KR102159553B1 - 스트립 매거진 이송 시스템 - Google Patents

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Abstract

스트립 매거진 이송 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템은, 레일; 및 레일 상을 주행하면서 스트립 매거진(strip magazine)을 이송하는 스트립 매거진 이송 대차를 포함하며, 스트립 매거진 이송 대차는, 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함한다.

Description

스트립 매거진 이송 시스템{TRANSPORTING MAGAZINE TRANSPORTING SYSTEM}
본 발명은, 스트립 매거진 이송 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 여러 종류의 스트립 매거진에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있는 스트립 매거진 이송 시스템에 관한 것이다.
반도체 공정 라인(Line)에서 생산되는 스트립(strip)을 이송(또는 반송)하기 위해 소위, 스트립 매거진(strip magazine)이라는 운반 케이스(case)가 사용된다.
스트립 매거진은 스트립 매거진 이송 시스템을 통해 이송되면서 내부에 수납된 스트립을 공정에서 요구되는 장소로 이송한다.
예컨대, 복수의 스트립이 저장된 제1 스트립 매거진(strip magazine)으로부터 특정 공정에 필요한 수량만큼의 스트립을 취출해서 제2 스트립 매거진에 옮겨 담거나 혹은 빈 스트립 매거진에 필요한 수량만큼의 스트립을 담아 해당 스트립 매거진을 종류별로 보관하는 작업, 또한 스트립 매거진을 작업 공정으로 이송하는 작업, 그리고 공정이 완료된 물품을 담은 스트립 매거진을 다시 이송 또는 취출하는 작업 등이 스트립 매거진 이송 시스템을 통해 진행된다.
한편, 실질적으로 스트립을 이송하는 매개물인 스트립 매거진은 스트립의 종류와 사이즈에 따라 다양할 수 있는데, 현존하는 스트립 매거진 이송 시스템은 스트립 매거진 별로 한 가지 종류만 이송할 수 있는 구조를 갖는다는 점에서 호환성이 매우 떨어진다.
즉 스트립 매거진의 종류가 달라지면 그것에 맞게 시스템, 특히 이송 시스템에 갖춰지는 스트립 매거진 이송 대차를 수정하거나 다른 것으로 교체해야 해서 이러한 작업 시 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss)가 발생할 수 있다는 점을 고려해볼 때, 이를 해결하기 위한 기술 개발이 필요한 실정이다.
대한민국특허청 출원번호 제20-2006-0011111호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 여러 종류의 스트립 매거진에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있는 스트립 매거진 이송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및 상기 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진(strip magazine)에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 상기 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 대차가 제공될 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 연결되고, 상기 이동식 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 이동식 그립퍼는 상기 스트립 매거진의 그립핑 터널부를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련될 수 있으며, 상기 그립퍼 구동부에 의해 복수의 상기 이동식 그립퍼가 동시에 동작할 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 연결되되 상기 이동식 그립퍼와 함께 동작하면서 상기 스트립 매거진의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 차폐용 가드를 더 포함할 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드 사이에 마련되되 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드를 연결하는 연결부를 더 포함할 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 연결부에 마련되고, 상기 연결부 상에서 상기 차폐용 가드를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 가드 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 대차 본체에 마련되며, 상기 매거진 그립핑 유닛에 의해 그립핑된 상기 스트립 매거진의 하부를 지지하여 상기 스트립 매거진의 추락을 방지시키는 추락 방지용 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 추락 방지용 유닛은, 상기 스트립 매거진의 하단부에 접하는 추락 방지부; 및 상기 추락 방지부와 연결되고 상기 추락 방지부를 상기 스트립 매거진에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부를 포함할 수 있다.
상기 추락 방지부는 상기 스트립 매거진의 하단부를 지지하되 높이별로 위치가 다른 복수의 지지벽부를 포함할 수 있다.
상기 지지벽부의 선단부에 경사면이 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 레일; 및 상기 레일 상을 주행하면서 스트립 매거진(strip magazine)을 이송하는 스트립 매거진 이송 대차를 포함하며, 상기 스트립 매거진 이송 대차는, 상기 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및 상기 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 상기 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템이 제공될 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은 상기 이동식 그립퍼와 연결되고, 상기 이동식 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 이동식 그립퍼는 상기 스트립 매거진의 그립핑 터널부를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련될 수 있으며, 상기 그립퍼 구동부에 의해 복수의 상기 이동식 그립퍼가 동시에 동작할 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 연결되되 상기 이동식 그립퍼와 함께 동작하면서 상기 스트립 매거진의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 차폐용 가드를 더 포함할 수 있다.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드 사이에 마련되되 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드를 연결하는 연결부; 및 상기 연결부에 마련되고, 상기 연결부 상에서 상기 차폐용 가드를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 가드 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 스트립 매거진 이송 대차는, 상기 대차 본체에 마련되며, 상기 매거진 그립핑 유닛에 의해 그립핑된 상기 스트립 매거진의 하부를 지지하여 상기 스트립 매거진의 추락을 방지시키는 추락 방지용 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 추락 방지용 유닛은, 상기 스트립 매거진의 하단부에 접하는 추락 방지부; 및 상기 추락 방지부와 연결되고 상기 추락 방지부를 상기 스트립 매거진에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부를 포함할 수 있다.
상기 추락 방지부는 상기 스트립 매거진의 하단부를 지지하되 높이별로 위치가 다른 복수의 지지벽부를 포함할 수 있으며, 상기 지지벽부의 선단부에 경사면이 형성될 수 있다.
상기 복수의 스트립 매거진이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반을 구비하는 스토커 캐비닛; 상기 스토커 캐비닛의 일측에 배치되며, 상기 매거진이 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되는 장소를 형성하는 매거진 로딩/언로딩 장치; 및 상기 스토커 캐비닛 내에서 이동할 수 있게 배치되며, 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 상의 매거진을 상기 선반에 안착시키거나 상기 선반 상의 매거진을 취출해서 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 이동시키기 위해 상기 매거진을 핸들링(handling)하는 랙 마스터를 더 포함할 수 있다.
상기 매거진 로딩/언로딩 장치의 일측에 배치되며, 소정의 매거진 핸들링 로봇에 의해 전달되는 매거진을 이송하는 매거진 이송부; 상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 사이에 배치되며, 상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 상기 매거진을 이송시키는 매거진 셔틀 장치; 및 상기 스토커 캐비닛 내의 일측에 배치되며, 제1 매거진 내의 물품을 제2 매거진으로 자동 전달하는 스트립 전달 장치를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 여러 종류의 스트립 매거진에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 매거진 이송부의 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커 캐비닛과 랙 마스터의 측면 배치도이다.
도 4는 도 3의 정면 배치도이다.
도 5는 랙 마스터의 포크 유닛 영역에 대한 작업 상태도이다.
도 6은 도 1에 도시된 스트립 전달 장치의 정면 구성도이다.
도 7은 도 1의 A 영역인 스트립 매거진 이송 대차 영역의 개략적인 사시도이다.
도 8은 스트립 매거진의 사시도이다.
도 9는 스트립 매거진 이송 대차 내의 요부 구조도이다.
도 10은 도 9의 요부 상세도이다.
도 11 내지 도 13은 스트립 매거진 이송 대차의 동작도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 매거진 이송부의 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 스토커 캐비닛과 랙 마스터의 측면 배치도이고, 도 4는 도 3의 정면 배치도이며, 도 5는 랙 마스터의 포크 유닛 영역에 대한 작업 상태도이고, 도 6은 도 1에 도시된 스트립 전달 장치의 정면 구성도이며, 도 7은 도 1의 A 영역인 스트립 매거진 이송 대차 영역의 개략적인 사시도이고, 도 8은 스트립 매거진의 사시도이며, 도 9는 스트립 매거진 이송 대차 내의 요부 구조도이고, 도 10은 도 9의 요부 상세도이며, 도 11 내지 도 13은 스트립 매거진 이송 대차의 동작도이다.
이들 도면을 참조하되 우선 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템은 여러 종류의 스트립 매거진(10)에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있도록 한 것이다.
이러한 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템은 복수의 스트립 매거진(10)이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반(110)을 구비하는 스토커 캐비닛(100)과, 스토커 캐비닛(100)의 일측에 마련되는 매거진 로딩/언로딩 장치(600)와, 스토커 캐비닛(100) 내에서 이동할 수 있게 배치되며, 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 상의 스트립 매거진(10)을 선반(110)에 안착시키거나 선반(110) 상의 스트립 매거진(10)을 취출해서 매거진 로딩/언로딩 장치(600)로 이동시키기 위해 스트립 매거진(10)을 핸들링(handling)하는 랙 마스터(200, 도 3 내지 도 5 참조)를 포함한다.
이러한 구성들 외에도 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템에는 매거진 이송부(400), 매거진 셔틀 장치(500), 레일(700), 그리고, 스트립 전달 장치(300)가 더 갖춰질 수 있다.
특히, 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템에는 스트립 매거진 이송 대차(700)가 적용되는데, 이러한 스트립 매거진 이송 대차(700)는 여러 종류의 스트립 스트립 매거진(10)에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있도록 한다.
참고로, 앞서 기술한 것처럼 스트립 매거진(10) 내에 수납되는 물품은 반도체 스트립(Strip)일 수 있다. 하지만, 스트립이 아니더라도 스트립과 유사해서 스트립 매거진(10) 내에 수납될 수 있는 물품, 예컨대 웨이퍼 역시 스트립으로 간주하도록 한다.
이하, 설명의 편의를 위해, 매거진 이송부(400), 매거진 셔틀 장치(500), 매거진 로딩/언로딩 장치(600), 스토커 캐비닛(100), 랙 마스터(200), 스트립 전달 장치(300), 스트립 매거진 이송 대차(700)의 순으로 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 구조와 작용을 설명하도록 한다.
우선, 매거진 이송부(400)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 매거진 핸들링 로봇(30)에 의해 공급되는 스트립 매거진(10)을 매거진 셔틀 장치(400)로 공급하는 역할을 한다.
본 실시예에서 매거진 이송부(400)는 벨트 컨베이어 타입(Belt Conveyor Type)으로 적용될 수 있다. 매거진 이송부(400)가 벨트 컨베이어 타입으로 적용되기 때문에 스트립 매거진(10)을 안정적으로 이송시킬 수 있다. 하지만, 벨트 컨베이어 타입 외의 다른 구조, 예컨대 스테이지 방식, 롤러 방식 등의 구조로 매거진 이송부(400)를 적용할 수도 있다. 따라서 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
매거진 이송부(400)는 벨트(411)를 구비하는 복수의 벨트 컨베이어 유닛(410, Belt Conveyor Type)과, 매거진 이송부(400)의 하부 구조를 형성하되 벨트 컨베이어 유닛(410)이 착탈 가능하게 결합되는 컨베이어 프레임 구조체(420)를 포함한다.
컨베이어 프레임 구조체(420)는 복수의 벨트 컨베이어 유닛(410)을 지지하는 외관 구조물이다. 컨베이어 프레임 구조체(420)의 하부에는 도시 않은 테이블이 갖춰지는데 이곳에 벨트(411)를 회전시키기 위한 동력을 발생시키는 모터(미도시) 등이 탑재될 수 있다.
본 실시예에서 벨트 컨베이어 유닛(410)은 컨베이어 프레임 구조체(420)로부터 하나씩 혹은 개별적, 독립적으로 분리될 수 있는 구조로 마련될 수 있다. 이럴 경우, 분해 조립이 쉬워질 수 있는 이점이 있다.
다음으로, 매거진 셔틀 장치(500)는 도 1에 도시된 바와 같이, 매거진 이송부(400)와 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 사이에 배치되며, 매거진 이송부(400)와 매거진 로딩/언로딩 장치(600)로 스트립 매거진(10)을 이송시키는 역할을 한다.
매거진 이송부(400)가 컨베이어 타입으로써 여러 개의 스트립 매거진(10)을 한 번에 이송시킨 반면 매거진 셔틀 장치(500)는 매거진 이송부(400)에서 공급되는 스트립 매거진(10)을 하나씩 혹은 몇 개씩 매거진 로딩/언로딩 장치(600)로 전달하거나 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 측의 스트립 매거진(10)을 매거진 이송부(400)로 공급한다.
다음으로, 매거진 로딩/언로딩 장치(600)는 도 1에 도시된 바와 같이, 스토커 캐비닛(100)의 일측에 배치되며, 스트립 매거진(10)이 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되는 장소를 형성한다. 즉 공정, 예컨대 본딩 공정이 진행될 스트립이 담긴 매거진은 매거진 셔틀 장치(500)에 의해 매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 로딩될 수 있다. 그리고 본딩 공정이 완료된 스트립이 담긴 매거진은 랙 마스터(200)에 의해 매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 언로딩될 수 있다.
다음으로, 스토커 캐비닛(100)은 도 1, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 스트립 매거진(10)이 보관되는 장소를 이룬다.
복수의 스트립 매거진(10)이 보관되기 위해 스토커 캐비닛(100)의 내부에는 스트립 매거진(10)이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반(110)이 마련된다. 선반(110)은 책장과 같은 구조를 갖는다.
스토커 캐비닛(100) 내에는 스트립 매거진(10)을 핸들링(handling)하는 랙 마스터(200)가 마련된다. 랙 마스터(200)는 스트립 매거진(10)을 파지에서 선반(110)에 넣거나 선반(110)에서 빼내는 포크 유닛(210)을 구비한다. 스토커 캐비닛(100)은 대략 사각 컨테이너(container) 형상을 갖는다. 스토커 캐비닛(100)의 하면에는 지면에 대해 스토커 캐비닛(100)을 지지하는 복수의 푸트부재(120)가 마련된다.
복수의 푸트부재(120)는 지면에 대해 스토커 캐비닛(100)을 지지하는 역할을 하는데, 이러한 푸트부재(120)에는 지면에 대해 스토커 캐비닛(100)의 높낮이를 조절하는 수단이 마련될 수 있다. 그뿐만 아니라 푸트부재(120)에는 스토커 캐비닛(100)에 진동이 형성되는 것을 방지하는 제진수단 등이 더 갖춰질 수도 있다.
스토커 캐비닛(100)의 부피는 내부에 적재될 물품의 개수에 대응하여 적절하게 설계될 수 있다. 한편, 본 실시예에서 스토커 캐비닛(100)은 프레임 골조 상태로 도시되어 있으나 실제로 스토커 캐비닛(100)의 측면들은 투명 혹은 반투명의 유리 재질이나 혹은 플라스틱 재질로 제작되어 작업자가 스토커 캐비닛(100)의 내부를 관찰할 수 있도록 할 수도 있다.
복수의 선반(110)은 스토커 캐비닛(100)의 내부에 상하로 길게 마련되는 컬럼(C)으로 지지될 수 있다. 이때, 본 실시예에서 복수의 선반(110)은 스토커 캐비닛(100)의 내부에서 랙 마스터(200)를 사이에 두고 스토커 캐비닛(100)의 양측에 각각 마련된다. 즉, 도 3을 통해 확인할 수 있는 바와 같이, 스토커 캐비닛(100) 내의 양측에는 각각 복수의 선반(110)이 마치 책장과 같은 형태로 마련된다.
본 실시예처럼 선반(110)들이 스토커 캐비닛(100) 내에서 랙 마스터(200)를 사이에 두고 그 양측에 복수 개로 마련되는 경우, 한정된 공간에서 더욱 많은 물품을 적재 보관할 수 있는 이점이 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 선반(110)들은 스토커 캐비닛(100) 내의 일 측면에만 마련되어도 무방하다.
각각의 선반(110)에는 스트립 매거진(10)의 안착 여부와 선반(110)의 위치를 감지하는 선반 감지부(130)가 마련될 수 있다. 선반 감지부(130)는 접촉식 혹은 비접촉식 센서로 적용될 수 있다. 후자의 경우라면 예컨대 근접센서나 혹은 레이저센서 등이 될 수 있다. 본 실시예처럼 선반 감지부(130)가 적용되면 스토커 캐비닛(100) 내의 선반(110)들에 적재 혹은 보관되는 스트립 매거진(10)의 수량, 위치 등을 쉽고 정확하게 파악할 수 있는 이점이 있다.
한편, 랙 마스터(200)는 전술한 바와 같이, 선반(110)들 사이를 이동하면서 스트립 매거진(10)을 해당 선반(110)에 넣거나 선반(110)으로부터 스트립 매거진(10)을 빼내는 역할을 한다. 랙 마스터(200)는 도 3처럼 선반(110)들 사이의 중앙에 이동할 수 있게 마련되는 일종의 직교축 로봇이다.
랙 마스터(200)는 실질적으로 스트립 매거진(10)을 파지하는 포크 유닛(210)과, 포크 유닛(210)을 스토커 캐비닛(100) 내에서 도 3의 X축 방향으로 주행시키는 주행 유닛(220)과 포크 유닛(210)을 스토커 캐비닛(100) 내에서 도 3의 Y축 방향으로 승하강시키는 승하강 유닛(230)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 주행 유닛(220)과 승하강 유닛(230)은 모두 도면에 개략적으로 도시되어 있기는 하나 선형 이동이 가능하면서 위치 제어가 용이한 리니어 모터로 적용될 수 있다. 그렇지만, 리니어 모터가 아니더라도 예컨대, 주행 유닛(220)은 모터와 볼 스크루의 조합 구조로 그리고 승하강 유닛(230)은 승하강 실린더로 대체해도 무방하다.
포크 유닛(210)은 주행 유닛(220)과 승하강 유닛(230)에 의해 포크 유닛(210)이 해당 선반(110)에 접근되면 전후진한 후, 스트립 매거진(10)을 파지하는 형태로 스트립 매거진(10)을 파지할 수 있다.
다음으로, 스트립 전달 장치(300)는 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 스토커 캐비닛(100) 내의 일측에 배치되며, 물품, 즉 스트립을 스트립 매거진(10)으로 전달하는 역할을 한다. 도 1에 보면 스토커 캐비닛(100) 내의 일측에 스트립 전달 장치(300)가 복수 개 배치된 것을 알 수 있다. 물론, 스트립 전달 장치(300)는 1대만, 혹은 3대 이상 배치될 수도 있다.
전술한 바와 같이, 스트립 전달 장치(300)는 스트립을 스트립 매거진(10)으로 전달하는 역할을 한다. 예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 매거진(10a) 내에 들어 있는 스트립 전부 혹은 공정에서 요구되는 개수만큼 제2 매거진(10b)으로 자동 전달하는 역할을 한다.
이처럼 스트립 전달 장치(300)를 사용해서 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 제2 매거진(10b)으로 자동 전달하게 되면 작업이 자동으로 또한 효율적으로 진행될 수 있음은 물론, 이로 인해 생산성 향상에 기여할 수 있다. 특히, 수작업의 한계를 벗어나 정확한 수량을 더욱 빠르게 전달할 수 있는 이점이 있다.
스트립 전달 장치(300)는 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 그립핑(gripping)하는 그립핑 유닛(310)과, 그립핑 유닛(310)을 이동시키는 유닛 이동부(350)와, 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)의 작용에 의해 제1 매거진(10a)에서 제2 매거진(10b)으로 이동되는 스트립의 이동을 가이드하는 가이드 유닛(360)을 포함할 수 있다.
도 6의 경우, 스트립 전달 장치(300)를 정면에서 바라본 도면이기 때문에 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)와, 가이드 유닛(360)이 서로 겹쳐진 상태로 도시되었다. 하지만, 이를 위해서 보면 이동되는 스트립을 사이에 두고 스트립의 전방 일측에 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)가 배치되고, 스트립의 후방 일측에 가이드 유닛(360)이 배치된다. 따라서 실제 동작 시 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)와 가이드 유닛(360)이 서로 간섭되는 현상은 없다.
그립핑 유닛(310)은 제1 매거진(10a) 내의 물품, 즉 스트립을 제1 매거진(10a)의 상대편에 배치되는 제2 매거진(10b)으로 전달하는 역할을 한다. 이러한 그립핑 유닛(310)은 스트립의 일측을 그립핑(gripping)하는 그립퍼(320,330)를 포함한다. 후술하겠지만 그립퍼(320,330)는 집게 방식의 구조로서 반도체 스트립의 둘레 더미 부분을 그립핑한다. 이처럼 그립퍼(320,330)가 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑하기 때문에 스트립의 손상 문제가 발생되지 않는다.
한편, 본 실시예에서 그립핑 유닛(310)은 유닛 이동부(350)의 작용으로 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 제1 매거진(10a)의 외부로 인출한 후, 인출된 스트립을 제2 매거진(10b) 내로 푸싱(pushing)해서 스트립을 전달하는 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)으로 적용된다. 즉 본 실시예에서 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)은 1차로 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 제1 매거진(10a)의 외부로 인출한 후, 2차로 인출된 스트립을 제2 매거진(10b) 측으로 푸싱함으로써 스트립이 제2 매거진(10b) 내로 수납될 수 있도록 한다. 본 실시예처럼 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)이 적용되면 하나의 장비로서 그립핑 기능과 푸싱 기능을 함께 사용할 수 있어서 기능성이 높아질 수 있게 되며, 특히 협소한 공간에서 장비의 콤팩트화를 구현할 수 있는 이점이 있다.
푸싱겸용 그립핑 유닛(310)은 외관 구조를 이루는 유닛 바디(341)와, 유닛 바디(341)의 일측에 탑재되는 그립퍼(320,330)를 포함한다. 전술한 바와 같이, 그립퍼(320,330)는 집게식 구조로서 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑한다.
본 실시예에서 그립퍼(320,330)는 상부 그립퍼(320)와, 상부 그립퍼(320)의 하부에 배치되되 상부 그립퍼(320)에 접근 또는 이격되는 하부 그립퍼(330)를 포함한다. 상부 그립퍼(320)는 상부 그립퍼 바디(321)와, 상부 그립퍼 바디(321)의 일측에서 막대 형상으로 연장되게 마련되는 상부 그립퍼 아암(322)을 포함한다. 그리고 하부 그립퍼(330)는 하부 그립퍼 바디(331)와, 하부 그립퍼 바디(331)의 일측에서 막대 형상으로 연장되게 마련되되 상부 그립퍼 아암(322)과 접근 또는 이격배치되는 하부 그립퍼 아암(332)을 포함한다.
실제, 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑하는 부분은 얇은 막대 구조의 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)이다. 이처럼 얇은 막대 구조의 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)이 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑하기 때문에 스트립의 손상 없이 스트립을 그립핑할 수 있다.
한편, 본 실시예에서 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)을 포함하는 그립퍼(320,330)가 집게식 구조이기는 하지만 통상의 가위처럼 일측의 힌지를 기점으로 벌어지거나 오므려지는 형태는 아니다.
부연하면, 상부 그립퍼(320)는 상부 그립퍼 업/다운 구동부(342)에 의해 업/다운(up/down) 구동될 수 있고, 하부 그립퍼(330)는 하부 그립퍼 업/다운 구동부(343)에 의해 /다운(up/down) 구동될 수 있다. 따라서 실린더 등으로 적용될 수 있는 상부 그립퍼 업/다운 구동부(342)와 하부 그립퍼 업/다운 구동부(343)의 동작에 의해 상부 그립퍼(320)와 하부 그립퍼(330)는 도 6의 확대 그림처럼 완전히 벌어질 수도 있고, 서로 접근되면서 스트립을 그립핑할 수도 있다.
앞서 기술한 것처럼 본 실시예의 경우, 푸싱 기능이 포함되는 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)을 적용하고 있다. 이를 위해, 즉 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립을 제2 매거진(10b) 내로 푸싱(pushing)하기 위해 푸셔(344)가 마련된다.
푸셔(344)는 그립퍼(320,330)와 이격배치되되 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립을 유닛 이동부(350)와 상호작용해서 제2 매거진(10b) 내로 푸싱(pushing)하는 역할을 한다. 즉 푸셔(344)가 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립의 전방에 위치한 상태에서 유닛 이동부(350)가 동작되어 푸셔(344)를 제2 매거진(10b) 쪽으로 이동시키면 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립이 푸셔(344)에 의해 자연스럽게 밀리면서 제2 매거진(10b) 내로 들어가게 된다. 이때, 실패 없이 스트립을 잘 가압할 수 있도록 푸셔(344)의 단부는 절곡된 절곡 벽체(344a, 도 6 참조)를 형성할 수 있다.
그리고, 푸셔(344)에는 푸셔 업/다운 구동부(345)가 연결된다. 실린더 등으로 적용될 수 있는 푸셔 업/다운 구동부(345)는 푸셔(344)를 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다.
유닛 이동부(350)는 그립핑 유닛(310)에 연결되며, 제1 매거진(10a)과 제2 매거진(10b) 사이로 그립핑 유닛(310)을 이동시키는 역할을 한다. 유닛 이동부(350)는 모터와 볼 스크루 구조 등으로 적용될 수 있다.
가이드 유닛(360)은 그립핑 유닛(310)에 이웃하게 배치되며, 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)의 작용으로 제1 매거진(10a)에서 제2 매거진(10b)으로 전달되는 스트립을 이동을 가이드하는 역할을 한다.
앞서 기술한 것처럼 얇은 막대 구조의 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)이 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑한 후, 스트립을 이동시키기 때문에 반대편에서 이동되는 스트립을 가이드해 주어야 하며, 그래야만 스트립이 제2 매거진(10b)의 벽체에 부딪히지 않고 제2 매거진(10b) 내로 잘 수납될 수 있다. 이를 위해, 가이드 유닛(360)이 적용되는 것이다.
가이드 유닛(360)은 스트립의 일측, 즉 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)에 의해 그립핑된 스트립의 반대측이 배치되어 이동이 가이드되는 가이드 레일(361)과, 가이드 레일(361)을 사이에 두고 한 쌍으로 배치되는 한 쌍의 가이드 롤러(363)를 포함할 수 있다.
본 실시예에서 한 쌍의 가이드 롤러(363)는 동력이 없는 무동력 자유 회전롤러이며, 가이드 레일(361)의 길이 방향을 따라 복수 개 배치된다. 따라서 스트립을 원활하게 가이드할 수 있다.
한 쌍의 가이드 롤러(363)에는 롤러 간격 조절부(364)가 연결된다. 롤러 간격 조절부(364)는 한 쌍의 가이드 롤러(363)에 연결되며, 한 쌍의 가이드 롤러(363) 사이의 간격을 조절하는 역할을 한다.
한 쌍의 가이드 롤러(363) 사이의 간격이 너무 좁으면 스트립의 이동에 오히려 방해되고, 한 쌍의 가이드 롤러(363) 사이의 간격이 너무 넓으면 가이드의 의미가 없게 되므로 이를 조율하기 위해 롤러 간격 조절부(364)가 마련된다. 롤러 간격 조절부(364)는 실린더일 수 있다.
제2 매거진(10b)에 이웃된 가이드 레일(361)의 단부 영역에는 물품 인입 가이드 모듈(367)이 더 갖춰진다. 물품 인입 가이드 모듈(367)은 제2 매거진(10b)에 이웃된 가이드 레일(361)의 단부에 배치되며, 스트립의 선단부가 들리는 것을 저지시켜 스트립이 제2 매거진(10b)으로 인입될 수 있도록 유도하는 역할을 한다.
즉 스트립은 플렉시블 가능한 얇은 판체이기 때문에 푸셔(344)에 의해 가압되어 제2 매거진(10b)으로 인입될 때, 스트립의 선단부가 들리면 스트립이 제2 매거진(10b)의 벽체에 부딪히거나 제2 매거진(10b) 내로 수납이 잘 되지 않을 수 있다. 이를 위해, 물품 인입 가이드 모듈(367)이 적용된다. 물품 인입 가이드 모듈(367)은 제2 매거진(10b) 내로 수납되기 직전의 스트립의 선단부가 들리지 않게끔 유도함으로써 스트립이 제2 매거진(10b)의 벽체에 부딪히지 않고 제2 매거진(10b) 내로 잘 수납될 수 있도록 가이드한다.
이러한 물품 인입 가이드 모듈(367)은 가이드 레일(361)에 이웃하게 배치되는 인입 가이드 롤러(367a)와, 일단부는 인입 가이드 롤러(363)보다 높은 위치에서 피봇 지지되고 타단부는 인입 가이드 롤러(363)에 회전 가능하게 결합되는 입인 가이드 레버(367b)를 포함할 수 있다. 인입 가이드 롤러(367a) 역시, 무동력 자유 회전롤러이다.
이러한 인입 가이드 롤러(367a)의 높낮이를 조절하기 위해 물품 인입 가이드 모듈(367)에는 인입 가이드 롤러 높낮이 조절부(367c)가 더 갖춰진다. 실린더 등으로 적용될 수 있는 인입 가이드 롤러 높낮이 조절부(367c)는 인입 가이드 롤러(367a)와 연결되며, 인입 가이드 롤러(367a)의 높낮이를 조절하는 역할을 한다.
한편, 도 1, 도 7 내지 도 13을 참조하면, 본 실시예에 적용되는 스트립 매거진 이송 대차(700)는 스토커 캐비닛(100)의 상부 영역에 길게 배치되는 레일(800)을 주행하면서 스토커 캐비닛(100) 내의 매거진을 스토커 캐비닛(100)에 이웃된 공정 장비, 예컨대 본더(40)로 이송시키거나 본더(40)에서 본딩 공정이 완료된 스트립이 담긴 매거진을 스토커 캐비닛(100)으로 이송시키는 역할을 한다. 물론, 본더(40) 외의 다른 공정 장비가 적용될 경우, 그 장비로 혹은 그 장비로부터 스트립이 담긴 매거진을 옮기는 역할을 한다.
도면에는 레일(800)이 직선형으로 도시되었지만 레일(800)은 직선형을 비롯하여 곡선형 등 다양할 수 있다. 즉 반도체를 생산하는 클린룸의 공정 천장 구조에 맞게 다양하게 설계될 수 있다. 따라서, 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
스트립 매거진 이송 대차(700)의 설명에 앞서 스트립 매거진(10)의 구조에 대해 알아본다. 스트립 매거진(10)은 도 8에 도시된 것처럼 복수의 스트립(미도시)이 저장되는 박스(box)형 구조물을 갖는다.
이러한 스트립 매거진(10)은 매거진 바디(11)와, 매거진 바디(11)의 내벽에 형성되는 복수의 슬롯(12)을 포함한다. 스트립이 얇은 시트 형상이라서 슬롯(12)에 끼워져 보관될 수 있다.
이때, 매거진 바디(11)의 양측은 개방됨으로써 스트립의 출입이 용이해질 수 있게끔 한다. 매거진 바디(11)에는 복수의 통공(13)이 형성된다. 통공(13)은 무게 감소 또는 환기 작용을 위해 형성된다.
매거진 바디(11)의 상부에는 그립핑 터널(14)이 형성된다. 그립핑 터널(14)은 스트립 매거진 이송 대차(700)에 적용되는 매거진 그립핑 유닛(720)이 그립핑하는 부분으로 활용된다. 스트립 매거진(10)의 사이즈가 다르더라도 그립핑 터널(14)의 구조는 모두 동일할 수 있다.
한편, 도 8가 같은 스트립 매거진(10) 혹은 이와는 사이즈가 다른 스트립 매거진을 그립핑해서 공정 라인을 이동하는 스트립 매거진 이송 대차(700)는 대차 본체(710)와 매거진 그립핑 유닛(720)을 포함한다.
대차 본체(710)는 스트립 매거진 이송 대차(700)의 외관 구조를 이룬다. 대차 본체(710)에는 레일(800) 상에서 주행하는 복수의 주행 휠(711)이 마련된다. 물론, 이 외에도 주행 휠(711)을 구동하기 위한 수단들이 대차 본체(710)에 위치별로 탑재될 수 있는데, 이에 대해서는 생략했다.
매거진 그립핑 유닛(720)은 대차 본체(710)에 이동 가능하게 마련되어 스트립 매거진(10)을 그립핑하는 역할을 한다.
이러한 매거진 그립핑 유닛(720)은 스트립 매거진(10)에 마련되는 그립핑 터널(14)에 접근 또는 이격되면서 스트립 매거진(10)을 그립핑하는 이동식 그립퍼(730)와, 이동식 그립퍼(730)와 연결되고, 이동식 그립퍼(730)를 구동시키는 그립퍼 구동부(740)를 포함한다.
이동식 그립퍼(730)는 스트립 매거진(10)의 그립핑 터널부(14)를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련되며, 그립퍼 구동부(740)에 의해 복수의 이동식 그립퍼(730)가 동시에 동작한다. 즉 도 11 내지 도 13처럼 그립핑 터널부(14)의 양측에서 복수의 이동식 그립퍼(730)가 동시에 동작하면서 스트립 매거진(10)의 그립핑한다. 따라서 안정적인 그립핑 동작을 끌어낼 수 있다.
그립퍼 구동부(740)는 이동식 그립퍼(730)를 구동시키는 수단이다. 그립퍼 구동부(740)에 대해 자세히 도시하지는 않았으나 그립퍼 구동부(740)는 모터, 볼스크루, 볼너트 등의 조합으로 구현될 수 있다.
앞서도 기술한 바와 같이, 매거진 바디(11)의 양측은 개방된다. 따라서 스트립의 출입이 쉬워질 수 있다. 다만, 매거진 바디(11)의 양측이 개방되어 있어서 스트립 매거진 이송 대차(700)의 이동 시 슬롯(12)에 거치된 스트립이 임의로 빠질 수 있다. 이를 방지하기 위해 매거진 그립핑 유닛(720)에 차폐용 가드(750)가 적용된다.
차폐용 가드(750)는 이동식 그립퍼(730)와 연결되되 이동식 그립퍼(730)와 함께 동작하면서 스트립 매거진(10)의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 역할을 한다. 차폐용 가드(750)는 봉 타입의 부재로 적용될 있다. 물론, 차폐용 가드(750)가 반드시 봉 타입이어야 하는 것은 아니다.
이동식 그립퍼(730)와 차폐용 가드(750) 사이에는 이동식 그립퍼(730)와 차폐용 가드(750)를 연결하는 연결부(751)가 마련된다.
그리고, 이 연결부(751)에 가드 업/다운 구동부(753)가 마련된다. 가드 업/다운 구동부(753)는 연결부(751) 상에서 차폐용 가드(750)를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 가드 업/다운 구동부(753)는 소형 모터로 적용될 수 있다.
이처럼 가드 업/다운 구동부(753)에 의해 차폐용 가드(750)가 업/다운(up/down) 구동될 수 있어서 스트립 매거진(10)의 사이즈, 특히 높이가 다르더라도 공용으로 사용할 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 대차(700)의 대차 본체(710)에는 추락 방지용 유닛(760)이 더 갖춰진다.
추락 방지용 유닛(760)은 대차 본체(710)에 마련되며, 매거진 그립핑 유닛(720)에 의해 그립핑된 스트립 매거진(10)의 하부를 지지하여 스트립 매거진(10)의 추락을 방지시키는 역할을 한다.
이러한 추락 방지용 유닛(760)은 스트립 매거진(10)의 하단부에 접하는 추락 방지부(770)와, 추락 방지부(770)와 연결되고 추락 방지부(770)를 스트립 매거진(10)에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부(780)를 포함한다. 유닛 구동부(780)는 실린더 등의 장치로 적용될 수 있다.
추락 방지부(770)는 실질적으로 스트립 매거진(10)의 하단부에 접하여 스트립 매거진(10)을 떠받치는 역할을 한다.
따라서, 추락 방지부(770)에는 실질적으로 스트립 매거진(10)의 하단부를 지지하는 지지벽부(771)가 마련된다. 이때, 지지벽부(771)는 높이별로 위치가 다르게 복수 개로 적용된다. 이처럼 복수 개의 지지벽부(771)가 추락 방지부(770)에 적용됨으로써 스트립 매거진(10)의 사이즈, 특히 높이가 다르더라도 공용으로 사용할 수 있는 이점이 있다.
지지벽부(771)의 선단부에 경사면(772)이 형성됨으로써 지지벽부(771)가 스트립 매거진(10)의 하단부로 잘 진입될 수 있도록 한다.
이하, 도 1을 참조해서 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 작용을 설명한다.
이하의 설명에서는 스트립 매거진 이송 시스템의 공정 라인 상에는 복수의 본더(40, bonder)가 마련되는 것으로 설명한다. 하지만, 본더(40)가 반드시 적용되어야 하는 것은 아니다.
매거진 핸들링 로봇(30)이 복수의 반도체 스트립이 들어 있는 스트립 매거진(10)을 매거진 이송부(400)로 공급한다. 매거진 핸들링 로봇(30)은 클린룸(clean room)에서 물품을 이송하는 로봇이다.
그러면 매거진 이송부(400)의 작용으로 스트립 매거진(10)이 매거진 셔틀 장치(500)로 공급된다. 그리고 매거진 셔틀 장치(500)가 스트립 매거진(10)을 매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 로딩시킨다.
매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 로딩된 스트립 매거진(10)은 스토커 캐비닛(100) 내에 마련되는 랙 마스터(200)의 작용으로 스토커 캐비닛(100) 상의 선반(110)에 위치별로 보관된다. 이때, 스트립 전달 장치(300)를 거쳐 스트립 매거진(10) 내의 스트립 개수가 조율될 수 있다.
이어, 스트립 매거진 이송 대차(700)가 선반(110)의 스트립 매거진(10)을 복수의 본더(40)로 옮겨 본더(40)에서 스트립에 대한 본딩 공정이 진행되도록 한다. 이때는, 앞서 기술한 것처럼 스트립이 스트립 매거진(10)에 수납된 상태에서 스트립 매거진(10)을 이송하게 되는데, 스트립 매거진(10)의 구조가 다르더라도 스트립 매거진(10)을 쉽고 효율적으로 파지할 수 있어서 스트립 매거진(10)의 이송에 아무런 문제가 없다. 특히, 종전처럼 스트립 매거진 이송 대차(700)를 교체하거나 일부 수정하지 않더라도 스트립 매거진(10)을 원하는 위치로 이송할 수 있으므로 효율이 높아질 수 있다.
본딩 공정이 완료된 스트립이 담긴 스트립 매거진(10)은 스트립 매거진 이송 대차(700)에 의해 스토커 캐비닛(100) 상의 선반(110)에 다시 보관되거나 랙 마스터(200)의 작용으로 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 및 매거진 셔틀 장치(500)를 통해 매거진 이송부(400)로 취출될 수 있다. 물론, 이러한 공정이 완료된 스트립을 취출할 때도 스트립 전달 장치(300)를 거쳐 스트립 매거진(10) 내의 스트립 개수가 조율될 수 있다. 즉 스트립이 스트립 매거진(10) 내에 꽉 찬 상태로 취출되어야만 하는 것이 아니므로 스트립 전달 장치(300)를 거쳐 스트립 매거진(10) 내의 스트립 개수가 예켠대, 8장 혹은 10장 등으로 미리 조율될 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조를 기반으로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 여러 종류의 스트립 매거진(10)에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있게 된다.
이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예는 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.
10 : 스트립 매거진 11 : 매거진 바디
12 : 슬롯 13 : 통공
14 : 그립핑 터널 30 : 매거진 핸들링 로봇
40 : 본더 100 : 스토커 캐비닛
200 : 랙 마스터 300 : 스트립 전달 장치
400 : 매거진 이송부 500 : 매거진 셔틀 장치
600 : 매거진 로딩/언로딩 장치 700 : 스트립 매거진 이송 대차
710 : 대차 본체 711 : 주행 휠
720 : 매거진 그립핑 유닛 730 : 이동식 그립퍼
740 : 그립퍼 구동부 750 : 차폐용 가드
751 : 연결부 753 : 가드 업/다운 구동부
760 : 추락 방지용 유닛 770 : 추락 방지부
771 : 지지벽부 772 : 경사면
780 : 유닛 구동부 800 : 레일

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  11. 레일;
    상기 레일 상을 주행하면서 스트립 매거진(strip magazine)을 이송하는 스트립 매거진 이송 대차;
    상기 스트립 매거진이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반을 구비하는 스토커 캐비닛;
    상기 스토커 캐비닛의 일측에 배치되며, 상기 스트립 매거진이 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되는 장소를 형성하는 매거진 로딩/언로딩 장치;
    상기 스토커 캐비닛 내에서 이동할 수 있게 배치되며, 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 상의 스트립 매거진을 상기 선반에 안착시키거나 상기 선반 상의 스트립 매거진을 취출해서 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 이동시키기 위해 상기 매거진을 핸들링(handling)하는 랙 마스터;
    상기 매거진 로딩/언로딩 장치의 일측에 배치되며, 소정의 매거진 핸들링 로봇에 의해 전달되는 스트립 매거진을 이송하는 매거진 이송부;
    상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 사이에 배치되며, 상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 상기 스트립 매거진을 이송시키는 매거진 셔틀 장치; 및
    상기 스토커 캐비닛 내의 일측에 배치되며, 제1 스트립 매거진 내의 물품을 제2 스트립 매거진으로 자동 전달하는 스트립 전달 장치를 포함하며,
    상기 스트립 매거진 이송 대차는,
    상기 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및
    상기 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 상기 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 매거진 그립핑 유닛은 상기 이동식 그립퍼와 연결되고, 상기 이동식 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 더 포함하며,
    상기 이동식 그립퍼는 상기 스트립 매거진의 그립핑 터널부를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련되며,
    상기 그립퍼 구동부에 의해 복수의 상기 이동식 그립퍼가 동시에 동작하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 매거진 그립핑 유닛은,
    상기 이동식 그립퍼와 연결되되 상기 이동식 그립퍼와 함께 동작하면서 상기 스트립 매거진의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 차폐용 가드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 매거진 그립핑 유닛은,
    상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드 사이에 마련되되 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드를 연결하는 연결부; 및
    상기 연결부에 마련되고, 상기 연결부 상에서 상기 차폐용 가드를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 가드 업/다운 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 스트립 매거진 이송 대차는,
    상기 대차 본체에 마련되며, 상기 매거진 그립핑 유닛에 의해 그립핑된 상기 스트립 매거진의 하부를 지지하여 상기 스트립 매거진의 추락을 방지시키는 추락 방지용 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 추락 방지용 유닛은,
    상기 스트립 매거진의 하단부에 접하는 추락 방지부; 및
    상기 추락 방지부와 연결되고 상기 추락 방지부를 상기 스트립 매거진에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 추락 방지부는 상기 스트립 매거진의 하단부를 지지하되 높이별로 위치가 다른 복수의 지지벽부를 포함하며,
    상기 지지벽부의 선단부에 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
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