KR100939645B1 - 웨이퍼 검사장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 엘리베이터에 의해 승·하강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부;상기 로딩부에서 인출된 웨이퍼가 로딩될 수 있도록 상면에 복수의 스테이지가 마련되며, 상측에 설치되는 제1비젼모듈을 통해 상기 웨이퍼의 표면검사를 실시하게 되는 표면검사부;상기 표면검사가 완료된 웨이퍼의 상면을 흡착고정하여 후속공정으로 이송시킬 수 있도록 중심부가 회전가능하게 설치되며 양끝단에 흡착부가 구비되는 웨이퍼이송부;상기 웨이퍼이송부에 의해 이송된 웨이퍼가 이송될 수 있도록 모터의 동력을 전달받아 일측으로 회전되는 컨베이어가 설치되고, 상기 컨베이어의 상·하측에 설치된 제2비젼모듈을 통해 상기 이송되는 웨이퍼의 내부검사를 실시하게 되는 내부검사부;상기 컨베이어의 이송방향 끝단에 근접 위치되며 엘리베이터에 의해 승·하강되는 카세트가 구비되어 내부검사가 완료된 상기 웨이퍼가 순차적으로 적재되는 언로딩부;상기 일련의 웨이퍼 검사과정을 순차제어프로그래밍에 따라 제어하게 되는 제어부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,상기 푸쉬수단은,에어실린더와, 상기 에어실린더의 내부에 전·후진가능하게 결합되되 선단에 수평왕복부재가 결합된 푸쉬로드로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,상기 표면검사부는,모터의 동력을 전달받아 회전가능하게 설치되되 그 상면에 웨이퍼가 로딩될 수 있도록 적어도 4개의 스테이지가 회전축을 중심으로 일정각도 이격되게 설치되는 회전테이블;상기 회전테이블과는 독립적으로 상측에 설치되는 카메라와 그 양측에 설치되는 표면검사용조명으로 이루어지는 제1비젼모듈; 및상기 제1비젼모듈에서 불량으로 판단된 웨이퍼를 분리 배출시킬 수 있도록 상기 스테이지의 하측에 하향 경사지게 형성되는 제1배출구;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항 또는 제 3항에 있어서,상기 스테이지는,상기 웨이퍼의 양끝단을 지지해주는 지지대;와,상기 지지대를 양측으로 확장시켜주는 에어실린더;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,상기 내부검사부는,상기 웨이퍼이송부에 의해 이송된 웨이퍼가 이송될 수 있도록 모터의 동력을 전달받아 일측 방향으로 회전되는 컨베이어;상기 컨베이어에 의해 이송되는 웨이퍼의 내부검사를 실시할 수 있도록 상기 컨베이어의 상·하측에 카메라와 내부검사용조명이 설치되어 이루어지는 제2비젼모듈; 및상기 컨베이어의 길이방향으로 일단이 힌지축에 결합되고, 일측에 설치된 작동실린더에 의해 상기 힌지축을 회전중심으로 하측으로 일정각도 선회되는 제2배출구;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 5항에 있어서,상기 제2비젼모듈이 설치된 상기 컨베이어는 상기 카메라와 내부검사용조명이 상기 웨이퍼를 투시할 수 있도록 소정의 이격된 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 5항에 있어서,상기 내부검사부에는 들어오는 빛을 차단하여 상기 내부검사부를 어둡게 해주는 암막이 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 엘리베이터에 의해 승·하강되고, 상기 웨이퍼가 수평방향으로 한 장씩 인출될 수 있도록 일측에 푸쉬로드가 설치되는 로딩부;상기 로딩부에서 인출된 웨이퍼가 로딩될 수 있도록 상면에 복수의 스테이지가 마련되며, 상측에 설치되는 제1비젼모듈을 통해 상기 웨이퍼의 표면검사를 실시함과 아울러 상기 웨이퍼의 휨 변형검사를 실시하게 되는 표면검사부;상기 표면검사가 완료된 웨이퍼의 상면을 흡착고정하여 후속공정으로 이송시킬 수 있도록 중심부가 회전가능하게 설치되며 양끝단에 흡착부가 구비되는 웨이퍼이송부;상기 웨이퍼이송부에 의해 이송된 웨이퍼가 이송될 수 있도록 모터의 동력을 전달받아 일측으로 회전되는 컨베이어가 설치되고, 상기 컨베이어의 상·하측에 설치된 제2비젼모듈을 통해 상기 이송되는 웨이퍼의 내부검사를 실시하게 되는 내부검사부;상기 컨베이어의 이송방향 끝단에 근접 위치되며 엘리베이터에 의해 승·하강되는 카세트가 구비되어 내부검사가 완료된 상기 웨이퍼가 순차적으로 적재되는 언로딩부;상기 일련의 웨이퍼 검사과정을 순차제어프로그래밍에 따라 제어하게 되는 제어부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 제 8항에 있어서,상기 표면검사부는,모터의 동력을 전달받아 회전가능하게 설치되되 그 상면에 웨이퍼가 로딩될 수 있도록 적어도 4개의 스테이지가 회전축을 중심으로 일정각도 이격되게 설치되는 회전테이블;상기 회전테이블과는 독립적으로 상측에 설치되는 카메라와 그 양측에 설치되는 표면검사용조명으로 이루어지는 제1비젼모듈;상기 제1비젼모듈의 일측에 위치되되 웨이퍼와 수직인 방향으로 설치되어 상기 웨이퍼를 향해 레이저 빔을 조사하는 레이저측정기와, 조사된 레이저 빔이 되돌아오게 되는 센서헤드로 이루어져 상기 웨이퍼의 휨 변형정도를 측정하게 되는 레이저측정부;상기 제1비젼모듈 또는 상기 레이저측정부에서 불량으로 판단된 웨이퍼를 분리 배출시킬 수 있도록 상기 스테이지의 하측에 하향 경사지게 형성되는 제1배출구;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
- 복수의 웨이퍼가 제1컨베이어에 의해 이송되는 로딩부;상기 로딩부에서 이송된 웨이퍼가 로딩될 수 있도록 상면에 복수의 스테이지가 마련되며, 상측에 설치되는 제1비젼모듈을 통해 상기 웨이퍼의 표면검사를 실시 하게 되는 표면검사부;상기 표면검사가 완료된 웨이퍼의 상면을 흡착고정하여 후속공정으로 이송시킬 수 있도록 중심부가 회전가능하게 설치되며 양끝단에 흡착부가 구비되는 웨이퍼이송부;상기 웨이퍼이송부에 의해 이송된 웨이퍼가 이송될 수 있도록 모터의 동력을 전달받아 일측으로 회전되는 컨베이어가 설치되고, 상기 컨베이어의 상·하측에 설치되어 상기 이송되는 웨이퍼의 내부검사를 실시하게 되는 제2비젼모듈과, 상기 제2비젼모듈의 일측에 설치되어 내부검사 후 이송되는 웨이퍼의 휨 변형을 측정할 수 있도록 레이저측정기 및 센서헤드로 이루어지는 레이저측정부와, 상기 컨베이어의 길이방향으로 일단이 힌지축에 결합되되 일측에 설치된 작동실린더에 의해 상기 힌지축을 회전중심으로 하측으로 일정각도 선회되는 제2배출구를 포함하는 내부검사부;상기 컨베이어의 이송방향 끝단에 근접 위치되어 내부검사가 완료된 상기 웨이퍼를 순차적으로 이송시키는 제2컨베이어로 이루어지는 언로딩부; 및상기 일련의 웨이퍼 검사과정을 순차제어프로그래밍에 따라 제어하게 되는 제어부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
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