KR20170056967A - 기판 처리장치 - Google Patents
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Abstract
기판 처리장치가 개시된다. 기판 처리장치는 기판 처리공정을 수행하는 공간을 제공하는 공정챔버, 공정챔버의 상부벽에 설치되어 건조기류를 발생시키는 팬 필터유닛, 팬 필터유닛의 하부에 구비된 세정챔버, 팬 필터유닛과 연결되며, 공정챔버 외부에 구비되고 공정챔버 내부의 공기에서 수분을 제거하여 건조공기를 제공하는 제1제습기를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 공정챔버 내부를 제습할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는, 리소그래피(lithography), 증착 및 에칭(etching) 등의 여러 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판, 예를 들면 실리콘 재질의 기판 상에는 파티클(particle), 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다.
건조 방식으로는 스핀 건조 방식, 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)에 의한 마란고니 효과(Marangoni effect)을 이용한 건조 방식 등이 있다.
그 중 이소프로필 알코올을 이용한 건조 방식은 기판을 순수(DIW, de-ionized water) 안에서 수직 방향으로 끌어올림과 동시에 이소프로필 알코올 및 질소 가스(N2)를 기판 표면의 기액 계면 부근에 불어 놓는 것에 의해 마란고니 효과를 발생시켜 기판을 건조한다.
건조장치는 반도체 기판 공정 중 케미컬을 초순수로 세정한 기판을 디펙트(defect) 또는 액체 등의 이물질이 없는 상태로 만든다.
분사부의 작동 외 건조 공간을 형성하는 공정챔버의 내부 조건도 중요한데, 외기 온도가 낮으면 건조 목적을 달성하기 어려우며, 공정챔버 내부가 습해져 기판 제품 불량이 발생하는 문제점이 있었다. 따라서, 공정 챔버 내부를 제습할 수 있는 장치 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 목적은 공정챔버 내부를 빠르게 건조시킴으로서, 챔버 내의 청정성을 우수하게 유지할 수 있는 기판 처리장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리장치에 대하여 설명한다. 기판 처리장치는 기판 처리공정을 수행하는 공간을 제공하는 공정챔버, 공정챔버의 상부벽에 설치되어 건조기류를 발생시키는 팬 필터유닛, 팬 필터유닛의 하부에 구비된 세정챔버, 팬 필터유닛과 연결되며, 공정챔버 외부에 구비되고 공정챔버 내부의 공기에서 수분을 제거하여 건조공기를 제공하는 제1제습기를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 팬 필터유닛은 공정챔버의 상부벽에 구비되어 외부공기를 유입하는 팬, 외부공기를 정화시키는 필터를 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 제1제습기는 응축기, 증발기, 압축기를 포함하며 팬으로부터 외부 공기를 유입하여 공정챔버 내부에 건조공기를 방출하도록 구성될 수 있다.
일측에 따르면, 공정챔버의 일측에는 유체를 외부로 배출하도록 배기부가 구비되며, 배기부는 공정챔버의 유체를 외부로 유동시키는 회수라인, 회수라인의 유체 유동흐름 방향에 구비된 기수 분리기, 기수 분리기에서 분리된 액체를 제습하는 제2제습기를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 공정챔버 내부에 습기가 제거된 건조한 공기가 제공됨으로써, 공정챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있어 기판의 제품 불량을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리장치의 도면이다.
도 2는 도1의 제1제습기의 구성을 나타낸 간략도이다.
도 2는 도1의 제1제습기의 구성을 나타낸 간략도이다.
이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면 상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리장치의 도면이며, 도 2는 도1의 제1제습기의 구성을 나타낸 간략도이다. 본 발명에 따른 기판 처리장치(10)는, 공정챔버(100)와, 공정챔버(100)의 상부에 구비된 팬 필터유닛(110), 팬 필터유닛(110)과 연결되며, 공정챔버(100) 외부에 구비된 제1제습기(120), 팬필터 유닛(110)하부에 구비된 세정챔버(200)를 포함할 수 있다.
공정챔버(100)는 밀폐된 공간을 제공하며, 팬 필터유닛(110)은 공점챔버 내부에 기류를 발생시키도록 구성될 수 있다. 팬 필터유닛(110)은 필터(112)와 공기 공급의 팬(111)이 하나의 유니트로 모듈화된 것으로 외부공기를 필터링하여 공정챔버(100) 내부로 분사하도록 구성될 수 있다.
팬(111)은 외부공기를 유입하도록 구성되며, 필터는 외부공기를 정화시키도록 구성이 가능하다. 팬 필터유닛(110)을 통과하여 공정챔버(100) 내부로 제공된 기류는 건조한 공기일 수 있으며, 건조 공기는 세정챔버(200) 내에 제공됨으로써, 세정챔버(200) 내부가 건조한 상태로 형성될 수 있다.
팬(111)의 작동으로 공기를 유입하기 위하여, 팬 필터유닛(110)은 제1제습기(120)와 연결되도록 구성될 수 있다. 제1제습기(120)는 응축기(124), 압축기(122), 증발기(121), 수조부(123)를 포함할 수 있다.
팬(111)의 회전으로 인하여 공정챔버(100) 외부의 습한 공기를 팬을 이용해 빨아들인 뒤 냉매를 이용한 증발기(121)로 통과시킨 후, 증발기(121)를 통과한 공기는 온도가 낮아지고, 이후에 압축기(122)로 이동하여 공기가 이슬점에 도달해 공기 중의 수증기가 물로 변해 냉각관에 맺혀 수조부(123)에 물이 떨어지도록 구성될 수 있다.
습기가 제거된 건조한 공기는 응축기(124)를 거쳐 발열된 후에 공정챔버(100)에 구비된 안내라인(121)을 타고 유동할 수 있다.
건조한 공기는 공정챔버(100) 내로 분사하도록 구성될 수 있으며, 팬 필터유닛(110)은 건조공기를 필터링하여 공정챔버(100) 내부로 건조한 공기를 제공할 수 있다.
팬 필터유닛(110)에 의하여 건조한 공기가 세정챔버(200) 내부에 유입될 수 있다. 세정챔버(200)는 내부 공간을 형성할 수 있으며, 세정챔버(200)의 하부 영역에는 기판(W)이 안착되는 스핀척(220)이 회전 가능하게 장착될 수 있으며, 스핀척(220)은 상면에 기판(W)을 안착한 상태로 회전 가능하며, 스핀척(220)의 상단에서 건조, 세정 약액을 분사하는 분사부(240)가 기판(W)의 전면에 약액을 공급하도록 구성이 가능하다. 스핀척(220)을 감싸는 회수부(230)는 기판(W)의 세정 및 건조 공정 시 공급되는 초순수, 이소프로필 알코올, 질소가스 등과 같은 약액이 개별적으로 회수되는 복수 개의 회수컵(230)을 구비할 수 있다.
세정공정에 사용된 유체를 외부로 배출시키기 위하여 공정챔버(100)의 하부에는 배기부(260)가 구비될 수 있다. 공정챔버(100) 내부의 기체 및 액체가 배기부(260)와 연결된 회수라인(261)을 타고 유동하였을 시, 회수라인(261)의 유체 유동흐름 방향에 구비된 기수 분리기(262)에서 공정챔버(100) 내부의 수분을 분리하여 제거하도록 구성이 가능하다.
기수 분리기(262)는 제2제습기(263)와 연결될 수 있으며, 제2제습기(263)는 기수 분리기(262)의 성능향상을 보완하기 위하여 구비될 수 있다.
기수 분리기(262)에서 제거한 수분은 제2제습기(263)를 통과하도록 구성될 수 있다. 제2제습기(263)를 통하여 수분은 건조한 공기를 형성시키도록 구성이 가능하다.
이는, 공정챔버(100) 내부에 습기가 제거된 건조한 공기가 분사됨으로써, 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 공정챔버(100) 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있어 기판의 제품 불량을 방지할 수 있다.
이상과 같이 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시 예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 기판 처리장치
100: 공정챔버
110: 팬 필터유닛 111: 팬
112: 필터 121: 증발기
122: 압축기 123: 수조부
124: 응축기 200: 세정챔버
220: 스핀척 230: 회수컵
240: 분사부 260: 배기부
261: 회수라인 262: 기수 분리기
263: 제2제습기
110: 팬 필터유닛 111: 팬
112: 필터 121: 증발기
122: 압축기 123: 수조부
124: 응축기 200: 세정챔버
220: 스핀척 230: 회수컵
240: 분사부 260: 배기부
261: 회수라인 262: 기수 분리기
263: 제2제습기
Claims (5)
- 기판 처리공정을 수행하는 공간을 제공하는 공정챔버;
상기 공정챔버의 상부벽에 설치되어 건조기류를 발생시키는 팬 필터유닛;
상기 팬 필터유닛의 하부에 구비된 세정챔버;
상기 팬 필터유닛과 연결되며, 상기 공정챔버 외부에 구비되고 상기 공정챔버 내부의 공기에서 수분을 제거하여 건조공기를 제공하는 제1제습기;
를 포함하는 기판 처리장치. - 제1항에 있어서,
상기 팬 필터유닛은
상기 공정챔버의 상부벽에 구비되어 외부공기를 유입하는 팬;
상기 외부공기를 정화시키는 필터;
를 포함하는 기판 처리장치. - 제2항에 있어서,
상기 제1제습기는 응축기, 증발기, 압축기를 포함하며 상기 팬으로부터 외부 공기를 유입하여 상기 공정챔버 내부에 건조공기를 방출하도록 하는 기판 처리장치. - 제1항에 있어서,
상기 공정챔버의 일측에는 유체를 외부로 배출하도록 배기부가 구비된 기판 처리장치. - 제4항에 있어서,
상기 배기부는
상기 공정챔버의 유체를 외부로 유동시키는 회수라인;
상기 회수라인의 유체 유동흐름 방향에 구비된 기수 분리기;
상기 기수 분리기에서 분리된 액체를 제습하는 제2제습기;
를 포함하는 기판 처리장치.
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KR1020150160484A KR102478750B1 (ko) | 2015-11-16 | 2015-11-16 | 기판 처리장치 |
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2015
- 2015-11-16 KR KR1020150160484A patent/KR102478750B1/ko active IP Right Grant
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