JP2014504039A - Substrate support boat and support unit using the same - Google Patents
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Abstract
【課題】基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットが開示される。
【解決手段】本発明にかかる基板支持用ボートおよび支持ユニットは、基板の全面が均一に支持されるため、基板の処理時に、基板が自重により垂れることが防止される。そのため、基板を処理しても、基板の特性に変化がないことから、基板処理工程の信頼性が向上するという効果がある。
【選択図】図2A board support boat and a support unit using the same are disclosed.
In the substrate support boat and the support unit according to the present invention, since the entire surface of the substrate is uniformly supported, the substrate is prevented from drooping due to its own weight when the substrate is processed. Therefore, even if the substrate is processed, there is no change in the characteristics of the substrate, so that there is an effect that the reliability of the substrate processing process is improved.
[Selection] Figure 2
Description
本発明は、基板の全面を均一に支持し、基板の処理途中に基板が自重により変形することを防止することができる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットに関する。 The present invention relates to a substrate support boat that can uniformly support the entire surface of a substrate and prevent the substrate from being deformed by its own weight during the processing of the substrate, and a support unit using the same.
基板処理装置は、平板ディスプレイの製造時に用いられ、蒸着(Vapor Deposition)装置と、アニーリング(Annealing)装置とに大別される。 The substrate processing apparatus is used when manufacturing a flat panel display, and is roughly classified into a vapor deposition apparatus and an annealing apparatus.
蒸着装置は、平板ディスプレイの核心構成をなす透明導電層、絶縁層、金属層またはシリコン層を形成する装置であって、LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)またはPECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)などのような化学気相蒸着装置と、スパッタリング(Sputtering)などのような物理気相蒸着装置とがある。 The vapor deposition device is a device for forming a transparent conductive layer, an insulating layer, a metal layer, or a silicon layer that forms the core of a flat panel display, such as LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) or PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition). There are chemical vapor deposition apparatuses such as the above, and physical vapor deposition apparatuses such as sputtering.
そして、アニーリング装置は、基板に膜を蒸着した後、蒸着された膜の特性を向上させる装置であって、蒸着された膜を結晶化または相変化させる熱処理装置である。 The annealing apparatus is an apparatus for improving the characteristics of the deposited film after depositing the film on the substrate and crystallizing or phase-changing the deposited film.
一般的に、熱処理装置は、1つの基板を熱処理する枚葉式(Single Substrate Type)と、複数の基板を熱処理するバッチ式(Batch Type)とがある。枚葉式熱処理装置は、構成が簡単であるという利点があるが、生産性が低下するという欠点があり、大量生産にはバッチ式熱処理装置が多く用いられる。 In general, the heat treatment apparatus includes a single substrate type (Single Substrate Type) that heat-treats one substrate and a batch type (Batch Type) that heat-treats a plurality of substrates. The single-wafer type heat treatment apparatus has an advantage that the configuration is simple, but has a disadvantage that the productivity is lowered, and a batch type heat treatment apparatus is often used for mass production.
バッチ式熱処理装置には熱処理空間を提供するチャンバが形成され、チャンバにはチャンバに搬入された複数の基板をそれぞれ支持する支持手段が必須的に用いられる。 A chamber for providing a heat treatment space is formed in the batch type heat treatment apparatus, and support means for supporting each of a plurality of substrates carried into the chamber is essential for the chamber.
しかしながら、従来の支持手段は、基板の縁部側を支えて支持するため、基板が熱処理されるときに、基板の自重により基板が撓み変形するおそれがあった。これにより、平板ディスプレイの特性が低下するため、基板処理工程の信頼性が低下するという問題があった。 However, since the conventional support means supports and supports the edge side of the substrate, the substrate may be bent and deformed by its own weight when the substrate is heat-treated. As a result, the characteristics of the flat panel display deteriorate, and there is a problem that the reliability of the substrate processing process decreases.
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板の全面を均一に支持し、基板の処理途中に基板が自重により変形することを防止することができる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットを提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, and its purpose is to uniformly support the entire surface of the substrate and prevent the substrate from being deformed by its own weight during the processing of the substrate. It is an object of the present invention to provide a boat for supporting a substrate and a support unit using the same.
上記の目的を達成するための本発明にかかる基板支持用ボートは、基板処理装置のチャンバに投入されて処理される基板を支持するボートであって、互いに対向する一対の第1のメインバーと、前記第1のメインバーの上面にそれぞれ結合されて前記第1のメインバーとそれぞれ平行をなし、互いに対向し、前記基板の縁部側が接触支持される一対の第2のメインバーと、一対の前記第1のメインバーを互いに連結する複数の第1の連結バーと、前記第1のメインバーおよび前記第2のメインバーに設けられ、前記第2のメインバーにより形成される空間に複数の基板が区画支持されるように前記第2のメインバーにより形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の前記基板の角部側と接触し、複数の前記基板が流動することを防止する複数の区画−支持ピンとを含む。 To achieve the above object, a boat for supporting a substrate according to the present invention is a boat for supporting a substrate to be processed by being loaded into a chamber of a substrate processing apparatus, and a pair of first main bars facing each other; A pair of second main bars respectively coupled to the upper surface of the first main bar and parallel to the first main bar, facing each other and supporting the edge side of the substrate in contact with each other; A plurality of first connection bars that connect the first main bars to each other, and a plurality of first connection bars that are provided in the first main bar and the second main bar and that are formed in the space formed by the second main bar. The space formed by the second main bar is partitioned into a plurality of sections so that the plurality of substrates are partitioned and supported, and the plurality of substrates are prevented from flowing due to contact with the corners of the plurality of substrates. That a plurality of sections - and a support pin.
また、上記の目的を達成するための本発明にかかる基板支持用支持ユニットは、基板処理装置のチャンバに投入されて処理される基板を支持する支持ユニットであって、前記チャンバの底面と接触する台座と、前記台座の一端部から垂直に延設された支持台と、前記支持台の一側面から水平に延設され、互いに間隔を有して上下に積層された形態で形成された複数の支持リブとをそれぞれ有し、互いに対向する一対がセットをなして前記チャンバの前面側および後面側にそれぞれ設けられたサポータと、対をなして互いに対向する前記サポータの前記支持リブに一端部側および他端部側がそれぞれ支持されたクロス支持バーと、前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーおよび前記チャンバの後面側が位置する前記クロス支持バーに一端部側および他端部側がそれぞれ支持され、複数の前記基板が区画されて搭載支持されるボートとを含む。 In order to achieve the above object, a substrate support support unit according to the present invention is a support unit that supports a substrate to be processed by being loaded into a chamber of a substrate processing apparatus, and is in contact with the bottom surface of the chamber. A plurality of pedestals, a support stand extending vertically from one end of the pedestal, and horizontally extending from one side of the support stand and stacked vertically with a space between each other. A support rib provided on the front side and the rear side of the chamber in a pair, and one end side of the support rib facing the pair in a pair. And a cross support bar on which the other end side is supported, the cross support bar positioned on the front side of the chamber, and the cross support bar positioned on the rear side of the chamber One end side and the other end is respectively supported, and a boat in which a plurality of the substrates are mounted supported by being partitioned.
本発明にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットは、基板の全面を均一に支持するため、基板の処理時に、基板が自重により垂れることが防止される。そのため、基板を処理しても、基板の特性に変化がないことから、基板処理工程の信頼性が向上するという効果がある。 The substrate support boat and the support unit using the same according to the present invention uniformly support the entire surface of the substrate, so that the substrate is prevented from sagging due to its own weight when the substrate is processed. Therefore, even if the substrate is processed, there is no change in the characteristics of the substrate, so that there is an effect that the reliability of the substrate processing process is improved.
後述する本発明に関する詳細な説明は、本発明が実施できる特定の実施形態を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるように十分に詳細に説明される。本発明の多様な実施形態は、互いに異なるが、相互排他的である必要はないことが理解されなければならない。例えば、ここに記載されている特定の形状、構造および特性は一実施形態に関連し、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲内で他の実施形態で実現可能である。また、各々の開示す実施形態における個別構成要素の位置または配置は、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲内で変更可能であることが理解されなければならない。したがって、後述する詳細な説明は、限定的な意味で受け止めるものではなく、本発明の範囲は、適切に説明された場合、その請求項が主張するのと均等のすべての範囲とともに添付した請求項によってのみ限定される。図面において、類似の参照符号は、様々な側面にわたって同一または類似の機能を指し示し、長さおよび面積、厚さなどとその形態は、便宜上、誇張して表現されることもある。 The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that illustrate, by way of illustration, specific embodiments in which the invention can be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different from each other but need not be mutually exclusive. For example, the specific shapes, structures and characteristics described herein are associated with one embodiment and can be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. It should also be understood that the location or arrangement of the individual components in each disclosed embodiment can be changed without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is, when properly described, appended claims along with all equivalents of the claims that are claimed. Limited only by. In the drawings, like reference numerals indicate like or similar functions across various aspects, and lengths, areas, thicknesses, and the like, and forms thereof, may be exaggerated for convenience.
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットを詳細に説明する。 Hereinafter, a board support boat and a support unit using the same according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の一実施形態にかかる基板支持用支持ユニットが設けられた基板処理装置の斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view of a substrate processing apparatus provided with a substrate supporting support unit according to an embodiment of the present invention.
図示のように、基板処理装置100は、略直方体形状に形成されて外観をなす本体110を含み、本体110の内部には、基板50が処理されるチャンバ110aが形成される。本体110は、直方体形状のみならず、基板50の形状に応じて多様な形状に形成可能であり、チャンバ110aは、密閉された空間として設けられる。
As shown in the figure, the
以下、基板50の処理とは、基板50を加熱および冷却する工程、基板50上に所定の膜を蒸着するための全ての工程、基板50上に蒸着された所定の膜をアニーリング、結晶化または相変化するための全ての熱処理工程などを含む概念として理解されなければならない。そして、基板50の材質は、特に限定されず、ガラス、プラスチック、ポリマー、シリコンウエハまたはステンレススチールなどのような材質で形成可能である。
Hereinafter, the processing of the
本体110の前面は開放されてドア113が設けられるが、ドア113はチャンバ110aを開閉する。ドア113を開けてチャンバ110aを開放した状態で、ロボットのアーム(図示せず)などで基板50を支持し、基板50をチャンバ110aに搬入する。そして、ドア113を閉じてチャンバ110aを閉鎖した状態で、基板50を処理する。
The front surface of the
本体110の内部には、基板50を支持する支持ユニット120と、基板50を加熱するためのヒータ(図示せず)と、基板50を冷却させるための冷却管(図示せず)などが設けられる。
Inside the
本実施形態にかかる支持ユニット120について、図1〜図4を参照して説明する。図2は、図1に示す支持ユニットの拡大図であり、図3は、図2に示すサポータの拡大図であり、図4は、図3の「B」部の拡大図である。
The
図示のように、本実施形態にかかる支持ユニット120は、サポータ130と、クロス支持バー140と、ボート150とを含む。
As illustrated, the
サポータ130は、チャンバ110aを形成する本体110の底面に接触する台座131と、台座131の一端部から垂直に延設された支持台133と、支持台133の一側面から水平に延設され、互いに間隔を有して上下に積層された形態で形成された複数の支持リブ135とを有する。
The
サポータ130は、互いに対向する一対としてセットをなし、セットをなすサポータ130は、本体110の前面側の両角部および後面側の両角部にそれぞれ設けられる。そして、セットをなすサポータ130の支持リブ135は互いに対向する。
The
図2には、2セットのサポータ130が配置されていることを示し、互いに隣接する各々のサポータ130を互いに連結した仮想の線によりなる形状は略矩形である。すなわち、各サポータ130は、矩形の頂点部位に位置し、各サポータ130によりなる形状は、基板50の形状に略対応する。
FIG. 2 shows that two sets of
セットをなして互いに対向するサポータ130間の距離およびセットをなすサポータ130間の距離は、基板50の大きさに応じて適切に調整することができる。
The distance between the
セットをなすサポータ130の支持リブ135には、クロス支持バー140の左端部側および右端部側がそれぞれ固定支持される。そして、チャンバ110aの前面側および後面側に位置してそれぞれセットをなすサポータ130の支持リブ135にそれぞれ支持されたクロス支持バー140は、それぞれ上下に配置されて互いに平行をなすことはいうまでもない。また、チャンバ110aの前面側に位置してセットをなすサポータ130の支持リブ135にそれぞれ支持された各々のクロス支持バー140と、チャンバ110aの後面側に位置してセットをなすサポータ130の支持リブ135にそれぞれ支持された各々のクロス支持バー140とは、同じ高さに位置することはいうまでもない。
The left end side and the right end side of the
クロス支持バー140がサポータ130に安定して支持されるように、支持リブ135には、クロス支持バー140に対応する形状に形成され、クロス支持バー140の端部側が係合支持される載置溝135aが形成される。そして、載置溝135aが形成された支持リブ135の部位には、載置溝135aの長さ方向と垂直に係止溝135bが形成され、クロス支持バー140の端部側の外周面には、係止溝135bに挿入係止される係止リング141がそれぞれ形成される。
The
載置溝135aにクロス支持バー140が係合支持されるため、クロス支持バー140が支持リブ135上において前後方向に変位することが防止される。そして、載置溝135aに垂直な係止溝135bおよび係止リング141により、クロス支持バー140が支持リブ135上において左右方向に変位することが防止される。
Since the
図2には、クロス支持バー140が台座131にも支持されていることが示されており、この場合には、台座131の上面にも、支持リブ135の上面に形成された載置溝135aおよび係止溝135bが同様に形成できる。
2 shows that the
チャンバ110aの前面側に位置するクロス支持バー140と後面側に位置するクロス支持バー140には、基板50が搭載支持されるボート150が搭載支持される。ボート150について、図2、図5〜図7を参照して説明する。図5は、図2に示すボートの拡大図であり、図6は、図2の「A」部の拡大図であり、図7は、図5の「C」部の拡大図である。
A
図示のように、ボート150は、第1のメインバー161と、第2のメインバー171と、第1の連結バー181と、第2の連結バー191とを含む。
As illustrated, the
第1のメインバー161は、互いに間隔を有して対向する一対として設けられ、前端部側は、チャンバ110a(図1参照)の前面側に位置するいずれか1つのクロス支持バー140にそれぞれ持設され、後端部側は、チャンバ110aの後面側に位置する他の1つのクロス支持バー140にそれぞれ持設される。
The first
ボート150がクロス支持バー140に強固に支持されるように、第1のメインバー161の前端部には、チャンバ110aの前面側に位置するクロス支持バー140に係止固定されるアーク状支持片163が設けられる。アーク状支持片163の形状は、クロス支持バー140の外形に対応する形状である半円形に形成される。
An arc-shaped support piece fixed to the
そして、第1のメインバー161の後端部側に結合された、後述する第1の連結バー181には、クロス支持バー140に搭載支持されるバー形状の直線状支持片183が設けられる。直線状支持片183は、クロス支持バー140と垂直に配置されてクロス支持バー140に搭載支持される。
A first connecting
アーク状支持片163がクロス支持バー140に係合支持され、直線状支持片183がクロス支持バー140に搭載支持されるため、ボート150はクロス支持バー140に強固に搭載支持される。また、アーク状支持片163が半円形に形成されてクロス支持バー140に係合支持され、直線状支持片183がバー形状に形成されてクロス支持バー140に搭載支持されるため、ボート150を上側へ持ち上げるだけで、ボート150がクロス支持バー140から分離される。したがって、ボート150をクロス支持バー140から容易に分離することができる。
Since the arc-shaped
クロス支持バー140には、ボート150が、クロス支持バー140上において、クロス支持バー140に沿って変位することを防止するストッパ143(図6参照)が複数個設けられる。ストッパ143は、チャンバ110aの前面側に位置するクロス支持バー140に設けられてアーク状支持片163と接触する。ストッパ143の個数は、アーク状支持片163の個数に対応することはいうまでもない。
The
第2のメインバー171は、互いに対向する一対として設けられ、第1のメインバー161とそれぞれ平行をなし、かつ第1のメインバー161の上面にそれぞれ結合される。第2のメインバー171には、基板50の4側面のうちの互いに対向する一側面および他側面の縁部側が接触支持される。
The second
第1のメインバー161と第2のメインバー171とは、複数の連結突起173を介して互いに結合されて上下に間隔を有する。そして、第2のメインバー171には、第2のメインバー171と略直交する形態で形成され、かつ基板50の縁部側を支持する複数の水平支持ピン175が設けられる。
The first
本実施形態にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットは、1つのボート150に複数の基板50が区画支持される。このために、第1のメインバー161および第2のメインバー171には、第2のメインバー171により形成される空間に複数の基板50が区画支持されるように第2のメインバー171により形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の基板50の角部側と接触し、複数の基板50をそれぞれ支持する複数の区画−支持ピン165、177がそれぞれ設けられる。区画−支持ピン165、177が基板50の角部側と接触して基板50を支持するため、基板50が第2のメインバー171上で変位することが防止される。
In the substrate support boat and the support unit using the same according to this embodiment, a plurality of
第1の連結バー181は、第1のメインバー161と略直角をなし、一対の第1のメインバー161を互いに一体に連結する。第1の連結バー181は、第1のメインバー161より低い位置に配置されて結合されることが好ましい。このために、第1の連結バー181は、一対の第1のメインバー161の間に位置し、第1のメインバー161より下側に配置された水平バー181aと、水平バー181aの両端部からそれぞれ上側にベンディング形成され、第1のメインバー161にそれぞれ結合される結合バー181bとを有することができる。結合バー181bは、ボート150の構造に応じて、水平バー181aから複数回ベンディング形成できることはいうまでもない。
The first connecting
第1の連結バー181を第1のメインバー161より低く配置させる理由は、基板50を第2のメインバー171に搭載して処理するときに、基板50と第1の連結バー181との間に十分な間隔が形成されるようにし、基板50の処理時に投入される基板の処理ガスが円滑に流れるようにするためである。
The reason why the first connecting
第1の連結バー181には、基板50が搭載支持される第1の垂直支持ピン185が複数個設けられる。第1の垂直支持ピン185が第1の連結バー181に一定間隔で複数個設けられるため、基板50の全面が均一に支持される。したがって、基板50の処理時に、基板50が自重により垂れることが防止される。
The
基板50が接触支持される第1の垂直支持ピン185の上端部は、ラウンディング状に形成されて基板50と点接触することが好ましい。すると、基板50の下面も、上面と同様に全て露出した状態になるため、基板50がより均一に処理される。
It is preferable that the upper end portion of the first
第1の連結バー181は互いに異なる間隔を有することができる。第1の連結バー181が互いに異なる間隔で配置される場合、互いに異なる間隔を有する第1の連結バー181に設けられた第1の垂直支持ピン185は、複数回ベンディング形成できる。
The first connecting
詳細に説明すると、第1の垂直支持ピン185(図7参照)の中間部位はベンディング185aされ、第1の垂直支持ピン185の上側部位および下側部位の長さ方向の中心をそれぞれ通る仮想の直線L1、L2は、互いに平行に形成される。すなわち、第1の連結バー181に結合された第1の垂直支持ピン185の下側部位の外側に上側部位が位置するため、第1の垂直支持ピン185の下側部位の外側に離隔した上側部位が基板50を支持する。すると、第1の連結バー181間の間隔が一定でないときに、第1の連結バー181に設けられた第1の垂直支持ピン185が一定間隔を有して基板50の全面を均一に支持することができる。
More specifically, the intermediate part of the first vertical support pin 185 (see FIG. 7) is bent 185a, and the virtual part passes through the longitudinal center of the upper part and the lower part of the first
第1の垂直支持ピン185の下側部位が円形に形成されて第1の垂直支持ピン185が回転できる場合、第1の垂直支持ピン185を回転させ、基板50が垂れる部位を容易に支持することができる。
When the lower part of the first
第2の連結バー191は、互いに隣接する第1の連結バー181を互いに連結する。そして、第2の連結バー191には、基板50を支持する複数の第2の垂直支持ピン193が設けられる。第2の垂直支持ピン193も、第1の垂直支持ピン185と同様の構成で形成できる。
The
第1のメインバー161の両端部側には、ロボットのアーム(図示せず)が係合係止される係止フック167がそれぞれ設けられる。前記ロボットのアームが係止フック167に係合されて係止フック167を昇降させると、ボート150が昇降する。
Locking hooks 167 with which robot arms (not shown) are engaged and locked are provided on both ends of the first
前記ロボットのアームを係止フック167に係止するときに、前記ロボットのアームが区画−支持ピン165、177と干渉しないように、係止フック167の高さおよび位置を適切に調整することができる。
When the robot arm is locked to the
図8は、本発明の一実施形態にかかるボートの使用状態を示す図であり、これを説明する。 FIG. 8 is a diagram showing a use state of the boat according to one embodiment of the present invention, which will be described.
図示のように、2つのボート150がクロス支持バー140(図2参照)に持設され、各々のボート150に2つの基板50が支持されていることを示す。基板50の大きさに応じて、1つ以上のボート150がクロス支持バー140に支持されてもよく、各ボート150に1つ以上の基板50が支持されてもよい。
As shown in the figure, two
本実施形態にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットは、複数の水平支持ピン175、複数の第1の垂直支持ピン185および第2の垂直支持ピン193により基板50の全面が均一に支持されるため、基板50の処理時に、基板50が自重により垂れることが防止される。
The board support boat and the support unit using the board support board according to the present embodiment have the plurality of horizontal support pins 175, the plurality of first vertical support pins 185, and the second vertical support pins 193 to make the entire surface of the
図9は、本発明の他の実施形態にかかるボートの斜視図であり、これを説明する。 FIG. 9 is a perspective view of a boat according to another embodiment of the present invention, which will be described.
図示のように、本発明の他の実施形態にかかるボート250において、第1の垂直支持ピン285の下部側および第2の垂直支持ピン293の下部側は、第1の連結バー281および第2の連結バー291にそれぞれ着脱可能に結合される。このために、第1の連結バー281および第2の連結バー291には、第1の垂直支持ピン285および第2の垂直支持ピン293が挿脱される第1の結合溝281aおよび第2の結合溝291aがそれぞれ形成される。
As illustrated, in the
第1および第2の垂直支持ピン285、293が着脱されるため、基板50の処理時に、基板50の自重により基板50が垂れる部位に第1および第2の垂直支持ピン285、293を集中的に配置することができる。したがって、基板50が変形することをより完全に防止することができる。
Since the first and second vertical support pins 285 and 293 are attached and detached, when the
第1および第2の垂直支持ピン285、293の下部側の形状と第1および第2の結合溝281a、291aの形状は、それぞれ互いに対応することはいうまでもない。
Needless to say, the shape of the lower side of the first and second vertical support pins 285 and 293 and the shape of the first and
図10および図11は、本発明の他の実施形態にかかる第1の垂直支持ピンの多様な形状を示す図であり、これを説明する。 10 and 11 are views showing various shapes of a first vertical support pin according to another embodiment of the present invention, which will be described.
図10は、第1の垂直支持ピン385の下部側の断面形状が楕円形であることを示し、図11は、第1の垂直支持ピン485の下部側の断面形状が角形であることを示す。第1の垂直支持ピン385、485が挿脱される第1の結合溝381a、481aの形状は、第1の垂直支持ピン385、485の形状に対応すべきことはいうまでもない。
FIG. 10 shows that the cross-sectional shape of the lower side of the first
そして、図9で説明した第2の垂直支持ピン293および第2の結合溝291aの形状も、互いに対応する断面形状が楕円形または断面形状が角形にそれぞれ形成できる。
The shapes of the second vertical support pins 293 and the
第1の垂直支持ピン185、285、385、485の形状が互いに異なり、第2の垂直支持ピン193、293の形状が互いに異なると、第1の垂直支持ピン185、285、385、485の結合位置および第2の垂直支持ピン193、293の結合位置を表示する機能を果たすことができる。 When the shapes of the first vertical support pins 185, 285, 385, 485 are different from each other and the shapes of the second vertical support pins 193, 293 are different from each other, the first vertical support pins 185, 285, 385, 485 are combined. The function of displaying the position and the coupling position of the second vertical support pins 193 and 293 can be performed.
上述した本発明の実施形態に関する図面は、詳細な輪郭ラインを省略したものであり、本発明の技術思想に属する部分が容易に分かるように概略的に示したものである。また、上記の実施形態は、本発明の技術思想を限定する基準になるのではなく、本発明の請求の範囲に含まれた技術事項を理解するための参照的な事項に過ぎない。 The drawings relating to the embodiments of the present invention described above are those in which detailed contour lines are omitted, and are schematically shown so that portions belonging to the technical idea of the present invention can be easily understood. In addition, the above-described embodiment is not a standard for limiting the technical idea of the present invention, but merely a reference matter for understanding the technical matters included in the claims of the present invention.
Claims (30)
互いに対向する一対の第1メインバーと、
前記第1メインバーの上面にそれぞれ結合されて前記第1メインバーとそれぞれ平行をなし、互いに対向し、前記基板の縁部側が接触支持される一対の第2メインバーと、
一対の前記第1メインバーを互いに連結する複数の第1連結バーと、
前記第1メインバーおよび前記第2メインバーに設けられ、前記第2メインバーにより形成される空間に複数の基板が区画支持されるように前記第2メインバーにより形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の前記基板の角部側と接触し、複数の前記基板が変位することを防止する複数の区画−支持ピンとを含むことを特徴とする基板支持用ボート。 A boat for supporting a substrate to be inserted and processed into a chamber of a substrate processing apparatus,
A pair of first main bars facing each other;
A pair of second main bars respectively coupled to the upper surface of the first main bar and parallel to the first main bar, facing each other, and contacting and supporting the edge side of the substrate;
A plurality of first connecting bars for connecting the pair of first main bars to each other;
A plurality of spaces formed by the second main bar are provided in the first main bar and the second main bar, and a plurality of substrates are partitioned and supported in the space formed by the second main bar. A board support boat comprising: a plurality of section-support pins that partition and contact the corners of the plurality of substrates to prevent the plurality of substrates from being displaced.
前記第2連結バーには、前記基板を支持する複数の第2垂直支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項3に記載の基板支持用ボート。 The first connection bars adjacent to each other are connected by a second connection bar;
4. The board support boat according to claim 3, wherein the second connection bar is provided with a plurality of second vertical support pins for supporting the board.
前記第1連結バーおよび前記第2連結バーには、前記第1垂直支持ピンの一側部位および前記第2垂直支持ピンの一側部位がそれぞれ挿脱される第1結合溝および第2結合溝が、前記第1垂直支持ピンおよび前記第2垂直支持ピンの形状にそれぞれ対応して形成されていることを特徴とする請求項5に記載の基板支持用ボート。 One side portion of the first vertical support pin and the second vertical support pin is formed in any one shape selected from a circular shape, an oval shape, or a square shape in cross section,
A first coupling groove and a second coupling groove into which the one side portion of the first vertical support pin and the one side portion of the second vertical support pin are inserted and removed from the first connection bar and the second connection bar, respectively. 6. The board support boat according to claim 5, wherein the board support boat is formed corresponding to the shape of each of the first vertical support pins and the second vertical support pins.
前記第1垂直支持ピンが設けられて一対の前記第1メインバーの間に位置する水平バーと、
前記水平バーの両端部でそれぞれベンディング形成され、一対の前記第1メインバーのいずれか1つの前記第1メインバーと他の1つの前記第1メインバーにそれぞれ結合される結合バーを有し、前記第1メインバーの下側に位置することを特徴とする請求項3に記載の基板支持用ボート。 The first connecting bar is
A horizontal bar provided with the first vertical support pin and positioned between the pair of first main bars;
A bending bar formed at each end of the horizontal bar and coupled to one of the pair of first main bars and the other one of the first main bars; The board support boat according to claim 3, wherein the board support boat is located below the first main bar.
互いに異なる間隔を有する前記第1連結バーに設けられた前記第1垂直支持ピンは、中間部位がベンディングされて前記第1連結バーに回転可能に設けられ、
前記第1連結バーに設けられた前記第1垂直支持ピンの一側部位および前記基板が支持される前記第1垂直支持ピンの他側部位の長さ方向の中心をそれぞれ通る仮想の直線は、互いに平行であることを特徴とする請求項3に記載の基板支持用ボート。 Among the first connecting bars, some have different intervals,
The first vertical support pins provided on the first connection bars having different distances are rotatably provided on the first connection bar by bending an intermediate portion,
An imaginary straight line passing through the center in the length direction of one side portion of the first vertical support pin provided on the first connection bar and the other side portion of the first vertical support pin on which the substrate is supported, The board supporting boat according to claim 3, wherein the board supporting boat is parallel to each other.
前記第1メインバーの他端部側に結合された前記第1連結バーには、相対物に搭載支持される直線状支持片が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板支持用ボート。 On one end side of the first main bar, an arc-shaped support piece provided in a semicircular shape and engaged and supported by a relative object is provided,
The substrate according to claim 1, wherein the first connection bar coupled to the other end portion side of the first main bar is provided with a linear support piece that is mounted and supported by a relative object. Support boat.
前記チャンバの底面と接触する台座と、前記台座の一端部から垂直に延設された支持台と、前記支持台の一側面から水平に延設され、互いに間隔を有して上下に積層された形態で形成された複数の支持リブとをそれぞれ有し、互いに対向する一対がセットをなして前記チャンバの前面側および後面側にそれぞれ設けられたサポータと、
対をなして互いに対向する前記サポータの前記支持リブに一端部側および他端部側がそれぞれ支持されたクロス支持バーと、
前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーおよび前記チャンバの後面側に位置する前記クロス支持バーに一端部側および他端部側がそれぞれ支持され、複数の前記基板が区画されて搭載支持されるボートとを含むことを特徴とする基板支持用支持ユニット。 A support unit for supporting a substrate to be inserted into a chamber of a substrate processing apparatus and processed;
A base that contacts the bottom surface of the chamber, a support base that extends vertically from one end of the base, and a horizontal extension that extends from one side of the support base, and is stacked vertically with a space between each other. Each having a plurality of support ribs formed in a form, and a pair of supporters that are opposed to each other in a set and provided on the front side and the rear side of the chamber,
A cross support bar in which one end side and the other end side are respectively supported by the support ribs of the supporter that form a pair and face each other;
One end side and the other end side are respectively supported by the cross support bar positioned on the front side of the chamber and the cross support bar positioned on the rear side of the chamber, and a plurality of the substrates are partitioned and supported. A support unit for supporting a substrate, comprising: a boat.
互いに対向する一対として設けられ、一端部側は、前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーに支持され、他端部側は、前記チャンバの後面側に位置する前記クロス支持バーに支持された第1メインバーと、
前記第1メインバーの上面にそれぞれ結合されて前記第1メインバーとそれぞれ平行をなし、互いに対向し、前記基板の縁部側が接触支持される一対の第2メインバーと、
一対の前記第1メインバーを互いに連結する複数の第1連結バーと、
前記第1メインバーおよび前記第2メインバーに設けられ、前記第2メインバーにより形成される空間に複数の基板が区画支持されるように前記第2メインバーにより形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の前記基板の角部側と接触し、複数の前記基板が変位することを防止する複数の区画−支持ピンとを含むことを特徴とする請求項14に記載の基板支持用支持ユニット。 The boat
Provided as a pair facing each other, one end side is supported by the cross support bar located on the front side of the chamber, and the other end side is supported by the cross support bar located on the rear side of the chamber. The first main bar,
A pair of second main bars respectively coupled to the upper surface of the first main bar and parallel to the first main bar, facing each other, and contacting and supporting the edge side of the substrate;
A plurality of first connecting bars for connecting the pair of first main bars to each other;
A plurality of spaces formed by the second main bar are provided in the first main bar and the second main bar, and a plurality of substrates are partitioned and supported in the space formed by the second main bar. The support for supporting a substrate according to claim 14, further comprising: a plurality of partition-support pins that partition and contact corner sides of the plurality of substrates to prevent the plurality of substrates from being displaced. unit.
前記第2連結バーには、前記基板を支持する複数の第2垂直支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項20に記載の基板支持用支持ユニット。 The first connection bars adjacent to each other are connected by a second connection bar;
21. The substrate supporting support unit according to claim 20, wherein the second connecting bar is provided with a plurality of second vertical support pins for supporting the substrate.
前記第1連結バーおよび前記第2連結バーには、前記第1垂直支持ピンの一側部位および前記第2垂直支持ピンの一側部位がそれぞれ挿脱される第1結合溝および第2結合溝が、前記第1垂直支持ピンおよび前記第2垂直支持ピンの形状にそれぞれ対応して形成されていることを特徴とする請求項22に記載の基板支持用支持ユニット。 One side portion of the first vertical support pin and the second vertical support pin is formed in any one shape selected from a circular shape, an oval shape, or a square shape in cross section,
A first coupling groove and a second coupling groove into which the one side portion of the first vertical support pin and the one side portion of the second vertical support pin are inserted and removed from the first connection bar and the second connection bar, respectively. 23. The substrate supporting support unit according to claim 22, wherein each of the first vertical supporting pin and the second vertical supporting pin is formed corresponding to the shape of the first vertical supporting pin.
前記第1垂直支持ピンが設けられて一対の前記第1メインバーの間に位置する水平バーと、
前記水平バーの両端部でそれぞれベンディング形成され、一対の前記第1メインバーのいずれか1つの前記第1メインバーと他の1つの前記第1メインバーにそれぞれ結合される結合バーを有し、前記第1メインバーの下側に位置することを特徴とする請求項20に記載の基板支持用支持ユニット。 The first connecting bar is
A horizontal bar provided with the first vertical support pin and positioned between the pair of first main bars;
A bending bar formed at each end of the horizontal bar and coupled to one of the pair of first main bars and the other one of the first main bars; 21. The support unit for supporting a substrate according to claim 20, wherein the support unit is located below the first main bar.
互いに異なる間隔を有する前記第1連結バーに設けられた前記第1垂直支持ピンは、中間部位がベンディングされて前記第1連結バーに回転可能に設けられ、
前記第1連結バーに設けられた前記第1垂直支持ピンの一側部位および前記基板が支持される前記第1垂直支持ピンの他側部位の長さ方向の中心をそれぞれ通る仮想の直線は、互いに平行であることを特徴とする請求項20に記載の基板支持用支持ユニット。 Among the first connecting bars, some have different intervals,
The first vertical support pins provided on the first connection bars having different distances are rotatably provided on the first connection bar by bending an intermediate portion,
An imaginary straight line passing through the center in the length direction of one side portion of the first vertical support pin provided on the first connection bar and the other side portion of the first vertical support pin on which the substrate is supported, 21. The support unit for supporting a substrate according to claim 20, wherein the support units are parallel to each other.
前記メインバーの他端部側に結合された前記第1連結バーには、前記チャンバの後面側に位置する前記クロス支持バーに搭載支持される直線状支持片が設けられていることを特徴とする請求項18に記載の基板支持用支持ユニット。 On one end portion side of the first main bar, an arc-shaped support piece that is formed in a semicircular shape and is engaged and supported by the cross support bar located on the front side of the chamber is provided,
The first connecting bar coupled to the other end side of the main bar is provided with a linear support piece mounted and supported on the cross support bar located on the rear surface side of the chamber. The support unit for supporting a substrate according to claim 18.
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