JP3879497B2 - ガラス基板位置決め装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に用いる薬液塗布装置に関ものであり、特に、ガラス基板を回転させずに、ダイヘッド等を用いて薬液を塗布する薬液塗布装置において、薬液塗布前のガラス基板を塗布ヘッドに対して適正な位置に位置決めするためのガラス基板位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
矩形状のガラス基板の位置決め装置とその前工程との受け渡し方法の例について言及する。図3(a)は、位置決め装置のガラス基板の幅方向の側面図、(b)は、長手方向の側面図である。(a)および(b)において、(イ)〜(ロ)は動作順序である。
【0003】
先ず、図3(a)および(b)に示すように、矩形状のガラス基板Aは、前工程から移載用のロボットCによって底面を2本のアーム1で支えられた状態でテーブルB上に積載されるが、そのままではテーブルB上に積載後、アーム1を退避することが出来ないので、一旦、テーブルBの上面から突出した状態で、アーム1と干渉しない位置に設置された複数の支持ピン2の上に受け渡され、その後にアーム1が退避する。
支持ピン2はテーブルBに対して垂直方向に昇降自在であり、受け渡された後ゆっくり下降して、テーブルB上に矩形状のガラス基板Aが積載される。
【0004】
次に、受け渡されたガラス基板の位置を決める位置決め装置の一例を図4に示す。図4(a)は、同じく、位置決め装置のガラス基板の幅方向の側面図、(b)は、長手方向の側面図である。(a)および(b)において、(イ)〜(ニ)は動作順序である。
図4(a)および(b)に示すように、この一例は、矩形状のガラス基板AをテーブルBに積載する際、あらかじめ、矩形状のガラス基板Aの互いに平行な2組の側端縁間の寸法からわずかに隙間を持たせた状態で設置された上開き方向に傾斜のついた位置決め部材3によって、矩形状のガラス基板Aの側端縁が支持ピン2の下降に従って、位置決め部材3の傾斜面に接触しながらひとりでに位置決めされるといった位置決め装置である。
【0005】
また、図5は、位置決め装置の他の例を示したものである。
図5(a)は、同じく、位置決め装置のガラス基板の幅方向の側面図、(b)は、長手方向の側面図である。(a)および(b)において、(イ)〜(ニ)は動作順序である。
図5(a)および(b)に示すように、矩形状のガラス基板AをテーブルB上に積載する際、ガラス基板Aが支持ピン2によって保持され、テーブBとの間に隙間がある状態のままで、矩形状のガラス基板Aの互いに平行な2組の側端縁をブロック状の位置決め部材3で押し当てて位置決めするといった位置決め装置である。
【0006】
しかしながら、昨今、大型液晶テレビ等の普及により、液晶パネル用カラーフィルタのガラス基板は年々大型化している。更に、生産効率を向上させる目的で1枚のガラス基板への面付け数を増やして生産することも多く、大型化に拍車をかけている。
また、一方ではノートパソコンや携帯情報端末等の軽薄短小化に伴い、液晶パネル用カラーフィルタのガラス基板は軽量化、高透過率確保等で年々その厚さが薄くなっている。すなわち、液晶パネル用カラーフィルタのガラス基板は年々その大きさが大型化し、厚さが薄くなっている。
【0007】
このため、上述した2例の場合、その位置決め過程において、ガラス基板の大型化や厚さが薄くなっていることが様々な不具合を引き起こす。例えば、図4に示すように、矩形状のガラス基板Aが支持ピンの下降に従って、位置決め部材3の傾斜面に接触しながらひとりでに位置決めされる場合には、図6に示すように、支持ピン2の下降時に矩形状のガラス基板Aの側端縁が位置決め部材3の傾斜面に接触したまま浮いた状態となり、テーブルB上に水平に積載されないことがある。
また、仮に、矩形状のガラス基板Aが完全にテーブルB上に密着した状態で積載されたとしても、位置決め部材3が矩形状のガラス基板Aの互いに平行な2組の側端縁間の寸法からわずかに隙間を持たせた状態で設置されているので、精度の高い位置決めは期待できない。
【0008】
また、例えば、図5に示すように、矩形状のガラス基板Aが支持ピン2によって支持されたままの状態で、矩形状のガラス基板Aの互いに平行な2組の側端縁をブロック状の位置決め部材3で押し当てて位置決めする場合には、図7に示すように、矩形状のガラス基板Aが支持ピン2で支えられた状態では、自重による撓みのため矩形状のガラス基板Aが湾曲してしまい、正確な位置決めが困難になる。
仮に、図8に示すように、支持ピン2の位置や本数を工夫することによって矩形状のガラス基板Aの湾曲を最小限に抑えても、ガラス基板が薄い場合はブロック状の位置決め部材3の押圧による変形が大きくなり、正確な位置決めが困難になる。
【0009】
更に、液晶パネルの高精細化に伴い、ガラス基板の歪み、傷等が最終品質に大きな影響を与えるので、位置決め工程においても歪み、傷等が発生しない取扱いが要求される。
例えば、図5に示すように、矩形状のガラス基板Aが支持ピン2で支えられた状態で位置決めを行うことは、矩形状のガラス基板Aと支持ピン2との接触面積が小さいので、その部分に応力が集中してガラス基板の歪みに繋がったり、接触部分の傷を誘発する可能性が高くなり好ましいものではない。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであって、液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に使用する、ダイヘッド等を用いて薬液を塗布する薬液塗布装置などにおいて、大型化、薄厚化が進むガラス基板を塗布ヘッドに対して適正なテーブル上の位置に、安定して精度良く位置決めすることのできるガラス基板位置決め装置を提供することを課題とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス基板を水平に積載して、その平面内の一方向に摺動可能としたテーブルと、該テーブルの上面に対し平行な方向と垂直な方向に摺動自在な少なくとも2つ以上の位置決め部材を備え、該位置決め部材が下方へ摺動してテーブルの上面と接触する部分がテーブルの上面と接触した際に、接触したことを検知する位置検出装置と、該位置検出装置からの信号によって該位置決め部材のテーブルへの押し付け圧力を自動調整する圧力調整装置を備え、該位置決め部材はテーブル上に積載されたガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁を、テーブルの上面に接触しながらガラス基板の中心方向に押圧してテーブルの所定の位置にガラス基板を位置決めし、位置決め完了後にテーブル上から退避することを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【0012】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記位置決め部材は、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁と接触する部分が、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面であり、テーブルの上面と接触する部分が、テーブルの上面と平行な面で、かつ、上記ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に接触する面から10mm以下の幅を有して形成されていることを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【0015】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記テーブルは、その内部に流体供装置から導管を経由して供給される流体を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を噴出させる中空部を有し、該開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を微少浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うことを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【0016】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記テーブルは、その内部に負圧発生装置から導管を経由して供給される負圧を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を吸引させる中空部を有し、該開口から吸引する流体の負圧でガラス基板をテーブルに密着させることを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【0017】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記中空部は、その内部を複数の空間に分割する仕切りを備え、分割された複数の空間の各々に導管が接続されており、各々の導管の途中に各々の空間と流体供給装置もしくは負圧発生装置との接続を任意に切り替え可能な切替弁を備えたことを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明によるガラス基板位置決め装置を、その実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明によるガラス基板位置決め装置の一実施例の構成を説明する斜視図である。図1は、矩形状のガラス基板を用いて液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に使用する薬液塗布装置を例としたものである。
Aはガラス基板、Bはガラス基板を積載するテーブル、2はテーブル内に昇降自在に設けられた支持ピンである。支持ピンBは複数設けられた中の一部が上昇した状態を破線にて示したものである。
【0019】
また、3は位置決め部材、4は位置決め部材の垂直方向の駆動装置、5は位置決め部材のテーブル長手方向の駆動装置、6は直動スライドガイド、7は位置決め部材のテーブル幅方向の駆動装置、8は空気の噴出・吸入の開口であり、等間隔で複数設けられた中の一部を示したものである。
9はテーブル摺動用のガイドレール、10は位置決め部材の垂直位置の位置検出装置、11は圧力制御装置、12は負圧発生装置、13は流体供給装置、14は流体経路の第2切替え弁、15は負圧発生装置および流体供給装置とテーブル内部とを繋ぐ第2導管、16は駆動装置を支持するブラケット、17は位置決め部材駆動部のベースである。
【0020】
なお、破線矢印はテーブル幅方向(ガラス基板の幅方向)を表している。第1導管20および第1切替え弁22はテーブルBの下方に設けられているので、図1においては図示されていない。また、本装置全体の土台となるフレーム部分は省略してある。
図10は、図1における位置決め部材3のP部分を拡大して示す斜視図である。図10に示すように、位置決め部材3のテーブルの上面と接触する部分は、位置決め部材3の底面部に形成された略L字形状の凸部30である。
この凸部30の図中斜線で示す底面は、テーブルの上面と平行で、かつ、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面Qから略10mm以下の幅Wを有するものである。また、凸部30の高さHは1mm程度である。
【0021】
図2は、図1におけるテーブルBの内部構造を示す断面図である。図1と同符号は同一部分に対応し、18、19はテーブル内に設けられた中空部、20は各中空部に繋がる第1導管、21は中空部を仕切る仕切り部材、22は流体経路の第1切替え弁である。また、矢印は空気流を示す。
図1に示すように、水平に設置されたテーブルB上の四隅近辺に、位置決め部材3が設けられている。テーブル長手方向を軸に対称な片側1対の位置決め部材3は、それぞれ、例えば、エアーシリンダ等の垂直方向の駆動装置4、および、例えば、サーボモータを利用したリニアアクチュエータ等のテーブル長手方向の駆動装置5を介して、垂直方向およびテーブル長手方向に往復摺動自由に、ブラケット16に支持されている。
ブラケット16は2つの平行な直動スライドガイド6と、例えば、サーボモータを利用したリニアアクチュエータ等のテーブル幅方向の駆動装置7を介して、テーブル幅方向に往復摺動自由に、ベース17上に設置されてる。これにより位置決め部材3は、テーブルBに対し3次元方向に摺動自在となる。また、位置決め部材3の垂直方向の駆動装置4には、下降時の押圧を制御する圧力制御装置11が接続されている。
【0022】
テーブルBは、高精度なガイドレール9に沿って摺動自在に、図示しない本体フレーム上に設置されている。位置決め終了後の塗布工程においては、テーブルBは水平方向に高精度に移動しつつ、テーブルB上に積載されたガラス基板上に薬液塗布が行われる。
また、図2に示すように、テーブルBの内部には、仕切り部材21によっていくつかの領域に分割された中空部18、19が設けられ、テーブルBの上面には中空部18、19と外気とを繋ぐ複数の開口8が等間隔に設けられている。更に、テーブルB内部には前工程からのガラス基板Aの受け渡し時に昇降する支持ピン2が格納されている。支持ピン2はテーブルBの上下を貫通しており、図示しない駆動装置によって垂直方向に摺動するが、中空部18、19を貫通しているので、その部分は空気漏れを防ぐシール構造となっている。
【0023】
中空部18、19と第1切替え弁22は、各々に第1導管20で接続されており、また、第1切替え弁22と第2切替え弁14は、第2導管15で接続されており、更に、第2切替え弁14と負圧発生装置12および流体供給装置13は、第3導管25で接続されている。
すなわち、第1切替え弁22は中空部の切替え用であり、また、第2切替え弁14は負圧発生装置12と流体供給装置13の切替え用である。第1切替え弁22と第2切替え弁14によって、任意に選択された中空部の領域に流体を供給したり、吸引することが可能である。
【0024】
これにより、例えば、ガラス基板Aのサイズが複数ある場合、仕切り部材21をそのサイズに合わせて配置し、ガラス基板Aの大きさに合わせた中空部を設ければ、テーブルB上に積載されたガラス基板Aが接触している開口8に限定して、流体の噴出または流体の吸入を行うことが可能となる。
また、図1に示すように、テーブル内部の中空部18、19と負圧発生装置12および流体供給装置13との接続を任意に切り替えることが出来るので、テーブルBの開口部8からの噴出・吸入は、後述するように各工程毎にタイミングよく自在に切り替える事が可能となる。
【0025】
図9は、本発明のガラス基板位置決め装置を用いて、ガラス基板Aを位置決めする場合の動作を説明するテーブル幅方向の断面図である。図9は、動作順序毎に[a]、[b]、[c]、[d]、[e]、[f]、[g]の符号を付加したが、テーブル長手方向の断面図に関しては、幅方向とほぼ同様のものとなるのでここでは省略する。なお、図9においては説明の都合上、テーブルB内部の中空部の分割はなく一室とし、それに接続する第1導管20も一本とする。
また、第1導管20に接続されている上流の機器や、位置決め部材3の駆動装置類は省略する。
【0026】
先ず、図9[a]に示すように、ガラス基板Aが前工程から図示しない移載用のロボットによって底面を2本のアーム1で支えられた状態で搬送され、テーブルBの所定位置に積載されるが、テーブルBの上面には複数の支持ピン2がアーム1に干渉しない位置に突出した状態で設置されており、ガラス基板Aは一旦、支持ピン2の上に受け渡される。この間に、テーブル幅方向の駆動装置7(図1参照)を動作させて、テーブルBから離れた位置に退避していた位置決め部材3をガラス基板Aの側端縁方向に接近させる。
【0027】
次に、図9[b]に示すように、支持ピン2がゆっくりと下降し、支持ピン2によって支持されたガラス基板Aがゆっくりと下降する。また、ガラス基板Aの側端縁近傍まで接近した位置決め部材3は一旦停止し、垂直方向の駆動装置4(図1参照)を動作させてその位置でテーブルBの上面に下降する。
【0028】
続いて、図9[c]に示すように、ガラス基板AがテーブルBの上面に密着した時点で、第2切替え弁14(図1参照)を動作させ、流体供給装置13(図1参照)とテーブルB内部の中空部16を導通させることによって、空気流をテーブルの上面に形成された開口8から噴出させる。
その結果、空気流はガラス基板Aを押し上げるように作用し、ガラス基板AとテーブルBとの間には微少な空間が形成され、両者の機械的摩擦は極端に減少する。このため、ガラス基板Aの底面の摩擦傷などを抑制でき、さらには、小さな押圧で済むので、ガラス基板Aに無理な力をかけずに高精度な位置決めがなされる。
【0029】
また、位置決め部材3は、例えば、近接センサーなどの検出装置10(図1参照)によってテーブルBの上面に接触したことが感知されると、圧力制御装置11によってその押付け圧力が制御され、その状態で位置決め部材3がテーブルBの上面を滑りながらガラス基板Aの側端縁を押圧して位置決めを開始する。これにより、位置決め部材3がガラス基板の位置決め時の反力で浮き上がることを防止しつつ、位置決め部材3のテーブル面への押し付け過ぎを防止するような適正圧に制御することができるので、ガラス基板の押し損ねを防ぎながらも位置決め部材とテーブルの上面の摩耗を最小限に抑えることが可能となり、結果として高精度な位置決めが容易なものとなる。
【0030】
その後、互いに対向する位置決め部材3は、図9[d]に示すように、テーブルBの中心に対称で、かつそれらの間隔がガラス基板Aの幅方向の寸法となる位置で停止する。このため、位置決め部材3によってガラス基板Aを挟み込んで変形させてしまう事はなく、高精度にテーブルBの中央に位置決め操作がなされる。
なお、ガラス基板Aの幅方向の寸法をあらかじめその種類数を憶させておき、生産するガラス基板のサイズに合わせて随時選択することによって効率的にサイズ切替えを行うことが可能となる。
【0031】
次に、図9[e]に示すように、ガラス基板Aが位置決め部材3によって精度よく位置決めされた状態では、まだテーブルBへの適正な押付け動作を行っているが、この状態で第2切替え弁14(図1参照)を動作させ、負圧発生装置12(図1参照)とテーブルB内部の中空部16を導通させることによって、空気流をテーブルBの上面に形成された開口8から吸入させる。
その結果、空気流はガラス基板Aを押し下げげるように作用し、負圧によって前記ガラス基板AはテーブルBに密着し、高い位置精度を保ったまま固定される。
【0032】
続いて、図9[f]に示すように、ガラス基板AがテーブルBに固定された状態で、テーブル幅方向の駆動装置7(図1参照)と垂直方向の駆動装置4(図1参照)を同時に動作させて、位置決め部材3をテーブルBに干渉することなく、離れた位置に移動開始させる。
図9[g]は、位置決めが完了した状態を示す。位置決め部材3は、次工程の妨げにならないように、完全にテーブルBから離れた場所に退避し、ガラス基板AはテーブルBの中央部分に精度よく位置決めされた状態で固定されている。
【0033】
請求項2に係わるガラス基板位置決め装置は、位置決め部材3の、ガラス基板Aの側端縁もしくは四隅端縁と接触する部分がガラス基板Aの側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面であり、また、テーブルBの上面と接触する部分が位置決め部材3の底面部に形成された略L字形状の凸部30であって、凸部30の底面がテーブルの上面と平行で、かつ、ガラス基板Aの側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面Qから略10mm以下の幅Wを有するものである。
これにより、例えば、経時変化によって位置決め部材3に歪みが発生したとしても、位置決め部材3の他の部分がテーブルBの上面に接触することはなく、上記凸部が常にテーブルBの上面に接触するので、前述[従来の技術]におけるように、矩形状のガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁と接触する面がテーブルの面から浮き上がることはなくなり、薄いガラス基板に対しても確実に押圧することが出来るものとなる。
【0036】
また、請求項3に係わるガラス基板位置決め装置は、ガラス基板位置決め装置のテーブルが、その内部に流体供給装置から導管を経由して供給される流体を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を噴出させる中空部を有し、その開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を微少浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うので、ガラス基板とテーブルの上面との間の摩擦抵抗が少なくなり、位置決め部材による位置決めが小さい押圧で行うことが可能となり、また位置決め時におけるガラス基板の捲れあがり等も発生しにくくなるため、高精度な位置決めが容易なものとなる。
【0037】
また、請求項4に係わるガラス基板位置決め装置は、ガラス基板位置決め装置のテーブルが、その内部に負圧発生装置から導管を経由して供給される負圧を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を吸引させる中空部を有し、その開口から吸引する流体の負圧でガラス基板をテーブルに密着させることを特徴とするものである。
これにより、位置決め部材による位置決め完了後のガラス基板の高精度な位置保持を行うことが容易なものとなる。
【0038】
【発明の効果】
本発明は、ガラス基板を水平に積載して、その平面内の一方向に摺動可能としたテーブルと、該テーブルの上面に対し平行な方向と垂直な方向に摺動自在な少なくとも2つ以上の位置決め部材を備え、該位置決め部材はテーブル上に積載されたガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁を、テーブルの上面に接触しながらガラス基板の中心方向に押圧してテーブルの所定の位置にガラス基板を位置決めし、位置決め完了後にテーブル上から退避するガラス基板位置決め装置であるので、液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に使用する、ダイヘッド等を用いて薬液を塗布する薬液塗布装置などにおいて、大型化、薄厚化が進むガラス基板を塗布ヘッドに対して適正なテーブル上の位置に、安定して精度良く位置決めすることのできるガラス基板位置決め装置となる。
【0039】
また、本発明は、上記ガラス基板位置決め装置において、位置決め部材のテーブルの上面と接触する部分が略L字形状の凸部であるので、凸部が常にテーブルの上面に接触し、テーブルの面から浮き上がることはなくなり、薄いガラス基板に対しても確実に押圧することが出来るものとなる。
また、位置検出装置と圧力調整装置を備えたものなので、ガラス基板の位置決め時の反力で浮き上がることを防止しつつ、位置決め部材のテーブル面への押し付け過ぎを防止するような適正圧に制御することができ高精度な位置決めが容易なものとなる。
【0040】
また、本発明は、上記ガラス基板位置決め装置において、ガラス基板位置決め装置のテーブルが、中空部の開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を微少浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うので、位置決めが小さい押圧で行うことが可能となり高精度な位置決めが容易なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガラス基板位置決め装置の一実施例の構成を説明する概略斜視図である。
【図2】図1におけるテーブルの内部構造を示す断面図である。
【図3】(a)は、ガラス基板の位置決め装置とその前工程との受け渡し方法について説明するガラス基板の幅方向の側面図である。
(b)は、ガラス基板の位置決め装置とその前工程との受け渡し方法について説明するガラス基板の長手方向の側面図である。
【図4】(a)は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の幅方向の側面図である。
(b)は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の長手方向の側面図である。
【図5】(a)は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の幅方向の側面図である。
(b)は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の長手方向の側面図である。
【図6】従来技術におけるガラス基板位置決め装置の問題点を説明する要部模式図である。
【図7】従来技術におけるガラス基板位置決め装置の問題点を説明する要部模式図である。
【図8】従来技術におけるガラス基板位置決め装置の問題点を説明する要部模式図である。
【図9】[a]〜[g]は、本発明のガラス基板位置決め装置を用いて位置決めする場合の位置決め動作を説明する断面模式図である。
【図10】図1におけるP部分を拡大して示す斜視図である。
【符号の説明】
A…ガラス基板
B…テーブル
C…移載用のロボット
1…アーム
2…支持ピン
3…位置決め部材
4…垂直方向の駆動装置
5…テーブル長手方向の駆動装置
6…直動スライドガイド
7…テーブル幅方向の駆動装置
8…開口
9…ガイドレール
10…位置検出装置
11…圧力制御装置
12…負圧発生装置
13…流体供給装置
14…第2切替え弁
15…第2導管
16…ブラケット
17…ベース
18、19…中空部
20…第1導管
21…仕切り部材
22…第1切替え弁
25…第3導管
30…凸部
Claims (5)
- ガラス基板を水平に積載して、その平面内の一方向に摺動可能としたテーブルと、該テーブルの上面に対し平行な方向と垂直な方向に摺動自在な少なくとも2つ以上の位置決め部材を備え、該位置決め部材が下方へ摺動してテーブルの上面と接触する部分がテーブルの上面と接触した際に、接触したことを検知する位置検出装置と、該位置検出装置からの信号によって該位置決め部材のテーブルへの押し付け圧力を自動調整する圧力調整装置を備え、該位置決め部材はテーブル上に積載されたガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁を、テーブルの上面に接触しながらガラス基板の中心方向に押圧してテーブルの所定の位置にガラス基板を位置決めし、位置決め完了後にテーブル上から退避することを特徴とするガラス基板位置決め装置。
- 前記位置決め部材は、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁と接触する部分が、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面であり、テーブルの上面と接触する部分が、テーブルの上面と平行な面で、かつ、上記ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に接触する面から10mm以下の幅を有して形成されていることを特徴とする請求項1記載のガラス基板位置決め装置。
- 前記テーブルは、その内部に流体供給装置から導管を経由して供給される流体を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を噴出させる中空部を有し、該開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うことを特徴とする請求項1、又は請求項2記載載のガラス基板位置決め装置。
- 前記テーブルは、その内部に負圧発生装置から導管を経由して供給される負圧を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を吸引させる中空部を有し、該開口から吸引する流体の負圧でガラス基板をテーブルに密着させることを特徴とする請求項1〜3に記載のガラス基板位置決め装置。
- 前記中空部は、その内部を複数の空間に分割する仕切りを備え、分割された複数の空間の各々に導管が接続されており、各々の導管の途中に各々の空間と流体供給装置もしくは負圧発生装置との接続を任意に切り替え可能な切替弁を備えたことを特徴とする請求項3、又は請求項4記載のガラス基板位置決め装置。
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