KR100863901B1 - 증착용 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법 및 이를이용한 유기 el 소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
실시예1 | 실시예2 | 실시예3 | 비교예1 | 비교예2 | 비교예3 | 비교예4 | |
△Pt | ±5㎛ | ±5㎛ | ±5㎛ | ±10㎛ | ±5㎛ | ±5㎛ | ±5㎛ |
△X | ±3㎛ | ±3㎛ | ±3㎛ | ±3㎛ | ±3㎛ | ±3㎛ | ±3㎛ |
△Ws1 | ±5㎛ | ±5㎛ | ±5㎛ | ±5㎛ | ±10㎛ | ±10㎛ | ±10㎛ |
화소 피치 | 130ppi | 150ppi | 100ppi | 130ppi | 130ppi | 100ppi | 100ppi |
개구율 | 60% | 55% | 69% | 60% | 60% | 69% | 58% |
휘도불량율 | 0% | 0% | 0% | 9% | 14% | 12% | 0% |
혼색발생율 | 0% | 0% | 0% | 3% | 5% | 3% | 0% |
맹점발생율 | 0% | 0% | 0% | 0% | 1.2% | 1.2% | 1.2% |
화소쇼트발생율 | 0% | 0% | 0% | 0% | 0.5% | 0.5% | 0.5% |
Claims (12)
- 박판으로 이루어지고, 소정 패턴의 개구부들이 형성된 마스크;상기 마스크의 일면에서 상기 마스크에 인장력이 가하여지도록 지지하는 프레임; 및상기 마스크의 타면에서 상기 프레임에 대응되는 마스크의 부분을 지지하는 커버 마스크;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 1 항에 있어서,상기 마스크는 니켈 또는 니켈과 코발트의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 2 항에 있어서,상기 마스크는 전주(electro forming)법에 의해 구비된 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크, 프레임 및 커버 마스크는 용접에 의해 접합되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 제 4 항에 있어서,상기 용접은 점 용접에 의해 이루어지되, 그 용접점 간의 간격인 용접 피치가 3㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체.
- 마스크 패턴에 대응되는 패턴을 가지는 전착용 플레이트를 이용하여 금속을 소정의 두께로 전주(electro forming)법에 의해 전착하는 공정;상기 전착용 플레이트로부터 마스크를 분리하는 공정; 및상기 분리된 마스크에 인장력을 가한 상태에서 일면에 프레임과 상기 프레임에 대응되는 타면에 커버 마스크를 배치하여 상기 커버 마스크, 마스크 및 프레임을 용접하는 공정;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 마스크는 니켈 또는 니켈과 코발트의 합금에 의해 전착되는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
- 절연 기판 상에 소정 패턴의 제 1 전극층을 형성하는 공정;상기 제 1 전극층 상부로 적어도 소정 패턴의 발광층을 포함하는 유기막을 형성하는 공정;상기 유기막의 상부로 소정 패턴의 제 2 전극층을 형성하는 공정; 및상기 제 2 전극층의 외부를 밀봉하는 공정;을 포함하되,상기 유기막 및 제 2 전극층의 적어도 하나는 박판으로 이루어지고, 소정 패턴의 개구부들이 형성된 마스크와, 상기 마스크의 일면에서 상기 마스크에 인장력이 가하여지도록 지지하는 프레임과, 상기 마스크의 타면에서 상기 프레임에 대응되는 마스크의 부분을 지지하는 커버 마스크로 구비된 증착용 마스크 프레임 조립체를 이용하여 증착하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 마스크는 니켈 또는 니켈과 코발트의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 마스크는 전주(electro forming)법에 의해 구비된 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
- 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크, 프레임 및 커버 마스크는 용접에 의해 접합되는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 용접은 점 용접에 의해 이루어지되, 그 용접점 간의 간격인 용접 피치가 3㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
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