(발명이 해결하고자 하는 과제)
그러나, 상기한 커버레이 필름 접합 장치(800)에 있어서는 베이스 필름(W11)과 커버레이 필름(W12)의 접합을 모두 긴 필름끼리를 일체로 포갠 상태에서 행하는 것으로 하고 있다. 이로 인해, 이들 필름의 조출을 행하면 행할수록 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 오차가 누적되게 되므로, 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 정밀도를 확보하는 것은 곤란하다. 또한, 이들 필름의 조출을 행함으로써 발생하는 구불구불 휘어지는 현상에 의해 베이스 필름에 있어서의 짧은 방향의 위치 맞춤 오차가 발생하므로, 베이스 필름의 짧은 방향에 있어서의 위치 맞춤 정밀도를 확보하는 것도 용이하지 않다. 이로 인해, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것은 용이하지 않고, 그 결과, 가요성 기판의 품질을 높게 하는 것이 용이하지 않다는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이하고, 그 결과, 가요성 기판의 품질을 높게 하는 것이 용이한 커버레이 필름 접합 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
(1) 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치는 롤 형상의 베이스 필름을 시트 형상으로 하여 간헐적으로 조출하기 위한 베이스 필름 공급 장치와, 이 베이스 필름 공급 장치에 의해 조출된 시트 형상의 베이스 필름에 대해 단책(短冊) 형상의 커버레이 필름을 가압착하고, 베이스 필름에 커버레이 필름이 가압착된 시트 형상의 적층 필름을 형성하기 위한 가압착 장치와, 이 가압착 장치에 의해 형성된 시트 형상의 적층 필름을 롤 형상으로 권취하기 위한 적층 필름 회수 장치를 구비한 커버레이 필름 접합 장치이며, 상기 가압착 장치는 베이스 필름에 커버레이 필름을 가압착하는 영역(이하「가압착 영역」이라 함)과 커버레이 필름을 상기 가압착 영역을 향해 공급하는 위치(이하「커버레이 필름 공급 위치」라 함)를 연결하는 커버레이 필름 공급로를 따라서 커버레이 필름을 공급 가능하고, 또한 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블을 갖는 것을 특징으로 한다.
이로 인해, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치에 따르면, 간헐적으로 조출된 시트 형상의 베이스 필름에 대해 단책 형상의 커버레이 필름이 가압착되게 되므로, 긴 베이스 필름을 이용한 경우라도 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 오차가 누적되지 않게 되어 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 정밀도가 저하되지 않게 된다.
또한, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치에 따르면, 커버레이 필름은 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블에 의해 가압착 영역에 공급되게 되므로, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다. 그 결과, 가요성 기판의 품질을 높게 하는 것도 용이해져 본 발명의 목적이 달성된다.
또한, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 접합하기 위해서는, 적어도 커버레이 필름을 베이스 필름 공급로 상의 접합 영역에 공급하는 커버레이 필름 공급 공정과, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 접합하는 접합 공정이 필요해지지만, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 1단계에서 완전히 접합하는 것으로 한 경우에는 이 접합 공정이 매우 길어져 전체적으로 생산성을 향상시키는 것이 곤란해진다.
이로 인해, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 완전히 접합하여 적층 필름을 형성하는 대신에, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 가압착하여 적층 필름을 형성하는 것으로 하고 있다. 이에 의해, 상기한 접합 공정을 대폭으로 단축화하여 전체적으로 생산성의 향상을 도모하고 있다. 이 경우, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 완전히 접합하기 위해서는, 커버레이 필름이 가압착된 적층 필름을 압착(본압착)하기 위한 전용의 본압착 장치(예를 들어, 진공 프레스기)를 별도로 준비하고, 이 본압착 장치를 이용하여 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 완전히 접합하면 된다.
여기서, 본 명세서에 있어서「단책 형상」이라 함은, 반드시 평면에서 보아 가늘고 긴 형상만을 의미하고 있는 것은 아니고, 정사각형 형상도 포함하는 대략 직사각형 형상의 것을 의미하고 있는 것이다.
(2) 상기 (1)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 커버레이 필름 공급로는 상기 베이스 필름 공급 장치와 상기 적층 필름 회수 장치를 연결하는 베이스 필름 공급로에 대해 직교하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 커버레이 필름 공급로가 베이스 필름 공급로와 교차하는 부분의 면적을 작게 할 수 있는 결과, 베이스 필름 공급로의 길이를 짧게 하여 장치를 콤팩트한 것으로 할 수 있다.
(3) 상기 (1)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 베이스 필름으로서 롤 형상의 베이스 필름을 이용하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 베이스 필름으로서 단책 형상의 베이스 필름을 이용한 경우라도 상기 (1)에 기재한 커버레이 필름 접합 장치의 경우와 같은 효과를 갖는다.
즉, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치는 단책 형상의 베이스 필름을 가압착 영역을 향해 공급하기 위한 베이스 필름 공급 장치와, 이 베이스 필름 공급 장치에 의해 공급된 단책 형상의 베이스 필름에 대해 단책 형상의 커버레이 필름을 가압착하여 단책 형상의 적층 필름을 형성하기 위한 가압착 장치와, 이 가압착 장치에 의해 형성된 단책 형상의 적층 필름을 회수하기 위한 적층 필름 회수 장치를 구비한 커버레이 필름 접합 장치이며, 상기 가압착 장치는 가압착 영역과 커버레이 필름 공급 위치를 연결하는 커버레이 필름 공급로를 따라서 커버레이 필름을 공급 가능하고, 또한 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블을 갖는 것을 특징으로 한다.
이로 인해, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치에 따르면, 단책 형상의 베이스 필름을 이용하고 있으므로, 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 오차가 누적될 우려가 생기지 않으므로, 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 정밀도가 저하되는 일도 없다.
또한, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치에 따르면, 상기 (1)에 기재한 커버레이 필름 접합 장치의 경우와 마찬가지로 커버레이 필름은 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블에 의해 가압착 영역에 공급되게 되므로, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다. 그 결과, 가요성 기판의 품질을 높게 하는 것도 용이해져 본 발명의 목적이 달성된다.
(4) 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 테이블은 서로 직교하는 2개의 수평 방향으로 이동 가능하고, 또한 수평면 내의 가상점을 회전 중심으로 하는 원주 방향으로 회전 가능한 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치할 수 있게 되므로, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다.
이 경우에 있어서, 서로 직교하는 2개의 수평 방향으로서는, 베이스 필름 공급로를 따른 방향 및 커버레이 필름 공급로를 따른 방향을 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 수평면 내의 가상점으로서는 가압착 테이블의 커버레이 필름이 적재되는 면에 있어서의 중심점을 선택하는 것이 바람직하다.
(5) 상기 (4)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 테이블에는 서로 이격되어 배치된 적어도 2개의 촬상용 구멍이 마련되고, 이들 각 촬상용 구멍의 각각에 대응하여 촬상 소자가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 위치 및 자세를 적어도 2개의 촬상 소자에 의해 정밀도 좋게 측정할 수 있게 된다. 이로 인해, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치할 수 있게 되고, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다.
이 경우에 있어서, 적어도 2개의 촬상용 구멍은 가압착 테이블의 양단부에 배치되는 것이 바람직하다.
(6) 상기 (1) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 테이블은 상기 가압착 영역에 있어서 상방으로 이동함으로써 가압착 동작을 행하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치한 상태에서 가압착 테이블이 그대로 상방으로 이동함으로써 베이스 필름에 대해 커버레이 필름을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치한 상태를 유지한 상태에서 가압착할 수 있게 된다. 이로 인해, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다.
(7) 상기 (6)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 장치는 상기 가압착 영역에 있어서 상기 가압착 테이블이 가압착 동작을 행할 때에 상기 가압착 테이블을 받는 완충 기구를 더 갖는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 커버레이 필름 전체를 베이스 필름에 대해 균일한 힘으로 가압착할 수 있게 된다.
(8) 상기 (7)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 완충 기구에는 베이스 필름을 흡착하기 위한 다수의 베이스 필름 흡착 구멍이 마련되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 다수의 베이스 필름 흡착 구멍에 베이스 필름을 흡착시킬 수 있고, 가압착 영역에 있어서 베이스 필름을 고정할 수 있다.
(9) 상기 (8)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 장치는 가압착 동작이 행해지기 전에 베이스 필름을 상기 완충 기구에 대해 압박 부착하는 압박 기구를 더 갖는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 압박 기구가 베이스 필름을 완충 기구에 대해 압박 부착하므로, 다수의 베이스 필름 흡착 구멍에 베이스 필름을 보다 확실하게 흡착시킬 수 있게 된다.
또한, 가압착 동작이 행해지기 전에 압박 기구에 의한 압박 동작이 행해지므로, 가압착 테이블에 의한 가압착 동작에 방해되지 않고 압박 동작을 원활하게 행할 수 있다. 가압착 동작이 행해지기 전이라 함은, 가압착 동작이 종료된 가압착 테이블이 가압착 영역으로부터 커버레이 필름 공급 위치로 이동하고, 새로운 커버레이 필름을 적재하여 다시 가압착 영역으로 복귀되기까지의 사이의 것이고, 이 시간을 이용하여 압박 기구에 의한 압박 동작을 행하므로, 압박 동작을 행하기 위한 특별한 시간을 들이지 않아도 좋기 때문에, 전체적으로 생산성을 저하시키는 일도 없다.
이 경우, 상기 가압착 테이블이 상기 가압착 영역으로부터 상기 커버레이 필름 공급 위치를 향해 이동하면 상기 압박 기구가 상기 가압착 영역 밖으로부터 상기 가압착 영역 내로 이동하고, 상기 압박 기구가 상기 가압착 영역 내로부터 상기 가압착 영역 밖으로 이동하면 상기 가압착 테이블이 상기 커버레이 필름 공급 위치로부터 상기 가압착 영역을 향해 이동하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이에 의해, 가압착 테이블에 의한 가압착 동작 및 압박 기구에 의한 압박 동작의 양쪽의 동작을 원활하게 행할 수 있다.
(10) 상기 (1) 내지 (9) 중 어느 하나에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 테이블은 커버레이 필름을 가열하기 위한 히터를 갖는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 가압착에 앞서서 커버레이 필름을 베이스 필름에 대해 공급하는 과정에서 커버레이 필름의 온도를 미리 높게 할 수 있게 되므로, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 가압착을 보다 단시간에 원활하게 행할 수 있게 된다.
(11) 상기 (1) 내지 (10) 중 어느 하나에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 롤 형상의 커버레이 필름을 시트 형상으로 하여 간헐적으로 조출하기 위한 커버레이 필름 조출 장치와, 이 커버레이 필름 조출 장치에 의해 조출된 시트 형상의 커버레이 필름을 재단하여 단책 형상의 커버레이 필름을 형성하기 위한 커버레이 필름 재단 장치와, 이 커버레이 필름 재단 장치에 의해 형성된 단책 형상의 커버레이 필름을 상기 가압착 테이블 상에 적재하기 위한 커버레이 필름 적재 장치를 갖는 커버레이 필름 재단 및 적재 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 롤 형상의 커버레이 필름으로부터 단책 형상의 커버레이 필름을 형성하여 그 단책 형상의 커버레이 필름을 가압착 테이블에 공급하는 것이 가능해지므로, 롤 형상의 커버레이 필름을 이용할 수 있게 된다. 이로 인해, 전체적으로 생산성을 더 높게 할 수 있다.
(12) 상기 (11)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 커버레이 필름 재단 장치는 시트 형상의 커버레이 필름을 단책 형상으로 재단하기 위한 압박 절삭날을 갖는 압박 절삭날 금형 및 이 압박 절삭날 금형을 받는 받침 금형을 갖고, 상기 커버레이 필름 재단 및 적재 장치는 상기 압박 절삭날을 받는 날 받침 시트를 상기 압박 절삭날 금형과 상기 받침 금형 사이로 조출하는 날 받침 시트 조출 장치와, 날 받침 시트를 권취하는 날 받침 시트 권취 장치를 더 갖는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 시트 형상의 커버레이 필름을 단책 형상으로 재단할 때에 날 받침 시트 조출 장치에 의해 조출되는 날 받침 시트가 항상 압박 절삭날을 받는 것이 가능해지므로, 커버레이 필름을 양호하게 재단할 수 있다. 또한, 압박 절삭날의 끝이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
(13) 상기 (1) 내지 (12) 중 어느 하나에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 가압착 테이블에는 단책 형상의 커버레이 필름을 흡착하기 위한 다수의 커버레이 필름 흡착 구멍이 마련되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 커버레이 필름 공급 위치에 있어서 공급된 커버레이 필름을 가압착 테이블에 의해 가압착 영역까지 원활하게 반송할 수 있게 된다.
(14) 상기 (13)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 커버레이 필름 재단 및 적재 장치는 상기 다수의 커버레이 필름 흡착 구멍에 흡착된 커버레이 필름에 있어서의 이형 필름의 단부를 파지하는 이형 필름 파지 장치를 더 갖고, 이 이형 필름 파지 장치가 상기 이형 필름의 단부를 파지한 상태에서 상기 커버레이 필름 공급 위치로부터 상기 가압착 영역을 향해 상기 가압착 테이블이 이동함으로써, 상기 커버레이 필름으로부터 이형 필름을 박리하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 커버레이 필름을 가압착 영역까지 반송하는 공정 중에 커버레이 필름으로부터 이형 필름을 박리할 수 있게 되므로, 일부러 커버레이 필름으로부터 이형 필름을 박리하기 위한 특별한 공정을 별도로 마련할 필요가 없어진다. 이로 인해, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 작업을 단축화할 수 있다.
또한, 가압착 테이블에 커버레이 필름을 적재할 때까지는 커버레이 필름을 이형 필름이 붙은 상태에서 취급할 수 있게 되므로, 취급이 매우 용이해진다.
(15) 상기 (14)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 커버레이 필름 재단 및 적재 장치는 커버레이 필름을 재단하는 데 앞서서 커버레이 필름으로부터 이형 필름을 부분적으로 박리하여 부분 박리부를 형성하기 위한 이형 필름 박리날을 더 갖는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 가압착 테이블에 적재된 커버레이 필름은 이형 필름 박리날에 의해 이미 부분 박리부가 형성되게 되므로, 이형 필름 파지 장치가 이형 필름의 단부를 용이하게 파지할 수 있게 된다.
(16) 상기 (15)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는, 상기 커버레이 필름 장착 장치는 상기 커버레이 필름 재단 장치에 의해 재단된 커버레이 필름을 상기 가압착 테이블로 반송하기 위한 흡착 패드를 갖고, 이 흡착 패드는 상기 가압착 테이블 상에 커버레이 필름을 적재한 후 상기 이형 필름 파지 장치에 의해 이형 필름의 단부를 파지하기까지의 사이도 상기 부분 박리부를 흡착하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 가압착 테이블에 적재된 커버레이 필름에 있어서는 흡착 패드에 의해 이형 필름의 부분 박리부가 흡착되어 걷어올려진 상태가 되므로, 이형 필름 파지 장치가 이형 필름의 단부를 더 용이하게 파지할 수 있게 된다.
(17) 상기 (1) 내지 (16) 중 어느 하나에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 베이스 필름 공급로 내에 있어서의 상기 가압착 장치의 상기 적층 필름 회수 장치측에 배치되어 상기 가압착 장치에 의해 베이스 필름에 가압착된 커버레이 필름을 베이스 필름에 대해 더 견고하게 가압착하기 위한 보조 가압착 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
상기 (17)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 가압착을 행하고 적층 필름을 형성하는 공정 후에 적층 필름을 보조 가압착을 행하는 영역에 공급하는 동시에 새로운 베이스 필름을 가압착 영역에 공급하는 공정과, 가압착 테이블의 이동 동작을 행하고, 베이스 필름 공급로 상의 가압착 영역에 새로운 커버레이 필름을 공급하는 공정이 행해진다. 이 경우, 후자의 공정이 전자의 공정보다도 소요 시간이 매우 길어지므로, 이들 공정 사이에 있어서의 시간차를 이용하여 보조 가압착 처리를 행함으로써, 보조 가압착을 행하는 공정을 위한 특별한 시간을 들이지 않아도 보조 가압착 공정을 행할 수 있게 된다. 이로 인해, 최초의 가압착의 시간을 단축할 수 있게 되어 전체적으로 생산성을 더 향상시킬 수 있다.
(18) 상기 (17)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 베이스 필름 공급로 내에 있어서의 상기 보조 가압착 장치와 상기 적층 필름 회수 장치 사이에 적어도 2개의 촬상 소자가 서로 이격되어 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 촬상 소자가 적층 필름을 촬영함으로써 적층 필름 회수 장치가 적층 필름을 회수하기 전에 그 가압착 상태를 확인하는 것이 가능해진다. 가령, 상기한 촬상 소자에 의한 촬영의 결과, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 부착 위치가 어긋나 있거나 가압착이 불완전하게 있거나 한 경우에는 장치의 운전을 정지시킴으로써 이후, 그와 같은 가압착이 불완전한 적층 필름이 형성되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.
(19) 상기 (17) 또는 (18)에 기재된 커버레이 필름 접합 장치에 있어서는 상기 베이스 필름 공급 장치 및 상기 적층 필름 회수 장치, 상기 가압착 장치 및 상기 보조 가압착 장치를 동기하여 동작시키기 위한 제어기를 더 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성함으로써, 택트 타임을 맞추면서 가압착 공정 및 보조 가압착 공정을 행할 수 있게 되므로, 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 접합 위치 정밀도를 높게 유지한 상태에서 전체적으로 생산성이 높은 가압착을 행할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 커버레이 필름 접합 장치에 대해 도면에 나타내는 실시 형태를 기초로 하여 설명한다.
[제1 실시 형태]
우선, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치에 대해 도1 내지 도7을 이용하여 설명한다.
도1은 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치를 도시하는 평면도이다. 도2는 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치를 간략화하여 도시하는 평면도이다. 도3은 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치를 도시하는 정면도이다. 도4는 가압착 장치를 설명하기 위해 도시하는 주요부 확대도이다. 도5는 가압착 장치 및 커버레이 필름 재단 및 적재 장치를 설명하기 위해 도시하는 측면도이다. 도6은 커버레이 필름 재단 및 적재 장치를 도시하는 배면도이다. 도7은 커버레이 필름 재단 및 적재 장치를 도시하는 측면도이다.
또한, 이하의 설명에 있어서는 서로 직교하는 3개의 방향을 각각 x축 방향(도1에 있어서의 종이면에 평행하고 좌우 방향), y축 방향(도1에 있어서의 종이면에 평행하고 또한 x축에 직교하는 방향) 및 z축 방향(도1에 있어서의 종이면에 수직인 방향)으로 한다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)는, 도1 내지 도3에 도시한 바와 같이 각종 장치(후술함)를 탑재 및 고정하기 위한 장치 본체(100)와, 롤 형상의 베이스 필름(Wb)을 시트 형상으로 하여 간헐적으로 조출하기 위한 베이스 필름 공급 장치(200)와, 베이스 필름 공급 장치(200)에 의해 조출된 시트 형상의 베이스 필름(Wb)에 대해 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착하고, 베이스 필름(Wb)에 커버레이 필름(Wc)이 가압착된 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 형성하기 위한 가압착 장치(400)와, 가압착 장치(400)에 의해 형성된 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 롤 형상으로 권취하기 위한 적층 필름 회수 장치(300)와, 베이스 필름 공급 장치(200)와 적층 필름 회수 장치(300) 사이에 개재하는 한 쌍의 텐션 장치(250, 350)와, 가압착 장치(400)에 의해 베이스 필름(Wb)에 가압착된 커버레이 필름(Wc)을 베이스 필름(Wb)에 대해 더 견고하게 가압착하기 위한 보조 가압착 장치(500)와, 장치 본체(100)의 후방에 배치되어 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착 장치(400)에 공급하는 커버레이 필름 재단 및 공급 장치(600)를 구비하고 있다.
또한, 적층 필름(Ws)은 베이스 필름(Wb)의 한쪽 패턴 형성면측에 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)이 가압착된 구조를 갖고 있다.
장치 본체(100)는 평면에서 보아 대략 직사각형 형상의 기대(機臺)에 의해 구성되어 있다. 장치 본체(100)의 우측부에는, 도3에 도시한 바와 같이 베이스 필름 공급 장치(200) 및 적층 필름 회수 장치(300), 가압착 장치(400) 및 보조 가압착 장치(500)를 동기하여 동작시키기 위한 제어기를 내장하는 제어기 박스(110)가 배치되어 있다.
장치 본체(100)에는, 도2에 도시한 바와 같이 베이스 필름 공급 장치(200)와 적층 필름 회수 장치(300)를 연결하는 베이스 필름 공급로(L1)와, 커버레이 필름 공급 위치(P1)와 가압착 영역(P2)을 연결하는 커버레이 필름 공급로(L2)와, 후술하는 커버레이 필름 조출 장치(610)와 커버레이 필름 공급 위치(P1)를 연결하는 커버레이 필름 반송로(L3)가 형성되어 있다.
베이스 필름 공급 장치(200)는, 도3에 도시한 바와 같이 조출 롤러(210) 및 가이드 롤러(220)를 갖고 있다.
조출 롤러(210)는 롤러 지지대(150)의 상방단부에 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 토크 모터(212)의 구동에 의한 회전에 의해 롤 형상의 베이스 필름 (Wb)을 시트 형상으로 조출하도록 구성되어 있다.
가이드 롤러(220)는 장치 본체(100)에 회전 가능하게 지지되어 시트 형상의 베이스 필름(Wb)을 적층 필름 회수 장치(300)측으로 안내하도록 구성되어 있다.
적층 필름 회수 장치(300)는, 도3에 도시한 바와 같이 권취 롤러(310) 및 가이드 롤러(320)를 갖고 있다.
권취 롤러(310)는 롤러 지지대(152)의 상방단부에 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 토크 모터(312)의 구동에 의한 회전에 의해 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 롤 형상으로 권취하도록 구성되어 있다.
가이드 롤러(320)는 장치 본체(100)에 회전 가능하게 지지되어 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 권취 롤러(310)측으로 안내하도록 구성되어 있다.
베이스 필름 공급 장치(200)측의 텐션 장치(250)는, 도3에 도시한 바와 같이 승강 롤러(252)를 갖고, 베이스 필름 공급 장치(200)의 하방에 배치되어 있다. 승강 롤러(252)는 롤러 축(254)이 승강 가이드(256)에 회전 및 승강 가능하게 저어널식으로 연결되어 있다. 그리고, 실린더(도시하지 않음)의 구동에 의한 상승에 의해 베이스 필름(Wb)을 이완시키고, 또한 자중에 의한 하강에 의해 베이스 필름(Wb)을 긴장시키도록 구성되어 있다.
적층 필름 회수 장치(300)측의 텐션 장치(350)는, 도3에 도시한 바와 같이 승강 롤러(352)를 갖고, 적층 필름 회수 장치(300)의 하방에 배치되어 있다. 승강 롤러(352)는 롤러 축(354)이 승강 가이드(356)에 회전 및 승강 가능하게 저어널식으로 연결되어 있다. 그리고, 실린더(도시하지 않음)의 구동에 의한 상승에 의해 적층 필름(Ws)을 이완시키고, 또한 자중에 의한 하강에 의해 적층 필름(Ws)을 긴장시키도록 구성되어 있다.
가압착 장치(400)는, 도1 내지 도5에 도시한 바와 같이 커버레이 필름 공급로(L2)를 따라서 커버레이 필름(Wc)을 공급 가능하고, 또한 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블(410)과, 가압착 영역(P2)에 있어서 가압착 테이블(410)이 가압착 동작을 행할 때에 가압착 테이블(410)을 받는 완충 기구(480)와, 가압착 동작이 행해지기 전에 베이스 필름(Wb)을 완충 기구(480)에 대해 압박 부착하는 압박 기구(490)를 갖고 있다.
가압착 테이블(410)은, 도4에 도시한 바와 같이 제1 이동 장치(420), 제2 이동 장치(430), 제3 이동 장치(440), 제4 이동 장치(450) 및 커버레이 필름(Wc)이 적재되는 커버레이 필름 적재부(460)를 갖고 있다.
제1 이동 장치(420)는, 도4 및 도5에 도시한 바와 같이 서보 모터(422), 서보 모터(422)에 저어널식으로 연결된 스크류 샤프트(424), 제1 테이블(426) 및 y축 방향을 따라서 연장되는 가이드(428)를 갖고, 장치 본체(100) 상에 배치되어 있다. 제1 이동 장치(420)는 서보 모터(422)의 구동에 의한 스크류 샤프트(424)의 회전에 의해 제1 테이블(426)이 가이드(428) 상을 y축 방향을 따라서 이동하도록 구성되어 있다.
제2 이동 장치(430)는 서보 모터(432), 서보 모터(432)에 저어널식으로 연결된 스크류 샤프트(434), 제2 테이블(436) 및 x축 방향을 따라서 연장되는 가이드(438)를 갖고, 제1 테이블(426) 상에 배치되어 있다. 제2 이동 장치(430)는 서보 모터(432)의 구동에 의한 스크류 샤프트(434)의 회전에 의해 제2 테이블(436)이 가이드(438) 상을 x축 방향을 따라서 이동하도록 구성되어 있다.
제3 이동 장치(440)는 서보 모터(442), 서보 모터(442)에 저어널식으로 연결된 스크류 샤프트(444), 제3 테이블(446), 제3 테이블(446)에 회전력을 부여하는 이동자(移動子)(447)를 갖고, 제2 테이블(436) 상에 배치되어 있다. 제3 테이블(446)은 제2 테이블(436) 상의 추축(448)에 회전 가능하게 지지되어 테이블 받침(449)을 거쳐서 요동 가능하게 배치되어 있다. 제3 이동 장치(440)는 서보 모터(442)의 구동에 의한 스크류 샤프트(444)의 회전에 의해 추축(448)을 회전 중심으로 하는 원주 방향(z축 주위)으로 회전하도록 구성되어 있다.
제4 이동 장치(450)는 서보 모터(452), 서보 모터(452)에 저어널식으로 연결된 스크류 샤프트(454), 제4 테이블(456) 및 x축 방향을 따라서 연장되는 가이드(458)를 갖고, 제3 테이블(446) 상에 배치되어 있다. 제4 이동 장치(450)는 서보 모터(452)의 구동에 의한 스크류 샤프트(454)의 회전에 의해 제4 테이블(456)이 가이드(458) 상을 x축 방향을 따라서 이동하도록 구성되어 있다.
커버레이 필름 적재부(460)는, 도4에 도시한 바와 같이 좌측부로부터 우측부를 향해 오르는 구배를 갖는 경사부(462) 및 롤러(464)를 거쳐서 제4 테이블(456) 상에 배치되어 있다. 또한, 제4 테이블(456) 및 커버레이 필름 적재부(460)에는 스프링(466)이 계지되어 있다. 이에 의해, 제4 테이블(456)이 도4의 좌측 방향으로 이동하면 커버레이 필름 적재부(460)가 상승하고, 제4 테이블(456)이 도4의 우측 방향으로 이동하면 커버레이 필름 적재부(460)가 하강하게 된다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 가압착 테이블(410)은 서로 직교하는 2개의 수평 방향(x축 방향 및 y축 방향)으로 이동 가능하고, 또한 수평면 내의 가상점을 회전 중심으로 하는 원주 방향(z축 주위)으로 회전 가능하다.
이에 의해, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치할 수 있게 되므로, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는 서로 직교하는 2개의 수평 방향(x축 방향 및 y축 방향)으로서는, 베이스 필름 공급로(L1)를 따른 방향 및 커버레이 필름 공급로(L2)를 따른 방향이다(도2 참조). 또한, 수평면 내의 가상점으로서는, 가압착 테이블(410)의 커버레이 필름 적재부(460)에 있어서의 중심점이다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 도2 및 도4에 도시한 바와 같이, 가압착 테이블(410)에는 서로 이격되어 배치된 2개의 촬상용 구멍(470a)이 마련되고, 이들 각 촬상용 구멍(470a)의 각각에 대응하여 촬상 소자(470)가 설치되어 있다.
이에 의해, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 및 자세를 2개의 촬상 소자(470)에 의해 정밀도 좋게 측정할 수 있게 된다. 이로 인해, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치할 수 있게 되고, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다.
또한, 2개의 촬상용 구멍(470a)은 가압착 테이블(410)의 양단부에 배치되어 있다(도2 참조).
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 가압착 테이블(410)은 가압착 영역(P2)에 있어서 상방으로 이동함으로써 가압착 동작을 행하도록 구성되어 있다.
이에 의해, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치한 상태에서 가압착 테이블(410)이 그대로 상방으로 이동함으로써, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 위치(및 자세) 정밀도 좋게 배치한 상태를 유지한 채로 가압착할 수 있게 된다. 이로 인해, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 가압착 장치(400)는, 도4 및 도5에 도시한 바와 같이 가압착 영역(P2)에 있어서 가압착 테이블(410)이 가압착 동작을 행할 때에 가압착 테이블(410)을 받는 완충 기구(480)를 더 갖고 있다.
이에 의해, 커버레이 필름(Wc) 전체를 베이스 필름(Wb)에 대해 균일한 힘으로 가압착할 수 있게 된다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 완충 기구(480)에는 베이스 필름(Wb)을 흡착하기 위한 다수의 베이스 필름 흡착 구멍(도시하지 않음)이 마련되어 있다.
이에 의해, 다수의 베이스 필름 흡착 구멍에 베이스 필름(Wb)을 흡착시킬 수 있고, 가압착 영역(P2)에 있어서 베이스 필름(Wb)을 고정할 수 있다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 도1 및 도5에 도시한 바와 같이, 가압착 장치(400)는 가압착 동작이 행해지기 전에 베이스 필름(Wb)을 완충 기구(480)에 대해 압박 부착하는 압박 기구(490)를 더 갖고 있다.
이에 의해, 압박 기구(490)가 베이스 필름(Wb)을 완충 기구(480)에 대해 압박 부착하므로, 다수의 베이스 필름 흡착 구멍에 베이스 필름(Wb)을 보다 확실하게 흡착시킬 수 있게 된다.
또한, 가압착 동작이 행해지기 전에 압박 기구(490)에 의한 압박 동작이 행해지므로, 가압착 테이블(410)에 의한 가압착 동작에 방해되지 않고 압박 동작을 원활하게 행할 수 있다. 가압착 동작이 행해지기 전이라 함은, 가압착 동작이 종료된 가압착 테이블(410)이 가압착 영역(P2)으로부터 커버레이 필름 공급 위치(P1)로 이동하고, 새로운 커버레이 필름(Wc)을 적재하여 다시 가압착 영역(P2)으로 복귀되기까지의 사이의 것이고, 이 시간을 이용하여 압박 기구(490)에 의한 압박 동작을 행하므로, 압박 동작을 행하기 위한 특별한 시간을 들이지 않아도 좋기 때문에, 전체적으로 생산성을 저하시키는 일도 없다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 가압착 테이블(410)이 가압착 영역(P2)으로부터 커버레이 필름 공급 위치(P1)를 향해 이동하면 압박 기구(490)가 가압착 영역 밖으로부터 가압착 영역 내로 이동하고, 압박 기구(490)가 가압착 영역 내로부터 가압착 영역 밖으로 이동하면 가압착 테이블(410)이 커버레이 필름 공급 위치(P1)로부터 가압착 영역(P2)을 향해 이동하도록 구성되어 있다.
이에 의해, 가압착 테이블(410)에 의한 가압착 동작 및 압박 기구(490)에 의한 압박 동작의 양쪽 동작을 원활하게 행할 수 있다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 가압착 테이블(410)은 커버레이 필름(Wc)을 가열하기 위한 히터(도시하지 않음)를 갖고 있다.
이에 의해, 가압착에 앞서서 커버레이 필름(Wc)을 베이스 필름(Wb)에 대해 공급하는 과정에서 커버레이 필름(Wc)의 온도를 미리 높게 할 수 있게 되므로, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 가압착을 보다 단시간에 원활하게 행할 수 있게 된다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 가압착 테이블(410)에는 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 흡착하기 위한 다수의 커버레이 필름 흡착 구멍(도시하지 않음)이 마련되어 있다.
이에 의해, 커버레이 필름 공급 위치(P1)에 있어서 공급된 커버레이 필름(Wc)을 가압착 테이블(410)에 의해 가압착 영역(P2)까지 원활하게 반송할 수 있게 된다.
도1 내지 도3에 도시한 바와 같이 베이스 필름 공급로(L1)에 있어서의 가압착 장치(400)의 상류측[베이스 필름 공급 장치(200)측] 및 하류측[적층 필름 회수 장치(300)측]에는 고정 클램퍼(120, 130)가 배치되고, 후술하는 보조 가압착 장치(500)와 적층 필름 회수 장치(300) 사이에는 이동 클램퍼(140)가 배치되어 있다.
보조 가압착 장치(500)는, 도1 내지 도3에 도시한 바와 같이 베이스 필름 공급로(L1) 내에 있어서의 가압착 장치(400)의 적층 필름 회수 장치(300)측에 배치되어 가압착 장치(400)에 의해 베이스 필름(Wb)에 가압착된 커버레이 필름(Wc)을 베이스 필름(Wb)에 대해 더 견고하게 가압착하도록 구성되어 있다.
보조 가압착 장치(500)에 의한 보조 가압착 시간은 제어기(110)에 의해 원하는 시간으로 설정되어 있다.
커버레이 필름 재단 및 적재 장치(600)는, 도1 및 도2에 도시한 바와 같이 롤 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 시트 형상으로 하여 간헐적으로 조출하기 위한 커버레이 필름 조출 장치(610)와, 커버레이 필름 조출 장치(610)에 의해 조출된 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 재단하여 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 형성하기 위한 커버레이 필름 재단 장치(630)와, 커버레이 필름 재단 장치(630)에 의해 형성된 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착 테이블(410) 상에 적재하기 위한 커버레이 필름 적재 장치(650)를 갖고 있다.
이에 의해, 롤 형상의 커버레이 필름(Wc0)으로 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 형성하고, 그 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착 테이블(410)에 공급하는 것이 가능해지므로, 롤 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 이용할 수 있게 된다. 이로 인해, 전체적으로 생산성을 더 높게 할 수 있다.
커버레이 필름 조출 장치(610)는, 도6 및 도7에 도시한 바와 같이 조출 롤러(612), 구동 롤러(616) 및 가이드 롤러(620)를 갖고 있다.
조출 롤러(612)는 롤러 지지대(160)의 상방단부에 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 토크 모터(614)의 구동에 의한 회전에 의해 롤 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 시트 형상으로 조출하도록 구성되어 있다.
구동 롤러(616)는 롤러 지지대(162)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 토크 모터(618)의 구동에 의한 회전에 의해 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 가이드 롤러(620)측으로 조출하도록 구성되어 있다.
가이드 롤러(620)는 장치 본체(100)에 회전 가능하게 지지되어 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 커버레이 필름 재단 장치(630)측으로 안내하도록 구성되어 있다.
커버레이 필름 조출 장치(610)의 하방에는 커버레이 필름(Wc0)을 이완 및 긴장시키기 위한 승강 롤러(622)가 배치되어 있다.
가이드 롤러(620)의 커버레이 필름 재단 장치(630)측에는 커버레이 필름 조출 장치(610)로부터 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 견인하기 위한 인출 롤러(624)와, 이동 클램퍼(626)가 배치되어 있다.
커버레이 필름 재단 장치(630)는, 도6에 도시한 바와 같이 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 단책 형상으로 재단하기 위한 압박 절삭날을 갖는 압박 절삭날 금형(632) 및 압박 절삭날 금형(632)을 받는 받침 금형(634)을 갖고 있다. 또한, 커버레이 필름 재단 및 적재 장치(600)는 압박 절삭날을 받는 날 받침 시트(Wh)를 압박 절삭날 금형(632)과 받침 금형(634) 사이로 조출하는 날 받침 시트 조출 장치(640)와, 날 받침 시트(Wh)를 권취하는 날 받침 시트 권취 장치(642)를 더 갖고 있다.
이에 의해, 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 단책 형상으로 재단할 때에 날 받침 시트 조출 장치(640)에 의해 조출되는 날 받침 시트(Wh)가 항상 압박 절삭날을 받는 것이 가능해지므로, 커버레이 필름을 양호하게 재단할 수 있다. 또한, 압박 절삭날의 날끝이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
커버레이 필름 적재 장치(650)는, 도2에 도시한 바와 같이 커버레이 필름 재단 장치(630)에 의해 재단된 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 커버레이 필름 교환 위치(P3)로 교환하기 위한 이동 클램퍼(652)와, 커버레이 필름 교환 위치(P3)에 적재된 커버레이 필름(Wc)을 커버레이 필름 공급 위치(P1)의 가압착 테이블(410)까지 반송하기 위한 흡착 패드(654)를 갖고 있다. 이 흡착 패드(654)는 x축 방향으로 이동 가능하고, 커버레이 필름 공급 위치(P1) 및 커버레이 필름 교환 위치(P3)에 있어서 승강 가능하다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 커버레이 필름 재단 및 적재 장치(600)는, 도1, 도2 및 도5에 도시한 바와 같이 커버레이 필름 적재 장치(650)에 의해 가압착 테이블(410)에 적재된 커버레이 필름(Wc)에 있어서의 이형 필름의 단부를 파지하는 이형 필름 파지 장치(660)를 더 갖고 있다. 그리고, 이형 필름 파지 장치(660)가 이형 필름의 단부를 파지한 상태에서 커버레이 필름 공급 위치(P1)로부터 가압착 영역(P2)을 향해 가압착 테이블(410)이 이동함으로써, 커버레이 필름(Wc)으로부터 이형 필름을 박리하도록 구성되어 있다.
이에 의해, 커버레이 필름(Wc)을 가압착 영역(P2)까지 반송하는 공정 중에 커버레이 필름으로부터 이형 필름을 박리할 수 있게 되므로, 일부러 커버레이 필름 (Wc)으로부터 이형 필름을 박리하기 위한 특별한 공정을 별도로 마련할 필요가 없어진다. 이로 인해, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 작업을 단축화할 수 있다.
또한, 가압착 테이블(410)에 커버레이 필름(Wc)을 적재할 때까지는 커버레이 필름(Wc)을 이형 필름이 부착된 상태에서 취급할 수 있게 되므로, 취급이 매우 용이해진다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 커버레이 필름 재단 및 적재 장치(600)는, 도7에 도시한 바와 같이 커버레이 필름(Wc0)을 재단하는 데 앞서서 커버레이 필름(Wc0)으로부터 이형 필름을 부분적으로 박리하여 부분 박리부를 형성하기 위한 이형 필름 박리날(670)을 더 갖고 있다.
이에 의해, 가압착 테이블(410)에 장착된 커버레이 필름(Wc)은 이형 필름 박리날(670)에 의해 미리 부분 박리부가 형성되게 되므로, 이형 필름 파지 장치(660)가 이형 필름의 단부를 용이하게 파지할 수 있게 된다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 상기한 흡착 패드(654)는 가압착 테이블(410) 상에 커버레이 필름(Wc)을 적재한 후 이형 필름 파지 장치(660)에 의해 이형 필름의 단부를 파지하기까지의 사이도 부분 박리부를 흡착하도록 구성되어 있다.
이에 의해, 가압착 테이블(410)에 적재된 커버레이 필름(Wc)에 있어서는 흡착 패드(654)에 의해 이형 필름의 부분 박리부가 흡착되어 걷어올려진 상태가 되므로, 이형 필름 파지 장치(660)가 이형 필름의 단부를 더 용이하게 파지할 수 있게 된다.
커버레이 필름 공급로(L2)에 있어서의 커버레이 필름 공급 위치(P1)와 가압착 영역(P2)의 중간 위치에는, 도5에 도시한 바와 같이 조명용 2개의 발광 소자(170)가 배치되어 있다.
이상과 같이, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)는 롤 형상의 베이스 필름(Wb)을 시트 형상으로 하여 간헐적으로 조출하기 위한 베이스 필름 공급 장치(200)와, 베이스 필름 공급 장치(200)에 의해 조출된 시트 형상의 베이스 필름(Wb)에 대해 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착하고 베이스 필름(Wb)에 커버레이 필름(Wc)이 가압착된 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 형성하기 위한 가압착 장치(400)와, 가압착 장치(400)에 의해 형성된 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 롤 형상으로 권취하기 위한 적층 필름 회수 장치(300)를 구비하고 있다. 또한, 가압착 장치(400)는 커버레이 필름 공급로(L2)를 따라서 커버레이 필름(Wc)을 공급 가능하고, 또한 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블(410)을 갖고 있다.
이로 인해, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 따르면, 간헐적으로 조출된 시트 형상의 베이스 필름(Wb)에 대해 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)이 가압착되게 되므로, 긴 베이스 필름을 이용한 경우라도 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 오차가 누적되지 않게 되어 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 정밀도가 저하되지 않게 된다.
또한, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 따르면, 커버레 이 필름(Wc)은 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블(410)에 의해 가압착 영역(P2)에 공급되게 되므로, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다. 그 결과, 가요성 기판의 품질을 높게 하는 것도 용이해진다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 도1 및 도3에 도시한 바와 같이 베이스 필름 공급로(L1) 내에 있어서의 보조 가압착 장치(500)와 적층 필름 회수 장치(300) 사이에 2개의 촬상 소자(180)가 서로 이격되어 배치되어 있다.
이에 의해, 촬상 소자(180)가 적층 필름(Ws)을 촬영함으로써, 적층 필름 회수 장치(300)가 적층 필름(Ws)을 회수하기 전에 그 가압착 상태를 확인하는 것이 가능해진다. 가령, 촬상 소자(180)에 의한 촬영의 결과, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 부착 위치가 어긋나 있어나 가압착이 불완전하게 있거나 한 경우에는 장치의 운전을 정지시킴으로써 이후, 그와 같은 가압착이 불완전한 적층 필름이 형성되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 상기한 바와 같이 베이스 필름 공급 장치(200) 및 적층 필름 회수 장치(300), 가압착 장치(400) 및 보조 가압착 장치(500)를 동기하여 동작시키기 위한 제어기(110)를 더 구비하고 있다.
이에 의해, 택트 타임을 맞추면서 가압착 공정 및 보조 가압착 공정을 행할 수 있게 되므로, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 위치 정밀도를 높게 유지한 상태에서 전체적으로 생산성이 높은 가압착을 행할 수 있게 된다.
다음에, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)를 이용하였을 때의 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 가압착 방법에 대해 도2 및 도8을 참조하여 설명한다. 도8은 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 가압착 방법을 설명하기 위해 도시하는 흐름도이다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)를 이용하였을 때의 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 가압착 방법은 베이스 필름(Wb)을 가압착 장치(400)를 향해 공급하는「베이스 필름 공급 공정」과, 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착 테이블(410)에 공급하는「커버레이 필름 공급 공정」과, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 가압착하는「가압착 및 보조 가압착 공정」과, 커버레이 필름(Wc)이 가압착된 적층 필름(Ws)을 회수하는「적층 필름 회수 공정」을 갖고 있다. 이하, 이들 각 공정을 차례로 설명한다.
또한, 커버레이 필름의 접합을 실시하는 데 있어서, 도2에 도시한 바와 같이 이동 클램퍼(140)는 보조 가압착 장치(500)의 근방에 배치되고, 커버레이 필름 적재 장치(650)의 이동 클램퍼(652)는 커버레이 필름 재단 장치(630)의 근방에 배치되고, 커버레이 필름 적재 장치(650)의 흡착 패드(654)는 커버레이 필름 교환 위치(P3)에 배치되어 있는 것으로 한다. 또한, 가압착 테이블(410)은 커버레이 필름 공급 위치(P1)에 배치되어 있는 것으로 한다.
1. 베이스 필름 공급 공정
우선, 베이스 필름 공급 장치(200), 이동 클램퍼(140) 및 적층 필름 회수 장 치(300)를 구동함으로써, 베이스 필름(Wb)을 베이스 필름 공급로(L1)를 따라서 간헐적으로 조출한다(도8의 스텝 Q1).
베이스 필름(Wb)에 있어서의 커버레이 필름 부착 위치가 가압착 영역(P2)으로 오면, 베이스 필름(Wb)의 조출 동작을 일시 정지하여 고정 클램퍼(120, 130)에 의해 베이스 필름(Wb)을 파지한다. 이 때, 압박 기구(490)가 베이스 필름(Wb)을 완충 기구(480)에 대해 압박 부착함으로써, 가압착 영역(P2) 내의 베이스 필름(Wb)은 완충 기구(480)에 마련된 다수의 베이스 필름 흡착 구멍에 의해 진공 흡착 및 고정된다(도8의 스텝 Q2).
2. 커버레이 필름 공급 공정
우선, 커버레이 필름 조출 장치(610)를 구동하여 롤 형상의 커버레이 필름(Wc0)을 시트 형상으로 하고, 커버레이 필름 반송로(L3)를 따라서 간헐적으로 조출한다(도8의 스텝 R1). 이 때 커버레이 필름(Wc0)은 이형 필름 박리날(670)에 의해 커버레이 필름(Wc0)에 있어서의 이형 필름이 부분적으로 박리되어 부분 박리부가 형성되게 된다.
커버레이 필름 조출 장치(610)로부터 조출된 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)은 이동 클램퍼(626)에 의해 커버레이 필름 재단 장치(630)에 있어서의 압박 절삭날 금형(632)과 받침 금형(634) 사이에 공급된다. 그리고, 이동 클램퍼(652)에 의해 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)에 있어서의 커버레이 필름 교환 위치(P3)측 엣지가 파지된 상태에서 커버레이 필름 재단 장치(630)에 의해 재단된다(도8의 스텝 R2). 이 때, 시트 형상의 커버레이 필름(Wc0)과 받침 금형(634) 사이에 날 받침 시트(Wh)가 항상 조출된 상태에서 커버레이 필름(Wc0)이 재단되게 된다.
커버레이 필름 재단 장치(630)에 의해 단책 형상으로 재단된 커버레이 필름(Wc)은 이동 클램퍼(652)에 의해 커버레이 필름 교환 위치(P3)에 배치된다. 커버레이 필름 교환 위치(P3)에 배치된 커버레이 필름(Wc)은 흡착 패드(654)에 의해 흡착되어 커버레이 필름 교환 위치(P3)로부터 커버레이 필름 공급 위치(P1)의 가압착 테이블(410) 상으로 반송 및 적재된다(도8의 스텝 R3).
가압착 테이블(410)에 적재된 커버레이 필름(Wc)에 있어서, 커버레이 필름(Wc)의 하면은 가압착 테이블(410)에 마련된 다수의 커버레이 필름 흡착 구멍에 의해 흡착된다. 또한, 커버레이 필름(Wc)의 상면, 즉 이형 필름면에 있어서는 부분 박리부 이외의 부분을 흡착하고 있는 흡착 패드(654)의 흡착이 해제된다. 이 상태에서 가압착 테이블(410)이 하강하면, 가압착 테이블(410)에 적재된 커버레이 필름(Wc)에 있어서는 흡착 패드(654)에 의해 이형 필름의 부분 박리부가 흡착되어 걷어올려진 상태가 된다. 그리고, 이 걷어올려진 부분 박리부를 이형 필름 파지 장치(660)에 의해 파지하는 동시에, 가압착 테이블(410)이 가압착 영역(P2)을 향해 이동함으로써 커버레이 필름(Wc)으로부터 이형 필름이 용이하게 박리되게 된다(도8의 스텝 R4).
또한, 이 박리된 이형 필름은 커버레이 필름 공급 위치(P1)의 근방에 배치된 이형 필름 회수 박스(도시하지 않음)로 회수된다.
3. 가압착 및 보조 가압착 공정
우선, 커버레이 필름 공급 위치(P1)에서 커버레이 필름(Wc)이 공급된 가압착 테이블(410)을 커버레이 필름 공급로(L2)에 있어서의 발광 소자(170)가 배치된 위치까지 이동시킨다. 이 위치에서 가압착 테이블(410)에 배치된 2개의 촬상 소자(470)에 의해 커버레이 필름(Wc)을 촬영하고, 이 촬영 결과를 기초로 하여 가압착 테이블(410) 상에 있어서의 커버레이 필름(Wc)의 위치를 측정한다(도8의 스텝 S1).
다음에, 가압착 테이블(410)을 가압착 영역(P2)까지 이동시킨다. 이 때, 압박 기구(490)는 가압착 영역 밖에 배치되어 있다. 가압착 영역(P2)에서 2개의 촬상 소자(470)에 의해 베이스 필름(Wb)을 촬영하고, 이 촬영 결과를 기초로 하여 가압착 테이블(410)의 위치를 기준으로 한 베이스 필름(Wb)의 위치를 측정한다(도8의 스텝 S2). 그리고, 이들 커버레이 필름(Wc) 및 베이스 필름(Wb)의 측정치로부터 상대 어긋남량을 산출하고, 이 산출 결과를 기초로 하여 가압착 테이블(410)을 구동하여 수평 방향(x축 방향 및 y축 방향)의 이동 조정 및/또는 원주 방향(z축 주위)의 회전 조정을 행하고, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 맞춤을 행한다(도8의 스텝 S3).
베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 맞춤이 종료되면, 가압착 테이블(410)의 제4 이동 장치(450)를 구동하여 가압착 테이블(410)을 상방으로 이동시키고, 베이스 필름(Wb)에 커버레이 필름(Wc)을 가압착시킨다(도8의 스텝 S4). 이에 의해, 베이스 필름(Wb)에 커버레이 필름(Wb)이 가압착된 적층 필름(Ws)이 형성된다. 가압착 동작의 종료 후, 고정 클램퍼(120, 130)의 파지가 해제된다.
이 가압착 동작이 종료되면, 가압착 테이블(410)은 커버레이 필름 재단 및 적재 장치(600)로부터 새로운 커버레이 필름(Wc)을 수취하기 위해 커버레이 필름 공급 위치(P1)로 이동한다.
가압착 장치(400)에 의해 형성된 시트 형상의 적층 필름(Ws)은 베이스 필름 공급 장치(200), 이동 클램퍼(140) 및 적층 필름 회수 장치(300)의 구동에 의해 보조 가압착 장치(500)로 이송된다. 그리고, 보조 가압착 장치(500)에 의해 보조 가압착이 행해지므로, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)이 더 견고하게 가압착된 적층 필름(Ws)이 형성된다(도8의 스텝 S5).
4. 적층 필름 회수 공정
보조 가압착이 행해진 적층 필름(Ws)은 이동 클램퍼(140)에 의해 적층 필름 회수 장치(300)를 향해 이송된다. 이 때, 이동 클램퍼(140)의 폭방향 양단부에 배치된 촬상 소자(180)에 의해 적층 필름(Ws)의 가압착 상태의 확인 작업이 행해진다(도8의 스텝 SQ1). 그리고, 베이스 필름 공급 장치(200), 이동 클램퍼(140) 및 적층 필름 회수 장치(300)를 구동함으로써, 시트 형상의 적층 필름(Ws)을 권취 롤러(310)에 권취한다(도8의 스텝 SQ2). 이에 의해, 시트 형상의 적층 필름(Ws)이 롤 형상으로 권취되고, 롤 형상의 적층 필름(Ws)으로서 회수되게 된다.
이상의 공정에 의해, 베이스 필름(Wb)에 커버레이 필름(Wc)이 가압착된 적층 필름(Ws)을 형성할 수 있다.
또한, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 접합하기 위해서는, 적어도 커버레이 필름(Wc)을 베이스 필름 공급로 상의 접합 영역에 공급하는 커버레이 필름 공급 공정과, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 접합하는 접합 공정이 필요해지지만, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 1단계에서 완 전히 접합하는 것으로 한 경우에는 이 접합 공정이 매우 길어져 전체적으로 생산성을 향상시키는 것이 곤란해진다.
이로 인해, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 완전히 접합하여 적층 필름을 형성하는 대신에, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 가압착하여 적층 필름(Ws)을 형성하는 것으로 하고 있다. 이에 의해, 상기한 접합 공정을 대폭으로 단축화하여 전체적으로 생산성의 향상을 도모하고 있다.
제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 있어서는, 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 완전히 접합하기 위해, 커버레이 필름(Wc)이 가압착된 적층 필름(Ws)을 압착(본압착)하기 위한 진공 프레스기를 별도로 준비하고, 이 진공 프레스기를 이용하여 베이스 필름(Wb)에 대해 커버레이 필름(Wc)을 완전히 접합하는 것으로 하고 있다.
상기한 베이스 필름에 대한 커버레이 필름의 가압착 방법에 있어서는 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 가압착을 행하여 적층 필름(Ws)을 형성하는 공정 후에 적층 필름(Ws)을 보조 가압착을 행하는 영역에 공급하는 동시에 새로운 베이스 필름(Wb)을 가압착 영역(P2)에 공급하는 공정과, 가압착 테이블(410)의 이동 동작을 행하여 베이스 필름 공급로(L1) 상의 가압착 영역(P2)에 새로운 커버레이 필름(Wc)을 공급하는 공정이 행해진다. 이 경우, 후자의 공정이 전자의 공정보다도 소요 시간이 매우 길어지므로, 이들 공정 사이에 있어서의 시간차를 이용하여 보조 가압착 처리를 행함으로써, 보조 가압착을 행하는 공정을 위한 특별한 시간을 들이지 않아도 보조 가압착 공정을 행할 수 있게 된다. 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)에 따르면, 상기와 같이 구성된 보조 가압착 장치(500)를 구비하고 있으므로, 최초의 가압착의 시간을 단축할 수 있게 되어 전체적으로 생산성을 더 향상시킬 수 있다.
[제2 실시 형태]
제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치에 대해 도9를 이용하여 설명한다. 도9는 제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치를 간략화하여 도시하는 평면도이다. 또한, 도9에 있어서 도2와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.
제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(2)는 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)와 기본적으로는 같은 구성을 갖고 있지만, 베이스 필름으로서 롤 형상이 아닌 단책 형상의 베이스 필름(Wb)을 이용하고 있는 점이 다르다.
즉, 제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(2)는 단책 형상의 베이스 필름(Wb)을 가압착 영역(P2)을 향해 공급하기 위한 베이스 필름 공급 장치(1200)와, 베이스 필름 공급 장치(1200)에 의해 공급된 단책 형상의 베이스 필름(Wb)에 대해 단책 형상의 커버레이 필름(Wc)을 가압착하여 단책 형상의 적층 필름(Ws)을 형성하기 위한 가압착 장치(400)와, 가압착 장치(400)에 의해 형성된 단책 형상의 적층 필름(Ws)을 회수하기 위한 적층 필름 회수 장치(1300)를 구비한 커버레이 필름 접합 장치이며, 가압착 장치(400)는 가압착 영역(P2)과 커버레이 필름 공급 위치(P1)를 연결하는 커버레이 필름 공급로(L2)를 따라서 커버레이 필름(Wc)을 공급 가능하고, 또한 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블(410)을 갖고 있다.
이로 인해, 제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(2)에 따르면, 단책 형상의 베이스 필름(Wb)을 이용하고 있으므로, 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 오차가 누적될 우려가 생기지 않기 때문에, 베이스 필름의 긴 방향에 있어서의 위치 맞춤 정밀도가 저하되는 일도 없다.
또한, 제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(2)에 따르면, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)의 경우와 마찬가지로, 커버레이 필름(Wc)은 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 위치 및 자세를 조정 가능한 가압착 테이블(410)에 의해 가압착 영역(P2)에 공급되게 되므로, 베이스 필름(Wb)에 대한 커버레이 필름(Wc)의 접합 위치 정밀도를 높게 하는 것이 용이해진다. 그 결과, 가요성 기판의 품질을 높게 하는 것도 용이해진다.
이와 같이, 제2 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(2)는 베이스 필름으로서 롤 형상이 아닌 단책 형상의 베이스 필름(Wb)을 이용하고 있는 점에서 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)의 경우와는 다르지만, 그 밖의 점에서는 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)와 같은 구성을 갖고 있으므로, 제1 실시 형태에 관한 커버레이 필름 접합 장치(1)가 갖는 효과를 그대로 갖는다.
또한, 베이스 필름 공급로(L1)를 따라서 단책 형상의 베이스 필름(Wb) 및 단 책 형상의 적층 필름(Ws)을 반송하기 위한 반송 수단으로서는 흡착 패드나 이동 테이블 등의 공지의 반송 수단을 이용할 수 있다.