KR101534778B1 - 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브를 수용하는 절연성 블록을 포함하는 검사장치에 관한 것이다.
상기 절연성 블록은, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 일측을 접촉 상태로 수용하되, 내부를 도전성 재료로 코팅한 복수의 제1개공들을 포함하는 제1절연블록과, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 타측을 접촉 상태로 수용하되, 내부를 도전성 재료로 코팅한 복수의 제2개공들을 포함하는 제2절연블록과, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브가 삽입되는 상기 제1개공과 제2개공보다 작은 직경의 제3개공을 가지며, 상기 제3개공이 상기 제1개공과 제2개공에 대응하는 위치에 놓이도록 상기 제1절연블록과 제2절연블록 사이에 배치되는 비도전성 중간부재를 포함하여 구성할 수 있다.

Description

검사장치{A TEST DEVICE}
본 발명은 검사장치, 더욱 상세하게는 고주파 고속용 회로의 모듈이나 IC 등을 회로기판에 조립하기 전에 그의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 아날로그회로의 접지와 디지털 회로의 접지가 분리되어 구성된 디바이스를 검사하는 경우에 디지털 회로에서 발생하는 노이즈 성분이 아날로그 회로에 혼입되어 RF신호특성을 저하하는 문제를 해결하기 위해 동축 구조의 검사장치를 사용하고 있다.
도 9는 일본공개특허 2007-178164에 개시된 종래의 동축 구조의 검사장치를 나타내고 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 종래의 동축 구조의 검사장치는 절연성블록(21)에 신호용 프로브(11), 전원용 프로브(12), 및 접지용 프로브(13)을 수용지지하도록 개공이 형성되어 있고, 개공 내면을 포함한 절연성 블록(21) 전체에 도전성 코팅막(22)이 형성된다. 여기서, 신호용 프로브(11), 전원용 프로브(12), 및 접지용 프로브(13)는 절연성 스페이서(32)에 의해 절연성 블록(21) 및 고정수단(31)에 각각 고정 지지된다.
이러한 종래의 동축 구조의 검사장치는 신호용 프로브(11)를 절연성 스페이서(32)에 의해 개공 내의 도전성 코팅에 접촉하지 않도록 고정 지지하고 있다.
그러나, 종래의 동축 구조의 검사장치에서 절연성 블록(21)의 다수 개공들은 1mm 내외의 작은 직경을 갖는 미세한 구조를 가지며, 선택적으로 신호용 프로브(11)가 삽입되는 개공 내에 절연성 스페이서(32)를 통해 신호용 프로브(11)를 고정하는 작업은 매우 까다롭고 어려워 제조비용을 상승시키는 요인이 되고 있다.
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 간단한 조립에 의해 제조하는 것이 가능한 동축 구조의 검사장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브를 수용하는 절연성 블록을 포함하는 검사장치는, 상기 절연성 블록을, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 일측을 접촉 상태로 수용하되, 내부를 도전성 재료로 코팅한 복수의 제1개공들을 포함하는 제1절연블록과, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 타측을 접촉 상태로 수용하되, 내부를 도전성 재료로 코팅한 복수의 제2개공들을 포함하는 제2절연블록과, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브가 삽입되는 상기 제1개공과 제2개공보다 작은 직경의 제3개공을 가지며, 상기 제3개공이 상기 제1개공과 제2개공에 대응하는 위치에 놓이도록 상기 제1절연블록과 제2절연블록 사이에 배치되는 비도전성 중간부재를 포함하여 구성할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브를 수용하는 금속성 블록을 포함하는 검사장치는, 상기 금속성 블록을, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 일측을 접촉 상태로 수용하되, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 수용하는 내부만을 비도전성 재료로 코팅한 복수의 제1개공들을 포함하는 제1금속블록과, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 타측을 접촉 상태로 수용하되, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 수용하는 내부만을 비도전성 재료로 코팅한 복수의 제2개공들을 포함하는 제2금속블록과, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브가 삽입되는 상기 제1개공과 제2개공보다 작은 직경의 제3개공을 가지며, 상기 제3개공이 상기 제1개공과 제2개공에 대응하는 위치에 놓이도록 상기 제1금속블록과 제2금속블록 사이에 배치되는 비도전성 중간부재를 포함하여 구성할 수 있다.
상기 접지용 프로브가 삽입되는 제1개공과 제2개공에 위치하는 제3개공은 상기 접지용 프로브가 삽입되는 제1개공과 제2개공보다 적어도 직경이 더 큰 것이 바람직하다.
상기 검사장치는 상기 절연성블록에 수용된 RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브의 양단부 중 적어도 일단부가 상기 절연성블록으로부터 돌출되며, 상기 돌출된 적어도 일단부를 수용하여 지지하는 홈부를 포함하는 절연커버를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 동축구조의 검사장치는 간단한 조립에 의해 신호용 프로브를 절연성블록 또는 금속성 블록의 도전성 코팅 또는 절연성 코팅으로부터 분리시켜 고정 지지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치의 분해 사시도,
도 2는 도 1의 검사장치의 단면도,
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사장치의 단면도,
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 검사장치의 단면도,
도 5 및 도 6는 도 2의 검사장치에서 제1절연블록과 제2절연블록의 결합 상태를 나타내는 단면도,
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 검사장치의 단면도,
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 검사장치의 단면도,및
도 9는 종래의 검사장치를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 설명한다. 설명의 편의상 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 부분은 생략하였고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다.
본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치(100)는 절연성블록(110), 상기 절연성블록(110)의 상하에 각각 배치되는 상하 절연커버(120,130), 및 상기 절연성블록(110)과 상하 절연커버(120,130)에 의해 지지되는 RF(고주파, radio frequency)신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 접지용 프로브(106)를 포함하여 구성할 수 있다.
도 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 절연성블록(110)은 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브(106)의 일측을 접촉 상태로 수용하는 복수의 제1개공들(112-1,112-2,112-3)을 포함하는 제1절연블록(112)과, 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브(106)의 타측을 접촉 상태로 수용하는 복수의 제2개공들(114-1,114-2,114-3)을 포함하는 제2절연블록(114)과, 상기 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 접지용 프로브(106)가 삽입되는 제3개공(116-1,116-2, 116-3)을 갖는 비도전성 중간부재(116)을 포함하여 구성할 수 있다.
상기 제1절연블록(112)의 외부 표면 및 제1개공(112-1,112-2,112-3)의 내면은 예를 들면 금, 은, 동과 같은 도전성 재료로 코팅된 피막(113, 113-1,113-2,113-3)이 배치되어 있다. 물론, 전원용 프로브(104)가 배치되는 개공(112-2)의 내면에는 도전성 재료의 피막(113-2)을 생략하는 것도 가능하다.
상기 제2절연블록(114)의 외부 표면 및 제2개공(114-1,114-2,114-3)의 내면은 예를 들면 금, 은, 동과 같은 도전성 재료로 코팅된 피막(115, 115-1,115-2,115-3)이 배치되어 있다. 물론, 전원용 프로브(104)가 배치되는 개공(114-2)의 내면에는 도전성 재료의 피막(115-2)을 생략하는 것도 가능하다.
상기 제1절연블록(112)의 제1개공(112-1,112-2,112-3)과 상기 제2절연블록(114)의 제2개공(114-1,114-2,114-3)은 서로 상응하는 위치에 배치되며, 서로 유사한 직경의 크기로 형성될 수 있다. 물론, 상기 제1절연블록(112)의 제1개공(112-1,112-2,112-3)과 상기 제2절연블록(114)의 제2개공(114-1,114-2,114-3)은 삽입되는 상기 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 형태에 따라 서로 다른 형상으로 형성될 수 있다.
상기 비도전성 중간부재(116)는 상기 제1절연블록(112)과 상기 제2절연블록(114) 사이에 배치하되, 상기 제1절연블록(112)의 제1개공(112-1,112-2,112-3)과 상기 제2절연블록(114)의 제2개공(114-1,114-2,114-3)에 상응하는 위치에 제3개공(116-1,116-2,116-3)이 위치한다.
상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)가 삽입되는 제3개공(116-1,116-2)은 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)가 삽입되는 제1개공(112-1,112-2)과 제2개공(114-1,114-2)의 직경 보다 작게 형성될 수 있다. 따라서, 절연성블록(110)의 서로 연통하는 제1개공(112-1,112-2)과 제2개공(114-1,114-2) 내에는 비도전성 중간부재에 의한 턱(116-1,116-2)이 만들어져, 삽입되는 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)는 제1개공(112-1,112-2)과 제2개공(114-1,114-2)의 내면(도전성 재료로 코팅된 피막)으로부터 이격되게 배치될 수 있다.
접지용 프로브(106)가 삽입되는 제3개공(116-3)은 접지용 프로브(106)가 삽입되는 제1개공(112-3)과 제2개공(114-3)의 직경과 같거나 더 크게 형성될 수 있다. 따라서, 삽입되는 상기 접지용 프로브(106)는 제1개공(112-3)과 제2개공(114-3)의 내면(도전성 재료로 코팅된 피막)에 접촉되게 배치될 수 있다.
제1절연블록(112), 제2절연블록(114) 및 비도전성 중간부재(116)는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재료로 형성할 수 있다.
RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)는 통형상의 배럴(102-1,104-1,106-1), 상기 배럴(102-1,104-1,106-1) 내에 수용된 스프링(미도시), 상기 스프링에 의해 배럴(102-1,104-1,106-1) 내에서 상하 요동할 수 있도록 상기 배럴(102-1,104-1,106-1)의 상하에 각각 부분 수용되는 상부 플런저(102-2,104-2,106-2) 및 하부 플런저(102-3,104-3,106-3)를 포함하여 구성할 수 있다. 물론, 도 2에 나타낸 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 구조는 하나의 예에 불과하며, 다양한 형태의 프로브들이 적용될 수 있다.
절연성 블록(110)의 상부면에 배치된 상부 절연커버(120)는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 상부 플런저(102-2,104-2,106-2)가 관통하는 제1개구(122-1,122-2,122-3)가 형성되어 있다. 상부 절연커버(120)는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재료로 형성할 수 있다.
절연성 블록(110)의 하부면에 배치된 하부 절연커버(130)는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 하부 플런저(102-3,104-3,106-3)가 관통하는 제2개구(132-1,132-2,132-3)가 형성되어 있다. 하부 절연커버(130)는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 배럴(102-1,104-1,106-1)의 하단부 일부를 각각 수용하는 제1홈부(134-1,134-2,134-3)가 상기 제2개구(132-1,132-2,132-3)와 더불어 형성되어 있다. 상기 제1홈부(134-1,134-2)는 상기 중간부재(116)의 제3개공에 의해 형성된 턱(116-1,116-2)과 더불어 RF신호용 프로브(102) 및 전원용 프로브(104)를 더욱 확실하게 지지하는 역할을 한다. 상기 접지용 프로브(106)가 제2개공(114-3)의 내면 도전성 피막(113-3)에 정확하게 접지시키기 위해, 상기 접지용 프로브(106)의 배럴(106-1) 하단부 일부를 수용하는 제1홈부(134-3)는 제2절연블록(114)의 제2개공(114-3)보다 넓게 형성하는 것이 바람직하다. 상부 절연커버(120)는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재료로 형성할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사장치(100)의 단면도로서, 절연성블록(110)의 상부면에 배치되는 상부 절연커버(120)에 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 배럴(102-1,104-1,106-1)의 상단부 일부를 각각 수용하는 제2홈부(124-1,124-2,124-3)가 상기 개구(122-1,122-2,122-3)와 더불어 형성될 수 있다. 따라서, RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104)는 각각 상기 제1홈부(134-1,134-2), 상기 중간부재(116)의 제3개공에 의해 형성된 턱(116-1,116-2) 및 제2홈부(124-1,124-2)에 의해 보다 제1개공(112-1,112-2)과 제2개공(114-1,114-2)의 각 내면에 비접촉으로 고정 지지가 될 수 있다. 상기 접지용 프로브(106)가 제1개공(112-3)과 제2개공(114-3)의 내면 도전성 피막(115-3)에 정확하게 접지시키 위해, 상기 접지용 프로브(106)의 배럴(106-1) 양단부 일부를 수용하는 제1홈부(134-3) 및 제2홈부(124-3)는 제1개공(112-3)과 제2개공(114-3)보다 넓게 형성하는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 검사장치(200)를 나타낸 것이다. 제3실시예에 따른 검사장치(200)는 금속성블록(210), 상기 금속성블록(210)의 상하에 각각 배치되는 상하 절연커버(220,230), 및 상기 금속성블록(210)과 상하 절연커버(220,230)에 의해 지지되는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 접지용 프로브(106)를 포함하여 구성할 수 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 금속성블록(210)은 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브(106)의 일측을 접촉 상태로 수용하는 복수의 제1개공들(212-1,212-2,212-3)을 포함하는 제1금속블록(212)과, 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브(106)의 타측을 접촉 상태로 수용하는 복수의 제2개공들(214-1,214-2,214-3)을 포함하는 제2금속블록(114)과, 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)가 삽입되는 상기 제1개공(212-1,212-2,212-3)과 제2개공(214-1,214-2,214-3)보다 작은 직경의 제3개공(216-1,216-2,216-3)을 갖는 비도전성 중간부재(216)을 포함하여 구성할 수 있다.
금속성블록(210)의 상하 표면 및 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)가 삽입되는 제1개공(212-1,212-2)과 제2개공(214-1,214-2)의 내면은 예를 들면 에폭시 수지와 같은 절연성 재료로 코팅된 피막(213-1,213-2,213-3)이 배치되어 있다. 이때, 금속성블록(210)의 접지용 프로브(106)가 삽입되는 제1개공(212-3)과 제2개공(214-3)의 내면은 절연성 재료의 피막이 형성되지 말아야 한다.
상기 제1금속블록(212)의 제1개공(212-1,212-2,212-3)과 상기 제2금속블록(214)의 제2개공(214-1,214-2,214-3)은 서로 상응하는 위치에 배치되며, 서로 유사한 직경의 크기로 형성될 수 있다. 물론, 상기 제1금속블록(212)의 제1개공(212-1,212-2,212-3)과 상기 제2금속블록(214)의 제2개공(214-1,214-2,214-3)은 삽입되는 상기 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 형태에 따라 서로 다른 형상으로 형성될 수 있다.
상기 비도전성 중간부재(216)는 상기 제1금속블록(212)과 상기 제2금속블록(214) 사이에 배치하되, 상기 제1금속블록(212)의 제1개공(212-1,212-2,212-3)과 상기 제2금속블록(214)의 제2개공(214-1,214-2,214-3)에 상응하는 위치에 제3개공(216-1,216-2,216-3)이 위치한다.
상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)가 삽입되는 제3개공(216-1,216-2)은 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)가 삽입되는 제1개공(212-1,212-2)과 제2개공(214-1,214-2)의 직경 보다 작게 형성될 수 있다. 따라서, 금속성블록(210)의 서로 연통하는 제1개공(212-1,212-2)과 제2개공(214-1,214-2) 내에는 비도전성 중간부재에 의해 턱(216-1,216-2,216-3)이 만들어져, 삽입되는 상기 RF신호용 프로브(102)와 전원용 프로브(104)는 제1개공(212-1,212-2)과 제2개공(214-1,214-2)의 내면(절연성 재료로 코팅된 피막)으로부터 이격되게 배치될 수 있다.
접지용 프로브(106)가 삽입되는 제3개공(216-3)은 접지용 프로브(106)가 삽입되는 제1개공(212-3)과 제2개공(214-3)의 직경과 같거나 더 크게 형성될 수 있다. 따라서, 삽입되는 상기 접지용 프로브(106)는 제1개공(212-3)과 제2개공(214-3)의 내면에 직접 접촉되게 배치될 수 있다.
제1금속블록(212), 제2금속블록(214)은 동이나 철과 같은 도전성 금속으로 형성될 수 있다.
비도전성 중간부재(216)는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재료로 형성할 수 있다.
금속성블록(210)에 삽입되는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)는 통형상의 배럴(102-1,104-1,106-1), 상기 배럴(102-1,104-1,106-1) 내에 수용된 스프링(미도시), 상기 스프링에 의해 배럴(102-1,104-1,106-1) 내에서 상하 요동할 수 있도록 상기 배럴(102-1,104-1,106-1)의 상하에 각각 부분 수용되는 상부 플런저(102-2,104-2,106-2) 및 하부 플런저(102-3,104-3,106-3)를 포함하여 구성할 수 있다.
금속성 블록(210)의 상부면에 배치된 상부 절연커버(220)는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 상부 플런저(102-2,104-2,106-2)가 관통하는 제1개구(222-1,222-2,222-3)가 형성되어 있다. 상부 절연커버(220)는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재료로 형성할 수 있다.
금속성 블록(210)의 하부면에 배치된 하부 절연커버(230)는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 하부 플런저(102-3,104-3,106-3)가 관통하는 제2개구(232-1,232-2,232-3)가 형성되어 있다. 하부 절연커버(230)는 RF신호용 프로브(102), 전원용 프로브(104), 및 접지용 프로브(106)의 각 배럴(102-1,104-1,106-1)의 하단부 일부를 각각 수용하는 제1홈부(234-1,234-2,234-3)가 상기 제2개구(232-1,232-2,232-3)와 더불어 형성되어 있다. 상기 제1홈부(234-1,234-2)는 상기 중간부재(216)의 제3개공에 의해 형성된 턱(216-1,216-2)과 더불어 RF신호용 프로브(102) 및 전원용 프로브(104)를 더욱 확실하게 지지하는 역할을 한다. 상기 접지용 프로브(106)가 제2개공(214-3)의 내면에 정확하게 접지시키 위해, 상기 접지용 프로브(106)의 배럴(106-1) 하단부 일부를 수용하는 제1홈부(234-3)는 제2금속성블록(114)의 제2개공(214-3)보다 넓게 형성하는 것이 바람직하다.
상부 절연커버(120)는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재료로 형성할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114)의 결합상태를 나타내는 도이다.
제1절연블록(112)의 도전성 재료로 코팅된 피막(113)는 제2절연블록(114)의 도전성 재료로 코팅된 피막(115)과 접촉 연결되어야 한다. 제1절연블록(112)의 피막(113)과 제2절연블록(114)의 피막(115)을 연결하는 방법은 도 5에 나타낸 바와 같이 중간부재(116)를 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114) 사이에 공간(119)을 형성하여 삽입한 후에 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114)의 연장부들끼리 직접 접촉하는 방법으로 가능하다. 도 5에서는 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114) 사이에 공간(119)이 제1절연블록(112)에 형성되어 있지만, 제2절연블록9114)이나 양쪽 모두에 형성하는 것도 가능하다.
도 6은 본 발명에 따른 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114)의 다른 결합상태를 나타내는 도이다.
제1절연블록(112)이나 제2절연블록(114)의 두께는 얇기 때문에 중간부재(116)를 삽입하기 위한 공간(119)를 형성하기 힘들고 형성하더라도 정밀성이 떨어질 수 있으므로, 도 6과 같이 중간부재(116)를 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114) 사이에 개재시킨 후 제1절연블록(112)의 피막(113)과 제2절연블록(114)의 피막(115)을 도전성 가이드핀(140)을 통해 연결할 수 있다. 이때, 제1절연블록(112)과 제2절연블록(114)의 가이드핀(140) 정렬공의 각 내면은 도전성 피막(113,115)으로 코팅되는 것이 바람직하다.
별도로 도시하지 않았지만 도 5에 나타낸 제1절연블록과 제2절연블록의 결합 시에 도전성 피막의 연결방법은 도 4에 나타낸 제3실시예의 금속성 블록에도 적용가능하다. 다만, 제1금속블록(212)과 제2금속블록(116)의 마주하는 표면들을 비도전성 재료로 코팅하지 않고 직접 접촉하도록 할 수 있다. 또한, 도 5에 나타낸 제1절연블록과 제2절연블록의 결합 시에 도전성 피막의 연결방법은 가이드핀(140)이 삽입되는 정렬공 내면을 비도전성 재료로 코팅하지 않고 도전성 가이드핀(140)에 의해 연결하는 것이 가능하다.
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 검사장치의 단면도로서, 제1절연블록(112), 제2절연블록(114) 및 제1중간부재(116) 외에 제3절연블록(118) 및 제2중간부재(117)를 추가한 것을 특징으로 한다.
제1절연블록(112)과 제2절연블록(114)에는 매우 미세한 프로브들(102,104,106)들이 삽입되는 개공들(112,-1,112-2,112-3,114-1,114-2,114-3,116-1,116-2,116-3)이 정밀하게 형성되어야 한다. 따라서, 절연성블록(110)을 가능한 한 다수 개로 나누어 제작함으로써 가공성 및 가공정밀성을 향상시킬 수 있다.
또한, 접지용 및 전원용 프로브들(102,104)은 제1개공(112,-1,112-2,112-3) 및 제2개공(114-1,114-2,114-3) 내에 삽입된 상태에서 내면과의 간격이 매우 작기 때문에 접촉될 가능성도 높아진다. 따라서, 복수 개의 절연블록들(112,114,118)과 더블어 다수의 중간부재(116,117)를 개재시킴으로써 접지용 및 전원용 프로브들(102,104)과 도전성 피막(113-1,113-2,113-3,115-1,115-2,115-3)을 보다 확실히 분리시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 검사장치의 단면도로서, 제1절연블록(112), 제2절연블록(114) 및 제1중간부재(116) 외에 제3절연블록(118)을 추가한 것을 특징으로 한다.
도 8에 나타낸 바와 같이 중간부재(116)를 하나만 넣고 절연성블록(110)을 다수의 절연블록(112,114,118)으로 분할하여 형성하는 것도 가능하다.
지금까지 본 발명의 실시예가 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 실시예를 변형할 수 있을 것이다. 따라서, 발명의 범위는 지금까지 설명된 실시예로 정해지는 것이 아니라 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
100,200: 검사장치
102: RF신호용 프로브
104: 전원용 프로브
106:접지용 프로브
110: 절연성 블록
112: 제1절연블록
114: 제2절연블록
116,216: 중간부재
120,220: 상부 절연커버
130,230: 하부 절연커버
210: 금속성 블록
212: 제1금속블록
214: 제2금속블록

Claims (10)

  1. RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브를 수용하는 절연성 블록을 포함하는 검사장치에 있어서,
    상기 절연성 블록은,
    상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 일측을 접촉 상태로 수용하되, 내부를 도전성 피막로 코팅한 복수의 제1개공들을 포함하는 제1절연블록과,
    상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 타측을 접촉 상태로 수용하되, 내부를 도전성 피막으로 코팅한 복수의 제2개공들을 포함하는 제2절연블록과,
    상기 RF신호용 또는 전원용 프로브가 삽입되는 상기 제1개공과 제2개공보다 작은 직경의 제3개공을 가지며, 상기 제3개공이 상기 제1개공과 제2개공에 대응하는 위치에 놓이도록 상기 제1절연블록과 제2절연블록 사이에 배치되는 비도전성 중간부재를 포함하며,
    상기 제1절연블록과 제2절연블록 사이에는 상기 중간부재를 삽입하는 공간을 포함하며, 상기 제1절연블록의 도전성 피막과 제2절연블록의 도전성 피막의 접촉은 상기 중간부재를 삽입하는 공간을 벗어난 부분에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  2. RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브를 수용하는 금속성 블록을 포함하는 검사장치에 있어서,
    상기 금속성 블록은,
    상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 일측을 접촉 상태로 수용하되, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 수용하는 내부만을 비도전성 피막으로 코팅한 복수의 제1개공들을 포함하는 제1금속블록과,
    상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 타측을 비접촉 상태로, 상기 접지용 프로브의 타측을 접촉 상태로 수용하되, 상기 RF신호용 또는 전원용 프로브의 일측을 수용하는 내부만을 비도전성 피막으로 코팅한 복수의 제2개공들을 포함하는 제2금속블록과,
    상기 RF신호용 또는 전원용 프로브가 삽입되는 상기 제1개공과 제2개공보다 작은 직경의 제3개공을 가지며, 상기 제3개공이 상기 제1개공과 제2개공에 대응하는 위치에 놓이도록 상기 제1금속블록과 제2금속블록 사이에 배치되는 비도전성 중간부재를 포함하며,
    상기 제1금속블록과 제2금속블록 사이에는 상기 중간부재를 삽입하는 공간을 포함하며, 상기 제1금속블록과 제2금속블록의 접촉은 상기 중간부재를 삽입하는 공간을 벗어난 부분에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 접지용 프로브가 삽입되는 제1개공과 제2개공에 위치하는 제3개공은 상기 접지용 프로브가 삽입되는 제1개공과 제2개공보다 적어도 직경이 더 큰 것을 특징으로 하는 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 절연성블록에 수용된 RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브의 양단부 중 적어도 일단부는 상기 절연성블록으로부터 돌출되며,
    상기 돌출된 적어도 일단부를 수용하여 지지하는 홈부를 포함하는 절연커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 금속성블록에 수용된 RF신호용 또는 전원용 프로브 및 접지용 프로브의 양단부 중 적어도 일단부는 상기 금속성블록으로부터 돌출되며,
    상기 돌출된 적어도 일단부를 수용하여 지지하는 홈부를 포함하는 절연커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    적어도 하나의 추가 절연블록 및 적어도 하나의 추가 중간부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  7. 제 2항에 있어서,
    적어도 하나의 금속성블록 및 적어도 하나의 추가 중간부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연블록의 도전성 피막과 제2절연블록의 도전성 피막의 접촉은 상기 제1절연블록과 제2절연블록의 가이드핀 정렬공에 삽입되는 도전성 가이드핀에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 가이드핀 정렬공의 내면은 도전성 피막으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
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