JP6457275B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
1 研削装置
21 チャックテーブル
21b 保持面
20 保持手段
41 研削手段
46 研削ホイール
48 砥石
48a 研削面
50 傾き調整手段
Claims (1)
- 板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルを回転可能に装着する保持手段と、
該チャックテーブルで保持する該板状ワークを環状に配設された砥石を備える研削ホイールの研削面で研削する研削手段と、
該保持手段と該研削手段とを相対的に傾き調整させる傾き調整手段と、を備えた研削装置であって、
該板状ワークは、中央部分が凹んで中央部分から外周部分に向かって上側に反った形状を有しており、
該チャックテーブルの該保持面は、回転中心を含む中央部分が上方に突出しつつも、該中央部分から径方向外側に向かうに従って徐々に高くなるように傾斜し、上方に突出した該中央部分より外周部分が高い中凹形状に形成され、
該チャックテーブルは、該板状ワークを該保持面の形状に倣わせるように吸引保持し、
該傾き調整手段は、該保持面の中心から外周に至る半径部分と該砥石の該研削面とが平行となるように該保持手段と該研削手段との傾き関係を調整し、
該研削手段は、該研削ホイールを回転させ、回転する該チャックテーブルに保持された該板状ワークの中心から外周に至る半径部分に該研削面を接触させてインフィード研削を実施する研削装置。
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