JP6894280B2 - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
y′ = (ymin+ymax)/2 (6)
21 カメラユニット
23 投射ユニット
30 制御ユニット
Claims (5)
- 短周期の縞パターンが投影された被検査体の画像である短周期測定画像を取得するステップと、
長周期の縞パターンに同期した固定パターンが投影された被検査体の画像である固定測定画像を取得するステップと、
前記固定測定画像から、前記固定パターンの像の位置を検出するステップと、
前記長周期の縞パターンが投影された基準平面の画像であって、予め取得されている長周期基準画像に基づいて、前記像の位置の位相である長周期位相を決定するステップと、
前記短周期の縞パターンが投影された基準平面の画像であって、予め取得されている短周期基準画像に基づいて、前記像の位置の位相である短周期位相を決定するステップと、
前記像の位置ごとに、前記長周期位相と、前記短周期位相とから、前記被検査体の高さを算出するステップと、を有し、
前記固定パターンは、ドットであることを特徴とする検査方法。 - 前記固定パターンの像の位置を検出するステップは、前記固定測定画像を複数の領域に分割し、前記領域ごとに当該領域に含まれる前記像の位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- 前記固定パターンの像の位置を検出するステップの前に、前記固定測定画像を2値化するステップを有することを特徴とする請求項1または2に記載の検査方法。
- 前記固定測定画像を2値化するステップは、前記短周期測定画像の輝度情報に基づいて、2値化の閾値を決定することを特徴とする請求項3に記載の検査方法。
- 被検査体に対してパターンを投射する投射ユニットと、
前記パターンが投射された前記被検査体の画像を取得するカメラユニットと、
前記画像を記憶する記憶部と、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の検査方法により前記被検査体の高さを算出する制御ユニットと、を有することを特徴とする検査装置。
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