JPH10286428A - 清浄空間の空気浄化装置 - Google Patents
清浄空間の空気浄化装置Info
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- JPH10286428A JPH10286428A JP9099923A JP9992397A JPH10286428A JP H10286428 A JPH10286428 A JP H10286428A JP 9099923 A JP9099923 A JP 9099923A JP 9992397 A JP9992397 A JP 9992397A JP H10286428 A JPH10286428 A JP H10286428A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ケミカルフィルタやＨＥＰＡ、ＵＬＰＡフィ
ルタとは別に、アミン等の空気中の薬品類の除去や超清
浄空間の維持を図る清浄空間の空気浄化装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】 下端を閉塞された筒体であって少なくとも下
端付近に下部から上方に向けて空気を噴出する噴気ノズ
ルと筒体の内外とを連通する接続管とを備えた気液混合
筒と、気液分離室と、空気浄化フィルターとを縦方向に
連設し、被清浄空間内の空気を送風機によって噴気ノズ
ルから気液混合筒内に噴出させ、気液混合筒、気液分離
室、浄化フィルタの順に通過させて被清浄空間内に還流
するようにした空気循環回路と、洗浄液を送液ポンプに
よって気液混合筒内に送液し通過させた後に気体と分離
して排出する洗浄液循環回路とを備えることによって、
混入した薬品や粉塵を洗浄液に吸着させて被清浄空間内
の空気の浄化を行う。
ルタとは別に、アミン等の空気中の薬品類の除去や超清
浄空間の維持を図る清浄空間の空気浄化装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】 下端を閉塞された筒体であって少なくとも下
端付近に下部から上方に向けて空気を噴出する噴気ノズ
ルと筒体の内外とを連通する接続管とを備えた気液混合
筒と、気液分離室と、空気浄化フィルターとを縦方向に
連設し、被清浄空間内の空気を送風機によって噴気ノズ
ルから気液混合筒内に噴出させ、気液混合筒、気液分離
室、浄化フィルタの順に通過させて被清浄空間内に還流
するようにした空気循環回路と、洗浄液を送液ポンプに
よって気液混合筒内に送液し通過させた後に気体と分離
して排出する洗浄液循環回路とを備えることによって、
混入した薬品や粉塵を洗浄液に吸着させて被清浄空間内
の空気の浄化を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム等の清
浄空間で行う作業中に発生した有機アミン等のガスを吸
収したり、粉塵等を除去して超清浄度を維持する装置に
関するものである。
浄空間で行う作業中に発生した有機アミン等のガスを吸
収したり、粉塵等を除去して超清浄度を維持する装置に
関するものである。
【０００２】
【従来技術】半導体製造工程の配線作業の後処理で、半
導体のレジストの剥離液としてモノエタノールアミンや
ジメチルスルフォキシロを主な成分とする有機アミン液
を使用する。有機アミン液が気化してクリーンルーム内
に充満すると、ウエハーのパターン形成に不具合が生じ
易く不良品を発生する虞があると共に、人体に悪影響を
与える危険がある。また、有機アミン液以外にも、半導
体の製造に不具合を引き起こしたり、人体に悪影響を与
える虞れがある薬品を使用しなければならない場合があ
る。このため、従来は、例えば垂直層流方式のクリーン
ルームを採用した場合、天井部内に区切られた室に一次
と二次のケミカルフィルタを直列に設けて夫々に室内の
空気を通過させると共に、ＨＥＰＡフィルタを通過させ
てクリーンルーム内全体の超清浄度を維持していた。
導体のレジストの剥離液としてモノエタノールアミンや
ジメチルスルフォキシロを主な成分とする有機アミン液
を使用する。有機アミン液が気化してクリーンルーム内
に充満すると、ウエハーのパターン形成に不具合が生じ
易く不良品を発生する虞があると共に、人体に悪影響を
与える危険がある。また、有機アミン液以外にも、半導
体の製造に不具合を引き起こしたり、人体に悪影響を与
える虞れがある薬品を使用しなければならない場合があ
る。このため、従来は、例えば垂直層流方式のクリーン
ルームを採用した場合、天井部内に区切られた室に一次
と二次のケミカルフィルタを直列に設けて夫々に室内の
空気を通過させると共に、ＨＥＰＡフィルタを通過させ
てクリーンルーム内全体の超清浄度を維持していた。
【０００３】他の方法として、クリーンルーム内に設置
される製造装置に接続され、その製造装置へ処理材を出
入するための局所クリーン化におけるインターフェイス
ボックスにおいて、上記製造装置の搬出入口に接続され
るボックス本体内に処理材の搬出入室を形成し、ボック
ス本体の前面に、処理材を搬出入室に出入れするための
開閉扉を設け、該搬出入室上部のボックス本体内に、送
風機とケミカルフィルタとＵＬＰＡフィルタとを設け、
さらに搬出入室の下部のボックス本体に、搬出入室の超
清浄空気をクリーンルーム床下チャンバに排気する排気
系を設けて局所クリーン化を実施した構造が開示されて
いる。（特開平８ー０８８１５５号）
される製造装置に接続され、その製造装置へ処理材を出
入するための局所クリーン化におけるインターフェイス
ボックスにおいて、上記製造装置の搬出入口に接続され
るボックス本体内に処理材の搬出入室を形成し、ボック
ス本体の前面に、処理材を搬出入室に出入れするための
開閉扉を設け、該搬出入室上部のボックス本体内に、送
風機とケミカルフィルタとＵＬＰＡフィルタとを設け、
さらに搬出入室の下部のボックス本体に、搬出入室の超
清浄空気をクリーンルーム床下チャンバに排気する排気
系を設けて局所クリーン化を実施した構造が開示されて
いる。（特開平８ー０８８１５５号）
【０００４】
【問題点】第１の従来技術では、有機アミン等の気化ガ
スがクリーンルーム内に広がった後にケミカルフィルタ
を通過させているため、清浄を十分に行なうことができ
なかった。また、第２の従来技術では、個々の作業台
（インターフェイスボックス）にケミカルフィルタ及び
高性能フィルタを夫々設けてはいるが、有機アミンガス
はケミカルフィルタでも吸着し難く、一般的には一回
（一枚）では不十分であって２枚（二次フィルタ）が必
要とされる。しかし、このような装置に二次ケミカルフ
ィルタまで設けるとなると、設備費が高額になると共
に、定期又は不定期の交換が頻繁になってランニングコ
ストが嵩むという不具合があった。
スがクリーンルーム内に広がった後にケミカルフィルタ
を通過させているため、清浄を十分に行なうことができ
なかった。また、第２の従来技術では、個々の作業台
（インターフェイスボックス）にケミカルフィルタ及び
高性能フィルタを夫々設けてはいるが、有機アミンガス
はケミカルフィルタでも吸着し難く、一般的には一回
（一枚）では不十分であって２枚（二次フィルタ）が必
要とされる。しかし、このような装置に二次ケミカルフ
ィルタまで設けるとなると、設備費が高額になると共
に、定期又は不定期の交換が頻繁になってランニングコ
ストが嵩むという不具合があった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、このような事情に対処してな
されたものであって、ケミカルフィルタやＵＬＰＡフィ
ルタとは別に、洗浄液と被清浄空気とを混合して接触さ
せることにより、超清浄空間の維持や気化した薬品類の
除去を図る清浄空間の空気浄化装置を提供することを目
的とするものである。
されたものであって、ケミカルフィルタやＵＬＰＡフィ
ルタとは別に、洗浄液と被清浄空気とを混合して接触さ
せることにより、超清浄空間の維持や気化した薬品類の
除去を図る清浄空間の空気浄化装置を提供することを目
的とするものである。
【０００６】
【発明の構成】本発明の要旨は、下端を閉塞された筒体
であって少なくとも下端付近に下部から上方に向けて空
気を噴出する噴気ノズルと筒体の内外を連通する接続管
とを備えた気液混合筒と、気液分離室と、空気浄化フィ
ルターとを縦方向に連設し、被清浄空間内の空気を送風
機によって噴気ノズルから気液混合筒内に噴出させ、気
液混合筒、気液分離室、浄化フィルタの順に通過させて
被清浄空間内に還流するようにした空気循環回路と、洗
浄液を送液ポンプによって気液混合筒内に送液し通過さ
せた後に気体と分離して排出する洗浄液循環回路とを備
えることによって、混入した薬品や粉塵を洗浄液に吸着
させて被清浄空間内の空気の浄化を行うようにしたこと
を特徴とする清浄空間の空気浄化装置にある。以下、図
面を参照しながら詳細に説明する。
であって少なくとも下端付近に下部から上方に向けて空
気を噴出する噴気ノズルと筒体の内外を連通する接続管
とを備えた気液混合筒と、気液分離室と、空気浄化フィ
ルターとを縦方向に連設し、被清浄空間内の空気を送風
機によって噴気ノズルから気液混合筒内に噴出させ、気
液混合筒、気液分離室、浄化フィルタの順に通過させて
被清浄空間内に還流するようにした空気循環回路と、洗
浄液を送液ポンプによって気液混合筒内に送液し通過さ
せた後に気体と分離して排出する洗浄液循環回路とを備
えることによって、混入した薬品や粉塵を洗浄液に吸着
させて被清浄空間内の空気の浄化を行うようにしたこと
を特徴とする清浄空間の空気浄化装置にある。以下、図
面を参照しながら詳細に説明する。
【０００７】
【実施例１】図１は、本発明の一実施例を示す清浄空間
の空気浄化装置１の概略図、図２は、図１の気液混合筒
４の実施例を具体的に示す断面図、図３は、気液混合筒
４の他の実施例を示す断面図である。
の空気浄化装置１の概略図、図２は、図１の気液混合筒
４の実施例を具体的に示す断面図、図３は、気液混合筒
４の他の実施例を示す断面図である。
【０００８】本発明に係る空気浄化装置１は、半導体製
造等の清浄空間の維持が必要とされるクリーンルーム等
の空間内に設置、使用される。本装置の第１の実施例で
は、大きく分けて縦方向の４つの構成要素から成り、そ
れらが有機的に結びついて本発明の目的を達成する。ま
ず下段が液体タンク３、中段が気液混合筒４と気液分離
室５、上段が浄化フィルタとして作用するケミカルフィ
ルタ６からなり、上下方向に連通している。
造等の清浄空間の維持が必要とされるクリーンルーム等
の空間内に設置、使用される。本装置の第１の実施例で
は、大きく分けて縦方向の４つの構成要素から成り、そ
れらが有機的に結びついて本発明の目的を達成する。ま
ず下段が液体タンク３、中段が気液混合筒４と気液分離
室５、上段が浄化フィルタとして作用するケミカルフィ
ルタ６からなり、上下方向に連通している。
【０００９】下段の液体タンク３内には被洗浄空間中に
浮遊するガス成分を吸着可能な洗浄液７、例えば本実施
例に於いては純水を貯溜する。該タンク３の上部には給
水管８ａが、下部には排水管８ｂが接続されており、一
定量の洗浄液７の維持と、汚れ又は吸着能力が飽和状態
近づいて性能が減少する場合には、液体の入れ替えがで
きるようになっている。
浮遊するガス成分を吸着可能な洗浄液７、例えば本実施
例に於いては純水を貯溜する。該タンク３の上部には給
水管８ａが、下部には排水管８ｂが接続されており、一
定量の洗浄液７の維持と、汚れ又は吸着能力が飽和状態
近づいて性能が減少する場合には、液体の入れ替えがで
きるようになっている。
【００１０】気液混合筒４下端には、閉塞部１０を有す
る縦長の円筒から成る気液混合筒本体９と、前記閉塞部
１０を貫通して、気液混合筒本体９の下部中心付近に開
口し、上方に向けて空気を噴射する噴気ノズル１１と、
該噴気ノズル１１のノズル開口より下方の気液混合筒本
体９壁面又は閉塞部１０に開口する液体接続管１２とを
備えている。そして、噴気ノズル１１は、送風機１３を
介して配管によってクリーンルーム２内に連通してい
る。
る縦長の円筒から成る気液混合筒本体９と、前記閉塞部
１０を貫通して、気液混合筒本体９の下部中心付近に開
口し、上方に向けて空気を噴射する噴気ノズル１１と、
該噴気ノズル１１のノズル開口より下方の気液混合筒本
体９壁面又は閉塞部１０に開口する液体接続管１２とを
備えている。そして、噴気ノズル１１は、送風機１３を
介して配管によってクリーンルーム２内に連通してい
る。
【００１１】気液混合筒本体９の上端には、下方に向か
って開口する噴霧ノズル１４を備えた送液管１５が、送
液ポンプ１６を介してタンク３内部に接続されている。
さらに、気液混合筒４の上端付近の噴霧ノズル１４上方
には、空間からなる気液分離室５が形成されている。
って開口する噴霧ノズル１４を備えた送液管１５が、送
液ポンプ１６を介してタンク３内部に接続されている。
さらに、気液混合筒４の上端付近の噴霧ノズル１４上方
には、空間からなる気液分離室５が形成されている。
【００１２】気液混合筒４内は、気液の接触効率を向上
させるために、混合筒本体９内に充填部材１７を挿入し
ている。充填部材１７は、混合筒本体９の内径にほぼ等
しいリング内に、該リング内を通過する流体に旋回力を
付勢するための静止型混合翼１７ａを設けたものから成
る。この充填部材１７を混合筒本体９内に挿入して上方
に積み重ねていく際、旋回方向が互いに逆の静止型混合
翼を持つ充填部材１７を交互に積み重ねている。
させるために、混合筒本体９内に充填部材１７を挿入し
ている。充填部材１７は、混合筒本体９の内径にほぼ等
しいリング内に、該リング内を通過する流体に旋回力を
付勢するための静止型混合翼１７ａを設けたものから成
る。この充填部材１７を混合筒本体９内に挿入して上方
に積み重ねていく際、旋回方向が互いに逆の静止型混合
翼を持つ充填部材１７を交互に積み重ねている。
【００１３】気液混合筒４の上方の空間から成る気液分
離室５内には、気液分離を促進するための邪魔板１８が
通路の半分程度を遮るように水平方向に設けられ、さら
に、飽和水分量を増やして残った水分を気化させ、フィ
ルタ６の目詰まりや短命化を防止するための電気ヒータ
１９を気液分離室５通過後の流路内に延設している。
離室５内には、気液分離を促進するための邪魔板１８が
通路の半分程度を遮るように水平方向に設けられ、さら
に、飽和水分量を増やして残った水分を気化させ、フィ
ルタ６の目詰まりや短命化を防止するための電気ヒータ
１９を気液分離室５通過後の流路内に延設している。
【００１４】気液混合筒本体９の下端に開口する液体接
続管１２には、活性アルミナ、モレキュラシーブ（商品
名称）、活性炭等の吸着剤を内蔵した吸着剤室２２が連
設され、回収された純水６中に吸収されているアミン等
を吸着除去する。
続管１２には、活性アルミナ、モレキュラシーブ（商品
名称）、活性炭等の吸着剤を内蔵した吸着剤室２２が連
設され、回収された純水６中に吸収されているアミン等
を吸着除去する。
【００１５】さらに、気液分離室１６の上の気体通路２
０内には、活性炭フィルタ２１を内臓したケミカルフィ
ルタ６が通路２０を横断して設けられ、空気は、該フィ
ルタ６及び２１を通過後に空気排出口からクリーンルー
ム２内に排出される。
０内には、活性炭フィルタ２１を内臓したケミカルフィ
ルタ６が通路２０を横断して設けられ、空気は、該フィ
ルタ６及び２１を通過後に空気排出口からクリーンルー
ム２内に排出される。
【００１６】以上の構成の本実施例によれば、気化して
ガス状になった有機アミンを含んだクリーンルーム２内
の空気は、送風機１３によって吸い込まれ、送気管を通
って噴気ノズル１１から上方に向かって気液混合筒本体
９内に噴出する。噴出した空気は、充填部材１７の静止
型混合翼１７ａによって正方向及び逆方向に回転しよう
としながら上方へ向かう。一方、送液ポンプ１６によっ
て圧送された液体タンク３内の洗浄液７は、気液混合筒
４内上部の噴霧ノズル１４から下方に向かって霧状に噴
出される。噴出された液は、静止型混合翼１７ａによっ
て正方向及び逆方向に回転しようとしながら下方へ向か
い、液体接続管１２から液体タンク３内に還流され、洗
浄液循環回路を形成している。このため、上方へ噴出さ
れたクリーンルーム２内の空気と洗浄液７とは強力に混
合され、相互に接触する。
ガス状になった有機アミンを含んだクリーンルーム２内
の空気は、送風機１３によって吸い込まれ、送気管を通
って噴気ノズル１１から上方に向かって気液混合筒本体
９内に噴出する。噴出した空気は、充填部材１７の静止
型混合翼１７ａによって正方向及び逆方向に回転しよう
としながら上方へ向かう。一方、送液ポンプ１６によっ
て圧送された液体タンク３内の洗浄液７は、気液混合筒
４内上部の噴霧ノズル１４から下方に向かって霧状に噴
出される。噴出された液は、静止型混合翼１７ａによっ
て正方向及び逆方向に回転しようとしながら下方へ向か
い、液体接続管１２から液体タンク３内に還流され、洗
浄液循環回路を形成している。このため、上方へ噴出さ
れたクリーンルーム２内の空気と洗浄液７とは強力に混
合され、相互に接触する。
【００１７】ここで、有機アミンの主成分たるモノエタ
ノールアミンやジメチルスルフォキシロは水に溶ける性
質がある。また、本実施例の洗浄液６は、より性能を向
上させるために純水を使用している。これにより、気液
混合筒４内において、有機アミンガスが洗浄液７に溶解
・吸収され、液体タンク３内に還流される。この結果、
本実施例の装置で有機アミンの濃度を測定したところ、
送風機１３の入気時点では５０ｐｐｂであったものが、
気液混合筒４を通過した付近では５ｐｐｂ以下まで浄化
された。さらに、空気中の微細な粒子や菌等も霧状にな
った洗浄液７に付着し、捕集されて洗浄液７と共に下方
のタンク３内に返戻される。
ノールアミンやジメチルスルフォキシロは水に溶ける性
質がある。また、本実施例の洗浄液６は、より性能を向
上させるために純水を使用している。これにより、気液
混合筒４内において、有機アミンガスが洗浄液７に溶解
・吸収され、液体タンク３内に還流される。この結果、
本実施例の装置で有機アミンの濃度を測定したところ、
送風機１３の入気時点では５０ｐｐｂであったものが、
気液混合筒４を通過した付近では５ｐｐｂ以下まで浄化
された。さらに、空気中の微細な粒子や菌等も霧状にな
った洗浄液７に付着し、捕集されて洗浄液７と共に下方
のタンク３内に返戻される。
【００１８】気液混合筒４の静止型混合翼１７ａ部分を
通過した空気は、気液混合筒本体９よりも断面積が大き
く空気流速が低下することによってより気液分離しやす
くなった気液分離室５で、邪魔板１８に衝突し、巻き上
げられた水滴をさらに分離する。
通過した空気は、気液混合筒本体９よりも断面積が大き
く空気流速が低下することによってより気液分離しやす
くなった気液分離室５で、邪魔板１８に衝突し、巻き上
げられた水滴をさらに分離する。
【００１９】ついで、気液分離室５を通過した空気は、
電気ヒータ１９によって加温され、飽和蒸気量が増加す
る。このため湿度が下がって気化が促進され、ケミカル
フィルタ６や活性炭フィルタ２１に水滴が付着すること
がない。気液混合筒４で捕捉されなかった成分は、フィ
ルタ６で化学的に吸着除去され、浄化された空気が空気
通路２０の排出口からクリーンルーム２内に還流され
る。これによって、空気循環回路が形成されている。こ
こで、空気通路２０の出口付近で有機アミンの濃度を測
定したところ、５ｐｐｂを下回り、何ら問題の無い数値
にまで低下した。なお、洗浄液７やケミカルフィルタ６
は汚れ度合いに応じて、あるいは定期的に交換される。
電気ヒータ１９によって加温され、飽和蒸気量が増加す
る。このため湿度が下がって気化が促進され、ケミカル
フィルタ６や活性炭フィルタ２１に水滴が付着すること
がない。気液混合筒４で捕捉されなかった成分は、フィ
ルタ６で化学的に吸着除去され、浄化された空気が空気
通路２０の排出口からクリーンルーム２内に還流され
る。これによって、空気循環回路が形成されている。こ
こで、空気通路２０の出口付近で有機アミンの濃度を測
定したところ、５ｐｐｂを下回り、何ら問題の無い数値
にまで低下した。なお、洗浄液７やケミカルフィルタ６
は汚れ度合いに応じて、あるいは定期的に交換される。
【００２０】次に、本発明の第２の実施例を図３によっ
て説明する。本実施例では、実施例１における噴霧ノズ
ル１４が無く、送液管１５は、液体接続管１２に接続さ
れる。気液分離室５底部には洗浄液回収口２３が設けら
れ、図示しない吸着剤室２２を介して液体タンク３に接
続される。
て説明する。本実施例では、実施例１における噴霧ノズ
ル１４が無く、送液管１５は、液体接続管１２に接続さ
れる。気液分離室５底部には洗浄液回収口２３が設けら
れ、図示しない吸着剤室２２を介して液体タンク３に接
続される。
【００２１】この第２の実施例では、噴気ノズル１１か
ら上方へ噴出される被清浄空気の勢いによってエゼクタ
作用が生じ、噴気ノズル１１周辺が真空状態になる。こ
れにより、液体接続管１２から洗浄液が吸い上げられ、
及び／又は送液ポンプ１６によって洗浄液が送られる。
洗浄液は、気液混合筒４内を空気の流れと同方向で撹拌
されながら、気泡と共に上昇する。なお、エゼクタ作用
が強く、洗浄液が充分に気液混合筒４内に吸い上げられ
る場合には、送液ポンプ１６を備えなくともよい。
ら上方へ噴出される被清浄空気の勢いによってエゼクタ
作用が生じ、噴気ノズル１１周辺が真空状態になる。こ
れにより、液体接続管１２から洗浄液が吸い上げられ、
及び／又は送液ポンプ１６によって洗浄液が送られる。
洗浄液は、気液混合筒４内を空気の流れと同方向で撹拌
されながら、気泡と共に上昇する。なお、エゼクタ作用
が強く、洗浄液が充分に気液混合筒４内に吸い上げられ
る場合には、送液ポンプ１６を備えなくともよい。
【００２２】このように、気液混合筒４内に供給された
洗浄液７及び空気は、噴気ノズル１１から噴出する気泡
と混合して上昇する際、洗浄液７側へ有機アミン等を溶
解移行させる。気液混合筒４を上方へ通過した空気は、
気液分離室５で洗浄液７を分離した後、実施例１と同様
に、フィルタ６（２１）を通過し、被清浄空間内に還流
して、空気循環回路を形成する。一方、気液分離室で５
で分離された洗浄液７は、洗浄液回収口２３から液体タ
ンク３内に回収されて、洗浄液循環回路を形成する。
洗浄液７及び空気は、噴気ノズル１１から噴出する気泡
と混合して上昇する際、洗浄液７側へ有機アミン等を溶
解移行させる。気液混合筒４を上方へ通過した空気は、
気液分離室５で洗浄液７を分離した後、実施例１と同様
に、フィルタ６（２１）を通過し、被清浄空間内に還流
して、空気循環回路を形成する。一方、気液分離室で５
で分離された洗浄液７は、洗浄液回収口２３から液体タ
ンク３内に回収されて、洗浄液循環回路を形成する。
【００２３】なお、第１及び第２の実施例では、液体タ
ンク３を一体化して備えたが、液体タンクを一体化せず
に別置きしてもよい。さらに、液体タンクを設けずに、
供給側は純水製造装置に接続し、排水側は純水処理装置
に接続して、かけ流しにしてもよい。また、実施例で
は、クリーンルーム内に設置する例を上げたがこれに限
定されるものではなく、清浄空間を目的とする構造であ
ればクリーンブース内等に設置する場合も本発明の範囲
に含まれる。また、クリーンルーム内であっても天井通
路、床下通路等に設置できるし、クリーンルームと連通
させてクリーンルーム外に設置しても良い。
ンク３を一体化して備えたが、液体タンクを一体化せず
に別置きしてもよい。さらに、液体タンクを設けずに、
供給側は純水製造装置に接続し、排水側は純水処理装置
に接続して、かけ流しにしてもよい。また、実施例で
は、クリーンルーム内に設置する例を上げたがこれに限
定されるものではなく、清浄空間を目的とする構造であ
ればクリーンブース内等に設置する場合も本発明の範囲
に含まれる。また、クリーンルーム内であっても天井通
路、床下通路等に設置できるし、クリーンルームと連通
させてクリーンルーム外に設置しても良い。
【００２４】
【効果】以上説明したように、本発明に係る空気清浄装
置は、清浄空間に発生した有機アミン等のガスをケミカ
ルフィルターの使用枚数を少なく除去できるため、設備
費、ランニングコストが安価になる。さらに、清浄空気
の粉塵等の除去も本装置によって同時に行われる為、浄
化が促進され、ＨＥＰＡフィルタ等もより簡便なものに
することができる。また、比較的小型で且つ容易に設置
できるため、クリーンルーム内外の必要な個所に逐次設
置し使用できる効果がある。
置は、清浄空間に発生した有機アミン等のガスをケミカ
ルフィルターの使用枚数を少なく除去できるため、設備
費、ランニングコストが安価になる。さらに、清浄空気
の粉塵等の除去も本装置によって同時に行われる為、浄
化が促進され、ＨＥＰＡフィルタ等もより簡便なものに
することができる。また、比較的小型で且つ容易に設置
できるため、クリーンルーム内外の必要な個所に逐次設
置し使用できる効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す概略図である。
【図２】図１の気液混合筒４の実施例を具体的に示す断
面図である。
面図である。
【図３】図１の気液混合筒の第２の実施例を示す断面図
である。
である。
１ 空気浄化装置 ２ クリーンルーム ３ 液体タンク ４ 気液混合筒 ５ 気液分離室 ６ ケミカルフィルタ ７ 洗浄液 ８ 給排水管 ９ 気液混合筒本体 １１ 噴気ノズル １３ 送風機 １４ 噴霧ノズル １６ 送液ポンプ １７ 充填部材 １８ 邪魔板 １９ 電気ヒータ ２２ 吸着剤室
Claims (9)
- 【請求項１】 下端を閉塞された筒体であって少なくと
も下端付近に下部から上方に向けて空気を噴出する噴気
ノズルと筒体の内外とを連通する接続管とを備えた気液
混合筒と、気液分離室と、空気浄化フィルターとを縦方
向に連設し、被清浄空間内の空気を送風機によって噴気
ノズルから気液混合筒内に噴出させ、気液混合筒、気液
分離室、浄化フィルタの順に通過させて被清浄空間内に
還流するようにした空気循環回路と、洗浄液を送液ポン
プによって気液混合筒内に送液し通過させた後に気体と
分離して排出する洗浄液循環回路とを備えることによっ
て、混入した薬品や粉塵を洗浄液に吸着させて被清浄空
間内の空気の浄化を行うようにしたことを特徴とする清
浄空間の空気浄化装置。 - 【請求項２】 液体タンクと、下端を閉塞された筒体で
あって少なくとも下端付近に下部から上方に向けて空気
を噴出する噴気ノズルと筒体の内外を連通する接続管と
を備えた気液混合筒と、気液分離室と、空気浄化フィル
ターとを縦方向に連設し、被清浄空間内の空気を送風機
によって噴気ノズルから気液混合筒内に噴出させ、気液
混合筒、気液分離室、浄化フィルタの順に通過させて被
清浄空間内に還流するようにした空気循環回路と、液体
タンク内の洗浄液を気液混合筒内を通過させた後に気体
と分離して液体タンク内に回収する洗浄液循環回路とを
備えることによって、混入した薬品や粉塵を洗浄液に吸
着させて被清浄空間内の空気の浄化を行なうようにした
ことを特徴とする清浄空間の空気浄化装置。 - 【請求項３】 送液ポンプに接続する噴霧ノズルを気液
混合筒上方に設けて洗浄液を気液混合筒内上部に噴霧
し、気液混合筒内を上方から下方に通過させた後に気液
混合筒下端に開口する洗浄液回収管から回収する洗浄液
循環回路としたことを特徴とする請求項１又は２のいず
れかに記載の清浄空間の空気浄化装置。 - 【請求項４】 洗浄液を送液ポンプに接続する気液混合
筒下端の接続管から流入させ、気液混合筒内を下方から
上方に通過させた後に気液分離室下端に開口する洗浄液
回収管から回収する洗浄液循環回路としたことを特徴と
する請求項１又は２のいずれかに記載の清浄空間の空気
浄化装置。 - 【請求項５】 洗浄液回収管の下流に吸着剤を内蔵する
吸着剤室を設けて、洗浄液に混入した薬品等を吸着除去
するようにしたことを特徴とする請求項１乃至４のいず
れかに記載の清浄空間の空気浄化装置。 - 【請求項６】 気液分離室内に邪魔板を設けたことを特
徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の清浄空間の
空気浄化装置。 - 【請求項７】 気液分離室内に電気ヒータを設けたこと
を特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の清浄空
間の空気浄化装置。 - 【請求項８】 通過する流体に旋回性を付与する静止型
混合翼を備えた充填部材を気液混合筒内に充填したこと
を特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の清浄空
間の空気浄化装置。 - 【請求項９】 洗浄液に純水を使用したことを特徴とす
る請求項１乃至８のいずれかに記載の清浄空間の空気浄
化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9099923A JPH10286428A (ja) | 1997-04-17 | 1997-04-17 | 清浄空間の空気浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9099923A JPH10286428A (ja) | 1997-04-17 | 1997-04-17 | 清浄空間の空気浄化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10286428A true JPH10286428A (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=14260297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9099923A Pending JPH10286428A (ja) | 1997-04-17 | 1997-04-17 | 清浄空間の空気浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10286428A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000140865A (ja) * | 1998-11-10 | 2000-05-23 | Nec Corp | スルホキシド類含有排気の処理方法及びスルホキシド類含有排気の処理装置 |
| US7297050B2 (en) | 2001-05-14 | 2007-11-20 | Acanthe | Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment |
| CN103912924A (zh) * | 2014-04-21 | 2014-07-09 | 南京大学 | 一种洗涤式多功能空气净化装置 |
| CN104174248A (zh) * | 2014-09-15 | 2014-12-03 | 霍橡楠 | 多层交错喷淋式—冷暖型水洗空气净化装置 |
| CN106215579A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-12-14 | 孟祥雷 | 一种空气净化装置 |
| CN111155949A (zh) * | 2020-01-04 | 2020-05-15 | 重庆环科源博达环保科技有限公司 | 油基钻屑处理方法及应用于其的气体净化装置 |
| CN114425225A (zh) * | 2022-01-20 | 2022-05-03 | 宿松恒骏装饰新材料科技有限公司 | 氯代烷基多聚磷酸酯生产用盐酸吸收装置 |
-
1997
- 1997-04-17 JP JP9099923A patent/JPH10286428A/ja active Pending
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