KR20090030503A - 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 검사 대상물을 검사하는 장치에 있어서,검사 대상물에 대한 검사가 이루어지는 검사 유닛과;상기 검사 유닛으로 반입하고자 하는 검사 대상물이 놓이는 반입 유닛과;상기 검사 유닛에서 반출된 검사 대상물이 놓이는 반출 유닛과; 그리고상기 반입 유닛과 상기 검사 유닛, 그리고 상기 반출 유닛과 상기 검사 유닛 간에 검사 대상물을 이송하는 이송 유닛을 구비하되,상기 이송 유닛은 상기 반입 유닛에 놓인 검사 대상물을 상기 검사 유닛으로 이송시키는 과정과 상기 검사 유닛에 놓인 검사 대상물을 상기 반출 유닛으로 이송시키는 과정을 동시에 수행할 수 있도록 형상 지어진 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 검사 유닛은,상기 반입 유닛 및 상기 반출 유닛과 검사 대상물을 주고받는 초기 위치, 검사 대상물에 대해 촬영이 이루어지는 검사 위치, 그리고 검사 대상물을 반전시키는 반전 위치 간에 이동 가능하며, 검사 대상물이 놓이는 복수의 스테이지들과;상기 검사 위치로 이동된 검사 대상물을 촬영하는 촬영 부재와;상기 촬영 부재로부터 촬영된 이미지를 전송받고, 상기 이미지로부터 검사 대상물의 불량 여부를 판독하는 영상 처리기와; 그리고상기 반전 위치로 이동된 검사 대상물을 반전하는 반전 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 이송 유닛은,상기 반입 유닛, 상기 반출 유닛, 그리고 상기 초기 위치로 이동된 상기 스테이지 사이에 배치되며, 회전 가능한 회전체와;상기 회전체로부터 연장되며, 검사 대상물을 홀딩할 수 있는 제 1 암과; 그리고상기 회전체로부터 상기 제 1 암에 수직하게 연장되며, 검사 대상물을 홀딩할 수 있는 제 2 암을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 2항 또는 제 3 항에 있어서,상기 검사 위치는 제 1 검사 위치와 제 2 검사 위치를 포함하며,상기 초기 위치, 상기 제 1 검사 위치, 상기 반전 위치, 그리고 상기 제 2 검사 위치는 각각의 상기 스테이지가 회전에 의해 순차적으로 상기 초기 위치, 상기 제 1 검사 위치, 상기 반전 위치, 상기 제 2 검사 위치, 그리고 상기 초기 위치로 이동되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 2항 또는 제 3 항에 있어서,상기 검사 유닛은 상면에서 바라볼 때 정사각형의 형상을 가지며 회전 가능한 베이스를 더 포함하고,상기 스테이지는 상기 베이스와 함께 회전되도록 상기 베이스의 각 변에 제공되고,상기 베이스의 제 1 측 및 이와 마주보는 제 2 측에는 각각 상기 촬영부재가 배치되고,상기 제 1 측 및 상기 제 2 측과 수직한 상기 베이스의 제 3 측에는 상기 반전 부재가 배치되고,상기 제 3 측과 마주보며, 상기 반입 유닛 및 상기 반출 유닛과 인접한 상기 베이스의 제 4 측에는 상기 이송 유닛이 배치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 암과 상기 제 2 암의 하면에는 검사 대상물을 진공으로 홀딩하는 진공 홀이 제공되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 2항 또는 제 3 항에 있어서,상기 반전 부재는,검사 대상물을 홀딩하는 핑거와;검사 대상물이 반전되도록 상기 핑거를 회전시키는 회전 구동기와;상기 핑거를 상하 방향으로 이동시키는 수직 구동기와; 그리고상기 핑거를 전후 방향으로 이동시키는 수평 구동기를 포함하고,각각의 상기 스테이지의 상면에는 상기 핑거가 삽입될 수 있는 홈들이 형성되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 핑거는 복수 개가 서로 나란하게 제공되며, 상기 핑거들은 연결 부재에 결합되고, 상기 회전 유닛은 상기 연결 부재에 고정되는 회전축을 포함하며,상기 홈들은 상기 핑거들 각각에 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입 유닛은,검사 대상물이 직선 이동되는 운반대와;상기 운반대 상에 설치되어 검사 대상물 상에 부착된 이물을 제거하는 이물 제거 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 운반대는 일정거리 이격되며 검사 대상물의 양측 가장자리를 지지하는 컨베이어 벨트를 구비하고,상기 이물 제거 부재는,상기 컨베이어 벨트에 놓인 검사 대상물의 상면과 접촉하도록 배치되며, 외측면에 접착제가 제공된 제 1 롤러와;상기 컨베이어 벨트에 놓인 검사 대상물의 하면과 접촉되도록 배치되며, 외측면에 접착제가 제공된 제 2 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 이물 제거 부재는,상기 제 1 롤러와 접촉되도록 배치되며, 외측면에 접착제가 제공되어 상기 제 1 롤러에 부착된 이물을 제거하는 상부 롤러와;상기 제 2 롤러와 접촉되도록 배치되며, 외측면에 접착제가 제공되어 상기 제 2 롤러에 부착된 이물을 제거하는 하부 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입 유닛은,검사 대상물들이 놓이는 적재대와;상기 적재대에 놓인 검사 대상물을 상기 운반대로 이동시키는 수평 구동기를 더 포함하되,상기 적재대는,상기 검사 대상물들이 놓이는 공간을 제공하는 프레임과;상기 프레임 내에 배치되며, 검사 대상물들을 지지하는 승강 판과;상기 승강 판를 상하로 이동시키는 수직 구동기와; 그리고상기 승강 판 상에 검사 대상물이 놓여져 있는지 여부를 검출하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 검사 대상물을 검사하는 장치에 있어서,검사 대상물에 대한 검사가 이루어지는 검사 유닛과;상기 검사 유닛에서 검사하고자 하는 검사 대상물이 놓이는 반입 유닛과;상기 검사 유닛에서 검사가 이루어진 검사 대상물이 놓이는 반출 유닛과; 그리고상기 반입 유닛과 상기 검사 유닛, 그리고 상기 반출 유닛과 상기 검사 유닛 간에 검사 대상물을 이송하는 이송 유닛을 구비하되,상기 검사 유닛은,검사 대상물을 촬영하는 제 1 촬영 부재 및 제 2 촬영 부재와;검사 대상물을 반전하는 반전 부재와;상기 제 1 촬영 부재 및 상기 제 2 촬영부재로부터 촬영된 이미지를 전송받고, 상기 이미지로부터 검사 대상물의 불량 여부를 판독하는 영상 처리기와;회전에 의해 상기 반입 유닛 및 상기 반출 유닛과 검사 대상물을 주고받는 초기 위치, 상기 제 1 촬영 부재가 제공된 제 1 검사 위치, 상기 반전 부재가 제공 된 반전 위치, 상기 제 2 촬영 부재가 제공된 제 2 검사 위치 간에 이동 가능하며, 검사 대상물이 놓이는 복수의 스테이지들을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 검사 유닛은 회전되는 베이스를 더 포함하고,상기 베이스에는 상기 스테이지가 상기 베이스와 함께 회전되도록 제공되며,상기 제 1 촬영 부재, 상기 반전 부재, 그리고 상기 제 2 촬영 부재는 각각의 상기 스테이지가 회전시 순차적으로 도달될 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,상기 이송 유닛은,상기 반입 유닛, 상기 반출 유닛, 그리고 상기 초기 위치로 이동된 상기 스테이지 사이에 배치되며, 회전 가능한 회전체와;상기 회전체로부터 연장되며, 검사 대상물을 홀딩할 수 있는 제 1 암과; 그리고상기 회전체로부터 상기 제 1 암에 수직하게 연장되며, 검사 대상물을 홀딩할 수 있는 제 2 암을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,상기 반전 부재는,검사 대상물을 진공에 의해 홀딩하는 핑거와;상기 핑거를 회전시키고, 상하 방향 및 전후 방향으로 직선이동시키는 구동기를 포함하고,상기 스테이지의 상면에는 상기 핑거가 전후 방향 및 상하 방향으로 이동시 상기 핑거의 이동경로로서 제공되는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 검사 장치.
- 검사 대상물을 검사하는 방법에 있어서,반입 유닛으로부터 검사 대상물을 검사 유닛으로 이동하고, 상기 검사 유닛에서 검사 대상물의 불량 여부를 검사하며, 상기 검사 유닛에서 검사가 완료된 기판은 반출 유닛으로 이동하되,하나의 구동기에 의해 회전 가능하며 서로에 대해 직각으로 제공된 두 개의 암을 사용하여, 상기 반입 유닛에서 상기 검사 유닛으로의 검사 대상물의 이동과 상기 검사 유닛에서 상기 반입 유닛으로의 검사 대상물의 이동을 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 검사 유닛에는 검사 대상물이 놓일 수 있는 스테이지를 복수 개 제공하고, 상기 스테이지들은 회전에 의해 초기 위치, 제 1 검사 위치, 반전 위치, 그리 고 제 2 검사 위치로 순차적으로 이동 가능하며, 상기 초기 위치는 상기 반입 유닛 및 상기 반출 유닛과 상기 검사 유닛이 검사 대상물을 주고받는 위치이고, 상기 제 1 검사 위치와 상기 제 2 검사 위치는 촬영 부재에 의해 검사 대상물의 촬영이 이루어지는 위치이며, 상기 반전 위치는 검사 대상물의 반전이 이루어지는 위치인 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 스테이지들은 네 개가 제공되며, 상기 초기 위치, 상기 제 1 검사 위치, 상기 반전 위치, 상기 제 2 검사 위치는 상기 스테이지들이 각각 90도 회전시이동되는 위치인 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 검사 대상물의 반전은 상부에서 핑거로 상기 스테이지에 놓인 검사 대상물을 진공 흡착하여 상기 검사 대상물을 상기 스테이지로부터 들어 올리고, 상기 핑거를 180도 회전시켜 상기 검사 대상물을 반전시키고, 상기 핑거를 상기 스테이지의 상부면에 제공된 홈 내로 하강 이동시킴으로써 상기 검사 대상물을 상기 스테이지에 놓는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 18항에 있어서,상기 검사 대상물의 반전은 상기 스테이지의 상부면에 제공된 홈 내로 핑거 를 삽입하고 상기 핑거를 승강시킴으로써 상기 스테이지로부터 상기 검사 대상물을 들어올리고 상기 검사 대상물을 진공 흡착하며, 상기 핑거를 180도 회전시켜 상기 검사 대상물을 반전시키고, 상기 스테이지의 상부면에 상기 검사 대상물을 놓은 후 상기 진공을 제거하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 18 항에 있어서,직각으로 제공된 두 개의 암 중 하나는 상기 반입 유닛에 위치된 검사 대상물을 진공 흡착하고, 다른 하나는 상기 초기 위치로 이동된 상기 스테이지에 놓인 검사 대상물을 진공 흡착하며, 상기 두 개의 암과 연결된 회전체가 상기 반출 유닛을 향하는 방향으로 90도 회전됨으로써, 상기 초기 위치로 이동된 상기 스테이지에 놓인 검사 대상물은 상기 반출 유닛으로 이동되고 이와 동시에 상기 반입 유닛에 위치된 검사 대상물은 상기 초기 위치로 이동된 상기 스테이지 상으로 이동되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 검사 대상물은 상면 및 하면을 가지는 얇은 판 형상을 가지고,상기 검사 대상물의 검사면 수에 따라 검사 과정을 상이하게 수행하되,상기 검사면이 상기 상면 및 하면 모두를 포함하는 경우에는 각각의 상기 검사 대상물이 상기 초기 위치, 상기 제 1 검사 위치, 상기 반전 위치, 상기 제 2 검사 위치, 그리고 상기 초기 위치로 순차적으로 이동되고, 상기 제 1 검사 위치에서 는 상기 검사 대상물의 상면과 하면 중 어느 하나에 대한 검사가 이루어지고, 상기 제 2 검사 위치에서는 상기 검사 대상물의 상면과 하면 중 다른 하나에 대한 검사가 이루어지며,상기 검사면이 상면인 경우에는 각각의 검사 대상물은 상기 초기 위치, 상기 제 1 검사 위치와 상기 제 2 검사 위치 중 어느 하나의 위치, 그리고 상기 초기 위치로 순차적으로 이동되고, 상기 제 1 검사 위치와 상기 제 2 검사 위치에서는 서로 상이한 검사 대상물에 대해 검사가 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 검사 대상물이 상기 검사 유닛으로 이동되기 전에 상기 반입 유닛에서 상기 검사 대상물에 부착된 이물을 제거하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 17 항 내지 제 24 항 중 어느 하나에 있어서,상기 검사 대상물은 인쇄 회로 기판인 것을 특징으로 하는 검사 방법.
- 제 25 항에 있어서,상기 검사 대상물의 검사 항목은 상기 검사 대상물의 표면에 부착된 이물 검사인 것을 특징으로 하는 검사 방법.
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