KR102398207B1

KR102398207B1 - 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법

Info

Publication number: KR102398207B1
Application number: KR1020200081667A
Authority: KR
Inventors: 사토시 나카오
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2019-08-09
Filing date: 2020-07-02
Publication date: 2022-05-17
Also published as: KR20210018755A; TWI736381B; JP2021028115A; CN112339182B; TW202106485A; JP7149238B2; CN112339182A

Abstract

본 발명은, 시트모양 수지의 절곡이나 구김 또는 파손을 억제해서 시트모양 수지를 성형틀에 공급하는 것이고, 서로 대향하는 제1의 성형틀(15) 및 제2의 성형틀(16)과, 제1의 성형틀(15) 및 제2의 성형틀(16)을 틀체결하는 틀체결 기구(17)와, 시트모양 수지(J)를 제1의 성형틀(15) 또는 제2의 성형틀(16)에 공급하는 수지 공급 기구(2)를 구비하고, 수지 공급 기구(2)는, 한쪽 면에 보호 필름(PF)이 마련된 시트모양 수지(J)에 있어서의 다른쪽 면을 흡착하는 흡착구멍(311)이 형성된 흡착 부재(31)을 구비한다.

Description

수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법{RESIN MOLDING APPARATUS AND RESIN MOLDED PRODUCT MANUFACTURING METHOD}

본 발명은, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법에 관한 것이다.

종래의 수지 성형 장치로서는, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 시트모양 수지를 이용하여 수지 성형을 행하는 것이 생각되고 있다.

이 수지 성형 장치는, 미리 패키지에 맞추어 최적으로 계량 컷된 복수의 시트모양 수지를, 하부틀에 마련된 복수의 캐비티에 일괄해서 반입하도록 구성되어 있고, 수지 재료로서 시트모양 수지를 이용함으로써, 계량 정밀도를 높여, 각 캐비티로의 수지 공급량의 균일화를 도모하고 있다.

일본공개특허공보 특개2003－133350호

그렇지만, 시트모양 수지에는, 그의 한면 또는 양면에 보호 필름이 마련되어 있고, 하부틀 등의 성형틀에 공급하기 전에 시트모양 수지로부터 보호 필름을 벗기지 않으면 안 된다. 시트모양 수지는, 형상을 유지할 수 없을 정도로 부드럽고 무르기 때문에, 보호 필름을 벗길 때 또는 벗긴 후에, 시트모양 수지가 절곡되기(부러져서 굽어지기) 쉽고, 구겨지기(주름지기) 쉽고, 파손되기 쉽다. 특히 성형 대상물인 기판이나 웨이퍼가 대형으로 될수록, 시트모양 수지가 커지기 때문에, 이들의 문제가 현저하게 된다. 이와 같은 것으로 인해, 보호 필름을 벗긴 시트모양 수지를 적절한 상태로 성형틀에 공급하는 것이 어렵고, 그 결과, 성형 불량의 원인으로 되어 버린다.

그래서 본 발명은, 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 시트모양 수지의 절곡(折曲)이나 구김 또는 파손을 억제해서 시트모양 수지를 성형틀에 공급하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.

즉 본 발명에 관계된 수지 성형 장치는, 서로 대향하는 제1의 성형틀 및 제2의 성형틀과, 상기 제1의 성형틀 및 상기 제2의 성형틀을 틀체결하는(型締, die-clamping) 틀체결 기구와, 시트모양 수지를 상기 제1의 성형틀 또는 상기 제2의 성형틀에 공급하는 수지 공급 기구를 구비하고, 상기 수지 공급 기구는, 한쪽 면에 보호 필름이 마련된 상기 시트모양 수지에 있어서의 다른쪽 면을 흡착하는 흡착구멍이 형성된 흡착 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 시트모양 수지의 절곡이나 구김 또는 파손을 억제해서, 시트모양 수지를 성형틀에 공급할 수가 있다.

도 1은 본 실시형태의 수지 성형 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 2는 같은(同) 실시형태의 수지 성형 모듈의 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은 시트모양 수지의 (a) 보호 필름을 벗기기 전의 상태와 (b) 보호 필름을 벗겨서 구겨진(주름진) 상태를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 4는 같은 실시형태의 흡착 기구의 구성을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 같은 실시형태의 흡착 기구의 구성을 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 6은 같은 실시형태의 흡착 기구의 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 7은 같은 실시형태의 흡착 부재의 표면의 요철을 모식적으로 도시하는 부분 확대 단면도이다.
도 8은 같은 실시형태의 수지 성형의 동작을 도시하는 모식도이다.
도 9는 같은 실시형태의 흡착 부재를 하부틀에 위치결정한 상태를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 10은 변형 실시형태의 흡착 기구의 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다.

다음에, 본 발명에 대해서, 예를 들어 더욱더 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명은, 이하의 설명에 의해 한정되지 않는다.

본 발명의 수지 성형 장치는, 전술한 대로, 서로 대향하는 제1의 성형틀 및 제2의 성형틀과, 상기 제1의 성형틀 및 상기 제2의 성형틀을 틀체결하는 틀체결 기구와, 시트모양 수지를 상기 제1의 성형틀 또는 상기 제2의 성형틀에 공급하는 수지 공급 기구를 구비하고, 상기 수지 공급 기구는, 한쪽 면에 보호 필름이 마련된 상기 시트모양 수지에 있어서의 다른쪽 면을 흡착하는 흡착구멍이 형성된 흡착 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성된 수지 성형 장치라면, 한쪽 면에 보호 필름이 마련된 시트모양 수지의 다른쪽 면을 흡착 부재에 흡착시킨 상태에서 시트모양 수지로부터 보호 필름을 벗길 수 있으므로, 보호 필름을 벗길 때 또는 벗긴 후에 있어서 시트모양 수지의 형상을 유지할 수가 있다. 이것에 의해, 시트모양 수지의 절곡이나 구김 또는 파손을 억제해서, 시트모양 수지를 성형틀에 공급할 수가 있다. 그 결과, 시트모양 수지를 이용한 수지 성형의 성형 불량을 저감할 수가 있다.

또한, 수지 재료로서 시트모양 수지를 이용하고 있으므로, 액상(液狀) 수지나 과립상(顆粒狀) 수지를 이용한 경우에 비해, 성형틀 내로의 수지 재료의 공급량을 균일화할 수 있고, 수지 성형품을 얇게 하고 싶다는 등과 같은 요구에 부응할 수도 있다.

흡착 부재에 대해서 시트모양 수지를 확실하게 흡착시키기 위해서는, 상기 흡착 부재의 상기 흡착구멍이 형성된 표면에, 복수의 요철이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성이라면, 복수의 요철에 의해서 흡착 부재와 시트모양 수지 사이에 틈새(隙間)가 생기고, 당해 틈새로부터도 흡착구멍에 의해서 공기가 흡인되게 된다. 그 결과, 시트모양 수지는 흡착구멍으로부터 뿐만 아니라, 오목부로부터도 흡착되게 되어, 시트모양 수지의 수압(受壓) 면적이 커지고, 흡착 부재에 대해서 시트모양 수지를 확실하게 흡착시킬 수가 있다. 또, 시트모양 수지가 받는 압력이 분산화되기 때문에, 시트모양 수지의 변형이나 파손을 저감할 수 있음과 동시에, 흡착구멍에 시트모양 수지가 비집고 들어가(침입해서) 벗겨지기 어려워진다고 하는 트러블을 억제할 수 있다.

상기 흡착 부재에, 상기 흡착구멍이 복수 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 흡착 부재에 복수의 흡착구멍을 형성하는 것에 의해서, 시트모양 수지가 각 흡착구멍으로부터 받는 압력을 작게 할 수가 있다. 그 결과, 시트모양 수지의 변형이나 파손을 저감할 수 있음과 동시에, 흡착구멍에 시트모양 수지가 비집고 들어가 벗겨지기 어려워진다고 하는 트러블을 억제할 수 있다.

복수의 흡착구멍에 1개의 흡인 유로가 연통되어 있는 경우, 그 흡인 유로로부터 가까운 위치에 있는 흡착구멍과 먼 위치에 있는 흡착구멍에서는 흡착력에 편차가 생겨 버린다. 이 문제를 해결해서 복수의 흡착구멍의 흡착력의 편차를 억제하기 위해서는, 상기 수지 공급 기구가, 상기 복수의 흡착구멍에 연통하는 복수의 흡인 유로를 가지고 있는 것이 바람직하다.

흡착한 시트모양 수지를 성형틀에 공급할 때에 흡착을 해제하는 것만으로는 확실하게 시트모양 수지를 떼어놓을 수 없는 경우가 상정된다. 또, 시트모양 수지가 흡착 부재로부터 떨어질(멀어질) 때에 시트모양 수지가 부분적으로 말려(젖혀져) 버려, 성형틀에 공급된 시트모양 수지가 절곡되거나 구겨지거나 할 우려가 있다.

이들의 문제를 해결하기 위해서는, 상기 흡착 부재는, 흡착한 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면에 가스를 분출가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성이라면, 흡착한 시트모양 수지의 다른쪽 면에 가스를 분사하고 있으므로, 흡착 부재로부터 시트모양 수지를 확실하게 떼어놓을 수 있음과 동시에, 떨어진 후의 시트모양 수지가 부분적으로 말려서(젖혀져서) 절곡되거나 구겨지거나 하는 것을 억제할 수가 있다.

흡착 부재로부터 가스를 분출가능하게 하는 구체적인 실시의 양태로서는, 상기 흡착 부재에, 흡착한 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면에 가스를 분출하는 가스 분출구멍이 형성되어 있는 것이 생각된다.

이 때, 흡착 부재의 구성을 간략화하기 위해서는, 상기 흡착구멍은, 상기 가스 분출구멍으로서 겸용되고 있는 것이 바람직하다. 또, 시트모양 수지에 있어서 흡착구멍에 비집고 들어간 부분이 가스에 의해 직접 밀리게 되기 때문에, 흡착 부재로부터 시트모양 수지를 확실하게 떼어놓을 수가 있다.

성형틀에 대해서 정밀도 좋게 시트모양 수지를 공급하기 위해서는, 우선은 흡착 부재에 대해서 시트모양 수지를 위치맞춤한 상태에서 흡착시키는 것이 바람직하다. 이 위치맞춤을 용이하게 행할 수 있도록 하기 위해서는, 상기 흡착 부재는, 상기 시트모양 수지를 위치맞춤하기 위한 안표부(目印部, mark portion)를 가지는 것이 바람직하다.

또, 본 발명에 관계된 수지 성형품의 제조 방법은, 서로 대향하는 제1의 성형틀 및 제2의 성형틀을 틀체결해서 수지 성형품을 제조하는 수지 성형품의 제조 방법으로서, 한쪽 면에 보호 필름이 마련된 시트모양 수지의 다른쪽 면을 흡착 부재에 흡착시키고, 상기 시트모양 수지를 보존유지(保持)하는 흡착 보존유지 스텝과, 상기 흡착 부재에 흡착 보존유지된 상기 시트모양 수지로부터 상기 보호 필름을 벗기는 박리 스텝과, 상기 보호 필름이 벗겨진 상기 시트모양 수지를, 상기 제1의 성형틀 또는 상기 제2의 성형틀에 공급하는 수지 공급 스텝과, 상기 제1의 성형틀 및 상기 제2의 성형틀을 틀체결해서, 상기 시트모양 수지를 이용하여 수지 성형을 행하는 수지 성형 스텝을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 수지 성형품의 제조 방법이라면, 상술한 수지 성형 장치와 마찬가지로, 한쪽 면에 보호 필름이 마련된 시트모양 수지의 다른쪽 면을 흡착 부재에 흡착시킨 상태에서 시트모양 수지로부터 보호 필름을 벗길 수 있으므로, 보호 필름을 벗길 때 또는 벗긴 후에 있어서 시트모양 수지의 형상을 유지할 수가 있다. 이것에 의해, 시트모양 수지의 절곡이나 구김 또는 파손을 억제해서, 시트모양 수지를 성형틀에 공급할 수가 있다. 그 결과, 시트모양 수지를 이용한 수지 성형의 성형 불량을 저감할 수가 있다.

성형틀에 대해서 정밀도 좋게 시트모양 수지를 공급하기 위해서는, 상기 수지 공급 스텝에 있어서, 상기 흡착 부재를 상기 제1의 성형틀 또는 상기 제2의 성형틀에 대해서 위치결정하는 것이 바람직하다.

상기 흡착 부재는, 흡착한 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면에 가스를 분출가능하게 구성되어 있고, 상기 수지 공급 스텝에 있어서, 상기 흡착 보존유지 스텝에 있어서의 흡착을 해제하고, 상기 다른쪽 면에 가스를 분출해서, 상기 시트모양 수지를 상기 제1의 성형틀 또는 상기 제2의 성형틀에 공급하는 것이 바람직하다.

이 구성이라면, 흡착한 시트모양 수지의 다른쪽 면에 가스를 분사하고 있으므로, 흡착 부재로부터 시트모양 수지를 확실하게 떼어놓을 수 있음과 동시에, 시트모양 수지가 부분적으로 말려서 절곡되거나 구겨지거나 하는 것을 억제할 수가 있다.

＜본 발명의 일실시형태＞

이하에, 본 발명에 관계된 수지 성형 장치의 일실시형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 어느 도면에 대해서도, 알기 쉽게 하기 위해서, 적당히 생략하거나 또는 과장해서 모식적으로 도시되어 있다. 동일한 구성요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙여서 설명을 적당히 생략한다.

＜수지 성형 장치(100)의 전체 구성＞

본 실시형태의 수지 성형 장치(100)는, 전자 부품이 탑재된 기판(W)에 대해서 전자 부품이 탑재된 부품 탑재면을 수지로 봉지해서 수지 성형품(P)을 제조하는 것이다. 또한, 기판으로서는, 예를 들면 금속 기판, 수지 기판, 유리 기판, 세라믹스 기판, 회로 기판, 반도체 기판, 리드 프레임 등을 들 수가 있다.

이 수지 성형 장치(100)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 기판 공급·수납 모듈(A)과, 2개의 수지 성형 모듈(B)과, 수지 공급 모듈(C)을, 각각 구성요소로서 구비한다. 각 구성요소(각 모듈(A∼C))는, 각각의 구성요소에 대해서 착탈(着脫)가능하고 또한 교환가능하다.

이하에 나타내는 각 모듈(A∼C)을 포함하는 수지 성형 장치(100)의 동작 제어는, 예를 들면, 기판 공급·수납 모듈(A)에 마련한 제어부(CTL)가 행한다. 이 제어부(CTL)는, 기판 공급·수납 모듈(A) 이외의 다른 모듈(B, C)에 마련해도 좋다. 또, 제어부(CTL)는, 복수로 분할해서, 기판 공급·수납 모듈(A), 수지 성형 모듈(B) 및 수지 공급 모듈(C) 중의 적어도 2개의 모듈에 마련해도 좋다.

＜기판 공급·수납 모듈(A)＞

기판 공급·수납 모듈(A)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 봉지전 기판(W)을 공급하는 기판 공급부(11)와, 봉지를 마친(封止濟) 기판(W)(수지 성형품(P))을 수납하는 기판 수납부(12)와, 봉지전 기판(W) 및 수지 성형품(P)을 주고 받는(수취하고 넘겨주는) 기판 재치부(載置部)(13)와, 봉지전 기판(W) 및 수지 성형품(P)을 반송하는 기판 반송 기구(14)를 가진다. 기판 재치부(13)는, 기판 공급·수납 모듈(A) 내에 있어서, 기판 공급부(11)에 대응하는 위치와 기판 수납부(12)에 대응하는 위치 사이에서 Y방향으로 이동한다. 기판 반송 기구(14)는, 기판 공급·수납 모듈(A) 및 각각의 수지 성형 모듈(B) 내에 있어서, X방향 및 Y방향으로 이동한다.

＜수지 성형 모듈(B)＞

각 수지 성형 모듈(B)은, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 캐비티(15C)가 형성된 제1의 성형틀인 하부틀(15)과, 기판(W)을 보존유지하는 제2의 성형틀인 상부틀(上型)(16)과, 하부틀(15) 및 상부틀(16)을 틀체결하는 틀체결 기구(17)를 가진다.

틀체결 기구(17)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 하부틀(15)이 장착되는 가동반(171)과, 상부틀(16)이 장착되는 상부 고정반(172)과, 가동반(171)을 승강 이동시키기 위한 구동 기구(173)를 가지고 있다.

가동반(171)은, 그의 상면에 하부틀(15)이 장착되는 것이고, 하부 고정반(174)에 세워 마련된 복수의 지주부(175)에 의해 승강 이동가능하게 지지되어 있다.

상부 고정반(172)은, 그의 하면에 상부틀(16)이 장착되는 것이고, 복수의 지주부(175)의 상단부에 있어서 가동반(171)과 대향하도록 고정되어 있다.

구동 기구(173)는, 가동반(171) 및 하부 고정반(174) 사이에 마련되어 있고, 가동반(171)을 승강 이동시키는 것에 의해서 하부틀(15) 및 상부틀(16)을 틀체결함과 동시에 소정의 성형압을 가하는 것이다. 본 실시형태의 구동 기구(173)는, 서보모터 등의 회전을 직선 이동으로 변환하는 볼나사 기구를 이용하여 가동반(171)에 전달하는 직동 방식의 것이지만, 서보 모터 등의 동력원을 예를 들면 토글링크 등의 링크 기구를 이용하여 가동반(171)에 전달하는 링크 방식의 것이더라도 좋다.

그리고, 하부틀(15)과 가동반(171) 사이에는, 하부틀 보존유지부(176)가 마련되어 있다. 이 하부틀 보존유지부(176)는, 하부틀(15)을 가열하는 히터 플레이트(176a)와, 당해 히터 플레이트(176a)의 하면에 마련된 단열 부재(176b)와, 히터 플레이트(176a)의 상면에 마련되어 하부틀(15)의 주위를 둘러싸는 측벽 부재(176c)와, 당해 측벽 부재(176c)의 상단에 마련된 씰 부재(176d)를 가지고 있다.

상부틀(16)과 상부 고정반(172) 사이에는, 상부틀 보존유지부(177)가 마련되어 있다. 이 상부틀 보존유지부(177)는, 상부틀(16)을 가열하는 히터 플레이트(177a)와, 당해 히터 플레이트(177a)의 상면에 마련된 단열 부재(177b)와, 히터 플레이트(177a)의 하면에 마련되어 상부틀(16)의 주위를 둘러싸는 측벽 부재(177c)와, 당해 측벽 부재(177c)의 하단에 마련된 씰 부재(177d)를 가지고 있다. 그리고, 구동 기구(173)에 의한 틀체결시에 있어서 측벽 부재(176c)의 씰 부재(176d) 및 측벽 부재(177c)의 씰 부재(177d)가 밀착해서, 하부틀(15) 및 상부틀(16)을 수용하는 공간이 외기와 차단된다. 또한, 씰 부재(176d) 또는 씰 부재(177d)의 한쪽을 마련하지 않는 구성으로 해도 좋다.

상부틀(16)은, 기판(W)의 이면을 흡착해서 보존유지하는 것이다. 상부틀(16)의 하면에는 흡착구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 상부틀(16)의 내부에는 흡인 유로(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 이 흡인 유로는 외부의 흡인 장치(도시하지 않음)에 접속되어 있다.

하부틀(15)에는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판(W)에 탑재된 전자 부품 및 수지 재료를 수용하는 캐비티(15C)가 형성되어 있다. 구체적으로 하부틀(15)은, 캐비티(15C)의 저면(底面)을 형성하는 단일 부재인 저면 부재(151)와, 당해 저면 부재(151)를 둘러싸는 측면 부재(152)를 가지고 있다. 이 저면 부재(151)의 상면과 측면 부재(152)의 내주면에 의해서 캐비티(15C)가 형성된다. 본 실시형태의 저면 부재(151)는 평면에서 보았을 때(平面視)에 있어서 직사각 형상(矩形狀)을 이루는 평판이고, 측면 부재(152)는 평면에서 보았을 때에 있어서 직사각 프레임모양을 이루는 것이다. 또, 측면 부재(152)는, 저면 부재(151)에 대해서 상대적으로 상하 이동가능하게 마련되어 있다. 구체적으로는, 하부틀(15)의 베이스 플레이트(153)에 대해서 코일 스프링 등의 복수의 탄성 부재(154)에 의해서 지지되어 있다.

＜수지 공급 모듈(C)＞

수지 공급 모듈(C)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 수지 재료로서 시트모양 수지(J)를 하부틀(15)에 공급하는 수지 공급 기구(2)를 가진다.

여기서, 시트모양 수지(J)에 대해서 설명해 두면, 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 시트모양 수지(J)의 한면 또는 양면에는, 더러움이나 손상 등으로부터 시트모양 수지(J)를 보호하기 위한 보호 필름(PF)이 마련되어 있고, 하부틀(15)에 공급하기 전에 이 보호 필름(PF)을 벗길 필요가 있다. 또한, 도 3의 (a)에서는, 시트모양 수지(J)의 한면에 보호 필름(PF)이 마련된 것을 예시하고 있다. 시트모양 수지(J)는, 자신의 형상을 유지할 수 없는 두께나 유연성을 가지는 것이고, 보호 필름(PF)이 벗겨지면, 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이, 절곡되고, 구겨지기(주름지기) 쉽다.

구체적으로 수지 공급 기구(2)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 한쪽 면에 보호 필름(PF)이 마련된 시트모양 수지(J)의 다른쪽 면을 흡착하는 흡착 기구(3)와, 당해 흡착 기구(3)를 이동시키는 이동 기구(4)를 구비하고 있다.

또한, 시트모양 수지(J)의 다른쪽 면은, 보호 필름(PF)이 마련되어 있지 않은 노출면이고, 이하의 설명에 있어서는, 시트모양 수지(J)의 다른쪽 면을 노출면이라고 한다.

흡착 기구(3)는, 도 4∼도 6에 도시하는 바와 같이, 흡착구멍(311)이 형성된 흡착 부재(31)를 구비하고 있다. 이 흡착 부재(31)는, 시트모양 수지(J)의 노출면을 흡착하는 복수의 흡착구멍(311)이 형성된 것이다. 구체적으로 흡착 부재(31)는, 시트모양 수지(J)를 흡착해서 보존유지하는 평면모양의 흡착 보존유지면(31X)을 가지는 것이고, 당해 흡착 보존유지면(31X)에 복수의 흡착구멍(311)이 개구되어 있다. 복수의 흡착구멍(311)은, 예를 들면 서로 동일한 개구 형상(예를 들면 원 형상)을 이루는 것이다. 본 실시형태의 흡착 부재(31)는, 평판모양(플레이트모양)을 이루는 것이고, 그의 한쪽 면(상면)이 흡착 보존유지면(31X)으로 된다. 이 흡착 보존유지면(31X)에 있어서, 복수의 흡착구멍(311)은, 예를 들면, 평면에서 보았을 때에 있어서 규칙적으로 배치되어 있고, 서로 직교하는 방향(종횡) 각각을 따라 등간격으로 배치되어 있다(도 5 참조).

그리고, 이 흡착 부재(31)에 있어서의 흡착 보존유지면(31X)과는 반대측의 면(하면)에는, 복수의 흡착구멍(311)에 연통하는 내부 공간(3S)을 형성하는 공간 형성 부재(32)가 마련되어 있다. 이 공간 형성 부재(32)에는, 내부 공간(3S)을 거쳐서 흡착구멍(311)으로부터 시트모양 수지(J)의 노출면에 흡착력을 작용시키는 진공 이젝터를 포함하는 진공 발생기(33)가 접속되어 있다. 또, 이 공간 형성 부재(32)는, 후술하는 회전축 부재(37) 및 지지 부재(38)에 연결되어 있다. 또, 진공 발생기(33)는, 흡착 부재(31)와 함께 이동가능하게 마련되어 있다.

또, 진공 발생기(33)와 내부 공간(3S)은, 흡인 유로(34)에 의해 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 흡착구멍(311)에 연통하는 복수의 흡인 유로(34)가 마련되어 있다. 각 흡인 유로(34)는, 공간 형성 부재(32)에 접속되는 것에 의해 내부 공간(3S)에 연통하고 있다. 또, 각 흡인 유로(34)는, 흡착 보존유지면(31X)에 설정한 복수의 흡착 영역에 대응해서 접속되어 있다. 예를 들면, 흡착 보존유지면(31X)에는 중앙에 설정된 중앙 영역과, 그 중앙 영역 둘레에 설정된 복수의 주위 영역이 설정되어 있고, 이들 각각의 영역에 대응해서 흡인 유로(34)를 접속하는 것이 생각된다. 이것에 의해, 1개의 흡인 유로(34)에 의해 흡인하는 경우에 비해, 흡착 보존유지면(31X) 전체의 흡착력을 균일화할 수가 있다. 또한, 복수의 흡인 유로(34)는, 배관에 의해 구성되어 있고, 그의 일부가 공통의 배관으로 되어 진공 발생기(33)에 접속된 구성이더라도 좋다. 또, 공간 형성 부재(32)에 의해 형성되는 내부 공간(3S)를 복수의 흡착 영역에 대응시킨 복수의 공간으로 칸막이(구획)해도 좋다.

또, 흡착 부재(31)의 흡착구멍(311)이 형성된 표면(흡착 보존유지면(31X))에는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 복수의 요철(35)이 형성되어 있다. 이 복수의 요철(35)은, 예를 들면 블래스트 가공에 의해 형성된 것이다. 이와 같은 요철(35)을 형성함으로써, 오목부와 시트모양 수지(J)의 노출면 사이에는, 흡착구멍(311)과 연통하는 틈새(S)가 생긴다. 이것에 의해, 흡착구멍(311)으로부터의 흡착력이, 이 틈새(S)를 거쳐서, 노출면에 있어서 흡착구멍(311)에 대향하지 않는 부분에도 작용한다. 그 결과, 시트모양 수지(J)는 흡착구멍(311)으로부터 뿐만이 아니라, 오목부로부터도 흡착되게 되어, 시트모양 수지(J)의 수압 면적이 커지고, 흡착 부재(31)에 대해서 시트모양 수지(J)를 확실하게 흡착시킬 수가 있다. 또한, 복수의 요철(35)은, 블래스트 가공에 의해 형성된 것에 한하지 않고, 그밖의 표면 가공에 의해 형성된 것이더라도 좋고, 표면 거칠기(조도)가 큰 소재를 이용함으로써 흡착 보존유지면(31X)에 복수의 요철이 형성된 것이더라도 좋다.

또, 흡착 부재(31)는, 흡착한 시트모양 수지(J)의 노출면에 가스(예를 들면 공기)를 분출가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는 흡착 부재(31)에, 흡착한 시트모양 수지(J)의 노출면에 가스를 분출하는 가스 분출구멍이 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 흡착구멍(311)이 가스 분출구멍으로서 겸용되고 있다. 그리고, 흡인 유로(34)에 마련된 전환 밸브(切換弁)(도시하지 않음)를 전환하는 것에 의해, 진공 발생기(33)를 이용하여 복수의 흡착구멍(311)으로부터 가스가 분출하도록 구성되어 있다. 예를 들면, 흡인 유로(34) 및 흡인 유로(34)에 마련한 전환 밸브로 이루어지는 배관 구성에 의해, 진공 발생기(33) 내의 진공 이젝터의 흡입 포트가 내부 공간(3S)에 접속되는 흡착용 유체 회로와, 진공 발생기(33) 내의 진공 이젝터의 배기 포트가 내부 공간(3S)에 접속되는 분출용 유체 회로가 전환되도록 구성되어 있다. 이와 같이 흡착한 시트모양 수지(J)의 노출면에 가스를 분사하는 것에 의해, 흡착 부재(31)로부터 시트모양 수지(J)를 확실하게 떼어놓을 수 있음과 동시에, 떨어진(멀어진) 후의 시트모양 수지(J)가 부분적으로 말려서(젖혀져서) 절곡되거나 구겨지거나 하는 것을 억제할 수가 있다. 또한, 진공 이젝터와는 별도로 가스를 분출하기 위한 압축 공기 공급부를 진공 발생기(33)에 접속해도 좋다. 압축 공기 공급부로서는, 컴프레서, 공장 내에 배관되어 있는 압축 공기 등을 이용하는 것이 생각된다.

또, 흡착 부재(31)에는, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 시트모양 수지(J)를 위치맞춤하기 위한 안표부(36)가 마련되어 있다. 본 실시형태의 안표부(36)는, 상술한 흡착 보존유지면(31X)에 마련된 복수의 눈금이고, 흡착 보존유지면(31X)에 있어서 서로 직교하는 방향을 따라 마련되어 있다. 또한, 안표부(36)로서는, 시트모양 수지(J)를 위치맞춤하기 위한 안표(표적)가 되는 것이면 반드시 눈금일 필요는 없고, 예를 들면 일정 거리마다 이간(離間)해서 마련된 표시(印) 등, 여러 가지의 것을 이용해도 상관없다.

상술한 흡착 부재(31)는, 흡착 보존유지면(31X)을 상하 반전가능하게 구성되어 있다. 구체적으로 흡착 부재(31)는, 도 4∼도 6에 도시하는 바와 같이, 흡착 보존유지면(31X)과 평행한 회전축 부재(37)에 의해서 지지 부재(38)에 회전가능하게 지지되어 있고, 당해 회전축 부재(37) 둘레로 상하 반전가능하게 되어 있다. 여기서, 회전축 부재(37)는, 흡착 보존유지면(31X)의 평면에서 보았을 때에 있어서, 흡착 보존유지면(31X)의 중심을 지나도록 마련되어 있다. 본 실시형태의 회전축 부재(37)는, 공간 형성 부재(32)에 접속되는 것에 의해 흡착 부재(31)를 지지하는 구성이지만, 흡착 부재(31)에 접속되는 구성으로 해도 좋다. 또, 흡착 부재(31)의 상하 반전 동작은, 회전축 부재(37)에 마련된 손잡이(37H)에 의해 수동으로 행하도록 구성하고 있지만, 모터 등을 이용하여 자동으로 반전시키는 구성으로 해도 좋다.

흡착 기구(3)의 이동 기구(4)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 흡착 기구(3)를, 흡착 부재(31)가 시트모양 수지(J)를 수취하는 수취 위치와, 흡착 부재(31)로부터 시트모양 수지(J)를 하부틀(15)에 넘겨주는 인도(넘겨줌) 위치와의 사이에서 이동시키는 것이고, 수지 공급 모듈(C) 및 각각의 수지 성형 모듈(B) 내에 있어서, 적어도 X방향 및 Y방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 본 실시형태의 이동 기구(4)는, 시트모양 수지(J)를 흡착 보존유지한 흡착 부재(31)를, 하부틀(15)의 위쪽에 설정된 인도 위치로 이동시키도록 구성되어 있다. 이 수수 위치는, 틀개방(型開)되어 있는 하부틀(15)의 위쪽에 설정되어 있고, 흡착된 시트모양 수지(J)가 하부틀(15)의 캐비티(15C)의 바로 위쪽으로 되는 위치이다. 또한, 도 1에서는, 설명의 편의상, 이동 기구(4)의 이동 경로와 기판 반송 기구(14)의 이동 경로가 일부 공통으로 되어 있지만, 이것에 한정되지 않는다.

＜수지 성형 장치(100)의 동작＞

이 수지 성형 장치(100)에 있어서의 수지 성형(수지 봉지)의 동작에 대해서 도 8을 참조하여 설명한다.

우선 기판 공급·수납 모듈(A)에 있어서, 기판 공급부(11)로부터 기판 재치부(13)에 봉지전 기판(W)을 내보낸다. 다음에, 소정의 대기 위치에 있는 기판 반송 기구(14)를 이동시켜서, 기판 재치부(13)로부터 봉지전 기판(W)을 수취한다. 그리고, 기판 반송 기구(14)를 수지 성형 모듈(B)로 이동시켜서, 봉지전 기판(W)을 틀개방된 상부틀(16)에 보존유지한다. 그 후, 기판 반송 기구(14)를, 소정의 대기 위치로 돌려보낸다.

수지 공급 모듈(C)에 있어서는, 흡착 기구(3)를 소정의 수취 위치에 대기시켜 둔다. 그리고, 한쪽 면에 보호 필름(PF)이 마련된 시트모양 수지(J)를, 그의 노출면이 흡착 부재(31)의 흡착 보존유지면(31X)에 접촉하도록 재치한다(도 8의 ＜재치 스텝＞). 이 때, 흡착 보존유지면(31X)에 마련된 눈금 등의 안표부(36)를 보면서, 흡착 보존유지면(31X)에 있어서의 원하는(所望) 위치에 시트모양 수지(J)를 위치결정한다. 여기서, 시트모양 수지(J)의 한쪽 면에는 보호 필름(PF)이 마련되어 있는 것으로 인해, 시트모양 수지(J)는 변형되기 어렵고 그 취급이 용이하다. 또한, 시트모양 수지(J)의 양면에 보호 필름(PF)이 마련되어 있는 경우에는, 한면의 보호 필름(PF)을 벗긴 후에, 그의 노출면이 흡착 보존유지면(31X)에 접촉하도록 재치한다.

다음에, 진공 발생기(33)에 의한 흡인 동작을 개시시켜서, 시트모양 수지(J)의 노출면을 흡착 부재(31)에 흡착시키고, 시트모양 수지(J)를 흡착 보존유지한다(도 8의 ＜흡착 보존유지 스텝＞). 이 때, 복수의 흡착구멍(311)으로부터의 흡착력이 시트모양 수지(J)의 노출면에 작용함과 동시에, 흡착 보존유지면(31X)에 요철(35)을 마련하고 있는 것으로 인해, 그의 흡착력이 오목부와 시트모양 수지(J) 사이의 틈새(S)를 거쳐서 시트모양 수지(J)의 노출면에 전해지고, 노출면 전체가 흡착 보존유지면(31X)에 흡착되게 된다.

이와 같이 시트모양 수지(J)를 흡착 부재(31)에 흡착 보존유지한 상태에 있어서, 시트모양 수지(J)의 한쪽 면(상면)에 마련되어 있는 보호 필름(PF)을 수동 또는 자동으로 벗긴다(도 8의 ＜박리 스텝＞). 이것에 의해, 시트모양 수지(J)로부터 보호 필름(PF)이 제거된 상태로 된다.

계속해서, 시트모양 수지(J)를 흡착한 흡착 부재(31)를 회전축 부재(37) 둘레로 180도 회전시켜서 상하 반전하여, 시트모양 수지(J)가 아래로 되도록 한다. 이 상태로 한 후에, 이동 기구(4)에 의해 흡착 기구(3)를, 수지 공급 모듈(C)로부터 수지 성형 모듈(B)로 이동시킨다(도 8의 ＜이동 스텝＞).

이 이동 스텝에 있어서, 이동 기구(4)에 의해 흡착 기구(3)를, 시트모양 수지(J)를 틀개방된 하부틀(15)에 넘겨주는 인도 위치까지 이동시킨다. 여기서, 본 실시형태에서는, 흡착 부재(31)를 하부틀(15)에 대해서 위치결정하기 위하여, 흡착 부재(31)에 위치결정부(39)가 마련되어 있다(도 4 등 참조). 위치결정부(39)로서는, 예를 들면 볼록부이고, 도 9에 도시하는 바와 같이, 하부틀(15) 또는 하부틀(15)과 일체적인 부재에 마련된 오목부(15M)에 걸어맞춰지도록 구성되어 있다. 이 때문에, 이동 기구(4)는, 틀개방된 하부틀(15)의 위쪽에 있어서 흡착 기구(3)를 Z방향으로 하강시켜서, 오목부(15M)에 위치결정부(39)를 걸어맞추게 하고, 흡착 부재(31)를 하부틀(15)에 대해서 위치결정한다. 이 위치결정된 상태가, 흡착 부재(31)가 시트모양 수지(J)를 넘겨주는 인도 위치이다. 또한, 하부틀(15)을 Z방향으로 상승시켜서, 오목부(15M)에 위치결정부(39)를 걸어맞추게 해도 좋다. 또, 지지 부재(38)에 가이드부를 마련해서, 하부틀(15)의 일부 면에 대해서 가이드부가 접촉해서 슬라이드하도록 위치결정하는 구성으로 해도 좋다.

그 후, 진공 발생기(33)에 의한 흡인 동작을 정지시켜서, 시트모양 수지(J)의 흡착을 해제한다. 또, 이 흡착의 해제 후, 진공 발생기(33)의 배기 포트를 내부 공간(3S)에 연통해서 진공 발생기(33)에 의한 토출(吐出) 동작을 개시시켜서, 흡착구멍(311)으로부터 시트모양 수지(J)의 노출면에 가스(공기)를 분출한다. 이것에 의해, 시트모양 수지(J)가 흡착 보존유지면(31X)으로부터 벗겨져서 낙하하고, 시트모양 수지(J)가 하부틀(15)의 캐비티(15C)에 공급된다(도 8의 ＜수지 공급 스텝＞). 또한, 시트모양 수지(J)를 하부틀(15)의 캐비티(15C)에 공급하기 전에, 하부틀(15)에 이형(離型, release) 필름을 마련해 두어도 좋다.

시트모양 수지(J)의 공급 후, 흡착 기구(3)는 이동 기구(4)에 의해 수지 공급 모듈(C)로 이동해서, 상술한 수취 위치로 되돌아간다. 수취 위치로 되돌아간 흡착 기구(3)의 흡착 부재(31)는, 흡착 보존유지면(31X)이 위를 향하도록 다시 상하 반전된다.

상기의 공정 후, 수지 성형 모듈(B)에 있어서, 구동 기구(173)에 의해서 가동반(171)을 상승시켜서, 상부틀 보존유지부(177)의 씰 부재(177d)와 하부틀 보존유지부(176)의 씰 부재(176d)를 밀착시킴으로써 밀폐 공간을 형성한다. 이 상태에서, 도시하지 않는 배기 기구에 의해서 밀폐 공간을 진공 상태로 한다.

그리고, 구동 기구(173)에 의해서 가동반(171)을 더욱더 상승시켜서, 측면 부재(152)가 상부틀(16)에 눌려서 탄성 부재(154)가 압축 변형됨과 동시에, 기판(W)의 전자 부품이 수지 재료인 시트모양 수지(J)에 침지(浸漬)함과 동시에 기판(W)의 부품 탑재면이 시트모양 수지(J)에 의해 피복된다. 이 상태에서 하부틀(15)과 상부틀(16)은 소정의 성형압에 의해 틀체결된다(도 8의 ＜수지 성형 스텝＞). 소정 시간이 경과한 후, 틀체결 기구(17)에 의해 하부틀(15)을 하강시켜서 하부틀(15)과 상부틀(16)을 틀개방한다. 또한, 틀체결 도중에, 밀폐 공간을 대기압으로 되돌려도 좋다.

다음에, 기판 공급·수납 모듈(A)의 기판 반송 기구(14)를 이동시켜서, 틀개방된 상부틀(16)로부터 봉지를 마친 기판(W)을 수취한다. 기판 반송 기구(14)를 기판 재치부(13)로 이동시켜서, 기판 재치부(13)에 봉지를 마친 기판(W)을 넘겨준다. 기판 재치부(13)로부터 기판 수납부(12)에 봉지를 마친 기판(W)을 수납한다. 이와 같이 해서, 시트모양 수지(J)를 이용한 수지 봉지가 완료(完了)한다.

＜본 실시형태의 효과＞

본 실시형태의 수지 성형 장치(100)에 의하면, 한쪽 면에 보호 필름(PF)이 마련된 시트모양 수지(J)의 노출면을 흡착 부재(31)에 흡착시킨 상태에서 시트모양 수지(J)로부터 보호 필름(PF)을 벗길 수 있으므로, 보호 필름(PF)을 벗길 때 또는 벗긴 후에 있어서 시트모양 수지(J)의 형상을 유지할 수가 있다. 이것에 의해, 시트모양 수지(J)의 절곡이나 구김 또는 파손을 억제해서, 시트모양 수지(J)를 하부틀(15)에 공급할 수가 있다. 그 결과, 시트모양 수지(J)를 이용한 수지 성형의 성형 불량을 저감할 수가 있다.

또한, 수지 재료로서 시트모양 수지(J)를 이용하고 있으므로, 액상 수지나 과립상 수지를 이용한 경우에 비해, 하부틀(15)의 캐비티(15C) 내로의 수지 재료의 공급량을 균일화할 수 있고, 수지 성형품을 얇게 하고 싶다는 등과 같은 요구에 부응할 수도 있다.

＜그밖의 변형 실시형태＞

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 상기 실시형태의 흡착 부재(31)는, 시트모양 수지(J)를 흡착하는 흡착구멍(311)을 가지는 평판모양의 것이었지만, 그밖의 형상을 이루는 것이더라도 좋다. 또, 흡착 부재(31)로서, 다공질재(포러스재)로 이루어지는 것을 이용해도 좋고, 이 경우는 다공질재가 가지는 다수의 구멍이 흡착구멍(311)으로 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 흡착 기구(3)를 이동 기구(4)에 의해 자동으로 수지 성형 모듈(B)로 이동시키는 구성이었지만, 흡착 기구(3)를 수동으로 수지 성형 모듈(B)로 이동시키는 구성인 경우에는, 흡착 기구(3)를 이동시키는 이동 기구(4)를 가지지 않는 구성이더라도 좋다.

또, 흡착한 시트모양 수지(J)를 자연 낙하에 의해 하부틀(15)에 공급하는 구성인 경우에는, 흡착 부재(31)는 가스(공기)를 분출가능하게 구성하지 않아도 좋다. 또, 흡착 기구(3)는, 흡착한 시트모양 수지(J)를 누름(押壓) 부재(도시하지 않음)에 의해 기계적으로 누르는 것에 의해서, 시트모양 수지(J)를 흡착 부재(31)로부터 떼어놓는 구성을 구비하고 있어도 좋다.

상기 실시형태의 수지 공급 기구(2)는, 시트모양 수지(J)를 하부틀(15)에 공급하는 것이었지만, 상부틀(16)에 공급해도 좋고, 한쌍의 성형틀이 상하 방향과는 다른 방향으로 대향 배치되어 있는 경우이면, 그들 성형틀의 적어도 한쪽에 공급해도 좋다.

이에 더하여, 복수의 흡착구멍(311)의 크기, 배치, 형상은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 흡착 보존유지면(31X)의 다른 영역(예를 들면 중앙 영역과 주위 영역)에 따라, 흡착구멍(311)의 크기를 달리해도 좋고, 단위면적 당의 개수(조밀(粗密))를 달리해도 좋다. 또, 복수의 흡착구멍(311)은, 반드시 서로 직교하는 방향을 따라 배치되어 있을 필요는 없고, 예를 들면 원주모양(圓周狀)이나 소용돌이모양(渦卷狀)으로 배치되어 있어도 좋고, 불규칙하게 배치되어 있어도 좋다. 또, 흡착구멍(311)은, 원 형상에 한하지 않고, 긴구멍(長孔) 형상, 타원 형상, 사각 형상이나 다각 형상 등으로 적당히 변경해도 상관없다.

또, 상기 실시형태에서는 흡착 부재(31)는 복수의 흡착구멍(311)을 가지는 구성이었지만, 1개의 흡착구멍(311)을 가지는 것이더라도 좋다. 이 경우, 예를 들면, 흡착구멍(311)을 꾸불꾸불하게 한 긴구멍이나 소용돌이모양의 긴구멍 등으로 함으로써, 시트모양 수지(J)를 광범위에 걸쳐서 흡착할 수가 있다.

상기 실시형태에서는, 흡착 부재(31)에 공간 형성 부재(32)를 마련해서 내부 공간(3S)을 형성하는 구성이었지만, 공간 형성 부재(32)를 마련하는 일 없이, 흡착 부재(31)의 흡착구멍(311)에 흡인 유로(34)를 접속하는 구성으로 해도 좋다.

상기 실시형태에서는, 흡착구멍(311)을 가스 분출구멍으로서도 이용하고 있었지만, 흡착구멍(311)과는 별도로 가스 분출구멍을 마련해도 좋다.

또, 상기 실시형태에서는, 흡착구멍(311)으로부터 공기를 흡인하는 흡인원으로서 진공 이젝터를 포함하는 진공 발생기(33)를 이용하고 있었지만, 진공 펌프를 이용해도 좋다. 진공 펌프를 이용한 경우에는, 진공 펌프에 접속되는 흡인 유로(34)를 플렉시블 배관에 의해 구성해서, 펌프를 흡착 기구와 함께 이동시키지 않도록 구성하는 것이 생각된다.

또, 진공 발생기(33)를 이용하여 가스 분출구멍(흡착구멍(311))에 가스를 공급하는 구성 외에, 도 10에 도시하는 바와 같이, 가스 분출구멍(흡착구멍(311))에 가스를 공급하는 가스 공급부(5)를 마련해도 좋다. 이 가스 공급부(5)는, 흡착 부재(31)의 내부 공간(3S)을 거쳐서 흡착구멍(311)에 가스를 공급하는 것이고, 공기원(51)과, 당해 공기원(51)과 내부 공간(3S)을 접속하는 공급 유로(52)를 가지고 있다. 공기원(51)으로서는, 진공 이젝터, 컴프레서, 공장 내에 배관되어 있는 압축 공기 등을 이용하는 것이 생각된다. 또한, 공기원(51)은 흡착 기구(3)와 함께 이동가능하게 마련되어도 좋고, 흡착 기구(3)와 함께 이동하도록 마련되어도 좋다. 또, 가스 공급부(5)는, 흡인 유로(34)와 마찬가지로, 복수의 가스 분출구멍에 연통하는 복수의 공급 유로(52)를 가지는 구성이더라도 좋다.

상기 실시형태에서는, 수지 공급 모듈(C)에 있어서 시트모양 수지(J)를 흡착 부재(31)에 흡착한 직후에 흡착 부재(31)를 상하 반전시키고 있지만, 흡착 부재(31)를 상하 반전시키는 타이밍은, 시트모양 수지(J)를 흡착 보존유지해서 보호 필름(PF)을 벗긴 후, 그 시트모양 수지(J)를 성형틀에 공급하기 전이라면, 적당히 변경해도 상관없다. 또, 예를 들면 시트모양 수지(J)를 상부틀(16)에 공급하는 경우 등은, 반드시 흡착 부재(31)를 회전시킬 필요는 없다.

또, 흡착 부재(31)에 흡착 보존유지된 시트모양 수지(J)를 정밀도 좋게 하부틀(15)에 공급하기 위해서는, 시트모양 수지(J)의 흡착을 해제하기 전에, 흡착 부재(31) 또는 하부틀(15)의 적어도 한쪽을 Z방향으로 승강 이동시켜서 그들의 거리를 작게 한 후에, 시트모양 수지(J)의 흡착을 해제하는 것이 생각된다.

또, 하부틀(15)에 이형 필름을 마련하는 구성인 경우에는, 당해 이형 필름 또는 흡착 부재(31)의 적어도 한쪽을 승강 이동시켜서 그들의 거리를 작게 한 후에, 시트모양 수지(J)의 흡착을 해제하는 것이 생각된다. 이형 필름에 시트모양 수지(J)를 재치한 후에 이형 필름을 하부틀(15)에 내림으로써, 시트모양 수지(J)를 정밀도 좋게 하부틀(15)에 공급할 수가 있다.

상기 실시형태에 있어서는, 기판 공급·수납 모듈(A)과 수지 공급 모듈(C) 사이에, 2개의 수지 성형 모듈(B)을 접속한 구성이지만, 기판 공급·수납 모듈(A)과 수지 공급 모듈(C)을 1개의 모듈로 해서, 그 모듈에 수지 성형 모듈(B)을 접속한 구성으로 해도 좋다. 또, 수지 성형 장치는, 상기 실시형태와 같이 각 모듈에 모듈화되어 있지 않아도 좋다.

그밖에, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능한 것은 물론이다.

100…수지 성형 장치
15…제1의 성형틀(하부틀)
16…제2의 성형틀(상부틀)
17…틀체결 기구
2…수지 공급 기구
J…시트모양 수지
PF…보호 필름
31…흡착 부재
311…흡착구멍(가스 분출구멍)
34…흡인 유로
35…요철
36…안표부

Claims

서로 대향하는 제1의 성형틀인 하부틀 및 제2의 성형틀인 상부틀과,
상기 하부틀 및 상기 상부틀을 틀체결하는 틀체결 기구와,
봉지 전 기판을 상기 상부틀에 공급하는 기판 반송 기구와,
시트모양 수지를 상기 하부틀에 공급하는 수지 공급 기구를 구비하고,
상기 수지 공급 기구는, 한쪽 면에 보호 필름이 마련된 상기 시트모양 수지에 있어서의 다른쪽 면을 흡착하는 흡착구멍이 형성된 흡착 부재를 구비하고,
상기 흡착 부재는, 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면 전체를 흡착함과 함께, 상하 반전 가능하게 구성되어 있고,
상기 수지 공급 기구는, 상기 흡착구멍이 형성된 표면이 위를 향한 상태에서 상기 시트모양 수지에 있어서의 다른쪽 면을 흡착하고, 상기 시트모양 수지로부터 상기 보호 필름이 벗겨진 상태에서 상기 흡착 부재를 상하 반전시켜서, 상기 시트모양 수지가 아래로 되도록 하여, 상기 시트모양 수지를 상기 하부틀에 공급하는 수지 성형 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 흡착 부재의 상기 흡착구멍이 형성된 표면에, 복수의 요철이 형성되어 있는, 수지 성형 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 흡착 부재에, 상기 흡착구멍이 복수 형성되어 있는, 수지 성형 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 수지 공급 기구는, 상기 복수의 흡착구멍에 연통하는 복수의 흡인 유로를 가지고 있는, 수지 성형 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 흡착 부재는, 흡착한 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면에 가스를 분출가능하게 구성되어 있는, 수지 성형 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 흡착 부재에, 흡착한 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면에 가스를 분출하는 가스 분출구멍이 형성되어 있는, 수지 성형 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 흡착구멍은, 상기 가스 분출구멍으로서 겸용되는 것인, 수지 성형 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 흡착 부재는, 상기 시트모양 수지를 위치맞춤하기 위한 안표부(目印部)를 가지는, 수지 성형 장치.
서로 대향하는 제1의 성형틀인 하부틀 및 제2의 성형틀인 상부틀을 틀체결해서 수지 성형품을 제조하는 수지 성형품의 제조 방법으로서,
봉지 전 기판을 상기 상부틀에 공급하는 기판 공급 스텝과,
한쪽 면에 보호 필름이 마련된 시트모양 수지의 다른쪽 면 전체를 흡착 부재에 흡착시키고, 상기 시트모양 수지를 보존유지(保持)하는 흡착 보존유지 스텝과,
상기 흡착 부재에 흡착 보존유지된 상기 시트모양 수지로부터 상기 보호 필름을 벗기는 박리 스텝과,
상기 보호 필름이 벗겨진 상기 시트모양 수지를 상기 하부틀에 공급하는 수지 공급 스텝과,
상기 하부틀 및 상기 상부틀을 틀체결해서, 상기 시트모양 수지를 이용하여 수지 성형을 행하는 수지 성형 스텝을 구비하는, 수지 성형품의 제조 방법
제 9 항에 있어서,
상기 흡착 부재는, 흡착한 상기 시트모양 수지의 상기 다른쪽 면에 가스를 분출가능하게 구성되어 있고,
상기 수지 공급 스텝에 있어서, 상기 흡착 보존유지 스텝에 있어서의 흡착을 해제하고, 상기 다른쪽 면에 가스를 분출해서, 상기 시트모양 수지를 상기 하부틀 또는 상기 상부틀에 공급하는, 수지 성형품의 제조 방법.