KR20030063227A - 기판의 처리방법 및 기판의 처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (27)
- 기판에 대하여 처리액을 공급함에 따른 처리가, 복수의 기판에 대하여 차례로 이루어지는 기판의 처리방법으로서,상기 처리가 차례로 이루어지는 동안, 처리액에 대한 목적이 다른 복수의 프리디스펜스(pre-dispense)가 처리의 중간에 이루어지고,상기 각 프리디스펜스마다, 적어도 프리디스펜스하고자 하는 처리액의 레시피 또는 프리디스펜스의 개시조건이 정해져 있는 기판의 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 레시피는 처리액의 토출량의 설정치인 기판의 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 각 프리디스펜스마다, 전회의 프리디스펜스시 또는 전회의 리세트시부터의 적산시간이 계측되고 있으며,상기 각 프리디스펜스는, 상기 적산시간이 소정의 설정시간에 달한 경우에 이루어지고,상기 복수의 프리디스펜스에는, 순위가 정해져서,순위가 높은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 낮은 프리디스펜스의 적산시간은 리세트되고,상기 순위가 낮은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 높은프리디스펜스의 적산시간은 리세트되지 않는 기판의 처리방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 각 프리디스펜스마다, 전회의 프리디스펜스시 또는 전회의 리세트시로부터의 기판의 적산처리매수가 계측되고 있으며,상기 각 프리디스펜스는, 상기 적산처리매수가 소정의 설정처리매수에 달한 경우에 이루어지고,상기 복수의 프리디스펜스에는, 순위가 정해져서,순위가 높은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 낮은 프리디스펜스의 상기 적산처리매수는 리세트되고,상기 순위가 낮은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 높은 프리디스펜스의 적산처리매수는 리세트되지 않는 기판의 처리방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 각 프리디스펜스마다, 전회의 프리디스펜스시 또는 전회의 리세트시로부터의 적산시간과 기판의 적산처리매수가 계측되고 있으며,상기 각 프리디스펜스는, 상기 적산시간이 소정의 설정시간에 달한 경우, 혹은 상기 적산처리매수가 각각의 설정처리매수에 달한 경우에 이루어지고,상기 복수의 프리디스펜스에는, 순위가 정해져서,순위가 높은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 낮은 프리디스펜스의 적산시간 및 적산처리매수는 리세트되고,상기 순위가 낮은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 높은 프리디스펜스의 적산시간 및 적산처리매수는 리세트되지 않는 기판의 처리방법.
- 제 3 항에 있어서,상기 복수의 프리디스펜스의 일부에만, 상기 순위가 정해지고,순위가 정해지지 않은 프리디스펜스는, 다른 모든 프리디스펜스가 행하여진 경우에는 상기 리세트가 행하여지지 않고,해당 순위가 정해지지 않은 프리디스펜스는, 독자적인 개시조건에 따라서만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 복수의 프리디스펜스의 일부에만, 상기 순위가 정해지고,순위가 정해지지 않은 프리디스펜스는, 다른 모든 프리디스펜스가 행하여진 경우에는 상기 리세트가 행하여지지 않고,해당 순위가 정해지지 않은 프리디스펜스는, 독자적인 개시조건에 따라서만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 복수의 프리디스펜스의 일부에만, 상기 순위가 정해지고,순위가 정해지지 않은 프리디스펜스는, 다른 모든 프리디스펜스가 행하여진 경우에는 상기 리세트가 행하여지지 않고,해당 순위가 정해지지 않은 프리디스펜스는, 독자적인 개시조건에 따라서만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 제 3 항에 있어서, 같은 순위로, 복수의 프리디스펜스가 정해지고,해당 같은 순위로 정해진 프리디스펜스는, 같은 순위의 다른 프리디스펜스가 행하여진 경우에는 상기 리세트가 행하여지지 않는 기판의 처리방법.
- 제 4 항에 있어서, 같은 순위로, 복수의 프리디스펜스가 정해지고,해당 같은 순위로 정해진 프리디스펜스는, 같은 순위의 다른 프리디스펜스가 행하여진 경우에는 상기 리세트가 행하여지지 않는 기판의 처리방법.
- 제 5 항에 있어서, 같은 순위로, 복수의 프리디스펜스가 정해지고,해당 같은 순위에 정해진 프리디스펜스는, 같은 순위의 다른 프리디스펜스가 행하여진 경우에는 상기 리세트가 행하여지지 않는 기판의 처리방법.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함에 따른 처리가, 복수의 기판에 대하여 차례로 이루어지는 기판의 처리방법으로서,기판의 로트가 중단되었을 때에 처리액의 프리디스펜스를 하는 공정을 가지며,상기 프리디스펜스를 행하는 공정은, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 경우에만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함에 따른 처리가, 복수의 기판에 대하여 차례로 이루어지는 기판의 처리방법으로서,기판의 로트가 중단되었을 때에 처리액의 프리디스펜스를 행하는 공정을 가지며,상기 프리디스펜스를 행하는 공정은, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 또는 앞선 로트의 처리가 종료하고 나서 소정시간이 경과한 것중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함에 따른 처리가, 복수의 기판에 대하여 차례로 이루어지는 기판의 처리방법으로서,기판의 로트가 중단되었을 때에 처리액의 프리디스펜스를 행하는 공정을 가지며,상기 프리디스펜스를 행하는 공정은, 공급되는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 또는 앞선 프리디스펜스가 행하여지고 나서 소정수의 로트의 처리가 종료한 것중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함에 따른 처리가, 복수의 기판에 대하여 차례로 이루어지는 기판의 처리방법으로서,기판의 로트가 중단되었을 때에 처리액의 프리디스펜스를 행하는 공정을 가지며,상기 프리디스펜스를 행하는 공정은, 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 앞선 로트의 처리가 종료하고 나서 소정시간이 경과한 것, 또는 앞선 프리디스펜스가 행하여지고 나서 소정수의 로트의 처리가 종료한 것중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 조건의 소정수를 인식하기 위해서 처리한 로트의 수가 카운트되고,해당 처리한 로트의 수의 카운트는, 상기 프리디스펜스가 행하여질 때마다 리세트되는 기판의 처리방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 조건의 소정수를 인식하기 위해서 처리한 로트의 수가 카운트되고,해당 처리한 로트의 수의 카운트는, 상기 프리디스펜스가 행하여질 때마다 리세트되는 기판의 처리방법.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함에 따른 처리가, 복수의 기판에 대하여 차례로 이루어지는 기판의 처리방법으로서,기판의 로트가 중단되었을 때에 처리액의 프리디스펜스를 행하는 공정을 가지며,상기 프리디스펜스를 행하는 공정은, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 앞선 로트의 처리가 종료하고 나서 소정시간이 경과한 것, 혹은 앞선 프리디스펜스가 행하여지고 나서 소정매수의 기판이 처리된 것 중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만 행하여지는 기판의 처리방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 조건의 소정매수를 인식하기 위해서 상기 기판의 처리매수가 카운트되고,해당 기판의 처리매수의 카운트는, 상기 프리디스펜스가 이루어질 때마다 리세트되는 기판의 처리방법.
- 제 12 항에 있어서,기판의 최초의 로트의 처리를 시작할 때에도, 상기 프리디스펜스가 행하여지는 기판의 처리방법.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함으로써 처리를 행하는 처리장치로서,처리액을 공급하고, 또 처리액의 프리디스펜스를 하는 처리액 공급기구와,상기 프리디스펜스를 제어하는 주제어장치를 가지며,상기 주제어장치는, 목적이 다른 복수의 프리디스펜스의 토출량과 개시조건이 설정되어 있는 기판의 처리장치.
- 제 21 항에 있어서,상기 주제어장치는 계측부를 가지며,상기 각 프리디스펜스마다, 전회의 프리디스펜스시 또는 전회의 리세트시부터의 적산시간이 상기 계측부에 의해서 계측되고 있으며,상기 주제어장치는:각 프리디스펜스가 상기 적산시간이 소정의 설정시간에 달한 경우에 행하여지도록 하고,상기 복수의 프리디스펜스에는, 순위가 정해지고,순위가 높은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 낮은 프리디스펜스의 적산시간이 리세트되고,상기 순위가 낮은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 높은 프리디스펜스의 적산시간은 리세트되지 않도록 제어를 행하는 기판의 처리장치.
- 제 21 항에 있어서,상기 주제어장치는 계측부를 가지며,상기 각 프리디스펜스마다, 전회의 프리디스펜스시 또는 전회의 리세트시부터의 적산처리매수가 상기 계측부에 의해서 계측되고 있으며,상기 주제어장치는:각 프리디스펜스가 상기 적산처리매수가 소정의 설정매수에 달한 경우에 행하여지고,상기 복수의 프리디스펜스에는, 순위가 정해지고,순위가 높은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 낮은 프리디스펜스의 적산처리매수가 리세트되고,상기 순위가 낮은 프리디스펜스가 행하여진 경우에는, 그보다 순위가 높은 프리디스펜스의 적산처리매수는 리세트되지 않도록 제어하는 기판의 처리장치.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함으로써 처리를 행하는 처리장치로서,처리액의 프리디스펜스를 제어하는 주제어부를 가지며,상기 주제어부는, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 경우에만, 프리디스펜스의 지시를 보내는 기판의 처리장치.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함으로써 처리를 하는 처리장치로서,처리액의 프리디스펜스를 제어하는 주제어부를 가지며,상기 주제어부는, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 또는 앞선 로트의 처리가 종료하고 나서 소정시간이 경과한 것중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만, 프리디스펜스의 지시를 보내는 기판의 처리장치.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함으로써 처리를 하는 처리장치로서,처리액의 프리디스펜스를 제어하는 주제어부를 가지며,상기 주제어부는, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 또는 앞선 프리디스펜스가 행하여지고 나서 소정수의 로트의 처리가 종료한 것중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만, 프리디스펜스의 지시를 보내는 기판의 처리장치.
- 기판에 대하여 처리액을 공급함으로써 처리를 하는 처리장치로서,처리액의 프리디스펜스를 제어하는 주제어부를 가지며,상기 주제어부는, 공급하는 처리액의 종류가 로트사이에서 변경되는 것, 앞선 로트의 처리가 종료하고 나서 소정시간이 경과한 것, 또는 앞선 프리디스펜스가 행하여지고 나서 소정수의 로트의 처리가 종료한 것중의 어느 하나의 조건을 만족하는 경우에만, 프리디스펜스의 지시를 보내는 기판의 처리장치.
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