JP5081471B2 - ワークを貼り合わせるための装置 - Google Patents

Description

本発明は、フィルムや基板などを含むワーク同士を貼り合わせるための装置に関するものである。

特許文献１には、基板表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付装置が開示されている。このフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに巻装されている連続フィルムを、ガイドロールを経て、搬送手段により搬送されてくる基板の先端に導き、仮付け手段により基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送することにより、フィルムを基板表面に張付ける。
特開平７−２６６４２７号公報

液晶パネルやプリント配線板などの製造過程においては、シート状のフィルムや基板などといった、定型のワーク同士を貼り合せることが要求される場合がある。また、フレキシブルなフィルムと硬質な基板との貼り合せだけでなく、フレキシブルなフィルム同士、あるいは、硬質な基板同士を貼り合せることが要求されることもある。このため、フィルムや基板などを含む、定型のワーク同士を貼り合せるための装置が求められている。

また、液晶パネルやプリント配線板などの分野においては、ワークとワークとの間に埃などの異物が入り込むと、不良品となるおそれがある。このため、ワーク同士を貼り合わせるための装置においては、ワークの貼り付け面に埃などを付着させないようにすることが重要であり、ワーク同士を密着した状態で貼り合せることが要求される。

本発明の一態様は、ワーク同士を貼り合わせるための装置、すなわち、第１のワークと第２のワークとを貼り合わせるための装置である。この装置は、第１のワークを吸引支持するための第１の支持面を備えた第１の支持手段と、第１のワークと第２のワークとを微小な間隔、例えば、数ｍｍから１ｃｍ程度の間隔を開けて対峙した状態で、第２のワークの一方の端部を除いた部分を吸引支持するための第２の支持面を備えた第２の支持手段と、第２のワークの一方の端部を、第１のワークとは反対の側から第１のワークに対して押圧するためのローラと、第１の支持手段と第２の支持手段との間隔を保った状態で、第１の支持手段の位置を、第２の支持手段およびローラの位置に対して相対的に移動させる移動手段とを有する。この装置は、ローラにより、第２のワークの一方の端部を第１のワークの一方の端部に押圧し、第２のワークを第１のワークに押圧した状態で、移動手段により、ローラの位置を、第１の支持手段に支持された第１のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、第１のワークに第２のワークを貼り付ける。

この装置によれば、第１および第２の支持手段により、貼り合わされる前の第１および第２のワークを、貼り合わされる領域に機器が接触しないようにしながら、微小な間隔を開けて対峙させた状態で保持できる。一方、これらのワークの貼り合わされる領域は、ローラにより、貼り合わされる面とは反対側から、第２のワークの一方の端部を始点として、第１のワークに押圧することができる。そして、ローラにより、第２のワークを第１のワークに押圧した状態で、移動手段により、第２の支持手段およびローラの位置を第１のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、第２のワークが可撓性の場合は、第２のワークは第２の支持面を滑りながら第２の支持手段から外れてローラにより第１のワークに押し付けられ、第１のワークと密着する。この結果、第１のワークと第２のワークとは、それらの間に空気が入らないようにしながら、貼り付けられる。

したがって、この装置によれば、ロール状に巻かれたものではない、定型あるいはシート状のワーク（ワークピース）同士を貼り合せることができる。すなわち、シート状のフィルム同士を貼り合せたり、基板にシート状のフィルムを貼り付けたりすることができる。

この装置において、比較的硬質なワーク同士、例えば、基板同士を貼り合せる場合には、装置は、ローラにより第２のワークの一方の端部を第１のワークの一方の端部に押圧するときに、第２のワークの他方の端部に接触して第２のワークの他方の端部と第１のワークの他方の端部との間隔を維持するスペーサを備えている。このスペーサは、移動手段により、第１の支持手段とともに、第２の支持手段に対して相対的に移動し、貼り合せるための装置は、スペーサを、第１の支持面に対して第２の支持手段の側に突き出た第１の状態と、第１の支持面に対して突き出ていない第２の状態とに動かすためのスペーサ駆動手段をさらに有する。

第２のワークがフィルムのような可撓性を有するワークである場合、ローラが第２のワークの一方の端部を第１のワークの一方の端部に押圧するとき、第２のワークの一方の端部が撓んで一部が第２の支持手段から外れ、第２のワークの一方の端部を除いた殆どの部分は第２の支持手段に吸引支持されたまま保持される。そして、第２のワークはローラおよび第２の支持手段の移動とともに第２の支持面を滑りながら外れて第１のワークに貼り合わされる。したがって、ローラの位置を第１のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、第１のワークと第２のワークとの間に空気が入らないようにしながら、第１のワークに第２のワークを貼り付けることができる。

第２のワークが基板のような比較的硬質のワークである場合、ローラが第２のワークの一方の端部を第１のワークの一方の端部に押圧すると、それにより第２のワークが第２の支持面から離れ、第２のワークと第１のワークが貼り合わされてしまう可能性がある。そのような場合でも、貼り合わされる面同士はクリーンな状態に保たれ、その後、ローラで一方の端から他方の端に向かって押圧することで、これらのワークの間に入った空気を押し出すことが可能である。しかしながら、ローラにより、ワーク同士の間に隙間を保ちながら、一方の端部から他方の端部を徐々に（順々に）押圧することで、第１のワークと第２のワークとの間に空気が入った状態になることを防止する効果は得られにくい。

上述のようなスペーサを設けておけば、ローラが第２のワークの一方の端部を第１のワークの一方の端部に押圧しても、第２のワークの他方の端部と第１のワークの他方の端部との間隔は維持される。したがって、ローラの位置を第１のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、第１のワークと第２のワークとの間に空気が入らないようにしながら、第１のワークに第２のワークを貼り付けることができる。

また、上述のような場合、第２のワークは、第２のワークの他方の端部以外の領域が、第１のワークとの貼り合せ領域となる。スペーサは、第１のワークとの貼り合せ領域以外の領域である、第２のワークの他方の端部と接触するため、第１のワークと第２のワークとが貼り付けられる領域には触れない。したがって、第１のワークと第２のワークとの貼り合せ領域に、埃などの異物が付着し難い。

さらに、上述のような場合、スペーサ駆動手段は、移動手段の動作と連動して、スペーサを上記第１の状態から上記第２の状態に動かすことが好ましい。このようにすることにより、ローラの位置が第１のワークの一方の端部から他方の端部に相対的に移動するのに伴い、第２のワークの他方の端部が第１のワークの他方の端部に近づく。したがって、第１のワークと第２のワークとの間の空気を押し出しながら、第１のワークに第２のワークを貼り付けることができる。しかも、ローラの位置が第１のワークの一方の端部から他方の端部に相対的に移動するのに伴い、第２のワークの他方の端部が第１のワークの他方の端部に近づくため、ローラが第２のワークを押圧しても、第２のワークが歪み難い。

また、上述のような場合、スペーサとしては、例えば、ピンタイプのものを用いることができる。ピンタイプのスペーサを用いることにより、スペーサと第２のワークとの接触面積を小さくすることができる。スペーサと第２のワークとの接触面積が小さいほど、第２のワークに埃などの異物が付着し難いため、好ましい。

スペーサにより第２のワークの他方の端部を支持して、第２のワークの他方の端部と第１のワークの他方の端部との間隔を維持する場合、例えば、第２のワークの他方の端部が第１のワークの他方の端部から若干張り出すように、第１のワークと第２のワークとを対峙させ、これらを貼り合せるようにするとよい。このようにすることにより、第１のワークの他方の端部から張り出した第２のワークの他方の端部（非貼り合せ領域）にスペーサを接触させることができる。

したがって、この装置では、第２の支持手段のローラとは反対側の端に、第１の支持手段のローラとは反対側の端よりも張り出す張出部を備えておき、スペーサが、上記第１の状態において、張出部と対峙するようにしておくことが好ましい。このようにすることにより、第２のワークの他方の端部が第１のワークの他方の端部から張り出すように、第１のワークと第２のワークとを対峙させることができる。スペーサは、第１のワークの他方の端部から張り出した第２のワークの他方の端部（非貼り合せ領域）に接触して、第２のワークの他方の端部と第１のワークの他方の端部との間隔を維持する。すなわち、スペーサは、第１のワークと第２のワークとが貼り付けられる領域には触れない。したがって、第１のワークと第２のワークの貼り合せ領域に、埃などの異物が付着し難い。

また、この装置において、第１の支持手段は、第１の支持面を形成する多孔性の弾性部材（エラストマー）を含むことが好ましい。弾性部材としては、バキュームポンプなどによって第１の支持手段に第１のワークが吸引支持されるように、通気性の弾性部材が用いられる。したがって、弾性部材は、例えば、非通気性の弾性部材に複数の孔をあけたものであってもよく、また、発泡性の弾性部材のようなものであってもよい。

このようにすることにより、ローラで第２のワークを第１のワークに貼り付けるとき、すなわち、ローラにより、第２のワークを第１のワークに押圧した状態で、移動手段により、ローラの位置を第１のワークの他方の端部に相対的に移動させたときに、多孔性の弾性部材が変形して、第１のワークおよび／または第２のワークに歪みが発生するのを未然に防止する。

この構成は、比較的硬質なワーク同士、例えば、基板同士を貼り付ける場合など、第２のワークが比較的硬質である場合に好適であり、ローラにより第２のワークを押圧しながら、ローラの位置を第１のワークの一方の端部から他方の端部に相対的に移動させても、双方のワークに歪みが発生し難い。したがって、貼り合せする双方のワークの硬度が高い場合であっても、ワークに負荷を与えずに、ワークを損傷させることなく、ワーク同士を精度良く、また、空気やゴミ、塵などが挟まれないようにしながら貼り合せできる。

また、第１のワークおよび第２のワークは、それぞれ、第１の支持面および第２の支持面に支持される第１の面とは反対側の第２の面、すなわち、貼り合せ面に、埃などから表面を保護する保護フィルムが貼り付けられていることがある。このため、第１のワークと第２のワークとの貼り合せの直前に、第１および第２のワークの第２の面から保護フィルムを剥がすことが要求される場合がある。

したがって、本発明の他の態様の１つの装置では、第１の支持面に吸引支持された第１のワークの第２の面から保護フィルムを剥がす第１のヘッドと、第２の支持面に吸引支持された第２のワークの第２の面から保護フィルムを剥がす第２のヘッドとをさらに有する。このようにすることにより、第１のワークと第２のワークとの貼り合せの直前に、第１および第２のワークから保護フィルムを剥がすことができる。

上述のように、第１のワークと第２のワークとの貼り合せの直前に、第１および第２のワークの第２の面から保護フィルムを剥がす場合、ワークの第１の面は、そのほぼ全域が支持手段により支持されていることが好ましい。

したがって、この装置においては、第２のワークの一方の端部を吸引支持するための第３の支持面を備えた第３の支持手段と、第３の支持手段を、第３の支持面が第２の支持面とともに第２のワークを吸引支持する第１の位置から、第２のワークの一方の端部から第３の支持手段が離れた第２の位置へ動かす手段とをさらに有する。

第１のワークに第２のワークを貼り合せるまでの間、第３の支持手段を上記第１の位置に置くことにより、第２のワークの一方の端部を第３の支持手段により支持することができる。したがって、第２のワークの第１の面のほぼ全域を第２の支持手段および第３の支持手段により支持しながら、第２のワークの第２の面から保護フィルムを剥がすことができる。また、第１のワークと第２のワークとの貼り合せを開始するときには、第３の支持手段を上記第２の位置に移動（退避）させることにより、ローラにより第２のワークの一方の端部を第１のワークの一方の端部に押圧するスペースを確保することができる。

さらに、第１のワークと第２のワークとの貼り合せの直前に、第１および第２のワークの第２の面から保護フィルムを剥がす場合、第２の支持手段および／または第１の支持手段を、保護フィルムを剥がす位置から、第２のワークの第２の面と第１のワークの第２の面とが対峙する位置へ回転させる手段をさらに有することが好ましい。

第２の支持手段および／または第１の支持手段が、第２のワークの第２の面と第１のワークの第２の面とが対峙する位置を向いている場合、第２のワークおよび／または第１のワークから保護フィルムが剥がし難い、あるいは、剥がす領域が確保し難い場合がある。回転させる手段を設けることにより、第１および第２のワークの第２の面から保護フィルムを、剥がし易い位置で剥がすことができる。

例えば、第１および第２のワークの双方が第２の面が上方を向いている状態において、第１および第２のワークから保護フィルムを剥がし、その後、回転させる手段により、第２の支持手段および／または第１の支持手段を、第２のワークの第２の面と第１のワークの第２の面とが対峙する位置へ回転させ、第１のワークと第２のワークとを貼り合せることができる。

この場合、第１の支持手段は、第１のワークを、第２の面を上向きにして支持し、回転させる手段は、第２の支持手段を回転し、第２のワークの第２の面が上向きになる位置から、第２の面が下向きになる位置へ動かすことが好ましい。

以下に、図面を参照して本発明の実施形態について詳しく説明する。第１の実施形態では、可撓性を有するワーク（フレキシブルなフィルム）同士またはフレキシブルなフィルムを硬質の基板に貼り合わせるための装置（以下、フィルム貼り合せ装置という）を例にとって説明する。図１ないし図８は、本発明の第１の実施形態にかかる装置により、第１のワークと第２のワークとを貼り合わせる過程を示している。

本例のフィルム貼り合せ装置１ａは、可撓性を有する定型の第１のワーク（以下、第１のフィルムという）１１と、可撓性を有する定型の第２のワーク（以下、第２のフィルム）１２とを貼り合せるための装置である。なお、第１のワーク１１は、硬質、例えば、ガラス製の基板であっても良い。本例では、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２とは略同じ大きさである。第１および第２のフィルム１１および１２は、それぞれ、一方の面（第１の面）１１ａおよび１２ａがフィルム貼り合せ装置１ａに支持される被支持面となり、他方の面（第２の面）１１ｂおよび１２ｂが貼り合せ面となる。また、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２とを貼り合せる前に、第１のフィルム１１の貼り合せ面１１ｂと、第２のフィルム１２の貼り合せ面１２ｂに埃などの異物が付かないように、第１のフィルム１１の貼り合せ面（第２の面）１１ｂおよび第２のフィルム１２の貼り合せ面（第２の面）１２ｂには、それぞれ、保護フィルム１３および１４が貼り付けられている。

図１および図２に示すように、このフィルム貼り合せ装置１ａは、第１のフィルム１１を吸引支持するための第１の支持面２１ａを備えた第１の支持手段（第１のステージ）２１と、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを除いた部分を吸引支持するための第２の支持面２２ａを備えた第２の支持手段（第２のステージ）２２と、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを吸引支持するための第３の支持面２３ａを備えた第３の支持手段（第３のステージ）２３とを備えている。さらに、このフィルム貼り合せ装置１ａは、第１のステージ２１を支持するとともに、第１のステージ２１を水平方向（図面の左右）に移動させる移動装置（移動用コンベア）３０と、第２のステージ２２を支持するとともに、第２の支持面２２ａが上下を向くように回転させる回転装置４０と、第３のステージ２３を支持するとともに、第３のステージ２３を水平方向に移動させるエアシリンダ５０とを備えている。また、このフィルム貼り合せ装置１ａは、第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に対して押圧するためのローラ６０と、このローラ６０を、第２のフィルム１２に向けて、ほぼ垂直であるが若干斜め下方に突没させるローラ用エアシリンダ６１と、エアシリンダ５０とローラ用エアシリンダ６１とを支持するために鉛直方向に延びた支柱６２とを備えている。さらに、この貼り合せ装置１ａは、第１の支持面２１ａに吸引支持された第１のフィルム１１の第２の面１１ｂから保護フィルム１３を剥がす第１のヘッド７１と、第２の支持面２２ａおよび第３の支持面２３ａに吸引支持された第２のフィルム１２の第２の面１２ｂから保護フィルム１４を剥がす第２のヘッド７２とを有している。

第１の支持手段である第１のステージ（テーブル）２１は、第１の支持面２１ａが第１のフィルム１１の第１の面１１ａの全域に接し、第１のフィルム１１を吸引支持する。この第１のステージ２１は、第１の支持面２１ａに複数の吸引口２１ｂを備えている。不図示のバキュームポンプなどの空気を吸引するための機構を駆動させ、吸引口２１ｂから空気を吸込むことにより、第１の支持面２１ａ近傍を大気圧に対して負圧にして、第１のフィルム１１を吸着支持する。本例では、第１のステージ２１は、第１のフィルム１１を、第２の面１１ｂを上向きにして支持する。

第２の支持手段である第２のステージ（テーブル）２２は、第２の支持面２２ａが第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを除いた部分の第１の面１２ａに接し、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを除いた部分を吸引支持する。この第２のステージ２２も、第２の支持面２２ａに複数の吸引口２２ｂを備えている。したがって、上記のバキュームポンプなどの空気を吸引するための機構を駆動させ、吸引口２２ｂから空気を吸込むことにより、第２の支持面２２ａに第２のフィルム１２のうちの一方の端部１２ｃを除いた部分を吸着支持できる。

第３の支持手段である第３のステージ（テーブル）２３は、第３の支持面２３ａが第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃの第１の面１２ａに接し、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを吸引支持する。この第３のステージ２３は、第３の支持面２３ａに、複数の吸引口２３ｂを備えており、上記のバキュームポンプなどの空気を吸引するための機構を駆動させ、吸引口２３ｂから空気を吸込むことにより、第３の支持面２３ａに第２のフィルム１２のうちの一方の端部１２ｃを吸着支持する。

第１のステージ２１を移動させる移動装置３０は、レール３１に沿って、第１のステージ２１を、第２のステージ２２と対峙しない位置（図面右側）から第２のステージ２２と対峙する位置（図面左側）へ、水平な第１の方向（図において左右方向）に移動させる。すなわち、この移動装置３０は、第１のステージ２１と第２のステージ２２との上下方向における間隔を保った状態で、第１のステージ２１の位置を、第２のステージ２２およびローラ６０の位置に対して移動させる。

第２のステージ２２を回転させる回転装置４０は、モータ４１を備えており、このモータ４１の軸４１ａが第２のステージ２２の図面左側の端、すなわち、第２のステージ２２に対して第３のステージ２３とは反対の側の端（ローラ６０とは反対側の端）に接続されている。モータ４１は、鉛直方向に沿って設けられた支柱４２に固定されている。この回転装置４０は、モータ４１を駆動させることにより、第２のステージ２２を回転させ、第２の支持面２２ａを上向きの保護フィルム１４を剥がす位置から、下向きの第２のフィルム１２の第２の面１２ｂと第１のフィルム１１の第２の面１１ｂとが間隔を開けて上下方向において対峙する位置に移動させる。すなわち、本例では、この回転装置４０は、第２のステージ２２を回転させ、第２のフィルム１２を、第２の面１２ｂが上向きになる位置から、第２の面１２ｂが下向きになる位置に移動させる。

第３のステージ２３を移動させるエアシリンダ５０は、第３の支持面２３ａが第２の支持面２２ａとともに第２のフィルム１２を吸引支持する第１の位置から、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃから第３のステージ２３が離れた第２の位置へ、第３のステージ２３を水平な第１の方向（図において左右方向）に移動させる。エアシリンダ５０は、シリンダ本体５１が支柱６２に略水平に固定されており、シリンダ本体５１から突没するロッド５２の先端に第３のステージ２３が接続されている。

第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に対して押圧するためのローラ６０は、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを、第１のフィルム１１とは反対の側から第１のフィルム１１に対して押圧する。ローラ６０は、ローラ用エアシリンダ６１により、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを押圧する位置から、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃから離れた位置に移動する。ローラ用エアシリンダ６１は、鉛直方向に沿って設けられた支柱６２に固定されている。

第１の支持面２１ａに吸引支持された第１のフィルム１１から保護フィルム１３を剥がす第１のヘッド７１は、第１のフィルム１１と保護フィルム１３との粘着力よりも保護フィルム１３との粘着力の高い粘着剤が表面に塗布された、ロール状に巻かれてなる粘着テープ７１ａを備えている。第１のヘッド７１は、粘着テープ７１ａにより第１のフィルム１１の保護フィルム１３のコーナー部、具体的には、装置１ａの中心側の２つのコーナー部のうちの一方のコーナー部においてフィルム１３を粘着保持した状態で、この第１のヘッド７１を第１のフィルム１１の対角線の方向（装置１ａの外側）に移動させることにより、第１のフィルム１１から保護フィルム１３を剥離する。

同様に、第２の支持面２２ａに吸引支持された第２のフィルム１２から保護フィルム１４を剥がす第２のヘッド７２は、第２のフィルム１２と保護フィルム１４との粘着力よりも保護フィルム１４との粘着力の高い粘着剤が表面に塗布された、ロール状に巻かれてなる粘着テープ７２ａを備えている。第２のヘッド７２は、粘着テープ７２ａにより第２のフィルム１２の保護フィルム１４のコーナー部、具体的には、装置１ａの中心側の２つのコーナー部のうちの一方のコーナー部においてフィルム１４を粘着保持した状態で、この第２のヘッド７２を第２のフィルム１２の対角線の方向（装置１ａの外側）に移動させることにより、第２のフィルム１２から保護フィルム１４を剥離する。

このフィルム貼り合せ装置１ａは、第１および第２のフィルム１１および１２から保護フィルム１３および１４をそれぞれ剥がした後、第２のフィルム１２を反転し、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを第１のフィルム１１の一方の端部１１ｃに押圧する。さらに、第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に押圧した状態で、移動装置３０により、第２のステージ２２およびローラ６０の位置を、第１のステージ２１に支持された第１のフィルム１１の他方の端部１１ｄに相対的に移動させることにより、第１のフィルム１１に第２のフィルム１２を貼り付ける。本例の装置１ａでは、第１のステージ２１を移動装置３０により移動させる。

詳しくは、図１ないし図８に、このフィルム貼り合せ装置１ａを用いたフィルムの貼り合せの過程を示している。

まず、図１に示すように、移動装置３０により、第１のステージ２１を第２のステージ２２から離れた位置に移動させ、第１のステージ２１および第２のステージ２２に、第１のフィルム１１および第２のフィルム１２をそれぞれ搭載する。フィルム１１および１２のハンドリングは、不図示のフィルムローダーにより自動的に行なわれる。

次に、図２に示すように、第１のステージ２１の第１の支持面２１ａに第１のフィルム１１を吸引支持させる。また、回転装置４０により、第２のステージ２２を、第２の支持面２２ａが上向きになる位置にセットする。さらに、エアシリンダ５０により、第３のステージ２３を第１の位置（第３の支持面２３ａが第２の支持面２２ａとともに第２のフィルム１２を吸引支持する位置）に移動させる。そして、第２のステージ２２の第２の支持面２２ａおよび第３のステージ２３の第３の支持面２３ａに第２のフィルム１２を吸引支持させる。

その後、第１のヘッド７１により、第１の支持面２１ａに吸引支持された第１のフィルム１１の第２の面１１ｂから保護フィルム１３を剥がす。それとともに、第２のヘッド７２により、第２の支持面２２ａおよび第３の支持面２３ａに吸引支持された第２のフィルム１２の第２の面１２ｂから保護フィルム１４を剥がす。

次に、図３に示すように、第３のステージ２３の吸引を停止し、エアシリンダ５０により、第３のステージ２３を第２の位置（第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃから第３のステージ２３が離れた位置）に移動し、第２のステージ２２から分離する。これにより、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃから第３のステージ２３が離れ、第２のフィルム１２は第２のステージ２２のみにより支持される。次に、回転装置４０により、第２のステージ２２を、フィルム１２を支持した第２の支持面２２ａが下向きになるように回転する。これにより、第２のフィルム１２の第２の面１２ｂが下向きになる。さらに、移動装置３０により、第１のステージ２１を、右から左に移動させる。

図４に示すように、これらの動作により、第１のステージ２１は、第２のステージ２２と対峙する位置に移動し、第２のフィルム１２の第２の面１２ｂと、第１のフィルム１１の第２の面１１ｂとが対峙する。

その後、図５に示すように、ローラ６０が第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃと接触するように、ローラ用エアシリンダ６１によりローラ６０を斜め下方に移動させる。この端部１２ｃは、第３のステージ２３を移動させたことにより自由となった第２のフィルム１２の端部である。

エアシリンダ６１により、さらにローラ６０を移動させて第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に押し付けると、図６に示すように、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃが撓んで、第１のフィルム１１の一方の端部１１ｃに接触する。これにより、ローラ６０は、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを上側（第１のフィルム１１とは反対の側）から第１のフィルム１１に対して押圧し、第２のフィルム１２と第１のフィルム１１とは、ローラ６０と第１のステージ２１とにより挟まれた状態、あるいはプレスされた状態になる。

図７に示すように、ローラ６０により、第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に押圧したまま、移動装置３０により、第１のステージ２１の位置を第２のステージ２２およびローラ６０の位置に対して水平に移動させ、ローラ６０が第１のフィルム１１の一方の端１１ｃから他方の端１１ｄに相対的に動くようする。すなわち、図７において、ローラ６０と第１のステージ２１とにより、第２のフィルム１２および第１のフィルム１１を上下から挟んだ状態で、第１のステージ２１を、左から右に移動させる。これにより、ローラ６０の位置は、第１のステージ２１に支持された第１のフィルム１１の一方の端部１１ｃから他方の端部１１ｄに相対的に移動する。

このようにすることにより、ローラ６０により第１のフィルム１１と第２のフィルム１２との間の空気が押し出されながら、第１のフィルム１１に第２のフィルム１２が貼り付けられていく。最終的には、ローラ６０により第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に押圧し、ローラ６０とステージ２１とによりフィルム１１および１２を挟んだまま、移動装置３０により、第１のステージ２１を、図８に示すように、第２のステージ２２から離れる位置まで移動させる。第２のステージ２２に支持された第２のフィルム１２は、第１のフィルム１１に貼り付けられ、第１のステージ２１とともに移動する。これらの動作により、第１のフィルム１１に第２のフィルム１２を貼り付けることができる。すなわち、ローラ６０により第１のフィルム１１に押し付けられた第２のフィルム１２は、第１のステージ２１の移動とともに、第２のステージ２２の支持面２２ａを滑り、第１のステージ２１により水平方向に引っ張られていく。

第２の支持面２２ａは、第２のフィルム１２を吸着支持しており、第２のフィルム１２を第２の支持面２２ａから引き剥がすことは難しい。しかしながら、吸着力あるいは吸引力に対して垂直な方向（せん断方向）にフィルム１２を動かす（引っ張る）ことは容易であり、第１のステージ２１を移動することにより、第２のステージ２２から第２のフィルム１２を第１のフィルム１１の上に容易に移すことができる。このように、空気の吸込みによりフィルム１２を吸着支持する支持面２２ａを備えた第２のステージ２２を用いることにより、第２のステージ２２により第２のフィルム１２を下に向けて、第２のフィルム１２が脱落しないように支持できる。また、第２のフィルム１２を第１のフィルム１１に押し付けながら貼り付けるときに、第２のフィルム１２が支持面２２ａから脱落することがなく、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２との間に適当な間隔、例えば、数ｍｍから１ｃｍ程度の微小な間隔を保持できる。

その一方で、第１のフィルム１１の移動に引っ張られて、支持面２２ａに対して第２のフィルム１２が滑り、最終的には第２のフィルム１２が第２のステージ２２から自動的に外れるようになっている。このため、第１のフィルム１１の上に、第２のフィルム１２をローラ６０の移動により、徐々に貼り付けることができる。したがって、この装置１ａにより、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２とをそれらのフィルムの間に空気が入り込まないように、さらには、フィルム１１および１２同士がスキューなどの傾きや皺などのない状態で、フィルム１１および１２同士を精度良く貼り付けることができる。

以上のように、このフィルム貼り合せ装置１ａによれば、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２との間に空気が入らないようにしながら、第１のフィルム１１に第２のフィルム１２を貼り付けることができる。また、このフィルム貼り合せ装置１ａによれば、第１のワークとして基板を用意し、第２のワークとしてフィルムを用意することにより、同様の方法で、基板にフィルムを貼り付けることもできる。

さらに、このフィルム貼り合せ装置１ａによれば、第１の支持面２１ａに吸引支持された第１のフィルム１１の第２の面１１ｂから保護フィルム１３を剥がす第１のヘッド７１と、第２の支持面２２ａおよび第３の支持面２３ａに吸引支持された第２のフィルム１２の第２の面１２ｂから保護フィルム１４を剥がす第２のヘッド７２とをさらに有しているため、保護フィルム１３および１４の剥離からフィルム１１および１２同士の貼り合せまでを自動的に行うことができる。

また、このフィルム貼り合せ装置１ａによれば、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２とを貼り合せる直前に、第１および第２のフィルム１１および１２からそれぞれ保護フィルム１３および１４を剥がすことができる。さらに、保護フィルム１３および１４を剥がした後、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２とが貼り付けられる直前まで、貼り合せ領域となる第１のフィルム１１の面１１ｂおよび第２のフィルム１２の面１２ｂには、機器が一切触れない。したがって、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２との間に埃などの異物が入り込み難い。

しかも、このフィルム貼り合せ装置１ａによれば、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを吸引支持するための第３の支持面２３ａを備えた第３のステージ２３と、第３のステージ２３を、第３の支持面２３ａが第２の支持面２２ａとともに第２のフィルム１２を吸引支持する第１の位置から、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃから第３のステージ２３が離れた第２の位置へ動かす手段とを有しているため、第２のフィルム１２の第１の面１２ａのほぼ全域を第２のステージ２２および第３のステージ２３により支持しながら、第２のフィルム１２の第２の面１２ｂから保護フィルム１４を剥がすことができる。特に、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃは第３のステージ２３により支持されているため、保護フィルム１４を剥がし始めるときに、第２のヘッド７２の粘着テープ７２ａを第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃと対応する部分に押し付けて、保護フィルム１４の端を粘着テープ７２ａにより引き剥がし易い。したがって、第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃ側から他方の端部１２ｄ側に第２のヘッド７２を移動させて、第２のフィルム１２から保護フィルム１４を剥ぎ取ることができる。

また、第１のフィルム１１と第２のフィルム１２との貼り合せを開始するときには、第３のステージ２３を上記第２の位置に移動させることにより、ローラ６０により第２のフィルム１２の一方の端部１２ｃを第１のフィルム１１の一方の端部１１ｃに押圧するためのスペースを確保することができる。

さらに、このフィルム貼り合せ装置１ａは、第２のステージ２２を、保護フィルム１４を剥がす位置から、第２のフィルム１２の第２の面１２ｂと第１のフィルム１１の第２の面１１ｂとが対峙する位置へ回転させる回転装置４０を備えているため、第２のフィルム１２から保護フィルム１４を剥がし易い位置（本例では上向き）に移動させて、第２のフィルム１２から保護フィルム１４を剥がすことができる。

第２の実施形態では、比較的硬質な、ほとんど撓まないワーク（基板）同士を貼り合わせるための装置（以下、基板貼り合せ装置という）を例にとって説明する。図９ないし図１５は、本発明の第２の実施形態にかかる装置により、第１のワークと第２のワークとを貼り合わせる過程を示している。

図９に示すように、本例の基板貼り合せ装置は、第１のワークとしての第１の基板８１と、第２のワークとしての第２の基板８２とを貼り合せるための装置である。第１の基板８１は、例えば、ガラス板であり、第２の基板は、例えば、樹脂プレートである。第１および第２の基板８１および８２は、それぞれ、一方の面（第１の面）８１ａおよび８２ａが基板貼り合せ装置に支持される被支持面となり、他方の面（第２の面）８１ｂおよび８２ｂが貼り合せ面となる。また、第１の基板８１と第２の基板８２とを貼り合せる前に、第１の基板８１および第２の基板８２の貼り合せる面に埃などの異物が付いて、貼り合せのときの障害にならないように、第１の基板８１の第２の面８１ｂおよび第２の基板８２の第２の面８２ｂには、それぞれ、保護フィルム８３および８４が貼り付けられている。また、本例では、図１１および図１２などに示すように、第２の基板８２は、第１の基板８１よりも若干大きく、第２の基板８２を第１の基板８１に貼り付けたときに、その他方の端部８２ｄが、第１の基板８１の他方の端部８１ｄから若干はみ出すようにアレンジされている。

図９に戻って、この基板貼り合せ装置１ｂは、上述したフィルム貼り合せ装置１ａと同様の構成の第１のステージ２１、第２のステージ２２、第３のステージ２３、移動装置３０、回転装置４０、第３のステージ用のエアシリンダ５０、ローラ６０、ローラ用のエアシリンダ６１、支柱６２、保護フィルムを剥がすための第１のヘッド７１および第２のヘッド７２などを備えている。そして、この基板貼り合せ装置１ｂは、さらに、スペーサ９０と、このスペーサ９０を動かすためのスペーサ駆動装置１００とを有している。これらスペーサ９０およびスペーサ駆動装置１００は、第１のステージ２１に取り付けられている。このため、スペーサ９０およびスペーサ駆動装置１００は、移動装置３０により、第１のステージ２１とともにスライドする。

スペーサ９０は、ローラ６０により、第２の基板８２の一方の端部８２ｃを第１の基板８１の一方の端部８１ｃに押圧するときに、第２の基板８２の他方の端部８２ｄに接触して第２の基板８２の他方の端部８２ｄと第１の基板８１の他方の端部８１ｄとの間隔を維持するためのものである。本例では、スペーサ９０として、上端が第２の基板８２の限定された、狭い面積に接して第２の基板８２を支持するピンタイプ（針状または棒状に突き出たタイプ）のスペーサを用いている。

スペーサ駆動装置１００は、モータ１０１と、ギア１０２と、カムリンク１０３とを備えている。スペーサ９０の下端は、カムリンク１０３の先端と接続されている。したがって、モータ１０１を動かすことにより、スペーサ９０は、ギア１０２およびカムリンク１０３を介し、第１の支持面２１ａに対して第２のステージ２２の側に突き出た第１の状態（図１２および図１３を参照）と、第１の支持面２１ａに対して突き出ていない第２の状態（図１０、図１１および図１４を参照）との間で移動する。

また、この基板貼り合せ装置１ｂでは、スペーサ９０と対峙した状態で第２の基板８２を支持するために、第２のステージ２２のローラ６０とは反対側の端は、第１のステージ２１の端よりも外側に張り出すようにセットされる張出部２２ｃを備えている。そして、スペーサ９０は、上記第１の状態において、第２のステージ２２の張出部２２ｃとの間で、いったん、挟みこむように第２の基板８２の他方の端部８２ｄを支持する。その後、第２のステージ２２から第２の基板８２が外れる（剥離する）と、スペーサ９０は単独で、第２の基板８２の他方の端部８２ｄと接触し、支持する。

さらに、この基板貼り合せ装置１ｂでは、第１のステージ２１は、第１の支持面２１ａを形成する多孔性の弾性部材（エラストマー）１１０を含んでいる。弾性部材１１０としては、例えば、複数の孔１１１が形成された多孔性のゴム板を用いることができる。複数の孔１１１は、吸引口２１ｂとして機能する。なお、弾性部材１１０としては、発泡性のゴム板などを用いてもよい。なお、基板貼り合せ装置１ｂの他の構成は、第１の実施形態で説明したフィルム貼り合せ装置１ａと同様であるため、重複する説明は、図面に同符号を付して省略する。

この基板貼り合せ装置は、第１および第２の基板８１および８２から保護フィルム８３および８４を剥がした後、第２の基板８２の一方の端部８２ｃを第１の基板８１の一方の端部８１ｃに押圧し、第２の基板８２を第１の基板８１に押圧した状態で、移動装置３０により、ローラ６０の位置を、第１のステージ２１に支持された第１の基板８１の他方の端部８１ｄに相対的に移動させることにより、第１の基板８１に第２の基板８２を貼り付ける。

詳しくは、図９ないし図１５に、この基板貼り合せ装置１ｂを用いた基板の貼り合せの過程を示している。

まず、図９に示すように、第１の実施形態と同様にして、第１の基板８１の第２の面８１ｂから保護フィルム８３を剥がす。それとともに、第２の基板８２の第２の面８２ｂから保護フィルム８４を剥がす。このとき、スペーサ９０は、第１の支持面２１ａに対して突き出ていない第２の状態である。

次に、図１０に示すように、まず、第３のステージ２３の吸引を停止し、エアシリンダ５０により、第３のステージ２３を上記第２の位置に退避させ、第２のステージ２２から第３のステージ２３を離す。さらに、回転装置４０により、第２のステージ２２を、第２の基板８２を吸着保持した状態で、第２の基板８２の第２の面８２ｂが下向きになる位置に移動（回転）させる。また、移動装置３０により、第１のステージ２１を第２のステージ２２と対峙する位置に移動させる（図１０において、第１のステージ２１を、右から左に移動させる）。

その後、図１１に示すように、スペーサ駆動装置１００により、スペーサ９０を、第１の支持面２１ａに対して突き出ていない第２の状態から、第１の支持面２１ａに対して第２のステージ２２の側に突き出た第１の状態に移動させる。これにより、スペーサ９０は、第２のステージ２２により、鉛直方向下を向いて吸着支持された第２の基板８２の他方の端部８２ｄに接触し、鉛直方向上向きに支持する。

なお、本例では、第２の基板８２の他方の端部８２ｄが第１の基板８１の他方の端部８１ｄよりも張り出すように、第１のステージ２１および第２のステージ２２は位置決めされている。そして、第２の基板８２の他方の端部８２ｄを除いた部分が第１の基板８１との貼り合せ領域となる。したがって、スペーサ９０は、貼り合せ領域には接触しておらず、スペーサ９０を上記第１の位置に移動させても、スペーサ９０を介して、第１の基板８１と第２の基板８２の貼り合せ領域に、埃などの異物が付着することは無い。

また、上記の貼り合せ装置１ａと同様に、第１のステージ２１および第２のステージ２２は、第１の基板８１の第１の面（裏面）８１ａおよび第２の基板８２の第１の面８２ａをそれぞれ吸着支持する。したがって、第１の基板８１の第２の面（表面）８１ｂと第２の基板８２の第２の面８２ｂとを貼り合せるために、これらの面８１ｂおよび８２ｂを、数ｍｍから１ｃｍ程度の微小な間隔を開けた状態で対向させて保持し、その後、これらの面８１ｂおよび８２ｂが貼り合わされるまでの間、これらの面８１ｂおよび８２ｂの貼り合せ領域には、装置１ｂに関する物（部材、アームなど）は接しないようになっている。したがって、これらの基板８１および８２を貼り合せる際に、装置１ｂに起因して基板８１および８２の間に異物が挟み込まれることがないようになっている。

基板８１および８２同士を向かい合わせた後、ローラ用エアシリンダ６１によりローラ６０を斜め下方に移動させる。ローラ６０を移動させると、図１２に示すように、第２の基板８２の一方の端部８２ｃは下側に押される。さらにローラ６０を移動させると、図１３に示すように、第２の基板８２の一方の端部８２ｃは、第１のステージ２１に支持されている第１の基板８１の一方の端部８１ｃに接触する。これにより、ローラ６０と第１のステージ２１とにより、第１の基板８１および第２の基板８２は挟まれた状態になり、第２の基板８２の一方の端部８２ｃは、上側（第１の基板８１とは反対の側）から第１の基板８１に対して押圧される。

第２の基板８２は、比較的剛性が高く、撓みが少ないため、第２の基板８２の一方の端部８２ｃがローラ６０により押されると、第２の基板８２の全体が第２の支持面２２ａから剥離し、第２の基板８２が第２のステージ２２から脱落する可能性がある。このとき、スペーサ９０は、第１の支持面２１ａに対して第２のステージ２２の側に突き出た第１の状態にある。このため、第２の基板８２の他方の端部８２ｄは、スペーサ９０により支持され、第２の基板８２の他方の端部８２ｄと第１の基板８１の他方の端部８１ｄとの間隔を維持できる。また、第２のステージ２２から剥離した第２の基板８２は、第１の基板８１およびスペーサ９０を介して第１のステージ２１により支持され、第１のステージ２１とともに移動する。したがって、これ以降、第２のステージ２２の吸引は、継続していてもよいが停止してもよい。

図１４に示すように、ローラ６０により、第２の基板８２を第１の基板８１に押圧したまま、移動装置（コンベア）３０により、第１のステージ２１と第２のステージ２２との間隔を保った状態で、第１のステージ２１の位置を、第２のステージ２２およびローラ６０の位置に対して移動させる。すなわち、図１４において、第１のステージ２１を、左から右に移動させる。これにより、ローラ６０の位置は、第１のステージ２１に支持された第１の基板８１および第２の基板８２の他方の端部８１ｄおよび８２ｄに相対的に移動する。同時に、スペーサ駆動装置１００は、移動装置３０の移動距離と連動して、スペーサ９０を上記第１の状態から上記第２の状態に移動させる。

最終的に、第２の基板８２を第１の基板８１にローラ６０により押圧したまま、移動装置３０により、第１のステージ２１を図１５に示す位置まで移動させる。これにより、第２の基板８２が第１の基板８１に貼り付けられる。この基板貼り合せ装置１ｂにおいては、ローラ６０の位置が第１の基板８１の一方の端部８１ｃから他方の端部８１ｄに相対的に移動するのに伴い、スペーサ９０が下がり、第２の基板８２の他方の端部８２ｄが第１の基板８１の他方の端部８１ｄに近づく。このため、ローラ６０が第２の基板８２を押圧しても、第２の基板８２は歪み難く、さらに、第１の基板８１と第２の基板８２とはローラ６０の移動にともなって徐々に貼り合わされるので、これらの基板８１および８２の間から空気を抜くことができる。

しかも、第１のステージ２１の支持面２１ａは弾性部材のゴムシート１１０となっているので、支持面２１ａは、これらの基板８１および８２がローラ６０により上から押されると凹み、基板８１および８２が撓んだり曲がったりすることを防止できる。このため、ローラ６０により第２の基板８２を押圧しながら、ローラ６０の位置を第１の基板８１の一方の端部８１ｃから他方の端部８１ｄに相対的に移動させても、第２の基板８２だけ歪んだり、第２の基板８２に応力が集中したりすることなく、硬質の基板８１および８２同士を貼り合せることができる。

以上のように、この基板貼り合せ装置１ｂによれば、第１の基板８１と第２の基板８２との間に空気が入らないようにしながら、硬質の第１の基板８１に硬質の第２の基板８２を貼り付けることができる。

また、この基板貼り合せ装置１ｂによれば、第２の支持手段２２のローラ６０とは反対側の端に、第１の支持手段２１のローラ６０とは反対側の端よりも張り出す張出部２２ｃを備えている。このため、第２の基板８２の他方の端部８２ｄが第１の基板８１の他方の端部８１ｄから張り出すように、第１の基板８１と第２の基板８２とを対峙させることができる。そして、この基板貼り合せ装置１ｂによれば、スペーサ９０が、上記第１の状態において、張出部２２ｃと対峙するようにしている。スペーサ９０は、第１の基板８１の他方の端部８１ｄから張り出した第２の基板８２の他方の端部８２ｄに接触して、第２の基板８２の他方の端部８２ｄと第１の基板８１の他方の端部８１ｄとの間隔を維持する。貼り合せるときに基板８２を支持するスペーサ９０は、張出部２２ｃにのみ接し、その張出部２２ｃは、貼り合せ領域から外れた部分（領域）である。したがって、スペーサ９０は、第１の基板８１と第２の基板８２とが貼り付けられる領域には触れない。このように、硬質の基板８１および８２同士を貼り合せる場合でも、貼り合せる領域に触れる部材あるいは機器はない。このため、この装置１ｂに起因して、第１の基板８１と第２の基板８２の貼り合せ領域に、埃などの異物が付着し難い。

さらに、この基板貼り合せ装置１ｂによれば、スペーサ９０として、ピンタイプのスペーサを用いているため、スペーサ９０と第２の基板８２との接触面積を小さくすることができる。したがって、第２の基板８２に埃などの異物がさらに付着し難い。

また、この基板貼り合せ装置１ｂによれば、スペーサ駆動装置１００は、移動装置３０の動作と連動して、スペーサ９０を上記第１の状態から上記第２の状態に動かす。すなわち、ローラ６０の位置が第１の基板８１の一方の端部８１ｃから他方の端部８１ｄに相対的に移動するのに伴い、第２の基板８２の他方の端部８２ｄが第１の基板８１の他方の端部８１ｄに近づく。したがって、ローラ６０が第２の基板８２を押圧しても、第２の基板８２が歪み難い。

しかも、この基板貼り合せ装置１ｂによれば、第１の支持手段２１は、第１の支持面２１ａを形成する多孔性の弾性部材１１０を含んでいるため、ローラ６０で第２の基板８２を第１の基板８１に貼り付けるときに、多孔性の弾性部材１１０が変形して、第１の基板８１および／または第２の基板８２の歪みを吸収する。したがって、第１の基板８１および／または第２の基板８２に歪が生じ難い。

なお、本例では、第２の基板８２として、第１の基板８１よりも大きな基板を用いているが、略同形状の第１の基板８１と第２の基板８２とを用意し、これらの基板８１および８２を若干ずらして配置することにより、第２の基板８２の他方の端部８２ｄを、第１の基板８１の他方の端部８１ｄよりも張り出させるようにしてもよい。したがって、第１の支持手段２１と第２の支持手段２２は、微小な間隔を開けて対峙可能であれば、若干ずらして配置してもよい。

また、本例では、第２の基板８２の他方の端部８２ｄは、第１の基板８１の他方の端部８１ｄよりも張り出しているが、第２の基板８２の他方の端部８２ｄは、必ずしも、第１の基板８１の他方の端部８１ｄよりも張り出していなくてもよい。例えば、第１の支持手段２１および第１の基板８１に切り欠き部や開口を形成し、この切り欠き部や開口を介して、スペーサ９０を突没させてもよい。

さらに、スペーサ９０は、ピンタイプに限定されるものではなく、第２の基板８２の他方の端部８２ｄに接触して第２の基板８２の他方の端部８２ｄと第１の基板８１の他方の端部８１ｄとの間隔を維持するものであれば、その形状は任意である。

また、上記第１および第２の実施形態においては、移動装置３０により第１の支持手段２１を移動させるようにしているが、移動装置（移動手段）３０は、第１の支持手段２１と第２の支持手段２２との間隔を保った状態で、第１の支持手段２１の位置を、第２の支持手段２２およびローラ６０の位置に対して相対的に移動させるものであればよい。すなわち、装置全体として、第１の支持手段２１の位置が、第２の支持手段２２およびローラ６０の位置に対して相対的に移動すれば、移動手段により、第２の支持手段２２およびローラ６０の位置を移動させてもよい。また、第１の支持手段２１、第２の支持手段２２、およびローラ６０の全てが移動可能であってもよい。

さらに、上記第１および第２の実施形態においては、回転装置４０として、第２の支持手段２２を回転し、第２のワークの第２の面が上向きになる位置から、第２の面が下向きになる位置へ動かすものを用いたが、回転装置（回転手段）４０は、第１のワークおよび／または第２のワークから保護フィルムを剥がし易いように、その位置を移動させるものであり、その動作は実施形態に限定されない。回転手段は、第２の支持手段２２および／または第１の支持手段２１を、保護フィルムを剥がす位置から、第２のワークの第２の面と第１のワークの第２の面とが対峙する位置へ回転させるものであればよい。なお、回転手段は、省略も可能である。

本発明の第１の実施形態にかかるワークを貼り合わせるための装置であって、第１のワークおよび第２のワークを、第１のステージおよび第２のステージにそれぞれ搭載する様子を示す図。 図１の装置であって、第１および第２のワークから、それぞれ、保護フィルムを剥がしている状態を示す図。 図１の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第１の過程を説明するための図。 図１の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第２の過程を説明するための図。 図１の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第３の過程を説明するための図。 図１の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第４の過程を説明するための図。 図１の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第５の過程を説明するための図。 図１の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せた状態を示す図。 本発明の第２の実施形態にかかるワークを貼り合わせるための装置であって、第１および第２のワークから、それぞれ、保護フィルムを剥がしている状態を示す図。 図９の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第１の過程を説明するための図。 図９の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第２の過程を説明するための図。 図９の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第３の過程を説明するための図。 図９の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第４の過程を説明するための図。 図９の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せる第５の過程を説明するための図。 図９の装置において、第１のワークと第２のワークとを貼り合せた状態を示す図。

符号の説明

１ａ フィルム貼り合せ装置（ワークを貼り合わせるための装置）
１ｂ 基板貼り合せ装置（ワークを貼り合わせるための装置）
１１ 第１のフィルム（第１のワーク）
１１ａ （第１のフィルムの）第１の面、 １１ｂ （第１のフィルムの）第２の面
１１ｃ （第１のフィルムの）一方の端部
１１ｄ （第１のフィルムの）他方の端部
１２ 第２のフィルム（第２のワーク）
１２ａ （第２のフィルムの）第１の面、 １２ｂ （第２のフィルムの）第２の面
１２ｃ （第２のフィルムの）一方の端部
１２ｄ （第２のフィルムの）他方の端部
１３、１４、８３、８４ 保護フィルム
２１ 第１のステージ（第１の支持手段）、 ２１ａ 第１の支持面
２２ 第２のステージ（第２の支持手段）、 ２２ａ 第２の支持面
２２ｃ （第２の支持手段の）張出部
２３ 第３のステージ（第３の支持手段）、 ２３ａ 第３の支持面
３０ 移動装置（移動手段）、 ４０ 回転装置（回転させる手段）
５０ エアシリンダ（第３の支持手段を動かす手段）、 ６０ ローラ、
７１ 第１のヘッド、 ７２ 第２のヘッド
８１ 第１の基板（第１のワーク）
８１ａ （第１の基板の）第１の面、 ８１ｂ （第１の基板の）第２の面
８１ｃ （第１の基板の）一方の端部、 ８１ｄ （第１の基板の）他方の端部
８２ 第２の基板（第２のワーク）
８２ａ （第２の基板の）第１の面、 ８２ｂ （第２の基板の）第２の面
８２ｃ （第２の基板の）一方の端部、 ８２ｄ （第２の基板の）他方の端部
９０ スペーサ、 １００ スペーサ駆動装置（スペーサ駆動手段）
１１０ 弾性部材

Claims (8)

1. 第１のワークと第２のワークとを貼り合わせるための装置であって、
   前記第１のワークを吸引支持するための第１の支持面を備えた第１の支持手段と、
   前記第１のワークと前記第２のワークとを微小な間隔を開けて対峙した状態で、前記第２のワークの一方の端部を除いた部分を吸引支持するための第２の支持面を備えた第２の支持手段と、
   前記第２のワークの前記一方の端部を、前記第１のワークとは反対の側から前記第１のワークに対して押圧するためのローラと、
   前記第１の支持手段と前記第２の支持手段との間隔を保った状態で、前記第１の支持手段の位置を、前記第２の支持手段および前記ローラの位置に対して相対的に移動させる移動手段とを有し、
   前記ローラにより、前記第２のワークの前記一方の端部を前記第１のワークの一方の端部に押圧し、前記第２のワークを前記第１のワークに押圧した状態で、前記移動手段により、前記ローラの位置を、前記第１の支持手段に支持された前記第１のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、前記第１のワークに前記第２のワークを貼り付け、さらに、
   前記ローラにより、前記第２のワークの前記一方の端部を前記第１のワークの前記一方の端部に押圧するときに、前記第２のワークの他方の端部に接触して前記第２のワークの前記他方の端部と前記第１のワークの前記他方の端部との間隔を維持するスペーサであって、前記移動手段により、前記第１の支持手段とともに、前記第２の支持手段に対して相対的に移動するスペーサと、
   前記スペーサを、前記第１の支持面に対して前記第２の支持手段の側に突き出た第１の状態と、前記第１の支持面に対して突き出ていない第２の状態とに動かすためのスペーサ駆動手段とを有する、装置。
2. 請求項１において、前記スペーサ駆動手段は、前記移動手段の動作と連動して、前記スペーサを前記第１の状態から前記第２の状態に動かす、装置。
3. 請求項１または２において、前記スペーサは、ピンタイプのものである、装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記第２の支持手段の前記ローラとは反対側の端は、前記第１の支持手段の前記ローラとは反対側の端よりも張り出す張出部を備えており、
   前記スペーサは、前記第１の状態において、前記張出部と対峙する、装置。
5. 請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記第１の支持手段は、前記第１の支持面を形成する多孔性の弾性部材を含む、装置。
6. 第１のワークと第２のワークとを貼り合わせる装置であって、
   前記第１のワークを吸引支持する第１の支持面を備えた第１の支持手段と、
   前記第１のワークと前記第２のワークとを微小な間隔を開けて対峙した状態で、前記第２のワークの一方の端部を除いた部分を吸引支持する第２の支持面を備えた第２の支持手段と、
   前記第２のワークの前記一方の端部を、前記第１のワークとは反対の側から前記第１のワークに対して押圧するローラと、
   前記第１の支持手段と前記第２の支持手段との間隔を保った状態で、前記第１の支持手段の位置を、前記第２の支持手段および前記ローラの位置に対して相対的に移動させる移動手段とを有し、
   前記ローラにより、前記第２のワークの前記一方の端部を前記第１のワークの一方の端部に押圧し、前記第２のワークを前記第１のワークに押圧した状態で、前記移動手段により、前記ローラの位置を、前記第１の支持手段に支持された前記第１のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、前記第１のワークに前記第２のワークを貼り付け、さらに、
   前記第１のワークおよび前記第２のワークは、それぞれの第１の面が前記第１の支持面および前記第２の支持面に支持されており、
   前記第１の支持面に吸引支持された前記第１のワークの第２の面から保護フィルムを剥がす第１のヘッドと、
   前記第２の支持面に吸引支持された前記第２のワークの第２の面から保護フィルムを剥がす第２のヘッドと、
   前記第２のワークの前記一方の端部を吸引支持するための第３の支持面を備えた第３の支持手段と、
   前記第３の支持手段を、前記第３の支持面が前記第２の支持面とともに前記第２のワークを吸引支持する第１の位置から、前記第２のワークの前記一方の端部から前記第３の支持手段が離れた第２の位置へ動かす手段とを有する、装置。
7. 請求項６において、前記第２の支持手段および／または前記第１の支持手段を、保護フィルムを剥がす位置から、前記第２のワークの前記第２の面と前記第１のワークの前記第２の面とが対峙する位置へ回転させる手段をさらに有する、装置。
8. 請求項７において、
   前記第１の支持手段は、前記第１のワークを、前記第２の面を上向きにして支持し、
   前記回転させる手段は、前記第２の支持手段を回転し、前記第２のワークの前記第２の面が上向きになる位置から、前記第２の面が下向きになる位置へ動かす、装置。

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