KR100858521B1 - 검사를 이용하여 제품을 생산하는 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
또한 본 발명에 따르면, 픽셀 어레이를 갖춘 카메라를 이용하여 물체의 기복을 측정하기 위한 방법이 제공되며, 상기 방법은,
a) 기준 물체 상에 그리드를 투사하는 단계 - 상기 그리드는 상기 카메라와 상기 기준 물체에 대해 제1 위치에 위치됨 - ;
b) 상기 투사된 그리드에 의해 조명되는 상기 기준 물체의 이미지를 상기 카메라를 이용하여 촬영하는 단계 - 상기 기준 물체의 이미지는 각 픽셀에 대해 세기값을 가짐 - ;
c) 각 픽셀에 대해 적어도 3개의 세기값을 산출하기 위해, 상기 카메라와 상기 기준 물체에 대해 2개의 상이한 알려진 위치에 위치된 상기 그리드를 이용하여 단계 a) 및 b)를 적어도 2회 반복하는 단계;
d) 대응하는 픽셀에 대한 상기 적어도 3개의 기준 물체 세기값을 이용하여, 각 픽셀에 대한 기준 물체 위상을 계산하는 단계;
e) 상기 물체 상에 상기 그리드를 투사하는 단계 - 상기 그리드는 상기 제1 위치에 위치됨 - ;
f) 상기 투사된 그리드에 의해 조명되는 상기 물체의 이미지를 상기 카메라를 이용하여 촬영하는 단계 - 상기 물체의 이미지는 각 픽셀 위치에 대해 세기값을 가짐 - ;
g) 각 픽셀에 대해 적어도 3개의 세기값을 산출하기 위해, 상기 2개의 상이한 위치에 위치된 상기 그리드를 이용하여 단계 e) 및 f)를 적어도 2회 반복하는 단계;
h) 대응하는 픽셀에 대한 상기 적어도 3개의 물체 세기값을 이용하여, 각 픽셀 위치에 대한 물체 위상을 계산하는 단계;
i) 대응하는 픽셀에 대한 상기 기준 물체 위상 및 상기 물체 위상을 이용하여, 각 픽셀에 대한 상기 물체와 상기 기준 물체 사이의 고도차를 계산하는 단계; 및
j) 상기 물체의 기복을 판단하기 위해, 상기 각 픽셀에 대한 상기 물체와 상기 기준 물체 사이의 상기 고도차를 이용하는 단계
를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 픽셀 어레이를 갖춘 카메라를 이용하여, 대체로 평면인 기판 상에 장착된 적어도 1개의 물체를 포함하는 모듈의 고도를 측정하기 위한 방법이 제공되며, 상기 방법은,
a) 상기 모듈 상으로 그리드를 투사하는 단계 - 상기 그리드는 상기 카메라와 상기 모듈에 대해 제1 위치에 위치됨 - ;
b) 상기 투사된 그리드에 의해 조명되는 상기 모듈의 이미지를 상기 카메라를 이용하여 촬영하는 단계 - 상기 모듈의 이미지는 각 픽셀에 대해 세기값을 가짐 - ;
c) 각 픽셀에 대해 적어도 3개의 세기값을 산출하기 위해, 상기 카메라와 상기 모듈에 대해 2개의 상이한 알려진 위치에 위치된 상기 그리드를 이용하여 단계 a) 및 b)를 적어도 2회 반복하는 단계;
d) 대응하는 픽셀에 대한 상기 적어도 3개의 모듈 세기값을 이용하여, 각 픽셀에 대한 모듈 위상을 계산하는 단계;
e) 상기 적어도 1개의 물체에 대응하지 않는 상기 모듈의 이미지 상의 픽셀로부터의 상기 적어도 3개의 세기값을 이용함으로써, 상기 기판의 상보 위상을 계산하는 단계;
f) 대응하는 픽셀에 대한 상기 모듈 위상 및 상기 기판의 상보 위상을 이용하여, 각 픽셀에 대해 상기 적어도 1개의 물체의 고도를 계산하는 단계;
g) 상기 기준 평면 상으로 상기 그리드를 투사하는 단계 - 상기 그리드는 상기 제1 위치에 위치됨 - ;
h) 상기 투사된 그리드에 의해 조명되는 상기 기준 평면의 이미지를 상기 카메라를 이용하여 촬영하는 단계 - 상기 기준 평면의 이미지는 각 픽셀 위치에 대해 세기값을 가짐 - ;
i) 각 픽셀에 대해 적어도 3개의 세기값을 산출하기 위해, 상기 2개의 상이한 위치에 위치된 상기 그리드를 이용하여 단계 g) 및 h)를 적어도 2회 반복하는 단계;
j) 대응하는 픽셀에 대한 상기 적어도 3개의 기준 평면 세기값을 이용하여, 각 픽셀 위치에 대한 기준 평면 위상을 계산하는 단계;
k) 대응하는 픽셀에 대한 상기 기준 평면 위상 및 상기 기판의 상보 평면 위상을 이용하여, 각 픽셀에 대한 상기 기판의 고도를 계산하는 단계; 및
l) 상기 기판의 고도와 상기 적어도 1개의 물체의 고도를 가산함으로써, 상기 모듈의 고도를 계산하는 단계
를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 물체의 기복을 측정하기 위한 시스템이 제공되며, 상기 시스템은,
그리드 투사 조립체 - 상기 그리드 투사 조립체는 그리드, 상기 그리드를 통해 상기 물체 상으로 투사될 광원을 포함하는 조명 조립체 및 상기 그리드를 상기 물체 상으로 투사하는 프로젝터를 포함하고, 상기 그리드는 지지대에 장착되어 있음 - ;
픽셀 어레이를 갖춘 카메라를 포함하는 이미지 획득 장치; 및
컴퓨터
를 포함하고,
상기 컴퓨터는,
a) 상기 물체 및 상기 이미지 획득 장치에 대해 상기 그리드를 배치하고;
b) 상기 이미지 획득 장치로부터 상기 물체 상으로 투사된 상기 그리드의 적어도 3개의 이미지 및 기준 물체 상으로 투사된 상기 그리드의 적어도 3개의 이미지를 수신하며 - 상기 물체 상으로 투사된 상기 그리드의 상기 각 이미지는 상기 그리드의 상이한 알려진 위치에 대응하고, 상기 기준 물체 상으로 투사된 상기 그리드의 상기 각 이미지는 상기 그리드의 상기 알려진 위치 중 하나에 대응함 - ;
c) 대응하는 픽셀에 대한 적어도 3개의 기준 물체 세기값을 이용하여, 각 픽셀에 대한 기준 물체 위상을 계산하고;
d) 대응하는 픽셀에 대한 적어도 3개의 물체 세기값을 이용하여, 각 픽셀에 대한 물체 위상을 계산하며;
e) 대응하는 픽셀에 대한 상기 기준 물체 위상 및 상기 물체 위상을 이용하여, 각 픽셀에 대한 상기 물체와 상기 기준 물체 사이의 고도차를 계산하도록 구성된다.
이하에서는 첨부된 도면의 도1 및 도2를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따라 물체의 기복을 측정하기 위한 시스템(10)에 대해서 설명된다.
Claims (8)
- 검사를 이용하여 제품을 생산하는 방법에 있어서,검사되지 않은 물체를 포함하는 제품을 제공하는 단계와,상기 물체의 복수의 위치에서의 고도를 결정하는 단계와,상기 고도를 이용하여 상기 제품을 합격 또는 불합격시키는 단계를포함하고,상기 고도 결정 단계는복수의 그리드 위치에서 상기 물체 상에 그리드를 투사하는 단계와,상기 물체의 이미지를 만들어 원하는 픽셀 위치의 각각 및 상기 복수의 그리드 위치의 각각에 대해 세기값을 얻는 단계 - 여기서, 픽셀 위치의 각각에 대한 상기 세기값들의 개수는 상기 물체의 고도를 세기값에 관련시키는 방정식들을 푸는데 필요한 각 픽셀에 대한 세기값들의 개수보다 하나 이상 많음 - 와,대응되는 물체의 고도가 결정되는 각 픽셀에 대해 상기 방정식들을 푸는데 필요한 상기 개수의 세기값들을 제공하기 위해 상기 픽셀 위치의 각각에 대한 상기 세기값들 중 유리한 것들을 선택하는 단계와,상기 픽셀 위치의 각각에 대한 상기 세기값들 중 상기 선택된 세기값들을 이용하여 상기 물체 상의 상기 복수의 위치에서 상기 물체의 고도를 결정하는 단계를구비하는 것을 특징으로 하는 제품 생산 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 그리드는 백색광 그리드인 것을 특징으로 하는 제품 생산 방법.
- 검사를 이용하여 제품을 생산하는 방법에 있어서,검사되지 않은 물체를 포함하는 제품을 제공하는 단계;복수의 그리드 위치에서 상기 물체 상에 그리드를 투사하는 단계;각각의 원하는 픽셀 위치 및 상기 복수의 그리드 위치의 각각에 대해 세기값을 획득하기 위해서, 상기 물체를 촬영하는 단계 - 여기서, 상기 촬영은 획득되는 상기 물체의 3D 데이터를 고려함 - ;상기 물체의 2차원 이미지를 재구성하기 위해서, 상기 그리드 위치 중 적어도 2개의 위치로부터의 세기값을 합성하는 단계;상기 물체의 예비 분석(preliminary analysis)을 수행하기 위해서, 상기 2차원 이미지를 이용하는 단계; 및상기 제품을 합격 또는 불합격시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 생산 방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 물체 상의 상기 원하는 픽셀 위치에서 상기 물체의 고도값을 결정하기 위해서, 상기 세기값을 이용하는 단계를 더 포함하고,여기서, 상기 제품을 합격 또는 불합격시키는 단계는, 상기 제품을 합격 또는 불합격시키는데 상기 고도값을 이용하는 단계를 포함하는것을 특징으로 하는 제품 생산 방법.
- 제 5 에 있어서,상기 그리드 위치 중 적어도 2개의 위치는, 180도의 위상차를 갖는 2개의 위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 생산 방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 그리드는 백색광 그리드인 것을 특징으로 하는 제품 생산 방법.
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