JP2013191781A - 半導体製造装置および半導体製造装置の制御方法 - Google Patents
半導体製造装置および半導体製造装置の制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013191781A JP2013191781A JP2012057962A JP2012057962A JP2013191781A JP 2013191781 A JP2013191781 A JP 2013191781A JP 2012057962 A JP2012057962 A JP 2012057962A JP 2012057962 A JP2012057962 A JP 2012057962A JP 2013191781 A JP2013191781 A JP 2013191781A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- stage
- semiconductor
- adhesive sheet
- manufacturing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】ピックアップ装置の保持ステージ10は、粘着シート2を介して半導体チップ1aが載置される第1ステージ11と、第1ステージ11に載置された半導体チップ1aどうしが接触することを防止する接触防止板31と、を備える。このピックアップ装置において、第1ステージ11の溝21が設けられた面に半導体チップ1aを載置する。第1ステージ11の上方の所定の位置に所定の間隔をあけて接触防止板31を配置する。そして、減圧手段によって溝21および粘着シート2で囲まれた閉空間23を減圧し、隣り合う溝21の側壁で構成された突起部22に半導体チップ1aを保持する。その後、第1ステージ11から離れた位置に接触防止板31を移動し、コレットによって半導体チップ1aをピックアップする。
【選択図】図7
Description
は、従来の半導体製造装置の保持ステージに保持された状態の半導体チップを示す断面図である。図13には、複数の半導体チップ101aを固定する粘着シート102を保持ステージ111の突起部111aに沿うように変形させて、半導体チップ101aから粘着シート102を断続的に剥離した状態を示す。図13に示すように粘着シート102を変形させたときに、1つの半導体チップ101a−1の面内で粘着シート102が半導体チップ101aから剥離されるタイミングが異なる場合、粘着シート102の剥離が早かった部分が浮いてしまう。つまり、コレットによって半導体チップ101a−1を吸引する前に、半導体チップ101a−1が保持ステージ111に対して傾いた状態となってしまう。
図1は、実施の形態にかかる半導体製造装置で処理される半導体ウエハを示す平面図である。また、図2は、図1に示す半導体ウエハのダイシング後の状態を示す平面図である。実施の形態にかかる半導体製造装置で処理される前の半導体ウエハ1について説明する。図1,2に示すように、半導体ウエハ1は、粘着シート2を貼り付けられた状態でダイシングされ、デバイスの表面構造が形成された個々の半導体チップ1aに切断される。
されたときに形成される粘着シート2および第1ステージ11の溝21で囲まれた閉空間を減圧する。そして、減圧手段は、半導体チップ1aに貼り付けられた粘着シート2を溝21の内壁に沿うように変形させる。具体的には、減圧手段は、半導体チップ1aと粘着シート2との接触部分が突起部22の半導体チップ1a側の端部(以下、頂点部とする)に対応する部分のみになるまで当該閉空間を減圧する。
体チップ1aの短辺の長さ以下であるのが望ましい。その理由は、半導体チップ1aの短
辺を少なくとも2つの突起部22で保持することができるからである。第1,2溝部21
a,21bの断面形状は、第1ステージ11の深さ方向に向かって徐々に幅が狭くなる逆
三角形状や、第1ステージ11の深さ方向に向かって幅がほぼ等しい矩形形状であるのが
好ましい。その理由は、第1ステージ11の上面に第1,2溝部21a,21bを形成す
る際に、加工しやすいからである。
1a 半導体チップ
2 粘着シート
3 ダイシングフレーム
10 保持ステージ
11,12 保持ステージを構成するステージ(第1,2)
13 真空引き用の配管
14 通気孔
15 真空引き用の空間
16 空気の流れ
21 溝
22 突起部
22a 突起部の頂点部
23 閉空間
31 接触防止板
Claims (8)
- ダイシングによって切断された半導体チップを粘着シートから取り上げる半導体製造装置であって、
前記半導体チップが載置されるステージと、
前記ステージの前記半導体チップが載置される面に設けられた溝と、
前記溝の開口部側の端部によって形成され、前記粘着シートを介して前記半導体チップを保持する頂点部と、
前記ステージに設けられ、前記溝に連結された少なくとも1つの通気孔と、
前記ステージに載置された前記半導体チップの前記ステージ側の面に貼り付いている前記粘着シート、および前記ステージに設けられた前記溝で囲まれた空間を、前記通気孔を介して減圧する減圧手段と、
前記減圧手段によって前記空間が減圧されることで前記頂点部に保持された前記半導体チップを吸引して取り上げる吸引手段と、
前記ステージの上方に所定の間隔をあけて配置され、前記減圧手段によって前記空間が減圧されるときに前記半導体チップどうしが接触することを防止する接触防止板と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記減圧手段によって前記空間が減圧される前に、前記ステージの上方に前記接触防止板を移動し、前記吸引手段によって前記半導体チップの取り上げが開始される前に、前記吸引手段の動作を妨げない位置に前記接触防止板を移動する移動手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記接触防止板は、前記ステージに載置されたすべての前記半導体チップの主面に対向することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体製造装置。
- ダイシングによって切断された半導体チップを粘着シートから取り上げる半導体製造装置の制御方法であって、
前記粘着シートが貼り付けられた側の面をステージ側にして、前記ステージの溝が設けられた面に前記半導体チップを載置する載置工程と、
前記溝および前記粘着シートで囲まれた空間を減圧し、前記溝の開口部側の端部によって形成された頂点部に前記半導体チップを保持させる減圧工程と、
吸引手段によって、前記頂点部に保持された前記半導体チップを吸引して取り上げる吸引工程と、
を含み、
前記減圧工程では、前記ステージの上方に所定の間隔をあけて配置された接触防止板によって前記半導体チップどうしが接触することを防止することを特徴とする半導体製造装置の制御方法。 - 前記減圧工程の前に、前記ステージの上方に前記接触防止板を移動する第1移動工程と、
前記載置工程後、前記吸引工程の前に、前記吸引手段の動作を妨げない位置に前記接触防止板を移動する第2移動工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体製造装置の制御方法。 - 前記接触防止板は、前記ステージに載置されたすべての前記半導体チップの主面に対向することを特徴とする請求項5〜7のいずれか一つに記載の半導体製造装置の制御方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012057962A JP2013191781A (ja) | 2012-03-14 | 2012-03-14 | 半導体製造装置および半導体製造装置の制御方法 |
CN201310047606.6A CN103311150B (zh) | 2012-03-14 | 2013-02-06 | 半导体制造装置以及半导体制造装置的控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012057962A JP2013191781A (ja) | 2012-03-14 | 2012-03-14 | 半導体製造装置および半導体製造装置の制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013191781A true JP2013191781A (ja) | 2013-09-26 |
Family
ID=49136221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012057962A Pending JP2013191781A (ja) | 2012-03-14 | 2012-03-14 | 半導体製造装置および半導体製造装置の制御方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013191781A (ja) |
CN (1) | CN103311150B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015088565A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 東京応化工業株式会社 | 保持装置および保持方法 |
JP7421950B2 (ja) | 2020-02-25 | 2024-01-25 | リンテック株式会社 | シート剥離方法およびシート剥離装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6650345B2 (ja) * | 2016-05-26 | 2020-02-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 基板保持装置及びその製造方法 |
JP6990577B2 (ja) * | 2017-12-22 | 2022-01-12 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装方法および実装装置 |
JP7149238B2 (ja) * | 2019-08-09 | 2022-10-06 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09270453A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Ngk Insulators Ltd | チップ剥離装置 |
JP2008270345A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Lintec Corp | 接着剤付きチップの製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0689912A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-03-29 | Fujitsu Ltd | 半導体チップ剥離治具及び半導体チップの剥離方法 |
JP2003229469A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体チップピックアップ装置 |
JP2011216529A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置の製造方法 |
-
2012
- 2012-03-14 JP JP2012057962A patent/JP2013191781A/ja active Pending
-
2013
- 2013-02-06 CN CN201310047606.6A patent/CN103311150B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09270453A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Ngk Insulators Ltd | チップ剥離装置 |
JP2008270345A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Lintec Corp | 接着剤付きチップの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015088565A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 東京応化工業株式会社 | 保持装置および保持方法 |
JP7421950B2 (ja) | 2020-02-25 | 2024-01-25 | リンテック株式会社 | シート剥離方法およびシート剥離装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103311150A (zh) | 2013-09-18 |
CN103311150B (zh) | 2016-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101143036B1 (ko) | 칩의 픽업방법 및 픽업장치 | |
KR101244482B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
KR101596461B1 (ko) | 칩 디테칭 장치 및 칩 디테칭 방법 | |
JP4765536B2 (ja) | チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法 | |
KR20090071636A (ko) | 고정 지그, 칩의 픽업방법 및 픽업장치 | |
JP4816654B2 (ja) | チップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置 | |
JP2013191781A (ja) | 半導体製造装置および半導体製造装置の制御方法 | |
JP2013102126A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 | |
JP2007103826A (ja) | 半導体チップのピックアップ装置 | |
JP4869622B2 (ja) | 貼り合わせウエーハの製造方法及びそれに用いる剥離用治具 | |
JP5222756B2 (ja) | 剥離装置及び剥離方法 | |
JP2006005030A (ja) | 半導体チップのピックアップ方法および装置 | |
TWI423349B (zh) | Pickup device for semiconductor wafers | |
JP4816598B2 (ja) | チップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置 | |
JP5923876B2 (ja) | 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2009071195A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
JP6366223B2 (ja) | 半導体チップのピックアップ装置 | |
JP2016219573A (ja) | ピックアップ装置及び方法 | |
JP5075769B2 (ja) | 半導体チップのピックアップ装置およびこれを用いた半導体チップのピックアップ方法 | |
JP2010087359A (ja) | ピックアップ装置 | |
JP4816622B2 (ja) | チップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置 | |
WO2010052760A1 (ja) | チップ剥離方法、半導体装置の製造方法、及びチップ剥離装置 | |
TW201124321A (en) | Flanged collet for die pick-up tool | |
JP2002124525A (ja) | 半導体チップ剥離装置及び方法 | |
JP2014165301A (ja) | 半導体チップのピックアップ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160418 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160913 |