JP6780309B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
しかし、このような機構をX線検査装置に適用しようとした場合、X線の照射中に、次の検査対象を装置内に搬入する必要が生じるため、装置外へのX線の漏洩対策が必要となる。
、前記搬入準備室から搬入された前記検査対象物を撮影する撮影手段と、を有し、前記トラバーサは、前記検査対象物を載置する載置部と、前記載置部と共に移動し、前記第一の開口部または前記第二の開口部から侵入し当該トラバーサの移動方向に伝播する放射線が他方の開口部に達しないよう遮蔽する遮蔽部材と、からなることを特徴とする。
放射線によって撮影を行う検査装置においては、検査対象物が撮影室に出入りする際に放射線が漏洩するおそれがある。そこで、本発明に係る検査装置は、搬入準備室および搬出準備室を設け、各準備室の内部にて放射線を遮蔽する。
かかる構成によると、シャッターなどの特別な機構を必要とすることなく、撮影室と外部とが連通しない状態を維持したまま、検査対象物を搬入および搬出することができる。
移動させるための若干の隙間があってもよい。
搬入準備室と、撮影室と、搬出準備室と、を有する検査装置であって、前記搬入準備室および搬出準備室は、第一の開口部から検査対象物を搬入する搬入手段と、前記搬入された検査対象物を、前記搬入の方向とは異なる方向に第二の開口部まで平行移動させるトラバーサと、前記トラバーサの移動方向とは異なる方向に前記検査対象物を移動させ、第二の開口部から搬出する搬出手段と、を有し、前記撮影室は、前記搬入準備室から搬入された前記検査対象物を撮影する撮影手段と、を有し、前記トラバーサは、前記検査対象物を載置する載置部と、前記載置部と共に移動する第一の遮蔽部材および第二の遮蔽部材と、からなり、前記第一の遮蔽部材および第二の遮蔽部材は、前記トラバーサの移動中において、当該第一の遮蔽部材および第二の遮蔽部材と、前記搬入準備室または搬出準備室の対向する内壁と、によって閉空間を形成する位置に配置され、前記閉空間によって前記第一の開口部と前記第二の開口部とが空間的に分離されることを特徴とする。
<装置の概要>
まず、図1および図2を参照して、本実施形態に係るX線検査装置の構成について説明する。図1は、本実施形態に係るX線検査装置1を模式的に示した断面図であり、図2は、X線検査装置1の構成および機能を示すブロック図である。図1および図2に示したように、X線検査装置1は、搬入準備部10と、撮影部20と、搬出準備部30と、を有して構成される。
搬入準備部10は、検査対象である基板Kを搬入するための搬入口と、当該基板を撮影部に送り出すための搬出口を有した箱状の部材(以下、搬入準備室100)を備えている。当該部材は、X線を遮蔽する材料で構成されている。
なお、以下の説明では、検査対象の基板が通過する箱状の部材を搬入準備室100と称し、搬入準備室100内にある機構やそれを制御する手段全体を搬入準備部10と称する。搬入準備部10は、搬入準備室100のほか、搬送機構111、昇降機構112、制御部120から構成される。
アなどによって構成されるが、他の手段を用いてもよい。上流工程から搬送されてきた基板Kは、搬送機構111によって搬入準備室100に搬入される。
搬入準備室100に搬入された基板Kが搬出口まで到着すると、搬送機構111が、基板Kを撮影室200に送り出し、撮影および検査が実行される。
撮影部20は、検査対象の基板Kを搬入準備室100から搬入するための搬入口と、当該基板を搬出準備室300に送り出すための搬出口を有した箱状の部材(以下、撮影室200)を備えている。当該部材は、X線を遮蔽する材料で構成されている。
なお、以下の説明では、基板に対して検査を行う区画である箱状の部材を撮影室200と称し、撮影室200内にある機構やそれを制御する手段全体を撮影部20と称する。撮影部20は、撮影室200のほか、X線発生器201、X線検出器202、搬送機構203、制御部204、検査部205から構成される。
X線検出器202は、X線源から放射され、検査対象の基板を透過したX線を検出する2次元X線検出器である。X線検出器202としては、I.I.(Image Intensifier)
管やFPD(フラットパネルディテクタ)を用いることができる。なお、ここでは一つのX線検出器を用いているが、複数個のX線検出器を用いても構わない。
なお、X線発生器201およびX線検出器202は、不図示のステージによって、三次元方向に可動する構成となっている。
搬送機構203は、前述した搬送機構111と同様であるため説明は省略する。
具体的には、搬入準備室100から搬入された基板の受け入れ、検査が終了した基板の排出、不図示のステージを用いたX線発生器201やX線検出器202の位置決め、X線発生器201が行うX線の放射などを制御する。
検査部205は、取得した3次元データに基づいて、基板の検査を行う。例えば、基板上の部品の配置位置、はんだの状態(ぬれ上がり高さや角度など)などを判定し、結果を生成する。生成した結果は、下流工程に送信してもよいし、不図示の表示装置を介して装
置のユーザに提供してもよい。
搬出準備部30は、検査が終わった基板Kを撮影室200から搬入するための搬入口と、当該基板を下流工程に送り出すための搬出口を有した箱状の部材(以下、搬出準備室300)を備えている。当該部材は、X線を遮蔽する材料で構成されている。
なお、以下の説明では、検査対象の基板が通過する箱状の部材を搬出準備室300と称し、搬出準備室300内にある機構やそれを制御する手段全体を搬出準備部30と称する。搬出準備部30は、搬入準備室300のほか、搬送機構311、昇降機構312、制御部320から構成される。
次に、図3を参照しながら、搬入準備室100および搬出準備室300が有する、X線の外部への漏出を防止する機構について説明する。図3は、搬入準備室100および搬出準備室300の構造をより詳しく示した断面図である。
また、遮蔽板113Aおよび113Bの四方は、搬入準備室100の内壁に接しており、放射線を遮蔽する構造となっている。なお、搬送機構111、遮蔽板113A、遮蔽板113Bは一体となって可動する構成となっている。本実施形態では、これらをまとめてトラバーサ110と称する。
なお、搬出準備室300が有する各部材については、符号の百の位が異なるのみで、内容は同様であるため、個々の部材についての説明は省略する。
、搬出口からX線が侵入する可能性があるが、侵入したX線は遮蔽板によって遮蔽され、搬入口に到達することはない。すなわち、撮影室200と装置の外部とを空間的に分離することができる。また、当該分離状態は、トラバーサ110の位置にかかわらず保たれる。
なお、ここで述べた効果を得るためには、遮蔽板113Aと113Bとの間隔d1が、搬入口と搬出口の最短距離d2よりも小さい必要がある。
次に、図5〜7を参照して、基板の搬入、検査、搬出に関する制御について説明する。
図5は、基板の搬入における制御の流れを示すフローチャートである。図5に示した処理は、搬入準備部10が有する制御部120によって実行される。
なお、本例では、搬入準備部10、撮影部20、搬出準備部30が、それぞれステータスを保持しており、互いのステータスを参照しながら搬送の可否を決定する。ステータスは、「搬入待ち」「作業中」「搬出待ち」の三つである。
次に、ステップS12で、上流工程の準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、上流工程に位置する機器に対して、検査装置への搬入準備が完了したか否かを確認する。ここで肯定判定であった場合、ステップS13へ遷移し、搬送機構111を駆動して、検査対象の基板を受け入れる。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
次に、ステップS22で、搬入準備室100から基板を搬入する準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、搬入準備部10のステータスが「搬出待ち」である場合に肯定判定となり、「作業中」および「搬出待ち」である場合に否定判定となる。ここで肯
定判定であった場合、ステップS23へ遷移し、搬送機構203を駆動して、検査対象の基板を受け入れる。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
なお、本例では、検査の完了を待ってからステップS25に遷移するようにしたが、撮影と検査を並列して行うようにしてもよい。すなわち、X線撮影が完了し、検査部205による検査が始まったら、ただちに基板を排出するようにしてもよい。
次に、ステップS22で、撮影室200から基板を搬入する準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、撮影部20のステータスが「搬出待ち」である場合に肯定判定となり、「作業中」および「搬出待ち」である場合に否定判定となる。ここで肯定判定であった場合、ステップS33へ遷移し、搬送機構311を駆動して、検査済みの基板を受け入れる。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
第一の実施形態では、撮影室200内に搬送機構203が敷き詰められており、搬送機構203に載置された基板が移動するものとした。これに対し、第二の実施形態は、搬送機構203そのものを移動させることで基板を移動させる実施形態である。図8は、第二の実施形態に係るX線検査装置1を模式的に示した断面図である。
第二の実施形態では、ステップS21の処理を開始する前に、基板の受け入れが可能な位置に搬送機構203を移動させる。また、ステップS25の処理を開始する前に、基板の排出が可能な位置に搬送機構203を移動させる。また、ステップS27の完了後、基板の受け入れが可能な位置に搬送機構203を移動させるまでの間、ステータスを一時的に「作業中」に変更する。本発明は、このような形態にも適用することができる。
なお、実施形態の説明は本発明を説明する上での例示であり、本発明は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更または組み合わせて実施することができる。
よく、内壁と摺動しなくてもよい。例えば、図10のように、遮蔽板と内壁との間に若干の隙間を有していてもよい。隙間の大きさは、許容可能なX線の漏出量に応じて設計すればよい。特に、遮蔽板を図10のようなコの字形状に形成すると、図9に示した緩衝部材を兼ねることができるため好適である。
20・・・撮影部
30・・・搬出準備部
100・・・搬入準備室
111・・・搬送機構
112・・・昇降機構
120・・・制御部
200・・・撮影室
201・・・X線発生器
202・・・X線検出器
203・・・搬送機構
204・・・制御部
205・・・検査部
300・・・搬出準備室
311・・・搬送機構
312・・・昇降機構
320・・・制御部
Claims (5)
- 搬入準備室と、撮影室と、搬出準備室と、を有する検査装置であって、
前記搬入準備室および搬出準備室は、
第一の開口部から検査対象物を搬入する搬入手段と、
前記搬入された検査対象物を、前記搬入の方向とは異なる方向に第二の開口部まで平行移動させるトラバーサと、
前記トラバーサの移動方向とは異なる方向に前記検査対象物を移動させ、第二の開口部から搬出する搬出手段と、を有し、
前記撮影室は、
前記搬入準備室から搬入された前記検査対象物を撮影する撮影手段と、を有し、
前記トラバーサは、前記検査対象物を載置する載置部と、前記載置部と共に移動し、前記第一の開口部または前記第二の開口部から侵入し当該トラバーサの移動方向に伝播する放射線が他方の開口部に達しないよう遮蔽する遮蔽部材と、からなり、
前記遮蔽部材は、第一の部材および第二の部材からなり、
前記第一の部材および前記第二の部材と、前記搬入準備室または搬出準備室の対向する内壁の間に隙間があり、
前記第一の部材は、前記第二の部材と対向する面と反対側の面の周辺部に、前記内壁と平行に延在する緩衝部材を有し、
前記第二の部材は、前記第一の部材と対向する面と反対側の面の周辺部に、前記内壁と平行に延伸する緩衝部材を有し、
前記緩衝部材によって、前記第一の開口部と前記第二の開口部とが前記第一の部材と前記第二の部材の間の空間を介して連通するような前記トラバーサの移動が制限される、
ことを特徴とする、検査装置。 - 前記第一の開口部から前記第二の開口部までの最短距離が、前記第一の部材と第二の部材間の距離よりも長い
ことを特徴とする、請求項1に記載の検査装置。 - 前記第一の開口部または第二の開口部に位置する前記トラバーサが、他方の開口部に対して遠ざかる方向に移動しないよう、前記トラバーサの可動範囲を制限する部材をさらに
有する
ことを特徴とする、請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記搬入準備室が有する搬入手段は、前記撮影手段が撮影を完了させる前に、次の検査対象物を前記搬入準備室内に搬入する
ことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の検査装置。 - 前記搬入準備室が有するトラバーサは、前記撮影手段が撮影を完了させる前に、次の検査対象物を前記第二の開口部まで移動させる
ことを特徴とする、請求項4に記載の検査装置。
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