KR20070011153A - 부상식 기판 반송 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 다공질 부재로 형성되고 상기 다공질 부재의 다공질부에 기밀하게 구획된 복수의 흡인구멍이 설치되고 상기 다공질부를 개재하여 기체를 분사 그리고 상기 흡인구멍을 개재하여 기체를 흡인하는 것으로 상기 다공질부상에 재치된 피처리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와,상기 기판을 개재하여 상기 부상 스테이지의 윗쪽에 배치되어 상기 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액공급 수단과,상기 기판의 양측단을 각각 탈착 가능 및 상기 기판의 부상 높이에 추종 가능하게 상기 기판을 보지함과 동시에 상기 기판을 상기 부상 스테이지상에서 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 부상 스테이지의 상기 다공질부에 접속된 기체 공급 수단과,상기 부상 스테이지의 상기 흡인구멍에 우회 유로를 개재하여 접속된 흡인 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 기판의 반송 방향 및 상기 반송 방향과 직교하는 방향에 대해서 경사 형상으로 상기 복수의 흡인 구멍이 배열되고 있는 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 정렬된 복수의 구멍을 가지는 다공판과 상기 다공판의 하면에 배치 설치되고 각각의 홈폭이 상기 각 구멍의 직경보다 크게 된 복수의 기체 공급 유로 홈 및 기체 흡인 유로 홈이 교대로 배열되는 유로 플레이트를 구비하고, 상기 기체 공급 유로 홈을 개재하여 기체를 분사 그리고 상기 기체 흡인 유로 홈을 개재하여 기체를 흡인하는 것으로 상기 다공판상에 재치된 피처리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와,상기 기판을 개재하여 상기 부상 스테이지의 윗쪽에 배치되고 상기 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액공급 수단과,상기 기판의 양측단을 각각 탈착 가능 및 상기 기판의 부상 높이에 추종 가능하게 상기 기판을 보지함과 동시에 상기 기판을 상기 부상 스테이지상에서 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 부상 스테이지의 상기 기체 공급 유로 홈에 접속된 기체 공급 수단과,상기 부상 스테이지의 상기 기체 흡인 유로 홈에 접속된 흡인 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 기체 공급 유로 홈 및 상기 기체 흡인 유로 홈을 상기 기판의 반송 방향 및 상기 반송 방향과 직교하는 방향에 대해서 경사 형상으로 배열하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 기체 공급 유로 홈 및 상기 기체 흡인 유로 홈을 상기 기판의 반송 방향과 직교하는 방향을 따르는 파형 형상으로 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 기체 공급 유로 홈 및 상기 기체 흡인 유로 홈을 각각 상기 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장하는 직선 형상 주요 홈과 상기 직선 형상 주요 홈에 연결되어 상기 기판의 반송 방향으로 연장하는 복수의 줄기 홈으로 구성 함과 동시에 인접하는 상기 기체 공급 유로 홈과 상기 기체 흡인 유로 홈의 줄기 홈 끼리 지그재그 형상으로 배열하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 복수의 제1의 구멍을 설치한 표면판과 상기 표면판의 하면의 사이에 제1의 공간을 두고 배치 설치됨과 동시에 상기 제1의 구멍의 각각의 바로 아래에 위치하고 상기 제1의 구멍보다 작은 제2의 구멍을 설치한 중간판과 상기 중간판의 하면의 사이에 제2의 공간을 두고 배치 설치되는 하부판으로 이루어지는 스테이지 본체와, 정렬된 복수의 상기 제2의 구멍보다 작은 제3의 구멍을 갖고 상기 제1의 구멍에 끼워맞추는 다리부의 하부에 상기 제2의 구멍에 기밀하게 끼워맞추는 다리부를 가지는 다공체를 구비하고 상기 다공체를 개재하여 기체를 분사 흡인하는 것으로 상기 표면판상에 재치된 피처리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와,상기 기판을 개재하여 상기 부상 스테이지의 윗쪽에 배치되고 상기 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액공급 수단과,상기 기판의 양측단을 각각 탈착 가능 및 상기 기판의 부상 높이에 추종 가능하게 상기 기판을 보지함과 동시에 상기 기판을 상기 부상 스테이지상에서 이동하는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
- 청구항 9에 있어서,상기 제 1 또는 제2의 공간의 어느쪽이든 한쪽에 접속된 기체 공급 수단과,다른쪽의 공간에 접속된 흡인 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 부상식 기판 반송 처리 장치.
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