KR20090082185A - 컴팩트 중합체 렌즈 - Google Patents

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KR20090082185A
KR20090082185A KR1020097007932A KR20097007932A KR20090082185A KR 20090082185 A KR20090082185 A KR 20090082185A KR 1020097007932 A KR1020097007932 A KR 1020097007932A KR 20097007932 A KR20097007932 A KR 20097007932A KR 20090082185 A KR20090082185 A KR 20090082185A
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transparent
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KR1020097007932A
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칼 하우골트
다그 도스테인 왕
프로드 티홀트
윌프레드 이. 부이즈
이브-룬 요한센
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신벤트에이.에스
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Abstract

본 발명은, 선택된 가요성을 갖는 제 1 투명층을 포함하고, 전압 인가시 수축하여 제 1 투명층을 구부리는 압전층을 구비하는 조절 가능한 초점 길이를 갖는 광학 요소에 관한 것으로, 상기 압전층은 축에 대칭 위치하고, 상기 제 1 투명층은 상기 축에 실질적으로 대칭 위치한 관통 공동(through going cavity)을 갖는 기판에 도포되고, 투명 중합체는 상기 제 1 투명층과 접한 표면을 갖는 상기 공동에 위치한다.
중합체, 렌즈, 초점, 압전, 전압

Description

컴팩트 중합체 렌즈{COMPACT POLYMER LENS}
본 발명은, 제 1 투명층과 기판에 위치한 선택된 굴절률을 갖는 연성 중합체 등의 투명한 가요성 물질을 포함하는 조절 가능한 초점 길이를 갖는 렌즈 및 상기 렌즈를 제조하는 방법에 관한 것이다.
휴대전화, 스캐닝 장치 및 머신 비전(machine vision)과 같은, 광학 장비의 최근 발전에서, 신속하게 초점을 맞출 수 있는 작은 렌즈에 대한 필요가 있다. 휴대 전화 카메라에서 화소의 개수는 증가했지만 화소의 완전한 장점을 사용하기에 충분한 품질의 컴팩트 렌즈가 필요하다. 이는 특히 카메라가 바코드를 읽거나 카메라에 가까운 물체의 이미지를 스캐닝하는 것과 같은 다른 목적들에 적용되면, 작은 사이즈에 부가하여 초점을 맞추는 성능(focusing capability)을 필요로 한다. 렌즈에 초점 성능을 추가하면 더 큰 개구(aperture)를 사용할 수 있게 하여, 렌즈의 피사계심도(depth of field)의 감소를 거치지 않고, 시스템의 광 감도를 증가시킬 수 있다.
종래의 유리 렌즈는 많은 용도에 대해 크고 비싸다고 간주되어 왔고 다른 해결방안을 찾기 위해 연구가 이루어져 왔다. 한 가지 장래성 있는 분야는 연성 중합체로 만들어진 렌즈의 개발이었다. 이들은 약간의 광학적 특성들을 갖고 선택된 형 상을 얻기 위해 정전기력에 의해 연성 중합체 렌즈를 당기거나 연성 중합체 표면을 성형시켜 초점을 맞추는 작용을 위해 성형될 수 있다. 다른 제안된 해결방안은 등급을 갖는(graded) 굴절률을 갖는 연성 중합체를 사용하는 것이었으나, 이는 충분히 좋은 품질로 제조하기 복잡한 것으로 판명되었다. 이러한 해결방안들에 관한 문제들은 곡률 및 표면 연속성 모두에서, 충분히 좋은 렌즈 표면을 얻는데 문제가 있었다.
다른 제안된 해결방안들은 공동과 같은 렌즈에 위치한 액체를 사용하는 것을 포함하며, 여기서 공동의 형상은 렌즈의 초점 길이를 수정하기 위해 수정된다. 이를 보이는 예들이 일본 특허출원들, 공보 제 JP2002239769호, JP2001257932호, JP2000081503호, JP2000081504호, JP10144975호, JP11133210호, JP10269599호, 및 JP2002243918호에 논의되어 있다. 또한, 이것은 T. 카네코(Kaneko) 등의 논문 "다층 압전 바이몰프(bimorph) 액츄에이터를 사용하는 빠른 응답의 동적 초점 렌즈", 마이크로-옵토-미캐니클 시스템즈, 리차드 R. A. 심즈 에디터, SPIE 회보, 4075권(2000년)에 논의되어 있다. 이들 모두는 렌즈로 작용하는 공동 내에 한정된 액체를 기초로 하고, 여기서 표면 중 적어도 하나는 가해진 힘에 의해 성형될 수 있다. 이는 렌즈를 성형시키기 위해 가해진 압력이 유체 또는 공동을 압축시켜야 하고, 이는 큰 힘을 필요로 하거나, 추가 챔버(chamber)가 공동으로부터의 액체의 힘을 억제하기 위해 제공되어야만 하는 등의 단점을 갖는다. 온도 변동으로 인한 체적 변화가 문제를 일으킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 대량 생산될 수 있는 컴팩트한 초점 렌즈와 휴대전화와 같은 컴팩트한 장비를 제공하면서, 카메라로부터의 넓은 거리 범위(wide range of distance)와 함께 충분한 광학적 품질을 제공하는 것이다. 이는 청구범위 독립항들에 진술된 바와 같이 얻어진다.
본 명세서에서 "연성 중합체"라는 용어는 이 단어의 넓은 의미로 사용되며, 실리콘과 중합체 겔(gel)과 같은 많은 상이한 재료를 포함할 수 있다.
연성 중합체를 사용하면 중합체가 공기 또는 다른 압축성 가스와 접촉하는 렌즈를 생산할 수 있게 하여, 렌즈의 초점 길이를 수정할 때 훨씬 적은 힘을 필요로 한다. 또한, 상이한 생산 단계들이 상이한 위치들 또는 시설들에서 국지화(localization)되어도 중합체가 제 위치를 유지하여 생산을 돕는다. 상술한 바와 같이, 이는 주변환경의 온도 및 압력 변동으로 인한 변형을 감소시키고 렌즈를 조정하는데 필요한 힘을 감소시키기 위해 누설 채널(leak channel) 또는 압축성 가스 기포들을 제공할 수 있다.
그러므로 본 발명은 얇은 가요성 막과 연성 중합체의 특징을 사용하여 유익한 해결방안을 제공한다.
특히, 본 발명은 렌즈들이 공지된 기술에 기반하여 몇 개의 독립적인 부분들을 포함하기 때문에 대량 생산하기 쉽고, 웹 카메라, 휴대전화 또는 상이한 타입들의 분석 장비와 같은 컴팩트 카메라에 적합한 조절 가능한 초점 길이를 갖는 컴팩트 렌즈를 제공한다. 예를 들어, 렌즈들은 투명층에 압전층을 스크린 인쇄하고 에칭된 구멍들을 갖는 실리콘 기판에 투명층을 장착하고 상기 에칭된 구멍에 연성 중합체들이 위치되어 만들어질 수 있다.
본 발명은, 예로서 본 발명을 예시하는 첨부한 도면들을 참조하여 하기에 보다 상술되며, 도 1a 내지 도 8c는 본 발명의 상이한 실시예들을 예시한다.
도면들에서 명확하듯이, 본 발명에 따른 렌즈는 기판(2)의 구멍 안에 또는 기판(4) 위에 위치한 공지된 굴절률을 갖는 광학적으로 투명한 연성 중합체(3), 예를 들어, 중합체 겔과 함께, 가요성 재료로 만들어진 제 1 커버 글래스(1), 예를 들어, SiO2 또는 파이렉스(Pyrex)로 만들어질 수 있다. 본 발명의 양호한 실시예에 따라, 커버 글래스(1)는 샘플들을 잡아주기 위해 현미경에 사용되는 타입의 얇은 유리판이다. 이러한 유리판들은 가해지는 압력에 의해 형태를 이루기에 충분히 가요성이고, 이러한 조건들에서 파괴되지 않을 만큼 충분히 강하고, 제 1 광학면은 제 1 커버 글래스로 구성되어 성형될 수 있지만 매우 단단하고 견고한 표면을 보이며, 렌즈 재료의 나머지 부분은 연성 중합체로 구성된다. 바람직하게는, 연성 중합체와 커버 글래스는 동일한 굴절률을 가져, 동일한 광학면을 구성한다.
도 1a 및 도 1b에서 연성 중합체(3)는 기판(2)의 구멍 내에 위치한다. 이 실시예는 기판으로서 실리콘을 사용하여 생산될 수 있다. 기판의 한 면이 투명층, 예를 들어, SiO2 또는 유리를 구비하면, 맞은편 면으로부터 에칭되어 실리콘층에서 에칭이 정지되는 오목부를 만들 수 있다. 그 다음에 이 오목부는 연성 중합체(3)로 충전된다. 액츄에이터(5)(예를 들어, 압전 링)가 상부 커버 층(1)과 오목부에, 예를 들어, 스크린 인쇄에 의해 공지된 방식으로 위치될 수 있고, 여기서 링은 전압이 인가될 때 접선 방향으로 수축 또는 팽창하는 구성이다. 얇은 상부 커버층(1)과 액츄에이터는 바이몰프 액츄에이터로서 함께 작동한다. 도 1b에서 링(5)은 커버층(1)에서 방사 방향으로 수축하여 볼록부를 생성한다. 실험들에서 SiO2 층은 만곡된 면을 제공하고, 이는 중앙 영역에서 실질적으로 구형(spherical)인 굴절면(6)을 구성하여, 렌즈를 제공함을 보여주었다.
도 1b의 하부 부분에서 연성 중합체의 하부면(7)이 연성 중합체가 커버층의 볼록부로 상방향으로 당겨짐에 따라 이동하여 오목-볼록(meniscus) 렌즈를 제공함을 예시한다. 도 1a 및 도 1b에서 오목부는 예를 들어, 실리콘 에칭 공정의 결과인, 큰 직경을 가져, 하부 굴절면의 곡률이 상부 굴절면(6)보다 작아, 렌즈가 형성된다. 상술한 바와 같이, 자유 연성 중합체 대 공기 경계면들을 갖는 다른 연성 중합체 렌즈들로부터의 실험은 하부 면의 중앙 영역이 에지들보다 작은 곡률을 가져, 만곡된 하부 면(7)의 효과가 제한됨을 보인다. 몇몇 상황에서, 특별한 광학적 특성이 요구되면, 구멍의 형상이 역전되어, 제 1 층(1)으로부터 멀어지면서 좁아지는 구멍을 가질 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 도 1a 및 도 1b와 실질적으로 같지만, 제 2 층(4)을 포함하는 실시예를 예시한다. 이 경우에, 하부 렌즈면(7)이 평면이므로, 렌즈는 편평한 볼록 렌즈(planar convex lens)를 제공한다. 도 2a 및 도 2b에 도시한 실시예에서, 오목부 에지들은 광학 축에 평행하고, 실리콘으로 만들어진다면 다른 에칭 방법들, 또는 드릴링(drilling)에 의해 생산될 수 있다.
제 2 층(4)이 충분히 가요성이고 연성 중합체가 충분히 비압축성이면, 이는 제 1 면의 움직임을 어느 정도 추종하며, 도 1a, 도 1b가 극단적인 예를 제공하듯이, 구멍들의 치수들은 이 효과 및 렌즈의 특성을 제어하도록 선택될 수 있다. 도면에서 누설 채널(12)은 내측 압력과 주변 환경을 평형화하고 렌즈면을 변화시키는데 사용되는 필요 힘을 감소시키도록 제공된다. 다르게는 압축성 가스의 작은 기포가 공동의 광학 축 밖에 제공된다.
도 3a, 도 3b에 예시된 바와 같이, 오목 렌즈는 압전 요소에 의해 가해지는 힘의 방향을 역전시켜 제공될 수 있다. 도 2에서와 같이 누설 채널(12)이 제공되고 부가적으로 중합체의 양은 압축성 가스(11)가 공동 내에 존재하도록 선택될 수 있다. 중합체(3)의 양은 물론, 렌즈의 광학적 활성 면을 커버하기 충분해야 하고, 가스(11)는 바람직하게는 압전 요소(5)에 의해 가해지는 힘에 대해 대칭 조건을 보장하도록 대칭 공간을 커버해야 한다.
도 1a, 도 1b, 도 2a, 도 2b에 예시된 해결방안들은 일반적인 Si 생산 방법들로 만들어질 수 있다. 하부 면은 예를 들어, 유리로 만들어진 편평한 기판이고, 가요성 층은 실리콘 웨이퍼로부터 만들어지고 여기서 구멍이 상부 SiO2 또는 유리 면까지 만들어진다. 연성 중합체는 구멍에 위치하여 (도 2a, 도 2b의 경우에) 기판, 실리콘 디스크 벽들과 상부 SiO2 또는 유리층 사이에서 쥐어짜진다. 표면에 압 전 요소들 등을 제공하여, 표면의 곡률이 바이몰프 액츄에이터에 의해 수정되고, 연성 중합체가 표면에 붙어 표면의 움직임을 추종한다.
상술한 모든 해결방안에서, 조절 가능한 굴절면(6, 7)은 반사 재료로 만들어져, 조절 가능한 거울을 제공한다. 도 2에서 및 나아가 도면들에서 상부 및 하부 층(1, 4)들 모두는 양면볼록(bi-convex), 양면오목(bi-concave) 또는 오목-볼록(meniscus) 렌즈를 제공하기 위해 가요성일 수 있다.
그러므로 본 발명에 따른 광학 요소는, 예를 들어, 휴대전화, 스캐너 또는 바코드 판독기와 같은 카메라에 자동-초점(auto focus)을 제공하기 위해 렌즈에 힘을 제공하는 액츄에이터를 표준 장비에 커플링시켜 렌즈의 초점 길이를 조정하기 위해 시스템에 커플링될 수 있다. 그 다음에 액츄에이터는 예를 들어, 필요한 초점이 지나갔거나 또는 조정한 것이 잘못된 방향으로 밝혀졌으면, 시스템에 의해 정지 또는 뒤로 가라는 신호가 주어질 때까지 초점 길이를 수정하도록 렌즈에 증가 또는 감소하는 힘을 가한다.
도 4a, 도 4b, 도 4c는 기판이 없는 본 발명의 양호한 실시예를 예시하며, 압전 또는 전왜(electrostrictive) 재료가 상부층(1)에 스크린 인쇄되거나 공지된 리소그래피(lithographic) 공정을 통해 증착 또는 패턴-형성(patterned)된다. 도 4a, 도 4b, 도 4c에 도시된 액츄에이터 층(5)은 링 형상이다. 투명한 전극들, 예를 들어, ITO와 조합하여, 투명한 액츄에이터, 예를 들어, 중합체 필름 또는 PZT 필름을 사용하는 대안적인 실시예에 따르면, 액츄에이터는 상부층을 완전히 커버할 수 있다. 상부층(1)은 얇은 유리 시트, 바람직하게는 파이렉스로부터 만들어지지만, 사파이어 또는 SiO2가 사용될 수도 있다. 연성 중합체와 같은 재료(3)는 바람직하게는 종래의 겔(gel)로부터 만들어지지만, 필요한 굴절률에 따라 선택된 연성 중합체들 또는 탄성체(elastomer)들도 사용될 수 있다. 하부층(4)은 이 경우에 유리로 만들어진다. 도 4a, 도 4b, 도 4c에 따른 실시예는 표준 공정들을 사용하여 생산하기 쉬운 해결방안을 구성한다.
도 5a, 도 5b, 도 5c에서, 원통형 렌즈를 생산하기 위한 실시예가 예시되어 있다. 이의 장점은 1차원(one dimension)에서 상부층을 구부리는데 필요한 힘이 돔(dome)형상 면을 생성하는데 필요한 힘보다 훨씬 적다는 것이다. 종래의 렌즈와 같은 특징을 제공하기 위해 두 개의 원통형 렌즈들이 직각의 굽힘 방향들을 갖고 광학축을 따라 직렬로 배치될 수 있다.
전원공급장치 및 구동 회로, 본 발명을 활용하는데 필요한 광학 요소를 위한 하우징 및 지지부와 같은 다른 전자 및/또는 기계적 장치는 상세히 설명하지 않는데 이들이 사용되는 상황 및 선택된 실시예에 따라 당업자에게 명백한 것으로 고려되기 때문이다.
그러므로 요약하면, 본 발명은, 제 1 투명층과 그 위에 위치한 선택된 굴절률을 갖는 투명한 연성 중합체, 예를 들어, 겔(gel)을 포함하는 조절 가능한 초점 길이를 갖는 광학 요소에 관한 것이고, 상기 층은 선택된 가요성을 갖는 재료, 예를 들어, 얇은 유리층으로 만들어지고, 광학 요소는 상기 가요성 층에 힘을 가하기 위한 액츄에이터를 구비하며, 상기 힘은 상기 축에 대해 실질적으로 평면 또는 원 대칭이어서 상부 층에 가까운 중합체 표면을 구부려 렌즈 면을 제공하고 만곡된 굴절면을 제공한다.
광학 요소는 연성 중합체의 맞은편 면에 위치하고, 예정된 형상을 갖는 제 2 층에 가까운 제 2 굴절면(7)을 제공하기 위해 상기 연성 중합체를 실질적으로 커버하는 제 2 투명층도 포함할 수 있다. 다르게는, 제 2 투명층도 가요성일 수 있고 제 2 굴절면을 성형시키기 위한 액츄에이터를 구비할 수 있다. 층들 중 하나가 구멍을 가지면 그 안의 중합체는 중합체 챔버로부터 쥐어짜지거나 이 챔버로 복귀될 수 있고 그 표면은 렌즈 형상을 갖는 굴절면을 제공하지만 상술한 바와 같이 이 표면의 광학적 품질은 제한될 수 있다.
제 1 투명층은 SiO2로 구성될 수 있고, 광학 요소는 구멍을 갖는 Si 기판을 추가로 포함하고, 상기 연성 중합체는 상기 구멍에 위치한다.
하부 투명층도 렌즈의 양쪽 광학 표면들을 제어하기 위해 압전 요소를 포함할 수 있다.
다르게는, 작용력 액츄에이터가 하우징에 장착되고 선택된 광학축에 대해 대칭으로 배치되고 광학축에 평행한 힘을 가하는 구성일 수 있다. 이는 층들을 구부리기 위해 층(1, 4)들 중 적어도 하나에 대해 힘을 가하는 링을 사용하여 제공될 수 있고, 그 힘은 기계적으로 또는 자석들, 압전 요소들 또는 전기적 액츄에이터들로 가해질 수 있다.
본 발명의 상이한 실시예에 따라, 실질적으로 원형인 기포가 선택된 광학축 에서 상기 제 1 및/또는 제 2 층과 상기 연성 중합체 사이에 제공되고, 상기 연성 중합체는 전기 전도성이고, 상기 제 1 층은 상기 선택된 광학 축에 대해 대칭인 링 형상 패턴의 전기 전도체를 구비하고, 상기 액츄에이터는 상기 전극들에 및 상기 연성 중합체에 커플링된 전원(voltage source)으로 구성되므로, 상기 전극들에 관해 연성 중합체면을 성형시키는 상기 연성 중합체와 상기 제 1 층 상의 선택된 전극 간의 힘을 제공한다.
본 발명의 다른 실시예에 따라, 제 2 층이 상기 제 1 층으로부터 연성 중합체의 맞은편에 배치되고, 연성 중합체는 전왜 재료이다. 액츄에이터는 각각의 층에 제공되는 하나 이상의 원형 전극과 이 전극들 사이에 전압을 인가하는 전압 제공 수단으로 구성되므로, 연성 중합체가 전압에 반응하고 상기 전압의 결과로서 팽창 또는 수축한다. 이 방식으로 중합체의 전기장에 대한 반응들이 만곡된 굴절면들을 만든다.
상술한 바와 같이, 액츄에이터는 광학축에 관해 원형 대칭 힘을 제공하여, 중심에 가까운 상기 제 1 투명층에 실질적으로 구형(spherical) 형상의 만곡부(bend)를 제공하는데 적합하다. 그러나 액츄에이터가 광학축을 포함하는 평면에 대해 평면 대칭인 힘을 제공할 수 있으므로, 상기 제 1 투명층에 원통 형상의 만곡부를 제공하고, 이 경우 원통형 만곡부는 광학축에 직각인 축을 갖는다. 이러한 두 렌즈들을 광학축을 따라 조합하여 하나의 종래 렌즈와 유사한 결과를 얻을 수 있지만, 액츄에이터에 의해 가해지는 힘이 더 적게 요구된다.
본 발명에 따른 렌즈는 몇 가지 방식으로 생산될 수 있다. 도 1a ~ 도 2b에 예시된 렌즈는, 한 면에 SiO2 또는 유리층을 갖는 실리콘 판을 제공하는 단계와, 상기 실리콘 판에 구멍을 에칭하는 단계와, 상기 구멍에 연성 중합체를 배치하여, 연성 중합체가 SiO2 또는 유리층과 접촉하는 단계와, 상기 SiO2 또는 유리층에 힘 액츄에이터를 배치하는 단계를 포함하는 방법을 사용하여 제조될 수 있다. 다음으로, 제 2 층이 상기 실리콘 판의 맞은편 면에 제공되고, 연성 중합체가 공동 내에 넣어질 수 있다. 액츄에이터는 압전 또는 전왜 링이고, 상기 링은 선택된 광학축과 동축관계로 배치되고, SiO2 층에 방사방향 힘을 제공하여 상기 연성 중합체와 상기 제 1 층에 볼록부 또는 돔(dome)을 만든다.
다르게는, 렌즈는, 예를 들어 인쇄 방법에 의해 유리면에 액츄에이터를 증착시키는 단계와, 예를 들어 상기 유리면의 맞은편 면으로부터 에칭 또는 연마(grinding)에 의해 유리를 얇게 하는 단계와, 얇은 유리판의 맞은편 면에 연성 중합체를 제공하는 단계에 의해 만들어질 수 있다. 이런 식으로 유리는 기판(2)과 제 1 투명층(1) 모두를 구성할 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명은, 제 1 투명층과 기판에 위치한 선택된 굴절률을 갖는 연성 중합체 등의 투명한 가요성 물질을 포함하는 조절 가능한 초점 길이를 갖는 렌즈 및 상기 렌즈를 제조하는 방법을 제공하는데 사용된다.

Claims (14)

  1. 선택된 가요성을 갖는 제 1 투명층을 포함하고, 전압 인가시 수축하여 상기 제 1 투명층을 구부리는 압전층을 구비하는 조절 가능한 초점 길이를 갖는 광학 요소로서,
    상기 압전층은 축에 대칭 위치하고, 상기 제 1 투명층은 상기 축에 실질적으로 대칭 위치한 관통 공동(through going cavity)을 갖는 기판에 도포되고, 투명 중합체는 상기 제 1 투명층과 접촉한 표면을 갖는 상기 공동에 위치한, 광학 요소.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 투명층은 SiO2로 구성되고, 상기 기판은 Si로 제조된, 광학 요소.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 압전층은 상기 제 1 층에 원형 대칭 힘을 가하여, 중심에 가까운 실질적으로 구형 형상의 제 1 층을 제공하는, 광학 요소.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 압전 층은 링 형상의 압전 요소에 의해 구성되는, 광학 요소.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 압전 층은 스크린 인쇄에 의해 상기 제 1 투명층에 증착되는, 광학 요소.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 연성 중합체의 맞은편 면에 위치하고 상기 연성 중합체를 실질적으로 덮는 제 2 투명층을 또한 포함하는, 광학 요소.
  7. 제 6항에 있어서, 주변 환경과 상기 요소 내의 압력을 평형화시키기 위한 누설 채널(leake channel)을 또한 포함하는, 광학 요소.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 공동 내에 선택된 양의 압축성 가스를 또한 포함하는, 광학 요소.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 압축성 가스는 상기 축에 관해 실질적으로 대칭으로 분포되는, 광학 요소.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 압전층은 상기 광학축을 포함하는 평면에 대해 평면 대칭인 힘을 제공하여, 상기 제 1 투명층에 원통 형상의 굽힘부(bend)를 제공하는, 광학 요소.
  11. 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 기재된 광학 요소로서, 상기 연성 중합체는 겔(gel)인, 광학 요소.
  12. 렌즈를 제조하는 방법으로서,
    한 면에 SiO2 또는 유리층을 갖는 실리콘 판을 제공하는 단계와, 상기 실리콘 판에 구멍(opening)을 에칭하는 단계와, 상기 구멍에 연성 중합체를 배치하는 단계를 포함하고, 상기 연성 중합체는 SiO2 또는 유리층과 접촉하고, 상기 SiO2 또는 유리층에 대한 압전 요소의 배치는 선택된 상기 광학축과 동축상에 위치하고 상기 SiO2 층에 힘을 제공하여, 상기 제 1 층과 상기 연성 중합체에 볼록부(bulge) 또는 돔(dome)을 만드는, 렌즈 제조 방법.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 실리콘 판의 맞은편 면에 제 2 층이 제공되어, 상기 연성 중합체가 공동 안에 밀봉되는, 렌즈 제조 방법.
  14. 렌즈를 제공하는 방법으로서,
    유리 기판에 액츄에이터(actuator)를 증착하는 단계와,
    선택된 깊이의 공동을 제공하는 상기 유리 기판의 맞은편 면으로부터 에칭 또는 연마(grinding)에 의해 상기 유리 기판을 얇게 하는 단계로서, 얇은 투명 유리층이 남는, 단계와,
    얇아진 상기 유리 층의 면 중 하나의 면에 연성 중합체를 배치하는 단계를
    포함하는, 렌즈 제공 방법.
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