JP2009176858A - 基板受渡装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板の基板受渡装置にて、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置を提供する。
【解決手段】ローラ軸６１と直角な方向Ｘの一直線上に並列して設けられた複数個のローラ部６０と、ローラ部の下方にて、一直線上に設けられた伝動部７０とで構成されるローラコンベアモジュールが、その長手方向を基板搬送方向と平行にして基板搬送方向と直角方向に複数個が設けられ、ローラコンベアモジュールのローラ部上のガラス基板１の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンド４０が進入することのできる空間が設けられていること。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶表示装置用ガラス基板などのガラス基板の基板受渡装置に関するものであり、特に、ガラス基板をローラコンベアからロボットハンドに、或いはガラス基板をロボットハンドからローラコンベアに受渡す基板受渡装置に関する。

図１（ａ）は、基板受渡装置の一例の平面図である。この基板受渡装置は、基板処理装置の一連の処理部において処理が施されたガラス基板（１）が搬送されてくるローラコンベア（図示せず）の末端部に設けられたものである。
この基板受渡装置によって、ガラス基板（１）はロボットハンド（ロボットのフォーク）（４０）に受渡され、ロボットは、処理が施されたガラス基板（１）を、例えば、カセットなどに収納する。図１（ｂ）は、基板受渡装置の側断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）に示すように、この一例に示す基板受渡装置は、フレーム（２）、フレーム（２）に取付けられたローラ部（２０）、伝動部（３０）、定盤（４）、定盤（４）に取付けられた支持ピン（３）で構成されている。
ローラ部（２０）は、一対の搬送ローラ（２２）がローラ軸（２１）の５ヵ所に設けられており、ローラ部（２０）の長手方向を基板搬送方向（Ｘ軸）と直角にしてフレーム（２）間に水平に設けられている。

ローラ部（２０）は、白太矢印で示す、基板搬送方向から順に、第１列（Ｋ１）〜第５列（Ｋ５）の５列が同一面上に設けられており、ローラ軸（２１）の５ヵ所に設けられた、一対の搬送ローラ（２２）は、各一対の搬送ローラ（２２）が４本のロボットハンド（４０）の進入と干渉しないように、図１中、ａ線上〜ｅ線上（（ａ）〜（ｅ））に位置するように配置されている。
ローラ部（２０）は、伝動部（３０）を経て伝えられる回転駆動部（図示せず）の動力により回転し、ガラス基板（１）を搬送するようになっている。また、動力を停止することにより、ガラス基板（１）を搬送ローラ（２２）上に載置した状態に保持する。

支持ピン（３）は、定盤（４）上に基板搬送方向（Ｘ軸）と直角に、５ヵ所に列をなして設けられている。この列は、上記ローラ部（２０）の各列（Ｋ１〜Ｋ５）の間に、白太矢印で示す、基板搬送方向から順に、第１列（Ｌ１）〜第４列（Ｌ４）の４列が設けられており、上記５ヵ所の支持ピン（３）は、各々がロボットハンド（４０）の進入と干渉しないように、図１中、ａ線上〜ｅ線上（（ａ）〜（ｅ））に位置するように配置されている。

支持ピン（３）は、支持ピンの昇降機構（図示せず）により、昇降自在になっており、その上昇により、ガラス基板（１）を下面で支えて上方に持ち上げ、ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間にロボットハンド（４０）が進入できる間隔を設ける。

図１は、図１中右方にある、一連の処理部（図示せず）において処理が施されたガラス基板（１）が、白太矢印で示すように、基板受渡装置に搬送され、ローラ部（２０）上で停止し、ロボットハンド（４０）に受渡すためのアライメントが終了した段階を表したものである。４本のロボットハンド（４０）は、ガラス基板（１）が受渡される待機状態にある。
しかし、この状態では、ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間隔（Ｄ１）が小さく、ロボットハンド（４０）は、ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間に進入することはできない。

図２（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板（１）を基板受渡装置のローラ部（２０）上からロボットハンド（４０）上へ受渡す動作の説明図である。図２（ａ）は、図１（ｂ）に示す図であり、処理が施されたガラス基板（１）が、白太矢印で示すように、基板受渡装置に搬送され、ローラ部（２０）上で停止し、ロボットハンド（４０）に受渡すためのアライメントが終了した段階を表したものである。
図２（ｂ）に示すように、ガラス基板（１）の下方の支持ピン（３）は、上昇を開始しガラス基板（１）を下面で支えて上方に持ち上げ、ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間にロボットハンド（４０）が進入できる十分は間隔（Ｄ２）を設ける。

次に、図２（ｃ）に示すように、ロボットハンド（４０）が図２（ｃ）中、左方よりガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間の間隔（Ｄ２）に進入し、ガラス基板（１）の右端で進入を停止する。
次に、図２（ｄ）に示すように、支持ピン（３）が降下し、ガラス基板（１）をロボットハンド（４０）上へ受渡す。ロボットハンド（４０）は、図２（ｄ）中、左方へと戻り、処理が施されたガラス基板（１）を、例えば、カセットに収納する。

図３は、図１に示す基板受渡装置の駆動系の説明図である。図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は、（ａ）におけるＡ−Ａ線での断面図である。
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、この基板受渡装置の駆動系は、モ−タ（５１）と減速機（５２）からなる回転駆動部（５０）と、伝動軸（３１）とウオーム歯車機構（３２）からなる伝動部（３０）で構成されている。回転駆動部（５０）の回転動力が、伝動軸（３１）、ウオーム（３４）、ホイール（３３）を経てローラ軸（２１）に伝わり、搬送ローラ（２２）が矢印で示す方向に回転するようになっている。

この駆動系は、１系統であり、フレーム（２）の外側に設けられている。駆動系は、第１列（Ｋ１）〜第５列（Ｋ５）の５列のローラ部（２０）を一斉に回転するようになっている。当然ながら、図１（ａ）に示すａ線上〜ｅ線上（（ａ）〜（ｅ））の５ヵ所に取り付けられた搬送ローラ（２２）はローラ軸（２１）によって一斉に回転する。

しかしながら、この基板受渡装置では、前述のように、ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間隔（Ｄ１）が小さく、ロボットハンド（４０）は、ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間に進入することはできず、ガラス基板（１）を受渡す際には、その都度、支持ピン（３）を昇降させている。
つまり、一例として示す基板受渡装置は、支持ピン（３）、及び支持ピンの昇降機構を必要とし、また、ガラス基板（１）を受渡しには、支持ピンの昇降に伴う相応の時間を費やすことになる。

尚、上記説明は、ローラ部（２０）上からロボットハンド（４０）上にガラス基板（１）を受渡す際の、ローラコンベアの末端部に設けられた基板受渡装置を例示したものであるが、ガラス基板へ処理をする一連の処理部へガラス基板（１）を搬送する、ローラコンベアの先端部に設けられた基板受渡装置においても、この種の構造の基板受渡装置では、ロボットハンド（４０）上からローラ部（２０）上にガラス基板（１）を受渡す際には、その都度、支持ピンを昇降させている。

ガラス基板（１）とローラ軸（２１）との間隔（Ｄ１）が小さく、ロボットハンド（４０）はガラス基板（１）を載置した状態で降下し、ガラス基板（１）をローラ部（２０）上に受渡すことはできないので、支持ピン（３）を上昇させ、一旦、支持ピン（３）上にガラス基板（１）を移載し、ロボットハンド（４０）が水平に退却した後に、支持ピン（３）を降下させ支持ピン（３）からローラ部（２０）上にガラス基板（１）を受渡している。
つまり、ローラコンベアの先端部に設けられた基板受渡装置においても、この種の構造の基板受渡装置では、支持ピン（３）、及び支持ピンの昇降機構を必要とし、また、ガラス基板（１）を受渡しには、支持ピンの昇降に伴う相応の時間を費やすことになる。
特開平１０−３１０２４０号公報 特開２００６−１４０３８０号公報

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、ローラコンベアの末端部に設けられたガラス基板の基板受渡装置において、ローラ部上からロボットハンド上にガラス基板を受渡す際の、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置を提供することを課題とするものである。
また、本発明は、ローラコンベアの先端部に設けられたガラス基板の基板受渡装置において、ロボットハンド上からローラ部上にガラス基板を受渡す際の、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置を提供することを課題とする。

これにより、ローラ部上からロボットハンド上に、或いはロボットハンド上からローラ部上にガラス基板を受渡す基板受渡装置において、その機構が簡素化され、また、支持ピンの昇降に伴う相応の時間が短縮されたものとなる。

本発明は、ローラコンベアの末端部に配設され、該ローラコンベアで水平に搬送されてきた枚葉のガラス基板をローラ部上からロボットハンド上に受渡す基板受渡装置において、
１）ａ）前記ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に、一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して設けられた複数個のローラ部と、
ｂ）該複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線上に設けられた、ローラ部を回転するための動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、
２）その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して複数個が設けられ、
３）該複数個のローラコンベアモジュールのローラ部上にガラス基板が搬送されて載置された際に、ガラス基板の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンドが進入することのできる空間が設けられていることを特徴とする基板受渡装置である。

また、本発明は、上記発明による基板受渡装置において、前記ローラ部はローラ軸と搬送ローラで構成され、前記伝動部は伝動軸、ウオーム歯車機構、軸受、かさ歯車で構成され、伝動部の軸受は定盤上に設けられ支柱によって保持されていることを特徴とする基板受渡装置である。

また、本発明は、ローラコンベアの先端部に配設され、ロボットハンドで水平に搬送されてきた枚葉のガラス基板を該ロボットハンド上からローラ部上に受渡す基板受渡装置において、
１）ａ）前記ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に、一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して設けられた複数個のローラ部と、
ｂ）該複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線上に設けられた、ローラ部を回転するための動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、
２）その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して複数個が設けられ、
３）ガラス基板を載置したロボットハンドが該複数個のローラコンベアモジュール上方に移動し、降下してガラス基板をロボットハンド上からローラ部上に受渡す際に、ロボットハンドが降下しガラス基板をローラ部上に受渡し、また水平に退却するための空間が、ロボットハンドの下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向に設けられていることを特徴とする基板受渡装置である。

また、本発明は、上記発明による基板受渡装置において、前記ローラ部はローラ軸と搬送ローラで構成され、前記伝動部は伝動軸、ウオーム歯車機構、軸受、かさ歯車で構成され、伝動部の軸受は定盤上に設けられ支柱によって保持されていることを特徴とする基板受渡装置である。

本発明は、ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に並列して設けられた複数個のローラ部と、該複数個のローラ部の下方にて動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に並列して複数個が設けられ、該複数個のローラコンベアモジュールのローラ部上にガラス基板が搬送されて載置された際に、ガラス基板の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンドが進入することのできる空間が設けられているので、ローラコンベアの末端部に設けられたガラス基板の基板受渡装置において、ローラ部上からロボットハンド上にガラス基板を受渡す際の、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置となる。
これにより、ローラ部上からロボットハンド上にガラス基板を受渡す基板受渡装置において、その機構が簡素化され、また、支持ピンの昇降に伴う相応の時間が短縮されたものとなる。

また、本発明は、ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に並列して設けられた複数個のローラ部と、該複数個のローラ部の下方にて動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に並列して複数個が設けられガラス基板を載置したロボットッハンドが該複数個のローラコンベアモジュール上方に移動し、降下してガラス基板をロボットハンド上からローラ部上に受渡す際に、ロボットハンドが降下しガラス基板をローラ部上に受渡し、また水平に退却するための空間が、ロボットハンドの下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向に設けられているので、ローラコンベアの先端部に設けられたガラス基板の基板受渡装置において、ロボットハンド上からローラ部上にガラス基板を受渡す際の、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置となる。
これにより、ロボットハンド上からローラ部上にガラス基板を受渡す基板受渡装置において、その機構が簡素化され、また、支持ピンの昇降に伴う相応の時間が短縮されたものとなる。

以下に本発明の実施形態を詳細に説明する。
図４は、本発明による基板受渡装置におけるローラコンベアモジュールの説明図である。図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は、（ａ）におけるＢ−Ｂ線での断面図である。
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明におけるローラコンベアモジュールは、ローラ部（６０）のローラ軸（６１）と直角な方向（Ｘ軸方向）の一直線上に、一定間隔（ｇ）
をもって水平に、その上部を同一面（ｈ）上にし、並列して設けられた複数個のローラ部（６０）と、この複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線（Ｘ軸方向）上に設けられた、ローラ部（６０）を回転するための動力を伝える伝動部（７０）とで構成されている。

ローラ部（６０）は、一対の搬送ローラ（６２）がローラ軸（６１）に設けられており、図４においては、Ｘ軸方向に５個のローラ部（６０）が設けられている。このローラ部（６０）はサブフレーム（図示せず）に取付けられている。
このローラコンベアモジュールの駆動系は、モ−タ（８１）と減速機（８２）、駆動軸（８３）、かさ歯車（８４）からなる回転駆動部（８０）と、伝動軸（７１）、ウオーム歯車機構（７２）、軸受（７５）、かさ歯車（７６）からなる伝動部（７０）で構成されている。また、軸受（７５）は定盤（４）上の支柱（５）によって保持されている。

回転駆動部（８０）の回転動力が、駆動軸（８３）、かさ歯車（８４、７６）、伝動軸（７１）、ウオーム（７４）、ホイール（７３）を経てローラ軸（６１）に伝わり、搬送ローラ（６２）が矢印で示す方向に回転するようになっている。
本発明における駆動系は、前記図１に示す１系統の駆動系とは異なり、各ローラコンベアモジュールに備わっている。各ローラコンベアモジュールに備わった駆動系は、回転駆動部（８０）の回転動力によって、図５に示す第１列（Ｍ１）〜第５列（Ｍ５）の５列のローラコンベアモジュールのローラ部（６０）を一斉に回転するようになっている。

図５（ａ）は、本発明による基板受渡装置の一例の平面図である。この基板受渡装置は、基板処理装置の一連の処理部において処理が施されたガラス基板（１）が搬送されてくるローラコンベアの末端部に設けられたものである。
この基板受渡装置によって、ガラス基板（１）はロボットハンド（４０）に受渡され、ロボットは、処理が施されたガラス基板（１）を、例えば、カセットなどに収納する。図５（ｂ）は、基板受渡装置の側断面図である。

図５（ａ）、（ｂ）に示すように、この一例に示す基板受渡装置は、ローラコンベアモジュールが、その長手方向を基板搬送方向（Ｘ軸方向）と平行にして、基板搬送方向と直角方向（Ｙ軸方向）に一定間隔（ｉ）をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して５個が設けられている。
ローラコンベアモジュールは、図５（ａ）中、上方から順に、第１列（Ｍ１）〜第５列（Ｍ５）の５列が同一面上に設けられており、５列に設けられた、ローラコンベアモジュールは、４本のロボットハンド（４０）の進入と干渉しないように、図５中、ａ線上〜ｅ線上（（ａ）〜（ｅ））に位置するように配置されている。

ローラ部（６０）は、伝動部（７０）を経て伝えられる回転駆動部（８０）の動力により回転し、ガラス基板（１）を搬送するようになっている。また、動力を停止することにより、ガラス基板（１）を搬送ローラ（６２）上に載置した状態に保持する。
本発明による基板受渡装置においては、支持ピン及び支持ピンの昇降機構は設けられていない。また、本発明による基板受渡装置においては、ローラコンベアモジュール間、つまり、基板搬送方向と直角方向（Ｙ軸方向）にて隣接するローラ部（６０）間にローラ軸は設けられていない。

また、本発明による基板受渡装置においては、複数個のローラコンベアモジュールのローラ部（６０）上にガラス基板（１）が搬送されて載置された際に、ガラス基板（１）の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて空間が設けられている。この空間の図５中、Ｚ方向の間隔（Ｄ３）は、ロボットハンドが進入するのに十分な間隔のものである。

図６（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板（１）を基板受渡装置のローラ部（６０）上からロボットハンド（４０）上へ受渡す動作の説明図である。図６（ａ）は、図５（ｂ）に示す図であり、図６中右方にある、一連の処理部（図示せず）において処理が施されたガラス基板（１）が、白太矢印で示すように、基板受渡装置に搬送され、ローラ部（６０）上で停止し、ロボットハンド（４０）に受渡すためのアライメントが終了した段階を表したものである。４本のロボットハンド（４０）は、ガラス基板（１）が受渡される待機状態にある。

前述のように、本発明による基板受渡装置においては、複数個のローラコンベアモジュールのローラ部（６０）上にガラス基板（１）が搬送されて載置された際に、ガラス基板（１）の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンドが進入するのに十分な間隔（Ｄ３）を有する空間が設けられているので、図２（ｂ）に示すように、ローラ軸にさまたがれることなく、ロボットハンド（４０）が図６（ｂ）中、左方よりガラス基板（１）と定盤（４）との間の間隔（Ｄ３）に進入し、ガラス基板（１）の右端で進入を停止する。

次に、図６（ｃ）に示すように、ロボットハンド（４０）が上昇し、ガラス基板（１）を下面で支え上方に持ち上げてロボットハンド（４０）上へ受渡す。
次に、ロボットハンド（４０）は、図６（ｄ）中、左方へと水平に戻り、処理が施されたガラス基板（１）をこの位置から、例えば、カセットに収納する。

このように、本発明による基板受渡装置は、ローラ部（６０）上からロボットハンド（４０）上にガラス基板（１）を受渡す際の、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としないので、ローラ部（６０）上からロボットハンド（４０）上にガラス基板を受渡す基板受渡装置において、その機構が簡素化され、また、支持ピンの昇降に伴う相応の時間が短縮されたものとなる。

また、図５、図６に示すように、定盤（４）の上方、ローラコンベアモジュールの間には、空間が設けられているので、ガラス基板（１）が白太矢印で示す方向から搬送されローラ部（６０）上に載置される前に、載置されるガラス基板（１）の下方、ローラコンベアモジュールの間にロボットハンド（４０）を予め進入させ、ガラス基板（１）を待機することも可能となる。
これにより、ガラス基板の受渡しに要する時間を更に短縮することができる。

図７（ａ）は、請求項３に係わる発明による基板受渡装置の一例の平面図である。この基板受渡装置は、基板処理装置の一連の処理部において処理が施されるガラス基板（１）が処理部へと搬送されていくローラコンベアの先端部に設けられたものである。この基板受渡装置によって、ガラス基板（１）はロボットハンド（４０）上からローラ部（６０）上に受渡され、ローラ部（６０）は、処理を施すガラス基板（１）をローラコンベアに搬送する。図７（ｂ）は、基板受渡装置の側断面図である。

図７（ａ）、（ｂ）に示すように、この一例に示す基板受渡装置は、図５（ａ）、（ｂ）に示す基板受渡装置と同一構造のものである。前記図５（ａ）、（ｂ）に示す基板受渡装置は、ガラス基板（１）をローラ部（６０）上からロボットハンド（４０）上に受渡す際に用いる基板受渡装置であるのに対して、図７（ａ）、（ｂ）に示す基板受渡装置は、ガラス基板（１）をロボットハンド（４０）上からローラ部（６０）上受渡す際に用いる基板受渡装置である。

前記、図５（ａ）、（ｂ）に示す基板受渡装置において、ガラス基板の下方、複数個の
ローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向に設けられた空間は、図７における空間と同一構造のものである。
図７に示す基板受渡装置は、ガラス基板（１）をロボットハンド（４０）上からローラ部（６０）上受渡す際に用いる基板受渡装置であるので、ガラス基板を載置したロボットハンド（４０）が複数個のローラコンベアモジュール上方に移動し、降下してガラス基板（１）をロボットハンド（４０）上からローラ部（６０）上に受渡す際に、ロボットハンド（４０）が降下しガラス基板（１）をローラ部（６０）上に受渡し、また、水平に退却するための空間が、上記移動したロボトハンドの下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向に設けられていることになる。

また、図７（ａ）、（ｂ）に示す基板受渡装置は、ローラコンベアの先端部に設けられたものであり、この基板受渡装置からガラス基板（１）がローラコンベアへ搬送されていくので、ローラ部（６０）の回転方向は、図７中、矢印で示すように、図５（ｂ）における回転方向とは逆方向となり、ガラス基板（１）の搬送方向は、白太矢印で示すように、図５（ａ）における方向とは逆方向となる。

図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板（１）をロボットハンド（４０）上から基板受渡装置のローラ部（６０）上へ受渡す動作の説明図である。図８（ａ）は、図７（ｂ）に示す図であり、図８中左方のロボットハンド（４０）上にあるガラス基板（１）が基板受渡装置に受渡される段階を表したものである。
４本のロボットハンド（４０）上には、ガラス基板（１）が載置され、ローラ部（６０）上に受渡す待機状態にある。

前述のように、本発明による基板受渡装置は、ロボットハンド（４０）が降下しガラス基板（１）をローラ部（６０）上に受渡し、また、水平に退却するための空間が、移動したロボトハンドの下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向に設けられているので、図１（ｂ）に示すように、ローラ軸にさまたがれることなく、ガラス基板（１）を載置したロボットハンド（４０）は、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、左方よりローラコンベアモジュールの上方に移動し、ローラ部（６０）上方で停止する。

次に、図８（ｃ）に示すように、ロボットハンド（４０）が降下し、ガラス基板（１）をローラ部（６０）上へ受渡す。
次に、ロボットハンド（４０）は、図８（ｄ）中、左方へと水平に戻る。ローラ部（６０）は、回転駆動部（８０）の回転動力により回転し、白太矢印で示すように、ガラス基板（１）をローラコンベアへ搬送する。

このように、本発明による基板受渡装置は、ロボットハンド（４０）上からローラ部（６０）上にガラス基板（１）を受渡す際の、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としないので、ロボットハンド（４０）上からローラ部（６０）上にガラス基板を受渡す基板受渡装置において、その機構が簡素化され、また、支持ピンの昇降に伴う相応の時間が短縮されたものとなる。

（ａ）は、基板受渡装置の一例の平面図である。（ｂ）は、基板受渡装置の側断面図である。 （ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板を基板受渡装置のローラ部上からロボットハンド上へ受渡す動作の説明図である。 （ａ）は、図１に示す基板受渡装置の駆動系の平面図である。（ｂ）は、（ａ）におけるＡ−Ａ線での断面図である。 （ａ）は、本発明による基板受渡装置におけるローラコンベアモジュールの平面図である。（ｂ）は、（ａ）におけるＢ−Ｂ線での断面図である。 （ａ）は、本発明による基板受渡装置の一例の平面図である。（ｂ）は、基板受渡装置の側断面図である。 （ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板を基板受渡装置のローラ部上からロボットハンド上へ受渡す動作の説明図である。 （ａ）は、請求項３に係わる発明による基板受渡装置の一例の平面図である。（ｂ）は、基板受渡装置の側断面図である。 （ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板をロボットハンド上から基板受渡装置のローラ部上へ受渡す動作の説明図である。

符号の説明

１・・・ガラス基板
２・・・フレーム
３・・・支持ピン
４・・・定盤
５・・・支柱
２０、６０・・・ローラ部
２１、６１・・・ローラ軸
２２、６２・・・搬送ローラ
３０、７０・・・伝動部
３１、７１・・・伝動軸
３２、７２・・・ウオーム歯車機構
３３、７３・・・ホイール
３４、７４・・・ウオーム
４０・・・ロボットハンド（ロボットのフォーク）
５０、８０・・・回転駆動部
５１、８１・・・モ−タ
５２、８２・・・減速機
７５・・・軸受
７６、８４・・・かさ歯車
８３・・・駆動軸
Ｄ１・・・従来のガラス基板の下方の間隔
Ｄ２・・・本発明におけるガラス基板の下方の間隔
Ｄ３・・・本発明におけるガラス基板の下方の間隔
Ｋ１〜Ｋ５・・・ローラ部の５列
Ｌ１〜Ｌ４・・・支持ピンの４列
Ｍ１〜Ｍ５・・・ローラコンベアモジュールの５列
ａ〜ｅ・・・搬送ローラの配置線

Claims (4)

1. ローラコンベアの末端部に配設され、該ローラコンベアで水平に搬送されてきた枚葉のガラス基板をローラ部上からロボットハンド上に受渡す基板受渡装置において、
   １）ａ）前記ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に、一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して設けられた複数個のローラ部と、
   ｂ）該複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線上に設けられた、ローラ部を回転するための動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、
   ２）その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して複数個が設けられ、
   ３）該複数個のローラコンベアモジュールのローラ部上にガラス基板が搬送されて載置された際に、ガラス基板の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンドが進入することのできる空間が設けられていることを特徴とする基板受渡装置。
2. 前記ローラ部はローラ軸と搬送ローラで構成され、前記伝動部は伝動軸、ウオーム歯車機構、軸受、かさ歯車で構成され、伝動部の軸受は定盤上に設けられ支柱によって保持されていることを特徴とする請求項１記載の基板受渡装置。
3. ローラコンベアの先端部に配設され、ロボットハンドで水平に搬送されてきた枚葉のガラス基板を該ロボットハンド上からローラ部上に受渡す基板受渡装置において、
   １）ａ）前記ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に、一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して設けられた複数個のローラ部と、
   ｂ）該複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線上に設けられた、ローラ部を回転するための動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、
   ２）その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して複数個が設けられ、
   ３）ガラス基板を載置したロボットハンドが該複数個のローラコンベアモジュール上方に移動し、降下してガラス基板をロボットハンド上からローラ部上に受渡す際に、ロボットハンドが降下しガラス基板をローラ部上に受渡し、また、水平に退却するための空間が、上記移動したロボットハンドの下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向に設けられていることを特徴とする基板受渡装置。
4. 前記ローラ部はローラ軸と搬送ローラで構成され、前記伝動部は伝動軸、ウオーム歯車機構、軸受、かさ歯車で構成され、伝動部の軸受は定盤上に設けられ支柱によって保持されていることを特徴とする請求項３記載の基板受渡装置。

Images