KR101000494B1 - 이송장치 - Google Patents

Abstract

이송장치가 개시된다. 본 발명의 이송장치는, 제1 높이의 선상에서 피이송물을 이송시키는 제1 이송유닛; 제1 높이보다 높은 제2 높이의 선상에서 피이송물을 이송시키는 제2 이송유닛; 및 제1 및 제2 이송유닛 사이에 마련되어 피이송물을 제1 이송유닛으로부터 제2 이송유닛으로 전달하며, 높이 방향을 따라 다수의 피이송물을 상호 이격되게 적재하여 제1 및 제2 높이로 피이송물을 업/다운(up/down)시키는 리프터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래 리프터를 구비한 이송장치에 비해 피이송물의 이송 속도를 증가시키면서도 장비의 풋 프린트(foot print)가 현저히 증가되는 것을 방지할 수 있으며, 전반적으로 피이송물의 이송에 따른 택트 타임(tact time)을 종래보다 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

이송장치{TRANSFERRING APPARATUS}

본 발명은, 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 종래 리프터를 구비한 이송장치에 비해 피이송물의 이송 속도를 증가시키면서도 장비의 풋 프린트(foot print)가 현저히 증가되는 것을 방지할 수 있으며, 전반적으로 피이송물의 이송에 따른 택트 타임(tact time)을 종래보다 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 이송장치에 관한 것이다.

이송장치란 피이송물을 이송하는 장치이다. 여기서, 피이송물이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer), 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이나 카세트가 될 수 있을 뿐만 아니라 일반적인 박스(box)를 비롯한 각종 다양한 물류품이 될 수 있다. 하지만, 설명의 편의를 위해 이하에서는 LCD 기판에 대하여 한정하여 설명하기로 한다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다. 평면디스플레이는 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 이러한 평면디스플레이에는 LCD, PDP 및 OLED 등의 기판이 있다.

이들 중에서도 특히, LCD는 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다. LCD는 현재, 전자시계를 비롯하여, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.

종전만 하더라도 LCD TV는 20 인치 내지 30 인치 정도의 크기를 가지며, 모니터는 17 인치 이하의 크기를 갖는 것이 주류였다. 하지만, 근자에 들어서는 40 인치 이상의 대형 TV와 20 인치 이상의 대형 모니터에 대한 선호도가 높아지고 있다.

따라서 LCD를 제조하는 제조사의 경우, 보다 넓은 유리기판을 제작하기에 이르렀다. 현재에는 가로/세로의 폭이 1950/2250 ㎜ 이거나 1870/2200 ㎜인 7세대, 혹은 2160/2460 ㎜ 이상인 8세대까지 유리기판의 크기를 증가시키는 연구가 진행되고 있다.

한편 LCD는 일반적으로 유리(Glass) 재질로 이루어지기 때문에 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 취성을 갖는다. 따라서 LCD를 제조하는 전 공정 단계로부터 후 공정 단계에 이르기까지 LCD가 훼손되지 않고 효율적으로 보관 및 이송될 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있을 것임에 틀림이 없다.

특히, 앞서도 기술한 바와 같이, 근자에 들어서는 7세대 혹은 8세대 등으로 LCD(이하, 기판이라 함)의 크기가 커지고 두께가 얇아짐에 따라 기판의 보관 및 이송, 특히 이송에 있어 각별한 주의가 요구되고 있다. 통상의 이송장치는 주로 롤러 타입으로 적용되는 것으로 알려지고 있으나 반드시 그러한 것은 아니다.

한편, 이송장치를 통해 기판을 이송함에 있어, 동일한 높이의 선상에서 기판을 이송하는 경우도 있지만, 예를 들어 1층 높이의 선상에서 이송되던 기판을 2층 또는 그 이상의 높이(2층 높이라 함)로 업(up)시켜 2층 높이의 선상으로 기판을 이송시켜야 하는 경우도 발생한다. 이는 기판의 이송라인에 간섭 장비가 존재하거나 혹은 2층 높이의 위치에서 기판을 다른 설비로 투입할 필요가 있을 경우에 해당한다.

기판의 이송을 위한 종래의 이송장치는, 제1 높이의 선상에서 기판을 이송시키는 제1 이송유닛과, 제2 높이의 선상에서 기판을 이송시키는 제2 이송유닛과, 제1 및 제2 이송유닛 사이에 마련되며 1층 높이에서 이송되는 기판을 2층 높이로 업(up)시키는 리프터를 구비한다. 리프터는 단순 승하강(up/down) 동작이 가능한 예컨대, 엘리베이터 등으로 적용된다.

이러한 구성에 의해, 제1 이송유닛을 통해 제1 높이의 선상에서 이송되던 기판이 리프터에 도달되면, 기판은 리프터의 상승 동작에 의해 제2 높이로 업(up)된 후, 제2 이송유닛을 통해 제2 높이의 선상을 따라 이송될 수 있게 된다.

그런데, 이러한 종래의 이송장치에 있어서는, 리프터의 상승 및 하강 동작이 진행되는 동안에는 제1 및 제2 이송유닛이 일시 정지하거나 아무런 동작을 하지 못하고 대기해야만 하기 때문에 전반적으로 택트 타임(tact time)이 증가되어 생산성을 저하되는 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해소하기 위해 리프터의 속도를 증가시키거나 혹은 리프터를 병렬로 즉 리프터를 추가로 더 마련하는 방안이 고려될 수 있으나, 리프터의 속도를 증가시키는 경우에는 기판 이송 시의 안전성 등에 문제가 있을 수 있으므로 다소 제한적일 수밖에 없으며, 단순하게 리프터를 병렬로 배치하는 경우(추가로 배치하는 경우)에는 장비의 풋 프린트(foot print)가 현저히 증가되고 비용이 증가하기 때문에 바람직하지 못한 것으로 예상되므로 이에 대한 적절한 대책이 요구된다.

본 발명의 목적은, 종래 리프터를 구비한 이송장치에 비해 피이송물의 이송 속도를 증가시키면서도 장비의 풋 프린트(foot print)가 현저히 증가되는 것을 방지할 수 있으며, 전반적으로 피이송물의 이송에 따른 택트 타임(tact time)을 종래보다 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 이송장치를 제공하는 것이다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 제1 높이의 선상에서 피이송물을 이송시키는 제1 이송유닛; 상기 제1 높이보다 높은 제2 높이의 선상에서 피이송물을 이송시키는 제2 이송유닛; 및 상기 제1 및 제2 이송유닛 사이에 마련되어 상기 피이송물을 상기 제1 이송유닛으로부터 상기 제2 이송유닛으로 전달하며, 높이 방향을 따라 다 수의 상기 피이송물을 상호 이격되게 적재하여 상기 제1 및 제2 높이로 상기 피이송물을 업/다운(up/down)시키는 리프터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 리프터는, 상호간 이격되게 배치되는 다수의 회전축; 상기 다수의 회전축에 각각 결합되고 제1 피이송물이 접촉지지되는 제1 접촉지지부; 및 상기 다수의 회전축 사이사이에서 업/다운(up/down) 가능하게 마련되고 제2 피이송물이 접촉지지되는 제2 접촉지지부를 포함할 수 있다.

상기 제1 접촉지지부는 상기 다수의 회전축에 결합되는 롤러 타입으로 마련되고, 상기 제2 접촉지지부는 진공 흡착 타입으로 마련될 수 있다.

상기 리프터는, 상하 방향을 따라 배치되고 상단부가 상기 제2 접촉지지부에 결합되는 다수의 업/다운 컬럼; 상기 다수의 업/다운 컬럼의 하부 영역에서 상기 다수의 업/다운 컬럼을 지지하는 컬럼 지지부; 및 상기 컬럼 지지부에 연결되어 상기 컬럼 지지부를 업/다운 구동시키는 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 다수의 업/다운 컬럼은 상기 회전축들 사이사이에 한 쌍씩 배치될 수 있으며, 한 쌍의 업/다운 컬럼들을 가로 방향으로 연결하여 상기 업/다운 컬럼들과 함께 터널 구조를 형성하는 연결부를 더 포함할 수 있다.

상기 리프터는, 상기 회전축, 상기 제1 접촉지지부 및 상기 제2 접촉지지부를 부분적으로 지지하는 본체부; 및 상기 본체부에 결합되어 상기 본체부를 업/다운 구동시키는 메인 업/다운 구동유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 리프터는, 상기 다수의 회전축에 각각 마련되어 상기 다수의 회전축을 정역 방향으로 회전구동시키는 다수의 회전구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 다수의 회전구동부는, 접촉식 개별구동모터 방식 및 비접촉식 자석 방식 중에서 어느 한 방식으로 마련될 수 있다.

상기 제1 이송유닛의 상기 리프터 측 단부 영역과, 상기 제2 이송유닛의 상기 리프터 측 단부 영역 중에서 어느 한 영역에는 적어도 하나의 버퍼용 피이송물 대기유닛이 더 마련될 수 있다.

상기 피이송물은 LCD(Liquid Crystal Display) 기판일 수 있다.

본 발명에 따르면, 종래 리프터를 구비한 이송장치에 비해 피이송물의 이송 속도를 증가시키면서도 장비의 풋 프린트(foot print)가 현저히 증가되는 것을 방지할 수 있으며, 전반적으로 피이송물의 이송에 따른 택트 타임(tact time)을 종래보다 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 피이송물이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer), 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이(tray)나 카세트(cassette)가 될 수 있을 뿐만 아니라 일반적인 박스(box)를 비롯한 각종 다양한 물류품이 될 수 있다. 하지만, 설명의 편의를 위해 이하의 실시예에서는 피이송물을 LCD 기판이라 하여 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치의 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 사시도이며, 도 3은 제2 접촉지지부의 상승 동작을 도시한 리프터의 확대 사시도이고, 도 4는 제2 접촉지지부의 하강 동작을 도시한 리프터의 확대 사시도이며, 도 5 내지 도 12는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치의 동작을 단계적으로 도시한 측면도들이다.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 이송장치는, 제1 높이(h1, 도 2 참조)의 선상에서 기판을 이송시키는 제1 이송유닛(100)과, 제1 높이(h1)보다 높은 제2 높이(h2, 도 5 내지 도 12 참조)의 선상에서 기판을 이송시키는 제2 이송유닛(200)과, 제1 및 제2 이송유닛(100,200) 사이에 마련되어 제1 및 제2 기판(도 8 참조)을 제1 이송유닛(100)으로부터 제2 이송유닛(200)으로 전달하며, 높이 방향을 따라 제1 및 제2 기판을 상호 이격되게 적재하여 제1 및 제2 높이(h1,h2)로 제1 및 제2 기판을 업/다운(up/down)시키는 리프터(300)를 구비한다.

제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200) 모두는, 기판을 X축으로 이송시키는 역할을 하므로 도시된 바와 같이, 롤러 타입(roller type)으로 적용될 수 있다. 즉, 제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200)은, 다수의 회전축(110,210)과, 다수의 회전축(110,210)에 결합되어 다수의 회전축(110,210)을 개별적으로 회전구동시키는 다수의 개별구동모터(130,230)와, 다수의 회전축(110,210) 각각에 결합되어 기판을 회전 가능하게 지지하는 다수의 구동롤러(120,220)를 구비한다.

이에, 다수의 개별구동모터(130,230)에 의해 다수의 회전축(110,210)이 회전하면서 그에 결합된 구동롤러(120,220)들을 회전시키면 구동롤러(120,220)들의 상면에 접촉된 기판은 구동롤러(120,220)들의 회전 방향을 따라 X축 방향으로 이송될 수 있게 된다.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200)은, 컨베이어 타입(conveyor type)이나 스테이지 타입(stage type)으로 대체될 수도 있다. 특히, 제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200)이 스테이지 타입으로 적용되는 경우라면 기판을 소정 높이 업(up)시키기 위한 공기부상모듈(미도시)이 함께 적용되는 것이 유리할 것이다.

제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200)에 구비된 다수의 구동롤러(120,220)는 기판에 스크래치가 발생되지 않도록 유연한 재질로 제작될 수 있다. 그리고 다수의 회전축(110,210)은 그 회전 속도의 제어가 용이하도록 단일의 구동모터(미도시)에 의해 일괄적으로 함께 회전될 수 있지만, 반드시 그러한 것은 아니므로 전술한 바와 같이 다수의 개별구동모터(130,230)에 의해 다수의 회전축(110,210) 각각이 개별적으로 회전되도록 할 수도 있다.

도시하고 있지는 않지만 제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200)에는 이송되는 기판에 대한 얼라인(align) 작업을 진행하는 얼라인부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 이러한 얼라인부는 상호간 접근 및 이격되는 동작에 의해 기판의 양측면을 가압함으로써 기판을 바르게 정렬시키는 간단한 구조로 적용될 수 있다.

제1 이송유닛(100)과 제2 이송유닛(200)에는 기판이 진입되어 이송되는 방향을 따라 다수의 진입감지센서(S1,S2)가 더 마련되어 있다. 다수의 진입감지센서(S1,S2)는 기판의 진입 위치에 기초하여 개별구동모터(130,230)들의 개별적인 제어를 통해 회전축(110,210)들의 속도를 줄이거나 정지시키기 위한 감지 신호를 발생시키는 역할을 한다. 물론, 이러한 역할 외에도 진입감지센서(S1,S2)들은 다수의 전달유닛(300a,300b)의 동작과 관련된 소정의 신호를 제공하는 역할을 겸할 수도 있다.

한편, 리프터(300)는 앞서도 기술한 바와 같이, 제1 및 제2 이송유닛(100,200) 사이에 마련되어 제1 및 제2 기판(도 8 참조)을 제1 이송유닛(100)으로부터 제2 이송유닛(200)으로 전달하는 역할을 한다.

특히, 본 실시예의 리프터(300)는 제1 및 제2 이송유닛(100,200) 사이에 간섭 장비가 존재하거나 혹은 제2 높이(h2)의 위치에서 제1 및 제2 기판을 다른 설비로 투입해야 하는 경우에 제1 이송유닛(100)을 따라 제1 높이(h1)의 선상에서 이송되는 제1 및 제2 기판을 제2 높이(h2)로 업(up)시킨 후, 제2 이송유닛(200)으로 전달하는 역할을 한다.

이처럼 리프터(300)가 한번에 2개의 제1 및 제2 기판을 이송시키는 역할을 하기 때문에 전반적으로 종래의 이송장치에 비해 기판의 이송 속도를 증가시키면서도 장비의 풋 프린트(foot print)가 현저히 증가되는 것을 방지할 수 있으며, 또한 기판의 이송에 따른 택트 타임(tact time)을 종래보다 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.

이러한 역할을 담당하는 리프터(300)에 대해 살펴보면, 본 실시예의 리프터(300)는, 본체부(310)와, 본체부(310)에 결합되어 본체부(310)를 업/다운 구동시키는 메인 업/다운 구동유닛(320)과, 본체부(310)에서 상호간 이격되게 배치되는 다수의 회전축(330)과, 다수의 회전축(330)에 각각 결합되고 제1 기판이 접촉지지되는 제1 접촉지지부(340)와, 다수의 회전축(330) 사이사이에서 업/다운(up/down) 가능하게 마련되고 제2 기판이 접촉지지되는 제2 접촉지지부(350)를 구비한다.

본체부(310)는 리프터(300)의 외관을 이루는 부분으로서, 나머지 구성들은 실질적으로 본체부(310)에 결합된다. 따라서 도면과는 달리 본체부(310)에는 나머지 구성들이 직접 혹은 간접적으로 결합되기 위한 구조 및 주변 구조물들이 마련되어 있어야 하지만, 본 실시예에서는 편의를 위해 본체부(310)를 개략적으로 도시하고 있다.

메인 업/다운 구동유닛(320)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본체부(310)를 비롯하여 본체부(310)에 결합된 나머지 구성들을 일체로 업/다운시키는 역할을 한다. 이러한 메인 업/다운 구동유닛(320)으로는 업/다운 실린더나 혹은 업/다운 액추에이터, 또는 모터와 볼스크루 조합 구조에 의해 용이하게 구현될 수 있으므로 그에 따른 자세한 설명은 생략하기로 한다.

다수의 회전축(330)은 도 2에 도시된 바와 같이, 그 양단이 본체부(310)에 각각 결합되는 봉 형상의 부재로서 제1 접촉지지부(340)를 지지하는 역할을 한다. 도면에는 5개의 회전축(330)이 도시되어 있으나 회전축(330)의 개수, 그리고 회전축(330)의 길이 및 회전축(330)들 간의 간격은 현장에 맞게 적절하게 설계될 수 있다.

제1 접촉지지부(340)는 도 8에 도시된 바와 같이 리프터(300)가 업(up)되기 전에 제1 기판이 접촉지지되는 부분이다. 실제로 그 동작을 보면 도 8에서 제2 기판이 먼저 들어와서 일단 제1 접촉지지부(340)에 접촉지지된 후 최종적으로 제2 접촉지지부(350)에 접촉지지되고, 제1 기판이 나중에 들어와서 최종적으로 제1 접촉지지부(340)에 접촉지지되고 있기는 하지만, 설명의 편의를 위해 도 8에 도시된 그대로를 제1 및 제2 기판이라 하고, 이들이 각각 접촉지지되는 것을 제1 접촉지지부(340) 및 제2 접촉지지부(350)라 하기로 한다.

이러한 제1 접촉지지부(340)는 도시된 바와 같이 다수의 회전축(330)에 각각 결합된다. 본 실시예에서는 제1 접촉지지부(340)를 롤러 타입으로 마련하고 있다. 이 경우, 롤러 타입의 제1 접촉지지부(340)는 별도의 동력원에 의해 회전될 수 있는데, 이를 위해 다수의 회전구동부(331)가 더 마련된다.

회전구동부(331)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 회전축(330)에 각각 마련되어 다수의 회전축(330)을 정역 방향으로 회전구동시키는 역할을 한다. 이러한 회전구동부(331)는 접촉식 개별구동모터 방식이나 비접촉식 자석 방식 중에서 어느 한 방식으로 적용될 수 있다. 전자는 다수의 회전축(330) 각각에 개별구동모터를 직접 연결하여 회전축(330)들이 회전되도록 하여 제1 접촉지지부(340)들을 회전시키는 방식이고, 후자는 다수의 회전축(330) 각각에 마련하기는 하되 상호 이격되게 배치된 한 쌍의 자석에 의한 자력에 의해 회전축(330)들이 회전되도록 하여 제1 접촉지지부(340)들을 회전시키는 방식이다.

제2 접촉지지부(350)는 도 8에 도시된 바와 같이 리프터(300)가 업(up)되기 전에 제2 기판이 접촉지지되는 부분이다. 전술한 바와 같이 제1 접촉지지부(340)가 롤러 타입으로 마련되는데 반해 본 실시예에서 제2 접촉지지부(350)는 진공 흡착 타입으로 마련될 수 있다. 즉 진공의 흡인력에 의해 제2 기판이 접촉지지되도록 제2 접촉지지부(350)가 마련된다. 물론, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 제2 접촉지지부(350) 역시 롤러 타입으로 마련해도 무방하다.

이러한 제2 접촉지지부(350)는 도 6 및 도 7과 같이, 제1 접촉지지부(340)의 하방으로 다운(down)되거나 혹은 업(up)되는 동작을 가짐으로써 리프터(300)에 높이 방향으로 2개의 기판이 적재될 수 있도록 한다.

이를 위해, 제2 접촉지지부(350)를 업/다운시키기 위한 수단이 요구되는데 이러한 수단은, 상하 방향을 따라 배치되고 상단부가 제2 접촉지지부(350)에 결합되는 다수의 업/다운 컬럼(351)과, 다수의 업/다운 컬럼(351)의 하부 영역에서 다수의 업/다운 컬럼(351)을 지지하는 컬럼 지지부(352)와, 컬럼 지지부(352)에 연결되어 컬럼 지지부(352)를 업/다운 구동시키는 업/다운 구동부(353)와, 한 쌍의 업/다운 컬럼(351)들을 가로 방향으로 연결하는 연결부(354)로 용이하게 구현될 수 있다.

다수의 업/다운 컬럼(351)은 회전축(330)들 사이사이에 한 쌍씩 배치된다. 본 실시예의 경우에는 5개의 회전축(330)이 마련되어 있으므로 다수의 업/다운 컬 럼(351)은 총 8개가 마련될 수 있다.

컬럼 지지부(352)는 8개의 업/다운 컬럼(351)을 지지하여 8개의 업/다운 컬럼(351)이 한번에 업/다운될 수 있도록 하는 역할을 한다. 물론, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 업/다운 컬럼(351)들의 업/다운 동작 제어가 가능하다면 굳이 컬럼 지지부(352)를 마련할 필요는 없다.

업/다운 구동부(353)는 전술한 메인 업/다운 구동유닛(320)처럼 업/다운 실린더나 혹은 업/다운 액추에이터, 또는 모터와 볼스크루 조합 구조에 의해 용이하게 구현될 수 있으므로 그에 따른 자세한 설명은 생략하기로 한다.

연결부(354)는 업/다운 컬럼(351)들과 함께 한글 'ㄷ'자 형상의 터널 구조를 형성하기 위해 한 쌍의 업/다운 컬럼(351)들을 가로 방향으로 연결한다. 이와 같은 터널 구조가 적용되면 기판들의 이송 작업 시 간섭 현상이 발생되지 않는 이점이 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으므로 연결부(354) 역시 구성상 생략되어도 동작에는 아무런 무리가 없다.

이러한 구성을 갖는 이송장치를 통해 기판이 간섭 장비를 피해 제1 높이(hi)의 선상에서 제2 높이(h2)의 선상으로 이송되는 작용에 대해 도 5 내지 도 12를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 이송유닛(100)의 구동롤러(120)를 통해 기판이 제1 높이(h1)의 선상에서 이송된다. 이 경우 리프터(300)는 제1 이송유닛(100)과 나란하게, 즉 제1 높이(h1)의 선상에 배치되며, 제2 접촉지지부(350)는 업/다운 구동부(353)의 다운(down) 동작에 의해 제1 접촉지지부(340)의 하방에 배 치된다.

다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 이송유닛(100)의 구동롤러(120)를 통해 이송된 기판은 우선 리프터(300)의 제1 접촉지지부(340)에 접촉지지된다. 그런 다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 업/다운 구동부(353)의 업(up) 동작에 의해 업/다운 컬럼(351)들이 회전축(330)들 사이사이에서 솟아오르게 됨에 따라 제2 접촉지지부(350)는 제1 접촉지지부(340)에 접촉지지된 기판을 들고 업(up)된다. 도 7과 같은 상태에서 제2 접촉지지부(350)에는 진공에 의한 흡인력으로 기판을 흡착하며, 이러한 동작과 병행하여 새로운 기판이 제1 이송유닛(100)의 구동롤러(120)를 통해 리프터(300) 측으로 이송된다.

다음, 이송되는 새로운 기판은 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 접촉지지부(340)로 이송되어 제1 접촉지지부(340)에 접촉지지된다. 도 8에 보면 제2 기판이 이미 제2 접촉지지부(350)에 접촉지지된 상태에서 제1 접촉지지부(340)의 상부에 배치된 상태이기는 하지만, 제2 접촉지지부(350)의 주변 구조, 다시 말해 제2 접촉지지부(350), 업/다운 컬럼(351) 및 연결부(354)에 의해 형성되는 라인이 터널 구조를 이루기 때문에 새로운 기판인 제1 기판이 터널 구조를 통과하여 제1 접촉지지부(340)에 접촉지지되는 데에는 아무런 무리가 없다.

도 8과 같이 리프터(300)에 2개의 기판이 적재되고 나면, 도 9에 도시된 바와 같이, 리프터(300)가 업(up)된다. 즉 메인 업/다운 구동유닛(320)의 동작에 기인하여 리프터(300)가 업(up)됨에 따라 적재된 2개의 기판은 제2 높이(h2)의 선상으로 업(up)된다.

다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 리프터(300)의 회전축(330)들에 구비된 회전구동부(331)가 동작되어 회전축(330)들을 회전시키고, 이에 연동하여 제1 접촉지지부(340)가 일 방향으로 회전됨에 따라 제1 접촉지지부(340) 상의 기판은 제2 이송유닛(200)의 구동롤러(220)로 이송된다. 이 때는 제2 이송유닛(200)의 구동롤러(220) 역시 개별구동모터(230)에 의해 회전한다.

적재된 2개의 기판 중에서 하부의 기판이 제2 이송유닛(200)으로 이송되고 나면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상부의 기판을 지지하던 제2 접촉지지부(350)가 업/다운 구동부(353)의 다운(down) 동작에 의해 하강된다.

상부의 기판을 지지하던 제2 접촉지지부(350)가 다운(down)되면서 제1 접촉지지부(340)의 사이사이에서 하방으로 더 하향되면, 제2 접촉지지부(350)에 접촉지지되던 기판은 자연스럽게 제1 접촉지지부(340) 상으로 옮겨진다.

상부의 기판이 제1 접촉지지부(340) 상으로 옮겨지고 나면 도 12에 도시된 바와 같이, 리프터(300)의 회전축(330)들에 구비된 회전구동부(331)가 동작되어 회전축(330)들을 회전시키고, 이에 연동하여 제1 접촉지지부(340)가 일 방향으로 회전됨에 따라 제1 접촉지지부(340) 상의 기판은 제2 이송유닛(200)의 구동롤러(220)로 이송될 있게 된다.

이처럼 2개의 기판이 모두 이송 완료되면, 다시 도 5의 위치로 리프터(300)가 하강되어 전술한 동작을 반복하면서 또 다른 기판들을 이송시키게 된다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 종래 리프터를 구비한 이송장치(미도시)에 비해 피이송물인 기판의 이송 속도를 증가시키면서도 장비의 풋 프린트가 현저히 증가되는 것을 방지할 수 있으며, 전반적으로 피이송물인 기판의 이송에 따른 택트 타임(tact time)을 종래보다 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.

도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치의 측면도이다.

이 도면을 참조하면, 전술한 실시예와는 달리, 제1 이송유닛(100)의 리프터(300) 측 단부 영역과, 제2 이송유닛(200)의 리프터(300) 측 단부 영역에는 2개씩의 버퍼용 피이송물 대기유닛(400a,400b)이 더 마련되어 있다.

도 13과 같이 버퍼용 피이송물 대기유닛(400a,400b)이 더 마련되는 경우, 피이송물인 기판의 이송 작업이 좀 더 빠르고 신속하게 이루어질 수 있어 그만큼 택트 타임 감소 효과를 기대할 수 있을 것이다.

전술한 실시예에서는 그 설명을 생략하였지만, 제1 접촉지지부의 주변에는 기판을 흡착하는 흡착수단이 더 구비될 수 있다. 흡착수단이 구비되는 경우, 리프터에 의해 기판이 업(up)되는 과정에서 롤러 타입의 제1 접촉지지부로부터 기판이 떨어지거나 혹은 기판의 흔들림에 의한 스크래치 발생 등을 미연에 차단할 수 있는 효과가 있을 것이다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치의 개략적인 평면도이다.

도 2는 도 1의 사시도이다.

도 3은 제2 접촉지지부의 상승 동작을 도시한 리프터의 확대 사시도이다.

도 4는 제2 접촉지지부의 하강 동작을 도시한 리프터의 확대 사시도이다.

도 5 내지 도 12는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치의 동작을 단계적으로 도시한 측면도들이다.

도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치의 측면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100 : 제1 이송유닛 200 : 제2 이송유닛

110,210 : 회전축 120,220 : 구동롤러

130,230 : 개별구동모터 300 : 리프터

310 : 본체부 320 : 메인 업/다운 구동유닛

330 : 회전축 340 : 제1 접촉지지부

350 : 제2 접촉지지부 351 : 업/다운 컬럼

352 : 컬럼 지지부 353 : 업/다운 구동부

354 : 연결부

Claims (10)

1. 제1 높이의 선상에서 피이송물을 이송시키는 제1 이송유닛;

   상기 제1 높이보다 높은 제2 높이의 선상에서 피이송물을 이송시키는 제2 이송유닛; 및

   상기 제1 및 제2 이송유닛 사이에 마련되어 상기 피이송물을 상기 제1 이송유닛으로부터 상기 제2 이송유닛으로 전달하며, 높이 방향을 따라 다수의 상기 피이송물을 상호 이격되게 적재하여 상기 제1 및 제2 높이로 상기 피이송물을 업/다운(up/down)시키는 리프터를 포함하며,

   상기 리프터는,

   상호간 이격되게 배치되는 다수의 회전축;

   상기 다수의 회전축에 각각 결합되고 제1 피이송물이 접촉지지되는 롤러 타입의 제1 접촉지지부;

   상기 다수의 회전축 사이사이에서 업/다운(up/down) 가능하게 마련되고 제2 피이송물이 접촉지지되는 진공 흡착 타입의 제2 접촉지지부; 및

   상기 다수의 회전축에 각각 마련되어 상기 다수의 회전축을 정역 방향으로 회전구동시키는 접촉식 개별구동모터 방식의 다수의 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,

   상기 리프터는,

   상하 방향을 따라 배치되고 상단부가 상기 제2 접촉지지부에 결합되는 다수의 업/다운 컬럼;

   상기 다수의 업/다운 컬럼의 하부 영역에서 상기 다수의 업/다운 컬럼을 지지하는 컬럼 지지부; 및

   상기 컬럼 지지부에 연결되어 상기 컬럼 지지부를 업/다운 구동시키는 업/다운 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 다수의 업/다운 컬럼은 상기 회전축들 사이사이에 한 쌍씩 배치되며,

   한 쌍의 업/다운 컬럼들을 가로 방향으로 연결하여 상기 업/다운 컬럼들과 함께 터널 구조를 형성하는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 리프터는,

   상기 회전축, 상기 제1 접촉지지부 및 상기 제2 접촉지지부를 부분적으로 지지하는 본체부; 및

   상기 본체부에 결합되어 상기 본체부를 업/다운 구동시키는 메인 업/다운 구동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
7. 삭제
8. 삭제
9. 제1항에 있어서,

   상기 제1 이송유닛의 상기 리프터 측 단부 영역과, 상기 제2 이송유닛의 상기 리프터 측 단부 영역 중에서 어느 한 영역에는 적어도 하나의 버퍼용 피이송물 대기유닛이 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
10. 제1항에 있어서,

    상기 피이송물은 LCD(Liquid Crystal Display) 기판인 것을 특징으로 하는 이송장치.

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