JP2007178164A - 検査ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 絶縁性ブロック21の外表面およびそれに設けられる貫通孔22の少なくとも一部の露出面にメッキ被膜23が設けられ、その貫通孔22内に信号用プローブ1SIG、グランド用プローブ1GNDおよび電源用プローブ1POWが挿入され、被検査デバイスと配線基板とを前述の各プローブで接続することにより検査がなされる。本発明では、絶縁性ブロック21に設けられるメッキ被膜が、デバイスの少なくとも2つの回路グループに接続される各プローブ1のグループごとのグランドが電気的に分離されるように、前述のメッキ被膜23が分離溝24により分割されている。
【選択図】 図1
Description
2 ベース部
3 固定手段
11、12 プランジャ
13 金属パイプ
17 グランドソケット
21 絶縁性ブロック
22 貫通孔
23 メッキ被膜
24 分離溝
31 固定部材
32 絶縁性スペーサ
Claims (4)
- RF信号用プローブ、グランド用プローブおよび電源用プローブを挿入し得る貫通孔が形成された絶縁性ブロックと、該絶縁性ブロックの外表面および前記貫通孔の少なくとも一部の貫通孔の露出面に設けられるメッキ被膜と、前記貫通孔内に挿入されるRF信号用プローブ、グランド用プローブおよび電源用プローブとを有し、高周波・高速用デバイスの電気的特性を検査する検査ユニットであって、前記デバイスの少なくとも2つの回路グループに接続される前記各プローブのグループごとのグランドが電気的に分離されるように、前記外表面に設けられるメッキ被膜に分離溝が形成されてなる検査ユニット。
- 前記絶縁性ブロックの一面側または両面側には、該絶縁性ブロックの貫通孔内に挿入される前記各プローブの一端部または両端部を固定する絶縁性部材からなり、前記絶縁性ブロックの貫通孔と連通する貫通孔が形成された固定部材が設けられ、前記絶縁性ブロックの外表面に前記メッキ被膜および分離溝が形成されると共に、前記固定部材の外表面および少なくとも一部の貫通孔内にメッキ被膜が形成され、かつ、前記絶縁性ブロックのメッキ被膜に形成された分離溝のパターンに合せて、前記固定部材の外表面に設けられるメッキ被膜に分離溝が形成されてなる請求項1記載の検査ユニット。
- 前記少なくとも2つの回路グループは、デジタル回路とアナログ回路である請求項1または2記載の検査ユニット。
- 前記電源用プローブが挿入される貫通孔内には、前記メッキ被膜が形成されない構造である請求項1ないし3のいずれか1項記載の検査ユニット。
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