KR20050016109A - Cassette for substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판용 카세트에 관한 것으로, 보다 특징적으로는 대형의 유리 기판 등을 수용하기 위한 기판용 카세트의 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette for a substrate, and more particularly to a structure of a cassette for a substrate for accommodating a large glass substrate or the like.
(종래의 기술)(Conventional technology)
액정 디스플레이 등에는 유리 기판이 사용되고 있으나 그 제조 프로세스에 있어서는, 공정에 있어서 유리 기판의 반송·저장 등의 이유로, 이 유리 기판을 1장씩 수용하는 기판용 카세트가 사용된다. 이 기판용 카세트로서는 이하에 나타내는 특허 문헌 1에 개시된 것이 있다.Although a glass substrate is used for a liquid crystal display etc., in the manufacturing process, the board | substrate cassette which accommodates this glass substrate one by one is used for the reason of conveyance, storage, etc. of a glass substrate in a process. As this board | substrate cassette, there exist some disclosed by patent document 1 shown below.
[특허 문헌 1] 일본 특개평10-287382호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-287382
근래, 플랫 패널 디스플레이 등의 대형화가 진행되고 있으며, 예를 들면, 액정 디스플레이에 사용되는 유리 기판의 크기는 종래는, 1100㎜(단변 치수)×1300㎜(긴변 치수)가 최대 사이즈였으나, 보다 크게 되어 1500(단변 치수)×1800(긴변 치수), 1800㎜(단변 치수)×2100㎜(긴변 치수) 등이 고려되고 있고, 그 후도, 유리 기판의 크기는 가속적으로 대형화될 것으로 보인다. 그 결과, 유리 기판의 대형화에 따라 기판용 카세트도 대형화되게 된다.In recent years, the enlargement of flat panel displays etc. is advancing, For example, although the size of the glass substrate used for a liquid crystal display was 1100 mm (short side dimension) x 1300 mm (long side dimension) conventionally, it was larger. 1500 (short side dimension) x 1800 (long side dimension), 1800 mm (short side dimension) x 2100 mm (long side dimension), etc. are considered, and after that, the magnitude | size of a glass substrate is expected to enlarge rapidly. As a result, as the glass substrate becomes larger, the cassette for the substrate also becomes larger.
금후 이러한 기판용 카세트에는 기판을 휘게하는 일 없이 안정적으로 지지 수용할 수 있을 것, 운반·제조가 용이할 것, 저발진성(低發塵性), 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성 및 치수 제도(制度) 등의 다양한 요구를 만족시킬 필요가 있다. 그러나, 이와 같은 요구를 충족시키기 위해, 상기 특허 문헌 1에 개시되는 테두리 구조만으로 만족시키려고 한 경우에는, 중량의 증가를 회피할 수 없고, 운반·제조의 관점에 있어서 문제가 발생되며, 제조 코스트의 상승을 초래하는 결과가 된다.In the future, such a substrate cassette can be stably supported and accommodated without bending the substrate, and is easy to transport and manufacture, low dust resistance, heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low It is necessary to satisfy various demands such as cost and size drawing. However, in order to satisfy such a demand, when trying to satisfy only the frame structure disclosed by the said patent document 1, an increase in weight cannot be avoided, and a problem arises from a viewpoint of conveyance and manufacture, The result is a rise.
따라서 본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 특히 대형 기판에 사용되는 기판용 카세트에 있어서, 운반·제조가 용이하며, 저발진성, 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성 및 치수 제도 등의 다양한 요구를 만족시킬 수 있는 구조를 구비하는 기판용 카세트를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and in particular, in a cassette for a substrate used for a large substrate, it is easy to transport and manufacture, and has low dust resistance, heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low cost, and There is provided a cassette for a substrate having a structure capable of satisfying various requirements such as dimension drawing.
(과제를 해결하기 위한 수단)(Means to solve the task)
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의거한 기판용 카세트의 한 국면에 있어서는 박판형상의 기판을 수용하기 위한 기판용 카세트로서, 골격 구조로 이루어지는 프레임 부재와, 상기 프레임 부재의 윗면측에 따라 설치되고, 상기 기판을 아래방면측으로부터 직접 지지하기 위한 지지 부재를 구비한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, in one aspect of the board | substrate cassette based on this invention, it is a board | substrate cassette for accommodating a thin plate-shaped board | substrate, and is provided along the frame member which consists of skeletal structure, and the upper surface side of the said frame member. And a supporting member for directly supporting the substrate from the lower side.
이와 같이, 기판용 카세트를 프레임 부재와, 이 프레임 부재의 윗면측에 따라 설치되고 기판을 아래방면측으로부터 직접 지지하기 위한 지지 부재와의 2중 구조로 함으로서, 예를 들면, 기판을 아래방면측으로부터 지지하기 위한 지지 부재에는 경량화의 관점에서 수지계 재료를 사용, 프레임 부재에는 기판용 카세트의 강성, 내열성의 관점에서 금속 재료를 사용으로서, 기판용 카세트에 요구되는, 운반·제조가 용이할 것, 저발진성, 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성 및 치수 제도 등의 다양한 요구를 만족시키는 것이 가능해진다.Thus, the board | substrate cassette is provided along the frame member and the support member for supporting the board | substrate directly from a lower side side, provided along the upper side of this frame member, for example, a board | substrate lower side Resin-based materials are used for the support member for supporting from the viewpoint of weight reduction, and metal materials are used for the frame member in view of the rigidity and heat resistance of the cassette for the substrate, so that transportation and manufacturing required for the cassette for the substrate are easy. It is possible to satisfy various requirements such as low dust resistance, heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low cost, and dimension drawing.
또한, 상기 기판용 카세트에 있어서의 바람직한 형태로서, 상기 프레임 부재는 바깥테두리 프레임과, 바깥테두리 프레임 내에 마련된 보조 프레임을 가지며, 상기 지지 부재는 상기 기판을 아래방면측으로부터 직접 지지하기 위해, 상기 프레임 부재의 거의 전체면에 걸쳐 배치되는 트레이 부재이며, 상기 트레이 부재는 그 지지 기준면으로부터 아래측을 향하는 오목부 영역이 복수 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, as a preferable aspect in the said cassette for a board | substrate, the said frame member has an outer border frame and the auxiliary frame provided in the outer border frame, and the said support member supports the said board | substrate directly from a lower side side, It is a tray member arrange | positioned over the almost whole surface of a member, The tray member is characterized by the plurality of recessed part area | regions provided downward from the support reference surface, It is characterized by the above-mentioned.
이와 같이, 프레임 부재와 트레이 부재의 2중 구조로 구성됨으로서, 예를 들면, 기판을 아래방면측으로부터 지지하기 위한 트레이 부재에는 경량화의 관점으로부터 수지계 재료를 사용하고, 프레임 부재에는 기판용 카세트의 강성, 내열성의 관점으로부터 금속 재료를 사용함에 의해 기판용 카세트에 요구되는, 운반·제조가 용이할 것, 저발진성, 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성, 치수 제도 등의 다양한 요구를 만족시키는 것이 가능해진다.In this way, the double member structure of the frame member and the tray member is used. For example, a resin material is used for the tray member for supporting the substrate from the lower side, and the rigidity of the substrate cassette is used for the frame member. From the viewpoint of heat resistance, it is easy to transport and manufacture, which is required for a cassette for a substrate by using a metal material, low dust resistance, heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low cost, various requirements such as dimensional drawing It becomes possible to satisfy.
또한, 상기 기판용 카세트에 있어서의 바람직한 형태로서, 선택된 상기 오목부 영역에는 개구부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의해, 예를 들면 외부 반송 장치로 마련되는 기판 승강 핀, 기판 반송 롤러 등을 이 개구부를 통과시킬 수 있다. 그 결과, 기판용 카세트에 대해 기판을 상승시키는 것이 가능해지기 때문에, 기판용 카세트로의 기판의 반송·반출을 용이하게 실시시킬 수 있다.Moreover, as a preferable aspect in the said cassette for board | substrate, an opening is provided in the said recessed part area | region selected. By this structure, this opening can be made to pass the board | substrate lifting pin, board | substrate conveyance roller, etc. which are provided by an external conveyance apparatus, for example. As a result, since it becomes possible to raise a board | substrate with respect to a cassette for a board | substrate, conveyance and carrying out of a board | substrate to a board | substrate cassette can be performed easily.
또한, 상기 기판용 카세트에 있어서 더욱 바람직한 형태로서, 상기 오목부 영역에는 상기 오목부 영역을 덮음과 함께, 탄성 변형 가능한 시트형상 부재가 마련되어 있다. 이 구성에 의해 오목부 영역은 시트형상 부재에 의해 덮혀 있기 때문에, 오목부 영역 내로의 먼지, 세정액 등의 침입 및 축적을 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 오목부 영역에 개구부가 마련되어 있는 경우에 기판 승강 핀, 기판 반송 롤러 등이 이 개구부를 통과하는 경우에 있어서도 시트형상 부재가 탄성 변형함에 의해 늘어나기 때문에, 기판 승강 핀, 기판 반송 롤러 등의 상승 동작이 방해되는 일 없이 기판을 상승시키는 것이 가능해진다.Moreover, as a more preferable aspect in the said cassette for board | substrate, the said recessed part area | region covers the said recessed part area | region, and the sheet-like member which can elastically deform is provided. With this configuration, since the recessed area is covered by the sheet-like member, it is possible to prevent intrusion and accumulation of dust, cleaning liquid, and the like into the recessed area. In addition, when an opening is provided in a recessed area, even when a board | substrate elevating pin, a board | substrate conveying roller, etc. pass through this opening, a sheet-shaped member increases by elastic deformation, so that board | substrate elevating pin, board | substrate conveying roller, etc. It is possible to raise the substrate without disturbing the raising operation.
또한, 상기 기판용 카세트에 있어서의 바람직한 형태로서, 상기 바깥테두리 프레임 부재는 주변 영역을 둘러싸고, 단면 형상이 바깥측을 향하여 개방되는 ㄷ자 형상의 프레임 구성을 갖는다. 이 구성에 의해 기판용 카세트의 약액 등에 의한 세정시에 있어서도 바깥테두리 프레임 부재는 바깥측을 향하여 개방하고 있어, 약액 등의 액체는 바깥테두리 프레임 부재의 내부에 고이는 일 없이 배수됨과 함께, 용이하게 바깥테두리 프레임 부재 내면의 건조를 행하는 것이 가능해진다.Moreover, as a preferable aspect in the said cassette for board | substrate, the said outer border frame member has a c-shaped frame structure which surrounds a peripheral area and whose cross-sectional shape is open toward an outer side. With this configuration, even when the substrate cassette is cleaned with a chemical liquid or the like, the outer edge frame member is opened toward the outside, and liquid such as chemical liquid is drained without collecting the inside of the outer edge frame member and is easily discharged. It becomes possible to dry the inner surface of the edge frame member.
또한, 상기 기판용 카세트에 있어서의 바람직한 형태로서, 상기 프레임 부재는 바깥테두리 프레임과, 바깥테두리 프레임 내에 마련되고, 격자형상으로 설치되는 보조 프레임을 가지며, 상기 지지 부재는 상기 보조 프레임의 윗면측에 있어서, 상기 보조 프레임이 늘어나는 방향을 따라 설치된다.Moreover, as a preferable aspect in the said cassette for board | substrate, the said frame member has an outer border frame and the auxiliary frame provided in the outer border frame, and is provided in a grid | lattice form, The said support member is on the upper surface side of the said auxiliary frame. Thus, the auxiliary frame is installed along the direction in which it extends.
이와 같이, 보조 프레임과 지지 부재의 2중 구조로 구성함으로서, 예를 들면, 기판을 아래방면측으로부터 지지하기 위한 트레이 부재에는 경량화의 관점에서 수지계 재료를 사용하고, 프레임 부재에는 기판용 카세트의 강성, 내열성의 관점에서 금속 재료를 사용하여 기판용 카세트에 요구되는 운반·제조가 용이할 것, 저발진성, 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성, 치수 제도 등의 다양한 요구를 만족시키는 것이 가능해진다. Thus, by constructing the double structure of the auxiliary frame and the support member, for example, a resin material is used for the tray member for supporting the substrate from the lower side, and the rigidity of the substrate cassette is used for the frame member. In terms of heat resistance, metal materials are used for easy transportation and manufacturing required for substrate cassettes, satisfying various requirements such as low dust resistance, heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low cost, and dimensional drawing. It becomes possible.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의거한 기판용 카세트의 다른 국면에 있어서는 박판형상의 기판을 수용하기 위한 기판용 카세트로서, 바깥테두리 프레임을 갖는 프레임 부재와, 상기 프레임 부재의 코너부를 연결하기 위한 수지제 코너 연결 부재를 구비하고, 상기 수지제 코너 연결 부재는 해당 기판용 카세트의 높이 방향을 따르도록 설치된 금속제 블록을 갖는다.In order to solve the above problems, in another aspect of the cassette for a substrate according to the present invention, a substrate cassette for accommodating a thin plate-shaped substrate, comprising: connecting a frame member having an outer edge frame and a corner portion of the frame member; And a resin corner connecting member, wherein the resin corner connecting member has a metal block provided along the height direction of the cassette for the substrate.
이 구성에 의해 기판용 카세트의 겹쳐쌓인 두께는 금속제 블록에 의해 지배되게 된다. 여기서, 기계 가공에 의해 제조되는 금속제 블록 높이의 치수 오차는 수지 성형품보다도 작게 할 수 있다. 따라서 기판용 카세트를 높이 방향으로 겹쳐쌓은 경우라도, 전체의 겹쳐쌓는 치수 오차는 수지 성형품만으로 이루이지는 코너 연결 부재보다도 본 발명에 의거한 금속제 블록을 갖는 코너 연결 부재쪽을 작게 하는 것이 가능해진다.By this configuration, the overlapped thickness of the substrate cassette is controlled by the metal block. Here, the dimension error of the height of the metal block manufactured by machining can be made smaller than a resin molded article. Therefore, even when the board | substrate cassette is piled up in the height direction, the overlapping dimension error of the whole can be made smaller the corner connecting member which has a metal block based on this invention rather than the corner connecting member which consists only of a resin molded article.
또한, 상기 기판용 카세트에 있어서, 다른 바람직한 형태로서 이하의 구성을 들 수 있다. 예를 들면, 상기 트레이 부재의 상기 오목부 영역의 평면 형상이 원형 형상, 직사각형 형상, 다각형, 또는 그들의 조합으로 이루어진다. 또한, 트레이 부재는 도전성 및 대전 방지성의 적어도 어느 하나의 특성을 구비하는 플라스틱 재료로 이루어진다. 또한, 다른 재료로서 금속 박(foil)과 발포 재료와의 복합 재료로 이루어진다. 해당 기판용 카세트를 겹쳐쌓은 때의, 상하의 기판용 카세트 사이에 생기는 간극을 없애기 위한 실(seal) 부재를 구비한다. Moreover, in the said cassette for board | substrates, the following structures are mentioned as another preferable aspect. For example, the planar shape of the recess area of the tray member may be circular, rectangular, polygonal, or a combination thereof. Further, the tray member is made of a plastic material having at least one of conductive and antistatic properties. Moreover, as another material, it consists of a composite material of metal foil and foamed material. It is provided with the seal member for removing the clearance gap which arises between the upper and lower substrate cassettes when the said cassette for board | substrate is piled up.
이하, 본 발명에 따른 기판용 카세트의 각 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, each embodiment of the board | substrate cassette which concerns on this invention is described, referring drawings.
(실시 형태 1)(Embodiment 1)
우선, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트(100)의 개략 구성에 대해 설명한다. 또한, 도 1은 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트(100)의 구성을 도시한 전체 사시도이며, 도 2는 도 1중 Ⅱ선 화살표 단면도이다.First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the outline structure of the board | substrate cassette 100 in this embodiment is demonstrated. 1 is an overall perspective view showing the configuration of the substrate cassette 100 in the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II in FIG. 1.
(기판용 카세트(100)의 전체 구성)(Overall Configuration of Substrate Cassette 100)
이 기판용 카세트(100)는 한 예로서 그 외형 치수가 1630㎜(단변 치수) × 1930㎜(긴변 치수)이고, 대형의 유리 기판을 1장 지지 수용하는 것이다. 기판용 카세트(100)의 구성으로서는 유리 기판을 아래방면측으로부터 그 전체면에 걸쳐 직접 지지하기 위한 트레이 부재(150)와, 이 트레이 부재(150)의 적어도 주연부를 아래방면측으로부터 지지하기 위한 프레임 부재(110)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에 있어서는 트레이 부재(150)와 프레임 부재(110)와는 도 2의 단면으로 도시한 바와 같이, 트레이 부재(150)와 프레임 부재(110)와의 주연부에 있어서의 겹쳐지는 영역에 있어서, 적절히 알루미늄으로 이루어지는 리벳(180)(그 밖의 볼트, 나사 등의 체결 부재의 사용이 가능)을 이용하여 양자가 고정되어 있다.As an example, this board | substrate cassette 100 has an external dimension of 1630 mm (short side dimension) x 1930 mm (long side dimension), and accommodates one large glass substrate. As the structure of the cassette 100 for a board | substrate, the tray member 150 for directly supporting a glass substrate from the lower side to the whole surface, and the frame for supporting at least the periphery of this tray member 150 from the lower side The member 110 is provided. In this embodiment, as shown in the cross section of FIG. 2, the tray member 150 and the frame member 110 are suitably in the overlapping area in the peripheral part of the tray member 150 and the frame member 110, as appropriate. Both are fixed using the rivet 180 made of aluminum (other fastening members such as bolts and screws can be used).
(트레이 부재(150)의 구조)(Structure of Tray Member 150)
다음에, 도 3 및 도 4를 참조하여, 트레이 부재(150)의 구조에 대해 설명한다. 또한, 도 3에 있어서 (a)는 트레이 부재(150)의 평면도, (b)는 트레이 부재(150)의 측면도이고, 도 4는 도 3중 Ⅳ선 화살표 단면도이다.Next, the structure of the tray member 150 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. 3, (a) is a top view of the tray member 150, (b) is a side view of the tray member 150, and FIG. 4 is sectional drawing of the arrow IV of FIG.
본 실시 형태에 있어서의 트레이 부재(150)는 진공 성형법에 의해 성형된 1장의 플라스틱판으로 이루어지고, 재질로서는 폴리프로필렌(PP;Po1yproPylene), 폴리에틸렌(PE;Polyethylene), 폴리스티렌(PS;PolyStyrene), 아크릴로니트릴부타디엔스티렌(ABS;ACRYLONITRILE BUTADIENE STYRENE), 폴리술폰(PSF;Polysulfone) 등의 채용이 가능하다. 판두께는 약 2.0㎜ 정도이다. 또한, 진공 성형법에 한하지 않고, 발포 성형법, 사출 성형법 등의 채용도 가능하다.The tray member 150 in this embodiment consists of one plastic plate shape | molded by the vacuum molding method, As a material, Polypropylene (PP; Po1yproPylene), polyethylene (PE; Polyethylene), polystyrene (PS; PolyStyrene), Acrylonitrile butadiene styrene (ABS; ACRYLONITRILE BUTADIENE STYRENE), polysulfone (PSF; Polysulfone) and the like can be employed. The plate thickness is about 2.0 mm. Moreover, not only a vacuum molding method but employ | adopting a foam molding method, an injection molding method, etc. is also possible.
이 트레이 부재(150)는 직사각형 형상의 지지 플레이트 영역(151)과, 이 지지 플레이트 영역(151)의 주위에 마련된 장출(張出) 영역(152)을 가지고 있다. 본 실시 형태에 있어서는 지지 플레이트부(151)의 코너 영역에는 장출 영역(152)을 마련하지 않고, 지지 플레이트 영역(151)의 4변을 따라 장출 영역(152)이 마련되어 있다.The tray member 150 has a rectangular support plate region 151 and a elongated region 152 provided around the support plate region 151. In this embodiment, the unloading area | region 152 is provided along the four sides of the support plate area | region 151, without providing the unloading area | region 152 in the corner area | region of the support plate part 151. As shown in FIG.
지지 플레이트 영역(151)에는 행렬형상으로 규칙 바르게 배치된 평면 형상이 직사각형 형상의 오목부 영역(153)이 7렬 10행이 되도록 마련되어 있다. 지지 플레이트 영역(151)에 있어서 평면의 기준을 기준면(S)으로 한 경우, 오목부 영역(153)은, 이 기준면(S)은 아래측으로 향하여 움푹파인 오목부 형상으로 구성되어 있다. 이 오목부 영역(153)의 크기는 약 180㎜×약 145㎜ 정도의 크기로 되고, 그 깊이는 기준면(S)으로부터 약 20㎜ 정도이다.The support plate region 151 is provided such that the concave region 153 of the rectangular shape has a planar shape that is regularly arranged in a matrix form so that seven rows and ten rows are provided. In the case where the reference of the plane is the reference plane S in the support plate region 151, the recessed area 153 is configured in the shape of a recessed recess in which the reference plane S faces downward. The size of this recessed area 153 is about 180 mm x about 145 mm, and the depth is about 20 mm from the reference plane S. FIG.
이와 같이, 오목부 영역(153)을 마련하고 있는 것은 트레이 부재(150)의 경량화를 도모하는 한편, 트레이 부재(150)의 강성의 향상을 도모하기 위해서이다. 따라서, 오목부 영역(153)의 평면 형상은 직사각형 형상으로 한정되지 않고 원형 형상, 직사각형 형상, 다각형, 또는 그들의 조합을 채용하는 것이 가능하다. 또한, 선택된 오목부 영역(153)의 저면 부분에는 크기가 약 100㎜×약 130㎜의 개구부 (154)가 복수 마련되어 있다.Thus, the recessed area 153 is provided in order to reduce the weight of the tray member 150 and to improve the rigidity of the tray member 150. Therefore, the planar shape of the recessed area 153 is not limited to the rectangular shape, and it is possible to employ a circular shape, a rectangular shape, a polygon, or a combination thereof. Further, a plurality of openings 154 having a size of about 100 mm x about 130 mm are provided in the bottom portion of the selected recessed area 153.
또한, 지지 플레이트 영역(151)의 기준면(S)의 소정 영역에는 기판을 아래방면측으로부터 직접 접하여 지지하고, 기준면(S)으로부터 위측을 향하여 돌출하는 기판 지지 볼록부(156)가 복수 마련되어 있다. 이 기판 지지 볼록부(156)의 높이는 기준면(S)으로부터 약 5㎜ 정도이다. 또한, 기판 지지 볼록부(156)의 수량은 기판에 비틀림을 생기게 하지 않고 기판을 지지하는 관점에서, 본 실시 형태에 있어서는 5×7 = 35개 마련하고 있고, 또한, 기판 지지 볼록부(156)의 꼭데기점은 동일 평면상에 위치하도록 마련된다.In the predetermined region of the reference plane S of the support plate region 151, a plurality of substrate support protrusions 156 are provided, which directly support the substrate from the lower side and protrude upward from the reference plane S. The height of this board | substrate support convex part 156 is about 5 mm from the reference surface S. FIG. In addition, the quantity of the board | substrate support convex part 156 is 5x7 = 35 in this embodiment from a viewpoint of supporting a board | substrate, without making a board twist, and the board | substrate support convex part 156 The vertex of is provided to be located on the same plane.
또한, 이 기판 지지 볼록부(156)는 트레이 부재(150)의 성형시에 동시에 마련하는 것도 가능하지만, 기판의 미끄럼 및 발진을 더욱 억제하는 관점에서, 발진 방지성 수지(예를 들면, 폴리에테르테테르케톤, 폴리이미드, 포리에테르이미드, 폴리아세타르, 폴리아미드, 초고분자량 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌, 각종 엘라스토머 등)의 성형체를 후처리 공정에 의해 부착하는 것도 가능하다. 또한, 발진 방지성 수지의 성형체를 이용하는 경우에는 필러를 실질적으로 배합하지 않은 내츄럴품을 이용하는 것이 바람직하다.In addition, although the board | substrate support convex part 156 can also be provided at the time of shaping | molding of the tray member 150, from a viewpoint which further suppresses slipping and an oscillation of a board | substrate, anti-rashing resin (for example, polyether It is also possible to attach a molded product of terterketone, polyimide, polyetherimide, polyacetar, polyamide, ultra high molecular weight polyethylene, polytetrafluoroethylene, various elastomers, etc.) by a post-treatment step. In addition, when using the molded object of anti-dust resin, it is preferable to use the natural product which does not mix | blend a filler substantially.
또한, 장출 영역(152)은 도 4에 도시한 바와 같이 기판 측면의 위치 결정을 행하기 위해, 기준면(S)으로부터 위측을 향하여 돌출하는 제 1 볼록부(152a), 프레임 부재(110)와 걸어맞추기 위해 제 1 볼록부(152a)보다도 더 위측을 향해 돌출하는 제 2 볼록부(152b) 및 프레임 부재(110)에 대한 위치 결정을 확실한 것으로 하기 위한 되돌림부(152d)가 마련되어 있다. 또한, 제 2 볼록부(152b)에는 적절히 프레임 부재(110)와의 리벳 고정을 위한 아래 구멍(152c)이 마련되어 있다.In addition, the unloading region 152 is engaged with the first convex portion 152a and the frame member 110 which protrude upward from the reference plane S to position the side surface of the substrate as shown in FIG. 4. In order to match, the return part 152d for ensuring the positioning with respect to the 2nd convex part 152b and frame member 110 which protrude upward more than the 1st convex part 152a is provided. Moreover, the lower hole 152c for rivet fixing with the frame member 110 is provided in the 2nd convex part 152b suitably.
(프레임 부재(110)의 구조)(Structure of Frame Member 110)
다음에, 도 5 내지 도 7을 참조하여 프레임 부재(110)의 구조에 관해 설명한다. 또한, 도 5는 프레임 부재(110)의 평면도, 도 6은 프레임 부재(110)의 코너부의 부분 확대 평면도, 도 7은 도 6중 Ⅶ선 화살표 단면도이다.Next, the structure of the frame member 110 will be described with reference to FIGS. 5 to 7. 5 is a plan view of the frame member 110, FIG. 6 is a partially enlarged plan view of a corner portion of the frame member 110, and FIG.
본 실시 형태에 있어서의 프레임 부재(110)는 도 5에 도시한 바와 같이 직사각형 형상으로 이루어지고, 4변의 프레임을 구성하는 바깥테두리 프레임 부재(111)와, 코너부에 있어서 각 바깥테두리 프레임 부재(111)를 연결하는 코너 연결 부재(112)와 보조 프레임(113)으로 구성되어 있다.As shown in Fig. 5, the frame member 110 according to the present embodiment has a rectangular shape, and includes an outer edge frame member 111 constituting four sides of the frame, and each outer edge frame member (in the corner portion). It consists of the corner connecting member 112 and the auxiliary frame 113 which connect 111.
바깥테두리 프레임 부재(111)와 코너 연결 부재(112)와의 연결 및 바깥테두리 프레임 부재(111)와 보조 프레임(113)과의 연결에는 적절히 알루미늄으로 이루어지는 리벳(그 밖의 볼트, 나사 등의 체결 부재의 사용이 가능)이 사용되고 있다. 또한, 보조 프레임(113)이 마련되는 수량은 1개에 한정되지 않고, 프레임 부재(110)의 크기에 대응하여 복수개 마련하는 것이 가능하고, 또한, 바깥테두리 프레임 부재(111)에 대해, 「=」, 「+」, 「≠」, 「井」, 「/」, 「×」, 「××」자 형상으로 배치하는 것도 가능하다.The connection between the outer frame member 111 and the corner connecting member 112 and the connection between the outer frame member 111 and the auxiliary frame 113 is appropriately made of a rivet made of aluminum (another fastening member such as a bolt or a screw). Available) is used. The number of the auxiliary frames 113 is not limited to one, but a plurality of auxiliary frames 113 can be provided corresponding to the size of the frame member 110. "," + "," ≠ "," 井 "," / "," x "," xx "can also be arranged in the shape.
바깥테두리 프레임 부재(111)는 경량화, 강성의 관점에서 스테인리스(SUS), 알루미늄(Al) 부재 등이 사용된다. 그 단면 형상은 도 7에 도시한 바와 같이, 대략 ㄷ자 형상으로 이루어지고, 입벽부(111a)와, 상벽부(111b)와, 저벽부(111c)와, 외방으로 삐저나오는 장출벽부(111d)를 구비하고 있다. 또한, 저벽부(111c)와 장출벽부(111d)에 의해 바깥측을 향하여 개방하는 형상이 채용되고 있다. 또한, 입벽부 (111a)의 높이는 약 50㎜ 정도, 상벽부(111b)의 폭은 약 17㎜ 정도, 장출벽부 (111d)가 삐저나오는 길이는 약 17㎜ 정도이다.The outer frame member 111 is made of stainless steel (SUS), aluminum (Al) or the like from the viewpoint of weight reduction and rigidity. As shown in Fig. 7, the cross-sectional shape is formed in a substantially C shape, and the mouth wall portion 111a, the upper wall portion 111b, the bottom wall portion 111c, and the elongated wall portion 111d protruding outward are shown. Equipped. Moreover, the shape which opens toward the outer side by the bottom wall part 111c and the elongate wall part 111d is employ | adopted. In addition, the height of the mouth wall part 111a is about 50 mm, the width of the upper wall part 111b is about 17 mm, and the length which the elongate wall part 111d protrudes is about 17 mm.
이와 같이, 바깥측을 향하여 개방하는 형상을 채용함으로써, 기판용 카세트(100)의 약액 등에 의한 세정시에 있어서도 바깥테두리 프레임 부재(111)는 바깥측을 향하여 개방하고 있기 때문에, 약액 등의 액체는 바깥테두리 프레임 부재(111)의 내부에 고이는 일 없이 배수됨과 함께, 용이하게 바깥테두리 프레임 부재(111) 내면의 건조를 행하는 것이 가능해진다. 또한, 장출벽부(111d)를 마련함으로 사람의 손에 의한 운반을 가능하게 함과 함께, 롤러 반송에 있어서의 가이드로서의 역할을 부과할 수 있다.In this way, by adopting a shape that opens toward the outside, the outer edge frame member 111 is open toward the outside even when the substrate cassette 100 is cleaned by the chemical solution or the like, so that liquids such as chemical While it is drained without accumulating inside the outer frame member 111, it becomes possible to dry the inner surface of the outer frame member 111 easily. In addition, by providing the elongated wall portion 111d, it is possible to carry by the hand of a person and play a role as a guide in roller conveyance.
또한, 상술한 바와 같이 프레임 부재(110)의 네모퉁이의 코너부에는 코너 연결 부재(112)가 마련되고, 이 코너 연결 부재(112)의 단면 형상은 도 7에 도시한 바와 같이 장출벽부(111d)의 상측에 위치하는 제 1 벽(112a)과, 이 제 1 벽(112a)으로부터 횡방향으로 늘어나고, 상벽부(111b)의 윗면에 위치하는 제 2 벽(112b)과, 제 1 벽(112a)의 상단부측에 있어서, 외측을 향하여 삐저나오는 제 3 벽(112c)을 구비하고 있다. 제 1 벽(112a)의 내측에 있어서 제 2 벽(112b)보다도 아래측의 위치에서는 아래측을 향함에 따라 서서히 판두께가 줄어드는 테이퍼면(112d)이 형성되어 있다. 이 테이퍼면(112d)에 의해 바깥테두리 프레임 부재(111)에 대한 코너 연결 부재(112)의 위치 결정이 용이하게 실현된다.In addition, as described above, the corner connecting member 112 is provided at the corners of the four corners of the frame member 110, and the cross-sectional shape of the corner connecting member 112 is the elongated wall portion 111d as shown in FIG. 7. 1st wall 112a located in the upper side of (), the 2nd wall 112b located in the upper surface of the upper wall part 111b, extending laterally from this 1st wall 112a, and 1st wall 112a. At the upper end part side of side), it is provided with the 3rd wall 112c which protrudes outward. At the position below the second wall 112b inside the first wall 112a, a tapered surface 112d is formed in which the plate thickness gradually decreases toward the lower side. This tapered surface 112d facilitates positioning of the corner connecting member 112 with respect to the outer rim frame member 111.
또한, 제 1 벽(112a)의 내측에 있어서, 제 2 벽(112b)보다도 위측의 위치에 있어서는 아래측을 향함에 따라 서서히 판두께가 줄어드는 테이퍼면(112e)이 형성되어 있다. 이 테이퍼면(112e)에 의해 기판용 카세트(100)를 겹쳐쌓은 경우에, 제 2 벽(112b)의 윗면에 바깥테두리 프레임 부재(111)의 저벽부(111c)가 재치되게 되는데, 바깥테두리 프레임 부재(111)의 위치 결정을 용이하게 행하는 것이 가능해짐과 함께, 겹쳐쌓은 상태에 있는 기판용 카세트(100)로부터 위에 재치된 기판용 카세트(100)를 용이하게 분리하는 것을 가능하게 한다.Moreover, in the inside of the 1st wall 112a, in the position above the 2nd wall 112b, the taper surface 112e which gradually reduces plate | board thickness is formed as it goes below. When the cassette cassette 100 for the board | substrate is piled up by this taper surface 112e, the bottom wall part 111c of the outer edge frame member 111 is mounted on the upper surface of the 2nd wall 112b, but the outer edge frame While it becomes possible to easily position the member 111, it is possible to easily separate the substrate cassette 100 placed thereon from the substrate cassette 100 in the stacked state.
(작용·효과)(Action, effect)
상기 구성으로 이루어지는 기판용 카세트(100)에 의하면, 도 2의 단면도에 도시한 바와 같이 기판 지지 볼록부(156)의 꼭데기점에 의해 형성된 평면상에 있어서, 유리 기판(1)에 대해 비틀림을 생기게 하는 일 없이, 또한, 트레이 부재(150)와의 접촉면적의 저감을 도모함에 의한 저발진하에서, 유리 기판(1)을 안정적으로 유지하는 것을 가능하게 한다.According to the cassette 100 for a board | substrate which consists of the said structure, as shown in sectional drawing of FIG. 2, it twists with respect to the glass substrate 1 in the plane formed by the vertex point of the board | substrate support convex part 156. Further, the glass substrate 1 can be stably maintained under low oscillation by reducing the contact area with the tray member 150.
또한, 트레이 부재(150)와 프레임 부재(110)와의 2중 구조로 구성함으로서, 유리 기판(1)을 아래방면측으로부터 지지하기 위한 트레이 부재(150)에는 경량화의 관점에서 수지 재료를 이용하고, 트레이 부재(110)를 아래방면측으로부터 지지하기 위한 프레임 부재(110)에는 강성, 내열성의 관점에서 금속 재료를 이용함에 의해 기판용 카세트(100)에 요구되는 운반·제조가 용이할 것, 저발진성, 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성, 치수 제도 등의 다양한 요구를 만족시키는 것이 가능하게 된다.Moreover, by constructing in the double structure of the tray member 150 and the frame member 110, the resin material is used for the tray member 150 for supporting the glass substrate 1 from the downward side from a weight reduction viewpoint, The frame member 110 for supporting the tray member 110 from the lower side side should be easily transported and manufactured for the substrate cassette 100 by using a metal material in terms of rigidity and heat resistance, and low dust resistance. It is possible to satisfy various requirements such as heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low cost, and dimension drawing.
또한, 선택된 오목부 영역(153)의 저면 부분에 개구부(154)를 복수 마련하여 둠으로서, 도 8에 도시한 바와 같이 외부 반송 장치(200)에 마련되는 기판 승강 핀(210)에 의해, 기판용 카세트(100)에 지지된 유리 기판의 승강을 실현시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 도 9에 도시한 바와 같이, 포크리프트의 반송 아암(400)을 기판용 카세트(100)와 유리 기판(1)과의 사이에 삽입시키는 것이 가능하게 되고, 기판용 카세트(100)에의 유리 기판(1)의 반입 및 기판용 카세트(100)로부터 유리 기판(1)의 반출을 용이하게 행하는 것이 가능해지고, 용이하게 공정간의 기판반송을 가능하게 한다.In addition, by providing a plurality of openings 154 in the bottom portion of the selected recess region 153, the substrate lifting pins 210 provided in the external transport apparatus 200 as shown in FIG. 8 provide a substrate. It becomes possible to realize the lifting and lowering of the glass substrate supported by the cassette 100 for. As a result, as shown in FIG. 9, it becomes possible to insert the conveyance arm 400 of a forklift between the board | substrate cassette 100 and the glass substrate 1, and to the board | substrate cassette 100. Loading of the glass substrate 1 and carrying out of the glass substrate 1 from the cassette cassette 100 for the substrate can be performed easily, and the substrate transfer between the processes can be easily performed.
또한, 도 10에 도시한 바와 같이 개구부(154)에 기판 반송 롤러(220)를 통과시킴으로서 도 11에 도시한 바와 같이 기판용 카세트(100)에 대해, 유리 기판(1)을 상승시킴과 함께, 반송 장치(500)의 반송 롤러(510)에의 유리 기판(1)의 반송·반출을 용이하게 실시시키는 것도 가능하게 되어, 용이하게 공정간의 기판 반송을 가능하게 한다.As shown in FIG. 10, the substrate conveying roller 220 is passed through the opening 154 to raise the glass substrate 1 relative to the cassette 100 for the substrate as shown in FIG. 11. It is also possible to easily convey and carry out the glass substrate 1 to the conveyance roller 510 of the conveyance apparatus 500, and enables the conveyance of the board | substrate between processes easily.
또한, 프레임 부재(110)의 네모퉁이의 코너부에 코너 연결 부재(112)를 마련하고, 기판용 카세트(100)의 겹쳐쌓음을 가능하게 하는 구성을 채용하고 있기 때문에, 도 12에 도시한 바와 같이 팔레트(600)상에 복수의 기판용 카세트(100)의 겹쳐쌓음으로 공장간의 반송을 가능하게 한다.In addition, since the corner connecting member 112 is provided at the corners of the four corners of the frame member 110 and the stacking of the substrate cassette 100 is enabled, the configuration shown in FIG. Likewise, the stacking of the plurality of substrate cassettes 100 on the pallet 600 enables transport between factories.
또한, 상기 기판용 카세트(100)에 있어서 트레이 부재(150)에 마련되는 오목부 영역(153)으로의 먼지, 세정액 등의 침입 및 축적이 문제가 되는 경우가 고려된다. 이와 같은 경우에는 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이 오목부 영역(153)을 덮는 탄성 변형 가능한 시트형상 부재(158)를 마련하는 구성의 채용도 가능하다. 이 구성에 의해 오목부 영역(153)은 시트형상 부재(158)에 의해 덮혀 있기 때문에, 오목부 영역(153) 내로의 먼지, 세정액 등의 침입 및 축적을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 시트형상 부재(158)는 각 오목부 영역(153)에 대응하도록 마련되는 경우를 도시하고 있지만, 복수의 오목부 영역(153)을 1장의 시트형상 부재(158)에 의해 덮는 구성의 채용도 가능하다.In addition, the case where the intrusion and accumulation of dust, a cleaning liquid, etc. into the recessed area 153 provided in the tray member 150 in the substrate cassette 100 becomes a problem is considered. In such a case, the structure which provides the elastically deformable sheet-like member 158 which covers the recess area | region 153 as shown in FIG. 13 and FIG. 14 is also employable. By this structure, since the recessed part area | region 153 is covered by the sheet-like member 158, it becomes possible to prevent invasion and accumulation | suction of dust, washing | cleaning liquid, etc. in the recessed area | region 153. As shown in FIG. In addition, although the sheet-like member 158 is shown in the case provided so as to correspond to each recessed part area | region 153, the adoption of the structure which covers the several recessed part area | region 153 by the sheet-like member 158 is employ | adopted. It is also possible.
또한, 개구부(154)를 갖는 오목부 영역(153)에 있어서도, 시트형상 부재(158)는 탄성 변형 가능한 재료가 사용되고 있기 때문에, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 기판 승강 핀(210) 등이 이 개구부(154)를 통과하는 경우에는, 시트형상 부재(158)가 탄성 변형함에 의해 늘어나기 때문에, 기판 승강 핀(210) 등의 상승 동작을 방해하는 일 없이 유리 기판을 상승시킬 수 있다.In addition, also in the concave portion 153 having the opening 154, since the sheet-shaped member 158 is made of a material that is elastically deformable, as shown in FIGS. 15 and 16, the substrate lifting pins 210 are used. When the back passes through the opening 154, the sheet-like member 158 is stretched by elastic deformation, so that the glass substrate can be raised without disturbing the lifting operation of the substrate lifting pins 210 and the like. .
(실시 형태 2)(Embodiment 2)
다음에, 도 17 및 도 18을 참조하여, 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트(300)의 개략 구성에 관해 설명한다. 또한, 도 17은 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트(300)의 구성을 도시한 전체 평면 사시도이고, 도 18은 도 17중 XⅧ-XⅧ선 화살표 단면도이다.Next, with reference to FIG. 17 and FIG. 18, the schematic structure of the board | substrate cassette 300 in this embodiment is demonstrated. FIG. 17 is an overall plan perspective view showing the structure of the substrate cassette 300 in the present embodiment, and FIG. 18 is an sectional view taken along the line X-X 'of FIG. 17.
(기판용 카세트(300)의 전체 구성)(Overall Configuration of Substrate Cassette 300)
이 기판용 카세트(300)의 외형 치수는 상기 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트(100)와 거의 같다. 상기 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트(100)의 구성에 있어서는 트레이 부재(150)와 프레임 부재(110)와의 2중 구조를 특징으로 하고 있으나, 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트(300)는 트레이 부재를 채용하지 않고, 프레임 부재(310)에 격자형상으로 설치되는 보조 프레임(313)의 윗면측에 보조 프레임(313)이 늘어나는 방향을 따라 설치되는 지지 부재(314)를 설치한 2중 구조를 특징으로 하고 있다.The external dimension of this substrate cassette 300 is substantially the same as that of the substrate cassette 100 in the first embodiment. In the configuration of the substrate cassette 100 in the first embodiment, the double structure of the tray member 150 and the frame member 110 is characterized, but the substrate cassette 300 in the present embodiment Does not employ a tray member, and the support member 314 provided along the direction in which the auxiliary frame 313 extends on the upper surface side of the auxiliary frame 313 that is provided in a lattice shape on the frame member 310 is doubled. It features a structure.
구체적인 구성으로서는 우선, 도 17에 도시한 바와 같이 프레임 부재(310)는 직사각형 형상으로 이루어지고, 4변의 프레임을 구성하는 바깥테두리 프레임 부재(311)와, 코너부에 있어서 각 바깥테두리 프레임 부재(311)를 연결하는 코너 연결 부재(312)와, 격자형상으로 복수 배열된 보조 프레임(313)으로 구성되어 있다.As a specific structure, first, as shown in FIG. 17, the frame member 310 is formed in rectangular shape, the outer edge frame member 311 which comprises four sides of the frame, and each outer edge frame member 311 in a corner part are made. ), And a corner connecting member 312 for connecting the () and a plurality of auxiliary frames 313 arranged in a lattice shape.
바깥테두리 프레임 부재(311)와 코너 연결 부재(312)와의 연결 및 바깥테두리 프레임 부재(311)와 보조 프레임(313)과의 연결 구조는 상기 실시 형태 1과 같다. 또한, 보조 프레임(313)이 마련되는 수량은 프레임 부재(310)의 크기에 대응하여 적절히 변경하는 것이 가능하다. 또한, 바깥테두리 프레임 부재(311)에 대해, 「≠」, 「/」, 「×」, 「××」자 형상으로 배치하는 것도 가능하다.The connection structure between the outer frame member 311 and the corner connecting member 312 and the connection structure between the outer frame member 311 and the auxiliary frame 313 are the same as those of the first embodiment. In addition, the quantity of the auxiliary frame 313 is provided can be appropriately changed corresponding to the size of the frame member 310. Moreover, it is also possible to arrange | position in the shape of "≠", "/", "x", and "xx" with respect to the outer border frame member 311.
바깥테두리 프레임 부재(311)는 경량화, 강성의 관점에서 스테인리스(SUS), 알루미늄(Al) 부재 등이 사용된다. 그 단면 형상은 상기 실시 형태 1과 같다. 또한, 프레임 부재(310)의 네모퉁이의 코너부에 마련되는 코너 연결 부재(312)의 구성도 상기 실시 형태 1과 같다.The outer frame member 311 is made of stainless steel (SUS), aluminum (Al), or the like from the viewpoint of weight reduction and rigidity. The cross-sectional shape is the same as that of the first embodiment. Moreover, the structure of the corner connection member 312 provided in the corner | angular corner of the four corners of the frame member 310 is also the same as that of the said 1st Embodiment.
보조 프레임(313)의 단면 형상은 도 18(a)에 도시한 바와 같이 위측에 개구부를 갖는 대략 C채널형의 단면 형상을 갖고 있다. 또한, 보조 프레임(313)의 개구 부분에는 보조 프레임(313)의 내부에 수용되는 몸통부(胴部) 영역(314a), 이 몸통부 영역(314a)으로부터 바깥측을 향하여 몸통부 영역(314a)보다도 폭이 좁게 마련된 목부(首部) 영역(314b) 및 보조 프레임(313)의 윗면부로부터 외방으로 노출하고 .기판을 직접 지지하고, 그 표면이 만곡 형상으로 마련된 머리부 영역(314c)으로 이루어지는 지지 부재(314)가 끼워져 있다. 기판은 지지 부재(314)의 머리부 영역(314c)의 정수리부 영역에 의해 규정되는 동일 평면상에 재치된다.The cross-sectional shape of the auxiliary frame 313 has a substantially C-channel cross-sectional shape having an opening on the upper side as shown in Fig. 18A. In addition, in the opening portion of the auxiliary frame 313, a body region 314a accommodated inside the auxiliary frame 313, and a body region 314a toward the outside from the body region 314a. The support consists of a neck region 314b, which is provided with a narrower width, and a head region 314c, which is exposed outward from the upper surface of the auxiliary frame 313 and directly supports the substrate, and whose surface is curved. The member 314 is fitted. The substrate is placed on the same plane defined by the crown region of the head region 314c of the support member 314.
이 지지 부재(314)는 기본적으로는 모든 보조 프레임(313)의 윗면측에, 보조 프레임(313)이 늘어나는 방향을 따라 설치되는 것이 바람직하지만, 적절히 선택적으로 선택된 영역에 부분적으로 마련하는 것도 가능하다.It is preferable that the supporting member 314 is basically provided on the upper surface side of all the auxiliary frames 313 along the direction in which the auxiliary frames 313 extend, but it is also possible to partially provide the supporting member 314 in an appropriately selected region. .
또한, 보조 프레임(313)의 단면 형상은 도 18(a)에 도시한 것에 한정되지 않고, 예를 들면, 도 18(b)에 도시한 바와 같이 단면이 T자 형상의 보조 프레임(313)을 이용하고, 이 보조 프레임(313)을 대략 덮으며, 그 표면이 만곡 형상으로 마련된 머리부 영역을 갖는 지지 부재(314)를 보조 프레임(313)이 늘어나는 방향을 따라 설치하는 것도 가능하다.In addition, the cross-sectional shape of the auxiliary frame 313 is not limited to what is shown in FIG. 18 (a), For example, as shown in FIG. 18 (b), the cross-section is the T-shaped auxiliary frame 313 It is also possible to provide the support member 314 which substantially covers this auxiliary frame 313 and has the head area | region provided in the curved shape along the direction which the auxiliary frame 313 extends.
보조 프레임(313)에의 지지 부재(314)의 부착은 프레임 부재(310)를 조립하기 전에, 보조 프레임(313)의 길이 방향으로 미리 지지 부재(314)를 삽입하여 둠으로써 용이하게 실현시키는 것이 가능하다.The attachment of the support member 314 to the auxiliary frame 313 can be easily realized by inserting the support member 314 in the longitudinal direction of the auxiliary frame 313 before assembling the frame member 310. Do.
지지 부재(314)의 재료로서는 기판의 미끄럼 및 발진을 더 억제하는 관점에서 발진 방지성 수지(예를 들면, 폴리에테르에테르케톤, 폴리이미드, 폴리에테르이미드, 폴리아세탈, 폴리아미드, 초고분자량 폴리에틸렌, 폴리테트라플로오로에틸렌, 각종 엘라스토머 등)의 성형체를 이용하는 것이 가능하다. 또한, 발진 방지성 수지의 성형체를 이용하는 경우에는 필러를 실질적으로 배합하지 않은 내츄럴품을 이용하는 것이 바람직하다.Examples of the material for the support member 314 include anti-dust resins (e.g., polyetheretherketone, polyimide, polyetherimide, polyacetal, polyamide, ultra high molecular weight polyethylene, from the viewpoint of further suppressing slippage and oscillation of the substrate). It is possible to use a molded article of polytetrafluoroethylene, various elastomers and the like). In addition, when using the molded object of anti-dust resin, it is preferable to use the natural product which does not mix | blend a filler substantially.
(작용·효과)(Action, effect)
상기 구성으로 이루어지는 기판용 카세트(300)에 의하면, 지지 부재(314)의 꼭데기점에 의해 형성되는 평면상에 있어서, 유리 기판(1)에 대해 비틀림이 생기는 일 없이 유리 기판(1)을 안정적으로 유지하는 것을 가능하게 한다.According to the board | substrate cassette 300 which consists of the said structure, on the plane formed by the vertex point of the support member 314, the glass substrate 1 is stably stably without twisting with respect to the glass substrate 1 Makes it possible to maintain.
(실시 형태 3)(Embodiment 3)
다음에, 도 19를 참조하여 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트의 개략 구성에 관해 설명한다. 또한, 도 19는 본 실시 형태에 있어서의 기판용 카세트에 이용되는 코너 연결 부재(350)의 구성을 도시한 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.Next, with reference to FIG. 19, the outline structure of the board | substrate cassette in this embodiment is demonstrated. 19 is a figure which shows the structure of the corner connecting member 350 used for the cassette for board | substrates in this embodiment, (A) is a top view, (B) is a side view.
상기 실시 형태 1 및 2에 있어서, 기판용 카세트(100)에 적용되는 코너 연결 부재(112) 및 기판용 카세트(300)에 적용되는 코너 연결 부재(312)는 어느것이나 수지 성형품으로 구성되어 있다.In Embodiment 1 and 2, the corner connecting member 112 applied to the cassette 100 for a board | substrate and the corner connecting member 312 applied to the cassette for a board | substrate 300 are comprised with resin molded articles.
여기서, 도 12를 재차 참조하여, 코너 연결 부재(112)는 팔레트(600)상에 복수의 기판용 카세트(100)를 상호 위치 결정하여 겹쳐쌓아 공장간의 반송을 가능하게 하고 있다. 그러나, 수지 성형품의 경우 치수 오차가 비교적 크기 때문에, 기판용 카세트(100)를 겹쳐쌓은 경우에는 오차가 누적되어, 겹쳐쌓인 기판용 카세트(100)의 전체 높이가 크게 되어 버리는 것이 고려된다. 기판용 카세트(300)에 적용되는 코너 연결 부재(312)에 있어서도 마찬가지이다.Here, with reference again to FIG. 12, the corner connecting member 112 mutually positions and stacks the plurality of substrate cassettes 100 on the pallet 600 to enable conveyance between factories. However, in the case of the resin molded article, since the dimensional error is relatively large, when the substrate cassettes 100 are stacked, the errors are accumulated, and it is considered that the overall height of the stacked substrate cassettes 100 becomes large. The same applies to the corner connecting member 312 applied to the cassette 300 for a substrate.
그래서, 본 실시 형태에 있어서의 코너 연결 부재(350)에서는 기본적인 구성은 상기 코너 연결 부재(112, 312)와 같지만, 겹쳐쌓인 영역에 금속제 블록을 매입하는 구성을 채용하고 있는 것을 특징으로 한다.Therefore, in the corner connecting member 350 of the present embodiment, the basic configuration is the same as that of the corner connecting members 112 and 312, but a feature of embedding a metal block in an overlapped area is adopted.
구체적으로는, 도 19에 도시한 바와 같이 이 코너 연결 부재(350)는 바깥테두리 프레임에 연결되는 수지 연결 아암(352, 353)과, 수지제 코너 부재(351)를 구비하고 있다. 수지제 코너 부재(351)에는 위치 결정 벽(351a)이 마련됨과 함께, 수지제 코너 부재(351)의 대략 중앙 영역에는 알루미늄 등으로 이루어지는 통형상의 금속제 블록(355)이 매입되어 있다. 금속제 블록(355)의 윗면에 대응하는 위치에는, 위측을 향하여 돌출하는 영역으로 이루어지는 상측 맞닿는 영역(351u)과, 금속제 블록(355)의 하면에 대응하는 위치에, 아래측을 향하여 돌출하는 영역으로 이루어지는 하측 맞닿음 영역(351d)이 마련되어 있다. 상측 맞닿음 영역(351u) 및 하측 맞닿음 영역(351d)은 어느것이나 막두께 0.5㎜ 내지 1,0㎜ 정도, 금속제 블록(355)의 상하 단면이 덮혀진 영역으로 이루어진다. 또한, 금속제 블록(355)의 상하 단면을 노출시키고, 금속제 블록(355) 그 자신에 의해 맞닿음 영역(351u) 및 하측 맞닿음 영역(351d)을 형성하는 구성도 가능하다.Specifically, as shown in FIG. 19, this corner connecting member 350 is provided with resin connecting arms 352 and 353 connected to the outer rim frame, and a resin corner member 351. A positioning wall 351a is provided in the resin corner member 351, and a cylindrical metal block 355 made of aluminum or the like is embedded in the substantially center region of the resin corner member 351. In the position corresponding to the upper surface of the metal block 355, the upper abutting region 351u consisting of a region projecting toward the upper side, and the region projecting toward the lower side at a position corresponding to the lower surface of the metal block 355 A lower contact area 351d is formed. The upper contact area 351u and the lower contact area 351d each include a region in which the upper and lower end surfaces of the metal block 355 are covered with a film thickness of about 0.5 mm to 1,0 mm. Moreover, the structure which exposes the upper and lower end surfaces of the metal block 355, and forms the contact area | region 351u and the lower contact area | region 351d by the metal block 355 itself is also possible.
(작용·효과)(Action, effect)
이와 같이, 금속제 부록(355)을 수지제 코너 부재(351)에 매입함에 의해, 코너 연결 부재(350)의 높이는 수지 성형품이라도 금속제 블록(355)의 높이에 지배되게 된다. 여기서, 기계 가공에 의해 제조되는 금속제 블록의 높이의 치수 오차는 수지 성형품보다도 작게 할 수 있다. 따라서, 수지제 코너 부재(351)를 이용하여 기판용 카세트를 높이 방향으로 겹쳐쌓은 경우라도, 상측 맞닿음 영역(351u)과 하측당 맞닿음 영역(351d)이 맞닿으면서 겹쳐쌓이기 때문에, 전체의 겹쳐쌓음 치수 오차는 수지 성형품만으로 이루어지는 코너 연결 부재에 비하여 금속제 블록을 갖는 코너 연결 부재(351) 쪽을 작게 할 수 있다.Thus, by embedding the metal appendix 355 in the resin corner member 351, the height of the corner connecting member 350 is governed by the height of the metal block 355 even in the resin molded article. Here, the dimension error of the height of the metal block manufactured by machining can be made smaller than a resin molded article. Therefore, even when the substrate cassette is stacked in the height direction using the resin corner member 351, the upper contacting area 351u and the lower contacting area 351d overlap with each other, so that they are overlapped. The overlap dimension error can make the corner connection member 351 side which has a metal block smaller than the corner connection member which consists only of a resin molded article.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서는 유리 기판을 반송하는 기판용 카세트(100)를 한 예로 하여 나타냈지만 마찬가지 성질을 갖는 대형의 박판형상으로 이루어지는 기반(基盤)에 대해서도 적용하는 것은 가능하다.In addition, in each said embodiment, although showing the board | substrate cassette 100 which conveys a glass substrate as an example, it is applicable also to the base which consists of a large thin plate shape which has the same property.
또한, 트레이 부재 및 프레임 부재로서 사용되는 재료는 상술한 재료에 한정되는 것이 아니고, 적절히 요구되는 조건에 적합하도록 변경하는 것이 가능하다.In addition, the material used as a tray member and a frame member is not limited to the above-mentioned material, It is possible to change so that it may suit suitably required conditions.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 상기한 실시 형태만에 의해 해석되는 것이 아니라, 특허청구의 범위의 기재에 의거하여 확정된다. 또한, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.Therefore, the technical scope of this invention is not interpreted only by said embodiment, It is determined based on description of a claim. Also included are all equivalents of the claims and their equivalents.
본 발명에 의거한 기판용 카세트에 의하면, 운반·제조가 용이할 것, 저발진성, 내열 성능, 내약품성, 도전성, 경량성, 저코스트성, 치수 제도 등의 다양한 요구를 만족시키는 것이 가능한 구조를 구비하는 기판용 카세트를 제공하는 것이 가능해진다.According to the substrate cassette according to the present invention, a structure capable of satisfying various requirements such as easy transportation and manufacturing, low oscillation resistance, heat resistance, chemical resistance, conductivity, light weight, low cost, dimensional drawing, etc. It is possible to provide a cassette for a substrate to be provided.
도 1은 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트의 구성을 도시한 전체 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The whole perspective view which shows the structure of the board | substrate cassette in Embodiment 1. FIG.
도 2는 도 1중 Ⅱ선 화살표 단면도.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II in FIG. 1. FIG.
도 3(a)는 트레이 부재의 평면도, (b)는 트레이 부재의 측면도.(A) is a top view of a tray member, (b) is a side view of a tray member.
도 4는 도 3중의 Ⅳ선 화살표 단면도.4 is a cross-sectional view taken along the line IV in FIG. 3.
도 5는 실시 형태 1에 있어서의 프레임 부재의 평면도.5 is a plan view of the frame member according to the first embodiment.
도 6은 실시 형태 1에 있어서의 프레임 부재의 코너부의 부분 확대 평면도.6 is a partially enlarged plan view of a corner portion of the frame member according to the first embodiment.
도 7은 도 6중 Ⅶ선 화살표 단면도.7 is a cross-sectional view taken along the line of the arrow of FIG. 6.
도 8은 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트의 사용 형태를 도시한 제 1 사시도.FIG. 8 is a first perspective view showing a usage form of the cassette for substrate in Embodiment 1. FIG.
도 9는 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트의 사용 형태를 도시한 제 2 사시도.FIG. 9 is a second perspective view showing a usage form of the cassette for substrate in Embodiment 1. FIG.
도 10은 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트의 사용 형태를 도시한 제 3 사시도.FIG. 10 is a third perspective view showing a usage form of the cassette for substrate in Embodiment 1. FIG.
도 11은 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트의 사용 형태를 도시한 제 4 사시도.FIG. 11 is a fourth perspective view showing the use mode of the cassette for substrate in Embodiment 1. FIG.
도 12는 실시 형태 1에 있어서의 기판용 카세트의 사용 형태를 도시한 제 5 사시도.12 is a fifth perspective view showing a usage form of the substrate cassette according to the first embodiment;
도 13은 트레이 부재의 오목부 영역을 덮는 시트형상 부재를 마련한 경우의 부분 사시도.The partial perspective view at the time of providing the sheet-like member which covers the recessed part area | region of a tray member.
도 14는 도 13중 XⅣ-XⅣ선 화살표 단면도.14 is a cross-sectional view taken along the line XIV-XIV in FIG. 13.
도 15는 시트형상 부재가 기판 승강 핀에 의해 늘어난 상태를 도시한 부분 사시도.Fig. 15 is a partial perspective view showing a state where the sheet member is extended by the substrate lifting pins.
도 16은 도 15중 XⅥ-XⅥ선 화살표 단면도.16 is a cross-sectional view taken along the line XVI-XVI in FIG. 15.
도 17은 실시 형태 2에 있어서의 기판용 카세트의 구성을 도시한 전체 사시도.FIG. 17 is an overall perspective view showing the structure of a substrate cassette in Embodiment 2; FIG.
도 18은 도 17중 XⅧ-XⅧ선 화살표 단면도.18 is a cross-sectional view taken along the line X'-X 'in FIG. 17;
도 19는 실시 형태 3에 있어서의 기판용 카세트에 적용되는 코너 연결 부재의 구성을 도시한 도면.FIG. 19 is a diagram showing a configuration of a corner connecting member applied to a cassette for a substrate in Embodiment 3. FIG.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)
1 : 유리 기판 100, 300 : 기판용 카세트1: glass substrate 100, 300: cassette for substrate
110, 310 : 프레임 부재 111, 311 : 바깥테두리 프레임 부재110, 310: frame member 111, 311: outer border frame member
111a : 입벽부 111b : 상벽부111a: wall portion 111b: upper wall portion
111c : 저벽부 111d : 장출벽부111c: bottom wall 111d: long wall
112, 312, 350 : 코너 연결 부재 112a : 제 1 벽112, 312, 350: corner connecting member 112a: first wall
112b : 제 2 벽 112c : 제 3 벽112b: second wall 112c: third wall
112d, 112e : 테이퍼면 113, 313 : 보조 프레임112d, 112e: Taper side 113, 313: Auxiliary frame
150 : 트레이 부재 151 : 지지 플레이트 영역150 tray member 151 support plate region
152 : 장출 영역 152a : 제 1 볼록부152: elongation area 152a: first convex portion
152b : 제 2 볼록부 152c : 아래 구멍152b: 2nd convex part 152c: lower hole
152d : 되돌림부 153 : 오목부 영역152d: return portion 153: recess area
154 : 개구부 156 : 기판 지지 볼록부154: opening 156: substrate support convex
158 : 시트형상 부재 180 : 리벳158: sheet-like member 180: rivet
200 : 외부 반송 장치 210 : 기판 승강 핀200: external conveying device 210: substrate lifting pin
220 : 기판 반송 롤러 314 : 지지 부재220: substrate conveying roller 314: support member
351 : 수지제 코너 부재 351a : 위치 결정 벽351: resin corner member 351a: positioning wall
351u : 상측 맞닿음 영역 351d : 하측 접합 영역351u: upper contact area 351d: lower junction area
352, 353 : 수지 연결 아암 355 : 금속제 블록352, 353: resin connection arm 355: metal block
400 : 반송 아암 500 : 반송 장치400: conveying arm 500: conveying device
510 : 반송 롤러 600 : 팔레트510: conveying roller 600: pallet
S : 기준면S: reference plane
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |