KR100832472B1 - 기판이송장치 - Google Patents

Abstract

바닥면에 놓여지는 프레임과, 상기 프레임의 상측에 설치된 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러로 이루어진 이송유닛과, 상기 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정수행위치로 반송시키도록 상기 이송유닛에 진입하여 기판을 반송시키는 포크가 구비된 반송로봇 및 상기 이송롤러의 사이에 배치되는 링크롤러와, 상기 링크롤러를 회동시켜 상기 포크가 진입하는 포크진입공간을 형성되도록 하는 링크부재가 구비된 링크유닛을 포함하는 기판이송장치를 개시한다. 이러한 기판이송장치는 링크유닛에 의해 기판의 반송 시 반송로봇의 포크가 이송유닛 측으로 진입할 수 있는 포크진입공간을 형성함으로써 기판을 반송하는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

기판이송장치{The substrate transfer}

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치 중 링크유닛을 도시한 사시도이다.

도 3a,b는 본 발명에 따른 링크유닛의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**

10 : 프레임 20 : 이송유닛

21 : 이송축 22 : 이송모터

23 : 이송롤러 24 : 지지대

30 : 반송로봇 33 : 포크

40 : 링크유닛 41 : 링크롤러

42 : 링크부재 43 : 제1링크

44 : 제2링크 45 : 제3링크

46 : 구동부 49 : 포크진입공간

본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다.

최근 들어 정보처리기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빠라진 정보처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보처리기기는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이장치를 가진다. 종래에 사용된 디스플레이장치로는 브라운관(Cathode ray tube)모니터가 사용되어 왔으나, 최근 들어 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판디스플레이의 사용이 급격히 증가되고 있다. 이러한 평판디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시소자(Liquid crystal display;LCD)가 널리 사용되고 있다.

액정표시소자의 제작을 위해서는 복수의 단위공정이 수행되는데, 이러한 복수의 단위공정을 수행하기 위해서는 각 단위공정간 이송유닛이 구비된 기판이송장치를 통해 기판(Glass substrate)을 이송하게 된다.

한편, 상술한 기판이송장치에는 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 반송시키기 위한 반송로봇이 더 마련된다. 이와 같은 반송로봇에는 기판을 지지하여 반송하는 포크가 끝단에 마련되는데, 이 포크를 이용하여 이송유닛 상에 놓여 있는 기판을 반송하기 위해서는 포크가 이송유닛 측으로 진입하여 기판을 지지할 수 있는 공간이 이송유닛에 마련되어야 한다. 이를 위해 기판이송장치에는 승강프레임과, 이 승강프레임을 승강시키는 승강부를 포함하는 승강유닛이 마련되어 포크의 진입 시 포크와 기판이송장치가 충돌하는 것을 방지하게 된 다.

그러나, 종래의 기판이송장치에서는 기판의 반송 시 승강유닛을 승강시키는데 소요되는 시간만큼 기판의 반송이 지연되어 물류상에 있어서 전체의 주원인으로 작용하고 생산성 저하의 원인이 된다.

또한, 이를 방지하기 위해 승강유닛이 승강되는 속도를 높이게 되면 승강유닛과 기판의 접촉 시 충격이 발생되어 기판이 손상되는 원인이 되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 이송과정에서 공정수행위치로 기판의 반송 시 대기 시간을 최소화할 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판이송장치는 바닥면에 놓여지는 프레임과, 상기 프레임의 상측에 설치된 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러로 이루어진 이송유닛과, 상기 각 이송롤러의 사이에 배치되는 링크롤러와, 상기 링크롤러를 회동시켜 상기 각 이송롤러의 사이에 포크진입공간을 형성시키는 링크부재와, 상기 링크부재를 이동시켜 상기 링크롤러를 회동 가능하게 하는 구동부를 구비하는 링크유닛과, 상기 링크롤러의 회동에 따라 상기 각 이송롤러의 사이에 형성된 포크진입공간으로 진입되어 상기 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정수행위치로 반송시키는 포크가 구비된 반송로봇을 포함하는 것을 특징으로 한다.

삭제

.상기 링크부재는 상기 이송축의 하측에 마련되는 다수의 제1링크와, 상기 각 제1링크에서 상부로 경사지게 연장되어 그 상단이 상기 이송롤러의 사이에 마련되도록 하는 다수의 제2링크와, 상기 각 제1링크의 일측단에 연결되는 제3링크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 링크롤러는 상기 제2링크의 상단에 마련되며, 상기 구동부는 상기 제3링크의 일측에 마련된 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치 중 링크유닛을 도시한 사시도이고, 도 3a,b는 본 발명에 따른 링크유닛을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치는 바닥면에 놓여지는 프레임(10)과, 이 프레임(10)의 상측에 마련되어 기판을 일방향으로 이송시키는 이송유닛(20)과, 이 이송유닛(20)에 의해 이송되는 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 반송시키는 반송로봇(30)을 포함한다.

구체적으로, 이송유닛(20)은 프레임(10) 상면 양 가장자리에 각각 마련되는 지지대(24)와, 각 지지대(24) 사이에 설치되는 다수의 이송축(21)과, 이 이송 축(21)과 연결되어 이송축(21)을 회전시키는 이송모터(22)와, 각 이송축(21) 상에 설치되어 이송모터(22)에 의한 이송축(21)의 회전 시 회전되는 이송롤러(23)를 포함한다.

여기서, 이송모터(15)는 다수의 이송축(14) 각각에 연결되어 다수의 이송축(14)을 회전시킬 수 있고, 다수의 이송축(14) 중 어느 하나의 이송축에 연결되고 기어나 풀리 등의 부재로 다른 이송축과 연결됨으로써 다수의 이송축(14)을 회전시킬 수도 있다.

반송로봇(30)은 승강운동하는 구동축(31)과, 이 구동축(31)의 상부에 마련되어 신축 및 회전운동하도록 다수의 링크를 구비한 로봇암(32)과, 이 로봇암(32)의 끝단에 마련되어 기판을 지지할 수 있는 포크(33)를 포함한다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판을 공정수행위치로 반송시키기 위하여 이송유닛(20)에는 반송로봇(30)의 포크(33)가 진입할 수 있도록 포크진입공간(49)이 형성되어야 한다. 이를 위해 본 발명에 따른 기판이송장치에는 포크진입공간(49)을 형성하기 위한 링크유닛(40)을 더 포함하고 있다.

이때, 링크유닛(40)은 이송롤러(23)의 사이에 배치되는 링크롤러(41)와, 이 링크롤러(41)를 하측으로 회동 가능하게 하는 링크부재(42)와, 이 링크부재(42)를 움직여 링크롤러(41)를 회동시키는 구동부(46)를 포함한다.

구체적으로, 링크부재(42)는 프레임(10)의 내부에서 이송축(21)의 하측에 마련되는 다수의 제1링크(43)와, 각 제1링크(43)로부터 상부로 경사지게 연장된 제2링크(44)와, 각 제1링크(43)의 일측단에 연결되는 제3링크(45)로 이루어진다. 여기 서, 제1링크(43)는 상술한 바와 같이 이송축(21)의 하측에 마련되되 이송축(21)의 배열방향과 같도록 배치된다.

링크롤러(41)는 제2링크(44)의 상단에 장착되며, 이송롤러(23)의 사이 즉, 이송롤러(23)에 의한 기판의 이송방향과 같은 방향으로 배치된다. 이와 같은 링크롤러(41)는 이송유닛(20)에 의해 기판의 이송 시 링크롤러(41)의 상단의 높이가 이송롤러(23)의 상단의 높이와 같으며, 반송로봇(30)에 의해 기판의 반송 시 반송로봇(30)의 포크(33)가 진입할 수 있도록 즉, 포크진입공간(49)이 형성되도록 링크롤러(41)의 상단이 이송롤러(23)의 하측으로 내려가게 된다.

구동부(46)는 제3링크(45)의 일측에 연결되어 이 제3링크(45)를 수평방향으로 밀어줌으로써 링크롤러(41)를 회동 가능하게 하는 역할을 수행한다. 이때의 구동부(46)는 에어실린더 또는 유압실린더 일 수 있다.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작과 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 기판이송장치에서 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 이송하기 위해서는 도 3a에 도시된 바와 같이 가장 먼저 이송유닛(20)을 통해 이송되는 기판을 반송로봇(30)이 설치된 이송유닛(20)의 위치로 이송한다.

상기와 같이 기판이 반송로봇(30)이 설치된 이송유닛(20)의 위치로 이송하는 과정은 이송모터(22)를 회전시켜 이 이송모터(22)와 연결된 이송축(21)이 회전되고, 이 이송축(21)이 회전됨에 따라 이송롤러(23)가 회전되어 이송롤러(23)의 상면에 접촉되는 기판이 일방향으로 이송된다.

이 후 도 3b에 도시된 바와 같이 기판의 이송이 완료되면 링크유닛(40)의 구동부(46)를 작동시켜 제3링크(45)를 수평방향으로 밀어주게 된다. 이와 같이 수평방향으로 밀린 제3링크(45)는 이 제3링크(45)와 연결된 각 제1링크(43)를 수평방향으로 움직이게 하고, 제3링크(45)에 의해 움직이는 각 제1링크(43)는 이 제1링크(43)와 연결된 제2링크(44)를 하측으로 회동시키게 된다. 즉, 제2링크(44)가 하측으로 회동됨으로써 이 제2링크(44) 뿐만 아니라 제2링크(44)에 장착된 링크롤러(41)가 회동되어 이송롤러(23)의 사이 사이에 포크진입공간(49)을 형성하게 된다.

다음으로 링크유닛(40)이 작동되어 포크진입공간(49)이 형성되면 반송로봇(30)의 포크(33)가 포크진입공간(49)으로 진입되어 기판의 하면을 지지하여 후속 공정이 수행되는 위치로 반송하게 된다.

따라서, 본 발명에서는 링크유닛에 의해 포크진입공간이 형성되어 기판을 반송시키는데 소요되는 시간이 단축시킬 수 있으므로 전반적인 기판의 생산효율을 증대시킬 수 있다. 그리고, 본 발명에서는 링크유닛에 의해 포크진입공간이 형성되어 종래와 같이 승강유닛에 기판이 충돌되는 것을 사전에 방지할 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송장치는 링크유닛을 통해 반송로봇의 포크가 진입할 수 있는 포크진입공간을 형성하여 기판이 이송되는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 바닥면에 놓여지는 프레임;

   상기 프레임의 상측에 설치된 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러로 이루어진 이송유닛;

   상기 각 이송롤러의 사이에 배치되는 다수의 링크롤러와, 상기 각 링크롤러를 회동시켜 상기 각 이송롤러의 사이에 포크진입공간을 형성시키는 링크부재와, 상기 링크부재를 이동시켜 상기 각 링크롤러를 회동 가능하게 하는 구동부를 구비하는 링크유닛;

   상기 각 링크롤러의 회동에 따라 상기 각 이송롤러의 사이에 형성된 포크진입공간으로 진입되어 상기 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정수행위치로 반송시키는 포크가 구비된 반송로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 링크부재는 상기 이송축의 하측에 마련되는 다수의 제1링크와, 상기 각 제1링크에서 상부로 경사지게 연장되어 그 상단이 상기 이송롤러의 사이에 마련되도록 하는 다수의 제2링크와, 상기 각 제1링크의 일측단에 연결되는 제3링크를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 링크롤러는 상기 제2링크의 상단에 각각 마련되며, 상기 구동부는 상기 제3링크의 일측에 마련된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 각 링크롤러는 상기 각 이송롤러의 사이에 배치될 때 그 상단의 높이가 상기 각 이송롤러의 상단의 높이와 같게 배치되어 기판의 이송을 보조하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.

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