KR102198457B1 - 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법 - Google Patents

반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법 Download PDF

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Abstract

성형 대상물마다 외곽 치수에 변동이 발생해도, 성형 대상물을 반송할 수 있고, 성형 형의 성형 대상물 설치부로의 설치 위치의 어긋남을 억제할 수 있는 반송 장치 및 수지 성형 장치를 제공한다.
반송 장치(20)는 성형 대상물(S)이 적재되는 성형 대상물 적재부(25)와, 성형 대상물 적재부(25)의 주연 또는 그 외측에 설치된, 성형 대상물(S)의 단부 테두리를 규제하기 위한 부재이고, 성형 대상물 적재부(25)의 내부의 방향으로 이동 가능한 복수의 단부 테두리 규제 부재(27)를 구비한 성형 대상물 보유 지지부(28)를 포함한다. 수지 성형 장치(10)는 반송 장치(20)와, 성형 대상물(S)이 설치되는 성형 대상물 설치부(1511A)를 갖는 제1 형[상형(151)] 및 해당 제1 형에 대향하여 배치되는 제2 형[하형(152)]을 포함하는 성형 형(15)을 구비한다.

Description

반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법 {TRANSPORT APPARATUS, RESIN MOLDING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING RESIN MOLDED ARTICLE}
본 발명은 수지 성형 장치의 성형 형으로 성형 대상물을 반송하는 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법에 관한 것이다.
성형 형을 사용하여 기판 등의 성형 대상물에 수지 성형을 하는 것은 널리 행해지고 있다. 성형 대상물을 성형 형의 성형 대상물 설치부에 설치하기 위해, 성형 대상물을 성형 형의 제1 형과 제2 형 사이로 반송(반입)하는 반송 장치가 설치된 수지 성형 장치가 사용되고 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에는 복수개의 지지부로 성형 대상물의 측부를 지지함으로써 성형 대상물의 횡방향의 위치를 고정하고, 해당 위치를 제2 형인 상형의 하면에 설치된 성형 대상물 설치부(클램프면)에 맞추도록 반송 장치(로더)를 성형 대상물 설치부의 바로 아래로 반입한 후, 성형 대상물 설치부에 마련된 흡착 구멍으로부터 기체를 흡인함으로써 성형 대상물을 성형 대상물 설치부에 설치하는 것이 기재되어 있다.
일본 특허 공개 제2013-153146호 공보(도 15)
성형 대상물의 외곽 치수는 가공 시에 발생하는 가공 오차 등에 의해 변동이 발생하는 경우가 있다. 그로 인해, 반송 장치의 지지부로 성형 대상물의 측부를 지지할 수 없게 되거나, 지지부와 성형 대상물 사이의 간극이 커지는 경우가 있다. 그 경우, 성형 대상물을 반송 장치로 반송할 수 없게 되거나, 성형 대상물을 성형 대상물 설치부에 설치할 때에, 설치하는 위치가 어긋날 우려가 있다.
그래서 본 발명은 성형 대상물의 외곽 치수에 변동이 발생해도, 성형 대상물을 반송할 수 있고, 성형 형의 성형 대상물 설치부로의 설치 위치의 어긋남을 억제할 수 있는 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명에 관한 반송 장치는, 수지 성형 장치의 성형 형으로 성형 대상물을 반송하는 장치이며,
상기 성형 대상물이 적재되는 성형 대상물 적재부와, 해당 성형 대상물 적재부의 주연 또는 그 외측에 설치된, 해당 성형 대상물의 단부 테두리를 규제하기 위한 부재이고, 해당 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동 가능한 복수의 단부 테두리 규제 부재를 구비한 성형 대상물 보유 지지부를 포함하는
것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형 장치는,
상기 반송 장치와,
상기 성형 대상물이 설치되는 성형 대상물 설치부를 갖는 제1 형과, 해당 제1 형에 대향하여 배치되는 제2 형을 포함하는 성형 형
을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 성형품 제조 방법은,
반송 장치의 성형 대상물 보유 지지부에 설치된 성형 대상물 적재부에 성형 대상물을 적재하고, 해당 성형 대상물 적재부의 주연 또는 그 외측에 복수 설치된, 상기 성형 대상물의 단부 테두리를 규제하는 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시킴으로써, 상기 성형 대상물을 상기 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지하는 반입 시 성형 대상물 보유 지지 공정과,
성형 대상물이 설치되는 성형 대상물 설치부를 갖는 제1 형과, 해당 제1 형에 대향하여 배치되는 제2 형을 포함하는 성형 형의 해당 성형 대상물 설치부와 상기 성형 대상물 적재부의 위치를 맞추도록 상기 성형 대상물 보유 지지부를 이동시키고, 해당 성형 대상물을 해당 성형 대상물 설치부에 설치한 후, 해당 성형 대상물 보유 지지부를 상기 성형 형의 외부로 이동시키는 성형 대상물 반입 공정과,
상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 체결한 후 상기 성형 대상물에 수지 성형을 행하는 수지 성형 공정
을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 성형 대상물마다 외곽 치수에 변동이 발생해도, 성형 대상물을 반송할 수 있고, 성형 형의 성형 대상물 설치부로의 설치 위치의 어긋남을 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 반송 장치 및 수지 성형 장치의 일 실시 형태를 도시하는 개략도이다.
도 2는 본 실시 형태의 반송 장치의 전체를 도시하는 상면도 (a), A-A' 종단면도(b) 및 B-B' 종단면도(c)이다.
도 3은 본 실시 형태의 반송 장치의 승강 프레임(a) 및 회동 프레임(b)을 도시하는 상면도이다.
도 4는 회동 프레임의 회동에 수반하는 단부 테두리 규제 부재의 움직임이며, 단부 테두리 규제 부재가 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동하는 경우(a) 및 외부의 방향으로 이동하는 경우(b)를 도시하는 도면이다.
도 5는 본 실시 형태의 반송 장치 및 수지 성형 장치에 있어서의 단부 테두리 규제 부재를 도시하는 종단면도이다.
도 6은 본 실시 형태의 반송 장치 및 수지 성형 장치에 있어서의 회동 프레임 및 단부 테두리 규제 부재의 동작을 도시하는 상면도이며, 단부 테두리 규제 부재를 성형 대상물 적재부의 외부의 방향으로 이동시키는 동작을 도시하는 도면(a-1) 및 그 부분 확대도(a-2), 그리고 단부 테두리 규제 부재를 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시키는 동작을 도시하는 도면(b-1) 및 그 부분 확대도(b-2)이다.
도 7은 본 실시 형태에 있어서의 반송 장치 및 성형 형 등의 동작을 도시하는 도면이며, 상형과 하형 사이로의 반송 장치의 반입(a), 반송 장치의 상승(b), 성형 대상물 설치부로의 성형 대상물의 설치(c), 캐비티로의 이형 필름의 장설 및 수지 재료의 공급(d), 형 체결(e), 그리고 형 개방(f)의 상태를 도시하는 도면이다.
도 8은 도 7에 도시한 반송 장치 및 성형 형 등의 동작의 계속을 나타내는 도면이며, 상형과 하형 사이로의 반송 장치의 반입(a) 및 반송 장치의 상승(b)을 도시하는 도면이다.
도 9는 제1 변형예에 있어서의 반송 장치를 도시하는 상면도(a) 및 B-B' 종단면도(b)이다.
도 10은 제2 변형예에 있어서의 반송 장치의 성형 대상물 적재부 및 단부 테두리 규제 부재를 도시하는 상면도이다.
도 11은 제3 변형예에 있어서의 반송 장치를 도시하는 상면도(a) 및 측면도(b)이다.
도 12는 제3 변형예에 있어서의 반송 장치의 동작을 도시하는 측면도이다.
도 13은 가압 부재 제어부의 변형예의 구성을 도시하는 평면도(a) 및 가압 부재가 OFF인 상태를 도시하는 평면도(b)이다.
도 14는 가압 부재 제어부의 다른 변형예를 도시하는 평면도(a) 및 가압 부재가 OFF인 상태를 도시하는 평면도(b)이다.
도 15는 본 실시 형태의 반송 장치 및 수지 성형 장치를 갖는 수지 성형 유닛의 구성을 도시하는 개략도이다.
본 발명에 관한 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법에서는, 성형 대상물을 성형 대상물 적재부에 적재하고, 단부 테두리 규제 부재를 해당 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시킴으로써, 성형 대상물을 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지한다. 이와 같이 이동 가능한 단부 테두리 규제 부재를 사용함으로써, 성형 대상물의 외곽 치수에 변동이 발생해도, 성형 대상물을 보유 지지할 수 있다. 또한, 단부 테두리 규제 부재와 성형 대상물 사이의 간극을 작게 하도록 단부 테두리 규제 부재를 이동시킬 수 있기 때문에, 성형 대상물 설치부에 성형 대상물을 설치하는 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다.
단부 테두리 규제 부재의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 또한, 성형 대상물의 종류 및 형상도 특별히 한정되지 않는다. 본 발명을 적용할 수 있는 성형 대상물의 종류로서는 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 리드 프레임, 유리 기판, 금속 기판 등을 들 수 있고, 성형 대상물의 형상으로서는 원형, 직사각형, 그 밖의 다각형, 타원형 등을 들 수 있다.
본 발명에 관한 수지 성형품 제조 방법은,
상기 수지 성형 공정 후에 상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 개방하고, 상기 성형 대상물 설치부와 상기 성형 대상물 적재부의 위치를 맞추도록 상기 성형 대상물 보유 지지부를 이동시키고, 수지 성형이 행해져 성형 대상물 설치부에 설치된 상기 성형 대상물을 상기 성형 대상물 적재부에 적재하고, 상기 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시킴으로써, 해당 성형 대상물을 해당 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지하는 반출 시 성형 대상물 보유 지지 공정과,
상기 성형 대상물 보유 지지부를 상기 성형 형의 외부로 이동시키는 반출 공정을
더 포함할 수 있다.
성형 대상물의 외곽 치수의 변동은, 상술한 가공 시에 발생하는 가공 오차 외에도, 예를 들어 이하의 원인에 의해 발생한다. 제1 원인의 예는 성형 대상물의 열팽창에 기인하는 것이다. 수지 성형 시에는 수지 성형이 가능한 온도로 제1 형 및 제2 형이 승온되어 있는 점에서, 성형 대상물은 수지 성형의 직후에는 성형 전보다도 온도가 높게 되어 있다. 생산 효율을 높게 하기 위해서는 온도가 충분히 저하되기 전에 성형 대상물 설치부로부터 떼어내어 성형 형의 밖으로 반출할 필요가 있는 점에서, 성형 대상물은 반출 시에는 반입 시보다 열팽창되어, 반입 시와 반출 시에는 외곽 치수가 상이한 것이 된다. 또한, 성형 대상물의 재질이 상이하면 열팽창률이 상이한 점에서, 성형 대상물의 외곽 치수도 성형 대상물의 재질에 따라 상이한 것이 된다. 제2 원인의 예는, 이하에 설명하는 오버 몰드를 행하는 경우에 발생하는 문제를 들 수 있다. 오버 몰드는 성형 대상물보다도 외측까지 수지 성형을 행하는 것을 말하고, 수지 밀봉되는 칩보다 외측에도 배선이나 입출력 단자를 설치하는 팬 아웃 패키징을 행할 때 등에 사용된다. 오버 몰드를 행한 성형 대상물은 원래의 형상보다도 커지기 때문에, 성형 대상물의 외곽 치수가 반입 시와 반출 시에 상이한 것이 된다. 본 발명에 관한 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법에 의하면, 이들 제1 및 제2 원인의 예의 어느 것에 있어서도, 성형 대상물을 보유 지지할 수 있고, 또한 성형 대상물 설치부에 성형 대상물을 설치하는 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다.
또한, 이들 제1 및 제2 원인의 예에서는 성형 형으로의 성형 대상물의 반입 시와 성형 형으로부터의 성형 대상물의 반출 시에 성형 대상물의 외곽 치수가 상이한 점에서, 특허문헌 1에 기재된 수지 성형 장치에서는, 반입용의 반송 장치(로더)와는 별도로, 반출용의 반송 장치(오프 로더)를 구비하고 있고, 수지 성형 장치의 비용이 상승하는 요인이 되고 있었다. 그것에 비해 본 발명에 관한 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법에서는, 반입 시와 반출 시에 동일한 반송 장치를 사용할 수 있기 때문에, 비용을 억제할 수 있다.
본 발명에 관한 반송 장치 및 수지 성형 장치에 있어서, 상기 성형 대상물 보유 지지부는, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재를 상기 방향(성형 대상물 적재부의 내부의 방향)으로 가압하는 가압 부재를 더 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 관한 수지 성형품 제조 방법에서는, 성형 대상물을 상기 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지한 상태에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재를 가압 부재에 의해 상기 방향으로 가압하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 성형 대상물을 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지하고 있는 동안, 가압 부재로 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 가압된 복수의 단부 테두리 규제 부재에 의해 성형 대상물이 보유 지지되기 때문에, 성형 대상물을 보다 안정적으로 보유 지지할 수 있다. 예를 들어, 승온되어 있는 제1 형 및 제2 형에 성형 대상물 보유 지지부 및 그것에 보유 지지된 성형 대상물이 근접하면, 성형 대상물 보유 지지부 및 성형 대상물의 각각이, 각각의 열팽창률에 따라 팽창하는 경우가 있다. 그와 같은 경우라도, 복수의 단부 테두리 규제 부재 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 가압함으로써, 성형 대상물을 안정적으로 보유 지지할 수 있다.
본 발명에 관한 반송 장치에 있어서,
회동 중심의 주위로 회동하는 판상의 회동 부재와,
상기 회동 부재에, 복수의 상기 단부 테두리 규제 부재의 각각에 대하여 1개씩 설치되고, 해당 단부 테두리 규제 부재가 삽입 관통되고, 해당 단부 테두리 규제 부재를 이동시킬 수 있는 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍과,
복수의 상기 단부 테두리 규제 부재의 각각에 대하여 1개씩 설치되고, 해당 단부 테두리 규제 부재가 이동 가능한 방향을, 해당 단부 테두리 규제 부재와 상기 회동 중심을 통과하는 직선 상으로 규제하는 단부 테두리 규제 부재 이동 규제부를
구비한다는 구성을 취할 수 있다. 이와 같은 반송 장치는, 본 발명에 관한 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법에 있어서 사용할 수 있다.
이들 회동 부재, 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍 및 단부 테두리 규제 부재 이동 규제부를 갖는 구성에 의하면, 회동 중심의 주위로 회동 부재를 회동시킴으로써, 단부 테두리 규제 부재는 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍 내에서의 위치가 변화되고, 그것에 수반하여, 회동 중심과의 거리가 변화되도록, 해당 단부 테두리 규제 부재와 상기 회동 중심을 통과하는 직선 상에서 이동한다. 이에 의해, 단부 테두리 규제 부재를 성형 대상물 적재부의 내부의 방향, 혹은 그 반대의 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍은 해당 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍의 폭 방향의 중심을 연결하는 폭 방향 중심선 상의 1점과 상기 회동 중심의 거리가, 해당 1점과는 상이한 해당 폭 방향 중심선 상의 1점과 상기 회동 중심의 거리와 상이하다는 구성을 취할 수 있다. 이에 의해, 회동 부재의 회동에 의해 단부 테두리 규제 부재가 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍 내의 이들 2개의 점 사이에서 이동하면, 이들 2개의 점에서는 서로 회동 중심과의 거리가 상이하기 때문에, 단부 테두리 규제 부재가 해당 단부 테두리 규제 부재와 상기 회동 중심을 통과하는 직선 상에서 이동한다. 여기서 「폭 방향」이란, 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍의 외측 테두리 상의 어느 점과, 해당 점으로부터 해당 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍의 내부를 사이에 두고 최단의 거리에 있는 해당 외측 테두리 상의 다른 점을 연결하는 방향을 말한다.
상기 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍은 상기 폭 방향 중심선 상의 점과 상기 회동 중심의 거리가, 해당 점이 해당 폭 방향 중심선의 일단으로부터 타단을 향함에 따라 증가하고 있도록 형성되어 있다는 구성을 취할 수 있다. 이에 의해, 회동 부재를 상면에서 볼 때 우방향 또는 좌방향의 어느 한쪽으로 회동시켜 가면, 단부 테두리 규제 부재는 회동 중심에 가까워지도록 이동해 가고, 반대 주위로 회동시켜 가면, 단부 테두리 규제 부재는 회동 중심으로부터 멀어지도록 이동해 간다.
상기 가압 부재를 갖는 반송 장치 및 수지 성형 장치에 있어서, 상기 가압 부재의 작동을 ON/OFF하는 가압 부재 제어부를 더 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 가압 부재를 사용한 조작을 행하는 수지 성형품 제조 방법의 상기 반입 시 성형 대상물 보유 지지 공정(및 상기 반출 시 성형 대상물 보유 지지 공정)에 있어서, 상기 성형 대상물 적재부에 성형 대상물을 적재하기 전에 상기 가압 부재의 작동을 OFF로 하고, 해당 성형 대상물 적재부에 해당 성형 대상물을 적재한 후에 해당 가압 부재의 작동을 ON으로 하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 성형 대상물 적재부에 성형 대상물을 적재할 때에는 복수의 단부 테두리 규제 부재가 가압 부재에 의해 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 가압되는 경우가 없기 때문에, 그 복수의 단부 테두리 규제 부재와 성형 대상물 사이에 간극을 확보하면서, 성형 대상물 적재부에 성형 대상물을 적재할 수 있다.
본 발명에 관한 반송 장치 및 수지 성형 장치에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재 전부가 연동하여 상기 방향으로 이동 가능한 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 관한 수지 성형품 제조 방법에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재를 상기 방향으로 이동시킬 때에, 해당 복수의 단부 테두리 규제 부재 전부를 연동시켜 해당 방향으로 이동시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 성형 대상물을 성형 대상물 보유 지지부의 중앙 부근에 보유 지지할 수 있고, 성형 대상물 설치부로의 설치 위치의 정밀도를 높게 할 수 있다.
상기 복수의 단부 테두리 규제 부재 중 하나는, 상기 성형 대상물 적재부에 적재되는 상기 성형 대상물에 형성된 절결부(노치)에 대응하는 위치에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 절결부의 위치를 해당 단부 테두리 규제 부재에 맞추어 해당 성형 대상물을 해당 성형 대상물 적재부에 적재함으로써, 성형 대상물 적재부 상에서의 성형 대상물의 방향을 정할 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 15를 사용하여, 본 발명에 관한 반송 장치, 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법의 보다 구체적인 실시 형태를 설명한다.
(1) 본 실시 형태의 반송 장치 및 수지 성형 장치의 구성
도 1에, 본 발명의 일 실시 형태인 반송 장치(반송 기구)(20) 및 본 발명의 일 실시 형태이며 해당 반송 장치(20)를 갖는 수지 성형 장치(10)의 전체 구성을 개략도로 도시한다. 이 수지 성형 장치(10)는 압축 성형을 행하는 장치이며, 기반(111)과, 기반(111) 상에 기립 설치된 4개(도 1에는 2개만 도시하지만, 깊이 방향으로 뒤에 2개 설치되어 있음)의 타이 바(112)와, 상하로 이동 가능하도록 타이 바(112)에 보유 지지된 가동 플래튼(121)과, 타이 바(112)의 상단에 고정된 고정 플래튼(122)과, 기반(111) 상에 설치된, 가동 플래튼(121)을 상하 이동시키는 토글 링크(113)를 구비한다. 또한, 수지 성형 장치(10)는 가동 플래튼(121)의 상면에 하형(152)을, 고정 플래튼(122)의 하면에 상형(151)을 구비한다. 이들 상형(151)과 하형(152)에 의해 1조의 성형 형(15)이 구성된다.
상형(151)은 상기 제1 형에 해당하고, 하면이 성형 대상물을 보유 지지하는 성형 대상물 설치부(1511)로 되어 있고, 해당 성형 대상물 설치부(1511)에 기체 흡인 구멍(1512)이 형성되어 있다. 상형(151)과 고정 플래튼(122) 사이에는, 상형(151) 근처에 히터(142)가, 고정 플래튼(122) 근처에 단열재(141)가 각각 설치되어 있다. 기체 흡인 구멍(1512)은 상형(151) 및 히터(142) 내에 설치된 기체 흡인관(1513)을 통해, 진공 펌프(도시하지 않음)에 접속되어 있다.
하형(152)은 상기 제2 형에 해당하고, 평면 형상(상면에서 볼 때)에서 원형의 프레임으로 이루어지는 주위벽 부재(1521)와, 주위벽 부재(1521)의 프레임 내에 장입된 평면 형상에서 원형의 저면 부재(1522)와, 주위벽 부재(1521)의 하면에 설치된 탄성 부재(1523)를 갖는다. 이들 주위벽 부재(1521) 및 저면 부재(1522)로 둘러싸인 공간이, 수지 재료가 공급되는 캐비티(C)가 된다. 또한, 주위벽 부재(1521)의 프레임 및 저면 부재(1522)의 형상은 제조하는 수지 성형품의 형상에 따라, 원형 이외의 직사각형 등의 형상으로 할 수 있다. 하형(152)과 가동 플래튼(121) 사이에는 하형(152) 근처에 히터(142)가, 가동 플래튼(121) 근처에 단열재(141)가 각각 설치되어 있다. 여기까지 설명한 각 구성 요소에 의해, 압축 성형 장치(101)가 구성된다.
반송 장치(20)는 성형 형(15)이 형 개방된 상태에 있어서, 상형(151)과 하형(152) 사이[성형 형(15) 내]의, 성형 대상물 설치부(1511)의 바로 아래의 위치와, 성형 형(15)의 외부 사이에서, 횡방향으로 이동 가능한 것이며, 상면에 성형 대상물 S를 적재하는 성형 대상물 적재부(25)를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 성형 대상물 적재부(25)에 적재하는 성형 대상물(S)은, 판상이며 원형의 기판으로 한다.
도 2 내지 도 5를 사용하여, 반송 장치(20)의 구성을 상세하게 설명한다.
도 2의 (a)는 반송 장치(20)의 전체의 상면도, (b)는 (a)에 도시한 A-A' 종단면에 있어서의 도면, (c)는 (a)에 도시한 B-B' 종단면에 있어서의 도면이다. 반송 장치(20)는 베이스 프레임(21)과, 승강 프레임(22)과, 회동 프레임(회동 부재)(23)과, 비회동 프레임(24)과, 성형 대상물 적재부(25)와, 승강 기구(26)와, 단부 테두리 규제 부재(27)를 갖는다. 본 실시 형태에서는 단부 테두리 규제 부재(27)는 10개 설치되어 있고, 그 중 9개는 원주 상에 등간격(40° 간격)으로 배치되어 있다. 나머지의 1개의 단부 테두리 규제 부재(27A)는 상기 9개 중 인접하는 2개의 단부 테두리 규제 부재(27) 사이이며, 상기 원주보다도 약간 내측에 배치되어 있다. 또한, 여기서 나타낸 단부 테두리 규제 부재(27)의 개수는 일례이며, 이것에는 한정되지 않는다. 승강 프레임(22), 회동 프레임(23), 비회동 프레임(24) 및 성형 대상물 적재부(25)는, 하방으로부터 이 순서로 겹쳐서 설치되어 있고, 모두 평면 형상의 외곽이 동일한 크기의 원형이다. 승강 프레임(22)은 베이스 프레임(21) 상에 설치되어 있다.
베이스 프레임(21)은 평면 형상의 1방향[도 2의 (a)의 횡방향]으로, 승강 프레임(22) 등의 외곽의 원보다도 외측까지 연장되어 있는 형상을 갖고 있다. 베이스 프레임(21)의 해당 1방향의 양단의 하면에는 해당 1방향에 직교하는 방향[도 2의 (a)의 종방향, (b)의 지면에 수직인 방향]으로 연장되는 한 쌍의 볼록상 레일(211)이 설치되어 있다. 수지 성형 장치(10)에는 이 볼록상 레일(211)에 대응하는 레일(16)(도 2에서는 도시하지 않음. 후술하는 도 7 참조.)이 설치되어 있고, 반송 장치(20)의 전체는 이것들의 레일에 안내되어 성형 형(15) 내와 성형 형(15) 외 사이를 이동한다.
도 3의 (a)에 승강 프레임(22)의 상면도를, 도 3의 (b)에 회동 프레임(23)의 상면도를, 각각 도시한다. 승강 프레임(22)의 상면의 중심에는 축체(221)가 돌출되어 있다. 회동 프레임(23)의 중심에는 축체(221)를 삽입 관통하는 구멍(231)이 형성되어 있고, 회동 프레임(23)은 이 축체(221)를 회동 중심으로 하여 회동한다.
승강 프레임(22)에는 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)가 10개 형성되어 있고, 그 중 9개는 승강 프레임(22)의 외곽보다도 약간 내측에, 외곽의 원주를 따라 40° 간격으로 형성되어 있다[도 2의 (c), 도 3의 (a)]. 나머지의 1개의 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222A)는 상기 9개 중 인접하는 2개의 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222) 사이이며, 해당 9개의 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)보다도 승강 프레임(22)의 약간 내측에 배치되어 있다. 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222A)를 배치하는 원주 방향의 위치는, 성형 대상물을 성형 형에 설치할 때에, 성형 대상물에 설치된 절결부(노치)를 배치하고 싶은 위치(절결부를 향하고 싶은 방향)에 맞추어 임의로 정하면 된다. 1개의 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)[단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222A)를 포함함]에는, 1개의 단부 테두리 규제 부재(27)가 갖는 원통상의 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)(후술)의 하면 부근이 보유 지지된다. 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)는 회동 중심과 교차하는 직선[도 3의 (a) 중의 일점 쇄선]이 연장되는 방향의 양단의 거리가, 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)의 직경보다도 크게 설정되어 있다. 또한, 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)가 상기 직선에 수직인 방향으로는 거의 이동하지 않고 또한 해당 직선의 방향으로는 이동 가능하도록, 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)의 상기 직선에 수직인 방향의 폭은, 상기 거리보다도 짧고, 또한 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)의 직경보다도 약간 크게 설정되어 있다. 이에 의해, 단부 테두리 규제 부재(27)는 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)에 안내되고, 상기 직선이 연장되는 방향으로 이동하도록 규제된다. 이 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)는 전술한 단부 테두리 규제 부재 이동 규제부에 해당한다.
회동 프레임(23)은 판상이며, 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)이 10개 형성되어 있고, 그 중 9개는 회동 프레임(23)의 외곽보다도 약간 내측에, 외곽의 원주를 따라 40° 간격으로 형성되어 있다[도 3의 (b)]. 나머지의 1개의 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)은 상기 9개 중 인접하는 2개의 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232) 사이이며, 해당 9개의 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)보다도 회동 프레임(23)의 약간 내측에 배치되어 있다. 각 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)에는 승강 프레임(22)의 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)에 보유 지지되는 단부 테두리 규제 부재(27)가 1개씩 삽입 관통되고, 그 중 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)에는 단부 테두리 규제 부재(27A)가 삽입 관통된다. 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)은, 회동 중심과 교차하는 직선이 연장되는 방향으로, 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)의 직경보다도 약간 큰 폭을 갖는다. 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232) 중, 삽입 관통되는 단부 테두리 규제 부재(27)가 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)의 길이 방향으로 이동하는 동안에 단부 테두리 규제 부재 본체(271)가 그리는 궤적[도 3의 (b) 중 굵은 선]을 「폭 방향 중심선」이라고 규정한다. 이 폭 방향 중심선의 좌측단으로부터 우측단[여기서 좌우는, 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)이 회동 중심보다도 도 3의 (b)에서 말하는 바로 위의 위치에 있는 경우에서 규정]을 향하고, 회동 프레임(23)의 회동 중심[구멍(231)의 중심]과의 거리[단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)의 좌측단에서는 r1, 우측단에서는 r2라고 함. 또한, 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)의 좌측단을 「r1단」, 우측단을 「r2단」이라고 함.]이 감소해 가도록(따라서 r1>r2), 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)은 해당 회동 중심을 중심으로 하는 원의 접선 방향에 대하여 경사져서 마련되어 있다. 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)을 제외한 9개의 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)은 동일한 형상이고 또한 접선 방향에 대하여 동일한 경사로 마련되어 있다. 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)은 폭 방향 중심선의 좌측단으로부터 우측단[정의는 다른 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)의 경우와 동일하며, 도 3의 (b)에 그려진 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)의 위치에서는 우측단으로부터 좌측단]을 향하고, 회동 프레임(23)의 회동 중심과의 거리가 r3으로부터 r4로 감소해 가도록(r3>r4, r1>r3, r2>r4), 접선 방향에 대하여 경사져 있다. 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)의 좌측단을 「r3단」, 우측단을 「r4단」이라고 한다.
이와 같은 구성에 의해, 회동 프레임(23)을 상면에서 볼 때 좌측 방향(이하, 「좌측 방향」 및 「우측 방향」은 상면에서 보아 규정)으로 회동시키면, 각 단부 테두리 규제 부재(27)의 위치는 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232) 내의 r1단측으로부터 r2단측[단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)에서는 r3단측으로부터 r4단측]으로 이동하고, 그것에 의해 단부 테두리 규제 부재(27)(27A)와 회동 중심의 거리가 작아져 가고, 성형 대상물 적재부(25)의 내부의 방향(회동 중심이 있는 방향)으로 이동한다[도 4의 (a)]. 한편, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 회동시키면, 각 단부 테두리 규제 부재(27)의 위치는 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232) 내의 r2단측으로부터 r1단측[단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)에서는 r4단측으로부터 r3단측]으로 이동하고, 그것에 의해 단부 테두리 규제 부재(27)(27A)와 회동 중심의 거리가 커져 가고, 성형 대상물 적재부(25)의 외부의 방향으로 이동한다[도 4(b)]. 여기서, 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232A)을 제외한 9개의 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍(232)이 동일한 형상이고 또한 접선 방향에 대하여 동일한 경사로 마련되어 있음으로써, 이들 성형 대상물 적재부(25)의 내부의 방향 및 외부의 방향으로의 이동 중에는, 단부 테두리 규제 부재(27A)를 제외한 9개의 단부 테두리 규제 부재(27) 사이에서 회동 중심과의 거리가 동등한 상태가 유지된다. 단부 테두리 규제 부재(27A)는 그 밖의 단부 테두리 규제 부재(27)보다도 회동 중심과의 거리가 가까워지도록 이동한다.
승강 프레임(22)에는, 회동 프레임(23)을 좌측 방향으로 회동시키는 방향으로 가압하는 토션 스프링(234)이 설치되어 있다. 이에 의해, 단부 테두리 규제 부재(27)는 성형 대상물 적재부(25)의 내부의 방향으로 가압된다. 이들 토션 스프링(234) 및 회동 프레임(23)은 상기 가압 부재에 해당한다. 또한, 가압 부재는 토션 스프링에는 한정되지 않고, 회동 프레임(23)을 좌측 방향으로 회동시키는 에어 실린더나 서보 모터 등을 사용할 수도 있다.
회동 프레임(23)의 외측 테두리에는 절결부(235)가 1개소 마련되어 있다. 또한, 승강 프레임(22)의 외측 테두리에는 스토퍼(225)가 마련되어 있다. 스토퍼(225)는 스프링에 의해 절결부(235)측으로 가압되어 있고, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 끝까지 회동시켰을 때에 절결부(235)에 걸림 결합하는 위치에 설치되어 있다. 전술한 바와 같이 회동 프레임(23)은 토션 스프링(234)에 의해 좌측 방향으로 회동시키는[즉, 단부 테두리 규제 부재(27)를 성형 대상물 적재부(25)의 내부의 방향으로 이동시키는] 방향으로 가압되어 있지만, 절결부(235)에 스토퍼(225)를 걸림 결합시킴으로써, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 끝까지 회동시킨[즉, 단부 테두리 규제 부재(27)를 성형 대상물 적재부(25)의 외부의 방향으로 이동시킴] 상태에서 정지시킬 수 있다. 그리고, 걸림 결합시킨 스토퍼(225)를 절결부(235)로부터 제거함으로써, 토션 스프링(234)의 작용에 의해 회동 프레임(23)이 좌측 방향으로 회동한다. 이들 스토퍼(225) 및 절결부(235)는 가압 부재의 작동을 ON/OFF하는 가압 부재 제어부에 해당한다. 스토퍼(225)의 위치나 방향은 특별히 한정되지 않는다.
비회동 프레임(24) 및 성형 대상물 적재부(25)에는 각각, 승강 프레임(22)의 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)에 대응하는 위치에, 해당 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부(222)와 동일한 평면 형상을 갖는 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍(242 및 252)이 마련되어 있다[도 2의 (c)].
승강 기구(26)는 베이스 프레임(21)의 상면에 설치되어 있고, 승강 프레임(22)을 상승 및 하강시키는 기구이다. 승강 프레임(22)의 상승 및 하강에 수반하여, 승강 프레임(22) 상에 설치된 회동 프레임(23), 비회동 프레임(24) 및 성형 대상물 적재부(25)도 상승 및 하강한다.
단부 테두리 규제 부재(27)는, 도 5에 도시한 바와 같이 단부 테두리 규제 부재 본체(271)와, 전술한 원통상의 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)와, 탄성 부재(273)를 갖는다. 단부 테두리 규제 부재 본체(271)는 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)의 원통보다도 직경이 작은 원기둥상의 부재이다. 탄성 부재(273)는, 단부 테두리 규제 부재 본체(271)의 하단을 지지하고, 단부 테두리 규제 부재 수용부(272) 내의 저부에 설치되어 있다. 단부 테두리 규제 부재 본체(271)의 상단이 압박되면, 탄성 부재(273)가 압축되어, 해당 상단이 하강한다. 이 압박이 해제되면, 탄성 부재(273)가 신장하고, 해당 상단이 원래의 위치로 복귀된다. 단부 테두리 규제 부재 본체(271)의 상단이 이 원래의 위치에 있을 때, 해당 상단은 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍(252)을 통과하여 성형 대상물 적재부(25)의 상면보다도 상측까지 돌출되어 있다. 한편, 단부 테두리 규제 부재 수용부(272)의 상단은 성형 대상물 적재부(25)의 상면보다도 하측에 위치하고 있다. 성형 대상물 적재부(25)와 단부 테두리 규제 부재(27)를 맞춘 것이 성형 대상물 보유 지지부(28)를 구성한다.
승강 프레임(22)에는 성형 형(15) 내에 있어서 반송 장치(20)와 상형(151)의 횡방향의 위치를 맞추기 위한, 4개의 판상의 위치 결정구(2241 내지 2244)가 설치되어 있다. 위치 결정구(2241 내지 2244)는 상형(151)의 하방으로부터 반송 장치(20)를 상승시켰을 때에, 상형(151)의 4개의 측면에 각각 위치 결정구(2241 내지 2244)가 1개씩 맞닿도록 배치되어 있다.
(2) 본 실시 형태의 반송 장치 및 수지 성형 장치의 동작, 그리고 본 실시 형태의 수지 성형품 제조 방법
이어서, 도 6 내지 도 8을 사용하여, 반송 장치(20) 및 수지 성형 장치(10)의 동작, 그리고 본 발명에 관한 수지 성형품 제조 방법의 실시 형태를 설명한다. 또한, 도 7 및 도 8에서는, 도 1의 우측 방향에서 수지 성형 장치(10)를 본 도면을 도시했다.
먼저, 베이스 프레임(21)에 설치된 볼록상 레일(211)과 걸림 결합하는 수지 성형 장치(10)에 설치된 레일(16)을 따라, 반송 장치(20)를 성형 대상물의 착탈 위치로 이동시킨다.
이어서, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 회동시키고, 스토퍼(225)를 절결부(235)에 걸림 결합시킨다. 이에 의해, 단부 테두리 규제 부재(27)는 성형 대상물 적재부(25)의 외부측으로 이동한다[도 6의 (a-1), (a-2)]. 이 상태에서, 원판상의 성형 대상물(반도체 웨이퍼)(S)을, 성형 대상물 적재부(25)의 상면 중 9개의 단부 테두리 규제 부재(27)로 둘러싸인 영역의 내측에 배치한다. 여기서, 성형 대상물(S)의 외측 테두리에는 절결부 SC가 1개소 설치되어 있고, 이 절결부 SC의 위치를 단부 테두리 규제 부재(27A)의 위치에 맞추도록 한다[도 6의 (a-1)]. 이 상태에서는, 각 단부 테두리 규제 부재(27)[단부 테두리 규제 부재(27A)를 포함함]는 성형 대상물(S)의 외측 테두리에 맞닿아 있지 않다.
이어서, 스토퍼(225)를 절결부(235)로부터 떼어내고, 토션 스프링(234)의 작용에 의해, 회동 프레임(23)을 좌측 방향으로 회동한다. 이에 의해, 10개의 단부 테두리 규제 부재(27)가 연동하여 성형 대상물 적재부(25)의 내부의 방향으로 이동한다. 그리고, 단부 테두리 규제 부재(27)의 단부 테두리 규제 부재 본체(271)가 성형 대상물(S)의 외측 테두리에 접촉함으로써, 회동 프레임(23)의 회동이 정지하고[따라서, 회동 프레임(23)은 반드시 좌측 방향으로 끝까지 회동한다고는 할 수 없음], 성형 대상물(S)이 성형 대상물 적재부(25)에 보유 지지된다[도 6의 (b-1), (b-2)]. 이와 같이, 복수개의 단부 테두리 규제 부재(27)가 연동하여 성형 대상물 적재부(25)의 외측 테두리에 접촉함으로써, 성형 대상물(S)은 성형 대상물 적재부(25)의 중앙에 보유 지지되고, 성형 대상물(S)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 또한, 가령 가공 오차 등에 의해 성형 대상물(S)의 외곽 치수에 변동이 존재해도, 단부 테두리 규제 부재(27)가 이동함으로써 성형 대상물(S)을 보유 지지할 수 있고, 설치 위치의 어긋남을 억제할 수 있다. 또한, 단부 테두리 규제 부재(27) 중 절결부 SC의 위치에 배치된 단부 테두리 규제 부재(27A)는 해당 절결부 SC에 걸림 결합하고, 이에 의해 성형 대상물(S)의 둘레 방향의 위치도 소정과 같이 되고, 성형 대상물 적재부(25) 상에서의 성형 대상물(S)의 방향을 정할 수 있다. 이상에서 반입 시 성형 대상물 보유 지지 공정이 완료된다.
이와 같이 하여 성형 대상물(S)을 성형 대상물 적재부(25)에 적재한 후, 레일(16)을 따라, 성형 대상물 적재부(25)와 상형(151)의 성형 대상물 설치부(1511)의 위치를 맞추도록, 반송 장치(20)를 상형(151)과 하형(152) 사이로 이동시킨다[도 7의 (a)].
이 위치에서, 성형 대상물 적재부(25)를 포함하는 승강 프레임(22)보다도 상측의 부분을 승강 기구(26)에 의해 상승시키고, 성형 대상물 적재부(25)에 적재된 성형 대상물(S)을 성형 대상물 설치부(1511)에 맞닿게 한다[도 7의 (b)]. 그때, 단부 테두리 규제 부재 본체(271)의 상단은 성형 대상물(S)보다도 먼저 성형 대상물 설치부(1511)에 맞닿고, 그 후 승강 기구(26)에 의해 더욱 상승하면 탄성 부재(273)가 압축됨으로써, 성형 대상물 적재부(25)의 상면과의 상대적인 위치가 하강한다. 그로 인해, 성형 대상물(S)은 단부 테두리 규제 부재(27)에 방해되는 일 없이 성형 대상물 설치부(1511)에 맞닿게 할 수 있다.
이와 같이 성형 대상물(S)이 성형 대상물 설치부(1511)에 맞닿은 상태에서, 진공 펌프에 의해 기체 흡인 구멍(1512)으로부터 기체를 흡인함으로써, 성형 대상물은 성형 대상물 설치부(1511)에 설치된다. 기체 흡인 구멍(1512)으로부터의 기체의 흡인은 후술하는 정지 시까지 계속한다. 그리고, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 회동시켜 단부 테두리 규제 부재(27)를 성형 대상물 적재부(25)의 외측의 방향으로 이동시키고, 승강 기구(26)에 의해 성형 대상물 적재부(25) 등을 하강시킨 후, 반송 장치(20)를 성형 형(15)의 밖으로 이동시킨다[도 7의 (c)]. 이상에서 성형 대상물 반입 공정이 완료된다.
이어서, 도시하지 않은 이형 필름 장설 기구에 의해, 하형(152)의 캐비티(C)의 내면에 이형 필름(F)을 장설한 후, 도시하지 않은 수지 재료 공급 기구에 의해, 열경화성 수지를 포함하는 수지 재료(P)를 캐비티(C) 내에 공급한다[도 7의 (d)]. 이들 이형 필름 장설 기구 및 수지 재료 공급 기구는 종래의 수지 성형 장치에서 널리 사용되고 있는 것이고, 상세한 설명을 생략한다. 수지 재료(P)는 히터(142)로부터 공급되는 열에 의해, 캐비티(C) 내에서 용융된다.
캐비티(C) 내의 수지 재료(P)가 용융된 곳에서, 토글 링크(113)에 의해 가동 플래튼(121)을 상승시킨다. 이에 의해, 가동 플래튼(121) 상의 하형(152)이 상형(151)에 맞닿아 해당 상형(151)을 누르고, 상형(151)이 고정 플래튼(122)에 고정되어 있는 점에서, 상형(151)과 하형(152)이 형 체결된다[도 7의 (e)]. 이 상태에서 소정 시간이 경과하면, 수지 재료(P)가 경화되고, 성형 대상물(S)의 표면에 수지가 몰드된 수지 성형품(PS)이 얻어진다. 이상에서 수지 성형 공정이 완료된다.
그 후, 토글 링크(113)에 의해 가동 플래튼(121)을 하강시킴으로써, 성형 형(15)을 형 개방한다[도 7의 (f)]. 계속해서, 성형 대상물 적재부(25)와 상형(151)의 성형 대상물 설치부(1511)의 위치를 맞추도록, 반송 장치(20)를 상형(151)과 하형(152) 사이로 반송한다[도 8의 (a)]. 그리고, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 회동시킴으로써 단부 테두리 규제 부재(27)를 성형 대상물 적재부(25)의 외부측으로 이동시킨 상태[도 6의 (a-1), (a-2)]에서, 성형 대상물 적재부(25) 등을 승강 기구(26)에 의해 상승시키고, 성형 대상물 적재부(25)의 상면을 수지 성형품(PS)의 하면에 맞닿게 한다[도 8의 (b)]. 이어서, 기체 흡인 구멍(1512)으로부터의 기체의 흡인을 정지하고, 성형 대상물 적재부(25) 등을 승강 기구(26)에 의해 하강시킨다.
또한, 회동 프레임(23)을 좌측 방향으로 회동시킴으로써, 단부 테두리 규제 부재(27)를 성형 대상물 적재부(25)의 내부측으로 이동시켜[도 6의 (b-1), (b-2)], 수지 성형품(PS)의 외측 테두리에 맞닿게 한다. 이에 의해, 성형 대상물(S)의 표면에 수지가 몰드된 수지 성형품(PS)이 성형 대상물 보유 지지부(28)에 보유 지지되어 있는 상태가 된다. 이때, 수지 성형품(PS)이 아직 충분히 냉각되어 있지 않고, 수지 성형 전의 성형 대상물(S)보다도 외곽 치수가 크게 되어 있는 경우가 있지만, 그와 같은 경우에도, 단부 테두리 규제 부재(27)가 이동함으로써 수지 성형품(PS)을 보유 지지할 수 있다. 마찬가지로, 성형 대상물(S)의 외곽보다도 외측까지 수지가 몰드된 오버 몰드의 수지 성형품(PS)도, 단부 테두리 규제 부재(27)가 이동함으로써 보유 지지할 수 있다. 이상에서 반출 시 성형 대상물 보유 지지 공정이 완료된다.
그 후, 반송 장치(20)를 성형 형(15)의 밖으로 이동시킨다(반출 공정). 그리고, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 회동시킴으로써 단부 테두리 규제 부재(27)를 성형 대상물 적재부(25)의 외부측으로 이동시킨 상태에서, 수지 성형품(PS)을 성형 대상물 적재부(25)로부터 떼어냄으로써, 1개의 수지 성형품(PS)의 제조가 종료된다.
여기까지 설명한 반송 장치(20)의 동작, 구체적으로는 회동 프레임(23)의 회동, 레일(16)을 따른 이동 및 승강 기구(26)에 의한 성형 대상물 적재부(25) 등의 승강은 동력을 사용하여 자동으로 행해도 되고, 작업자가 수동으로 행해도 된다.
(3) 본 실시 형태의 반송 장치의 변형예
도 9 내지 도 11을 사용하여, 본 실시 형태의 반송 장치의 변형예를 도시한다. 이들 변형예의 반송 장치는 모두, 상기 실시 형태의 수지 성형 장치(10)에 있어서 반송 장치(20) 대신에 사용할 수 있는 것이다.
도 9에 제1 변형예의 반송 장치(20B)의 상면도를 (a)에, 종단면도를 (b)에, 각각 도시한다. 본 변형예에 있어서의 반송 장치(20B)는 회동 프레임 및 비회동 프레임은 갖지 않고, 승강 프레임(22B) 상에 직접, 원형의 성형 대상물 적재부(25B)가 설치되어 있다. 성형 대상물 적재부(25B)에는 단부 테두리 규제 부재 수용 구멍(252B)이 9개 마련되어 있고, 각 단부 테두리 규제 부재 수용 구멍(252B)에 1개씩, 단부 테두리 규제 부재(27B) 및 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)가 설치되어 있다. 단부 테두리 규제 부재(27B)와 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)는 연결 막대(276B)로 연결되어 있다. 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)는 단부 테두리 규제 부재(27B)를 성형 대상물 적재부(25B)의 내부(중앙)측 및 외부측으로 이동시킨다. 각 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)는 연동하여, 성형 대상물 적재부(25B)의 중심과 각 단부 테두리 규제 부재(27B)의 거리가 동등해지도록, 제어부(도시하지 않음)에 의해 제어된다. 또한, 반송 장치(20B)는 전술한 반송 장치(20)에 설치되어 있는 것과 동일한 베이스 프레임(21B)과, 승강 프레임(22B)을 승강시키는 승강 기구(26B)를 갖는다. 또한, 이 예에서는 생략되어 있지만, 상기 실시 형태에 있어서의 단부 테두리 규제 부재(27A)와 마찬가지로, 성형 대상물의 컷팅에 대응한 위치에 단부 테두리 규제 부재 및 단부 테두리 규제 부재 수용 구멍을 형성해도 된다. 또한, 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)는 에어 실린더나 서보 모터 등이어도 된다.
반송 장치(20B)의 상세한 동작은 단부 테두리 규제 부재(27B)가 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)에 의해 성형 대상물 적재부(25B)의 내부측 및 외부측으로 이동하는 점을 제외하고, 전술한 반송 장치(20)와 마찬가지이다.
도 10에 제2 변형예의 반송 장치(20C)에 대하여, 성형 대상물 적재부(25C) 및 단부 테두리 규제 부재(27C)의 상면을 도시한다.
성형 대상물 적재부(25C)는 상면에서 볼 때 정사각형의 형상을 갖고, 해당 정사각형의 4변보다도 내측에 각각, 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍(252C)이 2개씩 배열되어, 합계 8개 마련되어 있다. 각 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍(252C)에는 각각 1개씩, 단부 테두리 규제 부재(27C)가 통과하고 있다. 단부 테두리 규제 부재(27C)는 전술한 것과 동일한 단부 테두리 규제 부재 본체, 단부 테두리 규제 부재 수용부 및 탄성 부재로 이루어진다. 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍(252C)은 단부 테두리 규제 부재 수용부(272C)의 직경보다도, 상기 정사각형의 중앙으로부터 변을 향해 연장되고, 그것에 수직인 방향에는 거의 동일한 크기를 갖는다는 평면 형상을 나타내고 있다.
각 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍(252C)에는 각각, 제1 변형예의 단부 테두리 규제 부재 이동부(275B)와 동일한 단부 테두리 규제 부재 이동부(275C)가 설치되어 있다.
제2 변형예의 수지 성형 장치는 정사각형의 판상의 성형 대상물(S')을 성형 대상물 적재부(25C)에 적재한 후, 단부 테두리 규제 부재(27C)를 성형 대상물 적재부(25C)의 내부의 방향으로 이동시키고, 성형 대상물(S')의 외측 테두리를 단부 테두리 규제 부재(27C)로 보유 지지한 상태에서, 성형 형으로의 성형 대상물(S')의 반입 및 성형 형으로부터의 수지 성형품의 반출을 행한다. 반송 장치(20C)의 상세한 동작은 단부 테두리 규제 부재(27C)의 동작이 제1 변형예의 반송 장치(20B)와 동일한 점을 제외하고, 전술한 반송 장치(20)의 동작과 마찬가지이다.
도 11에, 제3 변형예의 반송 장치(20D)의 상면도를 (a)에, 종단면도를 (b)에, 각각 도시한다. 본 변형예에 있어서의 반송 장치(20D)는 승강 프레임(22D) 상에 직접, 원형의 성형 대상물 적재부(25D)가 설치되어 있다. 승강 프레임(22D)의 아래에는 전술한 반송 장치(20)에 설치되어 있는 것과 동일한 베이스 프레임(21D)과, 승강 프레임(22D)을 승강시키는 승강 기구(26D)가 설치되어 있다. 성형 대상물 적재부(25D)의 상면에는 가요성의 핀으로 이루어지는 단부 테두리 규제 부재(27D)가 4개 설치되어 있다. 단부 테두리 규제 부재(27D)는 원형의 성형 대상물(S)보다도 약간 직경이 큰 원주 상에 등간격(90°마다)으로 배치되어 있다. 각 단부 테두리 규제 부재(27D)에는 각각, 승강 프레임(22)에 적재되어 성형 대상물 적재부(25D)의 외측에 배치된 클램퍼(29)가 설치되어 있다. 클램퍼(29)는 성형 대상물 적재부(25D)의 상면에 평행인 축을 중심으로 회동하는 막대형재이며, 해당 상면으로의 사영이 성형 대상물 적재부(25D)의 중심을 향하도록 배치되어 있다. 클램퍼(29)의 일단은 회동에 의해 하강하면 단부 테두리 규제 부재(27D)에 접촉하고, 단부 테두리 규제 부재(27D)를 성형 대상물 적재부(25D)의 중심을 향해 압출하도록 되어 있다.
제3 변형예에 있어서의 반송 장치(20D)에 의해 성형 대상물(S)을 반송할 때에는, 성형 대상물 적재부(25D)에 원형의 성형 대상물(S)을 적재한 후, 클램퍼(29)를 회동시킴으로써, 성형 대상물 적재부(25D)의 중심측의 클램퍼(29)의 단부가 강하하고, 가요성의 핀으로 이루어지는 단부 테두리 규제 부재(27D)를 해당 중심측을 향해 압출한다(도 12). 이에 의해, 성형 대상물(S)의 단부에 단부 테두리 규제 부재(27D)가 가압되고, 성형 대상물(S)이 성형 대상물 적재부(25D)에 고정된다. 여기서, 4개의 클램퍼(29)를 동기시킴으로써, 성형 대상물(S)을 성형 대상물 적재부(25D)의 중앙에 배치할 수 있다.
본 발명은 상기 실시 형태 및 변형예에는 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는 압축 성형 장치를 사용하는 경우를 예로서 설명했지만, 압축 성형 장치 대신에 이송(트랜스퍼) 성형 장치를 사용해도, 상기와 동일한 반송 장치(20, 20B, 20C, 20D)를 구비하는 구성을 취할 수 있다.
반송 장치(20)에 설치된 스토퍼(225) 및 절결부(235)로 이루어지는 가압 부재 제어부 대신에, 이하의 스토퍼(225A) 및 홈(226A)을 사용할 수 있다. 도 13의 (a)에, 스토퍼(225A) 및 홈(226A)을 마련한 반송 장치(20)에 대하여, 승강 프레임(22)의 상면의 일부를 확대하여 도시한다. 스토퍼(225A)는 회동 프레임(23)에 설치되어 있고, 회동 프레임(23)의 중심으로부터 외부를 향하는 방향으로 연장되는 레버(2251A)와, 레버(2251A)에 접속된 롤러(2252A)와, 레버(2251A)를 승강 프레임(22)의 중심의 방향으로 가압하는 탄성 부재(2253A)를 갖는다. 홈(226A)은 승강 프레임(22)에 형성되어 있고, 승강 프레임(22)의 중심의 방향 및 그것에 수직인 방향으로 각각 연장되도록 L자상의 형상을 갖고 있다. 롤러(2252A)는 홈(226A)에 끼워져 있다.
이 구성에 있어서 회동 프레임(23)을 회동시키면, 그것에 수반하여 레버(2251A)도 회동한다. 그리고, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 끝까지 회동시켰을 때, 즉 단부 테두리 규제 부재(27)를 가장 외측까지 이동시켰을 때, 롤러(2252A)는 홈(226A) 중 승강 프레임(22)의 중심 방향으로 연장되는 부분의, 외측의 단에 도달한다. 그러면, 레버(2251A)가 탄성 부재(2253A)로 가압되어 있음으로써, 롤러(2252A)가 홈(226A)의 당해 부분에 인입된다[도 13의 (b)]. 그렇게 하면, 회동 프레임(23)의 회동은 홈(226A)의 당해 부분에 의해 규제되고, 회동 프레임(23)이 고정된다. 이에 의해, 단부 테두리 규제 부재(27)는 가장 외측의 위치에서 고정된다. 그리고, 레버(2251A)를 외측의 방향으로 당기면, 회동의 규제가 해제된 후, 토션 스프링(234)의 작용에 의해 회동 프레임(23)이 좌측 방향으로 회동하고, 단부 테두리 규제 부재(27)가 내측으로 이동하여 성형 대상물(S)의 단부 테두리를 규제한다.
혹은, 도 14의 (a)에 도시한 바와 같이, 축의 주위로 회동 가능한 레버(2251B)를 회동 프레임(23)에 설치하고, 레버(2251B)에 훅(2252B)을 설치하고, 승강 프레임(22)에 홈(226B)을 마련한 가압 부재 제어부를 사용할 수도 있다. 이 경우, 회동 프레임(23)을 우측 방향으로 끝까지 회동시켰을 때에, 레버(2251B)를 축의 주위로 회동시킴으로써 훅(2252B)을 홈(226B)에 끼우고[도 14의 (a)], 그것에 의해 회동 프레임(23)의 회동을 규제한다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 1조의 압축 성형 장치에 대하여 반송 장치를 1대 설치한 예를 나타냈지만, 복수조의 압축 성형 장치에서 1대의 반송 장치를 공용하도록 해도 된다. 성형 형으로의 성형 대상물의 설치와, 성형 형으로부터의 수지 성형품의 반출 사이에는, 수지 성형을 행하기 위한 시간을 필요로 하기 때문에, 이 수지 성형을 행하기 위한 시간을 이용하여, 다른 압축 성형 장치의 성형 형에 성형 대상물을 설치하거나, 다른 성형 형으로부터 수지 성형품을 반출하는 것이 가능하다. 이에 의해, 반송 장치에 필요로 하는 비용을 억제할 수 있다.
복수조의 압축 성형 장치에서 1대의 반송 장치를 공용하는 예로서, 이하에 설명하는 도 15에 도시하는 수지 성형 유닛(30)을 들 수 있다. 이 수지 성형 유닛(30)은 1대의 재료 수납 모듈(31), 복수대의 성형 모듈(32) 및 1대의 불출 모듈(33)을 갖는다. 재료 수납 모듈(31)은 수지 재료(P) 및 성형 대상물(S)을 외부로부터 받아들여 성형 모듈(32)로 송출하기 위한 장치이며, 성형 대상물 수납부(311)와 수지 재료 공급 장치(312)를 갖는다. 1대의 성형 모듈(32)은 상기 실시 형태의 수지 성형 장치(10) 중 압축 성형 장치(101)를 갖는다. 도 15에는 성형 모듈(32)이 3대 도시되어 있지만, 수지 성형 유닛(30)에는 성형 모듈(32)을 임의의 대수 설치할 수 있다. 또한, 수지 성형 유닛(30)을 조립하여 사용을 개시한 후라도, 성형 모듈(32)을 증감시킬 수 있다. 불출 모듈(33)은 성형 모듈(32)에서 제조된 수지 성형품(PS)을 성형 모듈(32)로부터 반입하여 보유 지지해 두는 것이며, 수지 성형품 보유 지지부(331)를 갖는다. 반송 장치(20)는 수지 성형 유닛(30) 내에 설치된 반송 레일(35)을 따라, 재료 수납 모듈(31) 내의 성형 대상물 수납부(311)로부터 성형 모듈(32) 내의 성형 형의 성형 대상물 설치부로 성형 대상물을 반입함과 함께, 성형 모듈(32)에서 성형된 수지 성형품을 성형 대상물 설치부로부터 불출 모듈(33) 내의 수지 성형품 보유 지지부(331)로 반출한다. 그 밖에, 수지 성형 유닛(30)에는 수지 재료(P)를 재료 수납 모듈(31) 내의 수지 재료 공급 장치(312)로부터 성형 모듈(32) 내의 성형 형의 캐비티로 반송하는 수지 재료 반송 장치가 설치된다.
10 : 수지 성형 장치
101 : 압축 성형 장치
111 : 기반
112 : 타이 바
113 : 토글 링크
121 : 가동 플래튼
122 : 고정 플래튼
141 : 단열재
142 : 히터
15 : 성형 형
151 : 상형(제1 형)
1511 : 성형 대상물 설치부
1512 : 기체 흡인 구멍
1513 : 기체 흡인관
152 : 하형(제2 형)
1521 : 주위벽 부재
1522 : 저면 부재
1523 : 탄성 부재
16 : 레일
20, 20B, 20C, 20D : 반송 장치(반송 기구)
21, 21B, 21D : 베이스 프레임
211 : 볼록상 레일
22 : 승강 프레임
221 : 축체
222, 222A : 단부 테두리 규제 부재 안내 오목부
2241, 2242, 2243, 2244 : 위치 결정구
225, 225A : 스토퍼
2251A, 2251B : 레버
2252A : 롤러
2252B : 훅
2253A : 탄성 부재
226A, 226B : 홈
22B, 22D : 승강 프레임
23 : 회동 프레임
231 : 구멍
232, 232A : 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍
24 : 비회동 프레임
242 : 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍
25, 25B, 25C, 25D : 성형 대상물 적재부
252, 252C : 단부 테두리 규제 부재 통과 구멍
252B : 단부 테두리 규제 부재 수용 구멍
26, 26B, 26D : 승강 기구
27, 27A, 27B, 27C, 27D : 단부 테두리 규제 부재
271 : 단부 테두리 규제 부재 본체
272, 272C : 단부 테두리 규제 부재 수용부
273 : 탄성 부재
275B, 275C : 단부 테두리 규제 부재 이동부
276B : 연결 막대
28 : 성형 대상물 보유 지지부
29 : 클램퍼
30 : 수지 성형 유닛
31 : 재료 수납 모듈
311 : 성형 대상물 수납부
312 : 수지 재료 공급 장치
32 : 성형 모듈
33 : 불출 모듈
331 : 수지 성형품 보유 지지부
35 : 반송 레일
C : 캐비티
F : 이형 필름
P : 수지 재료
PS : 수지 성형품
S : 성형 대상물

Claims (18)

  1. 수지 성형 장치의 성형 형으로 성형 대상물을 반송하는 장치이며,
    상기 성형 대상물이 적재되는 성형 대상물 적재부와, 해당 성형 대상물 적재부의 주연 또는 그 외측에 설치된, 해당 성형 대상물의 단부 테두리를 규제하기 위한 부재이고, 해당 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동 가능한 복수의 단부 테두리 규제 부재를 구비한 성형 대상물 보유 지지부를 포함하고,
    상기 성형 대상물 보유 지지부가, 상기 성형 대상물을 상기 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지한 상태에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 가압하는 가압 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 가압 부재의 작동을 ON/OFF하는 가압 부재 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서, 회동 중심의 주위로 회동하는 판상의 회동 부재와,
    상기 회동 부재에, 복수의 상기 단부 테두리 규제 부재의 각각에 대하여 1개씩 마련되고, 해당 단부 테두리 규제 부재가 삽입 관통되고, 해당 단부 테두리 규제 부재를 이동시킬 수 있는 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍과,
    복수의 상기 단부 테두리 규제 부재의 각각에 대하여 1개씩 설치되고, 해당 단부 테두리 규제 부재가 이동 가능한 방향을, 해당 단부 테두리 규제 부재와 상기 회동 중심을 통과하는 직선 상으로 규제하는 단부 테두리 규제 부재 이동 규제부를
    구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍에 있어서, 해당 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍의 폭 방향의 중심을 연결하는 폭 방향 중심선 상의 1점과 상기 회동 중심의 거리가, 해당 1점과는 상이한 해당 폭 방향 중심선 상의 1점과 상기 회동 중심의 거리와 상이한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 폭 방향 중심선 상의 점과 상기 회동 중심의 거리가, 해당 점이 해당 폭 방향 중심선의 일단으로부터 타단을 향함에 따라 증가하고 있도록 상기 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  7. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재 전부가 연동하여 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  8. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 성형 대상물 적재부에 적재되는 상기 성형 대상물에 설치된 절결부에 대응하는 위치에 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재 중 1개가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  9. 제1항 또는 제3항에 기재된 반송 장치와,
    상기 성형 대상물이 설치되는 성형 대상물 설치부를 갖는 제1 형과, 해당 제1 형에 대향하여 배치되는 제2 형을 포함하는 성형 형을
    구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
  10. 반송 장치의 성형 대상물 보유 지지부에 설치된 성형 대상물 적재부에 성형 대상물을 적재하고, 해당 성형 대상물 적재부의 주연 또는 그 외측에 복수 설치된, 상기 성형 대상물의 단부 테두리를 규제하는 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시킴으로써, 상기 성형 대상물을 상기 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지하는 반입 시 성형 대상물 보유 지지 공정과,
    성형 대상물이 설치되는 성형 대상물 설치부를 갖는 제1 형과, 해당 제1 형에 대향하여 배치되는 제2 형을 포함하는 성형 형의 해당 성형 대상물 설치부와 상기 성형 대상물 적재부의 위치를 맞추도록 상기 성형 대상물 보유 지지부를 이동시키고, 해당 성형 대상물을 해당 성형 대상물 설치부에 설치한 후, 해당 성형 대상물 보유 지지부를 상기 성형 형의 외부로 이동시키는 성형 대상물 반입 공정과,
    상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 체결한 후 상기 성형 대상물에 수지 성형을 행하는 수지 성형 공정을 포함하고,
    성형 대상물을 상기 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지한 상태에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재를 가압 부재에 의해 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 가압하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서, 상기 성형 대상물 적재부에 성형 대상물을 적재하기 전에 상기 가압 부재의 작동을 OFF로 하고, 해당 성형 대상물 적재부에 해당 성형 대상물을 적재한 후에 해당 가압 부재의 작동을 ON으로 하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  13. 제10항 또는 제12항에 있어서, 회동 중심의 주위로 회동하는 판상의 회동 부재와, 해당 회동 부재에, 복수의 상기 단부 테두리 규제 부재의 각각에 대하여 1개씩 마련되고, 해당 단부 테두리 규제 부재가 삽입 관통되고, 해당 단부 테두리 규제 부재를 이동시킬 수 있는 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍과, 복수의 상기 단부 테두리 규제 부재의 각각에 대하여 1개씩 마련되고, 해당 단부 테두리 규제 부재가 이동 가능한 방향을, 해당 단부 테두리 규제 부재와 상기 회동 중심을 통과하는 직선 상으로 규제하는 단부 테두리 규제 부재 이동 규제부를 사용하고,
    상기 반입 시 성형 대상물 보유 지지 공정에 있어서, 상기 회동 부재를 회동시킴으로써, 해당 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍에 있어서, 해당 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍의 폭 방향의 중심을 연결하는 폭 방향 중심선 상의 1점과 상기 회동 중심의 거리가, 해당 1점과는 상이한 해당 폭 방향 중심선 상의 1점과 상기 회동 중심의 거리와 상이한 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 폭 방향 중심선 상의 점과 상기 회동 중심의 거리가, 해당 점이 해당 폭 방향 중심선의 일단으로부터 타단을 향함에 따라 증가하고 있도록 상기 단부 테두리 규제 부재 안내 긴 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  16. 제10항 또는 제12항에 있어서, 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시킬 때에, 해당 복수의 단부 테두리 규제 부재 전부를 연동시켜 해당 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  17. 제10항 또는 제12항에 있어서, 상기 반입 시 성형 대상물 보유 지지 공정에 있어서, 상기 성형 대상물에 설치된 절결부의 위치를 상기 복수의 단부 테두리 규제 부재 중 하나에 맞추어 해당 성형 대상물을 상기 성형 대상물 적재부에 적재하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
  18. 제10항 또는 제12항에 있어서, 상기 수지 성형 공정 후에 상기 제1 형과 상기 제2 형을 형 개방하고, 상기 성형 대상물 설치부와 상기 성형 대상물 적재부의 위치를 맞추도록 상기 성형 대상물 보유 지지부를 이동시키고, 수지 성형이 행해져 성형 대상물 설치부에 설치된 상기 성형 대상물을 상기 성형 대상물 적재부에 적재하고, 상기 단부 테두리 규제 부재를 상기 성형 대상물 적재부의 내부의 방향으로 이동시킴으로써, 해당 성형 대상물을 해당 성형 대상물 보유 지지부에 보유 지지하는 반출 시 성형 대상물 보유 지지 공정과,
    상기 성형 대상물 보유 지지부를 상기 성형 형의 외부로 이동시키는 반출 공정을
    더 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품 제조 방법.
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