제 1 유량 조정 밸브 (65) 를 포함한다. 각 세정액 공급 유닛 (58) 은, 추가로 집합 배관 (61) 에 접속된 중성 액체 배관 (66) 과, 중성 액체 배관 (66) 에 개재된 중성 액체 밸브 (67) 와, 중성 액체 배관 (66) 에 개재된 제 2 유량 조정 밸브 (68) 를 포함한다. 산성 액체의 일례는 농황산이고, 중성 액체의 일례는 물이다. 전술한 산성 세정액은, 산성 액체가 중성 액체에 의해 희석된 희석액이다.
산성 액체 밸브 (64) 가 열리면, 산성 액체 배관 (63) 내의 산성 액체가, 제 1 유량 조정 밸브 (65) 의 개방도에 대응하는 유량으로 집합 배관 (61) 내로 유입된다. 마찬가지로, 중성 액체 밸브 (67) 가 열리면, 중성 액체 배관 (66) 내의 물이, 제 2 유량 조정 밸브 (68) 의 개방도에 대응하는 유량으로 집합 배관 (61) 으로 유입된다. 따라서, 산성 액체 밸브 (64) 가 닫혀 있고, 중성 액체 밸브 (67) 가 열려 있는 상태에서는, 중성 액체 배관 (66) 으로부터 집합 배관 (61) 으로 공급된 물이, 동일한 유량으로 상류 세정액 배관 (59) 및 하류 세정액 배관 (60) 내로 유입되고, 동일한 유량으로 쌍의 분무기 (54) 에 공급된다. 이로써, 중성 세정액으로서의 물이, 동일한 유량으로 쌍의 분무기 (54) 로부터 분무된다.
또, 산성 액체 밸브 (64) 및 중성 액체 밸브 (67) 의 양방이 열려 있는 상태에서는, 물 및 농황산이, 소정의 비율 (예를 들어, 100 ∼ 1000 (물) : 1 (농황산)) 로 집합 배관 (61) 에 공급된다. 그리고, 물 및 농황산은, 배관 내 혼합기 (62) 에 의해 배관 내에서 혼합된다. 이로써, 물 및 농황산이 교반되어, 희황산이 생성된다. 그 때문에, 희황산이 동일한 유량으로 상류 세정액 배관 (59) 및 하류 세정액 배관 (60) 내로 유입되고, 동일한 유량으로 쌍의 분무기 (54) 에 공급된다. 이로써, 산성 세정액으로서의 희황산이, 동일한 유량으로 쌍의 분무기 (54) 로부터 분무된다.
분무기 (54) 가 세정액을 분무하면, 세정액의 미스트가, 상류 세정 공간 및 하류 세정 공간으로 분산되고, 세정액의 액적이, 스크러브 필터 (46) 의 내부에 유지된다. 상류 배기 덕트 (32) 로부터 상류 세정 공간으로 유입된 배기는, 상류 세정 공간을 표류하는 세정액의 미스트와의 접촉에 의해 약액 성분의 잔류량이 저감된다. 또한, 스크러브 필터 (46) 를 통과하는 배기는, 스크러브 필터 (46) 내의 세정액과의 접촉에 의해 약액 성분의 잔류량이 저감된다. 그리고, 하류 세정 공간으로 유입된 배기는, 하류 세정 공간을 표류하는 세정액의 미스트와의 접촉에 의해 약액 성분의 잔류량이 저감된다. 이로써, 처리 유닛 (2) 으로부터 배출된 배기가 세정된다.
또, 분무기 (54) 가 희황산 등의 산성 세정액을 분무하면, 산성 세정액의 미스트가, 상류 세정 공간 및 하류 세정 공간으로 분산되어, 산성 세정액의 액적이, 스크러브 필터 (46) 의 내부에 유지된다. 이 상태에서, 처리 유닛 (2) 으로부터 배출된 알칼리성 배기가 상류 세정 공간으로 유입되면, 알칼리성 배기 중의 약액 성분의 잔류량이 중화에 의해 저감된다. 마찬가지로, 약액 성분의 잔류량은, 스크러브 필터 (46) 내에서의 중화 반응과, 하류 세정 공간에서의 중화 반응에 의해 더 저감된다. 이로써, 알칼리성 배기에 포함되는 알칼리성 약액이 제거되어, 처리 유닛 (2) 으로부터 배출된 배기가 세정된다.
세정액의 미스트나 세정액의 액적과 접촉에 의해 약액 성분이 저감된 가스 (정화 후의 배기. 이후, 정화 가스라고 칭한다) 는, 미스트 분리기 (37) 의 미스트 필터 (48) 를 통과한다. 정화 가스는, 세정액 등의 액체 성분을 포함하고 있는 경우가 있다. 미스트 필터 (48) 는, 스크러브 필터 (46) 보다 촘촘한 필터이므로, 기체만을 통과시킬 수 있어, 액체만을 선택적으로 제거할 수 있다. 그 때문에, 액체 성분이 정화 가스에 포함되어 있다고 해도, 정화 가스 중의 액체 성분은, 미스트 필터 (48) 를 통과함으로써 미스트 필터 (48) 에서 제거된다. 이로써, 세정액 등의 액체 성분이 제거된 정화 가스 (최종 정화 가스) 가, 하류 배기 덕트 (35) 를 개재하여, 기판 처리 장치 (1) 밖에 배치된 배기 설비로 유도된다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 는, 배기 통로 (41) 내로부터 액체를 배출하는 배액 장치 (69) 를 포함한다. 배액 장치 (69) 는, 배기 통로 (41) 에 접속된 배액 배관 (70) 과, 배기 통로 (41) 내의 액체를 배액 배관 (70) 쪽으로 유도하는 배액로 (71) 를 포함한다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 배액 장치 (69) 는, 추가로 배액 배관 (70) 내의 유체를 흡인하는 흡인 장치 (72) 를 포함한다. 흡인 장치 (72) 는, 배액 배관 (70) 내의 유체를 흡인하는 아스피레이터 (74) 를 포함한다. 흡인 장치 (72) 는, 아스피레이터 (74) 대신에, 배액 배관 (70) 내의 유체를 흡인하는 펌프를 구비하고 있어도 되고, 아스피레이터 (74) 및 펌프 양방을 구비하고 있어도 된다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 배액 배관 (70) 은, 배기 집합실 (34) 의 저면으로부터 하방으로 연장되어 있다. 배액 배관 (70) 의 상류 단부는, 배기 집합실 (34) 의 저면 (내면의 저부) 에서 개구되는 배액구 (73) 에 접속되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 배액 배관 (70) 의 하류 단부는, 흡인 장치 (72) 에 접속되어 있다. 배액구 (73) 는, 평면에서 볼 때에 있어서 배기구 (45) 의 주위에 배치되어 있다. 배액구 (73) 의 개구 면적은, 배기구 (45) 의 개구 면적보다 작다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 하류 배기 덕트 (35) 의 상류 단부는, 배기 집합실 (34) 의 저면으로부터 상방으로 돌출되어 있고, 배액구 (73) 보다 상방에서 개구되어 있다. 따라서, 배기구 (45) 는, 배액구 (73) 보다 상방에 배치되어 있다. 그 때문에, 배기 집합실 (34) 의 저면 상의 액체는, 하류 배기 덕트 (35) 의 상류 단부에 의해 배기구 (45) 내로의 침입이 방지된다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 배액로 (71) 는, 배기 세정 박스 (38) 의 저면 (내면의 저부) 에 의해 구성되어 있다. 배액로 (71) 는, 약액 분리기 (36) 보다 상류의 공간 (상류 세정 공간) 으로부터 배기 집합실 (34) 의 내부 (배기 집합 공간) 까지 연장되어 있다. 배액로 (71) 는, 약액 분리기 (36) 의 하면과 배기 세정 박스 (38) 의 저면 사이의 간극을 포함한다. 마찬가지로, 배액로 (71) 는, 미스트 분리기 (37) 의 하면과 배기 세정 박스 (38) 의 저면 사이의 간극을 포함한다. 배액로 (71) 는, 배액구 (73) 에 근접함에 따라 하방에 위치하도록 수평면 (도 5 중의 2 점 쇄선) 에 대해 경사져 있다. 따라서, 배기 세정 박스 (38) 의 저면 상의 액체는, 자중에 의해 배기 세정 박스 (38) 의 저면 상을 배액구 (73) 를 향해 흐른다. 이로써, 배기 유입실 (33) 및 배기 집합실 (34) 내의 액체가, 배액 배관 (70) 쪽으로 유도된다.
배기 유입실 (33) 의 저면 상의 액체는, 배액로 (71) 에 의해 배액 배관 (70) 쪽으로 유도된다. 또, 스크러브 필터 (46) 내의 액체는, 스크러브 필터 (46) 로부터 하방으로 낙하한다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 스크러브 필터 (46) 로부터 하방으로 낙하한 액체는, 필터 케이스 (47) 의 내부와 필터 케이스 (47) 의 하방의 공간을 연결하는 하방 개구 (52) 를 지나, 배기 유입실 (33) 의 저면에 착지한다. 마찬가지로, 미스트 필터 (48) 내의 액체는, 미스트 필터 케이스 (49) 의 내부와 미스트 필터 케이스 (49) 의 하방의 공간을 연결하는 하방 개구 (52) 를 지나, 배기 유입실 (33) 의 저면에 착지한다. 그리고, 배기 유입실 (33) 의 저면에 낙하한 액체는, 배액로 (71) 에 의해 배액 배관 (70) 쪽으로 유도되고, 배액구 (73) 에서 배출된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 흡인 장치 (72) 는, 배액 배관 (70) 내의 유체를 흡인하는 아스피레이터 (74) 와, 아스피레이터 (74) 내에 액체를 공급하는 액체 공급 배관 (75) 과, 아스피레이터 (74) 내의 액체가 배출되는 액체 배출 배관 (76) 과, 액체 공급 배관 (75) 에 개재된 배액 밸브 (77) 를 포함한다. 액체 공급 배관 (75) 은, 액체가 유입되는 아스피레이터 (74) 의 유입구에 접속되어 있고, 액체 배출 배관 (76) 은, 액체가 유출되는 아스피레이터 (74) 의 유출구에 접속되어 있다. 배액 배관 (70) 은, 배액을 흡인하는 아스피레이터 (74) 의 흡인구에 접속되어 있다. 액체 공급 배관 (75) 은, 분무 장치 (53) 와 공통의 액체 공급원에 접속되어 있다.
액체 공급 배관 (75) 에 개재된 배액 밸브 (77) 가 열려 있는 상태에서는, 액체의 일례인 물이, 아스피레이터 (74) 의 내부에 형성된 T 자상의 유로 (도시 생략) 를 지나, 액체 공급 배관 (75) 으로부터 액체 배출 배관 (76) 으로 흐른다. 이때, 배액 배관 (70) 내의 유체를 흡인하는 흡인력이 발생하고, 배액 배관 (70) 내의 배액이, 아스피레이터 (74) 의 내부를 지나 액체 배출 배관 (76) 으로 흐른다. 이로써, 배액 배관 (70) 내의 배액이 강제적으로 배출된다. 따라서, 배기 세정 박스 (38) 의 저면 상의 액체가 신속하게 또한 확실하게 배액 배관 (70) 내로 배출된다. 그 때문에, 배기 세정 박스 (38) 의 저면에서의 액체의 체류를 억제 또는 방지할 수 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 는, 약액 분리기 (36) 보다 상류에서 배기압을 검출하는 복수의 상류 배기압 센서 (78) 와, 약액 분리기 (36) 보다 하류에서 배기압을 검출하는 하류 배기압 센서 (79) 를 포함한다. 복수의 상류 배기압 센서 (78) 는, 각각, 복수의 처리 유닛 (2) 에 대응하고 있고, 하류 배기압 센서 (79) 는, 모든 처리 유닛 (2) 에 대응하고 있다. 하류 배기압 센서 (79) 는, 배기 집합실 (34) 에 접속되어 있다. 상류 배기압 센서 (78) 는, 상류 배기 덕트 (32) 또는 배기 유입실 (33) 에 접속되어 있다. 도 4 는, 모든 상류 배기압 센서 (78) 가 상류 배기 덕트 (32) 에 접속되어 있는 예를 나타내고 있다.
상류 배기압 센서 (78) 및 하류 배기압 센서 (79) 의 검출값은, 제어 장치 (5) 에 입력된다. 약액 분리기 (36) 의 스크러브 필터 (46) 가 세정액으로 충분히 젖어 있는 경우, 스크러브 필터 (46) 의 압력 손실이 커지므로, 상류 배기압 센서 (78) 및 하류 배기압 센서 (79) 의 검출값의 차가 크다. 따라서, 제어 장치 (5) 는, 상류 배기압 센서 (78) 및 하류 배기압 센서 (79) 의 검출값에 기초하여, 충분한 양의 세정액이 스크러브 필터 (46) 에 유지되고 있는지 아닌지를 판정할 수 있다.
도 6 은, 처리 유닛 (2) 에서 기판 (W) 이 처리되고 있을 때의 스크러버 (3) 의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
전술한 바와 같이, 처리 유닛 (2) 에서는, 산성 약액 공급 공정 (스텝 S1), 제 1 중간 린스액 공급 공정 (스텝 S2), 알칼리성 약액 공급 공정 (스텝 S3), 제 2 중간 린스액 공급 공정 (스텝 S4), 유기 약액 공급 공정 (스텝 S5), 및 건조 공정 (스텝 S6) 이, 이 순서로 실시된다. 산성 약액 밸브 (19), 알칼리성 약액 밸브 (21), 유기 약액 밸브 (23), 및 린스액 밸브 (25) 의 각각은, 처리 유닛 (2) 에서 실시되는 공정에 따라 개폐된다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 산성 약액 공급 공정 (스텝 S1) 에서는, 산성 약액 밸브 (19) 가 열려 있고, 알칼리성 약액 밸브 (21), 유기 약액 밸브 (23), 및 린스액 밸브 (25) 는 닫혀 있다. 그리고, 열리는 밸브가 변경됨으로써, 산성 약액 공급 공정, 제 1 중간 린스액 공급 공정, 알칼리성 약액 공급 공정, 제 2 중간 린스액 공급 공정, 및 유기 약액 공급 공정이, 순차 실시된다.
한편, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 스크러버 (3) 에서는, 처리 유닛 (2) 에서 실시되는 공정에 관계없이, 요컨대 산성 약액 공급 공정에서부터 건조 공정까지의 기간 중, 이 처리 유닛 (2) 에 대응하는 중성 액체 밸브 (67) 가 열려 있고, 물이 토출되고 있다 (스크러버 밸브 동작의 상단 참조). 마찬가지로, 배액 밸브 (77) 는, 산성 약액 공급 공정으로부터 건조 공정까지의 기간 중, 열려 있다 (스크러버 밸브 동작의 하단 참조). 따라서, 중성 액체 밸브 (67) 및 배액 밸브 (77) 는, 항상 열려 있다. 그 때문에, 이 처리 유닛 (2) 에 대응하는 분무기 (54) 는, 세정액으로서의 물을 항상 분무하고 있고, 배액 장치 (69) 는, 배기 세정 박스 (38) 의 저면 상의 액체를 항상 배출하고 있다.
도시는 하지 않지만, 중성 액체 밸브 (67) 는, 처리 유닛 (2) 에서 기판 (W) 의 처리가 실시되고 있지 않는 기간 중에도 열려 있다. 분무기 (54) 는, 세정액을 약액 분리기 (36) 를 향하여 분무하므로, 물의 분무가 실시되고 있는 동안에는, 약액 분리기 (36) 의 스크러브 필터 (46) 가 물에 의해 젖은 상태로 유지되고 있다. 그 때문에, 약액 분리기 (36) 보다 상류측의 배기압과 약액 분리기 (36) 보다 하류측의 배기압의 차가 일정하게 유지된다. 마찬가지로, 다른 처리 유닛 (2) 에 대응하는 모든 중성 액체 밸브 (67) 도 항상 열려 있다. 따라서, 각 처리 유닛 (2) 에 가해지는 배기압이 일정하게 유지되고 있다.
어느 처리 유닛 (2) 에서 산성 약액 공급 공정이 개시되면, 요컨대 기판 (W) 에 대한 산성 약액의 공급이 개시되면, 산성 배기가, 이 처리 유닛 (2) 에 대응하는 배기 유입실 (33) 로 유입된다. 마찬가지로, 어느 처리 유닛 (2) 에서 알칼리성 약액 공급 공정이 개시되면, 알칼리성 배기가, 이 처리 유닛 (2) 에 대응하는 배기 유입실 (33) 로 유입된다. 마찬가지로, 어느 처리 유닛 (2) 에서 유기 약액 공급 공정이 개시되면, 유기 배기가, 이 처리 유닛 (2) 에 대응하는 배기 유입실 (33) 로 유입된다. 처리 유닛 (2) 에서는, 산성 약액 (불산), 알칼리성 약액 (SC-1), 및 유기 약액 (IPA) 이, 기판 (W) 에 공급되므로, 산성 배기, 알칼리성 배기, 및 유기 배기가, 각각 상이한 기간에 배기 유입실 (33) 로 유입된다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 처리 유닛 (2) 에서 알칼리성 약액 공급 공정 (스텝 S3) 이 실시되고 있는 기간 중에는, 스크러버 (3) 의 산성 액체 밸브 (64) 가 열려 있고, 희황산이 토출되고 있다 (스크러버 밸브 동작의 중단 참조). 스크러버 (3) 의 산성 액체 밸브 (64) 가 개폐될 때, 제어 장치 (5) 는, 처리 유닛 (2) 의 알칼리성 약액 밸브 (21) 를 여는 것과 동시에, 산성 액체 밸브 (64) 를 열어도 되고, 알칼리성 약액 밸브 (21) 를 열기 전 또는 후에, 산성 액체 밸브 (64) 를 열어도 된다. 마찬가지로, 제어 장치 (5) 는, 처리 유닛 (2) 의 알칼리성 약액 밸브 (21) 를 닫는 것과 동시에, 산성 액체 밸브 (64) 를 닫아도 되고, 알칼리성 약액 밸브 (21) 를 닫기 전 또는 후에, 산성 액체 밸브 (64) 를 닫아도 된다.
처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기는, 처리 유닛 (2) 으로부터 배기 유입실 (33) 까지의 경로 길이 및 경로에서의 배기의 유속에 따른 시간이 경과한 후, 배기 유입실 (33) 로 유입된다. 요컨대, 처리 유닛 (2) 에서의 배기의 발생과 배기 유입실 (33) 로의 배기의 유입 사이에 시간차가 있다. 따라서, 제어 장치 (5) 는, 이 시간차에 기초하여 산성 액체 밸브 (64) 를 여는 시기를 지연시켜도 된다. 또, 기판 (W) 에 대한 약액의 공급을 정지했다고 해도, 약액을 포함하는 배기가 처리 유닛 (2) 내에 잔류하고 있으므로, 약액의 공급을 정지하고 나서 잠시 동안은, 약액을 포함하는 배기가 배기 유입실 (33) 로 유입된다. 따라서, 제어 장치 (5) 는, 이 시간차에 기초하여 산성 액체 밸브 (64) 를 닫는 시기를 지연시켜도 된다.
분무기 (54) 가 세정액으로서의 물을 항상 분무하고 있으므로, 배기 유입실 (33) 로 유입된 산성 배기 및 유기 배기는, 배기 유입실 (33) 을 표류하는 물의 미스트와의 접촉과, 약액 분리기 (36) 에 유지되어 있는 물방울과의 접촉에 의해, 세정된다. 또, 처리 유닛 (2) 에서 알칼리성 약액 공급 공정이 실시되고 있는 기간 중에는, 분무기 (54) 가 세정액으로서의 희황산을 분무하고 있으므로, 배기 유입실 (33) 로 유입된 알칼리성 배기는, 알칼리성 배기 중의 오염 물질과 희황산의 중화 반응에 의해 세정된다. 따라서, 산성 배기, 알칼리성 배기, 및 유기 배기 중 어느 것이, 처리 유닛 (2) 으로부터 배출되었다고 해도, 배기는, 스크러버 (3) 에 의해 무해한 상태까지 정화된 후, 스크러버 (3) 로부터 배출된다.
이상과 같이 본 실시형태에서는, 처리 유닛 (2) 에서 발생한 약액을 포함하는 배기가, 스크러버 (3) 의 배기 통로 (41) 에 의해, 기판 처리 장치 (1) 의 밖 을 향하여 안내된다. 스크러버 (3) 의 분무기 (54) 는, 복수종의 세정액을 배기 통로 (41) 내에서 개별적으로 토출할 수 있다. 스크러버 (3) 는, 세정액을 분무기 (54) 에 의해 배기 통로 (41) 내에서 토출시킴으로써, 배기 통로 (41) 내를 흐르는 배기에 세정액을 접촉시킨다. 이로써, 약액 성분이 배기로부터 제거되고, 정화된 배기가, 기판 처리 장치 (1) 밖에 배치된 배기 설비로 배출된다.
제어 장치 (5) 는, 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 분무기 (54) 가 토출하는 세정액의 종류를 선택한다. 따라서, 제어 장치 (5) 는, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 기판 (W) 의 처리 중에 변경되는 경우나, 배기에 포함되는 오염 물질의 종류가 처리의 내용에 따라 변경되는 경우라도, 배기에 포함되는 약액 성분에 특화된 세정액을 배기에 접촉시킬 수 있다. 이로써, 기판 처리 장치 (1) 는, 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기를 그 내부에서 정화할 수 있어, 배기에 포함되는 약액 성분의 잔류량을 저감할 수 있다.
이와 같이, 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기를 기판 처리 장치 (1) 내에서 정화할 수 있으므로, 약액 성분 등의 오염 물질을 배기로부터 제거하는 장치를 기판 처리 장치 (1) 가 설치되는 공장에 설치하지 않아도 된다. 바꾸어 말하면, 약액 성분이 제거된 배기가 기판 처리 장치 (1) 로부터 배출되므로, 기판 처리 장치 (1) 의 사용자는, 배기를 처리하는 일반적인 장치만을 준비하면 되고, 약액 성분을 배기로부터 제거하는 전용 장치를 준비하지 않아도 된다.
또 본 실시형태에서는, 기체를 통과시키는 스크러브 필터 (46) 가, 배기 통로 (41) 에 배치되어 있다. 분무기 (54) 가 세정액을 토출하면, 세정액을 포함하는 분위기가, 배기 통로 (41) 내를 표류하고, 스크러브 필터 (46) 에 부착된다. 그 때문에, 스크러브 필터 (46) 의 외표면이나 스크러브 필터 (46) 의 내표면에 세정액이 유지된다. 기판 처리 장치 (1) 의 밖을 향해 배기 통로 (41) 를 흐르는 배기는, 스크러브 필터 (46) 의 내부 공극을 통과한다.
오염 물질을 포함하는 배기는, 스크러브 필터 (46) 의 내부를 통과할 때에, 스크러브 필터 (46) 에 유지되어 있는 세정액의 액적에 접촉한다. 이때, 세정액을 스크러브 필터 (46) 에 유지시킴으로써, 배기 통로 (41) 내에 존재하는 세정액의 표면적이 증가하므로, 배기와 세정액의 접촉 면적도 증가한다. 이로써, 배기와 세정액의 접촉 시간 및 접촉 면적이 증가해, 오염 물질이 배기로부터 효율적으로 제거된다.
또 본 실시형태에서는, 스크러브 필터 (46) 는, 분무기 (54) 로부터의 세정액이 분무된다. 따라서, 분무기 (54) 로부터 토출된 세정액이 스크러브 필터 (46) 에 직접 부딪쳐, 세정액이 스크러브 필터 (46) 에 확실하게 공급된다. 그 때문에, 스크러브 필터 (46) 에 유지되는 세정액의 양이 증가하고, 스크러브 필터 (46) 에 유지되고 있는 세정액에 배기가 확실하게 접촉한다. 이로써, 배기에 포함되는 오염 물질의 잔류량이 더 저감되어, 배기의 청정도가 높아진다.
또 본 실시형태에서는, 기체를 통과시킴과 함께, 기체로부터 액체 성분을 제거하는 미스트 필터 (48) 가, 배기의 유통 방향 D1 에 있어서의 분무기 (54) 및 스크러브 필터 (46) 보다 하류측에서 배기 통로 (41) 에 배치되어 있다. 따라서, 세정액과의 접촉에 의해 오염 물질의 잔류량이 저감된 배기가, 미스트 필터 (48) 를 통과한다. 미스트 필터 (48) 를 통과하는 배기는, 세정액 등의 액체 성분을 포함하고 있는 경우가 있다. 이와 같은 액체 성분은, 미스트 필터 (48) 에 의해 포획되어, 배기로부터 제거된다. 따라서, 오염 물질뿐만 아니라, 액체 성분의 잔류량도 기판 처리 장치 (1) 의 내부에서 저감된다.
또 본 실시형태에서는, 배액 장치 (69) 의 흡인력이, 배기 통로 (41) 내에서 개구되는 배액구 (73) 로 전달되어, 배기 통로 (41) 내의 액체가 배액구 (73) 에 흡인된다. 이로써, 배기 통로 (41) 내의 액체가 배출된다. 배액구 (73) 는 배기 통로 (41) 내에 있기 때문에, 압력이 낮은 상태로 되어 있지만, 배액 장치 (72) 의 흡인력에 의해, 배액구 (73) 로부터 배액된 액체가 배기 통로 (41) 로 역류하는 것이 억제되어, 배기 통로 (41) 내의 액체를 확실하게 배액할 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 스크러브 필터 (46) 가, 배액구 (73) 보다 상류측에 배치되어 있다. 배액 장치 (69) 는, 스크러브 필터 (46) 와 배기 통로 (41) 의 저면 사이의 공간을 지나고, 스크러브 필터 (46) 보다 상류측에서부터 배액구 (73) 까지 연장되는 배액로 (71) 를 갖고 있다. 스크러브 필터 (46) 보다 상류측에 존재하는 액체는, 이 배액로 (71) 에 의해 배액구 (73) 쪽으로 유도된다. 따라서, 배액 장치 (69) 는, 배기 통로 (41) 내의 보다 넓은 범위로부터 액체를 모을 수 있고, 이로써 배기 통로 (41) 내의 액체의 잔류량을 저감할 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 세정액이 분무기 (54) 로부터 항상 토출된다. 즉, 기판 처리 장치 (1) 가 가동되고 있는 동안, 모든 분무기 (54) 가 세정액을 계속 토출한다. 따라서, 세정액이 스크러브 필터 (46) 에 유지되고 있는 상태가 확실하게 유지된다. 그 때문에, 배기 통로 (41) 내를 흐르는 배기가, 스크러브 필터 (46) 에 유지되고 있는 세정액에 확실하게 접촉한다. 이로써, 배기에 포함되는 오염 물질의 잔류량을 저감할 수 있다. 또한, 스크러브 필터 (46) 가 마르면, 스크러브 필터 (46) 가 기류에 주는 저항이 작아지므로, 스크러브 필터 (46) 를 젖은 상태로 유지함으로써, 배기압의 변동을 저감할 수 있다. 이로써, 스크러버 (3) 를 개재하여 배기 설비로부터 처리 유닛 (2) 으로 전달되는 배기압을 안정시킬 수 있다.
처리 유닛 (2) 에 전달되는 배기압이 변동하면, 기류의 난조가 챔버 (6) 내에서 발생하는 경우가 있다. 따라서, 처리 유닛 (2) 에 전달되는 배기압을 안정시킴으로써, 챔버 (6) 내의 기류를 안정시킬 수 있다. 그 때문에, 파티클 등의 이물질이나, 처리액의 미스트가, 챔버 (6) 내의 기판 (W) 에 부착되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다. 이로써, 기판 (W) 의 청정도를 높일 수 있다. 또한, 각 분무기 (54) 가 세정액을 항상 토출하면, 각 처리 유닛 (2) 에 전달되는 배기압이 균일화되므로, 복수의 처리 유닛 (2) 사이에서의 기판 (W) 의 처리 품질 편차를 저감할 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 스크러버 (3) 보다 상류측에 배치된 기액 분리기 (26) 가, 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기로부터 액체를 분리하여, 배기로부터 액체 성분을 제거한다. 그리고, 기액 분리기 (26) 에 의해 액체의 함유량이 저감된 배기가, 스크러버 (3) 로 보내진다. 따라서, 스크러버 (3) 에서 제거해야 할 약액 성분의 양을 저감시킬 수 있게 되고, 그 결과 기판 처리 장치 (1) 로부터 배출되는 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 배기 통로 (41) 의 복수의 개별로 (42) 가, 복수의 처리 유닛 (2) 에 각각 접속되어 있고, 배기 통로 (41) 의 집합로 (43) 가, 복수의 개별로 (42) 의 각각에 접속되어 있다. 복수의 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기는, 복수의 처리 유닛 (2) 으로부터 각각 복수의 개별로 (42) 로 배출된다. 그리고, 복수의 개별로 (42) 로 유입된 배기는, 집합로 (43) 를 거쳐, 기판 처리 장치 (1) 의 밖에 배치된 배기 설비쪽으로 유도된다. 각 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기는, 배기 통로 (41) 내를 흐르는 과정에서, 세정액과의 접촉에 의해 정화된다. 따라서, 스크러버 (3) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기를 기판 처리 장치 (1) 내에서 정화할 수 있다. 그 때문에, 개개의 처리 유닛 (2) 에 대응하는 복수의 스크러버 (3) 를 기판 처리 장치 (1) 내에 설치할 필요가 없다.
또 본 실시형태에서는, 복수의 분무기 (54) 가, 각각, 복수의 개별로 (42) 에 배치되어 있다. 따라서, 스크러버 (3) 는, 어느 개별로 (42) 에서 토출되는 세정액과는 상이한 종류의 세정액을 다른 개별로 (42) 에서 토출시킬 수 있다. 그 때문에, 스크러버 (3) 는, 배기에 포함되는 오염 물질에 특화된 세정액을 개개의 개별로 (42) 에서 배기에 접촉시킬 수 있다. 이로써, 스크러버 (3) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 이 각각 상이한 처리를 실시하는 경우에 있어서도, 각각에 대응하는 약액 성분의 제거를 실시할 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 복수의 스크러브 필터 (46) 가, 각각, 복수의 개별로 (42) 에 배치되어 있다. 따라서, 스크러버 (3) 는, 배기와 세정액을 개개의 개별로 (42) 내에서 확실하게 접촉시킬 수 있음과 함께, 개별로 (42) 내에서의 배기와 세정액의 접촉 면적을 증가시킬 수 있다. 그 때문에, 스크러버 (3) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기로부터 오염 물질을 효율적으로 제거할 수 있어, 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 복수의 미스트 필터 (48) 가, 각각, 복수의 개별로 (42) 에 배치되어 있다. 요컨대, 전용의 미스트 필터 (48) 가, 개별로 (42) 마다 설치되어 있다. 따라서, 스크러버 (3) 는, 개개의 개별로 (42) 에서 배기로부터 액체 성분을 제거할 수 있다. 그 때문에, 스크러버 (3) 는, 복수의 처리 유닛 (2) 에서 발생한 배기로부터 액체 성분을 확실하게 제거할 수 있어, 배기의 청정도를 더 높일 수 있다.
또 본 실시형태에서는, 배액 장치 (69) 의 복수의 배액로 (71) 가, 각각 복수의 개별로 (42) 에 대응하고 있고, 각 배액로 (71) 가, 대응하는 개별로 (42) 로부터 집합로 (43) 까지 연장되어 있다. 각 배액로 (71) 가 수평면에 대해 경사져 있어, 배액로 (71) 의 하류단이, 배액로 (71) 의 상류단보다 하방에 배치되어 있으므로, 복수의 개별로 (42) 내의 액체는, 자중에 의해 복수의 배액로 (71) 를 집합로 (43) 를 향해 흐른다. 따라서, 복수의 개별로 (42) 내의 액체는, 집합로 (43) 에 모인다. 배액 장치 (69) 는, 집합로 (43) 에서 개구되는 배액구 (73) 로부터 집합로 (43) 내의 액체를 흡인한다. 그 때문에, 배액 장치 (69) 는, 배기 통로 (41) 내의 보다 넓은 범위로부터 액체를 모을 수 있고, 이로써 배기 통로 (41) 내의 액체의 잔류량을 저감할 수 있다.
본 발명의 실시형태의 설명은 이상이지만, 본 발명은, 전술한 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위 내에 있어서 여러 가지 변경이 가능하다.
예를 들어, 전술한 실시형태에서는, 분무기 (54) 가, 각 개별로 (42) 에 배치되어 있는 경우에 대해 설명했지만, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 분무기 (54) 는, 집합로 (43) 에 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 분무기 (54) 뿐만 아니라, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 도 집합로 (43) 에 배치되어 있어도 된다.
분무기 (54) 가 집합로 (43) 에 배치되어 있는 경우, 개개의 개별로 (42) 에 분무기 (54) 를 설치하지 않아도 된다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 의 부품 점수를 감소시킬 수 있어, 기판 처리 장치 (1) 의 구조를 간소화할 수 있다. 마찬가지로, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 가 집합로 (43) 에 배치되어 있는 경우, 개개의 개별로 (42) 에 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 를 설치하지 않아도 된다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 의 부품 점수를 감소시킬 수 있어, 기판 처리 장치 (1) 의 구조를 간소화할 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 분무기 (54) 가 세정액을 항상 토출하는 경우에 대해 설명했지만, 도 6 에 있어서 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 분무기 (54) 는, 세정액을 간헐적으로 토출해도 된다. 이와 같이 분무기 (54) 로부터 세정액을 간헐적으로 토출함으로써, 세정액의 소비량을 저감시킬 수 있다.
분무기 (54) 가 세정액을 간헐적으로 토출하는 경우, 분무기 (54) 가 세정액을 토출하는 간격 (토출이 정지되고 나서 재개되기까지의 시간) 은, 미리 정해진 일정 간격이어도 되고, 배기 통로 (41) 내의 기압에 기초하여 설정되는 임의의 간격이어도 된다.
구체적으로는, 제어 장치 (5) 는, 상류 배기압 센서 (78) 및 하류 배기압 센서 (79) 의 일방 또는 양방의 검출값에 기초하여 분무기 (54) 에 세정액을 간헐적으로 토출시켜도 된다. 스크러브 필터 (46) 가 마르면, 스크러브 필터 (46) 의 배기 저항이 작아지므로, 상류 배기 덕트 (32) 내의 기압이 내려가고 (부압의 절대값이 커지고), 배기 집합실 (34) 내의 기압이 올라간다 (부압의 절대값이 작아진다). 따라서, 제어 장치 (5) 는, 상류 배기압 센서 (78) 및 하류 배기압 센서 (79) 의 일방 또는 양방의 검출값에 기초하여 분무기 (54) 에 세정액을 간헐적으로 토출시킴으로써, 세정액의 소비량을 저감하면서, 스크러브 필터 (46) 가 충분히 젖어 있는 상태를 유지할 수 있다.
또한, 배기 설비의 흡인력은, 스크러브 필터 (46) 를 개재하여 각 처리 유닛 (2) 에 전달되므로, 제어 장치 (5) 는, 스크러브 필터 (46) 에의 세정액의 공급을 제어함으로써, 처리 유닛 (2) 에 전달되는 배기압을 조정할 수 있다. 따라서, 제어 장치 (5) 는, 상류 배기압 센서 (78) 및 하류 배기압 센서 (79) 의 일방 또는 양방의 검출값에 기초하여 각 스크러브 필터 (46) 에의 세정액의 공급을 제어함으로써, 복수의 처리 유닛 (2) 사이에서의 배기압의 차를 저감할 수 있다. 그 때문에, 제어 장치 (5) 는, 각 처리 유닛 (2) 내의 배기압을 균일화할 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 복수의 스크러브 필터 (46) 가 각각 복수의 개별로 (42) 에 배치되어 있는 경우에 대해 설명했지만, 스크러버 (3) 는, 공통의 개별로 (42) 에 대응하는 복수의 스크러브 필터 (46) 와, 복수의 스크러브 필터 (46) 의 상태를 개별적으로 전환하는 필터 전환 장치 (80) 를 구비하고 있어도 된다.
구체적으로는, 도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 약액의 종류마다 설치된 복수의 스크러브 필터 (46) (예를 들어, 산성 약액용의 스크러브 필터 (46) 와, 알칼리성 약액용의 스크러브 필터 (46) 와) 와, 복수의 스크러브 필터 (46) 의 상태를 개별적으로 전환하는 필터 전환 장치 (80) 가, 동일한 개별로 (42) 에 대응되어 있어도 된다. 마찬가지로, 도 7 에서는, 하나의 스크러브 필터 (46) 가 집합로 (43) 에 배치되어 있는 경우에 대해 설명했지만, 복수의 스크러브 필터 (46) 와 필터 전환 장치 (80) 가, 집합로 (43) 에 대응되어 있어도 된다.
도 8 에 나타내는 입방체상의 스크러브 필터 (46A) 는, 배기 통로 (41) 내의 기체가 스크러브 필터 (46A) 를 통과하는 제거 상태와, 스크러브 필터 (46A) 에 대한 기체의 통과가 정지되는 제거 정지 상태 사이에서 전환된다. 제거 상태는, 스크러브 필터 (46A) 가 배기 통로 (41) 내의 제거 위치 (좌측의 스크러브 필터 (46A) 의 위치) 에 배치되어 있는 상태이고, 제거 정지 상태는, 스크러브 필터 (46A) 가 배기 통로 (41) 밖의 제거 정지 위치 (우측의 스크러브 필터 (46A) 의 위치) 에 배치되어 있는 상태이다. 따라서, 필터 전환 장치 (80) 는, 제거 위치와 제거 정지 위치 사이에서 스크러브 필터 (46A) 를 이동시킴으로써, 배기로부터 오염 물질을 제거하는 스크러브 필터 (46A) 를 전환할 수 있다.
또, 도 9 에 나타내는 원기둥상의 스크러브 필터 (46B) 는, 스크러브 필터 (46B) 의 중심선이 배기의 유통 방향 D1 에 직교하는 자세로 배기 통로 (41) 내에 배치되어 있다. 복수의 스크러브 필터 (46B) 는, 배기의 유통 방향 D1 및 스크러브 필터 (46B) 의 축 방향에 직교하는 방향으로 배열되어 있다. 각 스크러브 필터 (46B) 는, 직경 방향으로 대향하는 2 개의 개구부 (47b) 가 형성된 외주부를 갖는 원통상의 필터 케이스 (47B) 내에 수용되어 있다. 필터 전환 장치 (80) 는, 2 개의 개구부 (47b) 가 열린 제거 위치 (상측의 스크러브 필터 (46B) 의 위치) 와, 2 개의 개구부 (47b) 가 배기 통로 (41) 내에 배치된 차폐 부재 (81) 에 의해 닫힌 제거 정지 위치 (하측의 스크러브 필터 (46B) 의 위치) 사이에서, 필터 케이스 (47B) 를 그 중심선 둘레로 회전시킨다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 필터 케이스 (47B) 가 제거 위치 (상측의 스크러브 필터 (46B) 의 위치) 에 배치되면, 스크러브 필터 (46B) 는, 배기 통로 (41) 내의 기체가 스크러브 필터 (46B) 를 통과하는 제거 상태로 전환된다. 필터 케이스 (47B) 가 제거 정지 위치 (하측의 스크러브 필터 (46B) 의 위치) 에 배치되면, 스크러브 필터 (46B) 는, 스크러브 필터 (46B) 에 대한 기체의 통과가 정지되는 제거 정지 상태로 전환된다. 따라서, 필터 전환 장치 (80) 는, 필터 케이스 (47B) 를 회전시킴으로써, 배기로부터 오염 물질을 제거하는 스크러브 필터 (46B) 를 전환할 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 가, 모든 개별로 (42) 에 배치되어 있는 경우에 대해 설명했지만, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 는, 일부의 개별로 (42) 에만 배치되어 있어도 된다. 또, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 중 적어도 일방이, 모든 개별로 (42) 에서 생략되어도 된다. 마찬가지로, 도 7 에서는, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 가, 집합로 (43) 에 배치되어 있는 경우에 대해 설명했지만, 스크러브 필터 (46) 및 미스트 필터 (48) 중 적어도 일방이, 집합로 (43) 에서 생략되어도 된다. 이 경우에는, 분무기 (54) 로부터 토출되는 세정액만에 의해, 배기 중에 포함되는 약액 성분을 제거하게 된다. 세정액과 약액 성분의 접촉 면적이 감소하지만, 구조를 간소화할 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 배기 통로 (41) 내의 액체가, 1 지점 (배액구 (73)) 으로부터 배출되는 경우에 대해 설명했지만, 배기 통로 (41) 내의 액체는, 복수의 배액구 (73) 로부터 배출되어도 된다. 예를 들어, 복수의 분무기 (54) 에 각각 대응하는 복수의 배액구 (73) 가 배기 통로 (41) 내에 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 약액 분리기 (36) 의 하면과 배기 세정 박스 (38) 의 저면 사이의 간극이 형성되어 있지 않고, 약액 분리기 (36) 가, 배기 세정 박스 (38) 의 저면에 접하고 있어도 된다. 즉, 약액 분리기 (36) 는, 배기 통로 (41) 를 상류측과 하류측으로 완전히 구획하고 있어도 된다. 미스트 분리기 (37) 에 대해서도 동일하다.
또, 전술한 실시형태에서는, 배기 통로 (41) 내의 액체가 공통의 배액 배관 (70) 으로 배출되는 경우에 대해 설명했지만, 분무기 (54) 로부터 토출되는 세정액의 종류에 따라 배액 배관 (70) 이 전환되어도 된다. 구체적으로는, 복수의 배액 배관 (70) 과 복수의 배액 밸브 (77) 가 설치되어 있어도 된다. 이 경우, 제어 장치 (5) 는, 복수의 배액 밸브 (77) 를 전환함으로써, 분무기 (54) 로부터 토출되는 세정액의 종류에 따라 배액 배관 (70) 을 전환할 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 분무기 (54) 가 2 종류의 세정액 (산성 세정액 및 중성 세정액) 을 개별적으로 토출하는 경우에 대해 설명했지만, 분무기 (54) 는, 3 종류의 세정액 (산성 세정액, 알칼리성 세정액, 및 중성 세정액) 을 개별적으로 토출해도 되고, 산성 세정액과 중성 세정액의 조합 이외의 2 종류의 세정액을 개별적으로 토출해도 된다. 또, 산성 세정액 및 알칼리성 세정액이, 공통의 분무기 (54) 로부터 개별적으로 토출되는 경우에는, 제어 장치 (5) 는, 세정액을 산성 세정액 및 알칼리성 세정액의 일방으로부터 타방으로 전환하기 전에, 중성 세정액을 분무기 (54) 로부터 토출시켜도 된다. 이 경우, 제어 장치 (5) 는, 분무기 (54) 의 내부나 배관의 내부를 중성 세정액에 의해 씻어낼 수 있으므로, 산성 세정액 및 중성 세정액이 서로 섞이는 것을 방지할 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 분무기 (54) 가 복수의 스프레이 노즐 (57) 을 구비하고 있고, 복수종의 세정액 (산성 세정액 및 중성 세정액) 이 공통의 스프레이 노즐 (57) 로부터 토출되는 경우에 대해 설명했지만, 복수종의 세정액이, 각각의 스프레이 노즐 (57) 로부터 토출되어도 된다. 예를 들어, 세정액의 종류마다 전용 스프레이 노즐 (57) 이 설치되어도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 2 개의 처리 유닛 (2) 이, 기판 처리 장치 (1) 에 설치되어 있는 경우에 대해 설명했지만, 처리 유닛 (2) 의 수는, 1 개여도 되고, 3 개 이상이어도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 처리 유닛 (2) 이, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽식 유닛인 경우에 대해 설명했지만, 처리 유닛 (2) 은, 복수장의 기판 (W) 을 일괄적으로 처리하는 배치식 유닛이어도 된다. 요컨대, 기판 처리 장치 (1) 는, 배치식 장치여도 된다.
또, 전술한 실시형태에서는, 기판 처리 장치 (1) 가, 원판상의 기판 (W) 을 처리하는 장치인 경우에 대해 설명했지만, 기판 처리 장치 (1) 는, 액정 표시 장치용 기판 등의 다각형 기판 (W) 을 처리하는 장치여도 된다.
본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명해 왔지만, 이들은 본 발명의 기술적 내용을 분명히 하기 위해서 이용된 구체예에 지나지 않고, 본 발명은 이들 구체예에 한정하여 해석되어야 하는 것은 아니고, 본 발명의 정신 및 범위는 첨부하는 청구범위에 의해서만 한정된다.
본 출원은, 2013년 3월 6일에 일본 특허청에 제출된 일본 특허출원 2013-44540호에 대응하고 있고, 이 출원의 전체 개시는 여기에 인용에 의해 편입되는 것으로 한다.
1 : 기판 처리 장치
2 : 처리 유닛
3 : 스크러버
5 : 제어 장치
26 : 기액 분리기
27 : 기액 분리 박스
28 : 액체 배관
29 : 기체 배관
32 : 상류 배기 덕트
33 : 배기 유입실
34 : 배기 집합실
35 : 하류 배기 덕트
36 : 약액 분리기
37 : 미스트 분리기
38 : 배기 세정 박스
41 : 배기 통로
42 : 개별로
43 : 집합로
44 : 흡기구
45 : 배기구
46 : 스크러브 필터
46A : 스크러브 필터
46B : 스크러브 필터
47 : 필터 케이스
47B : 필터 케이스
48 : 미스트 필터
49 : 미스트 필터 케이스
50 : 상류 개구
51 : 하류 개구
52 : 하방 개구
53 : 분무 장치
54 : 분무기 (토출기)
55 : 세정액 공급 장치
56 : 분무탑
57 : 스프레이 노즐
69 : 배액 장치
70 : 배액 배관
71 : 배액로
72 : 흡인 장치
73 : 배액구
74 : 아스피레이터
78 : 상류 배기압 센서
79 : 하류 배기압 센서
80 : 필터 전환 장치
81 : 차폐 부재
D1 : 유통 방향
W : 기판

Claims (19)

  1. 복수종의 약액 중 적어도 하나를 기판에 공급하는 처리 유닛과,
    상기 처리 유닛에서 발생한 약액을 포함하는 배기를 기판 처리 장치의 밖에 배치된 배기 설비쪽으로 유도하는 배기 통로와, 상기 배기를 정화하는 복수종의 세정액을 상기 배기 통로 내에서 개별적으로 토출할 수 있는 토출기를 포함하고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 상기 배기에 세정액을 접촉시킴으로써, 상기 배기를 정화하는 스크러버와,
    상기 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 상기 복수종의 세정액 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 세정액을 상기 토출기로부터 토출시키는 제어 장치를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 토출기는, 상기 스크러브 필터를 향하여 세정액을 토출하는, 기판 처리 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 토출기 및 스크러브 필터보다 하류측에서 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 상기 기체로부터 액체 성분을 제거하는 미스트 필터를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배기 통로 내에서 개구되는 배액구에 액체를 흡인시킴으로써, 상기 배기 통로 내의 액체를 배출하는 배액 장치를 포함하는, 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배액구보다 상류측에서 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고,
    상기 배액 장치는, 상기 배기 통로 내의 액체가 상기 배액구를 향해 흐르도록, 상기 스크러브 필터보다 상류측에서부터 상기 스크러브 필터의 하방을 지나 상기 배액구까지 연장되는 배액로를 포함하는, 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고,
    상기 토출기는, 세정액을 항상 토출하는, 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배기 통로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하고,
    상기 토출기는, 세정액을 간헐적으로 토출하는, 기판 처리 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배기 통로 내의 기압을 검출하는 배기압 센서를 추가로 포함하고,
    상기 제어 장치는, 상기 배기압 센서의 검출값에 기초하여 상기 토출기에 세정액을 간헐적으로 토출시키는, 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 복수의 스크러브 필터와, 상기 복수의 스크러브 필터의 상태를 개별적으로 전환하는 필터 전환 장치를 추가로 포함하고,
    상기 필터 전환 장치는, 상기 배기 통로 내의 기체가 상기 스크러브 필터를 통과하는 제거 상태와, 상기 스크러브 필터에 대한 기체의 통과가 정지되는 제거 정지 상태 사이에서, 상기 복수의 스크러브 필터의 상태를 개별적으로 전환하고,
    상기 제어 장치는, 상기 배기에 포함되는 약액의 종류에 기초하여 상기 복수의 스크러브 필터 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 상기 스크러브 필터를 상기 배기가 통과하도록, 상기 복수의 스크러브 필터의 상태를 상기 필터 전환 장치에 의해 전환시키는, 기판 처리 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리 유닛은, 상기 스크러버보다 상류측에 배치되어 있고, 상기 처리 유닛에서 발생한 배기로부터 액체를 제거하는 기액 분리기를 포함하는, 기판 처리 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리 유닛은, 각각이 복수종의 약액 중 적어도 하나를 기판에 공급하는 복수의 처리 유닛을 포함하고,
    상기 배기 통로는, 상기 복수의 처리 유닛에 각각 접속된 복수의 개별로와, 상기 복수의 개별로로부터 하류측으로 연장되는 집합로를 포함하는, 기판 처리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 토출기는, 상기 복수의 개별로에 각각 배치된 복수의 토출기를 포함하는, 기판 처리 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 복수의 개별로에 각각 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 복수의 스크러브 필터를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 복수의 토출기 및 복수의 스크러브 필터보다 하류측에서 상기 복수의 개별로에 각각 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 상기 기체로부터 액체 성분을 제거하는 복수의 미스트 필터를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 토출기는, 상기 집합로에 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 집합로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 액체를 내부에 유지하는 스크러브 필터를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 토출기 및 스크러브 필터보다 하류측에서 상기 집합로에 배치되어 있고, 상기 배기 통로 내를 흐르는 기체를 통과시킴과 함께, 상기 기체로부터 액체 성분을 제거하는 미스트 필터를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  19. 제 12 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크러버는, 상기 집합로 내에서 개구되는 배액구에 액체를 흡인시킴으로써, 상기 배기 통로 내의 액체를 배출하는 배액 장치를 추가로 포함하고,
    상기 배액 장치는, 상기 복수의 개별로의 각각으로부터 상기 집합로까지 연장되어 있고, 상기 배기 통로 내의 액체가 상기 복수의 개별로로부터 상기 집합로로 흐르도록 수평면에 대해 경사진 복수의 배액로를 포함하는, 기판 처리 장치.
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