KR101297848B1 - 웨이퍼 연마장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테이블에 놓인 웨이퍼를 휠로 연삭하는 웨이퍼 연마장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치는 여러 개의 척 테이블에 웨이퍼들이 순차적으로 올려지면, 휠이 웨이퍼들을 동시에 연마시키기 때문에 1회 공정 시에 여러 개의 웨이퍼를 연마시킬 수 있어 생산성을 높일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치장치러 개의 척 테이블을 하나의 척 테이블 구동장치에 의해 회전되기 때문에 웨이퍼들이 올려진 여러 개의 척 테이블을 동일한 속도로 회전시킬 수 있어 웨이퍼들의 연마 정도를 균일하게 유지시킬 뿐 아니라 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

웨이퍼 연마장치{WAFER GRINDING APPARATUS}

본 발명은 테이블에 놓인 웨이퍼를 휠로 연삭하는 웨이퍼 연마장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼(Wafer)는 반도체 소자 제조의 재료로써, 실리콘 반도체의 소재의 종류 결정을 원주상에 성장시킨 주괴를 얇게 깎아낸 원모양의 판이다. 물론, 웨이퍼는 50mm ~ 300mm까지 다양한 크기의 종류가 있으며, 직경이 클수록 웨이퍼 상에 많은 집적회로 칩을 생산할 수 있기 때문에 시간이 지날수록 구경은 커지고 있다.

이러한 웨이퍼는 표면의 정도를 높이기 위하여 기계화확 연마 가공에 의하여 경면 상태로 만들어지는 연마 공정을 거치게 된다.

종래에 웨이퍼를 기계적으로 연마하는 장치는, 제1,2 트랜스퍼 암과, 턴 테이블과, 제1,2 척 테이블과, 휠을 포함하도록 구성되며, 상기 제1,2척 테이블이 상기 턴 테이블 상에 회전 가능하게 설치되고, 상기 휠이 상기 제1,2척 테이블 중 하나 위에 일정 간격을 두고 위치된다.

따라서, 상기 제1 트랜스퍼 암에 의해 웨이퍼가 상기 제1 척 테이블 위에 올려지면, 상기 제1 척 테이블이 상기 휠 아래에 위치하도록 상기 턴 테이블이 회전되고, 상기 휠이 하강함에 따라 웨이퍼 표면과 맞닿은 다음, 상기 제1 척 테이블과 휠이 회전하면서 웨이퍼 표면이 연삭된다. 또한, 상기 제1척 테이블의 웨이퍼가 연삭되는 동안 상기 트랜스퍼 암에 의해 다른 웨이퍼가 상기 제2척 테이블 위에 올려진다.

이후, 상기 제2 척 테이블이 상기 휠 아래에 위치하도록 상기 턴 테이블이 회전되고, 상기 휠이 하강함에 따라 웨이퍼 표면과 맞닿은 다음, 상기 제2 척 테이블과 휠이 회전하면서 웨이퍼 표면이 연삭된다. 또한, 상기 제2척 테이블의 웨이퍼가 연삭되는 동안 상기 제1 척 테이블 상의 웨이퍼는 브러쉬에 의해 클리닝되고, 상기 제2 트랜스퍼 암에 의해 상기 제1 척 테이블 상의 웨이퍼가 제거되고, 다음 공정이 진행된다. 물론, 상기와 같은 과정을 반복하면서 기계 연마 공정이 진행되며, 연마 공정이 진행되는 동안 웨이퍼에는 일종의 냉각수인 연삭수가 부어진다.

그러나, 종래 기술에 따른 웨이퍼 연마장치는 휠이 두 개의 척 테이블 중 하나 위에 위치하기 때문에 1회 공정 시에 휠이 하나의 턴 테이블에 올려진 하나의 웨이퍼만 연마할 수 있어 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

또한, 종래의 웨이퍼 연마장치는 두 개의 척 테이블에 각각 구동장치가 구비되기 때문에 웨이퍼들이 올려지는 척 테이블들의 회전 속도 차이가 발생할 수 있고, 고속 회전하는 휠이 서로 다른 속도로 회전하는 웨이퍼와 각각 접한 상태에서 연마가 이뤄질 수 있으며, 이로 인하여 웨이퍼마다 연마 정도의 차이가 발생하여 품질을 저하시킬 수 있는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 1회 공정 시에 여러 개의 웨이퍼를 연마시킬 수 있는 웨이퍼 연마장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 여러 개의 웨이퍼를 동일한 속도로 회전시키면서 연마가 이루어지도록 하는 웨이퍼 연마장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 회전 가능하게 설치된 턴 테이블(Turn table); 상기 턴 테이블의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 위치하고, 웨이퍼가 올려지는 적어도 세 개 이상의 척 테이블(Chuck table); 상기 척 테이블마다 웨이퍼를 안착 또는 회수하는 트랜스퍼 암(Transfer arm); 및 상기 턴 테이블의 상측에 상하 이동 및 회전 가능하게 설치되고, 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 표면을 동시에 연삭하는 휠(Wheel);을 포함하고, 연마 가공 시에 상기 휠에 구비된 팁(Tip)이 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 반경에만 곡선 접촉한 상태에서 연마가 이루어지도록, 상기 척 테이블들은 상기 턴 테이블 위에 경사지도록 설치되는 웨이퍼 연마장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에서, 상기 트랜스퍼 암이 웨이퍼를 하나의 척 테이블에 안착 또는 회수하면, 360°를 상기 척 테이블의 수만큼 나눈 각도로 상기 턴 테이블을 회전시키는 턴 테이블 구동장치;를 더 포함할 수 있다.

바람직하게는, 상기 척 테이블들은 상기 턴 테이블에 네 개가 설치되고, 상기 턴 테이블 구동장치는 90°로 상기 턴 테이블을 회전시킬 수 있다.

삭제

또한, 본 발명에서, 상기 척 테이블들을 동시에 회전시키는 척 테이블 구동장치;를 더 포함할 수 있다.

바람직하게는, 상기 척 테이블 구동장치는, 상기 척 테이블들 사이에 위치한 모터와, 상기 척 테이블들의 중심에 하향 돌출된 회전축들과, 상기 모터의 동력을 상기 회전축들로 전달하는 벨트들을 포함할 수 있다.

삭제

삭제

삭제

한편, 본 발명은 회전 가능하게 설치된 턴 테이블(Turn table); 상기 턴 테이블의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 위치하고, 웨이퍼가 올려지는 네 개의 척 테이블(Chuck table); 상기 척 테이블마다 웨이퍼를 안착 또는 회수하는 트랜스퍼 암(Transfer arm); 상기 턴 테이블의 상측에 상하 이동 및 회전 가능하게 설치되고, 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 표면을 동시에 연삭하는 휠(Wheel); 상기 트랜스퍼 암이 웨이퍼를 하나의 척 테이블에 안착 또는 회수하면, 90°로 상기 턴 테이블을 회전시키는 턴 테이블 구동장치; 및 상기 척 테이블들을 동시에 회전시키는 척 테이블 구동장치;를 포함하고, 연마 가공 시에 상기 휠에 구비된 팁(Tip)이 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 반경에만 곡선 접촉한 상태에서 연마가 이루어지도록, 상기 척 테이블들은 상기 턴 테이블 위에 경사지도록 설치되는 웨이퍼 연마장치를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치는 여러 개의 척 테이블에 웨이퍼들이 순차적으로 올려지면, 휠이 웨이퍼들을 동시에 연마시키기 때문에 1회 공정 시에 여러 개의 웨이퍼를 연마시킬 수 있어 생산성을 높일 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치는 여러 개의 척 테이블을 하나의 척 테이블 구동장치에 의해 회전되기 때문에 웨이퍼들이 올려진 여러 개의 척 테이블을 동일한 속도로 회전시킬 수 있어 웨이퍼들의 연마 정도를 균일하게 유지시킬 뿐 아니라 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 주요부가 도시된 평면도.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 주요부가 도시된 측면도.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치에서 척 테이블과 그 구동장치가 도시된 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치에서 척 테이블과 그 구동장치가 도시된 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 척 테이블이 도시된 측면도.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 척 테이블이 도시된 평면도.

이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.

도 1 내지 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 주요부가 도시된 도면이다.

본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치는 기계적 연마 공정에 해당되는 장치에 한정하여 설명하기로 하며, 웨이퍼를 이동시키는 트랜스퍼 암을 비롯하여 휠을 구동시킬 뿐 아니라 일종의 냉각수를 휠로 공급하는 스핀들 등과 같은 장치에 대한 설명은 생략하기로 한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 주요부는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 턴 테이블(11)과, 턴 테이블 구동장치(12,13)와, 휠(15)과, 네 개의 척 테이블들(21,22,23,24)과, 척 테이블 구동장치(30,31,32,33,34)로 이루어지며, 상기 휠(15)이 상기 척 테이블들(21,22,23,24)에 올려진 웨이퍼들(1,2,3,4)을 동시에 연삭시킬 수 있다.

상기 턴 테이블(11)은 원판 형상으로 형성되며, 그 위에 상기 척 테이블들(21,22,23,24)이 회전 가능하게 설치된다.

상기 턴 테이블 구동장치(12,13)는 상기 턴 테이블(11) 측면에 구비된 턴 테이블 구동모터(12)와, 상기 턴 테이블 구동모터(12)의 동력을 상기 턴 테이블(11)을 회전시키도록 전달하는 턴 테이블 구동벨트(13)로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 턴 테이블 구동모터(12)는 상기 턴 테이블(11)을 일정 각도로 회전시키는 일종의 스텝 모터가 적용될 수 있으며, 상기 턴 테이블(11)의 회전 각도는 360°를 상기 척 테이블들(21,22,23,24)의 개수로 나눈 각도로써, 트랜스퍼 암이 웨이퍼를 올리기 용이하게 상기 척 테이블들(21,22,23,24)이 위치하도록 상기 턴 테이블(11)을 회전시키는 각도이다. 또한, 상기 턴 테이블 구동벨트(13)는 상기 턴 테이블 구동모터(12)의 회전축과 상기 턴 테이블(11)의 원주를 감싸도록 설치되며, 상기 턴 테이블 구동벨트(13)의 탈거를 방지하기 위하여 상기 턴 테이블 구동모터(12)의 회전축과 상기 턴 테이블(11)의 원주에 풀리가 구비될 수 있다.

상기 휠(15)은 웨이퍼의 표면을 연삭시키는 원판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상기 휠(15)은 상하 이동 및 회전 가능하도록 설치되며, 상기 척 테이블들(21,22,23,24)의 중심 즉, 상기 턴 테이블(11)의 중심과 일치하도록 그 위에 설치될 수 있다.

또한, 상기 휠(15)은 웨이퍼의 표면을 연삭시키는 팁(16)이 구비되는데, 상기 휠 팁(16)은 상기 척 테이블들(21,22,23,24)과 마주보는 상기 휠(15)의 하면 원주에 하향 돌출된 링 형태로 구성될 수 있으며, 상기 휠(15)의 하향 이동 시에 상기 휠 팁(16)이 상기 척 테이블들(21,22,23,24)에 놓인 웨이퍼들(1,2,3,4)의 표면과 동시에 맞닿을 수 있도록 설치된다. 이때, 상기 휠(15)은 하향 이동되는 속도 및 회전하는 속도가 조정될 수 있으며, 상기 휠의 이동 속도 및 회전 속도를 통하여 제작사에서 요구하는 품직 즉, 웨이퍼의 표면을 연마하는 정밀도를 조절할 수 있다.

상기 척 테이블들(21,22,23,24)은 웨이퍼들(1,2,3,4)이 올려지는 홈이 구비된 원판 형상으로 형성되며, 웨이퍼들(1,2,3,4)을 진공 흡입하여 홈에 안착시킴으로 웨이퍼들(1,2,3,4)을 고정시키도록 구성될 수 있다. 이때, 상기 척 테이블들(21,22,23,24)은 상기 턴 테이블(11) 위에 원주 방향으로 일정 간격을 두고 회전 가능하게 설치되며, 바람직하게는 네 개가 90°간격으로 설치될 수 있다. 물론, 상기 척 테이블들(21,22,23,24)은 상기 턴 테이블(11)을 관통하도록 설치되며, 회전 구동시키도록 하향 돌출된 회전축들(21a,22a,미도시)이 구비될 수 있으며, 상기 척 테이블 회전축들(21a,22a,미도시)은 그 하단이 로터리 조인트(21c,22c,미도시)에 의해 회전 가능하도록 지지될 수 있다..

또한, 상기 척 테이블들(21,22,23,24)은 상기 턴 테이블(11) 위에 각각의 틸트 장치(21b,22b,미도시)에 의해 지지되며, 상기 틸트 장치(21b,22b,미도시)가 조정됨에 따라 상기 척 테이블들(21,22,23,24)을 상기 턴 테이블(11)에 대해 경사지도록 하여 그 위에 올려진 웨이퍼들(1,2,3,4)의 표면 형상을 조절할 수 있다. 이때, 상기 틸트 장치(21b,22b,미도시)는 상기 척 테이블(21,22,23,24)의 하부 즉, 척 테이블 베이스의 하면을 세 부분에서 지지하는 틸트 유닛을 포함할 수 있으며, 한 개의 틸트 유닛은 고정되지만, 두 개의 틸트 유닛은 상하 이동되면서 상기 척 테이블(21,22,23,24)의 경사 위치 및 경사 정도를 조절할 수 있다.

도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치에서 척 테이블과 그 구동장치가 도시된 도면이다.

상기 척 테이블 구동장치(30,31,32,33,34)는 상기 턴 테이블(11)의 중심에 설치된 척 테이블 구동모터(30)와, 상기 척 테이블 구동모터(30)의 동력을 상기 척 테이블들(21,22,23,34)을 동시에 회전시키도록 전달하는 턴 테이블 구동벨트들(31,32,33,34)로 이루어질 수 있다.

상기 척 테이블 구동모터(30)는 상기 척 테이블들(21,22,23,24)에 회전력을 균일하게 전달할 수 있도록 상기 척 테이블 회전축들(21a,22a,미도시)과 동일한 간격을 유지하도록 설치되며, 바람직하게는 상기 턴 테이블(11)의 중심에 설치될 수 있다.

상기 척 테이블 구동벨트들(31,32,33,34)은 상기 척 테이블 구동모터(30)의 회전축과 상기 척 테이블 회전축들(21a,22a,미도시)을 각각 연결하도록 설치되며, 상기 척 테이블 구동벨트들(31,32,33,34)의 탈거를 방지하기 위하여 상기 척 테이블 구동모터(30)의 회전축과 상기 척 테이블 회전축들(21a,22a,미도시)에 각각 풀리가 구비될 수 있다. 물론, 상기 척 테이블 구동벨트들(31,32,33,34)은 상기 척 테이블 구동모터(30)의 회전축에 상하 방향으로 일정한 간격을 두고 설치되며, 상기 척 테이블 구동모터(30)의 회전력을 동일하게 상기 척 테이블 회전축들(21a,22a,미도시)로 전달한다.

도 5 내지 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치의 척 테이블이 도시된 도면이다.

상기 척 테이블들(21,22,23,34)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 틸트 장치(21b,22b,미도시)에 의해 경사가 조절됨에 따라 웨이퍼의 표면 형상을 조절하며, 상기 틸트 장치(21b,22b)에 의해 조절되지 않더라도 도 5에 도시된 바와 같이 상기 척 테이블(21)은 상기 턴 테이블(11 : 도 1에 도시)에 경사지도록 설치됨에 따라 웨이퍼(1) 역시 소정 각도(α)로 경사지도록 위치되며, 도 6에 도시된 바와 같이 연마 공정 시에 휠 팁(16 : 도 1에 도시)이 웨이퍼(1)의 표면 중 중심으로부터 원주까지 곡선 형태로 접촉한 연마 위치(1a)가 생기며, 이러한 연마 위치(1a)가 웨이퍼의 중심을 기준으로 회전되면서 웨이퍼(1)의 표면 전체를 연마시킨다.

바람직하게는, 상기 척 테이블들(21,22,23,34)을 상기 턴 테이블(11) 상에 시계 방향으로 상향 경사지도록 고정시키는데, 도 1에 도시된 바와 같이 실제 상기 휠 팁(16)과 접촉하는 웨이퍼들(1,2,3,4)의 연마 위치(1a,2a,3a,4a)는 각각 시계 방향에 위치하도록 조절될 수 있다. 이때, 상기 휠(15)과 척 테이블들(21,22,23,34)은 반시계 방향으로 회전하는 경우에 한정되며, 상기 휠(15)의 회전 속도가 상기 척 테이블들(21,22,23,34)의 회전속도보다 훨씬 빠르게 작동되는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성된 웨이퍼 연마장치에 의해 기계적 연마 공정을 도 1 및 도 2를 참조하여 살펴보면, 다음과 같다.

트랜스퍼 암이 웨이퍼(1)를 첫번째 척 테이블(21)에 올리면, 상기 턴 테이블 구동모터(11)가 구동됨에 따라 상기 턴 테이블(21)이 일정 각도 회전하고, 두번째 척 테이블(22)이 트랜스퍼 암에 근접한 위치에 오면, 트랜스퍼 암이 다른 웨이퍼(2)를 두번째 척 테이블(22)에 올리는 과정을 반복하여 네 개의 척 테이블(21,22,23,34)에 모두 웨이퍼(1,2,3,4)를 올리도록 한다.

미리 입력된 값에 따라 휠(15)의 상하 이동 속도 및 회전 속도가 결정되면, 상기 휠(15)이 하향 이동되는 동시에 회전되고, 상기 척 테이블 구동모터(30)가 구동됨에 따라 상기 척 테이블 구동벨트(31,32,33,34)를 통하여 상기 척 테이블들(21,22,23,24)이 동시에 같은 속도로 회전된다. 따라서, 상기 휠 팁(16)이 웨이퍼들(1,2,3,4)의 표면과 접촉하면서 동시에 연마 공정이 이루어지며, 하나의 휠 팁(16)이 균일한 속도로 회전하는 웨이퍼들(1,2,3,4)을 연마할 수 있어 균일한 연마 정도를 구현할 수 있다. 물론, 연마 공정이 진행되는 동안, 상기 휠(15)을 통하여 일종의 냉각수인 연삭수가 공급되어 상기 휠(15)과 웨이퍼들(1,2,3,4) 사이의 과열을 방지한다.

또한, 상기 척 테이블들(21,22,23,24)이 상기 턴 테이블(11) 상에 시계 방향으로 경사지도록 설치되고, 상기 휠 팁(16)이 웨이퍼들(1,2,3,4)의 중심으로부터 원주까지 연결된 곡선 형태로 접촉하는 연마 위치(1a,2a,3a,4a)가 유지된다. 따라서, 상기 휠 팁(16)이 웨이퍼들(1,2,3,4)의 직경을 가로질러 모두 접촉하는 것보다 웨이퍼들(1,2,3,4)의 반경을 가로질러 접촉하기 때문에 상대적으로 연마 부하를 저감시킬 수 있고, 상기 휠 팁(16)과 웨이퍼들(1,2,3,4)이 접촉하지 않는 부분을 통하여 원활하게 연삭수가 빠져나가도록 한다.

상기와 같은 연마 공정이 완료되면, 트랜스퍼 암이 상기 척 테이블들(21,22,23,34)에 올려진 웨이퍼들(1,2,3,4)을 하나씩 내리는데, 상기에서 상기 척 테이블들(21,22,23,24)에 웨이퍼들(1,2,3,4)을 올리는 과정과 동일하게 이루어진다.

11 : 턴 테이블 12 : 턴 테이블 구동모터
13 : 턴 테이블 구동벨트 21,22,23,24 : 척 테이블
30 : 척 테이블 구동모터 31,32,33,34 : 척 테이블 구동벨트

Claims (10)

1. 회전 가능하게 설치된 턴 테이블(Turn table);
   상기 턴 테이블의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 위치하고, 웨이퍼가 올려지는 적어도 세 개 이상의 척 테이블(Chuck table);
   상기 척 테이블마다 웨이퍼를 안착 또는 회수하는 트랜스퍼 암(Transfer arm); 및
   상기 턴 테이블의 상측에 상하 이동 및 회전 가능하게 설치되고, 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 표면을 동시에 연삭하는 휠(Wheel);을 포함하고,
   연마 가공 시에 상기 휠에 구비된 팁(Tip)이 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 반경에만 곡선 접촉한 상태에서 연마가 이루어지도록, 상기 척 테이블들은 상기 턴 테이블 위에 경사지도록 설치되는 웨이퍼 연마장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 트랜스퍼 암이 웨이퍼를 하나의 척 테이블에 안착 또는 회수하면, 360°를 상기 척 테이블의 수만큼 나눈 각도로 상기 턴 테이블을 회전시키는 턴 테이블 구동장치;를 더 포함하는 웨이퍼 연마장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 척 테이블들은 상기 턴 테이블에 네 개가 설치되고,
   상기 턴 테이블 구동장치는 90°로 상기 턴 테이블을 회전시키는 웨이퍼 연마장치.
4. 삭제
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 척 테이블들을 동시에 회전시키는 척 테이블 구동장치;를 더 포함하는 웨이퍼 연마장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 척 테이블 구동장치는,
   상기 척 테이블들 사이에 위치한 모터와,
   상기 척 테이블들의 중심에 하향 돌출된 회전축들과,
   상기 모터의 동력을 상기 회전축들로 전달하는 벨트들을 포함하는 웨이퍼 연마장치.
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 회전 가능하게 설치된 턴 테이블(Turn table);
    상기 턴 테이블의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 위치하고, 웨이퍼가 올려지는 네 개의 척 테이블(Chuck table);
    상기 척 테이블마다 웨이퍼를 안착 또는 회수하는 트랜스퍼 암(Transfer arm);
    상기 턴 테이블의 상측에 상하 이동 및 회전 가능하게 설치되고, 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 표면을 동시에 연삭하는 휠(Wheel);
    상기 트랜스퍼 암이 웨이퍼를 하나의 척 테이블에 안착 또는 회수하면, 90°로 상기 턴 테이블을 회전시키는 턴 테이블 구동장치; 및
    상기 척 테이블들을 동시에 회전시키는 척 테이블 구동장치;를 포함하고,
    연마 가공 시에 상기 휠에 구비된 팁(Tip)이 상기 척 테이블들에 놓인 웨이퍼들의 반경에만 곡선 접촉한 상태에서 연마가 이루어지도록, 상기 척 테이블들은 상기 턴 테이블 위에 경사지도록 설치되는 웨이퍼 연마장치.
    
    
    

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