JP4260756B2 - Board transfer container - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス基板を搬送するのに適した基板搬送用コンテナに関するものであって、特に、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いるガラス基板等の取り出しをリフトアップにより行うことができるガラス基板搬送用コンテナに関するものである。 The present invention relates to a substrate transport container suitable for transporting a glass substrate, and in particular, a glass substrate on which a glass substrate used for manufacturing a flat panel display (FPD) can be taken out by lift-up. It relates to a transport container.
ＦＰＤ等の表示パネルは、相互に対向して配置された一対のガラス基板からなっており、例えば、液晶表示装置の表示パネルは、通常、相互に対向して配置された一対のガラス基板の間に液晶を封入することにより形成されるものである。 A display panel such as an FPD is composed of a pair of glass substrates arranged opposite to each other. For example, a display panel of a liquid crystal display device is usually between a pair of glass substrates arranged opposite to each other. It is formed by encapsulating a liquid crystal.
このような表示パネルを製造するためには、その製造に用いる一対のガラス基板がまず生産され、ここで得られたガラス基板は、次に、表示パネルの製造工場に搬送されて、種々製造工程を経て最終的に表示パネルとされる。 In order to manufacture such a display panel, a pair of glass substrates used for the manufacture is first produced, and the glass substrates obtained here are then transported to a display panel manufacturing factory to perform various manufacturing processes. After that, the display panel is finally obtained.
このように、一対のガラス基板を表示パネルの製造工場に搬送する場合には、通常、複数枚のガラス基板を収納することができる基板搬送用コンテナが使用されるが、近年、搬送されるガラス基板は、その厚さが０．７ｍｍ以下であったり、一辺が１．３ｍ以上の矩形状であったりする等、パネルの薄型化、大型化が顕著になってきた。 Thus, when transporting a pair of glass substrates to a display panel manufacturing plant, a substrate transport container capable of storing a plurality of glass substrates is usually used. The thickness and size of the panel have become prominent, such as the substrate having a thickness of 0.7 mm or less or a rectangular shape having a side of 1.3 m or more.
そのため、このような薄くて大きいガラス基板は撓みやすく、搬送時にガラス基板表面に傷をつけたり、ガラス基板自体が破損したりしやすくなったため、搬送用コンテナとしてガラス基板を縦置きにするボックス型の基板搬送用コンテナが用いられていた（例えば、特許文献１参照。）
しかしながら、このような搬送用のコンテナは、ガラス基板の端部を保持するための凹凸を多数設けた形状となっており、その凹凸部分には汚れが溜まりやすく、再利用する場合に洗浄をしても、その形状から洗浄後の水きれが悪いため、汚れやすいものであった。 However, such a container for transporting has a shape with a large number of irregularities for holding the edge of the glass substrate, and the irregularities easily collect dirt, and are cleaned when reused. However, it was easy to get dirty because of its poor drainage after washing.
また、このような搬送用コンテナはガラス基板を縦に置くタイプのものであったため、パネルの製造工場において、ガラス基板をコンテナから取り出して、改めて製造工程の開始地点では横置きに配置することで各製造工程に付していたため、開始地点においてガラス基板を横置きにするためのラックも必要であった。 In addition, since such a transport container was a type in which the glass substrate was placed vertically, in the panel manufacturing factory, the glass substrate was taken out from the container and placed again horizontally at the starting point of the manufacturing process. Since it was attached to each manufacturing process, the rack for putting a glass substrate horizontally at the starting point was also required.
したがって、パネルの製造工場に搬送されてから製造開始地点へガラス基板を移行させるのに多くの手間がかかり、さらに搬送用ボックスの他に、製造工程開始地点のラック等、用途に合わせたガラス基板の収容、保持を行う冶具が必要となり、装置周辺も非常に繁雑であった。 Therefore, it takes a lot of work to move the glass substrate to the manufacturing start point after it is transported to the panel manufacturing factory. In addition to the transport box, a glass substrate suitable for the application, such as a rack at the manufacturing process start point. A jig for housing and holding the machine was required, and the vicinity of the apparatus was very complicated.
そこで、本発明は、ガラス基板の搬送及びパネルの製造工程において、コンテナ自体を清浄に保ち易く、ガラス基板の取り出しを容易に行うことができる基板搬送用コンテナを提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the container for board | substrate conveyance which can keep a container itself clean easily and can take out a glass substrate easily in the conveyance process of a glass substrate and the manufacturing process of a panel.
さらに、工場間の搬送時だけでなく、製造工程開始地点にそのまま配置することで製造工程を開始することができ、工場間の搬送及び工場内での搬送（製造工程）において共用可能であって、パネル製造工場のスペースを有効活用でき、必要な冶具を少なくすることができる基板搬送用コンテナを提供することを目的とする。 Furthermore, it can be used not only during transportation between factories, but also by placing it as it is at the start point of the production process, and can be shared for transportation between factories and in the factory (manufacturing process). An object of the present invention is to provide a substrate transfer container that can effectively use the space of a panel manufacturing factory and can reduce the number of necessary jigs.
本発明の基板搬送用コンテナは、ガラス基板を収容するための略矩形状の底部とその周囲に形成されたガラス基板の脱落を防止する側部とからなる基板搬送用コンテナであって、底部は、ガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が形成されていることを特徴とするものである。 The substrate transport container of the present invention is a substrate transport container composed of a substantially rectangular bottom portion for accommodating a glass substrate and a side portion for preventing the glass substrate formed around the bottom portion from falling off. An opening is formed through which a push-up pin for lifting up the glass substrate can pass.
本発明の基板搬送用コンテナによれば、収容したガラス基板を、開口部を通して突き上げ用ピンでリフトアップして、コンテナの上方へ持ち上げることができるため、ＦＰＤの製造工程におけるガラス基板の移行を容易に行うことができる。また、この基板搬送用コンテナを工場間での搬送に用いた場合でも、そのまま製造工程の開始地点にセットして、製造を開始することができるため、専用の冶具の数を減らし、製造工場内の繁雑さを緩和することができる。 According to the substrate transport container of the present invention, the accommodated glass substrate can be lifted up with a push-up pin through the opening and lifted upward of the container, so that the glass substrate can be easily transferred in the FPD manufacturing process. Can be done. In addition, even when this substrate transport container is used for transport between factories, it can be set at the start point of the manufacturing process as it is and manufacturing can be started. Can alleviate the complexity.
さらに、この開口部は、基板搬送用コンテナの洗浄で用いた洗浄水を基板収容部から排水する機能も有し、基板搬送用コンテナのガラス基板収容部を清浄に保つことを容易にするものでもある。 Further, the opening has a function of draining the cleaning water used for cleaning the substrate transport container from the substrate housing portion, and makes it easy to keep the glass substrate housing portion of the substrate transport container clean. is there.
次に、本発明の基板搬送用コンテナについて、実施の形態を例に、図面を参照しながら説明する。 Next, the substrate transport container of the present invention will be described with reference to the drawings, taking the embodiment as an example.
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の基板搬送用コンテナの第１の実施の形態を示した斜視図であり、図２はその平面図、図３は図２における基板搬送用コンテナのＡ−Ａ断面図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a substrate transporting container according to the present invention, FIG. 2 is a plan view thereof, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the substrate transporting container in FIG. is there.
本発明の基板搬送用コンテナ１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体２とから構成されるものであって、底部には収納したガラス基板を突き上げるためのピンを通過することができる開口部３が複数設けられている。すなわち、この基板搬送用コンテナ１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる、いわゆる上部が開放された箱状の本体２を基本の形状とし、その内部にガラス基板を収容することができる構造となっている。
The
ここで、この本体２の底部はその平面形状が略矩形状であって、搬送するガラス基板の種類により、ガラス基板に合わせた大きさ、形状とすればよい。ここで、略矩形状とは、長方形以外に正方形を含むものであり、その角部が曲面となっているものも含むものである。
Here, the bottom portion of the
この底部は、例えば、ＴＦＴ液晶用表示パネルのガラス基板としては、Ｇ６が１５００×１８５０ｍｍ、Ｇ７が１８７０×２２００ｍｍ、Ｇ７．５が２１６０×２４００ｍｍ、Ｇ８が２２００×２６００ｍｍのサイズのガラス基板、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用表示パネルのガラス基板としては、Ｇ６が１８００×２０００ｍｍ、Ｇ７が１９００×２０００ｍｍ、Ｇ７．５が２０００×２４００ｍｍのサイズであるため、これらのサイズを収容して搬送できる大きさ、形状とすることが好ましい。 For example, as a glass substrate of a TFT liquid crystal display panel, the bottom portion is a glass substrate having a size of G6 1500 × 1850 mm, G7 1870 × 2200 mm, G7.5 2160 × 2400 mm, G8 2200 × 2600 mm, plasma display As a glass substrate of a display panel for (PDP), G6 has a size of 1800 × 2000 mm, G7 has a size of 1900 × 2000 mm, and G7.5 has a size of 2000 × 2400 mm. It is preferable that
また、この本体２の側部は、略矩形状の底部の四方を囲うように形成され、収容されるガラス基板の脱落を防止する機能を有するものである。この側部は、そのまま底部に対して垂直に立ち上がり、収容するガラス基板を収容部内に保持できるようにしたものである。
Further, the side portion of the
このとき、基板搬送用コンテナ１の高さ、すなわち底部の下面から側部の上面までの長さは、ガラス基板を収容することができれば特に限定されないが、３０〜１００ｍｍであることが好ましく、５０〜６０ｍｍであることが特に好ましい。
At this time, the height of the
なお、図１〜２に記載しているように、側部と底部との接合部分及び側部と側部との接合部分が曲面を形成していることが好ましく、このようにした場合、例えば、４つの側部で形成される収容部内面の形状は矩形状の４つの頂点が全て角がとれた略円弧状になる。 In addition, as described in FIGS. 1 and 2, it is preferable that the joint part between the side part and the bottom part and the joint part between the side part and the side part form a curved surface. The shape of the inner surface of the housing portion formed by the four side portions is a substantially arc shape in which all four vertices of the rectangle are rounded.
このように円弧状となった場合は、矩形状のガラス基板が収容部の形状と異なるため、ぴったり合うことはないが、ガラス基板の一対の辺を一対の側部で保持するようにし、他の一対の辺はガラス基板と側部との間隙に柔軟性を有するクッション部材等を挿入したり、４つの辺の全てについてガラス基板と側部との間隙にクッション部材等を挿入して、ガラス基板がずれないようにすることができる。 In this case, since the rectangular glass substrate is different from the shape of the housing portion, the rectangular glass substrate does not fit exactly, but the pair of sides of the glass substrate is held by the pair of side portions, Insert a cushion member or the like having flexibility into the gap between the glass substrate and the side portion of the pair of sides, or insert a cushion member or the like into the gap between the glass substrate and the side portion for all of the four sides. It is possible to prevent the substrate from shifting.
また、本実施形態の基板搬送用コンテナ１の底部は、製造工場内でガラス基板をコンテナから取り出す際に用いる突き出し用のピンが通過することができるように複数の開口部３を有しており、この開口部３は、突き出し用ピンに対応した位置に設けられているものである。このとき、突き出し用ピンはガラス基板をリフトアップしたときに、ガラス基板が損傷等しないように十分に支えることができるように配置されたものである。
Moreover, the bottom part of the
一方、開口部３を除いた底部は、ガラス基板を収納し、保存、搬送等する際に、ガラス基板を安定して保持することができる形状であればよく、例えば、図２に示したように格子状に形成されたものが挙げられる。
On the other hand, the bottom part except the
この本体２の素材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ（アクリル−ブタジエン−スチレン）樹脂、ポリカーボン樹脂等の合成樹脂を用いることができ、廃棄時の処理等、環境保護の観点からポリエチレン、ポリプロピレンであることが好ましい。
As the material of the
また、ここで用いる合成樹脂は導電性を付与したものであってもよく、導電性を付与するには、合成樹脂中にカーボン、銀、金、銅、ニッケル等の導電物質を混合すればよい。このように導電性を付与した場合には、コンテナの帯電を防止して、静電除去の効果を奏することができるため、ＦＰＤ用ガラス基板の電気破壊及び埃の付着を防止することができる。 In addition, the synthetic resin used here may be provided with conductivity, and in order to provide conductivity, a conductive material such as carbon, silver, gold, copper, or nickel may be mixed in the synthetic resin. . When the conductivity is imparted in this way, the container can be prevented from being charged and the effect of electrostatic removal can be obtained, so that the electrical breakdown of the FPD glass substrate and the adhesion of dust can be prevented.
このように本発明の基板搬送用コンテナは樹脂製であるためコンテナ自体の重量を抑えることができ、搬送、製造工場内での移動、保存等において作業性が良好である。さらに、これを発泡性のものとすればより軽量となり、作業性が良好になるが、この場合には強度を十分保持しなければならないことに注意する必要があり、適宜、金属板、金属柱等の補強部材を用いて補強することで強度を確保することができる。 As described above, since the container for transporting a substrate of the present invention is made of resin, the weight of the container itself can be suppressed, and workability is good in transportation, movement in a manufacturing factory, storage, and the like. Furthermore, if it is made foamable, it will be lighter and workability will be better. However, in this case, it should be noted that sufficient strength must be maintained. Strength can be ensured by reinforcing using a reinforcing member such as.
本実施形態の基板搬送用コンテナ１においては、十分な強度を確保するため、樹脂成形品の内部を金属板、金属柱等の補強部材で骨格を形成しており、例えば、図３に示したように、側部には金属板４、底部には金属柱５で基板搬送用コンテナの骨格を形成し、この金属骨格を樹脂で覆うように成形してガラス基板搬送用のコンテナとしている。この実施の形態においては、底部は格子状の金属柱で骨格が形成され、その骨格を樹脂で被覆したものである。
In the
ここで用いる補強部材は、強度を確保する点から金属製のものであって、かつ、コンテナの質量を軽減することができる点で内部が中空になっていることが好ましい。また、この補強部材としては、その断面形状が、四角形、三角形等の多角形や円形等の種々の形状のものを用いることができる。この補強部材に用いる金属としては、質量と強度との関係から、アルミニウム、チタン及びステンレス鋼（ＳＵＳ）から選ばれた少なくとも１種の金属であることが好ましい。 It is preferable that the reinforcing member used here is made of metal from the viewpoint of securing strength and is hollow in that the mass of the container can be reduced. In addition, as the reinforcing member, those having various shapes such as polygonal shapes such as a quadrangle and a triangle, and a circular shape can be used. The metal used for the reinforcing member is preferably at least one metal selected from aluminum, titanium, and stainless steel (SUS) from the relationship between mass and strength.
次に、本発明で言う突き上げ用のピンとは、本発明の基板搬送用コンテナに収容されたガラス基板を取り出す際に用いるものであり、開口部を通して突き上げ用ピンによりガラス基板を突き上げて、収容されていたガラス基板を基板搬送用コンテナの上部へ持ち上げるものである。 Next, the push-up pin referred to in the present invention is used when taking out the glass substrate accommodated in the substrate transport container of the present invention, and the glass substrate is pushed up by the push-up pin through the opening and accommodated. The glass substrate which has been lifted is lifted to the upper part of the substrate transport container.
この基板搬送用コンテナ１により、製造工場への搬送後、製造工程の開始地点にそのままセットすることで、ガラス基板の取り出しを行うことができるが、このガラス基板の取り出しについて図４を参照しながら説明する。図４ａ〜ｃは、基板搬送用コンテナ１を用いたガラス基板のリフトアップ動作を示した図である。
With this
まず、ガラス基板６を収容する基板搬送用コンテナ１を、その開口部３を突き出し用ピン７が通過できる所定の位置に置く（図４ａ）。突き出し用ピン７を緩やかに上昇させ、突き出し用ピン７がガラス基板を損傷することのないように、突き出し用ピンの先端をガラス基板６に穏やかに接触させる（図４ｂ）。そのまま、突き出し用ピン７をさらに上昇させて、ガラス基板６を基板搬送用コンテナ１の収容部の上方へ持ち上げる（図４ｃ）。
First, the
このように持ち上げられたガラス基板６は、吸盤を有するアーム等により上部から一枚ずつ順番に次の工程へ移送されることで、製造工程に付され、フラットパネルが製造されることとなる。
The
なお、持ち上げの際に用いた突き上げ用ピンは、その配置の位置は問わないが、ガラス基板面に対して４００〜９００ｃｍ２に一つの割合で配置されていることが好ましく、２０〜３０ｃｍ間隔で格子状に配置されていることが特に好ましい。 It should be noted that the push-up pins used for lifting may be arranged at any position, but preferably arranged at a rate of 400 to 900 cm 2 with respect to the glass substrate surface at intervals of 20 to 30 cm. It is particularly preferable that they are arranged in a lattice pattern.
また、突き上げ用ピンの太さは、特に制限されず、直径０．５〜２．０ｃｍの円柱状又は円錐状に形成することが好ましく、その先端はガラス基板への負荷が過度とならず、ガラス基板面への接触面積を小さくするような大きさとすることが好ましい。その長さはガラス基板を搬送用コンテナの上部へ十分に突き上げることができるものであればよい。 Further, the thickness of the push-up pin is not particularly limited and is preferably formed in a columnar shape or a conical shape having a diameter of 0.5 to 2.0 cm, and the tip thereof is not excessively loaded on the glass substrate. It is preferable that the contact area on the glass substrate surface is made small. The length should just be what can push up a glass substrate fully to the upper part of a container for conveyance.
この開口部３は、このようにガラス基板６を取り出す際に用いる他、基板搬送用コンテナ１を使用した後、洗浄・乾燥する際に、洗浄した水を排出する働きも有するため、コンテナを反転させる等の作業をしなくても容易に乾燥させることができる。
The
また、本実施の形態の基板搬送用コンテナにおいて、底部上面が開口部３へ向かって下り勾配を有するように傾斜、すなわち、側部から開口部へ向かって及び開口部と開口部との中間部分からそれぞれ開口部へ向かって下り勾配とすれば、コンテナの洗浄・乾燥をする際に、洗浄水が開口部からより排出し易くなり好ましい。
In the substrate transport container of the present embodiment, the bottom upper surface is inclined so as to have a downward slope toward the
このようにすれば、基板搬送用コンテナの底部には、窪んでいて洗浄水が留まるような箇所がなく、その底部の断面は開口部へ向かって細くなるテーパ状であって、傾斜して下った先には開口部が設けられているため、洗浄水は全て開口部より排出される。この形状を有することで、本実施例の基板搬送用コンテナは、第１の実施の形態と比べて、より洗浄水のきれに優れたものとなっている。 In this way, the bottom portion of the substrate transport container has no recess where the cleaning water stays, and the bottom section has a tapered shape that becomes narrower toward the opening and is inclined downward. Since the opening is provided at the tip, all the cleaning water is discharged from the opening. By having this shape, the container for transporting a substrate according to the present example is superior in cleaning water drainage as compared with the first embodiment.
この底部の傾斜は、洗浄時の水きれを改善することができる角度であればよく、例えば、コンテナを水平な台に載置した時に、水平面に対して３〜２０°の傾斜であることが好ましく、５〜１０°の傾斜であることが特に好ましい。 The inclination of this bottom part should just be an angle which can improve drainage at the time of washing, for example, when placing a container on a horizontal stand, it should be 3-20 degrees inclination to a level surface. An inclination of 5 to 10 ° is preferable and particularly preferable.
また、本発明の底部の上面と側部の内面との接合部及び側部の内面同士の接合部は、曲面に形成されていることが好ましく、このような曲面を有する場合には、コンテナの洗浄・乾燥時に洗浄水が角に留まることがなく、容易に洗浄水を排除することができる。したがって、洗浄後のコンテナをより清浄に保つことができる。 Moreover, it is preferable that the junction part of the upper surface of the bottom part of this invention and the inner surface of a side part, and the junction part of the inner surfaces of a side part are formed in the curved surface, and when it has such a curved surface, The washing water does not stay at the corners during washing and drying, and the washing water can be easily removed. Therefore, the container after washing can be kept clean.
ここで形成される曲面は、その曲率半径Ｒが、５〜２０ｍｍであることが好ましく、１０〜２０ｍｍであることが特に好ましい。 The curved surface formed here preferably has a curvature radius R of 5 to 20 mm, particularly preferably 10 to 20 mm.
また、このとき、コンテナの表面に撥水加工を施すことにより、さらに洗浄水を排除する性能に優れたものとすることもできる。 At this time, the surface of the container may be subjected to water repellent treatment to further improve the performance of removing the washing water.
（第２の実施の形態）
図５は、本発明の基板搬送用コンテナの第２の実施の形態に係る平面図、図６は図５における基板搬送用コンテナのＢ−Ｂ断面図である。
(Second Embodiment)
FIG. 5 is a plan view according to the second embodiment of the substrate transport container of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line BB of the substrate transport container in FIG.
本実施の形態における基板搬送用コンテナ１１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体１２とから構成されるものであって、底部には収納したガラス基板を突き上げるためのピンが通過することができる開口部１３が複数設けられている。さらに、格子状に形成された底部上面には、その格子の交点に収容するガラス基板を支持する突起部１４が複数設けられている。また、側部は内部骨格として補強材１５を、底部も内部骨格として補強材１６を有している。
The
この基板搬送用コンテナ１１は、その基本構成は、第１の実施の形態と同様であり、異なるのは、底部上面に突起部１４が形成されている点であって、この突起部１４について以下説明する。
The basic structure of the
本発明を構成する突起部１４は、本体１２の底部上面に形成され、収容するガラス基板を水平に保持しつつ、ガラス基板を直接底部に接触させないようにするものである。この突起部１４はガラス基板を支持して中空に浮かせ、コンテナ表面の埃や汚れによりガラス基板を汚染させることなく清浄に保つために形成されており、本体１２の底部に複数形成されるものである。
The
この突起部１４は、ガラス基板を水平に保持するために、底部の下面に対してその頂点が平行になるように形成されている。したがって、本発明のコンテナを水平な台に載置したとき、突起部１４の頂点も水平面に存在することとなり、このとき収容するガラス基板を水平に安定して保持することができる。
The
また、この突起部１４は、ガラス基板を底部に接触させないようにする他、ガラス基板が撓むのを防止する効果を有する。ＦＰＤ用のガラス基板は、近年、薄型化、大型化が顕著であるが、ガラス基板が薄くなればなるほど、そして大きくなればなるほど、ガラス基板自体が撓みやすくなり、所定以上の負荷がかかると損傷してしまう。
In addition to preventing the glass substrate from coming into contact with the bottom, the
そこで、本発明を構成する突起部１４は、この撓みを防止し、ガラス基板への負荷をガラス基板全体に分散させる働きを有し、このとき、突起部１４は、負荷を分散させるのに４００〜９００ｃｍ２に一つの割合で形成されていることが好ましく、２０〜３０ｃｍ間隔で格子状に形成されていることが特に好ましい。このように突起部を配置することで、ガラス基板の運搬時にも安心して運ぶことができ、多少の衝撃であればガラス基板の損傷を免れることができる。
Therefore, the
この突起部１４の高さは、任意の高さとすればよいが、底部の上面から２〜１０ｍｍの高さであることが好ましく、この突起部１４にガラス基板を重ねて収容したときに側部の上面と一番上のガラス基板の上面とがほぼ同じ高さとなっていることがさらに好ましい。これは、搬送時に、ガラス基板を固定するために、コンテナ全体を梱包するか又は固定用の紐で括るためである。しかし、側部上面と一番上のガラス基板の高さのずれが大きい時には、ガラス基板の上に適当な厚さの固定用クッションを挿入することにより固定することが好ましい。ここで、ガラス基板を重ねて収容する際にはガラス基板間に保護用のシートを挿入することが好ましい。
The height of the protruding
また、突起部１４の太さは、ガラス基板を水平に保持することができれば特に制限されないが、直径０．５〜２．０ｃｍの円柱状又は円錐状に形成することが好ましく、その先端はガラス基板への負荷が過度とならず、ガラス基板面への接触面積を小さくするように形成されていることが好ましい。
The thickness of the
この突起部１４の素材は、ガラス基板を傷つけないように、そのガラス基板との接触部分は合成樹脂で構成されるものであり、この合成樹脂としては、本体と同一の樹脂でもよいが、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン、超高分子ポリマー（ＵＨＭＷ）、ＰＯＭ（ジュラン）、ニューライト等であることが好ましく、この中でもポリエーテルエーテルケトンは、優れた機械的特性を合わせ持つ熱可塑性の超耐熱高分子樹脂であり、耐疲労性・耐衝撃性・耐クリープ性に優れ、耐薬品性では濃硫酸以外は使用可能であるため、特に好ましい。
The material of the projecting
（第３の実施の形態）
図７は、本発明の基板搬送用コンテナの第３の実施の形態に係る平面図、図８（ａ）は図７における本発明の基板搬送用コンテナのＣ−Ｃ断面図、図８（ｂ）は図７における基板搬送用コンテナのＤ−Ｄ断面図である。
(Third embodiment)
FIG. 7 is a plan view according to a third embodiment of the substrate transport container of the present invention, FIG. 8A is a cross-sectional view of the substrate transport container of FIG. ) Is a DD cross-sectional view of the substrate transport container in FIG. 7.
本発明の基板搬送用コンテナ２１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体と、底部にガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が設けられているものである。
The
この基板搬送用コンテナ２１の側部２２，２３は、そのうち対向する一対の側部２２が補強部材を有する合成樹脂製の側部であって、他の一対の側部２３が一対の側部２２の対向する面の左右両端をそれぞれ結合するメインフレームで形成されたものである。
The
また、基板搬送用コンテナ２１の底部は、合成樹脂製の一対の側部２２の対向する面の下端を結合し、他の一対の側部２３であるメインフレームと平行に設けられた複数本からなる第１のサブフレーム２４と、第１のサブフレームと隣接する第１のサブフレーム又はメインフレームとを結合することができる基板支持部材２５と、第１のサブフレームと隣接する第１のサブフレーム又はメインフレームとを結合する第２のサブフレーム２６とから形成されるものである。
In addition, the bottom of the
本実施の形態における一対の側部２２は、補強部材を有する合成樹脂製のものであって、ここで用いられる補強部材及び合成樹脂は、第１の実施の形態で用いられる補強部材及び本体に用いる合成樹脂と同一のものが挙げられる。また、この一対の側部２２は、第１のサブフレームとの接合部分が容器内側に突き出した櫛型の形状を有する部材であって、これが第１のサブフレーム２４の保持をサポートしている。
The pair of
次に、他の一対の側部２３は、一対の側部２２の対向する面の左右両端をそれぞれ結合して略矩形状の容器形状を構成し、一対の側部２２と共に容器の側部の骨格を形成するものである。この他の一対の側部２３は、第１の実施形態で用いられている補強部材と同一のものを挙げることができる。
Next, the other pair of
また、第１のサブフレーム２４は、一対の側部２２のそれぞれ対向する面の下端を結合し、メインフレームと平行に設けられたものであり、基板搬送用コンテナ２１の底部として、ガラス基板を収容、保持するために設けられており、この第１のサブフレーム２４は、一対の側部２２を結合することにより基板搬送用コンテナ２１の歪みを防止する機能も併せ持っている。この第１のサブフレーム２４は、基板支持部材２５を有するものであって、ガラス基板に接触して保持するのは基板支持部材２５である。
The
基板支持部材２５は、第１のサブフレーム２４に保持されるものであるが、これは、第１のサブフレーム２４に固定されていても、第１のサブフレーム２４の長手方向に移動可能なように設けられていてもよい。
Although the
基板支持部材２５を移動可能とした場合には、基板支持部材２５のピッチを変更することができる点で好ましい。このピッチは、ガラス基板の支持を実際に行う点で重要であって、ピッチを変更することによって、ガラス基板の撓みを防止し、ガラス基板自体の質量負荷のガラス基板全体への分散度合いを調整することができる。
When the
また、第２のサブフレーム２６は、第１のサブフレーム２４が有する基板支持部材２５と隣接する第１のサブフレーム２４又はメインフレームが有する基板支持部材２５と結合し、第１のサブフレーム同士又は第１のサブフレームとメインフレームとを連結するものである。
The
この第２のサブフレーム２６で第１のサブフレーム２４を結合して、基板搬送用コンテナの底部は格子状にサブフレームが連結されたものとなり、その格子状の底部の交点には基板支持部材２５を有するため、収容するガラス基板を安定して保持することができる。
The
なお、図８（ａ）には、図７に示した基板搬送用コンテナのＣ−Ｃ断面図を、図８（ｂ）には、図７に示した基板搬送用コンテナのＤ−Ｄ断面図を示した。 8A is a cross-sectional view taken along the line C-C of the substrate transfer container shown in FIG. 7, and FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line D-D of the substrate transfer container shown in FIG. showed that.
図８（ａ）では、基板搬送用コンテナの一対の側部２２は、その内部に補強部材２７を有し、この補強部材２７に接するように他の一対の側部２３であるメインフレームが一対の側部２２と結合していることを示している。また、図８（ｂ）では、第１のサブフレーム２４、第２のサブフレーム２６及び基板支持部材２５が、それぞれどのような構成となっているかを示したものである。
In FIG. 8A, the pair of
ここで、他の一対の側部２３は一対の側部２２の補強部材と結合していることが好ましく、結合の方法としては、溶接、リベット等による固定、ネジ、嵌め込み等の組みたて式の固定等の方法が挙げられる。
Here, it is preferable that the other pair of
組みたて式とした場合には、例えば、一対の側部２２、他の一対の側部２３、第１のサブフレーム２４、基板支持部材２５、第２のサブフレーム２６をそれぞれ部品として運び、使用場所において組み立てを行うことができ、ガラス基板の搬送に用いない場合のコンテナ移動時に省スペース化を図ることができる。
In the case of a newly assembled type, for example, the pair of
また、このようにすれば、基板搬送用コンテナの一部が破損した場合にも、その破損した部品を取り替えることで基板搬送用コンテナとして使用を継続することができ、基板搬送用コンテナを効率的に使用することができる。 In addition, in this way, even when a part of the substrate transport container is damaged, it is possible to continue using it as a substrate transport container by replacing the damaged parts, and the substrate transport container can be efficiently used. Can be used for
例えば、この組み立ては、まず、一対の側部２２と他の一対の側部２３及び第１のサブフレームとを結合して基板搬送用コンテナの大枠を形成することが考えられるが、これは、一対の側部２２の樹脂部分を加熱しながら他の一対の側部２３及び第１のサブフレーム２４を圧入して、結合させることができる。
For example, in this assembly, it is conceivable that a pair of
また、あらかじめ一対の側部２２の樹脂部分を他の一対の側部２３と第１のサブフレーム２４をはめ込むことができるように成形しておいてもよい。はめ込みで行う場合には、ガラス基板の収容によりフレームの脱落が起こらないようにしておかなければならず、例えば、荷重方向に対して直行又は対向する方向にはめ込みのスペースを設けておくのがよい。
Alternatively, the resin portions of the pair of
次に、上下２つの部品に分かれている基板支持部材２５を、第１のサブフレーム２５を挟み込んではめ込み、第１のサブフレーム２５に基板支持部材２５を保持させる。このとき、同時に第２のフレームも挟むようにして格子状のサブフレームを形成することができる。
Next, the
なお、ここで用いた基板支持部材２５について、図９（ａ）にその側面図を、図９（ｂ）に図９（ａ）におけるＥ−Ｅ断面図を示した。この基板支持部材２５は、第１のサブフレーム２４を貫通して保持する第１のサブフレーム保持部２５ａと第２のサブフレーム２６を保持する第２のサブフレーム保持部２５ｂとを有するように構成され、平面上、十字に形成されたものである。
In addition, about the board |
また、図１０は、第３の実施の形態における基板搬送用コンテナ２１のメインフレーム（２３）に樹脂製のメインフレームカバー２８を設けたものであるが、この樹脂製のカバーに第２のサブフレーム保持部を設けておけば、さらに底部の強度を高めることができ好ましい。
FIG. 10 shows a case where a resin
さらに、このメインフレームカバー２８の下面は、一対の側部２２の下面と同じ高さとなっているものである。基板搬送用コンテナ２１は、工場内での製造工程における移動の際に、コンテナの下面をローラーが接するようにして配置し、ローラーを回転させることでコンテナを移動することがあり、メインフレームカバーにより側部の下面を同じ高さとして段差が生じないようにすれば、ローラーの配置に対して一対の側部２２がローラーと接するように載置するだけでなく、他の一対の側部２３に設けたメインフレームカバー２８がローラーと接するように載置することもでき、どちらの方向にも移動可能とすることで移動をスムーズに行うことができる。
Further, the lower surface of the
（第４の実施の形態）
図１１は、第４の実施の形態に係る本発明の基板搬送用コンテナの平面図である。
(Fourth embodiment)
FIG. 11 is a plan view of a substrate carrying container according to the present invention according to a fourth embodiment.
本発明の基板搬送用コンテナ３１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体と、底部にガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が設けられているものである。
The
この基板搬送用コンテナ３１は、その一対の側部３２と他の一対の側部３３からなる側部と、第１のサブフレーム３４と基板支持部材３５と第２のサブフレーム３６とからなる底部とで本体が構成されるものであり、その基本構成は第３の実施の形態と同様である。
The
ただし、本実施の形態における基板支持部材３５及び一対の側部３２は、第３の実施の形態とは構成が異なり、この基板支持部材３５は、そのガラス基板収納面にガラス基板を支持する突起部３７を有し、一対の側部３２もガラス基板を支持する突起部３８を有するものである。したがって、収容されるガラス基板は第３の実施の形態では基板支持部材の上面に接するように収容されていたが、本実施の形態では突起部３７，３８の上面に接し、突起部３７，３８でガラス基板が支えられているものである。この突起部３７及び３８について以下説明する。
However, the
本発明を構成する突起部３７，３８は、収容するガラス基板を水平に保持しつつ、ガラス基板を直接底部に接触させないようにするものである。この突起部３７，３８はガラス基板を支持して中空に浮かせ、コンテナ表面の埃や汚れによりガラス基板を汚染させることなく清浄に保つために形成されているものである。
The
基板支持部材３５のそれぞれに突起部３７が、一対の側部３２の第１のサブフレームと接合する櫛状部のそれぞれに突起部３８が形成されており、コンテナの底部に複数形成されているものである。
そして、この突起部３７，３８は、その他の構成、機能、材料等は第２の実施の形態に記載した突起部１４と同一である。このときの突起部３７を有する基板支持部材３５の側断面図を図１２に示した。
The
なお、第１のサブフレーム３４と一対の側部３２の接合部の強度をさらに高めるために補強リブ３９を形成することが好ましく、その他の各部に同様に補強リブを形成して強度を高めるようにしても良い。
In order to further increase the strength of the joint portion between the
また、基板支持部材が有する突起部を着脱式にすることもでき、着脱式とした場合には、製造工場内及び製造工場間での搬送に共用することができる。この着脱式の突起部を有する基板支持部材を図１３に示した。 Moreover, the protrusion part which a board | substrate support member has can also be made into a detachable type, and when made into a detachable type, it can share for conveyance within a manufacturing factory and between manufacturing factories. The substrate support member having this detachable protrusion is shown in FIG.
この基板支持部材４５は着脱式の突起部４７を有し、この基板支持部材４５を用いれば、製造工場内での基板搬送には、ガラス基板を１又は２枚程度を収容するものであり、突起部４７を装着した状態で使用して、ガラス基板と基板搬送用コンテナとの接触を極力少なくすることで、よりガラス基板の汚損等に慎重に対処することができ、製造工場間の搬送では、ガラス基板を複数枚重ねて、例えば、２０枚程度を収容するもので、突起部４７を外して、ガラス基板を基板支持部材４５の上面全体で保持し、より負荷を分散させるようにすることでガラス基板の損傷等を生じないようにすることができる。
This
さらに、突起部４７を着脱自在に設けることによって、突起部４７を入れ替え可能とすることができる。例えば、突起部として高さの異なるものや太さや形状の異なるものを複数種類用意しておけば、収容するガラス基板の厚さや枚数に応じて適した高さの調節を行ったり、ガラス基板への負荷を調節したりすることができる。高さの調節は、運搬時にコンテナの側部の上面と収容されるガラス基板の一番上のガラス基板との高さを合わせる際に極めて有効である。
Furthermore, by providing the
なお、図１３に示した着脱自在の突起部４７の基板支持面は、より安定して基板の支持を行うことができるように水平面に切断したものである。
The substrate support surface of the
（第５の実施の形態）
図１４は、第５の実施の形態における本発明の基板搬送用コンテナの平面図であり、図１５は、その側断面図、図１６は、基板搬送用コンテナを重ねておいたときの側断面図の概略図である。
(Fifth embodiment)
FIG. 14 is a plan view of a substrate transport container according to the present invention in a fifth embodiment, FIG. 15 is a side sectional view thereof, and FIG. 16 is a side cross section when the substrate transport containers are overlaid. It is the schematic of a figure.
本発明の基板搬送用コンテナ５１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体５２とから構成されるものであって、底部には収納したガラス基板を突き上げるためのピンを通過することができる開口部５３が複数設けられている。また、側部の上面には凸部５４が、それに対応する側部の下面には凹部５５が設けられており、この凸部５４及び凹部５５は側部に沿って形成されている。さらに、側部の基板収容部の反対の面の下端には、基板搬送用コンテナをリフトアップできるようにサーキットフレーム５６が設けられている。
The
この基板搬送用コンテナ５１は、その基本構成は、第１の実施の形態と同様であり、異なるのは、側部の上面に凸部５４、その対応する底部に凹部５５が設けられており、さらに側部の外周下部にサーキットフレーム５６が設けられている点である。したがって、以下、第１の実施形態と相違する点のみについて説明する。
The basic structure of the
まず、凸部５４及び凹部５５について説明するが、側部上面の凸部５４と側部下面の凹部５５とは、それぞれが対応した位置に形成されており、基板搬送用コンテナ５１を複数個重ねて保管、搬送等をする際に、あるコンテナの凸部とそのコンテナの上に重ねて置かれるコンテナの凹部とが合致するように形成されているものである。この形状は重ねて置くことができれば特に制限はなく、凸部の断面が台形、矩形、三角形、半円形等の様々な形状を用いることができる。
First, the
このようにすることで、コンテナを所定の配置で重ねることができ、重ねるコンテナの数が増えても同様に重ねて置くことができるため、搬送等においても省スペースに載置することができる点で好ましい。また、このように凹凸を設けておけば、重ねた場合に上下のコンテナ同士がずれることを防止することができ、安定して運搬、保存等を行うことができる。 By doing in this way, containers can be stacked in a predetermined arrangement, and even if the number of containers to be stacked increases, they can be stacked in the same way, so that they can be placed in a space-saving manner during transportation, etc. Is preferable. In addition, if the projections and depressions are provided in this way, it is possible to prevent the upper and lower containers from shifting when they are stacked, and it is possible to stably carry and store the containers.
次に、サーキットフレーム５６は、基板搬送用コンテナ自体をリフトアップさせるためにコンテナの側部の外周に設けられたものである。これはコンテナをリフトアップすることができれば、外周の下部に限定されるものではなく、外周のいずれの位置に設けてもよい。また、本実施の形態では側部の外周に突き出した形状を例示したが、コンテナ自体をリフトアップできるものであれば側部の外周面の一部を基板収容部側へ凹ませた形状のものやその他の形状のものでもよい。
Next, the
例えば、図１６で、一番上の基板搬送用コンテナ６１を移動させるときには、図示しないリフトアップ用のアームをサーキットフレーム６６の下面に接するようにし、そのまま持ち上げることで基板搬送用コンテナ６６を移動させることができる。
For example, in FIG. 16, when the uppermost
また、図１６で、一番下の基板搬送用コンテナ８１を移動させるときには、図示しないリフトアップ用のアームをサーキットフレーム７６の下面に接するようにし、そのまま持ち上げることで基板搬送用コンテナ６６及び７６を持ち上げ、ついで、基板搬送用コンテナ８１の側部下面に接するように配置されている図示しないローラーを回転させることで基板搬送用コンテナ８１を移動させることができる。
Further, in FIG. 16, when the lowermost
また、本発明の実施の形態１〜５で記載した基板搬送用コンテナは、ガラス基板の収容枚数をコンテナ１つに対して１枚とし、コンテナにＩＣタグを装着することで、ガラス基板の搬送状況、製造工程への移送状況等の状態管理をコンテナ毎に行うこともできる。
Moreover, the container for container conveyance described in
１，１１…基板搬送用コンテナ、２，１２…本体、３，１３…開口部、４…補強材、５…補強材、６…ガラス基板、７…突き上げ用ピン、１４…突起部、２１，３１…基板搬送用コンテナ、２２，３２…一対の側部、２３，３３…他の一対の側部、２４，３４…第１のサブフレーム、２５，３５…基板支持部材、２６，３６…第２のサブフレーム、２７…補強材、２８…メインフレームカバー、３７，３８…突起部、５１…基板搬送用コンテナ、５２…本体、５３…開口部、５４…凸部、５５…凹部、５６…サーキットフレーム
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記底部は、前記ガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が形成されており、
前記側部は、そのうち対向する一対の側部が補強部材を内部骨格として有する合成樹脂による樹脂成形品で、他の一対の側部が前記一対の側部の対向する面の左右両端をそれぞれ結合するメインフレームで形成され、
前記底部は、樹脂成形品である前記一対の側部の対向する面の下端を結合し、前記メインフレームと平行に設けられた複数本の第１のサブフレームで形成され、
前記第１のサブフレームは、収容するガラス基板を支持する基板支持部材を有することを特徴とする基板搬送用コンテナ。 A container for transporting a substrate comprising a bottom of a rectangular shape (including a square shape) for accommodating a glass substrate and a side portion for preventing the glass substrate formed around the bottom,
The bottom is formed with an opening through which a push-up pin for lifting up the glass substrate can pass .
The side part is a resin molded product made of a synthetic resin in which a pair of opposing side parts has a reinforcing member as an internal skeleton, and the other pair of side parts are coupled to the left and right ends of the opposing surfaces of the pair of side parts, respectively. Formed with a mainframe,
The bottom portion is formed of a plurality of first subframes that are coupled in parallel to the main frame, and that joins lower ends of opposing surfaces of the pair of side portions that are resin molded products,
The first sub-frame includes a substrate supporting member that supports a glass substrate to be accommodated .
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