CN205674219U - 机械手手臂、机械手及承载装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种机械手手臂、机械手及承载装置，所述机械手手臂包括至少一个用于承载待承载物的手臂主体；在所述手臂主体上设置有用于吸附待承载物的吸附平板，所述吸附平板上开设有多个真空吸附孔。本实用新型所提供的机械手手臂及机械手，通过在机械手臂上设置平板状的吸附平板来吸附固定待承载物，在取放柔性基板时，由于吸附平板上的真空吸附孔比较多，可以使用比较小的真空压力来吸附柔性基板，这样柔性基板局部变形变小，另外吸附平板对柔性基板进行支撑，与现有技术相比，柔性基板整体变形也会变小，从而减少因变形导致的不良，提升柔性基板的良率。

Description

机械手手臂、机械手及承载装置
技术领域
本实用新型涉及制造机械技术领域，尤其涉及一种机械手手臂、机械手及承载装置。
背景技术
目前柔性OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)生产过程中，用于取放柔性基板的机械手上设置有多个真空吸附盘(pad)，但是因为真空吸附盘吸附柔性基板时，由于真空吸附盘的数量有限，且真空吸附力要求大，在取放柔性基板时，会造成柔性基板的局部变形，并且，由于机械手上的各真空吸附盘为点吸附，所以整体柔性基板也会发生比较大的形变。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种机械手手臂、机械手及承载装置，能够在进行柔性基板生产时，可以更好的取放柔性基板，减少变形，提升产品良率。
本实用新型所提供的技术方案如下：
一种机械手手臂，包括至少一个用于承载待承载物的手臂主体；在每一所述手臂主体上设置有用于吸附待承载物的吸附平板，所述吸附平板上开设有多个真空吸附孔。
进一步的，所述吸附平板为采用防静电材料制成的防静电板。
进一步的，每一所述手臂主体上的吸附平板的宽度与所述手臂主体的宽度相同。
进一步的，所述真空吸附孔的孔径为0.1～0.5mm。
进一步的，多个真空吸附孔的孔距为5～10mm。
进一步的，多个真空吸附孔呈矩阵均匀分布在所述吸附平板上。
进一步的，所述手臂主体为采用碳纤维材料制成的碳纤维手臂主体。
进一步的，所述手臂主体还包括与所述真空吸附孔连接的真空腔室。
一种机械手，包括如上所述的机械手手臂。
一种承载装置，包括如上所述的机械手。
本实用新型所带来的有益效果如下：
上述方案，通过在机械手臂上设置平板状的吸附平板来吸附待承载物，在取放待承载物，如柔性基板时，由于吸附平板上的真空吸附孔比较多，可以使用比较小的真空压力来吸附柔性基板，这样柔性基板局部变形变小，另外吸附平板对柔性基板进行支撑，与现有技术相比，柔性基板整体变形也会变小，从而减少因变形导致的不良，提升柔性基板的良率。
附图说明
图1表示本实用新型实施例所提供的机械手手臂在承载基板时的结构侧视图；
图2表示本实用新型实施例所提供的机械手的结构正视图；
图3表示本实用新型实施例所提供的机械手在承载基板时的结构正视图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
为了解决现有技术中的机械手取放柔性基板时会导致柔性基板变形的技术问题，本实用新型提供了一种机械手手臂，其能够在进行柔性基板生产时，可以更好的取放柔性基板，减少变形，提升产品良率。
如图1至图3所示，本实用新型所提供的机械手手臂，包括至少一个用于承载待承载物的手臂主体100；在所述手臂主体100上设置有用于吸附待承载物的吸附平板200，所述吸附平板200上开设有多个真空吸附孔300。
上述方案中，通过在机械手手臂上设置平板状的吸附平板200来吸附固定待承载物，所述待承载物可以为显示用的基板、面板膜材等。当采用本实用新型提供的机械手手臂在取放待承载物，如柔性基板10时，由于吸附平板200上的真空吸附孔300比较多，可以使用比较小的真空压力来吸附柔性基板10，这样柔性基板10局部变形变小，另外吸附平板200对柔性基板10进行支撑，与现有技术相比，柔性基板10整体变形也会变小，从而减少因变形导致的TFT(薄膜晶体管)损伤或者TFE(薄膜封装技术)膜层开裂产生的不良，提升柔性基板10的良率。
在本实用新型实施例所提供的机械手手臂中，优选的，所述吸附平板200为采用防静电材料制成的防静电板；所述手臂主体100为采用碳纤维材料制成的碳纤维手臂主体100。
采用上述方案，采用防静电材料制成所述吸附平板200，起到防静电的作用。
此外，在本实用新型实施例所提供的机械手手臂中，优选的，每一所述手臂主体100上的吸附平板200的宽度与所述手臂主体100的宽度相同。
采用上述方案，可以将所述吸附平板200的宽度制作成与对应的手臂主体100的宽度相同，以增大所述吸附平板200与柔性基板10的接触面积。
应当理解的是，在实际应用中，所述吸附平板200的尺寸还可以根据实际需求进行调整。
此外，在本实用新型实施例所提供的机械手手臂中，优选的，所述真空吸附孔300的孔径为0.1～0.5mm。采用上述方案，真空吸附孔300尺寸很小，可以进一步的减少柔性基板10的变形。当然可以理解的是，以上仅是提供一种真空吸附孔300的优选结构，在实际应用中，对所述真空吸附孔300的具体尺寸并不作局限。
此外，在本实用新型实施例所提供的机械手手臂中，优选的，每一吸附平板200上分布的真空吸附孔300的孔距为5～10mm。在上述方案中，每一吸附平板200上开孔数量根据开孔距离5～10mm确定，开孔尺寸为0.1～0.5mm大小。当然可以理解的是，以上仅是提供一种真空吸附孔300的优选结构，在实际应用中，对所述真空吸附孔300的具体开孔距离也不作局限。
此外，在本实用新型实施例所提供的机械手手臂中，优选的，如图2所示，多个真空吸附孔300呈矩阵分布在所述吸附平板200上。采用上述方案，每一吸附平板200上的真空吸附孔300呈矩阵均匀分布，取放柔性基板10时，柔性基板10受到的吸附力比较均匀。应当理解的是，在实际应用中，对于所述真空吸附孔300的具体分布并不作局限。
此外，在本实用新型实施例所提供的机械手手臂中，所述手臂主体100还包括与所述真空吸附孔300连接的真空腔室。通过在所述手臂主体100上设置一抽真空的真空腔室，利用该真空腔室与各真空吸附孔300连通，来使得真空吸附孔300吸附固定基板10。
此外，在本实用新型实施例中还提供了一种机械手，其包括如上所述的机械手手臂。
此外，在本实用新型实施例中还提供了包括如上所述的机械手的承载装置。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种机械手手臂，包括至少一个用于承载待承载物的手臂主体；其特征在于，在所述手臂主体上设置有用于吸附待承载物的吸附平板，所述吸附平板上开设有多个真空吸附孔。
2.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
所述吸附平板为采用防静电材料制成的防静电板。
3.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
每一所述手臂主体上的吸附平板的宽度与所述手臂主体的宽度相同。
4.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
所述真空吸附孔的孔径为0.1～0.5mm。
5.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
多个真空吸附孔的孔距为5～10mm。
6.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
多个真空吸附孔呈矩阵均匀分布在所述吸附平板上。
7.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
所述手臂主体为采用碳纤维材料制成的碳纤维手臂主体。
8.根据权利要求1所述的机械手手臂，其特征在于，
所述手臂主体还包括与所述真空吸附孔连接的真空腔室。
9.一种机械手，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的机械手手臂。
10.一种承载装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的机械手。
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